JP2006038810A - 光学系性能測定装置及びその方法 - Google Patents
光学系性能測定装置及びその方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006038810A JP2006038810A JP2004223331A JP2004223331A JP2006038810A JP 2006038810 A JP2006038810 A JP 2006038810A JP 2004223331 A JP2004223331 A JP 2004223331A JP 2004223331 A JP2004223331 A JP 2004223331A JP 2006038810 A JP2006038810 A JP 2006038810A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical system
- light receiving
- measured
- target
- performance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
【課題】 被検光学系の高精度な光学特性測定装置及び測定方法
【解決手段】 被測定光学系の焦点面に配置したターゲット(スリット)を照明手段により拡大投影し、評価距離の面内において縦横に走査できる機構に配置した受光手段で投影像強度分布を受光し性能を測定する装置において、前記受光手段は垂直面内及び水平垂直軸周りに回転が可能で、前記、被測定光学系の射出瞳方向に傾けた状態で、測定目的に応じたターゲット像の出力分布を受光し、演算手段により傾き角による補正と測定目的に応じた処理を行うことにより光学系の性能を測定する光学系性能測定装置及びその方法。
【選択図】 図1
【解決手段】 被測定光学系の焦点面に配置したターゲット(スリット)を照明手段により拡大投影し、評価距離の面内において縦横に走査できる機構に配置した受光手段で投影像強度分布を受光し性能を測定する装置において、前記受光手段は垂直面内及び水平垂直軸周りに回転が可能で、前記、被測定光学系の射出瞳方向に傾けた状態で、測定目的に応じたターゲット像の出力分布を受光し、演算手段により傾き角による補正と測定目的に応じた処理を行うことにより光学系の性能を測定する光学系性能測定装置及びその方法。
【選択図】 図1
Description
本発明は投射レンズや撮影レンズとして用いられる光学系の性能、具体的にはMTF(Modulation Transfer Function)について、ターゲット(スリット)像を受光手段上に拡大投影し、前記、受光手段出力より光学系を測定評価する光学系性能測定装置及びその方法に関する。
図7は従来の撮影レンズや投射レンズの光学性能測定装置の構成例を示しており、共軸レンズについて測定する例で、スリット像をライン状に並んだCCD面に結像させその強度分布よりMTFを求めるものである。
70は被測定光学系、71は光源部でランプとコンデンサーレンズ等から成る。72はターゲット(チャート)部で測定目的に応じた幅のスリットが測定画角毎に刻まれており、被測定光学系70とターゲット72との間隔は調整可能となっている。73は受光手段であり決められた距離に配置され評価面内を走査可能となっており、例えば73aの如くに設定され軸外MTFの測定に用いる。受光手段73には図示しないCCDラインセンサーが組み込まれている。その外、図示しない受光手段73の移動手段、演算処理手段等から構成されている。
測定は次の如く行われる。光源部71により照明されたターゲット72のスリットは被測定光学系により拡大投影され、その投影像強度分布を受光手段73に組み込まれたラインセンサーからの出力が得られる。スリット像の強度分布はLSF(Lin Spread Function)とよばれ、出力形態は図8に示す様な分布となる。LSFはスリットや投影倍率を加味して演算手段によりMTFを求めることになる。一般的には離散的な周波数に対するフーリエ変換を行い、スリット幅から得られる理想的フーリエ像との比により周波数毎のMTFが求められることになる。
以上の説明は光軸上であり、軸外の測定は受光手段73を測定面内で移動させ目的の角度θ1位置73aに設定し、軸上と同様な方法で測定値を得る。
特開2001−255462号公報
特開2000−89227号公報
以上説明した従来の光学系性能測定装置及びその方法においては被測定レンズ光軸に対して受光素子が垂直に近い角度に設定する場合は問題ないが、図7に示す受光手段73aの位置での角度θ1がさらに大きくなると、センサーの感度低下、クロストーク、スミアー、カバーガラスの反射光増加などの強度分布に影響を及ぼす特性によりスリット像の強度分布すなわちLSFは垂直に入射した場合に比べて正確に測定されないことになる。
従来型の広角撮影レンズはもちろん、特に近年薄型のリアプロジェクター装置や大広角レンズを備えたフロントプロジェクターなどが普及しその光軸上からの投影角度は60度を超えるものが多くなっている。
図9はスリット像をラインセンサー上に結ばせ、図7における受光手段73の傾き角度を変え投影像の強度分布がどの様に変化するかを示すものである。図9において添付数字は受光手段へ垂直入射に対する斜め入射の傾き角度を示すものであり、投影像は角度が大きくなると垂直入射の形状とは異なって測定されてしまう事になるので測定されるMTF値も精度の悪いものとなる。
また、MTFの評価においては色温度の設定、すなわち光源と受光素子の波長毎の強度分布を、例えば撮影レンズで日中の時間であれば太陽光スペクトル分布とフィルム又はCCDの分光感度に合わせる必要がある。しかしながら、その実現は技術的に困難であったので、測定に用いる照明系スペクトル分布による測定評価に留まっており、実際の性能とは異なることがあった。
更に、MTF測定においては被測定光学系光軸と投影評価面とを垂直に、且つ、ターゲット面と投影評価面を平行に設定しなければならない。被測定光学系光軸と投影評価面の垂直、ターゲット面と投影評価面との平行が崩れている場合は正常な性能であっても、製作、組み立て誤差が大きくなったように非対称な測定値、いわゆる片ボケと測定されてしまう。あるいは、近年、自由曲面を用いた軸外し光学系は光学系中心軸と投影画面中心での垂線方向が合わない光学系でプロジェクターレンズなどに使われている。例えば特許文献1や2などで公開されているものである。前記の様な光学系においては従来のMTF測定方法において用いられる手法、例えばターゲット面よりのスリット像が受光手段に結像され、その面上に配置された反射鏡で反射されたスリット像が被測定光学系の中心に戻れば測定光学系光軸と投影評価面の垂直が保たれると言う手法が取ることができない。
更にまた、PCで作成された像をLCD等の光変調素子に表示した光学性能を含んだ投影像の解像力やシャープネスなどの評価(MTF測定)は主観評価に頼り、特に数値での絶対評価測定などは行われていないのが現状であった。
以上に述べた課題のほかに投影評価面全体を走査して測定するために、測定に時間がかかるといった課題があった。
本発明は以上に述べた課題を解決するために、請求項1においては被測定光学系の焦点面に配置したターゲットを照明手段により拡大投影し、評価距離の面内において縦横に走査できる機構に配置した受光手段で投影像強度分布を受光し、性能を測定する装置において、前記、受光手段は垂直面内及び水平垂直軸周りに回転が可能な手段と、前記、被測定光学系の射出瞳方向に傾けた状態を設ける手段と、測定目的に応じたターゲット像の出力分布を受光する手段と、演算手段により傾き角による補正と測定目的に応じた処理を行う手段を設けている。
請求項2においては、受光手段に用いられる受光素子は波長域が異なる複数の波長で受光する手段を有し、それぞれの受光強度から評価目的の光源の色に対するウエート割合に応じた補正を行う手段と、ホワイトバランス処理を行った後に光学系性能を演算処理する手段を有している。
請求項3においては、被測定光学系の焦点面に配置したターゲットを照明手段により拡大投影し、評価距離の面内において縦横に走査できる機構に配置した受光手段で投影像強度分布を受光し、性能を測定する装置において、前記、評価投影面とターゲット面との平行度と被測定光学系光軸とを合わせる為に、被測定光学系とは異なる光軸調整のための投影光学系手段を有している。
請求項4においては前記、光軸調整のための投影光学系手段にはレーザー光源と回折格子チャートを用いる手段と、回折格子の対称な広がりが投影評価面での左右又は上下の中心からの乖離差を測定する手段を有し、その乖離量を無くすために投影系全体を調整する手段を有している。
請求項5においては被測定光学系の焦点面に配置したターゲットを照明手段により拡大投影し、評価距離の面内において縦横に走査できる機構に配置した受光手段で投影像強度分布を受光し、性能を測定する装置において、被測定光学系と焦点面に配置したターゲットを照明する手段は一体で構成される手段を有し、投影評価面とターゲット間の距離が設定可能な手段と上下左右移動手段と水平垂直面で使用可能手段を有している。
請求項6においては被測定光学系の焦点面に配置したターゲットを照明手段により拡大投影し、評価距離の面内において縦横に走査できる機構に配置した受光手段で投影像強度分布を受光し、性能を測定する装置において、ターゲット像をLCD等の光変調素子にPCで作成表示する手段を有し、その投影画像強度分布を前記受光手段と演算処理装置により光学性能を測定評価する手段を有している。
請求項7においては被測定光学系の焦点面に配置したターゲットを照明手段により拡大投影し、評価距離の面内において縦横に走査できる機構に配置した受光手段で投影像強度分布を受光し、性能を測定する装置において、前記、受光手段を複数備える手段を有している。
(作用)
請求項1においては被測定光学系の焦点面に配置したターゲットを照明手段により拡大投影し、評価距離の面内において縦横に走査できる機構に配置した受光手段で投影像強度分布を受光し、性能を測定する装置において、前記、受光手段は垂直面内及び水平垂直軸周りに回転が可能な手段と、前記、被測定光学系の射出瞳方向に傾ける手段と、測定目的に応じたターゲット像の出力分布を受光する手段と、演算手段により傾き角による補正と測定目的に応じた処理を行う手段を設けている。
請求項1においては被測定光学系の焦点面に配置したターゲットを照明手段により拡大投影し、評価距離の面内において縦横に走査できる機構に配置した受光手段で投影像強度分布を受光し、性能を測定する装置において、前記、受光手段は垂直面内及び水平垂直軸周りに回転が可能な手段と、前記、被測定光学系の射出瞳方向に傾ける手段と、測定目的に応じたターゲット像の出力分布を受光する手段と、演算手段により傾き角による補正と測定目的に応じた処理を行う手段を設けている。
従って、受光手段では投射画角によらず常に正対したターゲット像が到達するので、正確なターゲット像の出力分布が得られ、受光手段が傾くことによるスリット像の広がりは演算手段で補正する手段を設けているので正確な測定値を得ることができる。
請求項2においては、受光手段に用いられる受光素子は波長域が異なる複数の波長で受光する手段と、それぞれの受光強度から評価目的の光源の色に対するウエート割合に応じた補正を行う手段と光学系性能を演算処理する手段を有しているので、実際に使用する照明光源における光学系の測定値が得られる。
請求項3、および請求項4においては、被測定光学系の焦点面に配置したターゲットを照明手段により拡大投影し、評価距離の面内において縦横に走査できる機構に配置した受光手段で投影像強度分布を受光し、性能を測定する装置において、前記、評価投影面とターゲット面との平行度と被測定光学系光軸とを合わせる為に、被測定光学系とは異なる光軸調整のための投影光学系手段を有しているので、評価投影面とターゲット面との平行度と被測定光学系光軸とを合わせる操作が、軸外し光学系などの測定においても可能となる。
請求項5においては被測定光学系の焦点面に配置したターゲットを照明手段により拡大投影し、評価距離の面内において縦横に走査できる機構に配置した受光手段で投影像強度分布を受光し、性能を測定する装置において、被測定光学系と焦点面に配置したターゲットを照明する手段は一体で構成される手段を有し、投影評価面とターゲット間の距離が設定可能な手段と、上下左右移動手段と水平垂直面で使用可能手段を有しているので、投影評価面と被測定光学系光軸の垂直度の調整を簡単に行うことができるほか、受光手段のセンサー上に投影像の焦点を合わせることやディフォーカス特性などを測定可能となる。更に、評価画面位置が大きく移動する投射光学系やシフト光学系などの評価において、上下(縦)又は左右(横)に大きくシフト投影する場合に場所的な制約から性能を測定できない事が発生する事もある。例えば、上下に画面を移動させる測定に際して、その余裕がなく左右には余裕がある場合、簡単に90度回転させることが簡単に可能で、大きく重い走査装置を移動しなくても済むことになる。
請求項6においては被測定光学系の焦点面に配置したターゲットを照明手段により拡大投影し、評価距離の面内において縦横に走査できる機構に配置した受光手段で投影像強度分布を受光し、性能を測定する装置において、ターゲット像をLCD等の光変調素子にPCで作成表示する手段を有し、その投影画像強度分布を前記受光手段と演算処理装置により光学性能を測定評価する手段を有しているので、実際の使用条件での測定が可能となるほか、従来の主観評価に頼った測定が定量化することが可能となる。
請求項7においては被測定光学系の焦点面に配置したターゲットを照明手段により拡大投影し、評価距離の面内において縦横に走査できる機構に配置した受光手段で投影像強度分布を受光し、性能を測定する装置において、前記、受光手段を複数備える手段を有しているので、走査範囲を受光手段毎に決め効率よく測定できる他、従来の測定時間と同じ時間を費やすのであれば、数多い測定点のデータも得られので、被測定光学系の詳細なデータが得られる事となる。
以上説明した本発明の光学系性能測定装置及びその方法においては光軸上からの投影角度や撮影角度が大きくなった場合や、使用される照明光源に合わせた測定、光軸あわせを正確に行う事ができるので被検光学系の正確な性能測定を効率よく行う事ができる。
また、プロジェクター光学系の性能が使用状態において絶対的な数値データとして得られるので評価が正確に行われることとなる。
(実施例1)
図により本発明の実施例について説明する。図1は本発明の第1の実施例で軸外し光学系を用い、上側に偏った形態で投影するフロントプロジュクターについてMTFを測定する装置の全体構成の概略を示す図である。図2は被検光学系側より受光手段側を見た場合の概略図である。
図により本発明の実施例について説明する。図1は本発明の第1の実施例で軸外し光学系を用い、上側に偏った形態で投影するフロントプロジュクターについてMTFを測定する装置の全体構成の概略を示す図である。図2は被検光学系側より受光手段側を見た場合の概略図である。
構成は次の様になっている。10は被測定光学系、20は投影部でランプとコンデンサー等から成る光源部21、あおり調整部22、シフト調整部23、被検物取り付け部24、測定目的により交換できるターゲット(チャート)部25、焦点調整機構26などからなる。30はPC(システムコントロール・演算装置)、31はPC表示部、40は移動積載台である。50は走査部で受光部60、が3個(60a、60b、60c)配置され、それぞれに受光素子であるカラーラインセンサー61(61a、61b、61c)が組み込まれている。走査部50には縦移動ガイド51、横移動ガイド52が設けられている。
構成各部の機能は次のようになっている。投影部20は縦横に回転可能な形態となっている他、あおり調整部22、シフト調整部23により走査部に対する傾き角を調整可能となっている。ターゲット部25には測定画面サイズに応じた幅のスリットが測定画角毎に刻まれている。更に、ターゲット部25と被測定光学系10との間隔は調整可能で焦点調整機構26を介して、PC(システムコントロール・演算装置)30のコントロールにより調整可能となっている。
更にまた、図3は図1に示す投影部20を上から見た図で、光源部21を取り外した後にレーザー光源照明系27を挿入したものである。使用しない時は収納部にスライドして戻すことになる。なお、29はレーザー光源で固定してある。
図1で示したターゲット(チャート)部25には取り外し可能なターゲットが挿入されるが光軸合わせ操作には回折格子28を取り付ける形態となっている。
移動積載台40は投影部20を積載したまま上下可動で、PC30などを積載する。更に、被測定光学系10と走査部50との距離を設定可能になっている。
受光部60の前面に組み込まれた受光素子であるカラーラインセンサー61の仕様は7×10μmの画素が4096個並んだラインセンサー3本が水平に配置されたものを用いた。3本は図示しないが赤色(R)、緑色(G)、青色(B)、に感度を持っている。
受光部60は走査部50に設けられた縦移動ガイド51a、51b、51c、横移動ガイド52a、52bに沿って図示しないモータにより移動可能となっている他、水平軸、垂直軸回りと垂直面内で別のモータにより回転可能となっている。それぞれのモータはPC30によりコントロールされる。なお、受光部が回転してもカラーラインセンサー61の中心付近は被検光学系10との距離が変動しない構造となっている。
次いで測定方法について図を用いて説明する。図5は本実施例における測定手順を説明する図である。
ステップ1は測定条件の設定である。各部作動部のスイッチを入れ、PCに被検レンズの焦点距離や投影倍率測定用ターゲット情報をメモリーより選択し、利用可能にする。
ステップ2は測定距離の設定である。走査部50は通常固定されているので測定条件によりカラーラインセンサー61との距離を移動積載台40の移動により設定する。
ステップ3は光軸調整準備の段階である。投影部20内にある照明光学系を取り外した後にレーザー照明光源を挿入する、更に、ターゲット位置に円形回折格子28を配置し、レーザー照明光源の電源を入れる。回折格子を通ったレーザー光は図3の矢印線の如く中心軸周りに多数の同心円を描くので光軸合わせに利用できる。なお回折格子は円形に限らず縦横になっている矩形のものでも可能である。また、被検物取り付け部24とターゲット(チャート)部25の平行度と同心度は別の方法で設定してある。
ステップ4は水平光軸合わせである。ステップ5と合わせて被検光学系の光軸と受光部60が走査する評価面が直交した状態に設定するものである。まず受光部60を回折像中心に配置し、残りの2つを水平面内に任意の等間隔で配置する。その際、外側に配置された受光部の中心を同位相の回折像が投影されていれば調整は完了する。異なっている場合は投影部のシフト調整部23を作動させ同じ間隔になるよう調整する。この時、中心も移動するので再度受光部60の設定位置を調整する。このことを繰り返し行うことにより水平面内の傾きが調整完了となる。
ステップ5は垂直光軸合わせである。受光部60を回折像中心に配置し、残りの2つを垂直面内に任意の等間隔で配置する。設定方法はステップ4と同じように調整部22を作動させながら垂直に対し行えばよい。なお、光軸調整には被検レンズ取り付け部に対して光軸が合うように調整された専用の工具レンズを用いても良いが、時間的、コスト的に不利なので本実施例では回折格子の方法を用いた。
ステップ6は投影準備である。投影部20内にあるレーザー照明光源を退避させ、光源部21を装着し、ターゲット位置にある円形回折格子28を取り外し、ターゲット25を挿入する。更に被検光学系を被検物取り付け部24に取り付ける。
ステップ7は受光部角度合わせである。受光部を被検光学系の入射瞳方向に予めPCに記憶されている数値に基づき、サーボモーターの回転で受光素子中心を回転中心として傾ける。なお、入射角度が小さければ後の処理を省略するために傾きを与えなくてもよい。
ステップ8は明るさ調整と焦点合わせである。光源部21のスイッチを入れターゲットを照明し評価画面中心に配置した受光部60のほぼ中心に投影する。この時スリット像は水平(又は垂直)になっているので、ラインセンサーを直交させるため、必要に応じて受光部61を評価面内で回転させ位置を合わせる。PC表示部31にはスリット像強度分布が表示されるのでラインセンサーの飽和点より余裕を見た下のレベルになる明るさに図示しない手段で調整する。更にPC30よりターゲットの焦点調整機構を作動させ被検光学系との間隔を変えながらPC表示部31のスリット像強度分布が高くなり、且つ、幅の狭くなる位置を決める。焦点が合うに連れてスリット像強度分布は高くなるが、最高値は常に飽和点より余裕を見た8〜7割程度に抑えるのがよい。焦点位置はR、G、B各色で異なるが通常はG色によるスリット像で焦点位置を決める。
ステップ9は投影画像取り込みである。投影されたスリットに直交する強度分布を像のRGB各色に対する測定値として複数回にわたり取り込み、平均値をPC上のメモリーに記録する。
ステップ10は投影画像の補正である。取り込んだデータは明るさレベルを別途決められているテーブルに基づきリニアリティーの補正と最高明るさレベルを決められた一定値に正規化する。次いで投影距離による拡大倍率、又は別途測定された拡大倍率分の補正を行う。更に、受光部を傾けた角度θに比例してスリット像幅が小さくなっているので、測定されたスリット像幅相当のセンサー素子間距離をcosθで除算することにより補正する。この時、評価面に対し斜め方向すなわち評価面に対し上下、左右に傾きがある場合は両方の角度分に応じ二回の除算を行う。
ステップ11は光源色の補正である。測定に使用している色温度(相対分光強度分布)と実際に使用する色温度についてRGB各センサーの強度比として予め求めてあるテーブルに基づき評価目的の光源の色に対するウエート割合に応じた補正を行う。次いで、RGBの強度分布をNTSC輝度変換方式により輝度値に変換しメモリーに保存される。変換方法は目的により任意に選択可能であり、RGB毎に保存してもよい。
ステップ12はMTF演算である。投影スリット像の強度分布はLSFとよばれ、出力形態は図8に示す様な分布となる。横軸が受光素子ピッチから求められる投影像の大きさで縦軸が正規化された出力値である。LSFはステップ11に示すスリットや投影倍率の補正計算を経て演算手段によりMTFを求めることになる。一般的には離散的な周波数に対するフーリエ変換を行い、スリット幅から得られる理想的フーリエ像との比により周波数毎のMTFが求められることになる。
ステップ13は受光部の移動である。ステップ9でスリット画像がメモリーに蓄えられることが終了した後、受光部は決められた次の位置に移動する。3個備えられた受光部はPCへの予めの移動情報に基づきステップ7、ステップ9を交互に行い、次の測定点へと評価画面内を移動し、被測定光学系の射出瞳に正対させる操作を行う。その後、ステップ10からステップ12を瞬時に実行する。
受光部は3個配置されているので、上述の様に個々にステップ毎に行うのではなくPCより制御された移動と画像取り込みを並列的に行い、3個配置し移動距離を短縮した効果と重なり測定時間が大幅に短縮できる。
ステップ14は測定データの表示である。PC内の演算手段によりMTFを求めた結果は例えば図9の様な周波数特性値などとして表示され、必要に応じてプリントなども可能となっている。
ステップ15は測定条件の変更である。必要な測定条件、例えば、測定スリットの縦横変換、評価画面のシフト量の変更、開口絞りの変更などを行いステップ7からステップ14を繰り返すこととなる。なお、評価画面のシフト量変更で図1に示す測定範囲より大きな角度、例えばθ2などの大きな角度で測定する場合は投影部20を90度回転し水平方向に展開して同じように測定すればよい。
以上で測定は終了ステップとなる。
以上で測定は終了ステップとなる。
(実施例2)
図により本発明の第2の実施例について説明する。図4は本発明の第2の実施例で全体構成の概略を示す図である。被検光学系は第1の実施例と同じ軸外し光学系を用い、上側に偏った形態で投影するフロントプロジュクター画像についてターゲット(スリット)像をLCD等の光変調素子にPCで作成表示し、その投影画像強度分布を演算処理装置により光学性能を測定する例を示す。
図により本発明の第2の実施例について説明する。図4は本発明の第2の実施例で全体構成の概略を示す図である。被検光学系は第1の実施例と同じ軸外し光学系を用い、上側に偏った形態で投影するフロントプロジュクター画像についてターゲット(スリット)像をLCD等の光変調素子にPCで作成表示し、その投影画像強度分布を演算処理装置により光学性能を測定する例を示す。
構成は第1の実施例で述べた投影部20を取り去り被検プロジュクター70を配置したものであり、50の走査部、30のPC(システムコントロール・演算装置)部など同じものである。
測定方法は第1の実施例で述べた方法とほぼ動じであるが、ステップ3からステップ7までの光軸合わせに関する操作は光学系がプロジェクターに組み込まれているため、従来の方法で行うことになる。またMTFの算出も第1の実施例で述べた方法であると投射光学系に対しては相対的なものに留まるが、プロジェクター総合のMTF評価値としては十分な絶対値がもとめられる。
10 被測定光学系
20 投影部
21 光源部
25 ターゲット(チャート)部
30 PC(システムコントロール・演算装置)
40 移動積載台
50 走査部
51 縦移動ガイド
52 横移動ガイド
60 受光部
61 カラーラインセンサー
70 共軸レンズ
80 フロントプロジェクター
20 投影部
21 光源部
25 ターゲット(チャート)部
30 PC(システムコントロール・演算装置)
40 移動積載台
50 走査部
51 縦移動ガイド
52 横移動ガイド
60 受光部
61 カラーラインセンサー
70 共軸レンズ
80 フロントプロジェクター
Claims (7)
- 被測定光学系の焦点面に配置したターゲット(スリット)を照明手段により拡大投影し、評価距離の面内において縦横に走査できる機構に配置した受光手段で投影像強度分布を受光し性能を測定する装置において、前記受光手段は垂直面内及び水平垂直軸周りに回転が可能で、前記、被測定光学系の射出瞳方向に傾けた状態で、測定目的に応じたターゲット像の出力分布を受光し、演算手段により傾き角による補正と測定目的に応じた処理を行うことにより光学系の性能を測定する光学系性能測定装置及びその方法。
- 前記、受光手段に用いられる受光素子は波長域が異なる複数の波長で受光され、それぞれの受光強度は評価目的の光源の色に対するウエート割合に応じた補正を行った後に光学系性能を演算処理する、請求項1に記載される光学系性能測定装置及びその方法。
- 被測定光学系の焦点面に配置したターゲット(スリット)を照明手段により拡大投影し、評価距離の面内において縦横に走査できる機構に配置した受光手段で投影像強度分布を受光し、性能を測定する装置において、前記、評価投影面とターゲット面との平行度を合わせる為に、被測定光学系とは異なる光軸調整のための投影光学系を備えていることを特徴とする光学系性能測定装置及びその方法。
- 請求項3に記載の光軸調整のための投影光学系手段はレーザー光源と回折格子チャートを用い、回折格子の対称な広がりが投影評価面での左右又は上下の中心からの乖離差を測定し、その乖離量を無くすために投影系全体を調整する手段を有する光学系性能測定装置及びその方法。
- 被測定光学系の焦点面に配置したターゲットを照明手段により拡大投影し、評価距離の面内において縦横に走査できる機構に配置した受光手段で投影像強度分布を受光し、性能を測定する装置において、被測定光学系と焦点面に配置したターゲットを照明する手段は一体で構成され、投影評価面とターゲット間の距離が設定可能で上下左右移動と水平垂直面で使用可能な請求項1、及び、請求項3、請求項4に記載される光学系性能測定装置及びその方法。
- 被測定光学系の焦点面に配置したターゲットを照明手段により拡大投影し、評価距離の面内において縦横に走査できる機構に配置した受光手段で投影像強度分布を受光し、性能を測定する装置において、ターゲット像をLCD等の光変調素子にPCで作成表示し、その投影画像強度分布を前記受光手段と演算処理装置により光学性能を測定評価する光学系性能測定装置及びその方法。
- 被測定光学系の焦点面に配置したターゲット(スリット)を照明手段により拡大投影し、評価距離の面内において縦横に走査できる機構に配置した受光手段で投影像強度分布を受光し、性能を測定する装置において、前記、受光手段を複数備えたことを特徴とする請求項1、請求項3、請求項5、請求項6記載の光学系性能測定装置及びその方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004223331A JP2006038810A (ja) | 2004-07-30 | 2004-07-30 | 光学系性能測定装置及びその方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004223331A JP2006038810A (ja) | 2004-07-30 | 2004-07-30 | 光学系性能測定装置及びその方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006038810A true JP2006038810A (ja) | 2006-02-09 |
Family
ID=35903945
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004223331A Withdrawn JP2006038810A (ja) | 2004-07-30 | 2004-07-30 | 光学系性能測定装置及びその方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006038810A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007093243A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Nikon Corp | 検査装置 |
KR101298146B1 (ko) | 2012-10-22 | 2013-08-20 | 광전자정밀주식회사 | 프로젝터의 광특성 측정장치 |
KR101343598B1 (ko) * | 2013-07-18 | 2013-12-19 | 에이티시스템 주식회사 | 휴대폰의 led 플래시 모듈의 특성 검사 방법 |
KR20190118316A (ko) * | 2018-04-10 | 2019-10-18 | 한국광기술원 | 조명 성능 측정장치 |
CN113639966A (zh) * | 2021-08-04 | 2021-11-12 | 孝感华中精密仪器有限公司 | 一种高低温条件下连续变焦电视光轴一致性检测装置 |
CN114252241A (zh) * | 2020-09-25 | 2022-03-29 | 全欧光学检测仪器有限公司 | Mtf测试设备及其用途 |
-
2004
- 2004-07-30 JP JP2004223331A patent/JP2006038810A/ja not_active Withdrawn
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007093243A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Nikon Corp | 検査装置 |
KR101298146B1 (ko) | 2012-10-22 | 2013-08-20 | 광전자정밀주식회사 | 프로젝터의 광특성 측정장치 |
KR101343598B1 (ko) * | 2013-07-18 | 2013-12-19 | 에이티시스템 주식회사 | 휴대폰의 led 플래시 모듈의 특성 검사 방법 |
KR20190118316A (ko) * | 2018-04-10 | 2019-10-18 | 한국광기술원 | 조명 성능 측정장치 |
KR102074574B1 (ko) | 2018-04-10 | 2020-02-06 | 한국광기술원 | 조명 성능 측정장치 |
CN114252241A (zh) * | 2020-09-25 | 2022-03-29 | 全欧光学检测仪器有限公司 | Mtf测试设备及其用途 |
CN113639966A (zh) * | 2021-08-04 | 2021-11-12 | 孝感华中精密仪器有限公司 | 一种高低温条件下连续变焦电视光轴一致性检测装置 |
CN113639966B (zh) * | 2021-08-04 | 2024-01-12 | 孝感华中精密仪器有限公司 | 一种高低温条件下连续变焦电视光轴一致性检测装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101257586B1 (ko) | 광축 조정 장치, 광축 조정 방법 및 투사형 표시 장치 | |
US10365468B2 (en) | Autofocus imaging | |
JP6196832B2 (ja) | 画像処理装置、画像処理方法、顕微鏡システム及び画像処理プログラム | |
JP3893922B2 (ja) | レンズの評価方法およびレンズ評価装置 | |
TWI484283B (zh) | 影像計算量測方法、影像計算量測裝置及影像檢查裝置 | |
JP2010271246A (ja) | 色彩輝度測定装置及び色彩輝度測定方法 | |
JP2006350078A (ja) | 3次元形状測定装置及び3次元形状測定方法 | |
WO2016157291A1 (ja) | 測定ヘッド及びそれを備えた偏心測定装置 | |
JP5007070B2 (ja) | 露光装置 | |
JP2006171024A (ja) | 多点蛍光分光測光顕微鏡および多点蛍光分光測光方法 | |
JP2008051576A (ja) | 形状測定装置および形状測定方法 | |
CN118381893A (zh) | 内在参数校准*** | |
JP2006038810A (ja) | 光学系性能測定装置及びその方法 | |
JP2009109315A (ja) | 光計測装置及び走査光学系 | |
JP2007158700A (ja) | 色忠実カメラ | |
CN114460020B (zh) | 一种基于数字微反射镜的高光谱扫描***及方法 | |
JP2012181139A (ja) | レンズ検査装置 | |
JP2007158701A (ja) | 色忠実カメラ | |
JP3573631B2 (ja) | 顕微鏡用測光装置 | |
CN112782082B (zh) | 一种用于线扫描成像的定标装置和方法 | |
JP3586592B2 (ja) | 画像読取装置、画像読取装置のデフォルト値調整方法、及びチャート原稿 | |
CN216132666U (zh) | 一种标定装置和电子设备 | |
JP4518975B2 (ja) | 画像表示装置の表示品質測定装置 | |
JP4228704B2 (ja) | レンズ検査装置 | |
JP5367528B2 (ja) | 投射型表示装置および表示素子位置調整方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20071002 |