JP2006038810A

JP2006038810A - 光学系性能測定装置及びその方法

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Publication number: JP2006038810A
Application number: JP2004223331A
Authority: JP
Inventors: Toshiyuki Mizuno; 利幸水野; Hiroyuki Hatakeyama; 弘至畠山
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2004-07-30
Filing date: 2004-07-30
Publication date: 2006-02-09

Abstract

【課題】被検光学系の高精度な光学特性測定装置及び測定方法
【解決手段】被測定光学系の焦点面に配置したターゲット(スリット)を照明手段により拡大投影し、評価距離の面内において縦横に走査できる機構に配置した受光手段で投影像強度分布を受光し性能を測定する装置において、前記受光手段は垂直面内及び水平垂直軸周りに回転が可能で、前記、被測定光学系の射出瞳方向に傾けた状態で、測定目的に応じたターゲット像の出力分布を受光し、演算手段により傾き角による補正と測定目的に応じた処理を行うことにより光学系の性能を測定する光学系性能測定装置及びその方法。
【選択図】図１

Description

本発明は投射レンズや撮影レンズとして用いられる光学系の性能、具体的にはMTF（ＭｏｄｕｌａｔｉｏｎＴｒａｎｓｆｅｒＦｕｎｃｔｉｏｎ）について、ターゲット(スリット)像を受光手段上に拡大投影し、前記、受光手段出力より光学系を測定評価する光学系性能測定装置及びその方法に関する。

図７は従来の撮影レンズや投射レンズの光学性能測定装置の構成例を示しており、共軸レンズについて測定する例で、スリット像をライン状に並んだCCD面に結像させその強度分布よりMTFを求めるものである。

７０は被測定光学系、７１は光源部でランプとコンデンサーレンズ等から成る。７２はターゲット(チャート)部で測定目的に応じた幅のスリットが測定画角毎に刻まれており、被測定光学系７０とターゲット７２との間隔は調整可能となっている。７３は受光手段であり決められた距離に配置され評価面内を走査可能となっており、例えば７３ａの如くに設定され軸外ＭＴＦの測定に用いる。受光手段７３には図示しないCCDラインセンサーが組み込まれている。その外、図示しない受光手段７３の移動手段、演算処理手段等から構成されている。

測定は次の如く行われる。光源部７１により照明されたターゲット７２のスリットは被測定光学系により拡大投影され、その投影像強度分布を受光手段７３に組み込まれたラインセンサーからの出力が得られる。スリット像の強度分布はＬＳＦ(ＬｉｎＳｐｒｅａｄＦｕｎｃｔｉｏｎ)とよばれ、出力形態は図８に示す様な分布となる。ＬＳＦはスリットや投影倍率を加味して演算手段によりＭＴＦを求めることになる。一般的には離散的な周波数に対するフーリエ変換を行い、スリット幅から得られる理想的フーリエ像との比により周波数毎のＭＴＦが求められることになる。

以上の説明は光軸上であり、軸外の測定は受光手段７３を測定面内で移動させ目的の角度θ1位置７３ａに設定し、軸上と同様な方法で測定値を得る。
特開２００１−２５５４６２号公報特開２０００−８９２２７号公報

以上説明した従来の光学系性能測定装置及びその方法においては被測定レンズ光軸に対して受光素子が垂直に近い角度に設定する場合は問題ないが、図７に示す受光手段７３ａの位置での角度θ1がさらに大きくなると、センサーの感度低下、クロストーク、スミアー、カバーガラスの反射光増加などの強度分布に影響を及ぼす特性によりスリット像の強度分布すなわちＬＳＦは垂直に入射した場合に比べて正確に測定されないことになる。

従来型の広角撮影レンズはもちろん、特に近年薄型のリアプロジェクター装置や大広角レンズを備えたフロントプロジェクターなどが普及しその光軸上からの投影角度は６０度を超えるものが多くなっている。

図９はスリット像をラインセンサー上に結ばせ、図７における受光手段７３の傾き角度を変え投影像の強度分布がどの様に変化するかを示すものである。図９において添付数字は受光手段へ垂直入射に対する斜め入射の傾き角度を示すものであり、投影像は角度が大きくなると垂直入射の形状とは異なって測定されてしまう事になるので測定されるＭＴＦ値も精度の悪いものとなる。

また、ＭＴＦの評価においては色温度の設定、すなわち光源と受光素子の波長毎の強度分布を、例えば撮影レンズで日中の時間であれば太陽光スペクトル分布とフィルム又はＣＣＤの分光感度に合わせる必要がある。しかしながら、その実現は技術的に困難であったので、測定に用いる照明系スペクトル分布による測定評価に留まっており、実際の性能とは異なることがあった。

更に、ＭＴＦ測定においては被測定光学系光軸と投影評価面とを垂直に、且つ、ターゲット面と投影評価面を平行に設定しなければならない。被測定光学系光軸と投影評価面の垂直、ターゲット面と投影評価面との平行が崩れている場合は正常な性能であっても、製作、組み立て誤差が大きくなったように非対称な測定値、いわゆる片ボケと測定されてしまう。あるいは、近年、自由曲面を用いた軸外し光学系は光学系中心軸と投影画面中心での垂線方向が合わない光学系でプロジェクターレンズなどに使われている。例えば特許文献１や２などで公開されているものである。前記の様な光学系においては従来のＭＴＦ測定方法において用いられる手法、例えばターゲット面よりのスリット像が受光手段に結像され、その面上に配置された反射鏡で反射されたスリット像が被測定光学系の中心に戻れば測定光学系光軸と投影評価面の垂直が保たれると言う手法が取ることができない。

更にまた、ＰＣで作成された像をLCD等の光変調素子に表示した光学性能を含んだ投影像の解像力やシャープネスなどの評価（ＭＴＦ測定）は主観評価に頼り、特に数値での絶対評価測定などは行われていないのが現状であった。

以上に述べた課題のほかに投影評価面全体を走査して測定するために、測定に時間がかかるといった課題があった。

本発明は以上に述べた課題を解決するために、請求項１においては被測定光学系の焦点面に配置したターゲットを照明手段により拡大投影し、評価距離の面内において縦横に走査できる機構に配置した受光手段で投影像強度分布を受光し、性能を測定する装置において、前記、受光手段は垂直面内及び水平垂直軸周りに回転が可能な手段と、前記、被測定光学系の射出瞳方向に傾けた状態を設ける手段と、測定目的に応じたターゲット像の出力分布を受光する手段と、演算手段により傾き角による補正と測定目的に応じた処理を行う手段を設けている。

請求項２においては、受光手段に用いられる受光素子は波長域が異なる複数の波長で受光する手段を有し、それぞれの受光強度から評価目的の光源の色に対するウエート割合に応じた補正を行う手段と、ホワイトバランス処理を行った後に光学系性能を演算処理する手段を有している。

請求項３においては、被測定光学系の焦点面に配置したターゲットを照明手段により拡大投影し、評価距離の面内において縦横に走査できる機構に配置した受光手段で投影像強度分布を受光し、性能を測定する装置において、前記、評価投影面とターゲット面との平行度と被測定光学系光軸とを合わせる為に、被測定光学系とは異なる光軸調整のための投影光学系手段を有している。

請求項４においては前記、光軸調整のための投影光学系手段にはレーザー光源と回折格子チャートを用いる手段と、回折格子の対称な広がりが投影評価面での左右又は上下の中心からの乖離差を測定する手段を有し、その乖離量を無くすために投影系全体を調整する手段を有している。

請求項５においては被測定光学系の焦点面に配置したターゲットを照明手段により拡大投影し、評価距離の面内において縦横に走査できる機構に配置した受光手段で投影像強度分布を受光し、性能を測定する装置において、被測定光学系と焦点面に配置したターゲットを照明する手段は一体で構成される手段を有し、投影評価面とターゲット間の距離が設定可能な手段と上下左右移動手段と水平垂直面で使用可能手段を有している。

請求項６においては被測定光学系の焦点面に配置したターゲットを照明手段により拡大投影し、評価距離の面内において縦横に走査できる機構に配置した受光手段で投影像強度分布を受光し、性能を測定する装置において、ターゲット像をLCD等の光変調素子にPCで作成表示する手段を有し、その投影画像強度分布を前記受光手段と演算処理装置により光学性能を測定評価する手段を有している。

請求項７においては被測定光学系の焦点面に配置したターゲットを照明手段により拡大投影し、評価距離の面内において縦横に走査できる機構に配置した受光手段で投影像強度分布を受光し、性能を測定する装置において、前記、受光手段を複数備える手段を有している。

（作用）
請求項１においては被測定光学系の焦点面に配置したターゲットを照明手段により拡大投影し、評価距離の面内において縦横に走査できる機構に配置した受光手段で投影像強度分布を受光し、性能を測定する装置において、前記、受光手段は垂直面内及び水平垂直軸周りに回転が可能な手段と、前記、被測定光学系の射出瞳方向に傾ける手段と、測定目的に応じたターゲット像の出力分布を受光する手段と、演算手段により傾き角による補正と測定目的に応じた処理を行う手段を設けている。

従って、受光手段では投射画角によらず常に正対したターゲット像が到達するので、正確なターゲット像の出力分布が得られ、受光手段が傾くことによるスリット像の広がりは演算手段で補正する手段を設けているので正確な測定値を得ることができる。

請求項２においては、受光手段に用いられる受光素子は波長域が異なる複数の波長で受光する手段と、それぞれの受光強度から評価目的の光源の色に対するウエート割合に応じた補正を行う手段と光学系性能を演算処理する手段を有しているので、実際に使用する照明光源における光学系の測定値が得られる。

請求項３、および請求項４においては、被測定光学系の焦点面に配置したターゲットを照明手段により拡大投影し、評価距離の面内において縦横に走査できる機構に配置した受光手段で投影像強度分布を受光し、性能を測定する装置において、前記、評価投影面とターゲット面との平行度と被測定光学系光軸とを合わせる為に、被測定光学系とは異なる光軸調整のための投影光学系手段を有しているので、評価投影面とターゲット面との平行度と被測定光学系光軸とを合わせる操作が、軸外し光学系などの測定においても可能となる。

請求項５においては被測定光学系の焦点面に配置したターゲットを照明手段により拡大投影し、評価距離の面内において縦横に走査できる機構に配置した受光手段で投影像強度分布を受光し、性能を測定する装置において、被測定光学系と焦点面に配置したターゲットを照明する手段は一体で構成される手段を有し、投影評価面とターゲット間の距離が設定可能な手段と、上下左右移動手段と水平垂直面で使用可能手段を有しているので、投影評価面と被測定光学系光軸の垂直度の調整を簡単に行うことができるほか、受光手段のセンサー上に投影像の焦点を合わせることやディフォーカス特性などを測定可能となる。更に、評価画面位置が大きく移動する投射光学系やシフト光学系などの評価において、上下（縦）又は左右（横）に大きくシフト投影する場合に場所的な制約から性能を測定できない事が発生する事もある。例えば、上下に画面を移動させる測定に際して、その余裕がなく左右には余裕がある場合、簡単に９０度回転させることが簡単に可能で、大きく重い走査装置を移動しなくても済むことになる。

請求項６においては被測定光学系の焦点面に配置したターゲットを照明手段により拡大投影し、評価距離の面内において縦横に走査できる機構に配置した受光手段で投影像強度分布を受光し、性能を測定する装置において、ターゲット像をLCD等の光変調素子にPCで作成表示する手段を有し、その投影画像強度分布を前記受光手段と演算処理装置により光学性能を測定評価する手段を有しているので、実際の使用条件での測定が可能となるほか、従来の主観評価に頼った測定が定量化することが可能となる。

請求項７においては被測定光学系の焦点面に配置したターゲットを照明手段により拡大投影し、評価距離の面内において縦横に走査できる機構に配置した受光手段で投影像強度分布を受光し、性能を測定する装置において、前記、受光手段を複数備える手段を有しているので、走査範囲を受光手段毎に決め効率よく測定できる他、従来の測定時間と同じ時間を費やすのであれば、数多い測定点のデータも得られので、被測定光学系の詳細なデータが得られる事となる。

以上説明した本発明の光学系性能測定装置及びその方法においては光軸上からの投影角度や撮影角度が大きくなった場合や、使用される照明光源に合わせた測定、光軸あわせを正確に行う事ができるので被検光学系の正確な性能測定を効率よく行う事ができる。

また、プロジェクター光学系の性能が使用状態において絶対的な数値データとして得られるので評価が正確に行われることとなる。

（実施例１）
図により本発明の実施例について説明する。図1は本発明の第１の実施例で軸外し光学系を用い、上側に偏った形態で投影するフロントプロジュクターについてＭＴＦを測定する装置の全体構成の概略を示す図である。図２は被検光学系側より受光手段側を見た場合の概略図である。

構成は次の様になっている。１０は被測定光学系、２０は投影部でランプとコンデンサー等から成る光源部２１、あおり調整部２２、シフト調整部２３、被検物取り付け部２４、測定目的により交換できるターゲット(チャート)部２５、焦点調整機構２６などからなる。３０はＰＣ(システムコントロール・演算装置)、３１はＰＣ表示部、４０は移動積載台である。５０は走査部で受光部６０、が３個（６０ａ、６０ｂ、６０ｃ）配置され、それぞれに受光素子であるカラーラインセンサー６１（６１ａ、６１ｂ、６１ｃ）が組み込まれている。走査部５０には縦移動ガイド５１、横移動ガイド５２が設けられている。

構成各部の機能は次のようになっている。投影部２０は縦横に回転可能な形態となっている他、あおり調整部２２、シフト調整部２３により走査部に対する傾き角を調整可能となっている。ターゲット部２５には測定画面サイズに応じた幅のスリットが測定画角毎に刻まれている。更に、ターゲット部２５と被測定光学系１０との間隔は調整可能で焦点調整機構２６を介して、ＰＣ(システムコントロール・演算装置)３０のコントロールにより調整可能となっている。

更にまた、図３は図１に示す投影部２０を上から見た図で、光源部２１を取り外した後にレーザー光源照明系２７を挿入したものである。使用しない時は収納部にスライドして戻すことになる。なお、２９はレーザー光源で固定してある。

図１で示したターゲット(チャート)部２５には取り外し可能なターゲットが挿入されるが光軸合わせ操作には回折格子２８を取り付ける形態となっている。

移動積載台４０は投影部２０を積載したまま上下可動で、ＰＣ３０などを積載する。更に、被測定光学系１０と走査部５０との距離を設定可能になっている。

受光部６０の前面に組み込まれた受光素子であるカラーラインセンサー６１の仕様は７×１０μｍの画素が４０９６個並んだラインセンサー３本が水平に配置されたものを用いた。３本は図示しないが赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）、に感度を持っている。

受光部６０は走査部５０に設けられた縦移動ガイド５１ａ、５１ｂ、５１ｃ、横移動ガイド５２ａ、５２ｂに沿って図示しないモータにより移動可能となっている他、水平軸、垂直軸回りと垂直面内で別のモータにより回転可能となっている。それぞれのモータはＰＣ３０によりコントロールされる。なお、受光部が回転してもカラーラインセンサー６１の中心付近は被検光学系１０との距離が変動しない構造となっている。

次いで測定方法について図を用いて説明する。図５は本実施例における測定手順を説明する図である。

ステップ１は測定条件の設定である。各部作動部のスイッチを入れ、ＰＣに被検レンズの焦点距離や投影倍率測定用ターゲット情報をメモリーより選択し、利用可能にする。

ステップ２は測定距離の設定である。走査部５０は通常固定されているので測定条件によりカラーラインセンサー６１との距離を移動積載台４０の移動により設定する。

ステップ３は光軸調整準備の段階である。投影部２０内にある照明光学系を取り外した後にレーザー照明光源を挿入する、更に、ターゲット位置に円形回折格子２８を配置し、レーザー照明光源の電源を入れる。回折格子を通ったレーザー光は図３の矢印線の如く中心軸周りに多数の同心円を描くので光軸合わせに利用できる。なお回折格子は円形に限らず縦横になっている矩形のものでも可能である。また、被検物取り付け部２４とターゲット(チャート)部２５の平行度と同心度は別の方法で設定してある。

ステップ４は水平光軸合わせである。ステップ５と合わせて被検光学系の光軸と受光部６０が走査する評価面が直交した状態に設定するものである。まず受光部６０を回折像中心に配置し、残りの２つを水平面内に任意の等間隔で配置する。その際、外側に配置された受光部の中心を同位相の回折像が投影されていれば調整は完了する。異なっている場合は投影部のシフト調整部２３を作動させ同じ間隔になるよう調整する。この時、中心も移動するので再度受光部６０の設定位置を調整する。このことを繰り返し行うことにより水平面内の傾きが調整完了となる。

ステップ５は垂直光軸合わせである。受光部６０を回折像中心に配置し、残りの２つを垂直面内に任意の等間隔で配置する。設定方法はステップ４と同じように調整部２２を作動させながら垂直に対し行えばよい。なお、光軸調整には被検レンズ取り付け部に対して光軸が合うように調整された専用の工具レンズを用いても良いが、時間的、コスト的に不利なので本実施例では回折格子の方法を用いた。

ステップ６は投影準備である。投影部２０内にあるレーザー照明光源を退避させ、光源部２１を装着し、ターゲット位置にある円形回折格子２８を取り外し、ターゲット２５を挿入する。更に被検光学系を被検物取り付け部２４に取り付ける。

ステップ７は受光部角度合わせである。受光部を被検光学系の入射瞳方向に予めＰＣに記憶されている数値に基づき、サーボモーターの回転で受光素子中心を回転中心として傾ける。なお、入射角度が小さければ後の処理を省略するために傾きを与えなくてもよい。

ステップ８は明るさ調整と焦点合わせである。光源部２１のスイッチを入れターゲットを照明し評価画面中心に配置した受光部６０のほぼ中心に投影する。この時スリット像は水平(又は垂直)になっているので、ラインセンサーを直交させるため、必要に応じて受光部６１を評価面内で回転させ位置を合わせる。ＰＣ表示部３１にはスリット像強度分布が表示されるのでラインセンサーの飽和点より余裕を見た下のレベルになる明るさに図示しない手段で調整する。更にＰＣ３０よりターゲットの焦点調整機構を作動させ被検光学系との間隔を変えながらＰＣ表示部３１のスリット像強度分布が高くなり、且つ、幅の狭くなる位置を決める。焦点が合うに連れてスリット像強度分布は高くなるが、最高値は常に飽和点より余裕を見た８〜７割程度に抑えるのがよい。焦点位置はＲ、Ｇ、Ｂ各色で異なるが通常はＧ色によるスリット像で焦点位置を決める。

ステップ９は投影画像取り込みである。投影されたスリットに直交する強度分布を像のＲＧＢ各色に対する測定値として複数回にわたり取り込み、平均値をＰＣ上のメモリーに記録する。

ステップ１０は投影画像の補正である。取り込んだデータは明るさレベルを別途決められているテーブルに基づきリニアリティーの補正と最高明るさレベルを決められた一定値に正規化する。次いで投影距離による拡大倍率、又は別途測定された拡大倍率分の補正を行う。更に、受光部を傾けた角度θに比例してスリット像幅が小さくなっているので、測定されたスリット像幅相当のセンサー素子間距離をｃｏｓθで除算することにより補正する。この時、評価面に対し斜め方向すなわち評価面に対し上下、左右に傾きがある場合は両方の角度分に応じ二回の除算を行う。

ステップ１１は光源色の補正である。測定に使用している色温度（相対分光強度分布）と実際に使用する色温度についてＲＧＢ各センサーの強度比として予め求めてあるテーブルに基づき評価目的の光源の色に対するウエート割合に応じた補正を行う。次いで、ＲＧＢの強度分布をＮＴＳＣ輝度変換方式により輝度値に変換しメモリーに保存される。変換方法は目的により任意に選択可能であり、ＲＧＢ毎に保存してもよい。

ステップ１２はＭＴＦ演算である。投影スリット像の強度分布はＬＳＦとよばれ、出力形態は図８に示す様な分布となる。横軸が受光素子ピッチから求められる投影像の大きさで縦軸が正規化された出力値である。ＬＳＦはステップ１１に示すスリットや投影倍率の補正計算を経て演算手段によりＭＴＦを求めることになる。一般的には離散的な周波数に対するフーリエ変換を行い、スリット幅から得られる理想的フーリエ像との比により周波数毎のＭＴＦが求められることになる。

ステップ１３は受光部の移動である。ステップ９でスリット画像がメモリーに蓄えられることが終了した後、受光部は決められた次の位置に移動する。3個備えられた受光部はＰＣへの予めの移動情報に基づきステップ７、ステップ９を交互に行い、次の測定点へと評価画面内を移動し、被測定光学系の射出瞳に正対させる操作を行う。その後、ステップ１０からステップ12を瞬時に実行する。

受光部は３個配置されているので、上述の様に個々にステップ毎に行うのではなくPCより制御された移動と画像取り込みを並列的に行い、３個配置し移動距離を短縮した効果と重なり測定時間が大幅に短縮できる。

ステップ１４は測定データの表示である。ＰＣ内の演算手段によりＭＴＦを求めた結果は例えば図９の様な周波数特性値などとして表示され、必要に応じてプリントなども可能となっている。

ステップ１５は測定条件の変更である。必要な測定条件、例えば、測定スリットの縦横変換、評価画面のシフト量の変更、開口絞りの変更などを行いステップ７からステップ１４を繰り返すこととなる。なお、評価画面のシフト量変更で図１に示す測定範囲より大きな角度、例えばθ２などの大きな角度で測定する場合は投影部２０を90度回転し水平方向に展開して同じように測定すればよい。
以上で測定は終了ステップとなる。

（実施例２）
図により本発明の第２の実施例について説明する。図４は本発明の第２の実施例で全体構成の概略を示す図である。被検光学系は第１の実施例と同じ軸外し光学系を用い、上側に偏った形態で投影するフロントプロジュクター画像についてターゲット(スリット)像をLCD等の光変調素子にPCで作成表示し、その投影画像強度分布を演算処理装置により光学性能を測定する例を示す。

構成は第１の実施例で述べた投影部２０を取り去り被検プロジュクター７０を配置したものであり、５０の走査部、３０のＰＣ(システムコントロール・演算装置)部など同じものである。

測定方法は第１の実施例で述べた方法とほぼ動じであるが、ステップ３からステップ7までの光軸合わせに関する操作は光学系がプロジェクターに組み込まれているため、従来の方法で行うことになる。またＭＴＦの算出も第１の実施例で述べた方法であると投射光学系に対しては相対的なものに留まるが、プロジェクター総合のＭＴＦ評価値としては十分な絶対値がもとめられる。

本発明の第１の実施例における全体構成の概略を示す図である。被検光学系側より見た場合の走査部の全体構成の概略を示す図である。投影部を光軸調整用に変更した構成を示す図である。本発明の第２の実施例における全体構成の概略を示す図である。測定方法を表すステップ図である。 MTFの周波数特性を表す例の図である。従来の実施例における全体構成の概略を示す図である。線像強度分布（LSF）の例を示す図である。受光素子への入射角によるＬＳＦの変化の例を示す図。

符号の説明

１０被測定光学系
２０投影部
２１光源部
２５ターゲット(チャート)部
３０ＰＣ(システムコントロール・演算装置)
４０移動積載台
５０走査部
５１縦移動ガイド
５２横移動ガイド
６０受光部
６１カラーラインセンサー
７０共軸レンズ
８０フロントプロジェクター

Claims

被測定光学系の焦点面に配置したターゲット(スリット)を照明手段により拡大投影し、評価距離の面内において縦横に走査できる機構に配置した受光手段で投影像強度分布を受光し性能を測定する装置において、前記受光手段は垂直面内及び水平垂直軸周りに回転が可能で、前記、被測定光学系の射出瞳方向に傾けた状態で、測定目的に応じたターゲット像の出力分布を受光し、演算手段により傾き角による補正と測定目的に応じた処理を行うことにより光学系の性能を測定する光学系性能測定装置及びその方法。
前記、受光手段に用いられる受光素子は波長域が異なる複数の波長で受光され、それぞれの受光強度は評価目的の光源の色に対するウエート割合に応じた補正を行った後に光学系性能を演算処理する、請求項１に記載される光学系性能測定装置及びその方法。
被測定光学系の焦点面に配置したターゲット(スリット)を照明手段により拡大投影し、評価距離の面内において縦横に走査できる機構に配置した受光手段で投影像強度分布を受光し、性能を測定する装置において、前記、評価投影面とターゲット面との平行度を合わせる為に、被測定光学系とは異なる光軸調整のための投影光学系を備えていることを特徴とする光学系性能測定装置及びその方法。
請求項３に記載の光軸調整のための投影光学系手段はレーザー光源と回折格子チャートを用い、回折格子の対称な広がりが投影評価面での左右又は上下の中心からの乖離差を測定し、その乖離量を無くすために投影系全体を調整する手段を有する光学系性能測定装置及びその方法。
被測定光学系の焦点面に配置したターゲットを照明手段により拡大投影し、評価距離の面内において縦横に走査できる機構に配置した受光手段で投影像強度分布を受光し、性能を測定する装置において、被測定光学系と焦点面に配置したターゲットを照明する手段は一体で構成され、投影評価面とターゲット間の距離が設定可能で上下左右移動と水平垂直面で使用可能な請求項１、及び、請求項３、請求項４に記載される光学系性能測定装置及びその方法。
被測定光学系の焦点面に配置したターゲットを照明手段により拡大投影し、評価距離の面内において縦横に走査できる機構に配置した受光手段で投影像強度分布を受光し、性能を測定する装置において、ターゲット像をLCD等の光変調素子にPCで作成表示し、その投影画像強度分布を前記受光手段と演算処理装置により光学性能を測定評価する光学系性能測定装置及びその方法。
被測定光学系の焦点面に配置したターゲット(スリット)を照明手段により拡大投影し、評価距離の面内において縦横に走査できる機構に配置した受光手段で投影像強度分布を受光し、性能を測定する装置において、前記、受光手段を複数備えたことを特徴とする請求項１、請求項３、請求項５、請求項６記載の光学系性能測定装置及びその方法。