JP2006026819A

JP2006026819A - Transfer robot

Info

Publication number: JP2006026819A
Application number: JP2004210003A
Authority: JP
Inventors: Fumio Sakitani; 文雄崎谷
Original assignee: Rorze Corp
Current assignee: Rorze Corp
Priority date: 2004-07-16
Filing date: 2004-07-16
Publication date: 2006-02-02

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce the volume of dust generated from the transfer robot itself by turning the robot for transferring a glass sheet, and to narrow the moving area of the robot including the glass sheet, to thereby widen the transferable area for the glass sheet. <P>SOLUTION: The transfer robot is so designed that, by installing the revolving conveyance means for conveying the revolving movement of a driving arm from a driving source separately from the driving arm and a subordinate movement arm, which supports an end effecter for holding the glass sheet, the end effecter can pass through an area above the driving source during its reciprocating movement. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、移動及び処理を行う際に高清浄な環境を必要とする基板等の搬送ロボットに関するものである。本発明は、移動及び処理を行う際に高い清浄環境を必要とする物品のいずれにも適用可能である。特に半導体ウエハや、ＬＣＤなどの電子部品である基板（以下、基板と称する。）をあげて説明するが、これは例示のためであり、本発明を限定するものではない。 The present invention relates to a transfer robot for a substrate or the like that requires a highly clean environment when moving and processing. The present invention is applicable to any article that requires a high clean environment when moving and processing. In particular, a semiconductor wafer or a substrate (hereinafter referred to as a substrate) which is an electronic component such as an LCD will be described. However, this is for illustrative purposes and does not limit the present invention.

一般に半導体やＬＣＤ等の基板の製造は高清浄な環境いわゆるクリーンルームで行われる。このクリーンルーム内に備えられる基板の製造装置は、多種多様の処理を行うために１つの処理装置に複数の処理室を有する場合がある。このような処理装置では、製品の歩留まり（良品率）を高くするため、各種処理を行う処理室内を気密可能に閉鎖することでその内部をさらに高清浄に保ち、加工処理を行っている。さらに各処理室は移載室に連結され、移載室自身も気密に閉鎖可能である。また、移載室に搬送ロボットを備えることで、製造装置内に基板を搬出入するために気圧調整・清浄度保持等をするためのロードロック室から各処理室へ基板の移動を行うことができる。 In general, substrates such as semiconductors and LCDs are manufactured in a highly clean environment, that is, a clean room. The substrate manufacturing apparatus provided in the clean room may have a plurality of processing chambers in one processing apparatus in order to perform various processes. In such a processing apparatus, in order to increase the product yield (non-defective product rate), the processing chamber in which various processes are performed is hermetically closed so that the inside thereof is further cleaned and processing is performed. Further, each processing chamber is connected to the transfer chamber, and the transfer chamber itself can be hermetically closed. Also, by providing a transfer robot in the transfer chamber, it is possible to move the substrate from the load lock chamber for adjusting the atmospheric pressure and maintaining the cleanliness to carry the substrate in and out of the manufacturing apparatus to each processing chamber. it can.

図８は、特許文献１の図１に示す（いわゆるフロッグレッグ式）のリンク機構を有する搬送ロボットである。この搬送ロボットは、鉛直方向に回動軸を有する駆動源を先端アーム２０の進退方向と直角をなす方向に２つ並んで備える。この駆動源１０の作動により、駆動源１０上部に固設した駆動アーム２の一端を回動すると共に、この駆動アーム２他端には円弧部１２，１３を介して備える受動アーム３（従動アーム）が連動して、２つの受動アーム３（従動アーム）の先端に共有する先端アーム２０を進退運動によりウエハ等を搬送するものである。 FIG. 8 shows a transfer robot having a link mechanism (so-called frog-leg type) shown in FIG. This transport robot includes two drive sources having a rotation axis in the vertical direction, arranged in a direction perpendicular to the advance / retreat direction of the tip arm 20. By the operation of the drive source 10, one end of the drive arm 2 fixed to the upper part of the drive source 10 is rotated and the other end of the drive arm 2 is provided with a passive arm 3 (driven arm) provided via arcuate portions 12 and 13. In conjunction with this, the tip arm 20 shared by the tips of the two passive arms 3 (driven arms) is moved forward and backward to transport the wafer and the like.

また、この搬送ロボットの駆動アーム２と受動アーム３とは同じ高さ上にあり、搬送ロボットの全体高さを増すことなく搬送ストロークを得ることを特徴とした搬送ロボットである。 Further, the drive robot 2 and the passive arm 3 of the transfer robot are on the same height, and the transfer robot is characterized in that a transfer stroke can be obtained without increasing the overall height of the transfer robot.

図９は特許文献１の図２に記載された前述の駆動アーム２と受動アーム３とを回動可能に連結する円弧部１２、１３を示す。この円弧部１２、１３の間に十字掛け状にスチールベルトを取り付けることで、駆動アームと受動アームが連動して互いに逆方向に回動するものである。また、このロボットでは先端アーム２０にも円弧部を備えることで、先端アームに対して一方の受動アームが回動すれば、その回転角度だけ他方受動アームも逆方向に回動する。 FIG. 9 shows arc portions 12 and 13 that rotatably connect the drive arm 2 and the passive arm 3 described in FIG. By attaching a steel belt in a cross-shaped manner between the arc portions 12 and 13, the drive arm and the passive arm are rotated in opposite directions in conjunction with each other. Further, in this robot, the tip arm 20 is also provided with an arc portion, so that when one passive arm rotates with respect to the tip arm, the other passive arm also rotates in the opposite direction by the rotation angle.

図１０は、特許文献２の図４に記載された搬送ロボットを文献中の符号の通り示す。この搬送ロボットには、互いに独立して連動することができる駆動軸３ａ，３ｂを同軸状で、かつ、高さが異なるように備えている。この駆動軸３ａ，３ｂは互いに逆若しくは同じ方向に回動することで、その側部に固設した第１の腕６が作動することにより、その内部に備えるベルト機構を介して第二の腕８が連動して、半導体ウエハを積載するキャリアを移動することができるものである。 FIG. 10 shows the transfer robot described in FIG. 4 of Patent Document 2 according to the reference numerals in the document. This transfer robot is provided with drive shafts 3a and 3b that can be interlocked independently of each other so as to be coaxial and have different heights. The drive shafts 3a and 3b are rotated in the opposite direction or the same direction, and the first arm 6 fixed to the side portion thereof is operated, whereby the second arm 8 is moved via the belt mechanism provided therein. In conjunction with this, the carrier on which the semiconductor wafer is loaded can be moved.

特開平９−２１９４３１号公報JP-A-9-219431 特開平９−２８３５８８号公報JP-A-9-283588

前記製造装置では装置内部を高清浄にするため真空状態にすることがある。前述の製造装置の搬送ロボットは駆動源を大気中（処理装置の外側）に備え、ウエハを保持するアーム等は真空中に備える。このため図１０に示す搬送ロボットにおいて、大気と真空とを分ける境界部分に耐圧・防塵用磁性シール等を有する軸受けを備える必要がある。この軸受けを複数備えることは、コストが増大し、搬送ロボットも大きくなるという問題がある。 In the manufacturing apparatus, the inside of the apparatus may be in a vacuum state in order to make it highly clean. The transfer robot of the manufacturing apparatus described above includes a drive source in the atmosphere (outside of the processing apparatus), and an arm or the like for holding the wafer is provided in a vacuum. For this reason, in the transfer robot shown in FIG. 10, it is necessary to provide a bearing having a pressure-proof and dust-proof magnetic seal or the like at the boundary between the atmosphere and the vacuum. Providing a plurality of bearings increases the cost and increases the size of the transfer robot.

また、図８で示す特許文献１の搬送ロボット１０は、駆動アーム２と受動アーム３とは同じ高さの水平面内で回動するため、駆動アーム２を駆動軸１１周りに９０°程度しか回動できないため、進退運動する距離が短くなる。この問題を解決するには駆動アーム２と受動アーム３を長くする必要がある。このため、先端アーム上に載置したガラス基板等を含めた搬送ロボットの旋回半径（稼働範囲）が大きくなる。また、この搬送ロボットを備える製造装置の大きさが大きくなるという新たな問題が生じる。 Further, in the transfer robot 10 of Patent Document 1 shown in FIG. 8, the drive arm 2 and the passive arm 3 rotate in a horizontal plane having the same height, so that the drive arm 2 rotates only about 90 ° around the drive shaft 11. Since it cannot move, the distance to advance and retreat is shortened. To solve this problem, it is necessary to lengthen the drive arm 2 and the passive arm 3. For this reason, the turning radius (operation range) of the transfer robot including the glass substrate and the like placed on the tip arm is increased. In addition, a new problem arises that the size of the manufacturing apparatus including the transfer robot is increased.

図１０の搬送ロボットでは、第２の腕を駆動するためにベルト機構を備える。前述した真空状態にした処理装置内部にゴム製のベルトを使用すると、添加された有機物やその他含有物が空気中に舞って、それがウエハ表面に付着して汚染を引き起こすという問題が生じやすい。また、この搬送ロボットは第１の腕と第２の腕との軸間長さが異なるため、アームの動作制御が困難である。 The transport robot shown in FIG. 10 includes a belt mechanism for driving the second arm. When a rubber belt is used inside the processing apparatus in a vacuum state as described above, there is a problem that the added organic matter and other inclusions move into the air and adhere to the wafer surface to cause contamination. In addition, since the inter-axis lengths of the first arm and the second arm are different in this transfer robot, it is difficult to control the operation of the arm.

本願発明の搬送ロボットは、ベース板上に回動軸を有する第一駆動源と、第一駆動源の回動軸と同芯状に回動軸を有する第二駆動源と、第一駆動源と第二駆動源の側面に突出してそれぞれ備える駆動アームと、各駆動アーム他端に備えて、駆動アームの回動を従動アームに伝達する第一回動伝達手段と、前記従動アーム先端に第二回動伝達手段を介して回動可能に支持するエンドエフェクタとからなり、駆動源の作動によってエンドエフェクタが水平面内を進退運動することができる。 The transfer robot according to the present invention includes a first drive source having a rotation axis on a base plate, a second drive source having a rotation axis concentric with the rotation axis of the first drive source, and a first drive source. And a drive arm provided on each side of the second drive source, a first rotation transmitting means provided at the other end of each drive arm for transmitting the rotation of the drive arm to the driven arm, and a first at the tip of the driven arm. It comprises an end effector that is rotatably supported via a two-rotation transmission means, and the end effector can move back and forth in a horizontal plane by the operation of the drive source.

本願発明の第一回動伝達手段と第二回動伝達手段は筐体を有しており、該筐体内に駆動アームの支軸と従動アームの各支軸の回動方向と逆方向で、且つ、速度比が１となるように動力を伝達する回動伝達機構を備える回動伝達手段である。また、回動伝達機構は、ベルト機構、歯車機構、並びにクランク機構などを備える構成としてもよい。 The first rotation transmission means and the second rotation transmission means of the present invention have a housing, and the rotation direction of the support shaft of the drive arm and the support shaft of the driven arm is opposite to the rotation direction in the housing. And it is a rotation transmission means provided with the rotation transmission mechanism which transmits motive power so that a speed ratio may be set to 1. Further, the rotation transmission mechanism may include a belt mechanism, a gear mechanism, a crank mechanism, and the like.

また、この搬送ロボットでは、駆動アームと従動アームとの軸間距離を異なるものとしてもかまわないが、軸間距離を等しくすることが望ましい。これは駆動源の作動に対応するエンドエフェクタの現在位置の把握が容易となることから、制御方法を簡易にすることができるためである。 In this transfer robot, the distance between the axes of the drive arm and the driven arm may be different, but it is desirable that the distance between the axes be equal. This is because the current position of the end effector corresponding to the operation of the drive source can be easily grasped, and the control method can be simplified.

本願発明の搬送ロボットは、エンドエフェクタの進行・後退方向にそれぞれ基板保持部を備えて進退双方向に移動の際に基板の受け渡しを行うことができる。 The transfer robot according to the present invention includes a substrate holding portion in each of the end effector's advancing and retreating directions, and can transfer the substrate when moving in both advancing and retreating directions.

本発明の搬送ロボットの駆動アームと従動アームは、回動伝達手段にそれぞれ回動可能に支持されている。この回動伝達手段により駆動アームを１８０°程度回動しても動作死点を有さない（ジャックナイフ現象を起こさない）。このことから、従動アームは駆動アームの回動角度に対応して所定の回動を行うことができる。また、この回動伝達手段をユニットとして駆動アームと従動アームとから独立して備えることで、駆動アームを回動伝達手段の上側若しくは下側領域で１８０°程度自在に回動することができきる。さらに、エンドエフェクタをその進退運動の進退方向いずれの方向へも備えることで、進退運動の双方向に移動する際にも基板の受け渡しを行うことができる。
また、本願発明の搬送ロボットでは、ベルト機構に代えてリンク機構を備える。これにより処理室内を有機物による汚染を減少させることができる。
さらに、駆動アームと従動アームの軸間距離を等しくすることでこれにより、エンドエフェクタの移動位置算出、速度制御が容易である。 The drive arm and the follower arm of the transfer robot according to the present invention are rotatably supported by the rotation transmitting means. Even if the drive arm is rotated about 180 ° by this rotation transmission means, there is no operation dead point (no jackknife phenomenon occurs). Thus, the driven arm can perform a predetermined rotation corresponding to the rotation angle of the drive arm. Further, by providing this rotation transmission means as a unit independently from the drive arm and the driven arm, the drive arm can be freely rotated about 180 ° in the upper or lower region of the rotation transmission means. . Further, by providing the end effector in any direction of the forward / backward movement, the substrate can be transferred even when moving in both directions of the forward / backward movement.
In addition, the transport robot of the present invention includes a link mechanism instead of the belt mechanism. Thereby, the contamination by the organic matter in the processing chamber can be reduced.
Furthermore, by making the distance between the axes of the drive arm and the driven arm equal, it is easy to calculate the movement position of the end effector and to control the speed.

図１は本願発明の搬送ロボット１ａを示す斜視図である。この搬送ロボット１ａでは、基板の処理装置内部に搬送ロボット１ａを固定するためのベース板２上に鉛直方向の回動軸を有する第一駆動源３ａと、この第一駆動源３ａと同心状に高さをずらして第二駆動源３ｂを備える。この第一駆動源３ａと第二駆動源３ｂのそれぞれの側面に、水平面内に突出する棒形状の駆動アーム４ａ、４ｂを備える。この搬送ロボット１ａでは、駆動部３ａ、３ｂの作動により駆動アーム４ａ、４ｂが回動して、その先端に備える回動伝達手段５ａ、５ｂを介して従動アーム６ａ、６ｂが連動して、エンドエフェクタ７上の基板を移動できるリンク機構を備える。 FIG. 1 is a perspective view showing a transfer robot 1a according to the present invention. In this transfer robot 1a, a first drive source 3a having a vertical rotation axis on a base plate 2 for fixing the transfer robot 1a inside the substrate processing apparatus, and concentric with the first drive source 3a. The second drive source 3b is provided with the height shifted. The side surfaces of the first drive source 3a and the second drive source 3b are provided with rod-shaped drive arms 4a and 4b protruding in a horizontal plane. In this transfer robot 1a, the drive arms 4a and 4b are rotated by the operation of the drive units 3a and 3b, and the driven arms 6a and 6b are interlocked with each other via the rotation transmitting means 5a and 5b provided at the distal ends thereof. A link mechanism capable of moving the substrate on the effector 7 is provided.

図中符号の５ａ、５ｂに示す回動伝達手段は、駆動アーム４ａ、４ｂと従動アーム６ａ、６ｂとを回動可能に連結するとともに、駆動アーム４ａ、４ｂと従動アーム６ａ、６ｂが逆方向に速度比１で回動を伝達するものである。さらに、この搬送ロボット１ａでは、エンドエフェクタ７上の従動アーム６ａ、６ｂの各支軸を逆方向に、且つ、速度比１となるように回動する回動伝達手段５ｃを備える。また、回動伝達手段５ａ、５ｂの上部に駆動アーム４ａ、４ｂを備えることで、駆動アーム４ａ、４ｂが１８０°程度回転でき、この間に従動アーム６ａ、６ｂが連動して、エンドエフェクタ７が進退運動する。このためエンドエフェクタ７等が駆動源３ａ、３ｂ上方領域を通過して進退運動するので、基板を広い範囲で搬送することができる。この搬送ロボットでは、進退運動の進行方向と後退方向のいずれにおいても基板８（ここでは、８は平板状のガラス板であり、透明なので輪郭のみ示す。）の受け渡しが可能となるように、エンドエフェクタの進行方向と後退方向とに基板保持部９を備える。 The rotation transmitting means indicated by reference numerals 5a and 5b in the drawing connects the drive arms 4a and 4b and the driven arms 6a and 6b so as to be rotatable, and the drive arms 4a and 4b and the driven arms 6a and 6b are in opposite directions. The rotation is transmitted at a speed ratio of 1. Further, the transfer robot 1a includes a rotation transmission means 5c for rotating the respective support shafts of the driven arms 6a and 6b on the end effector 7 in the reverse direction so that the speed ratio becomes 1. Further, by providing the driving arms 4a and 4b above the rotation transmitting means 5a and 5b, the driving arms 4a and 4b can be rotated by about 180 °, and the driven arms 6a and 6b are interlocked during this time so that the end effector 7 is Move forward and backward. For this reason, the end effector 7 and the like move forward and backward through the regions above the drive sources 3a and 3b, so that the substrate can be transported in a wide range. In this transfer robot, the substrate 8 (here, 8 is a flat glass plate and is transparent so that only the outline is shown) can be delivered in both the advancing and retreating movement direction and the retreating direction. Substrate holders 9 are provided in the effector advance and retract directions.

図２は図１に示す搬送ロボット１ａの平面図である。この搬送ロボット１ａでは駆動アーム４ａ、４ｂと従動アーム６ａ、６ｂとが、図中一点鎖線で示す中心線に対して対称となるように備える。この搬送ロボットは、図２Ｂに示すように駆動アーム４ａと駆動アーム４ｂとが１８０°異なる方向に向いた状態から、駆動アーム４ａを時計回りに回動すると共に、駆動アーム４ｂを反時計回りに回動することで、図２Ａに示す位置にエンドエフェクタ７が図中一点差線上で白抜き矢印ｄ方向に進退運動できる。また、駆動アーム４ａと駆動アーム４ｂを同じ方向に回動したときはエンドエフェクタを白抜き矢印ｆ方向に回動できる。また、図２（Ａ）状態から図２（Ｂ）を経て、図２（Ｃ）の状態にまでエンドエフェクタを後退することができる。この搬送ロボットでは、図２（Ｃ）の位置まで後退させた後、図２（Ｂ）の白抜き矢印ｆ方向に回動させることで、エンドエフェクタ７に吸着保持する基板８に回動による慣性力の影響を少なくすることができる。さらに図２（Ｃ）で示すように、この搬送ロボットでは一方のエンドエフェクタ７により基板９を保持しながら、旋回方向に１８０°異なる方向に備える他方のエンドエフェクタ７により受け渡しを行うことができる。 FIG. 2 is a plan view of the transfer robot 1a shown in FIG. In this transfer robot 1a, the drive arms 4a and 4b and the driven arms 6a and 6b are provided so as to be symmetric with respect to the center line indicated by a one-dot chain line in the drawing. As shown in FIG. 2B, the transfer robot rotates the drive arm 4a clockwise and turns the drive arm 4b counterclockwise from a state in which the drive arm 4a and the drive arm 4b are oriented 180 degrees different from each other. By rotating, the end effector 7 can move forward and backward in the direction of the white arrow d on the one-dot chain line in the drawing at the position shown in FIG. 2A. When the drive arm 4a and the drive arm 4b are rotated in the same direction, the end effector can be rotated in the direction of the white arrow f. Further, the end effector can be retracted from the state of FIG. 2A to the state of FIG. 2C through FIG. 2B. In this transfer robot, after being retracted to the position shown in FIG. 2C, it is rotated in the direction of the white arrow f in FIG. The influence of force can be reduced. Further, as shown in FIG. 2C, in this transfer robot, the substrate 9 is held by one end effector 7 and can be transferred by the other end effector 7 provided in a direction different from the turning direction by 180 °.

図２Ｂの搬送ロボット１ａの従動アーム６ａ、６ｂは、その長さＴが駆動アーム４ａ、４ｂの長さＳより短くなっており、駆動源３ａ、３ｂの回動中心を含む中心線からエンドエフェクタ７上の駆動アーム４ａ、４ｂの回動中心までの距離をＵとしたとき、Ｓ＝Ｔ＋Ｕが成り立つように駆動アーム４ａ、４ｂ等を備える。 The driven arms 6a and 6b of the transfer robot 1a in FIG. 2B have a length T shorter than the length S of the drive arms 4a and 4b, and end effectors from the center line including the rotation centers of the drive sources 3a and 3b. The drive arms 4a, 4b, etc. are provided so that S = T + U is established, where U is the distance to the center of rotation of the drive arms 4a, 4b on the top 7.

図２Ｃは、図２Ｂの状態から駆動アーム４ａを反時計回り、駆動アーム４ｂを時計回りに回動して、エンドエフェクタを白抜き矢印ｅ方向に向けて移動したときの状態を示すものである。この搬送ロボット１ａのエンドエフェクタ７には、進退動作する方向にそれぞれ基板保持部９を備え、前進・後退それぞれの動作時に基板８の受け渡しが可能である。 FIG. 2C shows a state in which the drive arm 4a is rotated counterclockwise and the drive arm 4b is rotated clockwise from the state of FIG. 2B to move the end effector in the direction of the white arrow e. . The end effector 7 of the transfer robot 1a is provided with a substrate holding portion 9 in each of the forward and backward movement directions, and the substrate 8 can be transferred during forward and backward movements.

図１の搬送ロボット１ａでは、駆動アーム４ａ、４ｂと従動アーム６ａ、６ｂの軸間距離が異なっているのに対して、図３では、駆動アーム４ａ、４ｂの軸間距離Ｖと従動アーム６ａ、６ｂの軸間距離Ｗとが等しい搬送ロボット１ｂについて説明する。この搬送ロボットは、駆動アーム４ａ、４ｂのそれぞれ上部に備える従動アーム６ａ、６ｂを進退運動の方向にずらして備える。 In the transfer robot 1a in FIG. 1, the drive arms 4a and 4b and the driven arms 6a and 6b have different interaxial distances, whereas in FIG. 3, the interaxial distance V between the drive arms 4a and 4b and the driven arms 6a. The transfer robot 1b having the same inter-axis distance W of 6b will be described. This transfer robot includes driven arms 6a and 6b provided on the upper portions of the drive arms 4a and 4b, respectively, shifted in the forward and backward movement directions.

図４は図３に示す搬送ロボット１ｂの作用状態を示す平面図である。図４Ｂに示す搬送ロボット１ｂでは、エンドエフェクタ７上にある従動アーム６ａ、６ｂの回動軸中心が、駆動源３ａ、３ｂの図中の一点鎖線で示す中心線上となるように従動アーム４ａ、４ｂを備えると共に、図中左側の従動アーム６ａを駆動アーム４ａに対して矢印ｇ側にずらした箇所に備え、また、図中右側の従動アーム６ｂは駆動アーム４ｂに対して矢印ｈ側にずらした箇所に備える。この搬送ロボット１ｂは図４Ａ〜Ｃに示すようにエンドエフェクタ上の回動中心は進退動作中、常に中心線上を通って移動する。 FIG. 4 is a plan view showing the operating state of the transfer robot 1b shown in FIG. In the transfer robot 1b shown in FIG. 4B, the driven arms 4a and 6b on the end effector 7 have the driven arms 4a and 6b so that the rotation axis centers are on the center line indicated by the one-dot chain line in the drawing of the drive sources 3a and 3b. 4b, the left driven arm 6a on the left side in the figure is shifted to the arrow g side with respect to the drive arm 4a, and the right driven arm 6b in the figure is shifted to the arrow h side with respect to the drive arm 4b. Prepare for the location. As shown in FIGS. 4A to 4C, the center of rotation of the transfer robot 1b always moves along the center line during the forward / backward movement.

図５は本願発明の回動伝達手段５ａ（５ｂ）を示す一部切り欠き斜視図である。この回動伝達手段５ａ（５ｂ）は、筐体１０を有しており、この筐体１０下部に備える駆動アーム４ａ（４ｂ）と上部に備える従動アーム６ａ、６ｂとを回動可能に支持する。この筐体１０内部に備える駆動アーム支軸１１と従動アーム支軸１２との間をＳ字形状と逆Ｓ字状に２本の屈曲自在なスチールベルト１３を上下方向に高さをずらして巻き付けて、両端をベルト固定部１４により固定して備える。 FIG. 5 is a partially cutaway perspective view showing the rotation transmitting means 5a (5b) of the present invention. The rotation transmitting means 5a (5b) has a housing 10, and rotatably supports a drive arm 4a (4b) provided at the lower portion of the housing 10 and driven arms 6a and 6b provided at the upper portion. . Two bendable steel belts 13 are wound around the drive arm support shaft 11 and the driven arm support shaft 12 provided inside the housing 10 in an S-shape and an inverted S-shape while shifting the height in the vertical direction. Both ends are fixed by the belt fixing portion 14.

図６は、図５の回動伝達手段５ａ（５ｂ）のベルト１３に代えて、歯車１５を用いた回動伝達手段５ａ（５ｂ）を示す一部切り欠き斜視図である。この回動伝達手段５ａ（５ｂ）は駆動アーム支軸１１と従動アーム支軸１２に速度比が１となるように歯車１５をそれぞれ備える。これら双方の歯車１５がかみ合うことにより、駆動アーム４ａ、４ｂ側からの動力が従動アーム６ａ、６ｂ側に伝達する。 FIG. 6 is a partially cutaway perspective view showing a rotation transmission means 5a (5b) using a gear 15 instead of the belt 13 of the rotation transmission means 5a (5b) of FIG. The rotation transmission means 5a (5b) includes gears 15 so that the speed ratio is 1 between the drive arm support shaft 11 and the driven arm support shaft 12. When these two gears 15 are engaged with each other, power from the drive arms 4a and 4b is transmitted to the driven arms 6a and 6b.

図７は、図５に示す回動伝達手段５ａ、５ｂのベルト１３に代えて、クランク機構を用いた回動伝達手段５ａ（５ｂ）を一部切り欠き斜視図に示す。この回動伝達手段５ａ（５ｂ）では、筐体１０内部に駆動アーム支軸１１と従動アーム支軸１２とを回動可能に備える。この駆動アーム支軸１１と従動アーム支軸１２の側面に突出したクランク部１６をそれぞれ備える。また、このクランク部１６が延在する方向が常に平行であり、かつ、各支軸周りに１８０°異なる方向に向くように双方のクランク部１６を回動可能に連結する連結部材１７を備える。この連結部材１８はクランク部１６の可動回動範囲を拡げるため、長板形状の連結部材１７に駆動アーム支軸１１を避けるように、半円形の切り込みのある形状となっている。 FIG. 7 is a perspective view in which a rotation transmitting means 5a (5b) using a crank mechanism is partially cut out instead of the belt 13 of the rotation transmitting means 5a and 5b shown in FIG. In this rotation transmission means 5a (5b), a drive arm support shaft 11 and a driven arm support shaft 12 are rotatably provided in the housing 10. Crank portions 16 projecting from the side surfaces of the drive arm support shaft 11 and the driven arm support shaft 12 are provided. In addition, a connecting member 17 is provided that rotatably connects the crank portions 16 so that the extending directions of the crank portions 16 are always parallel and are directed in directions different by 180 ° around the respective support shafts. The connecting member 18 has a semicircular cut shape so as to avoid the drive arm support shaft 11 in the long plate-shaped connecting member 17 in order to expand the movable rotation range of the crank portion 16.

本発明のリンク式アームを備える搬送ロボットを示す斜視図である。It is a perspective view which shows a conveyance robot provided with the link type arm of this invention. 図１の搬送ロボットを示す平面図である。It is a top view which shows the conveyance robot of FIG. 図１の搬送ロボットと異なり、駆動アームと従動アームの長さが等しい搬送ロボットを示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a transfer robot having a drive arm and a driven arm having the same length, unlike the transfer robot of FIG. 図３の搬送ロボットを示す平面図である。It is a top view which shows the conveyance robot of FIG. 本願発明の搬送ロボットの回動伝達手段を示す一部切り欠き斜視図である。It is a partially cutaway perspective view showing the rotation transmission means of the transfer robot of the present invention. 図５に示す回動伝達手段のベルトに代えて、歯車機構を用いたものを示す。A gear mechanism is used instead of the belt of the rotation transmitting means shown in FIG. 図５に示す回動伝達手段のベルトに代えて、クランク機構を用いたものを示す。A thing using a crank mechanism instead of the belt of the rotation transmission means shown in FIG. 5 is shown. 特許文献１の図１に記載する従来の搬送ロボットである。It is the conventional conveyance robot described in FIG. 特許文献１の図２に記載する十字ベルトを備える回動伝達手段である。It is a rotation transmission means provided with the cross belt described in FIG. 特許文献２の図４に記載する従来の搬送ロボットである。4 is a conventional transfer robot described in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

１ａ、１ｂ搬送ロボット
２ベース板
３ａ駆動源（第一駆動源）
３ｂ駆動源（第二駆動源）
４ａ、４ｂ駆動アーム
５ａ、５ｂ第一回動伝達手段
５ｃ第二回動伝達手段
６ａ、６ｂ従動アーム
７エンドエフェクタ
８基板
９基板保持部
１０筐体
１１駆動アーム支軸
１２従動アーム支軸
１３ベルト
１４ベルト固定部
１５歯車
１６クランク部
１７連結部材
1a, 1b Transport robot 2 Base plate 3a Drive source (first drive source)
3b Drive source (second drive source)
4a, 4b Drive arm 5a, 5b First rotation transmission means 5c Second rotation transmission means 6a, 6b Follower arm 7 End effector 8 Substrate 9 Substrate holder 10 Housing 11 Drive arm support shaft 12 Follow arm support shaft 13 Belt 14 Belt fixing part 15 Gear 16 Crank part 17 Connecting member

Claims

ベース板上に回動軸を有する第一駆動源と、第一駆動源の回動軸と同芯状に回動軸を有する第二駆動源と、該第一駆動源と第二駆動源のそれぞれ側面に突出して備える駆動アームと、各駆動アーム他端に備えて、各駆動アームの回動を従動アームに伝達する第一回動伝達手段と、前記従動アームの先端には第二回動伝達手段を介して回動可能に支持するエンドエフェクタとからなり、第一駆動源、及び、第二駆動源の作動によってエンドエフェクタが水平面内を進退運動することができることを特徴とする基板を搬送する搬送ロボット。 A first drive source having a pivot shaft on the base plate; a second drive source having a pivot shaft concentric with the pivot shaft of the first drive source; and the first drive source and the second drive source A drive arm that protrudes from the side surface, a first rotation transmission means that is provided at the other end of each drive arm and transmits the rotation of each drive arm to the driven arm, and a second rotation at the tip of the driven arm An end effector that is rotatably supported via a transmission means, and transports a substrate characterized in that the end effector can move back and forth in a horizontal plane by the operation of the first drive source and the second drive source. A transfer robot.

前記第一回動伝達手段と前記第二回動伝達手段は筐体を有しており、該筐体内に駆動アームと従動アームの各支軸間を各支軸の回動方向と逆方向で、且つ、速度比が１となる回動を他方支軸に伝達する回動伝達部材を備えることを特徴とする請求項１記載の搬送ロボット。 The first rotation transmission means and the second rotation transmission means have a housing, and the drive arm and the follower arm are supported in a direction opposite to the rotation direction of each support shaft in the housing. The transfer robot according to claim 1, further comprising a rotation transmission member that transmits a rotation with a speed ratio of 1 to the other support shaft.

前記回動伝達部材は、駆動アームと従動アームの各支軸間をＳ字状と逆Ｓ字状にベルトを巻き付けて、その端部を該支軸側面に固定して備えることを特徴とする請求項２記載の搬送ロボット。 The rotation transmission member is provided with a belt wound around an S-shape and an inverted S-shape between the support shafts of the drive arm and the driven arm, and an end portion thereof being fixed to the side surface of the support shaft. The transfer robot according to claim 2.

前記回動伝達部材は、駆動アームと従動アームの各支軸に対し同芯状に歯車を備えることを特徴とする請求項２記載の搬送ロボット。 3. The transport robot according to claim 2, wherein the rotation transmitting member includes a gear concentrically with respect to each support shaft of the drive arm and the driven arm.

前記回動伝達部材は、駆動アームと従動アームの支軸側面に突出するクランク部を備えて、双方の該クランク部の突出方向が１８０°異なる方向となるように連結部材を回転可能に連結することで駆動アームの動力を従動アームへと伝達するものとなした事を特徴とする請求項１記載の搬送ロボット。 The rotation transmitting member includes a crank portion that protrudes from the side surfaces of the support shaft of the drive arm and the driven arm, and rotatably connects the connecting member so that the protruding directions of the crank portions are different from each other by 180 °. The transfer robot according to claim 1, wherein the power of the drive arm is transmitted to the driven arm.

駆動アームと従動アームとの軸間距離が等しいことを特徴とする請求項１記載の搬送ロボット。 The transport robot according to claim 1, wherein the distance between the axes of the drive arm and the driven arm is equal.

エンドエフェクタが水平面内を進退運動するそれぞれの進退方向へ基板保持部を備えさせたことを特徴とする請求項１記載の搬送ロボット。 2. The transfer robot according to claim 1, wherein the end effector is provided with a substrate holding portion in each of the advancing and retreating directions in which the end effector moves forward and backward in a horizontal plane.