JP5075459B2

JP5075459B2 - Transport device

Info

Publication number: JP5075459B2
Application number: JP2007107845A
Authority: JP
Inventors: 和博武者; 展史南; 隆浅石; 土志夫小池; 健二吾郷
Original assignee: Ulvac Inc
Current assignee: Ulvac Inc
Priority date: 2007-04-17
Filing date: 2007-04-17
Publication date: 2012-11-21
Anticipated expiration: 2027-04-17
Also published as: JP2008264894A

Description

本発明は、例えば半導体基板等を真空処理室内に搬入したり搬出して所定の位置に搬送するための基板搬送装置に関する。 The present invention relates to a substrate transfer apparatus for transferring, for example, a semiconductor substrate or the like into a vacuum processing chamber and transferring it to a predetermined position.

近年、半導体素子に関し、超微細化、高精度化が要求されており、このような半導体素子を製造する装置には、スループットを向上させること、装置を設置するための床面積を小さくすること等が要求されている。
このため、搬送室を中心としてその周囲に複数の処理室を配し、ゲートバルブを介して連結することによって種々の基板処理を真空中で一貫して行うことができるマルチチャンバ装置において、搬送室から各々の処理室へ基板を自動的に搬入・搬出するための基板搬送装置が用いられている。 In recent years, there has been a demand for ultra-miniaturization and high precision for semiconductor elements. In an apparatus for manufacturing such semiconductor elements, the throughput is improved, the floor area for installing the apparatus is reduced, etc. Is required.
For this reason, in a multi-chamber apparatus in which a plurality of processing chambers are arranged around a transfer chamber and connected through gate valves, various substrate processes can be performed consistently in vacuum. A substrate transfer device for automatically loading / unloading a substrate from / to each processing chamber is used.

基板搬送装置にはアーム型やフロッグレッグ（蛙足）型が知られており、例えばフロッグレッグ型の基板搬送装置は、図６(ａ)〜(ｃ)に模式的に示すように構成されている。フロッグレッグ型の基板搬送装置は、互いに異なる方向に回転する一対の回動軸１、２を具備するベース３と、回動軸１、２を各々の一端に接続された一対の第１アーム１１、１２と、これら第１アーム１１、１２の各々の他端に一端が回転可能に結合された一対の第２アーム２１、２２と、これら第２アーム２１、２２の各々の他端に回転可能に結合された基板支持体４とを備えている。 As the substrate transfer device, an arm type or a frog-leg type is known. For example, a frog-leg type substrate transfer device is configured as schematically shown in FIGS. Yes. The frog-leg type substrate transport apparatus includes a base 3 having a pair of rotating shafts 1 and 2 rotating in different directions, and a pair of first arms 11 having the rotating shafts 1 and 2 connected to respective ends. , 12 and a pair of second arms 21 and 22 having one end rotatably coupled to the other end of each of the first arms 11 and 12, and rotatable to the other end of each of the second arms 21 and 22 And a substrate support 4 coupled to the substrate.

第１アーム１１、１２、第２アーム２１、２２はそれぞれ同一のアーム長を有しており、これらにより平行リンク機構が構成されている。従って、回動軸１、２を互いに逆方向に回転させることで、第１アーム１１、１２と第２アーム２１、２２とのなす角θが変化し、基板支持体４は図中上下方向に移動される。これにより、基板支持体４上の基板Ｗを任意の位置に搬送することが可能となる。なお、ベース３をその軸心のまわりに回転させることで、基板支持体４はベース３のまわりに旋回移動される。また、回動軸１、２のうち何れか一方に駆動モータ（駆動源）が接続されている。 The first arms 11 and 12 and the second arms 21 and 22 have the same arm length, and a parallel link mechanism is constituted by these. Accordingly, by rotating the rotation shafts 1 and 2 in opposite directions, the angle θ formed by the first arms 11 and 12 and the second arms 21 and 22 changes, and the substrate support 4 is moved in the vertical direction in the figure. Moved. Thereby, the substrate W on the substrate support 4 can be transported to an arbitrary position. Note that the substrate support 4 is pivoted around the base 3 by rotating the base 3 around its axis. A drive motor (drive source) is connected to one of the rotation shafts 1 and 2.

このような構成のフロッグレッグ型の基板搬送装置においては、ベース３に対して基板Ｗを図６(ａ)に示す前方位置から図６(ｂ)に示す後方位置へ搬送する際、一対の第１アーム１１、１２と一対の第２アーム２１、２２とが互いに平行（θ＝０°）となる図６(ｃ)に示す位置を通過する必要がある。この図６(ｃ)に示すアーム位置は、平行リンク機構の死点に対応する。そこで、従来の基板搬送装置においては、基板Ｗの搬送を円滑に行うため、この死点位置で第２アーム２１、２２に対して移動方向に駆動力を付与する機構（以下「死点脱出機構」という）が設けられている。 In the frog-leg type substrate transport apparatus having such a configuration, when transporting the substrate W from the front position shown in FIG. 6A to the rear position shown in FIG. It is necessary to pass the position shown in FIG. 6C where the one arm 11 and 12 and the pair of second arms 21 and 22 are parallel to each other (θ = 0 °). The arm position shown in FIG. 6C corresponds to the dead point of the parallel link mechanism. Therefore, in the conventional substrate transport apparatus, in order to smoothly transport the substrate W, a mechanism for applying a driving force in the moving direction to the second arms 21 and 22 at this dead center position (hereinafter referred to as “dead center escape mechanism”). ") Is provided.

図７は、死点脱出機構を備えた従来の基板搬送装置５の構成を示している（下記特許文献１参照）。図７において図６(ａ)〜(ｃ)と対応する部分については同一の符号を付している。なお、回動軸１、２は互いに同軸上に配置され各々独立した駆動源を有しており、基板支持体４は２枚の基板Ｗを同時に支持できる構成となっている。 FIG. 7 shows a configuration of a conventional substrate transfer device 5 provided with a dead center escape mechanism (see Patent Document 1 below). In FIG. 7, parts corresponding to those in FIGS. 6A to 6C are denoted by the same reference numerals. The rotating shafts 1 and 2 are arranged coaxially with each other and have independent drive sources, and the substrate support 4 is configured to support two substrates W simultaneously.

図示する従来の基板搬送装置５は、回動軸２に同心的に固定された第１プーリ６と、第１アーム１１と第２アーム２１との連結部に同心的に固定された第２プーリ７と、これら第１プーリ６と第２プーリ７との間に架け渡されたベルト８とを備えている。この構成により、回動軸２の回転力がベルト８を介して第２アーム２１にダイレクトに伝達されるので、円滑にリンクの死点位置を通過できるようになる。
特開平９−２８３５８８号公報 The conventional substrate transfer device 5 shown in the figure includes a first pulley 6 concentrically fixed to the rotation shaft 2 and a second pulley concentrically fixed to a connecting portion between the first arm 11 and the second arm 21. 7 and a belt 8 laid between the first pulley 6 and the second pulley 7. With this configuration, the rotational force of the rotating shaft 2 is directly transmitted to the second arm 21 via the belt 8, so that the link can pass smoothly through the dead center position.
JP-A-9-283588

しかしながら、図７に示した従来の死点脱出機構を備えた基板搬送装置５においては、第２アーム２１は回動軸２から常時回転力を付与される構成であるため、第２アーム２１の回転角が回動軸２により常に拘束され、これが原因で基板の搬送精度が損なわれるという問題がある。
すなわち、第２アーム２１は、第１アーム１１の回転運動に連動して回転するものであるため、基板Ｗの搬送過程において第１アーム１１の回転角に加えて回動軸２の回動量がダイレクトに伝達される。 However, in the substrate transfer apparatus 5 having the conventional dead center escape mechanism shown in FIG. 7, the second arm 21 is configured to be constantly given a rotational force from the rotary shaft 2, so There is a problem in that the rotation angle is always restrained by the rotation shaft 2, and this causes a deterioration of the substrate transport accuracy.
That is, since the second arm 21 rotates in conjunction with the rotational movement of the first arm 11, the rotation amount of the rotation shaft 2 is added to the rotation angle of the first arm 11 in the process of transporting the substrate W. Directly transmitted.

一対の第２アームと、前記第２アームに結合された基板支持体との結合位置間を結ぶ線分に対し、右腕の第２アーム２１が成す角度と、左腕の第２アーム２２が成す角度が等しくして姿勢制御装置を取り付けると、姿勢制御装置はその状態を維持するように構成されており、その結果、基板支持体４が移動しても、基板支持体４の一対の回動軸１、２に対する姿勢が一定になっている。 The angle formed by the second arm 21 of the right arm and the angle formed by the second arm 22 of the left arm with respect to the line segment connecting the coupling positions of the pair of second arms and the substrate support coupled to the second arm. When the posture control device is attached with the same, the posture control device is configured to maintain the state, and as a result, even if the substrate support 4 moves, the pair of rotation shafts of the substrate support 4 The posture with respect to 1 and 2 is constant.

第１アーム１１、１２の長さと、第２アーム２１、２２の長さが異なる場合、死点位置以外では、一対の回動軸１、２が相対回転すると、一対の第２アーム２１、２２の第１アーム１１、１２に対する回転中心Ｑ₁、Ｑ₂同士を結ぶ線分に対し、第１アーム１１、１２が成す角度θ₁と第２アーム２１、２２が成す角度θ₂は異なる大きさになる。 When the lengths of the first arms 11 and 12 are different from the lengths of the second arms 21 and 22, when the pair of rotation shafts 1 and 2 are rotated relative to each other except at the dead center position, the pair of second arms 21 and 22. The angle θ ₁ formed by the first arms 11 and 12 differs from the angle θ ₂ formed by the second arms 21 and 22 with respect to the line segment connecting the rotation centers Q ₁ and Q _{2 with} respect to the first arms 11 and 12. become.

この場合、死点以外の場所でも第１アーム１２と第２アーム２１(又は第１アーム１１と第２アーム２２)が死点脱出機構で連結され、相互に回転角度が影響し合うと、姿勢制御装置の制御に反する角度では、第１、第２アーム１１、１２、２１、２２は回転できなくなる。 In this case, if the first arm 12 and the second arm 21 (or the first arm 11 and the second arm 22) are connected by a dead center escape mechanism even at a place other than the dead center, and the rotation angle affects each other, The first and second arms 11, 12, 21, and 22 cannot rotate at an angle contrary to the control of the control device.

図７のように駆動軸が同心、手首部が離間である場合には、第１アームと第２アームの長さが同じでも死点通過できない。特開平９−２８３５８８に示されるように、第２プーリ７をθ₁とθ₂が同じ大きさになるような形状とすることにより、どの位置でも姿勢制御装置の制御と矛盾せず、動作は可能であるが、第２アーム２１が過拘束となり、これが原因で基板搬送時に振動が発生したり基板の直進性が損なわれる場合がある。
本発明は上述の問題に鑑みてなされ、死点通過を円滑に行いながら第２アームの過拘束を防ぐことができる基板搬送装置を提供することを課題とする。 When the drive shaft is concentric and the wrist is separated as shown in FIG. As shown in Japanese Patent Laid-Open No. 9-283588, the second pulley 7 is shaped so that θ ₁ and θ ₂ have the same size, so that the operation is consistent with the control of the attitude control device at any position. Although it is possible, the second arm 21 is over-constrained, which may cause vibration during substrate transportation or impair the straightness of the substrate.
The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a substrate transfer apparatus that can prevent over-constraint of the second arm while smoothly passing through the dead center.

以上の課題を解決するために、本発明は、少なくとも一方に駆動源が接続され、離間して配置された一対の回動軸と、これら一対の回動軸に一端が接続された一対の第１アームと、これら一対の第１アームの各々の他端に一端が回転可能に結合された一対の第２アームと、これら一対の第２アームの各々の他端に回転可能に結合された基板支持体とを備えた搬送装置において、前記一対の第１アーム同士の軸距は等しくされ、前記一対の第２アーム同士の軸距は等しくされ、前記第１アームの軸距と前記第２アームの軸距は異なる大きさにされ、前記基板支持体と前記一対の第２アームとが結合された結合位置間の距離が一定にされ、前記結合位置間を結ぶ線分に対する前記一対の第２アームの角度が等しい状態を維持する姿勢制御装置を有し、前記第１アームと前記第２アームとが互いに平行となる死点位置を通過する時のみ、前記第２アームに対して回転力を付与する死点脱出機構を備え、前記死点脱出機構は、前記回動軸に連絡する回転駆動部と、前記第２アームに設けられ前記基板支持体が上記死点位置を通過する時に前記回転駆動部と係合する係合部とを有し、前記回転駆動部は、前記回動軸と同心的に設置された固定ギヤと、前記第１アームの一端近傍に軸支され前記固定ギヤと噛合し、前記第１アームの回転に伴って前記固定ギア回りを回転する第１回転ギヤと、前記第１アームの他端近傍に軸支される第２回転ギヤと、前記第１回転ギヤの回転力を前記第２回転ギヤヘ伝達する回転力伝達部材とを有し、前記係合部は、前記第１アームと前記第２アームとの結合軸に固定され、前記第２回転ギヤと係合可能な係合歯が外周部に部分的に配置された搬送装置である。
また、本発明は、少なくとも一方に駆動源が接続され、離間して配置された一対の回動軸と、これら一対の回動軸に一端が接続された一対の第１アームと、これら一対の第１アームの各々の他端に一端が回転可能に結合された一対の第２アームと、これら一対の第２アームの各々の他端に回転可能に結合された基板支持体とを備えた搬送装置において、前記第１アームの軸距と前記第２アームの軸距は異なる大きさにされ、前記一対の第１アーム同士の軸距は等しくされ、前記一対の第２アーム同士の軸距は等しくされ、前記基板支持体と前記一対の第２アームとが結合された結合位置間の距離が一定にされ、前記結合位置間を結ぶ線分に対する前記一対の第２アームの角度が等しい状態を維持する姿勢制御装置を有し、前記第１アームと前記第２アームとが互いに平行となる死点位置を通過する時のみ、前記第２アームに対して回転力を付与する死点脱出機構を備え、前記死点脱出機構は、前記回動軸に連絡する回転駆動部と、前記基板支持体に設けられ前記基板支持体が前記死点位置を通過する時に前記回転駆動部と係合する係合部とを有し、前記回転駆動部は、前記回動軸の回転軸線をこれと直交する方向に変換する駆動軸変換部と、変換された回転軸線のまわりに回転する回転ギヤとを有し、前記係合部は、前記基板支持体の下方側に設けられ前記回転ギヤと係合可能な平ギヤである搬送装置である。 In order to solve the above-described problems, the present invention provides a pair of rotating shafts that are connected to a driving source at least one and are spaced apart from each other, and a pair of first shafts that are connected at one end to the pair of rotating shafts. One arm, a pair of second arms having one end rotatably coupled to the other end of each of the pair of first arms, and a substrate rotatably coupled to the other end of each of the pair of second arms In the transport device including the support, the pair of first arms have the same axial distance, the pair of second arms have the same axial distance, and the first arm has the same axial distance as the second arm. The distance between the coupling positions where the substrate support and the pair of second arms are coupled is made constant, and the pair of second pairs with respect to the line segment connecting the coupling positions is made constant. Has an attitude control device that maintains the same arm angle. A dead center escape mechanism that applies a rotational force to the second arm only when the first arm and the second arm pass through a dead center position that is parallel to each other. has a rotary drive unit that communicates with said rotating shaft, and an engagement portion for the second provided arm the substrate support is engaged with the rotation driving section when passing through the dead center position, The rotation drive unit is fixedly provided with a fixed gear installed concentrically with the rotation shaft, and is supported in the vicinity of one end of the first arm and meshes with the fixed gear, and is fixed as the first arm rotates. A first rotating gear that rotates around the gear, a second rotating gear that is pivotally supported in the vicinity of the other end of the first arm, and a rotational force transmitting member that transmits the rotational force of the first rotating gear to the second rotating gear. And the engaging portion is a coupling shaft between the first arm and the second arm. Fixed, the second rotary gear engageable with the teeth is a transporting device partially disposed on the outer peripheral portion.
Further, the present invention provides a pair of rotating shafts connected to and separated from at least one drive source, a pair of first arms having one end connected to the pair of rotating shafts, and a pair of these transportable with a pair of second arms one end to the other end of each of the first arm is rotatably coupled, and a substrate support that is rotatably coupled to the other end of each of the pair of second arms In the feeding device, the axial distance of the first arm and the second arm are different in size, the axial distance of the pair of first arms is equal, and the axial distance of the pair of second arms is the same. The distance between the coupling positions where the substrate support and the pair of second arms are coupled is made constant, and the angle of the pair of second arms with respect to the line segment connecting the coupling positions is equal. A posture control device for maintaining the first arm and the front arm A dead center escape mechanism is provided that applies a rotational force to the second arm only when passing through a dead center position where the second arm is parallel to the second arm, and the dead center escape mechanism communicates with the rotating shaft. A rotation drive unit that engages with the rotation drive unit when the substrate support passes through the dead center position, and the rotation drive unit is configured to rotate the rotation support unit. A drive shaft converting portion that converts the rotational axis of the dynamic shaft in a direction orthogonal thereto; and a rotating gear that rotates about the converted rotational axis, wherein the engaging portion is located below the substrate support It is a conveyance apparatus which is a flat gear which is provided in the above and can be engaged with the rotation gear.

本発明の基板搬送装置は、第１アームと第２アームとが互いに平行となる死点位置を通過する時のみ、第２アームに対して回転力を付与する死点脱出機構を備えているので、死点通過を円滑に行いながら、第２アームの過拘束を防止して基板の安定した直進性と搬送精度の向上を図ることが可能となる。 Since the substrate transfer apparatus of the present invention includes a dead center escape mechanism that applies a rotational force to the second arm only when the first arm and the second arm pass through a dead center position that is parallel to each other. Further, it is possible to prevent the second arm from being over-constrained while smoothly passing through the dead center, and to improve the straight straightness and the conveyance accuracy of the substrate.

図８(ａ)、(ｂ)に示すように、本発明の基板搬送装置では、一対の第１アーム１１、１２の長さは互いに等しくされており、その値は、回動軸１、２の回転中心Ｐ₁、Ｐ₂と、第２アーム２１、２２の第１アーム１１、１２に対する回転中心Ｑ₁、Ｑ₂の間の距離、即ち第１アーム１１、１２の軸距Ａ₁、Ａ₂で表わされる。Ａ₁＝Ａ₂ である。 As shown in FIGS. 8 (a) and 8 (b), in the substrate transfer apparatus of the present invention, the lengths of the pair of first arms 11 and 12 are equal to each other, and the values thereof are the rotation axes 1 and 2. Between the rotation centers P ₁ , P ₂ of the first arm 11, 22 and the rotation centers Q ₁ , Q ₂ of the second arms 21, 22 with respect to the first arms 11, 12, that is, the axial distances A ₁ , A of the first arms 11, 12. Represented by ₂ . A ₁ = A ₂ .

また、一対の第２アーム２１、２２の長さは互いに等しくされており、その値は、第２アーム２１、２２の第１アーム１１、１２に対する回転中心Ｑ₁、Ｑ₂と、基板支持体４の第２アーム２１、２２に対する回転中心Ｓ₁、Ｓ₂との間の距離、即ち第２アーム２１、２２の軸距Ｂ₁、Ｂ₂で表わされる。Ｂ₁＝Ｂ₂ である。 Further, the lengths of the pair of second arms 21 and 22 are equal to each other, and the values thereof are the rotation centers Q ₁ and Q _{2 of} the second arms 21 and 22 with respect to the first arms 11 and 12, and the substrate support. The distance between the four second arms 21 and 22 and the rotation centers S ₁ and S ₂ , that is, the axial distances B ₁ and B ₂ of the second arms 21 and 22. B ₁ = B ₂ .

第１アーム１１、１２が１８０°の角度に開くとき、第２アーム２１、２２が成す角度も１８０°になり、第２アーム２１、２２は、第１アーム１１、１２が並ぶ直線上に並び、互いに平行になる。 When the first arms 11 and 12 are opened at an angle of 180 °, the angle formed by the second arms 21 and 22 is also 180 °, and the second arms 21 and 22 are arranged on a straight line along which the first arms 11 and 12 are arranged. , Become parallel to each other.

一対の回動軸１、２の回転中心Ｐ₁、Ｐ₂間の距離Ｅが、基板支持体４の第２アーム２１、２２に対する回転中心Ｓ₁、Ｓ₂間の距離Ｄと等しいと(Ｅ＝Ｄ)、Ａ₁＝Ａ₂＝Ｂ₁＝Ｂ₂ になり、等しくないと(Ｅ≠Ｄ)、Ａ₁＝Ａ₂≠Ｂ₁＝Ｂ₂ になる。 When the distance E between the rotation centers P ₁ and P ₂ of the pair of rotating shafts 1 and 2 is equal to the distance D between the rotation centers S ₁ and S _{2 with} respect to the second arms 21 and 22 of the substrate support 4 (E = D), A ₁ = A ₂ = B ₁ = B ₂ , and if they are not equal (E ≠ D), then A ₁ = A ₂ ≠ B ₁ = B ₂ .

一対の第２アーム２１、２２の第１アーム１１、１２に対する回転中心Ｑ₁、Ｑ₂同士を結ぶ線分(又は、その線分と平行な、一対の回動軸１、２の回転中心Ｐ₁、Ｐ₂同士を結ぶ線分)に対し、第１アーム１１、１２が成す角度を符号θ₁で表わし、第２アーム２１、２２が成す角度を符号θ₂で表わすと、第１アーム１１、１２の長さと、第２アーム２１、２２の長さが等しい場合(Ａ₁＝Ａ₂＝Ｂ₁＝Ｂ₂ )は、θ₁＝θ₂である。 A line segment connecting the rotation centers Q ₁ and Q ₂ of the pair of second arms 21 and 22 with respect to the first arms 11 and 12 (or a rotation center P of the pair of rotation shafts 1 and 2 parallel to the line segment) ₁ and P ₂ ), the angle formed by the first arms 11 and 12 is represented by the symbol θ ₁ , and the angle formed by the second arms 21 and 22 is represented by the symbol θ _2. , 12 and the lengths of the second arms 21 and 22 are equal (A ₁ = A ₂ = B ₁ = B ₂ ), θ ₁ = θ ₂ .

他方、第１アーム１１、１２の長さと、第２アーム２１、２２の長さが等しくない場合(Ａ₁＝Ａ₂≠Ｂ₁＝Ｂ₂ )は、第１アーム１１、１２、および第２アーム２１、２２が１８０°の角度で開く死点位置以外では、θ₁≠θ₂である。 On the other hand, when the lengths of the first arms 11 and 12 are not equal to the lengths of the second arms 21 and 22 (A ₁ = A ₂ ≠ B ₁ = B ₂ ), the first arms 11, 12 and the second arms Except for the dead center position where the arms 21 and 22 are opened at an angle of 180 °, θ ₁ ≠ θ ₂ .

死点脱出機構が、回動軸１、２の少なくともいずれかの回転力を一対の第２アーム２１、２２の少なくともいずれかに伝達して死点位置を脱出する場合、第１アーム１１、１２、および第２アーム２１、２２が、１８０°の角度で開く死点位置以外の場所にあっても回転力が伝達されると、θ₁≠θ₂の場合は第２アーム２１、２２に二方向から伝達される回転力が矛盾し、リンク機構が動作できなくなる。従って、θ₁≠θ₂の場合に死点位置以外の場所では、回転力の伝達を解除するようにする必要性は大きい。 When the dead center escape mechanism transmits the rotational force of at least one of the rotating shafts 1 and 2 to at least one of the pair of second arms 21 and 22 to escape the dead center position, the first arms 11 and 12 When the rotational force is transmitted even if the second arms 21 and 22 are located at positions other than the dead center position where the second arms 21 and 22 are opened at an angle of 180 °, if θ ₁ ≠ θ ₂ , the second arms 21 and 22 The rotational force transmitted from the direction contradicts and the link mechanism cannot operate. Therefore, when θ ₁ ≠ θ ₂ , it is highly necessary to cancel the transmission of the rotational force at a place other than the dead center position.

なお、図８(ａ)の基板搬送装置の姿勢制御装置は、基板支持体４の、第２アーム２１、２２に対する回転中心Ｓ₁、Ｓ₂を中心に設けられたギア部材３３、３４を有しており、このギア部材３３、３４は、一対の第２アーム２１、２２に対して固定され、噛み合わされている。
本発明の搬送装置は、ギア部材３３、３４に替え、図８(ｂ)に示すように、第２アーム２１、２２に対して固定されたプーリ４３、４４と、プーリ４３、４４間に「８」字型に掛け渡したベルト(又はチェーン）で構成してもよい。 8A has gear members 33 and 34 provided around the rotation centers S ₁ and S ₂ with respect to the second arms 21 and 22 of the substrate support 4. The gear members 33 and 34 are fixed to and engaged with the pair of second arms 21 and 22.
As shown in FIG. 8 (b), the conveying device of the present invention is replaced with the gear members 33 and 34, and between the pulleys 43 and 44 fixed to the second arms 21 and 22 and the pulleys 43 and 44, “ You may comprise the belt (or chain) hung on the 8 "character type.

以上述べたように、本発明の基板搬送装置は、第１アームと第２アームとが互いに平行となる死点位置を通過する時のみ、第２アームに対して回転力を付与する死点脱出機構を備えているので、死点通過を円滑に行いながら、第２アームの過拘束を防止して基板の安定した直進性と搬送精度の向上を図ることが可能となる。 As described above, the substrate transfer apparatus according to the present invention provides a dead center escape that applies a rotational force to the second arm only when the first arm and the second arm pass through a dead center position that is parallel to each other. Since the mechanism is provided, it is possible to prevent the second arm from being over-constrained while smoothly passing through the dead center, and to improve the straight straightness of the substrate and the conveyance accuracy.

以下、本発明の各実施の形態について図面を参照して説明する。本実施の形態の基板搬送装置は、図示せずとも真空搬送室の周囲に複数の真空処理室が配置されたマルチチャンバ装置において、その真空搬送室内に設置され、ロード／アンロード室を含む複数の真空処理室間で基板を自動搬送する基板搬送装置に適用される。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. Although not shown, the substrate transfer apparatus of the present embodiment is a multi-chamber apparatus in which a plurality of vacuum processing chambers are arranged around a vacuum transfer chamber, and is installed in the vacuum transfer chamber and includes a plurality of load / unload chambers. This is applied to a substrate transfer apparatus for automatically transferring a substrate between the vacuum processing chambers.

［第１の実施の形態]
図１は本発明の第１の実施の形態による基板搬送装置１０の構成を示している。
本実施の形態の基板搬送装置１０は、互いに異なる方向に回転する一対の回動軸１、２を具備するベース３と、回動軸１、２を各々一端に接続された一対の第１アーム１１、１２と、これら第１アーム１１、１２の各々の他端にアーム結合軸１３、１４を介して一端が回転可能に結合された一対の第２アーム２１、２２と、これら第２アーム２１、２２の各々の他端に回転可能に結合された基板支持体４とを備えている。 [First embodiment]
FIG. 1 shows the configuration of a substrate transfer apparatus 10 according to a first embodiment of the present invention.
The substrate transfer apparatus 10 according to the present embodiment includes a base 3 having a pair of rotating shafts 1 and 2 that rotate in different directions, and a pair of first arms each having the rotating shafts 1 and 2 connected to one end. 11 and 12, a pair of second arms 21 and 22 whose one ends are rotatably coupled to the other ends of the first arms 11 and 12 via arm coupling shafts 13 and 14, respectively, and the second arms 21 , 22 is provided with a substrate support 4 rotatably coupled to the other end.

第１アーム１１、１２、第２アーム２１、２２はそれぞれ同一のアーム長を有しており、これらにより平行リンク機構が構成されている。従って、回動軸１、２を互いに逆方向に回転させることで、第１アーム１１、１２と第２アーム２１、２２とのなす角θが変化し、基板支持体４は図中上下方向に移動される。これにより、基板支持体４上の基板Ｗを任意の位置に搬送することが可能となる。なお、ベース３は、回動軸１、２と共に、その軸心Ｏのまわりに回転できるように構成されており、ベース３を回転させることで、基板支持体４がベース３のまわりに旋回移動される。 The first arms 11 and 12 and the second arms 21 and 22 have the same arm length, and a parallel link mechanism is constituted by these. Accordingly, by rotating the rotation shafts 1 and 2 in opposite directions, the angle θ formed by the first arms 11 and 12 and the second arms 21 and 22 changes, and the substrate support 4 is moved in the vertical direction in the figure. Moved. Thereby, the substrate W on the substrate support 4 can be transported to an arbitrary position. The base 3 is configured so as to be able to rotate around the axis O together with the rotating shafts 1 and 2. By rotating the base 3, the substrate support 4 pivots around the base 3. Is done.

本実施の形態では、第２アーム２１、２２の各々の他端と基板支持体４とを結合する結合軸３１、３２の周囲にそれぞれギヤ部材３３、３４が固定されている。これらのギヤ部材３３、３４は、互いに噛合し互いに逆方向に回転可能とすることで、第２アーム２１、２２の回転動作時に基板支持体４の姿勢を一定に保持する姿勢保持機構を構成している。
なお、回動軸１、２には、両方に駆動モータ等の駆動源（図示略）を接続し、それぞれ独立に回転させてもよいし、何れか一方に接続し、他方の回転軸の回転を静止させてもよい。 In the present embodiment, gear members 33 and 34 are fixed around coupling shafts 31 and 32 that couple the other ends of the second arms 21 and 22 and the substrate support 4, respectively. These gear members 33 and 34 are engaged with each other and can rotate in opposite directions to constitute a posture holding mechanism that holds the posture of the substrate support 4 constant during the rotation of the second arms 21 and 22. ing.
Note that a drive source (not shown) such as a drive motor may be connected to both of the rotation shafts 1 and 2 and rotated independently of each other, or connected to one of them and the rotation of the other rotation shaft. May be stationary.

なお、回動軸１、２は同一軸心上に配置しても基板搬送装置を構成することができるが、この場合、図７に示したように、例えば一方の回動軸１は内周側に配置し、他方の回動軸２は外周側に配置されすることになる。
この場合、これらの回動軸１、２は両方とも駆動源に接続し、回動軸１、２が相対的に逆方向に回転することで基板支持体４が前後方向に移動し、互いに同一方向に回転するとき、基板支持体４が旋回移動することになる。 Although the rotation shafts 1 and 2 can be arranged on the same axis to constitute a substrate transfer device, in this case, for example, as shown in FIG. The other rotating shaft 2 is disposed on the outer peripheral side.
In this case, both the rotating shafts 1 and 2 are connected to the drive source, and the rotating shafts 1 and 2 rotate in the opposite directions to move the substrate support 4 in the front-rear direction, so that they are identical to each other. When rotating in the direction, the substrate support 4 rotates.

また、基板支持体４は、図の例では１枚の基板Ｗを載置できる構成としているが、図７に示したように２枚の基板が載置できる構成としてもよい。また、基板支持体４の形状は図示の例に限られず、フォーク形状にするなど適宜変更することが可能である。基板Ｗとしては、未処理あるいは既処理の半導体ウェーハ基板、ガラス基板等が適用される。 Moreover, although the board | substrate support body 4 is set as the structure which can mount the one board | substrate W in the example of a figure, as shown in FIG. 7, it is good also as a structure which can mount two board | substrates. Further, the shape of the substrate support 4 is not limited to the example shown in the figure, and can be appropriately changed to a fork shape. As the substrate W, an unprocessed or already processed semiconductor wafer substrate, glass substrate, or the like is applied.

このようなフロッグレッグ型の基板搬送装置１０においては、ベース３に対して基板Ｗを図示する前方位置（図において上方位置）から後方位置（図において下方位置）へ搬送する際、一対の第１アーム１１、１２と一対の第２アーム２１、２２とが互いに平行（θ＝０゜）となる死点位置を通過する必要がある。そこで、この死点位置を円滑に通過するために、本実施の形態の基板搬送装置１０には、後述する死点脱出機構１５が設けられている。 In such a frog-leg type substrate transport apparatus 10, when the substrate W is transported with respect to the base 3 from the front position (upper position in the figure) to the rear position (lower position in the figure), a pair of first It is necessary that the arms 11 and 12 and the pair of second arms 21 and 22 pass through a dead center position where they are parallel to each other (θ = 0 °). Therefore, in order to smoothly pass through the dead center position, the substrate transport apparatus 10 of the present embodiment is provided with a dead center escape mechanism 15 described later.

図２および図３は、死点脱出機構１５の構成を示している。ここで、図２は基板搬送装置１０の要部破断側面図、図３は死点脱出機構１５の作用を説明する要部平面図である。 2 and 3 show the configuration of the dead center escape mechanism 15. Here, FIG. 2 is a fragmentary side view of the principal part of the substrate transport apparatus 10, and FIG. 3 is a principal part plan view for explaining the operation of the dead center escape mechanism 15.

本実施の形態において、死点脱出機構１５は、一対の第１アーム１１、１２と一対の第２アーム２１、２２とが互いに平行となる死点位置を通過する時のみ、第２アーム２１に対して回転力を付与するように構成されている。なお、死点脱出機構１５は、それぞれ一方側の第１アーム１１および第２アーム２１に設けられているが、他方側の第１アーム１２および第２アーム２２に設けられていても良い。 In the present embodiment, the dead center escape mechanism 15 is attached to the second arm 21 only when the pair of first arms 11 and 12 and the pair of second arms 21 and 22 pass through the dead center position where they are parallel to each other. It is comprised so that rotational force may be provided with respect to it. The dead center escape mechanism 15 is provided on the first arm 11 and the second arm 21 on one side, respectively, but may be provided on the first arm 12 and the second arm 22 on the other side.

ベース３には、第１アーム１１を回転させる回動軸１と同心的に固定ギヤ１６が設置されている。そして、この第１アーム１１の下面側の一端近傍には、固定ギヤ１６の周囲と噛合する第１回転ギヤ１７が回転可能に軸支されている。第１回転ギヤ１７は、第１アーム１１の回転に伴って固定ギヤ１６の回りを遊星ギヤのように周回しながら回転する。第１アーム１１の下面側の他端近傍には、第２回転ギヤ１８が回転可能に軸支されている。第２回転ギヤ１８と第１回転ギヤ１７との間には、リンク（レバー）１９が接続されており、第１回転ギヤ１７の回転力がリンク１９を介して第２回転ギヤ１８に伝達されるように構成されている。 A fixed gear 16 is installed on the base 3 concentrically with the rotating shaft 1 that rotates the first arm 11. A first rotating gear 17 that meshes with the periphery of the fixed gear 16 is rotatably supported near one end on the lower surface side of the first arm 11. The first rotating gear 17 rotates while circling around the fixed gear 16 like a planetary gear as the first arm 11 rotates. Near the other end on the lower surface side of the first arm 11, a second rotating gear 18 is rotatably supported. A link (lever) 19 is connected between the second rotation gear 18 and the first rotation gear 17, and the rotational force of the first rotation gear 17 is transmitted to the second rotation gear 18 via the link 19. It is comprised so that.

これら固定ギヤ１６、第１回転ギヤ１７、第２回転ギヤ１８およびリンク１９とにより本発明に係る「回転駆動部」が構成されている。なお、リンク１９は本発明の「回転力伝達部材」の一具体例であり、リンク以外に例えばベルト部材で構成してもよい。 The fixed gear 16, the first rotating gear 17, the second rotating gear 18 and the link 19 constitute a “rotation drive unit” according to the present invention. The link 19 is a specific example of the “rotational force transmission member” of the present invention, and may be constituted by a belt member other than the link, for example.

一方、第１アーム１１の他端と第２アーム２１の一端とを結合するアーム結合軸１３の下端には、当該第２アーム２１が所定の回転角度（回転位相）の際に第２回転ギヤ１８と係合する係合ギヤ２０が固定されている。アーム結合軸１３は第２アーム２１に固定されており、第１アーム１１に対して相対的に回転する。係合ギヤ２０は、本発明に係る「係合部」に対応し、第２回転ギヤ１８と係合可能な係合歯２０ａを外周部に部分的に有している。係合歯２０ａは第２アーム２１の延在方向に向けて配置され、図３（ｂ）に示すように第２アーム２１が第１アーム１１の上に重なって平行となる死点位置およびその前後の所定角度範囲においてのみ、第２回転ギヤ１８と係合する。 On the other hand, at the lower end of the arm coupling shaft 13 that couples the other end of the first arm 11 and one end of the second arm 21, the second rotation gear is rotated when the second arm 21 is at a predetermined rotation angle (rotation phase). An engagement gear 20 that engages with the shaft 18 is fixed. The arm coupling shaft 13 is fixed to the second arm 21 and rotates relative to the first arm 11. The engagement gear 20 corresponds to an “engagement portion” according to the present invention, and has an engagement tooth 20 a that can be engaged with the second rotation gear 18 partially on the outer peripheral portion. The engaging teeth 20a are arranged in the extending direction of the second arm 21, and as shown in FIG. 3 (b), the dead center position where the second arm 21 overlaps and is parallel to the first arm 11, and the dead center position. The second rotating gear 18 is engaged only in a predetermined angular range before and after.

以上のように構成される本実施の形態の基板搬送装置１０においては、回動軸１、２を互いに逆方向に回転させることで、一対の第１アーム１１、１２およびこれに結合される一対の第２アーム２１、２２からなる平行リンク機構が伸縮し、基板支持体４上の基板Ｗが前後方向（図１において上下方向）に直進移送される。より具体的には、一方の回動軸１が反時計回りに回転し他方の回動軸２が時計方向に回転することで基板Ｗは図１においてＦ方向に前進する。また、一方の回動軸１が時計回りに回転し他方の回動軸２が反時計回りに回転することで基板Ｗは図１においてＢ方向に後退する。 In the substrate transport apparatus 10 of the present embodiment configured as described above, the pair of first arms 11 and 12 and the pair coupled thereto are rotated by rotating the rotation shafts 1 and 2 in opposite directions. The parallel link mechanism composed of the second arms 21 and 22 expands and contracts, and the substrate W on the substrate support 4 is linearly transferred in the front-rear direction (vertical direction in FIG. 1). More specifically, the substrate W advances in the F direction in FIG. 1 by rotating one rotating shaft 1 counterclockwise and rotating the other rotating shaft 2 clockwise. Further, the substrate W moves backward in the direction B in FIG. 1 as one pivot shaft 1 rotates clockwise and the other pivot shaft 2 rotates counterclockwise.

死点脱出機構１５においては、第１アーム１１の回転に伴い、図３(ａ)に示したように固定ギヤ１６に噛合する第１回転ギヤ１７が回転し、その回転力がリンク１９を介して第２回転ギヤ１８に伝達される。基板支持体４が図１に示したようにベース３に対して前方位置で直進移動される場合には、係合ギヤ２０の係合歯２０ａは第２回転ギヤ１８に係合しないので、第２アーム２１は回動軸１から何ら拘束力を受けることなく第１アーム１１の回転角に対応した回転角で回転する。 In the dead center escape mechanism 15, as the first arm 11 rotates, the first rotation gear 17 that meshes with the fixed gear 16 rotates as shown in FIG. 3A, and the rotational force is transmitted via the link 19. Is transmitted to the second rotating gear 18. When the substrate support 4 is linearly moved at the front position with respect to the base 3 as shown in FIG. 1, the engagement teeth 20 a of the engagement gear 20 do not engage with the second rotation gear 18. The two arms 21 rotate at a rotation angle corresponding to the rotation angle of the first arm 11 without receiving any restraining force from the rotation shaft 1.

これに対し、基板支持体４がベース３に対して図１に示す前方位置からベース３の後方位置に搬送される場合、一対の第２アーム２１、２２がそれぞれ第１アーム１１、１２と平行となるリンクの死点位置を通過することになる。この場合、第１アーム１１の回転に伴って回転する第２回転ギヤ１８に係合ギヤ２０が係合する（図３(ｂ)）。これにより、第２アーム２１は、係合ギヤ２０を介して第２回転ギヤ１８の回転方向に所定の軸トルクを受けて図３(ｂ)に示す死点位置を円滑に通過することが可能となる（図３(ｃ)）。
なお、基板支持体４がベース３の後方位置から前方位置へ移動される際も上述と同様な作用が行われる。この場合、第２回転ギヤ１８の回転方向は上記と逆方向となる。 On the other hand, when the board | substrate support body 4 is conveyed from the front position shown in FIG. 1 with respect to the base 3 to the back position of the base 3, a pair of 2nd arms 21 and 22 are parallel to the 1st arms 11 and 12, respectively. Will pass the dead center position of the link. In this case, the engagement gear 20 engages with the second rotation gear 18 that rotates as the first arm 11 rotates (FIG. 3B). As a result, the second arm 21 receives a predetermined axial torque in the rotational direction of the second rotating gear 18 via the engagement gear 20 and can smoothly pass the dead center position shown in FIG. (FIG. 3C).
Note that the same operation as described above is performed when the substrate support 4 is moved from the rear position to the front position of the base 3. In this case, the rotation direction of the second rotation gear 18 is opposite to the above.

従って、本実施の形態の基板搬送装置１０によれば、一対の第１アーム１１、１２と一対の第２アーム２１、２２とが互いに平行となる死点位置を通過するときのみ、第２アーム２１に対して回転力を付与する死点脱出機構１５を備えているので、死点通過を円滑に行いながら、死点非通過時の第２アーム２１の過拘束を防止して基板Ｗの安定した直進性と搬送精度の向上を図ることが可能となる。 Therefore, according to the substrate transfer apparatus 10 of the present embodiment, the second arm only when the pair of first arms 11 and 12 and the pair of second arms 21 and 22 pass through the dead center position where they are parallel to each other. Since the dead center escape mechanism 15 for applying a rotational force to the motor 21 is provided, the second arm 21 is prevented from being over-restrained when the dead center is not passed while the dead center is passed smoothly, thereby stabilizing the substrate W. It is possible to improve the straightness and the conveyance accuracy.

また、本実施の形態の基板搬送装置１０によれば、第２アーム２１、２２が死点位置で一旦停止し、この死点位置から第２アーム２１、２２が再移動される際にも、上記死点脱出機構１５による回転力付与作用を受けることで、第２アーム２１、２２の円滑な移動が可能となる。 Further, according to the substrate transfer apparatus 10 of the present embodiment, when the second arms 21 and 22 are temporarily stopped at the dead center position and the second arms 21 and 22 are moved again from the dead center position, By receiving the rotational force imparting action by the dead center escape mechanism 15, the second arms 21 and 22 can move smoothly.

［第２の実施の形態］
図４および図５は本発明の第２の実施の形態による基板搬送装置３０の構成を示しており、図４は基板搬送装置３０の平面図、図５は基板搬送装置３０の正面図である。なお、各図において上述の第１の実施の形態と対応する部分については同一の符号を付する。 [Second Embodiment]
4 and 5 show the configuration of the substrate transfer apparatus 30 according to the second embodiment of the present invention. FIG. 4 is a plan view of the substrate transfer apparatus 30 and FIG. 5 is a front view of the substrate transfer apparatus 30. . In each figure, the same reference numerals are given to portions corresponding to those in the first embodiment.

本実施の形態の基板搬送装置３０は、上述の第１の実施の形態と同様に、互いに異なる方向に回転する一対の回動軸１、２を具備するベース３と、回動軸１、２を各々一端に結合された一対の第１アーム１１、１２と、これら第１アーム１１、１２の各々の他端に一端が回転可能に結合された一対の第２アーム２１、２２と、これら第２アーム２１、２２の各々の他端に回転可能に結合された基板支持体４とを備えている。 As in the first embodiment, the substrate transfer apparatus 30 according to the present embodiment includes a base 3 having a pair of rotating shafts 1 and 2 that rotate in different directions, and rotating shafts 1 and 2. A pair of first arms 11 and 12 coupled to one end, a pair of second arms 21 and 22 coupled to the other end of each of the first arms 11 and 12, respectively, A substrate support 4 is rotatably connected to the other end of each of the two arms 21 and 22.

一対の第１アーム１１、１２および一対の第２アーム２１、２２はそれぞれ同一のアーム長を有しており、これらにより平行リンク機構が構成されている。従って、回動軸１、２を互いに逆方向に回転させることで、第１アーム１１、１２と第２アーム２１、２２とのなす角θが変化し、基板支持体４は図中上下方向に移動される。なお、ベース３をその軸心のまわりに回転させることで、基板支持体４がベース３のまわりに旋回移動される。 The pair of first arms 11 and 12 and the pair of second arms 21 and 22 have the same arm length, and a parallel link mechanism is constituted by these. Accordingly, by rotating the rotation shafts 1 and 2 in opposite directions, the angle θ formed by the first arms 11 and 12 and the second arms 21 and 22 changes, and the substrate support 4 is moved in the vertical direction in the figure. Moved. Note that the substrate support 4 is pivoted about the base 3 by rotating the base 3 about its axis.

本実施の形態でも、第２アーム２１、２２の各々の他端と基板支持体４とを結合する結合軸３１、３２の周囲にそれぞれギヤ部材３３、３４が固定されている。これらのギヤ部材３３、３４は、互いに噛合し互いに逆方向に回転可能とすることで、第２アーム２１、２２の回転動作時に基板支持体４の姿勢を一定に保持する姿勢保持機構を構成している。 Also in the present embodiment, gear members 33 and 34 are fixed around coupling shafts 31 and 32 that couple the other ends of the second arms 21 and 22 and the substrate support 4, respectively. These gear members 33 and 34 are engaged with each other and can rotate in opposite directions to constitute a posture holding mechanism that holds the posture of the substrate support 4 constant during the rotation of the second arms 21 and 22. ing.

このようなフロッグレッグ型の基板搬送装置３０においては、ベース３に対して基板支持体４を図示する前方位置（図において上方位置）から後方位置（図において下方位置）へ搬送する際、一対の第１アーム１１、１２と一対の第２アーム２１、２２とが互いに平行（θ＝０°）となる死点位置を通過する必要がある。そこで、この死点位置を円滑に通過するために、本実施の形態では以下に説明する構成の死点脱出機構３５が設けられている。 In such a frog-leg type substrate transport apparatus 30, when the substrate support 4 is transported relative to the base 3 from the front position (upper position in the figure) to the rear position (lower position in the figure), a pair of The first arms 11 and 12 and the pair of second arms 21 and 22 need to pass through a dead center position where they are parallel to each other (θ = 0 °). Therefore, in order to smoothly pass through this dead center position, a dead center escape mechanism 35 having a configuration described below is provided in the present embodiment.

死点脱出機構３５は、一対の第１アーム１１、１２と一対の第２アーム２１、２２とが互いに平行となる死点位置を通過する時のみ、第２アーム２１、２２に対して回転力を付与するように構成されている。 The dead center escape mechanism 35 is a rotational force with respect to the second arms 21 and 22 only when the pair of first arms 11 and 12 and the pair of second arms 21 and 22 pass through a dead center position that is parallel to each other. Is configured to grant.

図５を参照して、第１アーム１２を回転させる回動軸２の上端には、第１かさ歯車３６が設けられている。この第１かさ歯車３６は第１アーム１２の上面に臨んでおり、この第１かさ歯車３６には第２かさ歯車３８が係合している。第２かさ歯車３８は、ベース３の上面略中心部に立設された支柱３７に回転可能に軸支されている。これら第１、第２かさ歯車３６、３８により、回動軸２の回転軸心をこれと直交する方向に変換する駆動軸変換部が構成される。そして、第２かさ歯車３８の軸部には回転ギヤ３９が一体的に固定されており、上記駆動軸変換部によって変換された回転軸心のまわりに回転される。 Referring to FIG. 5, a first bevel gear 36 is provided at the upper end of the rotation shaft 2 that rotates the first arm 12. The first bevel gear 36 faces the upper surface of the first arm 12, and the second bevel gear 38 is engaged with the first bevel gear 36. The second bevel gear 38 is rotatably supported by a support column 37 erected substantially at the center of the upper surface of the base 3. The first and second bevel gears 36 and 38 constitute a drive shaft conversion unit that converts the rotation axis of the rotation shaft 2 in a direction orthogonal thereto. A rotation gear 39 is integrally fixed to the shaft portion of the second bevel gear 38 and is rotated around the rotation axis converted by the drive shaft conversion portion.

上記駆動軸変換部および回転ギヤ３９は本発明に係る「回転駆動部」を構成する。そして、基板支持体４が死点位置を通過する時に上記回転駆動部に係合する係合部として、本実施の形態では、基板支持体４の下方側に設けられたラック（平ギヤ）４１が用いられている。ラック４１は、結合軸３１、３２の下端を支持する支持プレート４０の下面に設けられている。そのギヤ長は任意に設定可能であり、例えば第２アーム２１、２２が第１アーム１１、１２と平行となる死点位置（θ＝０°）およびその前後所定角度範囲においてのみ回転ギヤ３９と係合する長さとされる。 The drive shaft conversion section and the rotation gear 39 constitute a “rotation drive section” according to the present invention. In the present embodiment, a rack (flat gear) 41 provided on the lower side of the substrate support 4 is used as an engagement portion that engages with the rotation drive portion when the substrate support 4 passes through the dead center position. Is used. The rack 41 is provided on the lower surface of the support plate 40 that supports the lower ends of the coupling shafts 31 and 32. The gear length can be arbitrarily set. For example, the rotation gear 39 can be set only at a dead center position (θ = 0 °) where the second arms 21 and 22 are parallel to the first arms 11 and 12 and a predetermined angular range before and after the dead center position. The length is engaged.

以上のように構成される本実施の形態の基板搬送装置３０においては、回動軸１、２を互いに逆方向に回転させることで、一対の第１アーム１１、１２およびこれに結合される一対の第２アーム２１、２２からなる平行リンク機構が伸縮し、基板支持体４上の基板が前後方向に直進移送される。 In the substrate transport apparatus 30 of the present embodiment configured as described above, the pair of first arms 11 and 12 and the pair coupled thereto are rotated by rotating the rotation shafts 1 and 2 in the opposite directions. The parallel link mechanism composed of the second arms 21 and 22 expands and contracts, and the substrate on the substrate support 4 is linearly transferred in the front-rear direction.

死点脱出機構３５においては、第１アーム１２の回転に伴って第１かさ歯車３６が回転し、この第１かさ歯車３６に係合する第２かさ歯車３８を介して回動軸２の回転軸心が図５において横方向に９０°変換される。そして、この変換された回転軸心のまわりに回転ギヤ３９が回転する。基板支持体４が図４に示したようにベース３に対して前方位置で直進移動される場合には、係合部としてのラック４１は回転ギヤ３９に係合しないので、第２アーム２１、２２は回動軸２から何ら拘束力を受けることなく第１アーム１１、１２の回転角に対応した回転角で回転する。 In the dead center escape mechanism 35, the first bevel gear 36 rotates as the first arm 12 rotates, and the rotation of the rotary shaft 2 via the second bevel gear 38 that engages with the first bevel gear 36. The axis is converted 90 ° laterally in FIG. Then, the rotation gear 39 rotates around the converted rotation axis. When the substrate support 4 is linearly moved at the front position with respect to the base 3 as shown in FIG. 4, the rack 41 as the engaging portion does not engage with the rotating gear 39, so the second arm 21, 22 rotates at a rotation angle corresponding to the rotation angle of the first arms 11 and 12 without receiving any restraining force from the rotation shaft 2.

これに対し、基板支持体４がベース３に対して図４に示す前方位置から、ベース３の後方位置に向かって矢印Ｂ方向に搬送される場合、一対の第２アーム２１、２２がそれぞれ第１アーム１１、１２と平行となるリンクの死点位置を通過することになる。この場合、第１アーム１２の回転に伴って回転する回転ギヤ３９にラック４１が係合する。これにより、第２アーム２１、２２はラック４１を介して回転ギヤ３９の回転方向に所定の軸トルクを受けて、死点位置を円滑に通過することが可能となる。
なお、基板支持体４がベース３の後方位置から前方位置へ移動される際も上述と同様な作用が行われる。この場合、回転ギヤ３９の回転方向は上記と逆方向となる。 On the other hand, when the substrate support 4 is conveyed in the arrow B direction from the front position shown in FIG. 4 to the base 3 toward the rear position of the base 3, the pair of second arms 21 and 22 are respectively It passes through the dead center position of the link parallel to one arm 11, 12. In this case, the rack 41 is engaged with the rotating gear 39 that rotates as the first arm 12 rotates. Accordingly, the second arms 21 and 22 receive a predetermined axial torque in the rotation direction of the rotary gear 39 via the rack 41, and can pass smoothly through the dead center position.
Note that the same operation as described above is performed when the substrate support 4 is moved from the rear position to the front position of the base 3. In this case, the rotation direction of the rotation gear 39 is opposite to the above.

従って、本実施の形態の基板搬送装置３０によれば、一対の第１アーム１１、１２と一対の第２アーム２１、２２とが互いに平行となる死点位置を通過するときのみ、第２アーム２１、２２に対して回転力を付与する死点脱出機構３５を備えているので、死点通過を円滑に行いながら、死点非通過時の第２アーム２１、２２の過拘束を防止して基板の安定した直進性と搬送精度の向上を図ることが可能となる。 Therefore, according to the substrate transfer apparatus 30 of the present embodiment, the second arm only when the pair of first arms 11 and 12 and the pair of second arms 21 and 22 pass through the dead center position where they are parallel to each other. Since the dead center escape mechanism 35 for applying a rotational force to the 21 and 22 is provided, the second arm 21 and 22 is prevented from being over-constrained when the dead center is not passed while smoothly passing the dead center. It is possible to improve the straightness of the substrate and the conveyance accuracy.

また、本実施の形態の基板搬送装置３０によれば、第２アーム２１、２２が死点位置で一旦停止し、この死点位置から第２アーム２１、２２が再移動される際にも、上記死点脱出機構３５による回転力付与作用を受けることで、第２アーム２１、２２の円滑な移動が可能となる。 Further, according to the substrate transfer apparatus 30 of the present embodiment, the second arms 21 and 22 are temporarily stopped at the dead center position, and when the second arms 21 and 22 are moved again from the dead center position, By receiving the rotational force imparting action by the dead center escape mechanism 35, the second arms 21 and 22 can move smoothly.

以上、本発明の各実施の形態について説明したが、勿論、本発明はこれらに限定されることなく、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。
例えば以上の第１の実施の形態では、死点脱出機構１５を構成する係合ギヤ２０において、ベース３の直上位置に基板支持体４が位置するリンクの死点位置を通過するときのみ第２回転ギヤ１８と係合し得る回転角のみ係合歯２０ａを形成したが、この係合歯２０ａを係合ギヤ２０の外周に更に１８０°隔てた位置にも形成することで、θ＝１８０°（又は−１８０°）となるアーム位置（死点位置）における駆動制御も安定かつ高精度に行うことが可能となる。 As mentioned above, although each embodiment of this invention was described, of course, this invention is not limited to these, A various deformation | transformation is possible based on the technical idea of this invention.
For example, in the first embodiment described above, in the engaging gear 20 constituting the dead center escape mechanism 15, the second position is only passed when passing through the dead center position of the link where the substrate support 4 is located immediately above the base 3. The engaging teeth 20a are formed only at a rotation angle that can be engaged with the rotating gear 18, but by forming the engaging teeth 20a at a position further 180 ° apart from the outer periphery of the engaging gear 20, θ = 180 °. The drive control at the arm position (or dead point position) at (or -180 °) can also be performed stably and with high accuracy.

また、以上の各実施の形態では、死点脱出機構１５、３５をギヤの駆動力伝道機構を用いて構成したが、これに代えて、例えば、アーム結合軸１３（又は１４）に回転モータを設置し、死点位置を通過する時のみ軸トルクを付与する構成としてもよい。 In each of the above embodiments, the dead center escape mechanisms 15 and 35 are configured using a gear driving force transmission mechanism. Instead, for example, a rotary motor is provided on the arm coupling shaft 13 (or 14). It is good also as a structure which provides axial torque only when installing and passing a dead center position.

また、図９に示すような死点脱出機構８０でもよい。
この死点脱出機構は、能動円盤８２と、従動円盤８１と、伝達機構８９と、従動ギア８４とを有している。
能動円盤８２は、一対の回動軸１、２のうち、一方の回動軸(ここでは左腕側の回動軸２)に配置されており、従動円盤８１は、他方の回動軸(ここでは右腕側の回動軸１)に配置されている(図９では、回動軸１、２は、その回転中心Ｐ₁、Ｐ₂だけが示されている)。 Moreover, the dead center escape mechanism 80 as shown in FIG. 9 may be used.
This dead center escape mechanism includes an active disk 82, a driven disk 81, a transmission mechanism 89, and a driven gear 84.
The active disk 82 is disposed on one of the pair of rotating shafts 1 and 2 (here, the rotating shaft 2 on the left arm side), and the driven disk 81 is disposed on the other rotating shaft (here. In FIG. 9, only the rotation centers P ₁ and P _{2 of the} rotation shafts ₁ and ₂ are shown.

能動円盤８２は、配置された(左腕側)回動軸２とその回動軸２に固定された第１アーム１２に対して固定されており、従動円盤８１は、配置された(右腕側の)回動軸１に対して、相対的に回転可能に取り付けられている。従動円盤８１と固定円盤８２の中心は、それぞれ回動軸１、２の回転中心Ｐ₁、Ｐ₂上に位置している。 The active disk 82 is fixed with respect to the arranged (left arm side) rotating shaft 2 and the first arm 12 fixed to the rotating shaft 2, and the driven disk 81 is arranged (on the right arm side). ) It is attached to the rotating shaft 1 so as to be relatively rotatable. The centers of the driven disk 81 and the fixed disk 82 are positioned on the rotation centers P ₁ and P ₂ of the rotation shafts 1 and 2, respectively.

従動ギア８４は、一対の第２アーム２１、２２のうち、従動円盤８１が固定された第１アーム１１に連結されている第２アーム２１に固定されており、その第２アーム２１の、第１アーム１１に対する回転中心Ｑ₁を中心に、第２アーム２１と共に回転するように構成されている。 The driven gear 84 is fixed to the second arm 21 connected to the first arm 11 to which the driven disk 81 is fixed, of the pair of second arms 21 and 22. The first arm 11 is configured to rotate together with the second arm 21 around the rotation center Q ₁ .

能動円盤８２と従動円盤８１には、図１０(ａ)に示すように、互いに係合可能な第１、第２係合部５５、５６が設けられている。ここでは、第１、第２係合部５５、５６は一方(ここでは第１係合部５５)が突起であり、他方(ここでは第２係合部５６)がその突起に係合する凹部で構成されている。 As shown in FIG. 10A, the active disk 82 and the driven disk 81 are provided with first and second engaging portions 55 and 56 that can be engaged with each other. Here, one of the first and second engaging portions 55, 56 (here, the first engaging portion 55) is a protrusion, and the other (here, the second engaging portion 56) is a recess that engages with the protrusion. It consists of

第１、第２係合部５５、５６は、第１アーム１１、１２、および第２アーム２１、２２が１８０°開いた死点位置にあるときには、同図(ｂ)に示すように係合し、その状態から回動軸１、２同士が所定の係合角度θ₀以上相対回転したときに係合が解除されるようになっている。即ち、第１、第２係合部５５、５６は、一対の第１アーム１１、１２の角度ωが１８０°−θ₀＜ω＜１８０°＋θ₀の範囲にあるときに係合し、能動円盤８２の回転力を従動円盤８１に伝達し、従動円盤８１を回転させる。
１８０°−θ₀＜ω＜１８０°＋θ₀の範囲以外では係合は解除され、能動円盤８２と従動円盤８１は相互に無関係に回転できる。図１０(ａ)は、係合が解除された状態である。 The first and second engaging portions 55 and 56 are engaged as shown in FIG. 5B when the first arms 11 and 12 and the second arms 21 and 22 are at a dead center position opened 180 degrees. In this state, the engagement is released when the rotation shafts 1 and 2 are relatively rotated by a predetermined engagement angle θ ₀ or more. That is, the first and second engaging portions 55 and 56 are engaged and active when the angle ω of the pair of first arms 11 and 12 is in the range of 180 ° −θ ₀ <ω <180 ° + θ _0. The rotational force of the disk 82 is transmitted to the driven disk 81, and the driven disk 81 is rotated.
The engagement is released outside the range of 180 ° −θ ₀ <ω <180 ° + θ ₀ , and the active disk 82 and the driven disk 81 can rotate independently of each other. FIG. 10A shows a state in which the engagement is released.

従動円盤８１と従動ギア８４の間には伝達機構８９が設けられており、従動円盤８１と従動ギア８４は伝達機構８９によって連結され、能動円盤８２が、第１、第２係合部５５、５６の係合によって従動円盤８１を回転させると、その回転力は伝達機構８９によって従動ギア８４に伝達され、従動ギア８４は能動円盤８２と同方向に回転するように構成されている。これにより、一対の第１アーム１１、１２の間の角度が１８０°の死点位置にある状態から、開き角が１８０°よりも小さくなる際に第２アーム２１、２２は第１アーム１１、１２が閉じる方向に伸び、基板支持体４はその方向に移動される。 A transmission mechanism 89 is provided between the driven disk 81 and the driven gear 84, the driven disk 81 and the driven gear 84 are connected by the transmission mechanism 89, and the active disk 82 includes the first and second engaging portions 55, When the driven disk 81 is rotated by the engagement of 56, the rotational force is transmitted to the driven gear 84 by the transmission mechanism 89, and the driven gear 84 is configured to rotate in the same direction as the active disk 82. Thereby, when the opening angle is smaller than 180 ° from the state where the angle between the pair of first arms 11 and 12 is at the dead center position of 180 °, the second arms 21 and 22 are 12 extends in the closing direction and the substrate support 4 is moved in that direction.

他方、第１、第２の係合部５５、５６の係合は、一対の第１アーム１１、１２の角度が１８０°−θ₀＜θ＜１８０°＋θ₀以外の範囲にあるときは解除されるので、能動円盤８２と従動ギア８４は相互に無関係に異なる角度回転することができる。
なお、伝達機構８９の内部構成の一例を説明すると、この伝達機構８９は、伝達ギア８３と連結ロッド８７を有している。 On the other hand, the engagement of the first and second engaging portions 55 and 56 is released when the angle of the pair of first arms 11 and 12 is in a range other than 180 ° −θ ₀ <θ <180 ° + θ _0. Thus, the active disk 82 and the driven gear 84 can rotate at different angles independently of each other.
An example of the internal configuration of the transmission mechanism 89 will be described. The transmission mechanism 89 includes a transmission gear 83 and a connecting rod 87.

伝達ギア８３は、従動円盤８１が固定された第１アーム１１に取り付けられている。伝達ギア８３は従動ギア８４に噛み合わされ、その状態で、第１アーム１１上に第１アーム１１の回転中心に対して回転可能に構成されている。
従動円盤８１と伝達ギア８３の表面又は裏面の外周付近は連結ロッド８７で結合され、従動円盤８１と伝達ギア８３は、同方向同角度に回転するように構成されている。 The transmission gear 83 is attached to the first arm 11 to which the driven disk 81 is fixed. The transmission gear 83 is meshed with the driven gear 84, and in this state, the transmission gear 83 is configured to be rotatable with respect to the rotation center of the first arm 11 on the first arm 11.
The driven disk 81 and the transmission gear 83 are connected to each other in the vicinity of the outer periphery of the front surface or the back surface by a connecting rod 87, and the driven disk 81 and the transmission gear 83 are configured to rotate in the same direction and at the same angle.

従って、従動円盤８１に能動円盤８２から回転力が印加され、従動円盤８１が回転されると、従動円盤８１に印加された回転力は、連結ロッド８７と伝達ギア８３を介して、従動ギア８４に伝達され、第２のアーム２１を、能動円盤８２と同方向に回転させ、死点を脱出させる。 Accordingly, when the rotational force is applied to the driven disk 81 from the active disk 82 and the driven disk 81 is rotated, the rotational force applied to the driven disk 81 is transmitted via the connecting rod 87 and the transmission gear 83 to the driven gear 84. And the second arm 21 is rotated in the same direction as the active disk 82 to escape the dead point.

また、図１０(ｃ)に示すように、従動円盤８１の円周側面のうち、第２係合部５６とは反対側の位置に半円周に亘って歯５７を設け、従動円盤８１と従動ギア８４を複数の伝達ギアで連結してもよい。
この場合、能動円盤８２が従動円盤８１を回転させる回転力が、それに設けられた歯５７によって隣接する伝達ギアを回転させ、他の伝達ギアを介して従動ギア８４に伝達され、第２のアーム２１を、能動円盤８２と同方向に回転させ、死点を脱出させる。 Further, as shown in FIG. 10 (c), teeth 57 are provided over the semicircular circumference at a position opposite to the second engaging portion 56 on the circumferential side surface of the driven disk 81. The driven gear 84 may be connected by a plurality of transmission gears.
In this case, the rotational force by which the active disk 82 rotates the driven disk 81 rotates the adjacent transmission gear by the teeth 57 provided on the active disk 82 and is transmitted to the driven gear 84 via the other transmission gear. 21 is rotated in the same direction as the active disk 82 to escape the dead center.

能動円盤８２と従動円盤８１のうち、一方が歯車(ギア)であり、他方がこれと係合する係合部を有する円盤であってもよい。
なお、本発明は、真空搬送室等の真空雰囲気で用いられる基板搬送装置への適用例に限らず、大気中で使用される基板搬送装置にも勿論適用可能である。 One of the active disk 82 and the driven disk 81 may be a gear (gear), and the other may be a disk having an engaging portion that engages with the gear.
Note that the present invention is not limited to application examples to a substrate transfer apparatus used in a vacuum atmosphere such as a vacuum transfer chamber, but can of course be applied to a substrate transfer apparatus used in the atmosphere.

本発明の第１の実施の形態による基板搬送装置の概略平面図である。1 is a schematic plan view of a substrate transfer apparatus according to a first embodiment of the present invention. 基板搬送装置の要部破断側面図である。It is a principal part fracture side view of a board | substrate conveyance apparatus. (ａ)〜(ｃ)：基板搬送装置の死点脱出機構の作用を説明する要部平面図である。(a)-(c): It is a principal part top view explaining the effect | action of the dead center escape mechanism of a board | substrate conveyance apparatus. 本発明の第２の実施の形態による基板搬送装置の概略平面図である。It is a schematic plan view of the board | substrate conveyance apparatus by the 2nd Embodiment of this invention. 基板搬送装置の正面図である。It is a front view of a board | substrate conveyance apparatus. (ａ)〜(ｃ)：従来のフロッグレッグ型の基板搬送装置を説明する図である。(a)-(c): It is a figure explaining the conventional frog-leg type board | substrate conveyance apparatus. 従来の死点脱出機構を備えた基板搬送装置の概略平面図である。It is a schematic plan view of the board | substrate conveyance apparatus provided with the conventional dead center escape mechanism. 死点脱出機構の図示を省略し、第１、第２アームの長さと回転中心を説明した図 (ａ)：ギアによる姿勢制御装置を有する場合、(ｂ)：プーリとベルトによる姿勢制御装置を有する場合The illustration of the dead center escape mechanism is omitted, and the length and the center of rotation of the first and second arms are illustrated. (A): When having a posture control device using a gear, (b): The posture control device using a pulley and a belt If you have 死点脱出機構の他の例を有する基板搬送装置を説明するための図The figure for demonstrating the board | substrate conveyance apparatus which has another example of a dead center escape mechanism. (ａ)：第１、第２の係合部を説明するための図 (ｂ)：その係合部が係合した状態を説明するための図 (ｃ)：ギアによる伝達機構を設けることができる従動円盤を説明するための図(a): a diagram for explaining the first and second engaging portions (b): a diagram for explaining a state in which the engaging portions are engaged (c): providing a transmission mechanism by gears Illustration to explain the possible driven disk

符号の説明Explanation of symbols

１、２…回動軸
１０、３０…基板搬送装置
１１、１２…第１アーム
１３、１４…アーム結合軸
１５、８０…死点脱出機構
１６…固定ギヤ
１７…第１回転ギヤ
１８…第２回転ギヤ
１９…リンク（回転力伝達部材）
２０…係合ギヤ（係合部）
２１、２２…第２アーム
３１、３２…結合軸
３５…死点脱出機構
３６、３８…かさ歯車（駆動軸変換部）
３９…回転ギヤ
４１…ラック（平ギヤ） DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 2 ... Rotary shaft 10, 30 ... Board | substrate conveyance apparatus 11, 12 ... 1st arm 13, 14 ... Arm coupling shaft 15, 80 ... Dead center escape mechanism 16 ... Fixed gear 17 ... 1st rotation gear 18 ... 2nd Rotating gear 19 ... Link (rotational force transmission member)
20 ... engagement gear (engagement part)
21, 22 ... second arm 31, 32 ... coupling shaft 35 ... dead center escape mechanism 36, 38 ... bevel gear (drive shaft conversion unit)
39 ... Rotating gear 41 ... Rack (flat gear)

Claims

少なくとも一方に駆動源が接続され、離間して配置された一対の回動軸と、
これら一対の回動軸に一端が接続された一対の第１アームと、
これら一対の第１アームの各々の他端に一端が回転可能に結合された一対の第２アームと、
これら一対の第２アームの各々の他端に回転可能に結合された基板支持体とを備えた搬送装置において、
前記一対の第１アーム同士の軸距は等しくされ、前記一対の第２アーム同士の軸距は等しくされ、
前記第１アームの軸距と前記第２アームの軸距は異なる大きさにされ、
前記基板支持体と前記一対の第２アームとが結合された結合位置間の距離が一定にされ、
前記結合位置間を結ぶ線分に対する前記一対の第２アームの角度が等しい状態を維持する姿勢制御装置を有し、
前記第１アームと前記第２アームとが互いに平行となる死点位置を通過する時のみ、前記第２アームに対して回転力を付与する死点脱出機構を備え、
前記死点脱出機構は、前記回動軸に連絡する回転駆動部と、
前記第２アームに設けられ前記基板支持体が上記死点位置を通過する時に前記回転駆動部と係合する係合部とを有し、
前記回転駆動部は、前記回動軸と同心的に設置された固定ギヤと、
前記第１アームの一端近傍に軸支され前記固定ギヤと噛合し、前記第１アームの回転に伴って前記固定ギア回りを回転する第１回転ギヤと、
前記第１アームの他端近傍に軸支される第２回転ギヤと、
前記第１回転ギヤの回転力を前記第２回転ギヤヘ伝達する回転力伝達部材とを有し、
前記係合部は、前記第１アームと前記第２アームとの結合軸に固定され、前記第２回転ギヤと係合可能な係合歯が外周部に部分的に配置された搬送装置。 A pair of rotating shafts connected to at least one of the driving sources and spaced apart from each other;
A pair of first arms having one end connected to the pair of pivot shafts;
A pair of second arms having one end rotatably coupled to the other end of each of the pair of first arms;
In a transport device comprising a substrate support rotatably coupled to the other end of each of the pair of second arms,
The pair of first arms have the same axial distance, the pair of second arms have the same axial distance,
The axial distance of the first arm and the axial distance of the second arm are different sizes,
A distance between coupling positions where the substrate support and the pair of second arms are coupled is made constant;
An attitude control device that maintains an equal angle of the pair of second arms with respect to a line segment connecting the coupling positions;
A dead center escape mechanism that applies a rotational force to the second arm only when the first arm and the second arm pass through a dead center position that is parallel to each other;
The dead center escape mechanism includes a rotation drive unit that communicates with the rotation shaft;
The substrate support is provided in the second arm has an engagement portion that engages the rotation driving section when passing through the dead center position,
The rotation drive unit includes a fixed gear installed concentrically with the rotation shaft,
A first rotating gear that is pivotally supported near one end of the first arm and meshes with the fixed gear, and rotates around the fixed gear as the first arm rotates;
A second rotating gear pivotally supported in the vicinity of the other end of the first arm;
A rotational force transmitting member for transmitting the rotational force of the first rotational gear to the second rotational gear;
The conveying device, wherein the engaging portion is fixed to a coupling shaft between the first arm and the second arm, and engaging teeth that can be engaged with the second rotating gear are partially arranged on an outer peripheral portion.

少なくとも一方に駆動源が接続され、離間して配置された一対の回動軸と、
これら一対の回動軸に一端が接続された一対の第１アームと、
これら一対の第１アームの各々の他端に一端が回転可能に結合された一対の第２アームと、
これら一対の第２アームの各々の他端に回転可能に結合された基板支持体とを備えた搬送装置において、
前記第１アームの軸距と前記第２アームの軸距は異なる大きさにされ、
前記一対の第１アーム同士の軸距は等しくされ、前記一対の第２アーム同士の軸距は等しくされ、
前記基板支持体と前記一対の第２アームとが結合された結合位置間の距離が一定にされ、
前記結合位置間を結ぶ線分に対する前記一対の第２アームの角度が等しい状態を維持する姿勢制御装置を有し、
前記第１アームと前記第２アームとが互いに平行となる死点位置を通過する時のみ、前記第２アームに対して回転力を付与する死点脱出機構を備え、
前記死点脱出機構は、前記回動軸に連絡する回転駆動部と、
前記基板支持体に設けられ前記基板支持体が前記死点位置を通過する時に前記回転駆動部と係合する係合部とを有し、
前記回転駆動部は、前記回動軸の回転軸線をこれと直交する方向に変換する駆動軸変換部と、
変換された回転軸線のまわりに回転する回転ギヤとを有し、
前記係合部は、前記基板支持体の下方側に設けられ前記回転ギヤと係合可能な平ギヤである搬送装置。 A pair of rotating shafts connected to at least one of the driving sources and spaced apart from each other;
A pair of first arms having one end connected to the pair of pivot shafts;
A pair of second arms having one end rotatably coupled to the other end of each of the pair of first arms;
In conveyance apparatus provided with a substrate support rotatably coupled to the other end of each of the pair of the second arm,
The axial distance of the first arm and the axial distance of the second arm are different sizes,
The pair of first arms have the same axial distance, the pair of second arms have the same axial distance,
A distance between coupling positions where the substrate support and the pair of second arms are coupled is made constant;
An attitude control device that maintains an equal angle of the pair of second arms with respect to a line segment connecting the coupling positions;
A dead center escape mechanism that applies a rotational force to the second arm only when the first arm and the second arm pass through a dead center position that is parallel to each other;
The dead center escape mechanism includes a rotation drive unit that communicates with the rotation shaft;
An engagement portion that is provided on the substrate support and engages with the rotation drive when the substrate support passes through the dead center position;
The rotation drive unit is a drive axis conversion unit that converts a rotation axis of the rotation shaft into a direction orthogonal thereto,
A rotating gear that rotates about the converted axis of rotation;
The conveying device, wherein the engaging portion is a flat gear that is provided below the substrate support and is engageable with the rotating gear.