JP2006019588A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. 受光部となる各フォトセンサ上方にカラーフィルターを備える固体撮像素子であって、
   各色信号に合わせて、フォトセンサ上方の屈折率差のある媒質の境界面形状が各画素ごとに異なる
   ことを特徴とする固体撮像装置。
2. 受光部となる各フォトセンサ上方にカラーフィルターを備える固体撮像素子であって、
   フォトセンサ上方に形成される前記媒質の屈折率が上側媒質＜下側媒質の場合、
   各画素の色に相当する波長範囲における屈折率差が大きい画素の媒質境界形状は凸形状に形成し、
   前記屈折率差が小さい画素の媒質境界形状は凹形状に形成する
   ことを特徴とする固体撮像装置。
3. 受光部となる各フォトセンサ上方にカラーフィルターを備える固体撮像素子であって、
   フォトセンサ上方に形成される前記媒質の屈折率が上側媒質＜下側媒質の場合、
   媒質境界形状は凸形状であり、各画素の色に相当する波長範囲における屈折率差が大きい画素程凸形状の曲率が大きくなる
   ことを特徴とする固体撮像装置。
4. 受光部となる各フォトセンサ上方にカラーフィルターを備える固体撮像素子であって、
   フォトセンサ上方に形成される媒質の屈折率が上側媒質＞下側媒質の場合、
   各画素の色に相当する波長範囲における屈折率差が大きい画素の媒質境界形状は凸形状に形成し、
   前記屈折率差が小さい画素の媒質境界形状は凹形状に形成する
   ことを特徴とする固体撮像装置。
5. 受光部となる各フォトセンサ上方にカラーフィルターを備える固体撮像素子であって、
   フォトセンサ上方に形成される媒質の屈折率が上側媒質＞下側媒質の場合、
   媒質境界形状は凹形状であり、各画素の色に相当する波長範囲における屈折率差が大きい画素ほど凹形状の曲率が小さくなる
   ことを特徴とする固体撮像装置。
6. 各受光部のフォトセンサ上方の下側媒質層である複数の色フィルター成分からなる色フィルターを備える固体撮像装置の製造方法であって、
   前記色フィルターのうち上面が平坦な第１の色フィルター成分を形成する工程と、
   前記第１の色フィルター成分を含む全面に該第１の色フィルター成分以外の部分の上面が凹形状となるように、第２の色フィルター材料膜を形成する工程と、
   前記第２の色フィルター材料膜をフォトリソグラフィ法によりパターニングして上面が凹形状の第２の色フィルター成分を形成する工程と、
   第３の色フィルター材料膜を形成し、フォトリソグラフィ法によりパターニングして第３の色フィルターを形成する工程と、
   前記第３の色フィルター成分の上面を熱リフロー処理して凸形状に形成する工程と、
   前記各色フィルター上に上側媒質層であるマイクロレンズを形成する工程を有する
   ことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
7. 各受光部のフォトセンサ上方に複数のフィルター成分からなる色フィルターを備える固体撮像装置の製造方法であって、
   前記下側媒質層上の第１の画素となる部分に凸状部を形成する工程と、
   前記下側媒質層の第２の画素となる部分に開口を有するレジスト層を形成する工程と、
   前記開口を介して等方性エッチングし、下側媒質層に凹状部を形成する工程と、
   前記レジスト層を除去した後、前記下側媒質層より屈折率が大きい上側媒質層を積層する工程と、
   前記上側媒質層上に各色フィルター成分及びマイクロレンズを形成する工程を有する
   ことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。