JP2006017524A - 角速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】回路基板1の上に、角速度センサチップ30を収納した角速度センサパッケージ10が搭載されている。角速度センサパッケージ10の下面に接続端子17における電極部18が配されている。電極部18と回路基板1の上面の電極部2との間に導電性固体材料50が介在されている。角速度センサパッケージ10の下面と回路基板1の上面とが樹脂製接着剤51にて固着されている。
【選択図】 図2
Description
本発明はこのような背景の下になされたものであり、その目的とするところは、新規な構成にて防振することができるとともに角速度センサチップを収納した角速度センサパッケージと回路基板とを電気的に接続することができる角速度センサを提供することにある。
請求項2に記載のように、請求項1に記載の角速度センサにおいて導電性固体材料と樹脂製接着剤とは、樹脂製接着剤に導電性固体材料を混合したものであると、印刷法にて塗布することが可能となる。
請求項7に記載のように、請求項6に記載の角速度センサにおいて導電性エラストマーは、シート状をなし、厚み方向を導電方向とした異方性導電エラストマーであると、上下方向のみの接触(電気的接続)を確保することができる。
以下、本発明を具体化した第1の実施形態を図面に従って説明する。
図1には本実施の形態における角速度センサの平面図を示す。図1のA−A線での縦断面を図2に示す。図2に示すように、角速度センサパッケージ10は、セラミックからなるベース部11と、そのセラミックベース上にメタライズされた部分にロー付けされたシールリング13と、内部素子を実装後に封止されるメタルリッド14を具備しており、図1は、メタルリッド14を外した状態での平面図である。
導電性球体50が角速度センサパッケージ10の下面に配した電極部18と接触するとともに回路基板1の上面の電極部2と接触している。これにより、回路基板1の上面の電極部2が導電性球体50を介して電極部18と電気的に接続されている。よって、回路基板1が導電性球体50および接続端子17(電極部18)を介してワイヤW2,W3により角速度センサチップ30および信号処理チップ20と電気的に接続されている。
回路基板1上に、樹脂製接着剤51に導電性球体50を混練したもの(導電性接着剤)を塗布する。このとき、樹脂製接着剤51に導電性球体50を混練したもの(導電性接着剤)の塗布方法として、スクリーン印刷法により電極面上のみに選択的に塗布する方法を用いることができる。その後、回路基板1上に角速度センサパッケージ10を配置する。引き続き、樹脂製接着剤51を硬化する。これにより、回路基板1上に角速度センサパッケージ10が接合される。
図2の角速度センサパッケージ10の下面に接続端子17における電極部18を配するとともに、当該電極部18と回路基板1の上面の電極部2との間に導電性固体材料としての導電性球体50を介在させ、かつ、角速度センサパッケージ10の下面と回路基板1の上面とを樹脂製接着剤51にて固着した。よって、角速度センサパッケージ10の下面と回路基板1の上面との間において、導電性球体50を介して、角速度センサパッケージ10の下面に配した接続端子の電極部18と回路基板1の上面の電極部2とが電気的に接続される。また、角速度センサパッケージ10の下面と回路基板1の上面とが樹脂製接着剤51にて固着され、この樹脂製接着剤51が防振材として機能して、角速度センサパッケージ10に収納される角速度センサチップ30を防振することができる。
(第2の実施の形態)
次に、第2の実施の形態を、第1の実施の形態との相違点を中心に説明する。
本実施形態においても、角速度センサパッケージ10の下面には電極部18が複数配置され、各電極部18はパッケージに埋設した各接続端子17と電気的に接続されている。即ち、角速度センサパッケージ10の下面に、接続端子17における電極部18が配置されている。
Claims (7)
- 回路基板(1)の上に、角速度センサチップ(30)を収納した角速度センサパッケージ(10)を搭載するとともに、角速度センサパッケージ(10)に設けた接続端子(17)を介して、前記角速度センサチップ(30)と前記回路基板(1)とを電気的に接続した角速度センサであって、
前記角速度センサパッケージ(10)の下面に前記接続端子(17)における電極部(18)を配するとともに、当該電極部(18)と前記回路基板(1)の上面の電極部(2)との間に導電性固体材料(50)を介在させ、かつ、前記角速度センサパッケージ(10)の下面と前記回路基板(1)の上面とを樹脂製接着剤(51)にて固着したことを特徴とする角速度センサ。 - 前記導電性固体材料(50)と樹脂製接着剤(51)とは、樹脂製接着剤(51)に導電性固体材料(50)を混合したものであることを特徴とする請求項1に記載の角速度センサ。
- 前記導電性固体材料として導電性エラストマー(60)を用いたことを特徴とする請求項1または2に記載の角速度センサ。
- 前記樹脂製接着剤(51)に混合した各導電性固体材料(50)は、各導電性固体材料(50)同士が接触しない状態で分散していることを特徴とする請求項2に記載の角速度センサ。
- 前記導電性固体材料(70)は、シート状をなし、厚み方向を導電方向とした異方性導電エラストマーであることを特徴とする請求項1に記載の角速度センサ。
- 回路基板(1)の上に、角速度センサチップ(30)を収納した角速度センサパッケージ(10)を搭載するとともに、角速度センサパッケージ(10)に設けた接続端子(17)を介して、前記角速度センサチップ(30)と前記回路基板(1)とを電気的に接続した角速度センサであって、
前記角速度センサパッケージ(10)の下面に前記接続端子(17)における電極部(18)を配するとともに、当該電極部(18)と前記回路基板(1)の上面の電極部(2)との間に導電性エラストマー(80)を介在させ、かつ、付勢手段(81,82)により、前記角速度センサパッケージ(10)の下面を前記回路基板(1)の上面に付勢して前記角速度センサパッケージ(10)と前記回路基板(1)とを連結したことを特徴とする角速度センサ。 - 前記導電性エラストマー(80)は、シート状をなし、厚み方向を導電方向とした異方性導電エラストマーであることを特徴とする請求項6に記載の角速度センサ。
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