JP2006015358A - レーザ加工装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 搬送ラインからの飛び出しを最小限に押さえた上で、ワークの側面・上面の双方に印字等を行うことが可能なレーザ加工装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 レーザ加工装置は内部にレーザ光源１４を有するレーザ光源ユニット１０と、内部にガルバノミラー装置２４等を有する走査ユニット２０と、両ユニット１０、２０間を相対回動可能に連結する連結筒３１を主体として構成されている。そして、連結筒３１はその中心軸がレーザ光源ユニット１０のケーシング１１の長手方向とは直交するような配置とされている。そのため、レーザ光をレーザ光源ユニット１０の長手方向並びにこれと直交する方向のいずれの方向へも照射出来るから、ワークＷの上面或いは側面のいずれの面に印字等する場合であっても搬送ラインＬに対して幅方向の飛び出しなく同レーザ加工装置を設置することが出来る。
【選択図】 図２

Description

本発明は、レーザ加工装置に関する。

各種の物品の表面にレーザビームを照射して文字・図形等をマーキングするレーザ加工装置が知られている（特許文献１）。このものは、レーザ発振器を内部に収容する発振ケースと、ガルバノミラーを内部に収容する走査部ケースを備えるとともに、これら両ケースが連結筒によって前後（発振ケースの長手方向に沿う方向）に連結されている。また、走査部ケースと発振ケースとは連結筒の軸線方向に回動可能とされている。
特開平１０−１１８７７８号公報

上記構造によれば、発振ケース１並びに走査部ケース３の両ケースは発振ケースの長手方向に沿う方向に連結されている。そのため、例えば、ワークＷの側面に印字を行う場合には、縦向きにレーザ加工装置を配置（図１８参照）することで搬送ラインからの飛び出しを最小限に押さえて配置出来る。
一方、ワークＷの上面に印字を行う場合には、搬送ラインの幅方向に沿ってレーザ加工装置を配置せざるを得ない（図１９参照）。このような配置であると、搬送ラインＬからの飛び出し量が多くなるため、搬送ラインＬの近傍において加工装置の設置スペースが限られている場合には配置が困難であり、改良の余地があった。
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、搬送ラインからの飛び出しを最小限に押さえた上で、ワークの側面・上面の双方に印字等を行うことが可能なレーザ加工装置を提供することを目的とする。

上記の目的を達成するための手段として、請求項１の発明は、一方向に長いケーシング内にレーザ光源を備え、そのレーザ光源からのレーザ光を前記ケーシングの側部から前記ケーシング外に出射するレーザ光源ユニットと、このレーザ光源ユニットからのレーザ光を受けて所定の加工位置に照射すべく走査する走査用光学系を備えた走査ユニットと、前記レーザ光源ユニット及び前記走査ユニットを連結可能とする連結手段を備えたレーザ加工装置であって、前記連結手段は、その連結の中心軸と前記レーザ光の光軸とが一致するように位置決めされ、更に、同連結手段は、加工対象物に対するレーザ光の照射方向を少なくとも前記ケーシングの長手方向並びにこれとは直交する方向の両方向に変更可能とするように前記両ユニット間を連結しているところに特徴を有する。

請求項２の発明は、請求項１に記載のものにおいて、前記連結手段は、前記ケーシングの長手方向と直交する前記中心軸とされた直交軸を中心に前記両ユニットが相対回動するように両ユニット間を連結するところに特徴を有する。

請求項３の発明は、請求項１または請求項２に記載のものにおいて、前記連結手段は前記レーザ光源ユニットと前記走査ユニットとを連結する連結筒から構成され、この連結筒内には前記レーザ光源から照射されたレーザ光のビーム径を変更するビームエキスパンダが収容されているところに特徴を有する。

＜請求項１の発明＞
請求項１の発明によれば、レーザ加工装置はケーシングの長手方向並びにこれと直交する方向のいずれの方向へもレーザ光を照射することが出来るから、ワークの上面或いは側面のいずれの面に印字等する場合であっても搬送ラインに対して幅方向の飛び出しなく同レーザ加工装置を設置することが出来、省スペース化に寄与する。

＜請求項２の発明＞
請求項２の発明によれば、レーザ光の照射方向を変更する動作は回動動作によってなされるから動作が円滑となる。

＜請求項３の発明＞
請求項３の発明によれば、ビームエキスパンダは連結筒内に収容されているから装置の小型化が図られる。

＜実施形態１＞
本発明の実施形態１を図１ないし図１２によって説明する。
本発明に係るレーザ加工装置は全体としてはＬ字型（図１参照）をなすとともにレーザ光源１４を有するレーザ光源ユニット１０と、ガルバノミラー装置２４・収束レンズ（例えば、ｆθレンズ２５）等の光学部材（本発明の走査用光学系に相当）を有する走査ユニット２０を主体として構成される。このレーザ加工装置は搬送ラインＬの近傍において縦向きに配置されて搬送ラインＬ上を流されるワークＷの上面に所定のマーキング情報を印字等する。
また、レーザ光源ユニット１０と走査ユニット２０とは連結部材（本発明の連結手段に相当）３０を介して、レーザ光源ユニット１０の長手方向に直交する直交軸（レーザ光の光軸ＬＣ）の周方向に相対回動可能に連結されるとともに、連結部材３０内にはビームエキスパンダ５０が収容されている（図２参照）。

＜レーザ光源ユニット＞
レーザ光源ユニット１０のケーシング１１は断面略矩形状の筒形状をなす。ケーシング１１の内部にはレーザ光源（例えばＣＯ２レーザ光源）１４がケーシング１１の長手方向（図２における上下方向）に沿って配されており、不可視光であるレーザ光を下向きに出射可能としている。
また、ケーシング１１内におけるレーザ光源１４の出射方向前側（図２における下側）には反射ミラー１８が配置されるとともに、ケーシング１１の側面あって前記反射ミラー１８と対向する位置には取り付け孔が設けられている。この取り付け孔には略円形状のレーザ出射口１５が開口された壁体１２が固定されている。これにより、レーザ光源１４からのレーザ光は反射ミラー１８によって約９０度反射され、壁体１２のレーザ出射口１５からケーシング１１の長手方向とは直交する方向に出射される。

＜走査ユニット＞
走査ユニット２０のケーシング２１はレーザ光源ユニット１０と同じく断面略矩形状の筒形状をなしており、開口を壁体１２に向けた状態で配置されている。同開口部分は壁体２２Ａによって閉止されるとともに、底面にはベース板２２が装着されている。

ケーシング２１の内部にはガルバノミラー装置２４・ｆθレンズ２５等が備えられており、壁体２２Ａに形成された円形状のレーザ入射口２６を通って内部に入射したレーザ光を、ガルバノミラー装置２４を介して向きを変更し、その後、ｆθレンズ２５で収束光にしてワーク（図示せず）の印字領域上に照射する。レーザ光の照射位置はガルバノミラー装置２４に備えられているガルバノミラー２４Ａ，２４Ｂの回動角によって決まり、所望の文字・記号・図形等のマーキング情報に基づいてこのガルバノミラー２４Ａ，２４Ｂを回動動作させることにより、収束光を印字領域上で走査させてマーキング情報を印字する。
尚、ｆθレンズ２５は周縁部分に螺子切りが形成されており、ベース板２２に形成され、内周縁に螺子切りが施された穴部に螺合されている。

＜連結部材＞
連結部材３０は図７に示すように、一端部に径方向外側に向かって環状に張り出す鍔縁３２が設けられた連結筒３１を備えてなる。この連結筒３１は鍔縁３２をケーシング１１内に収容させ他端側を走査ユニット２０側に向けた横向きの姿勢でレーザー出射口１５に対して隙間なく内嵌されるようになっている。これにより（隙間なく嵌合）、取り付け状態においてはレーザ出射口１５から出射されるレーザ光の光軸ＬＣと連結筒３１の中心軸とが一致ように位置決めされる。また、鍔縁３２にはその周方向に螺子孔３４が複数形成されており（図６参照）、側面部分をケーシング１１の壁面１２に宛がって螺子止めすることで、連結筒３１全体がケーシング１１に固定されるようになっている。
尚、ケーシング１１との関係においては連結筒３１はその中心軸がケーシング１１の長手方向と直交する配置とされている。

連結筒３１のうちレーザ光源ユニット１０と反対側の端部は壁体２２Ａのレーザ入射口２６に差し込まれた状態にあって、この連結筒３１によってレーザ光源ユニット１０と走査ユニット２０が同連結筒３１の中心軸回りに相対回動可能に連結されている。
より具体的に説明すると、連結筒３１には円環状をなす一対のリング（第１・第２リング４１、４２）からなる回動機構が設けられている。第１・第２の両リング４１、４２は共に径方向外側に張り出す環状突部４１Ａ、４２Ａを設けるとともに、両リング４１、４２の対向面４１Ｂ、４２Ｂは共に平らな平滑面とされている。両リング４１、４２は両対向面４１Ｂ、４２Ｂ同士を突き合わせた状態で連結筒３１に外嵌されるようになっており、取り付け状態においては対向面４１Ｂ、４２Ｂが摺接面となって、連結筒３１の中心軸回りに両リング４１、４２が相対回動するようになっている。そして、第１リング４１がレーザ光源ユニット１０に対して固定され、第２リング４２が走査ユニット２０に固定されるようになっており、これにて、レーザ光源ユニット１０と走査ユニット２０とが相対回動可能に連結されることとなる。

ところで、この連結筒３１は先に述べたようにレーザ光源ユニット１０のケーシング１１との関係においてケーシング１１の長手方向に直交する関係にあるから、図１０に示すように、レーザ光源ユニット１０と走査ユニット２０を相対回動させることで、レーザ光をケーシング１１の長手方向と交差する方向（同図の（Ａ）、（Ｃ）の状態）並びに、長手方向に沿う方向（同図の（Ｂ）、（Ｄ）の状態）のいずれの方向へも出射することが出来る。尚、同図における矢印の方向がレーザ光の照射方向である。

また、これら両リング４１、４２の外周部分には両リング４１、４２の嵌合状態を保持、換言すると連結筒３１の中心軸の軸線方向に両リング４１、４２が離間するのを規制するための嵌合保持リング４３が配置されている。
嵌合保持リング４３は有端環状をなすとともに、第１・第２リング４１、４２と対向する側にＶ字状の嵌合溝４３Ａを設けており、この嵌合溝４３Ａ内に第１・第２リング４１、４２の環状突部４１Ａ、４２Ａが嵌め合わされるようになっている。

また、嵌合保持リング４３は両リング４１、４２の回動を規制するロック機能も備えている。すなわち、嵌合保持リング４３の両端部にはボルト孔（図示せず）が形成されており、そこへ装着されるボルトの締め込み量の加減によって径方向内側への締め込み力を調整することが出来るようになっている。そのため、締め込み量を多くすると両リング４１、４２が嵌合保持リング４３によって締め込まれた状態となって両リング４１、４２の回動動作が禁止されるのに対し、締め込み量を減ずると両リング４１、４２の回動動作が許容される。また、第２リング４２と連結筒３１との間には筒状樹脂４４が介在されているが、この筒状樹脂４４はベアリングのように機能するもので、これによって、レーザ光源ユニット１０と走査ユニット２０との相対回動動作が円滑に行われる。

また、連結筒３１のうち鍔縁３２が形成された側とは反対側の内周には段部３５が形成されている。この段部３５を境にしてレーザ光源ユニット１０側が小径部とされ、走査ユニット２０側が大径部とされている。

＜ビームエキスパンダ＞
ビームエキスパンダ５０は、円筒状のハウジング内にコリメータレンズ５３と発散レンズ５４とを収容してなる。ハウジングはコリメータレンズ５３を収容する円筒状の第１のレンズホルダ５１と発散レンズ５４を収容する第２のレンズホルダ５２とから構成されており、第１のレンズホルダ５１のレーザ光源ユニット１０側に形成されている嵌合孔部５１Ａに第２のレンズホルダ５２が同軸状に嵌合されている。

第１のレンズホルダ５１に収容されるコリメータレンズ５３は走査ユニット２０側の端面側に配されており、端面から蓋締めされることで第１のレンズホルダ５１の段部５１Ｄと蓋５１Ｅとにより挟まれて移動不能状態とされている。

第２のレンズホルダ５２は第１のレンズホルダ５１と同様に円筒状をなしており、その外径が前述した嵌合孔部５１Ａの径と略同一径とされて密嵌状態とされるようになっている。このうち、レーザ光源ユニット１０側の端面には全体が傾斜状をなすテーパ面５２Ａが形成されている（図８参照）。

また、第１のレンズホルダ５１の内周側であって、長さ方向の中央部分にはバネ収容部５１Ｂが設けられており、そこには第２のレンズホルダ５２をコリメータレンズ５３に対して離間方向に付勢するコイルスプリング５５が収容されている（図７参照）。

第１のレンズホルダ５２は連結筒３１に対して隙間なく嵌め合わされるようになっており、これによって連結筒３１の中心軸とビームエキスパンダ５０の光軸とが一致するように位置決めされている。また、連結筒３１の軸方向に関する位置決めは第１のレンズホルダ５２の外周面に形成される段部５１Ｇによってなされる。すなわち、第１のレンズホルダ５１を連結筒３１に対して取り付けると段部５１Ｇが連結筒３１の段部３５に突き当たって、それ以上の押し込み動作が規制されるようになっている。また、この取り付け状態において第１のレンズホルダ５１の先端部はレーザ光源ユニット１０の内部に突出するようになっている。

このレーザー光源ユニット１０側に突出した部分には図８において左右に貫通する貫通孔５１Ｆが形成されており、そこには発散レンズ５４の位置調整をする調整機構（これについては後述する。）６０が取り付けられるようになっている。連結筒３１には部分的に肉薄の部分が形成されており、第１のレンズホルダ５１との間には空洞Ａが形成されてるようになっている。空洞Ａ内には電線が配索され、レーザ光源ユニット１０と走査ユニット２０とを電気的に接続できるようになっている。

＜調整機構＞
調整機構６０は、調整ブロック６１と円柱形状のシャフト部６２と段つきの支持ボルト６３とから構成されている。
壁体１２のうち連結筒３１の左右両側には、図８に示すように板状の装着板１９が連結筒３１の中心軸に沿う向きに取り付けられるとともに、右側の装着板１９における貫通孔５１Ｆと対向する位置にはねじ孔部１９Ａが形成されている。このねじ孔部１９Ａには、中心部に左右に貫通する貫通孔６３Ｃが形成された支持ボルト６３が螺合されるようになっている。支持ボルト６３の貫通孔６３Ｃにはシャフト部６２が遊挿されるようになっている。

シャフト部６２のうち支持ボルト６３の右端部には大径部６２Ｂが形成される一方、支持ボルト６３の左端部には抜止めリング６４が装着されている。これによりシャフト部６２は同シャフト部６２の軸線方向（図８における左右方向）に関する移動が禁止され、軸線を中心とする回動動作のみが許容されることとなる。
尚、シャフト部６２と支持ボルト６３の貫通孔６３Ｃとの間には筒状の樹脂Ｊが介在されている。これはベアリングの機能を有するもので、シャフト部６２が空回りするようにされている。

また、シャフト部６２の先端部には外周に螺子切りが施されたねじ部６２Ｃが形成されるとともに、下端部には直線状の溝部６２Ａが形成されている。このねじ部６２Ｃには次述する調整ブロック６１が螺合されるようになっている。

調整ブロック６１は円盤状の基端部６１Ａから水平方向に突出した円柱を斜めに切り欠いた形状とされており、その切り欠かれた部分にテーパ面６１Ｂが設けられている。このテーパ面６１Ｂは取り付け状態においては、前述した第２のレンズホルダ５２のテーパ面５２Ａに面当たりするようになっている。また、調整ブロック６１のうち光軸ＬＣに沿って同調整ブロック６１を上下に貫通する通過孔６１Ｃが形成されているが、これはレーザ光を通過させるためのものである。

また、基端部６１Ａの端面からは連結筒３１の中心軸と直交するようにネジ孔が穿設されており、そこに前述したネジ部６２Ｃが螺合されている。これによって、例えば溝部６２Ａに治具等を挿入させてシャフト部６２を回転させることにより、調整ブロック６１が連結筒３１の中心軸と直交（光軸ＬＣと直交する方向であって、図８における上下方向）に螺進退する。

以上のことから、調整ブロック６１がコイルスプリング５５の付勢力に抗して第２のレンズホルダ５２をコリメータレンズ５３側に押し込んで両レンズ５３、５４を近ずけたり、或いはこれとは反対に両レンズ５３、５４を離間させたりする。このようにコリメータレンズ５３と発散レンズ５４の相対距離を調整することで、レーザ光の焦点距離の調整或いはレーザ光のスポット径の調整等行うことが出来る。

本実施形態のレーザ加工装置の構成は以上であり、その作用について説明する。まず、搬送ラインＬを可動させるに先立って、レーザ加工装置を搬送ラインＬの近傍に設置する。この場合においてワークＷの上面に対して印字を行うには、図１に示すようにレーザ光の照射方向が下向きとなるように、すなわちｆθレンズ２５が搬送ラインＬの上面と対向する向きとなるようにセットする。この時、レーザ光源ユニット１０は縦向き（図１に示す向き、或いは図１２に示す向き）に配置しておく。このような配置とすることで、搬送ラインＬの幅方向に関するレーザ加工装置の飛び出しが少なくて済む。尚、嵌合保持リング４３についてはボルトを締め込んだ状態にしておき、第１・第２リング４１、４２ひいてはレーザ光源ユニット１０と走査ユニット２０が相対回動しない状態としておく。

レーザ加工装置の設置が完了したら所定のマーキング情報を入力し、その後レーザ加工装置を駆動させる。これにより、レーザ光源ユニット１０からレーザ光が出射される。そして出射されたレーザ光は反射ミラー１８によって約９０度反射し、その後、連結筒３１を通過して走査ユニット２０内に至る。すると、レーザ光はガルバノミラー装置２４を介して所定方向に向きを変更され、その後、ｆθレンズ２５で収束光にされワークＷの印字領域上に照射される。これにより、ワークＷ上には所定のマーキング情報が印字等されることとなる。

次に、ワークＷの上面に対して印字を行っていた状態からワークＷの横面に対して印字等をする場合について説明すると、まず、レーザ加工装置全体を一旦、搬送ラインＬから取り外す。その後、ボルトを緩めてやり、例えばレーザ加工装置が図１の姿勢にある場合には、同図における手前側に約９０度走査ユニット２０を回動させてやる。これにより、レーザ光の照射される方向がレーザ光源ユニット１０の長手方向に沿う方向（図１参照）から長手方向と直交する方向（図１１参照）に変更される。その後、レーザ光の照射方向をワークＷに向け、レーザ加工装置を所定の高さ位置にセットする。これにより、レーザ加工装置はレーザ光源ユニット１０の姿勢を縦向きに保ったままの状態でワークＷの側面に対して印字等をすることが可能となる。

このように、本実施形態によれば、レーザ光源ユニット１０と走査ユニット２０は連結筒３１を介して相対回動可能に連結されており、しかもその回動軸はレーザ光源ユニット１０の長手方向と直交する方向となっている。そのため、同一のレーザ加工装置によって搬送ラインＬの周辺のスペース（特に幅方向に関する突出）を最小限に押さえた上で、ワークＷの側面及び上面の両面に対して印字を行うことが可能である。

加えて、レーザ光源ユニット１０と走査ユニット２０との間の連結筒３１の中心軸を中心とする周方向への位置調節動作は連結筒３１の中心軸を中心とする回動動作によってなされるから動作が円滑となる。

更に、この連結筒３１の内周側にはビームエキスパンダ５０が収容されているから、ビームエキスパンダ５０を連結筒３１の外部に配置した場合に比べて装置の小型化が図られるようになっている。

＜実施形態２＞
実施形態２を図１３及び図１４を参照して説明する。
実施形態１では、レーザ光源ユニット１０と走査ユニット２０とをＬ字型に連結したが、実施形態２では走査ユニット７５をレーザ光源ユニット７１の長手方向に並べて配している。また、実施形態１では光源としてＣＯ２レーザ光源を用いたが実施形態２ではファイバレーザ光源７２を用いており、同光源には光ファイバＦが繋がれている。

走査ユニット７５は図示しない連結部材を介してレーザ光源ユニット７１に連結されており、紙面と直交する軸を中心として図１３の矢印方向への回動動作が許容されるようになっている。走査ユニット７５の内部であって、回動中心部分にはガルバノミラー装置を構成する第１のガルバノミラー７６Ａが配され、更に、その側方（図１３における右側）には第２のガルバノミラー７６Ｂが配置されている。

また、光ファイバＦの先端部は走査ユニット７５の内部に挿入された状態にあって、図示しない取り付け具を介してレーザ光が出射される開口を第２のガルバノミラー７６Ｂに向けた状態で走査ユニット７５に固定されている。これにより、ファイバレーザ光源７２からレーザ光が照射されると、レーザ光は光ファイバＦ、ガルバノミラー７６Ａ、７６Ｂの経路を経てＦθレンズ２５に至るようになっている。尚、図１３の状態においてはレーザ光はレーザ光源ユニット７１の長手方向に沿う方向に照射される。

そして、ガルバノミラー７６Ａ、７６Ｂ並びに光ファイバＦの先端部分は一体的に回動するから、回動後においても光ファイバＦの先端部と両ガルバノミラー７６Ａ、７６Ｂの位置関係は一定（回動前の状態と同じ状態）に保たれる。そのため、図１３に示す状態から走査ユニット７５が同図に示す矢印方向に９０度回動されると、レーザ光はレーザ光源ユニット７５の長手方向とは直交する方向に照射されることとなる（図１４参照）。
＜他の実施形態＞

本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。

（１）実施形態１では、レーザ光源ユニット１０と走査ユニット２０の相対回動動作を無段階で行ったが、回転機構に有段のロック機構を設けて有段で行うものであってもよい。

（２）実施形態１では、第１リング４１と第２リング４２を取り外し不能な状態で連結したが、連結筒３１の中心軸の周方向に位置調節可能な構成であればよく、位置調整の際に、両リングの取り外しを伴うようなものであってもよい。このような構成を実現させるには、例えば、図１５に示すようにレーザ光源ユニット８１側にロック突部８２をレーザ挿通孔８５の周方向に等間隔で４箇所配する一方、走査ユニット８６側にはこれと係合するような受け溝８８をロック突部８２と対向する位置にそれぞれ形成しておけばよい。そうすれば、図１６に示すように、走査ユニット８８をレーザ挿通孔８５を中心としてその周方向に位置調整出来る。

（３）実施形態１では、連結筒３１がレーザ光源ユニット１０及び走査ユニット２０に対して別体に設けられた構成を示したが、走査ユニット２０がレーザ光源ユニット１０に対して回動可能とされていればよいから、例えば、レーザ光源ユニット１０の壁部１２あるいは走査ユニット２０の壁体２２Ａのどちらか一方に一体的に形成された構成としても良い。
（４）実施形態１では、搬送ラインＬの近傍にレーザ加工装置を縦向きに設置したが、搬送ラインＬに沿った方向に配置してもよい。

（５）実施形態１では、光源１４にはＣＯ２レーザ光源を使用するとともに、ケーシング１１内に反射ミラー１８を設置することで、レーザ光をケーシング１１の側面から走査ユニット２０側に向けて出射させる構成としたが、光源をファイバレーザ光源９１とするとともに、その光源９１とガルバノミラー装置２４との間を光ファイバＦで繋いでやれば、反射ミラー１８を使用することなくレーザ光をケーシング１１の側面からガルバノミラー装置２４に向けて出射させることが出来る（図１７）。
また、このように光ファイバを用いての導光は光源がＣＯ２レーザ光源（実施形態１の構成）であっても適用可能である。

実施形態１に係るレーザ加工装置の斜視図 レーザ加工装置の縦断面図 レーザ加工装置の水平断面図 走査ユニット内部の構成を示す図 走査ユニット内部から連結筒側を見た図 レーザ光源ユニット内部から連結筒側を見た図 図６におけるＡ−Ａ断面図 図６におけるＢ−Ｂ断面図 レーザ光源ユニットと走査ユニットとの相対回動動作を示す図 同じく、レーザ光源ユニットと走査ユニットとの相対回動動作を示す図 ワークＷの側面に印字を行う様子を示す図 レーザ光源ユニットを下向き配置した状態を示す斜視図 実施形態２に係るレーザ加工装置の全体構造を示す模式図 走査ユニットが回動した状態を示す図 他の実施例におけるレーザ光源ユニットと走査ユニットの連結構造を示す図 走査ユニットが回動した状態を示す側面図 他の実施例におけるレーザ加工装置の全体構造を示す模式図 従来例を示す斜視図 従来例を示す斜視図

符号の説明

１０…レーザ光源ユニット
２０…走査ユニット
３１…連結筒
ＬＣ…光軸

Claims (3)

1. 一方向に長いケーシング内にレーザ光源を備え、そのレーザ光源からのレーザ光を前記ケーシングの側部から前記ケーシング外に出射するレーザ光源ユニットと、
   このレーザ光源ユニットからのレーザ光を受けて所定の加工位置に照射すべく走査する走査用光学系を備えた走査ユニットと、
   前記レーザ光源ユニット及び前記走査ユニットを連結可能とする連結手段を備えたレーザ加工装置であって、
   前記連結手段は、その連結の中心軸と前記レーザ光の光軸とが一致するように位置決めされ、
   更に、同連結手段は、加工対象物に対するレーザ光の照射方向を少なくとも前記ケーシングの長手方向並びにこれとは直交する方向の両方向に変更可能とするように前記両ユニット間を連結していることを特徴とするレーザ加工装置。
2. 前記連結手段は、前記ケーシングの長手方向と直交する前記中心軸とされた直交軸を中心に前記両ユニットが相対回動するように両ユニット間を連結することを特徴とする請求項１記載のレーザ加工装置。
3. 前記連結手段は前記レーザ光源ユニットと前記走査ユニットとを連結する連結筒から構成され、この連結筒内には前記レーザ光源から照射されたレーザ光のビーム径を変更するビームエキスパンダが収容されていることを特徴とする請求項１または２記載のレーザ加工装置。

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