JP2006013457A5 - - Google Patents

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基板と、
前記基板上に形成された第1の絶縁層と、
前記第1の絶縁層上に形成された第2の絶縁層と、
前記第2の絶縁層上に形成された半導体層と、
前記第2の絶縁層及び前記半導体層を覆って形成されたゲート絶縁層と、
前記ゲート絶縁層上に形成されたゲート電極と、
前記ゲート絶縁層及びゲート電極を覆って形成された第1の層間絶縁層と、
前記第1の層間絶縁層、前記ゲート絶縁層及び前記第2の絶縁層に形成された開口部と、
前記第1の絶縁層及び前記開口部を覆って形成された第2の層間絶縁層と、
前記開口部上に形成された発光素子を有し、
前記開口部は前記発光素子からの発光が発光装置外に射出する際の光路に対応して形成されることを特徴とする発光装置。
A substrate,
A first insulating layer formed on the substrate;
A second insulating layer formed on the first insulating layer;
A semiconductor layer formed on the second insulating layer;
A gate insulating layer formed to cover the second insulating layer and the semiconductor layer;
A gate electrode formed on the gate insulating layer;
A first interlayer insulating layer formed to cover the gate insulating layer and the gate electrode;
Openings formed in the first interlayer insulating layer, the gate insulating layer, and the second insulating layer;
A second interlayer insulating layer formed to cover the first insulating layer and the opening;
Having a light emitting element formed on the opening;
The light emitting device, wherein the opening is formed corresponding to an optical path when light emitted from the light emitting element is emitted to the outside of the light emitting device.
基板と、
前記基板上に形成された第1の絶縁層と、
前記第1の絶縁層上に形成された第2の絶縁層と、
前記第2の絶縁層上に形成された半導体層と、
前記第2の絶縁層及び前記半導体層を覆って形成されたゲート絶縁層と、
前記ゲート絶縁層上に形成されたゲート電極と、
前記ゲート絶縁層及びゲート電極を覆って形成された第3の絶縁層と、
前記第3の絶縁層を覆って形成された第1の層間絶縁層と、
前記第1の層間絶縁層、前記第3の絶縁層、前記ゲート絶縁層及び前記第2の絶縁層を貫通して形成された開口部と、
前記第1の絶縁層及び前記開口部を覆って形成された第2の層間絶縁層と、
前記開口部上に形成された発光素子を有し、
前記開口部は前記発光素子からの発光が発光装置外に射出する際の光路に対応して形成されることを特徴とする発光装置。
A substrate,
A first insulating layer formed on the substrate;
A second insulating layer formed on the first insulating layer;
A semiconductor layer formed on the second insulating layer;
A gate insulating layer formed to cover the second insulating layer and the semiconductor layer;
A gate electrode formed on the gate insulating layer;
A third insulating layer formed to cover the gate insulating layer and the gate electrode;
A first interlayer insulating layer formed over the third insulating layer;
An opening formed through the first interlayer insulating layer, the third insulating layer, the gate insulating layer, and the second insulating layer;
A second interlayer insulating layer formed to cover the first insulating layer and the opening;
Having a light emitting element formed on the opening;
The light emitting device, wherein the opening is formed corresponding to an optical path when light emitted from the light emitting element is emitted to the outside of the light emitting device.
第1の領域と第2の領域を有する基板を有する発光装置であって、A light emitting device having a substrate having a first region and a second region,
前記第1の領域は、The first region is
前記基板上に形成された第1の絶縁層と、A first insulating layer formed on the substrate;
前記第1の絶縁層上に形成された第2の絶縁層と、A second insulating layer formed on the first insulating layer;
前記第2の絶縁層上に形成された半導体層と、A semiconductor layer formed on the second insulating layer;
前記第2の絶縁層及び前記半導体層を覆って形成されたゲート絶縁層と、A gate insulating layer formed to cover the second insulating layer and the semiconductor layer;
前記ゲート絶縁層上に形成されたゲート電極と、A gate electrode formed on the gate insulating layer;
前記ゲート絶縁層及びゲート電極を覆って形成された第1の層間絶縁層と、A first interlayer insulating layer formed to cover the gate insulating layer and the gate electrode;
前記第1の層間絶縁層上に形成された第2の層間絶縁層と、A second interlayer insulating layer formed on the first interlayer insulating layer;
を有し、Have
前記第2の領域は、The second region is
前記基板上に形成された前記第1の絶縁層と、The first insulating layer formed on the substrate;
前記第1の絶縁層上に形成された前記第2の層間絶縁層と、The second interlayer insulating layer formed on the first insulating layer;
前記第2の層間絶縁層上に形成された発光素子と、A light emitting device formed on the second interlayer insulating layer;
を有し、Have
前記第2の領域は前記発光素子からの発光が発光装置外に射出する際の光路に対応して形成されることを特徴とする発光装置。The light emitting device, wherein the second region is formed corresponding to an optical path when light emitted from the light emitting element is emitted outside the light emitting device.
第1の領域と第2の領域を有する基板を有する発光装置であって、A light emitting device having a substrate having a first region and a second region,
前記第1の領域は、The first region is
前記基板上に形成された第1の絶縁層と、A first insulating layer formed on the substrate;
前記第1の絶縁層上に形成された第2の絶縁層と、A second insulating layer formed on the first insulating layer;
前記第2の絶縁層上に形成された半導体層と、A semiconductor layer formed on the second insulating layer;
前記第2の絶縁層及び前記半導体層を覆って形成されたゲート絶縁層と、A gate insulating layer formed to cover the second insulating layer and the semiconductor layer;
前記ゲート絶縁層上に形成されたゲート電極と、A gate electrode formed on the gate insulating layer;
前記ゲート絶縁層及びゲート電極を覆って形成された第3の絶縁層と、A third insulating layer formed to cover the gate insulating layer and the gate electrode;
前記第3の絶縁層を覆って形成された第1の層間絶縁層と、A first interlayer insulating layer formed over the third insulating layer;
前記第1の層間絶縁層上に形成された第2の層間絶縁層と、A second interlayer insulating layer formed on the first interlayer insulating layer;
を有し、Have
前記第2の領域は、The second region is
前記基板上に形成された前記第1の絶縁層と、The first insulating layer formed on the substrate;
前記第1の絶縁層上に形成された前記第2の層間絶縁層と、The second interlayer insulating layer formed on the first insulating layer;
前記第2の層間絶縁層上に形成された発光素子と、A light emitting device formed on the second interlayer insulating layer;
を有し、Have
前記第2の領域は前記発光素子からの発光が発光装置外に射出する際の光路に対応して形成されることを特徴とする発光装置。The light emitting device, wherein the second region is formed corresponding to an optical path when light emitted from the light emitting element is emitted outside the light emitting device.
請求項2または請求項4において、前記第3の絶縁層は窒化珪素を主成分とする材料で形成されていることを特徴とする発光装置。 5. The light-emitting device according to claim 2 , wherein the third insulating layer is formed of a material containing silicon nitride as a main component. 請求項1または請求項3において、前記第2の層間絶縁層と前記発光素子との間に第3の絶縁層を有することを特徴とする発光装置。 4. The light-emitting device according to claim 1 , further comprising a third insulating layer between the second interlayer insulating layer and the light-emitting element. 請求項6において、前記第3の絶縁層は窒化珪素を主成分とする材料で形成されていることを特徴とする発光装置。The light emitting device according to claim 6, wherein the third insulating layer is formed of a material containing silicon nitride as a main component. 請求項2、請求項4、または請求項5において、前記第2の層間絶縁層と前記発光素子との間に第4の絶縁層を有することを特徴とする発光装置。 6. The light-emitting device according to claim 2, further comprising a fourth insulating layer between the second interlayer insulating layer and the light-emitting element. 請求項8において、前記第4の絶縁層は窒化珪素を主成分とする材料で形成されていることを特徴とする発光装置。 9. The light-emitting device according to claim 8 , wherein the fourth insulating layer is formed of a material containing silicon nitride as a main component. 請求項1乃至請求項9のいずれか一項において、前記第1の絶縁層は窒化珪素を主成分とする材料、前記第2の絶縁層は酸化珪素を主成分とする材料で形成されていることを特徴とする発光装置。
In any one of claims 1 to 9, wherein the first insulating layer is material composed mainly of silicon nitride, the second insulating layer is formed of a material mainly composed of silicon oxide A light emitting device characterized by that.
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