JP2006007219A - Decomposition equipment of carbon fluorides - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide decomposition equipment of carbon fluorides capable of completely and economically decomposing and detoxicating carbon fluoride gas harmful for environment through a simple process. <P>SOLUTION: A process for decomposing the carbon fluorides is constituted such that gaseous perfluorocarbon or hydrofluorocarbon is brought into contact with a reaction agent consisting of a carbonaceous solid material and an alkali earth metal compound in the presence of oxygen gas of 20 vol.% or less (not containing 0%) at a temperature 300°C or more. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、弗化炭素類とりわけ炭素数が１〜５程度のパーフルオロカーボンまたはハイドロフルオロカーボンを効率よく分解する方法およびそのための簡易な装置に関するものである。   The present invention relates to a method for efficiently decomposing fluorocarbons, particularly perfluorocarbons or hydrofluorocarbons having about 1 to 5 carbon atoms, and a simple apparatus therefor.

特開平６−２９３５０１号公報（特許文献１）は、アプリケータ内でマイクロ波をあててマグネタイトを発熱させ、この発熱状態にあるマグネタイトにフロンガスを接触させることによってフロンを分解する方法を開示する。また、特開平７−０２４２５５号公報（特許文献２）は、炭素質材料とアルカリ土類金属の酸化物または塩類とからなる混合物にマイクロ波を照射して発熱させ、この発熱状態にある混合物にフロンガスを接触させることによってフロンを分解する方法を開示する。
特開平６−２９３５０１号公報 特開平７−０２４２５５号公報 Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-293501 (Patent Document 1) discloses a method of decomposing CFCs by applying heat to a magnetite in an applicator to generate magnetite and bringing CFC into contact with the magnetite in the heat generation state. Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-024255 (Patent Document 2) discloses that a mixture of a carbonaceous material and an alkaline earth metal oxide or salt is irradiated with microwaves to generate heat, and the mixture in an exothermic state is heated. Disclosed is a method for decomposing CFCs by contacting CFC gases.
JP-A-6-293501 Japanese Patent Laid-Open No. 7-024255

前記の公報に記載のフロン分解法は、いずれもマイクロ波を利用するものであるから、高価なマイクロ波発生装置を必要とし且つ反応容器もマイクロ波がよく透過する耐熱材質に制限されるという問題があった。マイクロ波がよく透過する耐熱材料にはセラミックス系のものがあるが、これらはフッ素と反応して材質が劣化するものが多い。したがって、工業的に安価に且つ安定してフロン分解を行うにはいま一つ問題があった。   Since the CFC decomposition methods described in the above publications all use microwaves, there is a problem that an expensive microwave generator is required and the reaction vessel is limited to a heat-resistant material that allows microwaves to permeate well. was there. Some heat-resistant materials that transmit microwaves well are ceramics. However, these materials often deteriorate when they react with fluorine. Therefore, there is another problem in industrially cheaply and stably performing CFC decomposition.

そこで、マイクロ波によらずにフロンを分解する技術として、同一出願人に係る平成７年特許願第２８６１９号において、非酸化性雰囲気中において加熱された炭素質材料とアルカリ土類金属化合物を含有する物質にフロンガスを接触させて反応させるフロン分解法を提案した。この先願方法によれば、電気ヒーターを用いた通常の加熱炉を用いてもフロンを分解できるという利点があり、当明細書に記載されているようにＲ−１１３等のクロロフルオロカーボン類を効率よく分解できる。   Therefore, as a technology for decomposing chlorofluorocarbons without using microwaves, the patent application No. 28619 of the same applicant contains a carbonaceous material heated in a non-oxidizing atmosphere and an alkaline earth metal compound. We have proposed a CFC decomposition method in which CFC gas is brought into contact with a reacting substance. According to this prior application method, there is an advantage that chlorofluorocarbons can be decomposed even by using a normal heating furnace using an electric heater. As described in this specification, chlorofluorocarbons such as R-113 can be efficiently used. Can be disassembled.

しかし、その後の試験研究によると、この先願方法によってあらゆる種類の弗化炭素類が分解できる訳ではなく、該先願明細書には記載のないパーフルオロカーボンやハイドロフルオロカーボン等の塩素基を持たない弗化炭素類に対しては分解効率が必ずしも良好ではないことが判明した。   However, according to subsequent test studies, not all types of fluorocarbons can be decomposed by this prior application method, and fluorocarbons having no chlorine group such as perfluorocarbon and hydrofluorocarbon not described in the prior application specification. It has been found that the decomposition efficiency is not always good for carbonized carbons.

したがって、本発明は、パーフルオロカーボンやハイドロフルオロカーボン等の塩素基を持たない弗化炭素類を効率よく分解する工業的方法の開発を課題としたものである。   Therefore, an object of the present invention is to develop an industrial method for efficiently decomposing fluorinated carbons having no chlorine group such as perfluorocarbon and hydrofluorocarbon.

前記の課題は、パーフルオロカーボンまたはハイドロフルオロカーボンの気体を、炭素質固体材料とアルカリ土類金属化合物とからなる反応剤に、３００℃以上の温度で且つ２０vol.％以下（０％を含まず）の気体酸素の存在下で接触させることによって解決できることがわかった。   The above-mentioned problem is that perfluorocarbon or hydrofluorocarbon gas is used as a reactant composed of a carbonaceous solid material and an alkaline earth metal compound at a temperature of 300 ° C. or higher and 20 vol.% Or less (excluding 0%). It has been found that this can be solved by contacting in the presence of gaseous oxygen.

より具体的には、炭素質固体材料とアルカリ土類金属化合物とからなる反応剤を装填した反応容器内に、パーフルオロカーボンまたはハイドロフルオロカーボンを含む被処理ガスを連続的または間欠的に搬送すると共に、反応後の排ガスを該反応容器から連続的または間欠的に排出させ、そのさい、該被処理ガス中の酸素濃度が２０vol.％以下となるように反応容器内に入る前の被処理ガスに酸素を含有させること、および該パーフルオロカーボンまたはハイドロフルオロカーボンが分解するに必要な熱を反応容器の外側から反応帯域に伝達するかまたは反応容器の内側から反応帯域に伝達することにより、当該弗化炭素ガスを効率よく分解することができることがわかった。   More specifically, the gas to be treated containing perfluorocarbon or hydrofluorocarbon is continuously or intermittently conveyed into a reaction vessel charged with a reactant composed of a carbonaceous solid material and an alkaline earth metal compound, The exhaust gas after the reaction is continuously or intermittently discharged from the reaction vessel. At this time, oxygen is added to the gas to be treated before entering the reaction vessel so that the oxygen concentration in the gas to be treated is 20 vol.% Or less. And the heat necessary for decomposing the perfluorocarbon or hydrofluorocarbon to be transferred from the outside of the reaction vessel to the reaction zone or from the inside of the reaction vessel to the reaction zone. It was found that can be efficiently decomposed.

また、本発明法では排ガス中にＣＯが共存することがある。この場合、排ガス中のＣＯをＣＯ₂に酸化処理する工程を設けるのがよい。さらに本発明法では反応容器を構成する材料としては耐熱合金や耐食合金例えばステンレス鋼やニッケル基合金などを使用することができるし、フッ素や弗化水素に耐えるものであればセラミックス（例えば弗化アルミニウムを用いたセラミックス）も使用できる。そして、炉内雰囲気の温度を所要の温度に維持できる炉内にこの反応容器を設置し、炉内の熱を容器壁を通じて容器内の反応剤に伝達させることができる。 In the method of the present invention, CO may coexist in the exhaust gas. In this case, it is preferable to provide a step of oxidizing CO in the exhaust gas to CO ₂ . Furthermore, in the method of the present invention, a heat-resistant alloy or a corrosion-resistant alloy such as stainless steel or a nickel-based alloy can be used as a material constituting the reaction vessel, and ceramics (for example, fluorination) can be used as long as they can withstand fluorine and hydrogen fluoride. Ceramics using aluminum) can also be used. And this reaction container can be installed in the furnace which can maintain the temperature of the atmosphere in a furnace to required temperature, and the heat in a furnace can be transmitted to the reaction agent in a container through a container wall.

さらに本発明によれば、前記の分解法を好適に実施する装置として、炭素質固体材料とアルカリ土類金属化合物とからなる反応剤を装填した反応容器と、この反応容器内に通ずるように設けられた被処理ガス導入口と、該反応容器内から反応後のガスを排出するように設けられたガス排出口と、この反応容器を収容する炉と、この炉内の雰囲気温度を３００℃以上に高めるための熱源と、前記の被処理ガス導入口と弗化炭素含有ガス源とを接続する管路と、さらに必要に応じて前記のガス排出口に連通するように配管接続された排ガス酸化器と、からなる弗化炭素類の分解装置を提供する。反応容器は前記のように耐熱合金または耐食合金で構成したものが使用することができる。弗化炭素含有ガス源としては適量の酸素が含有している例えば半導体製造工程で発生する弗化炭素含有ガスが適用できる。   Furthermore, according to the present invention, as an apparatus for suitably carrying out the above decomposition method, a reaction vessel loaded with a reactant composed of a carbonaceous solid material and an alkaline earth metal compound, and a communication vessel provided to communicate with the reaction vessel are provided. The gas to be treated introduced, a gas outlet provided so as to discharge the reacted gas from the reaction vessel, a furnace containing the reaction vessel, and an atmospheric temperature in the furnace of 300 ° C. or higher. Exhaust gas oxidation connected to the gas exhaust port if necessary, and a pipe line connecting the treated gas introduction port and the carbon fluoride-containing gas source. And an apparatus for decomposing carbon fluorides. As the reaction vessel, one made of a heat-resistant alloy or a corrosion-resistant alloy as described above can be used. As the fluorocarbon-containing gas source, for example, a fluorocarbon-containing gas generated in a semiconductor manufacturing process containing an appropriate amount of oxygen can be applied.

本発明によるとパーフルオロカーボンまたはハイドロフルオロカーボンが簡単な処法で完全に分解することができ、分解したフッ素も無害物として固定できる。このため、本発明の弗化炭素類の分解法は、分解装置の簡易さ、分解効率の高さ、分解生成物の後処理の簡易性および反応剤の廉価性の点でこれまでのものにはない効果を奏し、とくに、半導体製造工程で発生する使用済パーフルオロカーボンまたはハイドロフルオロカーボンの分解に多大の貢献ができる。   According to the present invention, perfluorocarbon or hydrofluorocarbon can be completely decomposed by a simple treatment, and the decomposed fluorine can be fixed as a harmless substance. For this reason, the method for decomposing carbon fluorides of the present invention is the same as the conventional ones in terms of simplicity of the decomposition apparatus, high decomposition efficiency, ease of post-treatment of decomposition products, and inexpensive reagents. In particular, it can greatly contribute to the decomposition of used perfluorocarbon or hydrofluorocarbon generated in the semiconductor manufacturing process.

本発明は、炭素数が１〜５、好ましくは炭素数が１〜３のパーフルオロカーボンまたはハイドロフルオロカーボンを分解する方法であり、分解したフッ素は反応剤に吸収され、分解した炭素（更には水素）は排ガス中に移行する。本発明で好適に分解処理できるパーフルオロカーボンまたはハイドロフルオロカーボンとしては、例えば常温で容易に気化させることができる（窒素ガス等の不活性ガスを同伴することによって気化するものを含む）ところの、ＣＦ₄、Ｃ₂Ｆ₆、Ｃ₃Ｆ₈、Ｃ−Ｃ₄Ｆ₈等、またはＣＨＦ₃、ＣＨ₂Ｆ₂、Ｃ₂ＨＦ₅、Ｃ₂Ｈ₂Ｆ₄等がある。 The present invention is a method for decomposing a perfluorocarbon or hydrofluorocarbon having 1 to 5 carbon atoms, preferably 1 to 3 carbon atoms. The decomposed fluorine is absorbed by the reactant and decomposed carbon (and hydrogen). Migrates into the exhaust gas. Examples of perfluorocarbon or hydrofluorocarbon that can be suitably decomposed in the present invention include CF ₄ that can be easily vaporized at room temperature (including those vaporized by accompanying an inert gas such as nitrogen gas). there are _{C 2 F 6, C 3 F} 8, C-C 4 F 8 etc., or _{CHF 3, CH 2 F 2,} C 2 HF 5, C 2 H 2 F 4 , and the like.

これらの分解反応を行わせるには、パーフルオロカーボンまたはハイドロフルオロカーボンの気体を、炭素質固体材料とアルカリ土類金属化合物とからなる反応剤に、３００℃以上の温度で且つ２０vol.％以下（０％を含まず）の気体酸素の存在下で接触させることが肝要である。   In order to carry out these decomposition reactions, a gas of perfluorocarbon or hydrofluorocarbon is converted into a reactant comprising a carbonaceous solid material and an alkaline earth metal compound at a temperature of 300 ° C. or higher and 20 vol.% Or less (0% It is important to make contact in the presence of gaseous oxygen.

ここで、反応剤を構成する一方の材料である炭素質固体材料としては、コークス粉、チャー炭、石炭、生ピッチ、木炭、活性炭、カーボンブラックからなる群から選ばれる一種または二種以上を使用することができ、その形態としては粉状のものが好ましい。反応剤を構成する他方の材料であるアルカリ土類金属化合物としては、カルシウム、マグネシウム、 バリウムまたはストロンチウムの酸化物、カルシウム、マグネシウム、バリウムまたはストロンチウムの水酸化物、およびカルシウム、マグネシウム、バリウムまたはストロンチウムの炭酸塩または硝酸塩からなる群から選ばれた一種または二種以上の化合物を使用することができ、好ましくは、カルシウムの酸化物、水酸化物、炭酸塩または硝酸塩があり、これらのうち、生石灰、消石灰、石灰石が取扱いが容易である点で有利である。   Here, as the carbonaceous solid material which is one material constituting the reactant, one or more selected from the group consisting of coke powder, char charcoal, coal, raw pitch, charcoal, activated carbon, carbon black is used. As the form, a powdery form is preferable. The alkaline earth metal compound that is the other material constituting the reactant includes calcium, magnesium, barium or strontium oxide, calcium, magnesium, barium or strontium hydroxide, and calcium, magnesium, barium or strontium. One or two or more compounds selected from the group consisting of carbonates and nitrates can be used, preferably calcium oxides, hydroxides, carbonates or nitrates, among these, quick lime, Slaked lime and limestone are advantageous in that they are easy to handle.

これらの反応剤は、粉状または粒状の炭素質固体材料と粉状または粒状のアルカリ土類金属化合物をそのまま反応容器に装填して使用することもできるが、粉状の炭素質固体材料と粉状のアルカリ土類金属化合物を混合し、この混合物を取扱易い大きさの粒状物に造粒したものであるのがよい。これによって、炭素とアルカリ土類金属化合物が互いに近接した状態となり且つ反応剤の比表面積（単位重量当りの表面積）が大きくなって被処理ガスとの接触の機会を大きくすることができる。造粒にあたっては水または有機バインダーを使用し、その造粒物を乾燥もしくは焼成することにより、充分な強度と気孔率を有する造粒品とすることもできる。このような造粒品を製造する過程で、原料として使用した炭素質固体材料または粉状のアルカリ土類金属化合物がその形態および化合物の種類が他のものに変化することがあっても、造粒品中に固体炭素とアルカリ土類金属成分が所要の割合で存在している限り、本発明の分解反応に寄与することができる。   These reactants can be used by directly loading a powdered or granular carbonaceous solid material and a powdered or granular alkaline earth metal compound into a reaction vessel. It is preferable that the alkaline earth metal compound is mixed and granulated into a granular material having a size that is easy to handle. As a result, the carbon and the alkaline earth metal compound are brought close to each other, and the specific surface area (surface area per unit weight) of the reactant is increased, thereby increasing the chance of contact with the gas to be treated. In granulation, water or an organic binder is used, and the granulated product can be dried or fired to obtain a granulated product having sufficient strength and porosity. In the process of producing such a granulated product, even if the carbonaceous solid material or powdered alkaline earth metal compound used as a raw material changes in form and type of compound, As long as solid carbon and alkaline earth metal components are present in the required proportions in the granule, it can contribute to the decomposition reaction of the present invention.

例えば炭素質固体材料としてチャー炭を、そしてアルカリ土類金属化合物として消石灰を原料とし、これらの粉体を所要の割合で配合し、水を加えて混練したあと、取扱い易い大きさの粒径例えば１〜１０ｍｍ、好ましくは１〜５ｍｍに造粒し、これを非酸化性雰囲気下で焼成（例えば５００〜８５０℃で焼成）してペレットとした場合、この焼成の過程でチャー炭中の揮発成分は殆んど除去され、また消石灰は完全に酸化カルシウムに変化するので、炭素（Ｃ）と酸化カルシウム（ＣａＯ）を主成分とした純度の高いペレットが得られる。このようにして得られるＣとＣａＯからなる反応剤は充分な強度を有し且つ比表面積の大きな多孔質となるので、本発明法の実施に好適に使用できる。   For example, char charcoal as a carbonaceous solid material and slaked lime as an alkaline earth metal compound as raw materials, these powders are blended in a required ratio, kneaded after adding water, When granulated to 1 to 10 mm, preferably 1 to 5 mm, and calcined in a non-oxidizing atmosphere (for example, calcined at 500 to 850 ° C.) to form pellets, volatile components in the char charcoal during this firing process Since most of the slaked lime is removed and the slaked lime is completely converted to calcium oxide, high-purity pellets mainly composed of carbon (C) and calcium oxide (CaO) can be obtained. The reaction agent comprising C and CaO obtained in this way has a sufficient strength and has a large specific surface area, so that it can be suitably used for carrying out the method of the present invention.

反応剤を構成する炭素質固体材料とアルカリ土類金属化合物の相対割合は、使用するこれらの材料や化合物の種類にもよるが、本発明者らの経験によると、両者の重量比で言えば、半々か後者の方が多めの方がよい。炭素質固体材料中の炭素（Ｃ）と、アルカリ土類金属化合物中のアルカリ土類金属（Ｍ）の酸化物（ＭＯ）とのモル比で言えば、Ｃ／ＭＯのモル比＝０.９〜２.３、好ましくは０.９〜１.９、さらに好ましくは１.４〜１.９である。   The relative proportion of the carbonaceous solid material and the alkaline earth metal compound constituting the reactant depends on the type of these materials and compounds to be used. , Half or the latter is better. Speaking of the molar ratio of carbon (C) in the carbonaceous solid material to the oxide (MO) of the alkaline earth metal (M) in the alkaline earth metal compound, the molar ratio of C / MO = 0.9. To 2.3, preferably 0.9 to 1.9, and more preferably 1.4 to 1.9.

一般に、パーフルオロカーボンまたはハイドロフルオロカーボンは、クロロフルオロカーボンやハイドロクロロフルオロカーボンに比べてより安定な化合物であるから、分解が容易ではないと考えられている。しかし、パーフルオロカーボンまたはハイドロフルオロカーボンを本発明に従う反応剤に酸素の存在下で３００℃以上の温度で接触させると効率よく分解させることができる。必要な温度の下限はパーフルオロカーボンまたはハイドロフルオロカーボンの種類によって異なる。必要な温度を維持すれば、酸素が存在しない場合にも或る程度分解するが、分解効率が悪い。他方、クロロフルオロカーボン等の塩素含有のフロンガスの場合には、同じ反応剤を用いて同じように分解処理を行っても、酸素の存在はそれほど寄与することなく、非酸化性雰囲気の方がより分解が進行する現象が見られる。   In general, perfluorocarbons or hydrofluorocarbons are more stable compounds than chlorofluorocarbons and hydrochlorofluorocarbons, and are therefore considered not to be easily decomposed. However, when perfluorocarbon or hydrofluorocarbon is brought into contact with the reactant according to the present invention at a temperature of 300 ° C. or higher in the presence of oxygen, it can be efficiently decomposed. The lower limit of the required temperature depends on the type of perfluorocarbon or hydrofluorocarbon. If the necessary temperature is maintained, it decomposes to some extent even in the absence of oxygen, but the decomposition efficiency is poor. On the other hand, in the case of chlorofluorocarbon-containing fluorocarbon gas such as chlorofluorocarbon, the presence of oxygen does not contribute much even if the same decomposition treatment is performed using the same reactant, and the non-oxidizing atmosphere is more decomposed. Can be seen.

したがって、本発明法では被処理ガス中に適量の酸素ガスが存在することが不可欠であり、その酸素濃度は低くても或る程度の効果が現れるが、５vol.％以上であるのがよい。しかし、２０vol.％を超えるような高濃度の酸素量となると、反応剤中の炭素の消費が多くなり、また分解反応を促進する効果も飽和するようになる。したがって、被処理ガス中の酸素濃度は０.５〜２０vol.％、好ましくは２〜１５vol.％、さらに好ましくは、５〜１０vol.％とするのがよい。この酸素の存在によりパーフルオロカーボンまたはハイドロフルオロカーボンの分解が効率よく進行する理由については現在のところ必ずしも明らかではない。なお被処理ガス中の酸素源としては空気を用いることができる。場合によってはＣＯ₂の酸素を酸素源とすることもできる。 Therefore, in the method of the present invention, it is indispensable that an appropriate amount of oxygen gas is present in the gas to be treated. Even if the oxygen concentration is low, a certain degree of effect appears, but it is preferable to be 5 vol.% Or more. However, when the concentration of oxygen exceeds 20 vol.%, The consumption of carbon in the reactant increases, and the effect of promoting the decomposition reaction becomes saturated. Therefore, the oxygen concentration in the gas to be treated is 0.5 to 20 vol.%, Preferably 2 to 15 vol.%, More preferably 5 to 10 vol.%. The reason why decomposition of perfluorocarbon or hydrofluorocarbon proceeds efficiently due to the presence of oxygen is not always clear at present. Note that air can be used as an oxygen source in the gas to be treated. In some cases, CO ₂ oxygen can be used as the oxygen source.

この反応剤にパーフルオロカーボンまたはハイドロフルオロカーボン（以下、ＰＦＣまたはＨＦＣと略称するか、又は単に弗化炭素と言うこともある）を接触させるには、不活性ガス例えば窒素ガスをキャリヤとして反応剤に連続的または間欠的に供給するようにするのが便宜である。この場合、弗化炭素は不活性ガスで希釈されるが、不活性ガスは熱を運び去る働きをするが、反応には実質的に関与しない。本明細書において被処理ガス中の酸素濃度とは、かような不活性キャリヤガスを含む場合には、かようなガスを含む全ガス量中の酸素濃度を意味する。   In order to contact this reactant with perfluorocarbon or hydrofluorocarbon (hereinafter abbreviated as PFC or HFC, or simply referred to as fluorinated carbon), an inert gas such as nitrogen gas is used as a carrier to the reactant. Conveniently or intermittently supplied. In this case, the fluorocarbon is diluted with an inert gas, which serves to carry away heat but is not substantially involved in the reaction. In the present specification, the oxygen concentration in the gas to be treated means the oxygen concentration in the total gas amount including such a gas when such an inert carrier gas is included.

図１は、本発明法を実施する装置の一例を示したものである。図中の１は金属製の反応容器（管）であり、この中に炭素質固体材料とアルカリ土類金属化合物とからなる反応剤２が装填される。図例のものは管状の反応容器１を縦型にしたものであり、反応剤２は容器内に固定した通気性床３の上に装填されている。反応容器１の金属管としてはステンレス鋼またはニッケル基合金からなる管を使用することができる。   FIG. 1 shows an example of an apparatus for carrying out the method of the present invention. In the figure, reference numeral 1 denotes a metal reaction vessel (tube) into which a reactant 2 composed of a carbonaceous solid material and an alkaline earth metal compound is loaded. In the illustrated example, a tubular reaction vessel 1 is formed into a vertical type, and a reactant 2 is loaded on an air-permeable bed 3 fixed in the vessel. As the metal tube of the reaction vessel 1, a tube made of stainless steel or nickel base alloy can be used.

反応容器１は加熱炉４内に設置される。図示の加熱炉４は、通電により発熱する発熱体を用いた電気ヒーター５を熱源としたもので、この電気ヒーター５によって炉内雰囲気６の温度が所要の温度に昇温し、この炉内の熱が金属製反応容器壁を介して反応剤２に伝達される。炉内雰囲気６の温度を所要の温度に高めることができるものであれば、熱源としては電気ヒーターに限られるものではない。例えば燃焼排ガスなどの高温ガスを熱源とすることもできる。   The reaction vessel 1 is installed in the heating furnace 4. The illustrated heating furnace 4 uses an electric heater 5 using a heating element that generates heat when energized as a heat source. The electric heater 5 raises the temperature of the atmosphere 6 in the furnace to a required temperature. Heat is transferred to the reactant 2 through the metal reaction vessel wall. As long as the temperature of the furnace atmosphere 6 can be raised to a required temperature, the heat source is not limited to the electric heater. For example, high-temperature gas such as combustion exhaust gas can be used as a heat source.

このようにして加熱炉４内に設置される反応容器１には被処理ガス導入口７が設けられ、この被処理ガス導入口７はＰＦＣまたはＨＦＣを入れた弗化炭素容器８に配管接続される。弗化炭素容器８は必要に応じて加熱手段９により間接加熱できるようにしておき、この加熱により弗化炭素容器８内のガス圧を高める。また、容器８からのガス放出管１０には流量調整弁１１を介装する。図１の実施例では、弗化炭素容器８に加えて、酸素ガスボンベ１２と窒素ガスボンベ１３を別置きし、これらから、酸素ガスと窒素ガスをそれぞれ流量調整弁１４、１５を介装したガス放出管１６、１７を経ていったんガスヘッダー１８に導くと共にこのヘッダー１８に弗化炭素を導くことにより、弗化炭素ガスに酸素ガスを添加すると共にキャリヤとしての窒素ガスを混合し、このヘッダー１８で混合された被処理ガスをガス供給管１９を経て反応容器１の被処理ガス導入口７に送り込むようにしてある。   In this manner, the reaction vessel 1 installed in the heating furnace 4 is provided with the gas inlet 7 to be processed, and this gas inlet 7 is connected to the fluorocarbon vessel 8 containing PFC or HFC. The The carbon fluoride container 8 can be indirectly heated by the heating means 9 as necessary, and the gas pressure in the carbon fluoride container 8 is increased by this heating. Further, a flow rate adjusting valve 11 is interposed in the gas discharge pipe 10 from the container 8. In the embodiment shown in FIG. 1, in addition to the carbon fluoride container 8, an oxygen gas cylinder 12 and a nitrogen gas cylinder 13 are provided separately, and oxygen gas and nitrogen gas are released from these through gas flow control valves 14 and 15, respectively. Through the pipes 16, 17, the gas is once introduced into the gas header 18 and the carbon fluoride is introduced into the header 18, whereby oxygen gas is added to the carbon fluoride gas and nitrogen gas as a carrier is mixed. The treated gas is fed into the treated gas inlet 7 of the reaction vessel 1 through the gas supply pipe 19.

なおこの例に限らず、弗化炭素、窒素および酸素を予め混合してなる混合ガスを一つの容器内に準備し、この混合ガスを直接的に被処理ガス導入口７に送り込むようにしてもよいし、弗化炭素容器８に窒素ガスを送り込み、この窒素ガスによって弗化炭素を容器から強制的に送り出し、その放出管路に酸素ガスを添加するようにしてもよい。いずれにしても、酸素ガス導入管を容器８自身または容器８から被処理ガス導入７に至るまでの配管に接続するようにする。   Note that the present invention is not limited to this example, and a mixed gas obtained by previously mixing carbon fluoride, nitrogen, and oxygen is prepared in one container, and the mixed gas is directly fed into the gas inlet 7 to be processed. Alternatively, nitrogen gas may be fed into the carbon fluoride container 8, the carbon fluoride may be forced out of the container by the nitrogen gas, and oxygen gas may be added to the discharge pipe. In any case, the oxygen gas introduction pipe is connected to the vessel 8 itself or a pipe extending from the vessel 8 to the gas to be treated 7.

他方、反応容器１のガス排出口２０には排ガス管路２１が接続され、この排ガス管路２１はハロゲン吸収ビン２２に接続され、このビン２２にガス放出管２３が取付けられている。また、排ガス管路２１にはサンプリング管２４が取付けられ、このサンプリング管２４でサンブリングされた排ガスはガス分析器２５に送られる。   On the other hand, an exhaust gas pipe 21 is connected to the gas discharge port 20 of the reaction vessel 1, the exhaust gas pipe 21 is connected to a halogen absorption bottle 22, and a gas discharge pipe 23 is attached to the bin 22. A sampling pipe 24 is attached to the exhaust gas pipe 21, and the exhaust gas sampled by the sampling pipe 24 is sent to the gas analyzer 25.

図２は、反応容器１から出る排ガスの排ガス管路２１に、排ガス酸化装置２６を接続した例を示したものである。排ガス酸化装置２６はこの中を通過する排ガスの実質的全量が触媒層２７を通過するようにしたものであり、触媒層２７にはＣＯからＣＯ₂への酸化反応を促進する酸化触媒が装填してある。この触媒としては、白金、パラジウム等のような貴金属触媒を耐熱性の担体に担持させたものや、ホプカライト触媒が使用できる。また、この排ガス酸化装置２６に入る前の排ガスに酸素を添加するための酸素導入管２８が接続してあり、この酸素導入管２８の流量調節弁２９によって、酸素源３０からの排ガスへの酸素添加量を調節する。なお、この酸素を導入する位置よりも上流側の排ガス管路２１に窒素ガス３４を導入する管路３５を設け、この管路３５から窒素ガス３４を排ガス中の混合することにより排ガス中のＣＯ濃度を低くしてから酸素を導入するようにすると、排ガス中のＣＯ濃度が高くなった場合にも、酸素導入位置でＣＯがＣＯ₂に燃焼するような現象を抑制することができる。排ガスに添加する酸素源３０として空気を用いることもできる。排ガス酸化装置２６を通過した排ガスは、図１と同様の経路でハロゲン吸収ビン２２に送られる。 FIG. 2 shows an example in which an exhaust gas oxidation device 26 is connected to the exhaust gas conduit 21 for the exhaust gas exiting from the reaction vessel 1. The exhaust gas oxidizer 26 is configured so that substantially the entire amount of exhaust gas passing through the exhaust gas oxidizer 26 passes through the catalyst layer 27. The catalyst layer 27 is loaded with an oxidation catalyst that promotes the oxidation reaction from CO to CO ₂ . It is. As this catalyst, a catalyst in which a noble metal catalyst such as platinum or palladium is supported on a heat-resistant carrier, or a hopcalite catalyst can be used. In addition, an oxygen introduction pipe 28 for adding oxygen to the exhaust gas before entering the exhaust gas oxidizer 26 is connected, and oxygen to the exhaust gas from the oxygen source 30 is connected by a flow control valve 29 of the oxygen introduction pipe 28. Adjust the amount added. A pipe 35 for introducing nitrogen gas 34 is provided in the exhaust gas pipe 21 upstream from the position where oxygen is introduced, and the nitrogen gas 34 is mixed into the exhaust gas from the pipe 35 to thereby remove CO in the exhaust gas. If oxygen is introduced after the concentration is lowered, even if the CO concentration in the exhaust gas is increased, a phenomenon in which CO burns to CO ₂ at the oxygen introduction position can be suppressed. Air can also be used as the oxygen source 30 added to the exhaust gas. The exhaust gas that has passed through the exhaust gas oxidation device 26 is sent to the halogen absorption bottle 22 through the same route as in FIG.

図１および図２の装置において、反応容器１内の反応剤２には加熱炉４内の雰囲気温度が容器壁を通じて伝達されるが、分解反応や反応剤中の炭素の酸化反応等の反応による熱収支と、導入ガスと排出ガスによって出入する熱容量の収支によって温度が変化するが、図示のように、反応剤２のほぼ中心に挿入された温度センサー（熱電対）３１によって、反応帯域の温度を温度測定器３２で検出し続け、この温度が所定の温度に維持されるように、熱源５からの供給熱量を制御する。また、加熱炉４内の炉内雰囲気６の温度も温度センサー３３によって検出しその検出値に基づいて加熱炉自体の温度制御も適宜行う。   In the apparatus of FIGS. 1 and 2, the atmospheric temperature in the heating furnace 4 is transmitted to the reactant 2 in the reaction vessel 1 through the vessel wall, but due to a reaction such as a decomposition reaction or an oxidation reaction of carbon in the reactant. Although the temperature varies depending on the heat balance and the balance of heat capacity in and out of the introduced gas and exhaust gas, as shown in the figure, the temperature of the reaction zone is measured by a temperature sensor (thermocouple) 31 inserted almost at the center of the reactant 2. Is continuously detected by the temperature measuring device 32, and the amount of heat supplied from the heat source 5 is controlled so that this temperature is maintained at a predetermined temperature. Further, the temperature of the furnace atmosphere 6 in the heating furnace 4 is also detected by the temperature sensor 33, and the temperature control of the heating furnace itself is appropriately performed based on the detected value.

このようにして、被処理ガス中のＰＦＣまたはＨＦＣはほぼ完全に（１００％近い分解率）で分解し、分解したフッ素は反応剤中のアルカリ土類金属と反応してフッ化アルカリ土類金属となり、排ガス中にはこれらの弗化炭素類およびフッ素は残存しなくなる。また排ガス酸化装置２６によって排ガス中のＣＯの全てをＣＯ₂に酸化させることができる。 In this way, PFC or HFC in the gas to be treated decomposes almost completely (decomposition rate near 100%), and the decomposed fluorine reacts with the alkaline earth metal in the reactant to react with the alkaline earth metal fluoride. Thus, these fluorocarbons and fluorine do not remain in the exhaust gas. Further, the exhaust gas oxidizer 26 can oxidize all the CO in the exhaust gas to CO ₂ .

図３は、半導体製造工程で使用された使用済ＰＦＣまたはＨＦＣを本発明によって分解処理する場合の例を示したものである。半導体製造工程から出る使用済ＰＦＣまたはＨＦＣは、通常は酸素と窒素を含有した弗化炭素として取り出される。この酸素含有弗化炭素３７は一般に管路３８を経てルーチンな処理工程３６に送られている。本発明の適用にさいし、この弗化炭素供給管３８を反応容器１の被処理ガス導入口７に接続する。図示の例では、該供給管３８から三方弁３９を介して分岐管４０を取付け、この分岐管４０を被処理ガス導入口７に接続したものである。そして、この分岐管４０に窒素ガス供給管４１を連結し、窒素ガス源４２から窒素ガスを分岐管４０内に流量可変に圧送できるようにしてある。これにより、三方弁３９を切り換えたさいに、分岐管４０の側に原料ガスが流れ難くても、窒素ガス源４２から必要量の窒素ガスを送気することにより、原料ガスを被処理ガス導入口７に向けて実質的に同一流量で搬送することができる。   FIG. 3 shows an example in which a used PFC or HFC used in a semiconductor manufacturing process is decomposed according to the present invention. Spent PFC or HFC from the semiconductor manufacturing process is usually extracted as fluorocarbon containing oxygen and nitrogen. The oxygen-containing carbon fluoride 37 is generally sent to a routine processing step 36 via a conduit 38. When the present invention is applied, the carbon fluoride supply pipe 38 is connected to the gas inlet 7 of the reaction vessel 1. In the illustrated example, a branch pipe 40 is attached from the supply pipe 38 via a three-way valve 39, and this branch pipe 40 is connected to the gas inlet 7 to be processed. A nitrogen gas supply pipe 41 is connected to the branch pipe 40 so that nitrogen gas can be pumped from the nitrogen gas source 42 into the branch pipe 40 at a variable flow rate. As a result, when the three-way valve 39 is switched, even if the source gas does not easily flow to the branch pipe 40 side, a necessary amount of nitrogen gas is supplied from the nitrogen gas source 42 to introduce the source gas into the gas to be processed. It can be conveyed toward the mouth 7 at substantially the same flow rate.

前記の使用済ＰＦＣまたはＨＦＣは通常は酸素および窒素を含有したガスとして取り出され、しかも、この使用済ガス中の酸素含有量は２０容量％を超えることは通常はない。したがって、半導体製造工程で排出する使用済ＰＦＣまたはＨＦＣの分解処理に対して、本発明法は非常に有利である。   The used PFC or HFC is usually taken out as a gas containing oxygen and nitrogen, and the oxygen content in the used gas usually does not exceed 20% by volume. Therefore, the method of the present invention is very advantageous for the decomposition treatment of used PFC or HFC discharged in the semiconductor manufacturing process.

図４と図５は、反応容器１の内部に加熱源を設置して、容器の内部から反応剤２に熱を伝達するようにした本発明例を示したものである。両図において、４４は反応容器１を取り巻く耐熱性の炉材、７は容器への被処理ガス導入口、２０は容器からのガス排出口である。   4 and 5 show an example of the present invention in which a heat source is installed inside the reaction vessel 1 so that heat is transferred from the inside of the vessel to the reactant 2. In both figures, 44 is a heat-resistant furnace material surrounding the reaction vessel 1, 7 is a gas introduction port to be treated into the vessel, and 20 is a gas discharge port from the vessel.

図４の場合には、反応剤２の充填層の内部に、通電により発熱する発熱体４３を配置したものであり、発熱体４３は耐食耐熱性のカバーで被覆してある。本例によると、反応剤２の充填層内部から熱が伝達されるので、反応剤を所望の温度まで高めるための昇温速度を高めることができまた熱損失も少なくなる。   In the case of FIG. 4, a heating element 43 that generates heat upon energization is disposed inside the packed bed of the reactant 2, and the heating element 43 is covered with a corrosion-resistant heat resistant cover. According to this example, since heat is transferred from the inside of the packed bed of the reactant 2, the temperature rising rate for raising the reactant to a desired temperature can be increased, and heat loss is reduced.

図５の場合には、反応容器１の内部を、反応剤２の充填層と加熱層に分け、容器１内に導入された被処理ガスは加熱層を経てから反応剤充填層に流れるようにしたものである。加熱層では、通電により発熱する発熱体４６を容器蓋４５に取付けてある。被処理ガスは加熱層を通過するさいに熱を付与されると共に反応剤２にも熱が伝達される。本例では、容器内に電気ヒーターを入れたので、熱の利用効率が高くなると共に発熱体４６が反応剤や反応後のガスに接触しないので劣化が少ないという利点がある。   In the case of FIG. 5, the inside of the reaction vessel 1 is divided into a packed bed of the reactant 2 and a heated layer so that the gas to be treated introduced into the vessel 1 flows into the reactant packed bed after passing through the heated layer. It is a thing. In the heating layer, a heating element 46 that generates heat when energized is attached to the container lid 45. When the gas to be treated passes through the heating layer, heat is applied and heat is also transmitted to the reactant 2. In this example, since the electric heater is put in the container, there is an advantage that the heat utilization efficiency becomes high and the heating element 46 does not come into contact with the reactant or the gas after the reaction, so that there is little deterioration.

図６は、加熱源をもつ反応容器１に導入する前の被処理ガスと、反応容器２から出た排ガスとを熱交換するための熱交換器４８を配置した本発明例を示したものである。この熱交換器４８を配置することにより、排ガスが有する顕熱を被処理ガスに付与することにより、熱の回収が図られるので、加熱源の熱消費を低くすることができる。   FIG. 6 shows an example of the present invention in which a heat exchanger 48 for exchanging heat between the gas to be treated before being introduced into the reaction vessel 1 having a heating source and the exhaust gas emitted from the reaction vessel 2 is arranged. is there. By disposing the heat exchanger 48, heat is recovered by applying sensible heat of the exhaust gas to the gas to be treated, so that heat consumption of the heating source can be reduced.

上に説明した本発明装置の場合、装填した反応剤が消耗し尽きると、分解反応は終了する。この反応終点は排ガス中に弗化炭素類若しくはその他のフッ素化合物が検出され始めた時点をもって知ることができる。反応が終了すれば、装置の稼働を停止し、新たに反応剤を装填して反応を開始するというバッチ方式で、同一装置で順次弗化炭素類の分解を行うことができる。このバッチ方式を連続化するために、複数の同様の装置を並設し、一方の装置が稼働している間に他の装置の反応剤の入れ換えを行ない、一方の装置が停止したときに他方の装置にガス流路を切り替えるという複塔切替方式を採用こともできる。また、反応容器内への反応剤の連続または断続供給と使用済反応剤の反応容器内からの連続または断続排出ができるようにしたものを使用すれば、同一装置で長時間連続稼働ができる。   In the case of the apparatus of the present invention described above, the decomposition reaction ends when the loaded reactant is exhausted. The end point of this reaction can be known at the time when the fluorinated carbons or other fluorine compounds start to be detected in the exhaust gas. When the reaction is completed, the operation of the apparatus is stopped, the reaction is started by loading a new reactant, and the carbon fluorides can be sequentially decomposed in the same apparatus. In order to make this batch system continuous, a plurality of similar apparatuses are arranged in parallel, while one apparatus is operating, the reactants of the other apparatus are replaced, and when one apparatus stops, the other It is also possible to adopt a multi-column switching system in which the gas flow path is switched to this apparatus. In addition, if one that allows continuous or intermittent supply of the reactant into the reaction vessel and continuous or intermittent discharge of the spent reactant from the reaction vessel is used, continuous operation can be performed for a long time in the same apparatus.

図７は、後記の比較例と同じく、塩素を構成成分とするトリクロロ−トリフルオロエタン（ＣＦＣ）を、ＣＦＣの濃度：１０vol.％、ガス流量：０.１５リットル／分、反応剤のＣ／ＣａＯのモル比：１.６７、反応剤最高温度：８００℃として、被処理ガス中の酸素濃度が０％の場合と１０％の場合について分解処理したさいの、ＣＦＣの流入量とＣＦＣ分解率の関係を示したものである。ここで、ＣＦＣの分解率は後述のとおりのものであり、ＣＦＣの流入量は表示の分解率になるまでに反応容器に流入したＣＦＣの積算量（ｇ）である。図７の結果から、塩素を構成成分とする塩化弗化炭素の分解処理では、被処理ガス中に酸素が含有されると分解率は急激に低下することがわかる。   FIG. 7 shows, similarly to the comparative example described later, trichloro-trifluoroethane (CFC) containing chlorine as a constituent, CFC concentration: 10 vol.%, Gas flow rate: 0.15 liter / min, The inflow amount of CFC and the CFC decomposition rate when decomposition treatment was performed when the oxygen concentration in the gas to be treated was 0% and 10% at a CaO molar ratio of 1.67 and a reactant maximum temperature of 800 ° C. This shows the relationship. Here, the decomposition rate of CFC is as described later, and the inflow amount of CFC is the integrated amount (g) of CFC that has flowed into the reaction container until the decomposition rate indicated. From the results of FIG. 7, it can be seen that in the decomposition treatment of chlorofluorocarbon containing chlorine as a constituent component, the decomposition rate rapidly decreases when oxygen is contained in the gas to be processed.

一方、図８は、後記の実施例１と同じく、パーフルオロエタン（ＰＦＣ）を、ＰＦＣの濃度：１０vol.％、ガス流量：０.１５リットル／分、反応剤のＣ／ＣａＯのモル比：１.６７、反応剤最高温度：８００℃として、被処理ガス中の酸素濃度が０％の場合と１０％の場合について分解処理したさいの、ＰＦＣの流入量とＰＦＣ分解率の関係を示したものである。すなわち、図８のものは、分解に供するガスとしてトリクロロ−トリフルオロエタンをパーフルオロエタンに代えた以外は、図７のものと同じ反応条件である。図８では、図７のものとは逆に、被処理ガス中に酸素が含有されないと分解率は急激に低下することがわかる。   On the other hand, FIG. 8 shows, as in Example 1 described later, perfluoroethane (PFC), PFC concentration: 10 vol.%, Gas flow rate: 0.15 liter / min, C / CaO molar ratio of the reactants: 1.67, Reactant maximum temperature: 800 ° C. The relationship between the inflow amount of PFC and the PFC decomposition rate was shown when the oxygen concentration in the gas to be treated was 0% and 10%. Is. That is, the reaction conditions in FIG. 8 are the same as those in FIG. 7 except that trichloro-trifluoroethane is replaced with perfluoroethane as the gas to be decomposed. In FIG. 8, it can be seen that, contrary to the case of FIG. 7, the decomposition rate rapidly decreases when the gas to be treated does not contain oxygen.

図９は、加熱方式を実施例のように電気ヒーター加熱とした場合と、これとは別にマイクロ波加熱とした場合のパーフルオロエタン（ＰＦＣ）の分解率の違いを示したものである。反応条件としては、いずれの場合も、弗化炭素の濃度：１０vol.％、ガス流量：０.１５リットル／分、酸素濃度：１０vol.％、反応剤のＣ／ＣａＯのモル比：１.６７とし、マイクロ波加熱は後記実施例の反応管をマイクロ波透過性のセラミックス材料で構成し、これをマイクロ波を照射するアプリケータ内に設置した以外は、後記実施例と同じ容量の反応装置としたものである。   FIG. 9 shows the difference in the decomposition rate of perfluoroethane (PFC) when the heating method is the electric heater heating as in the embodiment and when the heating method is microwave heating separately. As reaction conditions, in all cases, the concentration of carbon fluoride: 10 vol.%, The gas flow rate: 0.15 liter / min, the oxygen concentration: 10 vol.%, The C / CaO molar ratio of the reactant: 1.67. The microwave heating is a reactor having the same capacity as that of the examples described later, except that the reaction tube of the examples described later is made of a microwave permeable ceramic material and installed in an applicator that irradiates microwaves. It is a thing.

図９の結果に見られるように、電気ヒーター加熱の場合には、反応管内の反応剤最高温度は８００℃に始終維持され、ＰＦＣの積算流入量が４０ｇ程度になるまでは分解率が１００％近い値となり、該流入量が５５ｇ程度となったところで分解率は９５％に低下した。他方、マイクロ波加熱の場合には、ＰＦＣの積算流入量が２０ｇ程度のところで分解率が低下し始め、反応剤温度も８００℃を維持できなくなり、その後は分解率、反応剤温度も急激に低下した。すなわちＰＦＣの積算流入量が２９ｇの時点で分解率９５％、反応剤温度６００℃となり、その後は両値とも急激に低下し、分解処理は実効を示さなくなった。このことは、マイクロ波加熱の場合には、被処理ガスに酸素が含まれると反応剤（特に炭素）が酸化し、マイクロ波加熱では反応剤温度を意図する温度に長時間維持できなくなるからであろうと推察される。   As can be seen from the results in FIG. 9, in the case of heating with an electric heater, the maximum temperature of the reactant in the reaction tube is maintained at 800 ° C. throughout, and the decomposition rate is 100% until the cumulative inflow of PFC reaches about 40 g. When the inflow amount was about 55 g, the decomposition rate decreased to 95%. On the other hand, in the case of microwave heating, the decomposition rate starts to decrease when the cumulative inflow amount of PFC is about 20 g, the reactant temperature cannot be maintained at 800 ° C., and then the decomposition rate and the reactant temperature also rapidly decrease. did. That is, when the cumulative inflow of PFC was 29 g, the decomposition rate was 95% and the reactant temperature was 600 ° C., and thereafter both values decreased rapidly, and the decomposition treatment became ineffective. This is because in the case of microwave heating, if the gas to be treated contains oxygen, the reactant (especially carbon) is oxidized, and in microwave heating, the temperature of the reactant cannot be maintained at the intended temperature for a long time. I guess it will be.

〔実施例１〕
図１に示したものと同じ原理の装置を使用して本発明法を実施した。すなわち通電により発熱する発熱体（カンタル合金を使用）を装着した管状炉（電気容量２０ＫＷ）の軸中心に沿って、内径２８ｍｍ、長さ１０００ｍｍのオーステナイト系ステンレス鋼（ＳＵＳ３０４）からなる反応管を貫通させ、この反応管内の炉中心部に、原料としてチャー炭と消石灰を用いて作製した粒状の反応剤１００ｇを装填した。この反応剤は、粒度２５０μｍ以下のチャー炭と粒度２５０μｍ以下の消石灰を重量比で１対３の割合で配合し、ヘンシエルミキサーで混合し水を添加して造粒したあと、１１０℃で４時間の乾燥処理し、窒素雰囲気中で８００℃で８時間の熱処理を行って脱水焼成し、得られた焼成品を１.４〜４.０ｍｍのものに整粒したもの（ペレット）である。原料のチャー炭は、固定炭素７８％、揮発分９％、灰分３％、水分１０％のものを使用し、原料の消石灰はＪＩＳＲ９００１の規格品を使用した。製造されたペレットを分析したところ、この反応剤ペレットは炭素（Ｃ）と酸化カルシウム（ＣａＯ）が主成分であり、Ｃ／ＣａＯのモル比は１.６７であった。この反応剤の装填中心部に熱電対を挿入し、反応の間、反応剤の温度を計測した。 [Example 1]
The method of the present invention was carried out using an apparatus of the same principle as that shown in FIG. That is, it penetrates a reaction tube made of austenitic stainless steel (SUS304) having an inner diameter of 28 mm and a length of 1000 mm along the axial center of a tubular furnace (electric capacity 20 kW) equipped with a heating element (using a Kanthal alloy) that generates heat when energized. Then, 100 g of a granular reactant prepared using char charcoal and slaked lime as raw materials was loaded into the center of the furnace in the reaction tube. This reactant is a char charcoal having a particle size of 250 μm or less and slaked lime having a particle size of 250 μm or less in a weight ratio of 1: 3, mixed with a Henschel mixer, granulated by adding water, and then granulated at 110 ° C. This is a product (pellet) obtained by drying for a period of time, performing a heat treatment at 800 ° C. for 8 hours in a nitrogen atmosphere, dehydrating and firing, and sizing the obtained fired product to a size of 1.4 to 4.0 mm. The raw char charcoal used was 78% fixed carbon, 9% volatile, 3% ash, and 10% water, and the slaked lime used was a JISR9001 standard product. When the manufactured pellet was analyzed, the reactant pellet was mainly composed of carbon (C) and calcium oxide (CaO), and the molar ratio of C / CaO was 1.67. A thermocouple was inserted into the loading center of the reactant, and the temperature of the reactant was measured during the reaction.

分解に供する弗化炭素としてパーフルオロエタン（Ｃ₂Ｆ₆)を使用し、図１に示したように、このパーフルオロエタンに酸素ガスを添加すると共に、窒素ガスをキャリヤとして前記の反応管に導入した。そのさい、この被処理ガスの流量は０.１５リットル／分の一定として、酸素ガスの添加量だけを変えた５例の試験（Ｎo.１〜５）を行った。どの例でも、被処理ガス中の弗化炭素の量は１０vol.％の一定とした。いずれの例でも被処理ガスの導入にさいしては、発熱体への通電を開始し、反応剤の中心部の温度が８００℃となったことを確かめた上で行なった。反応の間は、反応剤の中心部（反応剤の嵩のうち最も高温となる部位）に挿入した熱電対で計測される温度が８００℃で維持されるように管状炉の通電量を制御した。反応のあいだ維持したこの温度のことを以後に「反応剤最高温度」と呼ぶ。 Perfluoroethane (C ₂ F ₆ ) is used as the fluorocarbon to be decomposed, and as shown in FIG. 1, oxygen gas is added to the perfluoroethane, and nitrogen gas is used as a carrier in the reaction tube. Introduced. At that time, the flow rate of the gas to be treated was constant at 0.15 liters / minute, and five tests (Nos. 1 to 5) were performed by changing only the amount of oxygen gas added. In any example, the amount of carbon fluoride in the gas to be treated was fixed at 10 vol.%. In any of the examples, the introduction of the gas to be treated was started after energization of the heating element was started and it was confirmed that the temperature of the central part of the reactant was 800 ° C. During the reaction, the energization amount of the tubular furnace was controlled so that the temperature measured by a thermocouple inserted in the central part of the reactant (the highest part of the bulk of the reactant) was maintained at 800 ° C. . This temperature maintained during the reaction is hereinafter referred to as “reactant maximum temperature”.

反応管から排出される排ガスの一部は図１に示したようにサンプリングし続けてガス分析器に導き、残部は苛性ソーダ溶液を入れたフッ素吸収ビンを通じたあと系外に排出した。排ガスの分析は、排ガス中に含まれる弗化炭素、その他のフッ素化合物、Ｏ₂、Ｎ₂、ＣＯ₂、ＣＯについて行った。弗化炭素、Ｏ₂、Ｎ₂、ＣＯ₂についてはガスクロマトグラフイを使用し、ＣＯについてはＣＯガス検知管を使用し、そしてその他のフッ素化合物についてはイオンクロマトグラフイを用いた。 A part of the exhaust gas discharged from the reaction tube was continuously sampled as shown in FIG. 1 and led to a gas analyzer, and the remainder was discharged outside the system through a fluorine absorption bottle containing a caustic soda solution. The analysis of the exhaust gas was performed for carbon fluoride, other fluorine compounds, O ₂ , N ₂ , CO ₂ and CO contained in the exhaust gas. A gas chromatograph was used for carbon fluoride, O ₂ , N ₂ , and CO ₂ , a CO gas detector tube was used for CO, and an ion chromatograph was used for other fluorine compounds.

各試験（Ｎo.１〜５）の反応条件と反応結果を表１に示した。表１において、反応結果の欄に示した３０分後の分解率、弗化炭素の分解量、反応剤のＣａＯ消費率は、次のようにして求めたものである。   The reaction conditions and reaction results for each test (Nos. 1 to 5) are shown in Table 1. In Table 1, the decomposition rate after 30 minutes, the decomposition amount of carbon fluoride, and the CaO consumption rate of the reactants shown in the reaction result column are obtained as follows.

〔３０分後の分解率％〕
反応開始から３０分経過した時点の排ガスサンプルから、排ガス中に残存している弗化炭素量を測定し、被処理ガス中の弗化炭素に対する排ガス中の弗化炭素の１００分率をもって表した。 [Decomposition rate after 30 minutes%]
The amount of carbon fluoride remaining in the exhaust gas was measured from the exhaust gas sample after 30 minutes from the start of the reaction, and expressed as a 100-percentage of carbon fluoride in the exhaust gas relative to the fluorocarbon in the gas to be treated. .

〔弗化炭素の分解量（ｇ）〕
反応終点までに分解した弗化炭素の量である。反応終点は分解率が９５％に低下した時点とした。実際には、３０分毎の排ガス分析値から、３０分毎の分解率を求め、各３０分間に流入した弗化炭素量にそのときの分解率を掛けた値をその３０分間の分解量とし、反応開始から分解率が９５％に低下する時点までの分解量の積算値をもって、弗化炭素の分解量（ｇ）とした。 [Decomposition amount of carbon fluoride (g)]
This is the amount of carbon fluoride decomposed by the end of the reaction. The end point of the reaction was the time when the decomposition rate decreased to 95%. Actually, the decomposition rate every 30 minutes is obtained from the exhaust gas analysis value every 30 minutes, and the value obtained by multiplying the amount of carbon fluoride flowing in each 30 minutes by the decomposition rate at that time is taken as the decomposition amount for 30 minutes. The integrated value of the decomposition amount from the start of the reaction to the time when the decomposition rate decreased to 95% was taken as the decomposition amount (g) of fluorocarbon.

〔反応剤のＣａＯ消費率％〕
前記の反応終点に至るまでに消費した反応剤中のＣａＯ量の百分率である。ＣａＯの消費はＣａＦ₂の生成で起きると仮定し、反応終点までに分解した弗化炭素中のフッ素量の積算値と、排ガス中に検出されるフッ素量の積算値とから、Ｃａに固定されたフッ素量の積算値を求め、反応終点までに消費したＣａＯ量を算出した。 [CaO consumption rate of reactants%]
It is the percentage of the amount of CaO in the reactant consumed up to the reaction end point. Assuming that the consumption of CaO is caused by the formation of CaF ₂ , it is fixed to Ca from the integrated value of the amount of fluorine in the fluorocarbon decomposed by the end of the reaction and the integrated value of the amount of fluorine detected in the exhaust gas. The amount of fluorine added was calculated, and the amount of CaO consumed up to the reaction end point was calculated.

表１の結果から、被処理ガス中の酸素濃度が０％のＮo.１では、３０分後の分解率はほぼ１００％に達しているが、反応終点までに分解した弗化炭素の分解量は１３ｇであったところ、Ｎo.２〜４のように酸素濃度が高くなるにつれて、３０分後の分解率は同じく１００％に達するとともに、反応終点までに分解した弗化炭素の分解量は３１、５１、５２ｇと増大していることがわかる。Ｎo.５のように更に酸素濃度が高くなると、反応終点までの弗化炭素分解量はやや低下するようになる。また、Ｎo.３および４のＣＯ測定に見られるように、酸素添加量が多い方のＮo.４はＮo.３のものよりも排ガス中のＣＯ量が多くなっている。   From the results shown in Table 1, when the oxygen concentration in the gas to be treated is No. 1, the decomposition rate after 30 minutes has reached almost 100%, but the decomposition amount of carbon fluoride decomposed by the end point of the reaction Was 13 g. As the oxygen concentration increased as in Nos. 2 to 4, the decomposition rate after 30 minutes similarly reached 100%, and the decomposition amount of fluorocarbon decomposed by the end of the reaction was 31 , 51 and 52 g. When the oxygen concentration is further increased as in No. 5, the amount of carbon fluoride decomposition until the reaction end point slightly decreases. Further, as can be seen in the CO measurement of No. 3 and No. 4, No. 4 with the larger oxygen addition amount has a larger amount of CO in the exhaust gas than that of No. 3.

〔実施例２〕
被処理ガス中の酸素濃度を５vol.％の一定とし、Ｃ／ＣａＯのモル比を変えた反応剤を使用した以外は、実施例１と同様の試験（Ｎo.６〜９）を行った。反応剤のＣ／ＣａＯのモル比は、チャー炭と消石灰の配合量を変えて、実施例１と同様にして製造したペレットを分析し、ペレット中のＣ量、ＣａＯ量を測定し、これらの測定値から求めたものである。試験結果を表１に併記した。この結果から、パーフルオロエタンの反応終点までの分解量はＣ／ＣａＯのモル比によって影響を受けることがわかる。本例ではＣ／ＣａＯのモル比が約１.７付近で最も良好な成績が得られていることがわかる。 [Example 2]
The same tests (Nos. 6 to 9) as in Example 1 were performed except that the oxygen concentration in the gas to be treated was kept constant at 5 vol.% And a reactant having a different C / CaO molar ratio was used. The C / CaO molar ratio of the reactant was changed in the amount of char charcoal and slaked lime, and the pellets produced in the same manner as in Example 1 were analyzed to measure the amount of C and CaO in the pellets. It is obtained from the measured value. The test results are also shown in Table 1. From this result, it can be seen that the decomposition amount of perfluoroethane to the reaction end point is influenced by the molar ratio of C / CaO. In this example, it can be seen that the best results are obtained when the molar ratio of C / CaO is about 1.7.

〔実施例３〕
パーフルオロエタンに代えてパーフルオロメタンを使用した以外は実施例１と同様の試験を行なった。そのさい酸素濃度を０％（Ｎo.１０）と１０％（Ｎo.１１）と変化させた。試験結果を表１に併記したが、本例でも反応終点までの分解量は酸素の添加によって顕著に増大することがわかる。 Example 3
The same test as in Example 1 was performed except that perfluoromethane was used instead of perfluoroethane. At that time, the oxygen concentration was changed between 0% (No. 10) and 10% (No. 11). Although the test results are also shown in Table 1, it can be seen that in this example as well, the amount of decomposition up to the reaction end point is significantly increased by the addition of oxygen.

〔実施例４〕
パーフルオロエタンに代えてトリフルオロメタン（ＣＨＦ₃)を使用した以外は実施例１と同様の試験を行なった。そのさい、弗化炭素濃度と酸素濃度はいずれも５vol.％の一定とし、ガス流量は０.１２リットル／分とし、反応剤はＣ／ＣａＯのモル＝１.６7のものを使用し、反応剤最高温度を変えた（Ｎo.１２〜１７）。その結果を表１に示したが、反応剤最高温度が４００℃未満では３０分後の分解率が低いのに対し、４００℃以上となるとほぼ１００％の分解率が得られることがわかる。 Example 4
The same test as in Example 1 was performed except that trifluoromethane (CHF ₃ ) was used instead of perfluoroethane. At that time, the carbon fluoride concentration and the oxygen concentration are both fixed at 5 vol.%, The gas flow rate is 0.12 liter / min, and the reaction agent is C / CaO mole = 1.67. The maximum agent temperature was changed (No. 12-17). The results are shown in Table 1. It can be seen that when the maximum temperature of the reactant is less than 400 ° C, the decomposition rate after 30 minutes is low, whereas when it is 400 ° C or more, a decomposition rate of almost 100% is obtained.

〔比較例〕
塩素を構成成分とするトリクロロ−トリフルオロエタンを実施例１と同様の分解処理に供した。その反応条件と反応結果を表１に併記した。この場合には、被処理ガス中に酸素が存在しない方（比較例Ｎo.１）が分解量が多くなり、酸素が存在すると（比較例Ｎo.２）分解量はむしろ低下した。 [Comparative Example]
Trichloro-trifluoroethane containing chlorine as a constituent was subjected to the same decomposition treatment as in Example 1. The reaction conditions and reaction results are shown in Table 1. In this case, the amount of decomposition was larger in the case where oxygen was not present in the gas to be treated (Comparative Example No. 1), and the amount of decomposition was rather decreased when oxygen was present (Comparative Example No. 2).

〔実施例５〕
実施例１および２の試験Ｎo.３と同一の反応条件でパーフルオロエタンを分解処理したが、そのさいの排ガス（ＣＯ濃度：２０％）に、図２に示したように、窒素を添加したあと酸素を添加したうえで、排ガス酸化装置２６に導き、触媒層２７を通過させた（試験Ｎo.１８）。窒素添加量は５.０リットル／分、酸素添加量は１.５リットル／分であり、触媒はアルミナに白金を０.５％担持させた市販品（日揮化学株式会社製）を使用した。その結果を表１に示したが、排ガス中のＣＯ濃度は０％となった。 Example 5
Perfluoroethane was decomposed under the same reaction conditions as in Test No. 3 of Examples 1 and 2, but nitrogen was added to the exhaust gas (CO concentration: 20%) at that time as shown in FIG. After adding oxygen, it was led to the exhaust gas oxidation device 26 and passed through the catalyst layer 27 (Test No. 18). The amount of nitrogen added was 5.0 liters / minute, the amount of oxygen added was 1.5 liters / minute, and a commercially available product (manufactured by JGC Chemical Co., Ltd.) in which 0.5% platinum was supported on alumina was used. The results are shown in Table 1. The CO concentration in the exhaust gas was 0%.

〔実施例６〕
反応温度を７００℃とした以外は実施例１の試験Ｎo.３と同一の反応条件でパーフルオロエタンを分解処理した（試験Ｎo.１９）。反応結果を表１に示したが、８００℃のＮo.３に比べて成績は若干劣るが、それでも充分な分解が行われた。 Example 6
Perfluoroethane was decomposed under the same reaction conditions as in Test No. 3 of Example 1 except that the reaction temperature was 700 ° C. (Test No. 19). The results of the reaction are shown in Table 1. Although the results were slightly inferior to those of No. 3 at 800 ° C., sufficient decomposition was still performed.

〔実施例７〕
トリフルオロメタン（ＣＨＦ₃)に代えて、1,1,1,2 テトラフルオロエタン（Ｃ₂Ｈ₂Ｆ₄)を使用した以外は、実施例４と同様の試験を行った（試験Ｎo.２０）。そのさい反応剤最高温度は３５０℃とした。その結果を表１に示したが、３５０℃でも１００％近い分解率が得られた。 Example 7
A test similar to Example 4 was performed except that 1,1,1,2 tetrafluoroethane (C ₂ H ₂ F ₄ ) was used instead of trifluoromethane (CHF ₃ ) (Test No. 20). . At that time, the maximum temperature of the reactant was set to 350 ° C. The results are shown in Table 1. A decomposition rate close to 100% was obtained even at 350 ° C.

本発明法を実施する装置の一例を示した機器配置系統図である。It is the equipment arrangement | positioning system diagram which showed an example of the apparatus which enforces this invention method. 本発明法を実施する装置の排ガス経路部の他の例を示した機器配置系統図である。It is the equipment arrangement | positioning system diagram which showed the other example of the waste gas path part of the apparatus which enforces this invention method. 本発明法を実施する被処理ガス導入部の他の例を示した機器配置系統図である。It is the equipment arrangement | positioning system diagram which showed the other example of the to-be-processed gas introduction part which enforces this invention method. 本発明法に従い反応剤を反応容器内から加熱する例を示す反応容器部の略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the reaction container part which shows the example which heats a reaction agent from the inside of a reaction container according to this invention method. 本発明法に従い反応剤を反応容器内から加熱する他の例を示す反応容器部の略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the reaction container part which shows the other example which heats a reaction agent from the inside of a reaction container according to this invention method. 本発明の実施にさいし、反応容器に入る前の被処理ガスと反応容器を出た排ガスを熱交換する例を示す図である。It is a figure which shows the example which heat-exchanges the to-be-processed gas before entering into a reaction container, and the waste gas which exited reaction container in implementation of this invention. トリクロロ−トリフルオロエタン（ＣＦＣ）を、被処理ガス中の酸素濃度が０％の場合と１０％の場合について分解処理したさいの、ＣＦＣの流入量とＣＦＣ分解率の関係を示した図である。It is the figure which showed the relationship between the inflow amount of CFC, and the CFC decomposition | disassembly rate when decomposing | disassembling trichloro-trifluoroethane (CFC) about the case where the oxygen concentration in to-be-processed gas is 0%, and 10% . パーフルオロエタン（ＰＦＣ）を、被処理ガス中の酸素濃度が０％の場合と１０％の場合について分解処理したさいの、ＰＦＣの流入量とＰＦＣ分解率の関係を示した図である。It is the figure which showed the relationship between the inflow amount of PFC, and the PFC decomposition | disassembly rate at the time of decomposing | disassembling perfluoroethane (PFC) about the case where the oxygen concentration in to-be-processed gas is 0% and 10%. 反応剤の加熱方式を電気ヒーター加熱とした場合と、マイクロ波加熱とした場合のパーフルオロエタン（ＰＦＣ）の分解率の違いを示した図である。It is the figure which showed the difference in the decomposition rate of the perfluoroethane (PFC) at the time of setting the heating method of a reaction agent as electric heater heating, and setting it as microwave heating.

符号の説明Explanation of symbols

１ 反応容器
２ 反応剤
３ 通気性床
４ 加熱炉
５ 電気ヒーター
６ 加熱炉の炉内雰囲気
７ 被処理ガス導入口
８ 弗化炭素源
１２ 酸素ガス源
１３、３４、４２ 窒素ガス源
１９ ４０ 被処理ガス導入管路
２０ ガス排出口
２１ 排ガス管路
２６ 排ガス酸化器
２７ 酸化触媒
４３、４６ 通電により発熱する発熱体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Reaction container 2 Reactant 3 Breathable floor 4 Heating furnace 5 Electric heater 6 Furnace atmosphere of a heating furnace 7 To-be-processed gas inlet 8 Carbon fluoride source 12 Oxygen gas source 13, 34, 42 Nitrogen gas source 19 40 To-be-processed Gas introduction pipe 20 Gas discharge port 21 Exhaust gas pipe 26 Exhaust gas oxidizer 27 Oxidation catalyst 43, 46 Heating element that generates heat when energized

Claims (4)

パーフルオロカーボンまたはハイドロフルオロカーボンと濃度２０ｖｏｌ．％以下の酸素を含む被処理ガスの分解装置であって、炭素質固体材料とアルカリ土類金属化合物とからなる反応剤を装填した金属製の反応容器と、この反応容器内に通ずるように設けられた被処理ガス導入口と、該反応容器内から反応後のガスを排出するように設けられたガス排出口と、この反応容器を収容する炉と、この炉内の雰囲気温度を３００℃以上に高めるための通電により発熱する発熱体を用いた電気ヒーターと、前記の被処理ガス導入口と被処理ガス源とを接続する管路と、からなる弗化炭素類の分解装置。   Perfluorocarbon or hydrofluorocarbon and a concentration of 20 vol. % Of oxygen to be treated, and a metal reaction vessel loaded with a reactant composed of a carbonaceous solid material and an alkaline earth metal compound, and provided to communicate with the reaction vessel. The gas to be treated introduced, a gas outlet provided so as to discharge the reacted gas from the reaction vessel, a furnace containing the reaction vessel, and an atmospheric temperature in the furnace of 300 ° C. or higher. An apparatus for decomposing carbon fluorides, comprising: an electric heater using a heating element that generates heat when energized to increase the pressure; and a pipe line connecting the gas to be treated inlet and a gas source to be treated. パーフルオロカーボンまたはハイドロフルオロカーボンと濃度２０ｖｏｌ．％以下の酸素を含む被処理ガスの分解装置であって、炭素質固体材料とアルカリ土類金属化合物とからなる反応剤を装填した金属製の反応容器と、この反応容器内に通ずるように設けられた被処理ガス導入口と、該反応容器内から反応後のガスを排出するように設けられたガス排出口と、この反応容器を収容する炉と、この炉内の雰囲気温度を３００℃以上に高めるための通電により発熱する発熱体を用いた電気ヒーターと、前記の被処理ガス導入口と被処理ガス源とを接続する管路と、前記のガス排出口に連通するように配管接続された排ガス酸化器と、からなる弗化炭素類の分解装置。   Perfluorocarbon or hydrofluorocarbon and a concentration of 20 vol. % Of oxygen to be treated, and a metal reaction vessel loaded with a reactant composed of a carbonaceous solid material and an alkaline earth metal compound, and provided to communicate with the reaction vessel. The gas to be treated introduced, a gas outlet provided so as to discharge the reacted gas from the reaction vessel, a furnace containing the reaction vessel, and an atmospheric temperature in the furnace of 300 ° C. or higher. And an electric heater using a heating element that generates heat when energized, a pipe line connecting the gas to be processed inlet and the gas source to be processed, and a pipe connected to communicate with the gas outlet. An apparatus for decomposing carbon fluorides comprising an exhaust gas oxidizer. 前記被処理ガス源は、半導体製造工程で発生するものである請求項１または２に記載の弗化炭素類の分解装置。   3. The apparatus for decomposing carbon fluorides according to claim 1, wherein the gas to be treated is generated in a semiconductor manufacturing process. 前記反応容器に導入する前の被処理ガスと、該反応容器から出た排ガスとを熱交換する熱交換器が配置された、請求項１〜３のいずれかに記載の弗化炭素類の分解装置。   The decomposition of fluorocarbons according to any one of claims 1 to 3, wherein a heat exchanger for exchanging heat between the gas to be treated before being introduced into the reaction vessel and the exhaust gas discharged from the reaction vessel is disposed. apparatus.

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