JP2006007124A - Exhaust gas treatment apparatus - Google Patents
Exhaust gas treatment apparatus Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006007124A JP2006007124A JP2004189280A JP2004189280A JP2006007124A JP 2006007124 A JP2006007124 A JP 2006007124A JP 2004189280 A JP2004189280 A JP 2004189280A JP 2004189280 A JP2004189280 A JP 2004189280A JP 2006007124 A JP2006007124 A JP 2006007124A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exhaust gas
- cooling medium
- combustion chamber
- passage
- combustion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Chimneys And Flues (AREA)
- Incineration Of Waste (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
- Gas Separation By Absorption (AREA)
- Separation Of Particles Using Liquids (AREA)
Abstract
Description
本発明は、例えば半導体の製造工程で用いられ且つ排出される排ガスであって、可燃性ガス成分や支燃性ガス成分、環境に有害なガス成分を含有したガス等を含む排ガスを燃焼或いは熱分解させて除害処理すると共に、フッ化水素，塩化水素，フッ化珪素，塩化珪素などを含む有害な燃焼副生成ガスを吸収除害するための排ガスの処理装置であって、特に、高温下で燃焼，熱分解した燃焼排ガスを冷却して排出し、且つ燃焼排ガスに含まれた固形物の分離と有害ガスの吸収を行って排出し得るように構成した排ガスの処理装置に関するものである。 The present invention is an exhaust gas that is used and discharged in, for example, a semiconductor manufacturing process, and combusts or heats exhaust gas containing a combustible gas component, a combustion-supporting gas component, a gas containing a gas component harmful to the environment, or the like. An exhaust gas treatment apparatus for decomposing and detoxifying and absorbing and detoxifying harmful combustion by-product gases including hydrogen fluoride, hydrogen chloride, silicon fluoride, silicon chloride, etc., particularly at high temperatures The present invention relates to an exhaust gas treatment apparatus configured to cool and discharge combustion exhaust gas that has been combusted and pyrolyzed in step 1, and to separate and remove solid substances contained in the combustion exhaust gas.
半導体製造工程に於ける特定の工程から、シラン（SiH4），ジシラン（Si2H6），ジボラン（B2H6），ホスフィン（PH3），アルシン（AsH3）、三フッ化窒素(NF3)等の有害な排ガスが生成することが知られている。このような有害な排ガスは人体に対する毒性が高いため、大気への放出に際しては有毒性物質の完全な除去が要求されている。また半導体製造工程に於ける他の特定の工程から、四フッ化炭素(CF4)や六フッ化硫黄（SF6）など地球環境に悪影響を与えるフロンガスが排出される。このような排ガスは大気への放出に際して予め除害することが要求されている。 From specific processes in the semiconductor manufacturing process, silane (SiH 4 ), disilane (Si 2 H 6 ), diborane (B 2 H 6 ), phosphine (PH 3 ), arsine (AsH 3 ), nitrogen trifluoride ( It is known that harmful exhaust gas such as NF 3 ) is generated. Since such harmful exhaust gas is highly toxic to the human body, it is required to completely remove toxic substances when released to the atmosphere. In addition, chlorofluorocarbon gases such as carbon tetrafluoride (CF 4 ) and sulfur hexafluoride (SF 6 ) that adversely affect the global environment are discharged from other specific processes in the semiconductor manufacturing process. Such exhaust gas is required to be detoxified in advance when released into the atmosphere.
このため、上記の如き排ガスを燃焼させて除害した後、大気へ放出することで上記要求を満足させることが出来る有毒性排ガスの処理方法及び装置が提案されている（例えば特許文献１参照）。特許文献１に記載された技術は、上記のような排ガスを一端が閉鎖された筒状の燃焼室に導入し、該燃焼室に配置されたバーナーにより水素，メタン，エタン，プロパン，ブタン等の燃料ガスが燃焼するとき生成する高温部で分解し、或いは助燃用空気の作用により燃焼することで除害し、その後、燃焼排ガス搬送通路を通って水スクラバーに供給し、該水スクラバーで冷却すると共に粉末状の固形物や有害な燃焼副生成ガス等を吸収し、所定の煙道を通して大気に排出するものである。 For this reason, a treatment method and apparatus for toxic exhaust gas capable of satisfying the above requirements by burning the exhaust gas as described above and detoxifying it, and then releasing it to the atmosphere has been proposed (see, for example, Patent Document 1). . The technique described in Patent Document 1 introduces the exhaust gas as described above into a cylindrical combustion chamber whose one end is closed, and hydrogen, methane, ethane, propane, butane, and the like by a burner disposed in the combustion chamber. It decomposes at the high temperature part that is generated when the fuel gas burns, or burns by the action of auxiliary combustion air, then supplies to the water scrubber through the combustion exhaust gas transfer passage, and cools with the water scrubber At the same time, it absorbs powdered solids, harmful combustion by-product gases, etc., and discharges them to the atmosphere through a predetermined flue.
上記技術を実現する排ガスの処理装置は、燃焼室及び燃焼排ガス搬送通路が１台のキャビネットの内部に収容されており、該キャビネットに排ガスを導入すると共に除害して大気に排出している。特に、排ガスを除害するにあたり燃料ガスを燃焼させる際の支燃ガスとして、キャビネットの底部分から取り込んだ空気を用いており、取り込んだ空気の一部を燃焼排ガスを冷却する冷却空気としても用いている。 In the exhaust gas processing apparatus that realizes the above technology, the combustion chamber and the combustion exhaust gas transfer passage are housed in one cabinet, and the exhaust gas is introduced into the cabinet and removed to discharge to the atmosphere. In particular, the air taken in from the bottom of the cabinet is used as a combustion support gas when burning the fuel gas in removing exhaust gas, and a part of the taken air is also used as cooling air for cooling the combustion exhaust gas. Yes.
処理すべき排ガスが４フッ化炭素や６フッ化硫黄のような熱分解温度の高い物質を含む場合、燃焼排ガスを冷却する空気を大量に使用する必要が生じ、ダクトやブロワ等の設備が必要となり、設置スペースの増大という問題が生じ、この問題を解決するために特許文献２に記載された排ガスの処理装置が提案されている。
When the exhaust gas to be treated contains a substance with a high thermal decomposition temperature such as carbon tetrafluoride or sulfur hexafluoride, it is necessary to use a large amount of air for cooling the combustion exhaust gas, and facilities such as a duct and a blower are required. Thus, the problem of an increase in installation space arises, and an exhaust gas treatment apparatus described in
この排ガスの処理装置は、１台の収容容器に、燃焼室と熱交換器を収容すると共に両者を燃焼排ガス排出路によって接続したものである。この排ガスの処理装置では、収容容器内に熱交換器を設置することによって、燃焼排ガスが燃焼室から排出された直後に熱交換器によって冷却することが出来るため、収容容器に大量の冷却空気を導入することなく、燃焼排ガスを冷却することが出来る。 In this exhaust gas treatment apparatus, a combustion chamber and a heat exchanger are accommodated in a single container, and both are connected by a combustion exhaust gas discharge path. In this exhaust gas treatment device, by installing a heat exchanger in the storage container, the combustion exhaust gas can be cooled by the heat exchanger immediately after it is discharged from the combustion chamber, so a large amount of cooling air is supplied to the storage container. The combustion exhaust gas can be cooled without introducing it.
特許文献２の排ガスの処理装置では、熱分解温度の高い四フッ化炭素(CF4)や六フッ化硫黄（SF6）等を含む排ガスを除害処理した場合、大量の空気を必要とせずに燃焼排ガスを冷却することが出来る。しかし、高温の燃焼排ガスを冷却する熱交換器が腐食し易くなってしまうという問題が生じている。
In the exhaust gas treatment apparatus of
また、排ガスを燃焼させた燃焼排ガスには、多量の粉末状の固形物が含まれるため、この固形物が熱交換器に滞留して熱効率を劣化させることがあり、該熱交換器を頻繁に清掃することが必要になるという問題が生じている。 In addition, since the flue gas from which the exhaust gas is burned contains a large amount of powdered solids, the solids may stay in the heat exchanger and deteriorate the thermal efficiency. The problem arises that it becomes necessary to clean.
本発明の目的は、燃焼室から排気された燃焼排ガスを冷却することが出来、且つ燃焼排ガスに含まれた固形物の回収と有害ガスの吸収を効率的に行えるようにした排ガスの処理装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide an exhaust gas treatment apparatus capable of cooling the flue gas exhausted from the combustion chamber and efficiently collecting solids contained in the flue gas and absorbing harmful gases. It is to provide.
上記課題を解決するために本発明に係る排ガスの処理装置は、供給された排ガスを高温にして燃焼或いは分解して排気筒から排気する燃焼室と、燃焼室から排気された燃焼排ガスを冷却すると共に該燃焼排ガスに含まれた固形物を排除する水スクラバーと、前記燃焼室と水スクラバーを納める筐体と、を有する排ガスの処理装置であって、燃焼室の排気筒と水スクラバーとを接続して配置された閉鎖容器状の排ガス通路と、前記閉鎖容器状の排ガス通路に配置された冷却媒体の噴射部材と、を有して構成されたものである。 In order to solve the above-described problems, an exhaust gas treatment apparatus according to the present invention cools a combustion chamber exhausted from an exhaust pipe by burning or decomposing the supplied exhaust gas at a high temperature, and cooling the combustion exhaust gas exhausted from the combustion chamber And an exhaust gas treatment apparatus having a water scrubber for removing solids contained in the combustion exhaust gas, and a housing for housing the combustion chamber and the water scrubber, wherein the exhaust cylinder of the combustion chamber and the water scrubber are connected to each other A closed container-like exhaust gas passage, and a cooling medium injection member arranged in the closed container-like exhaust gas passage.
上記排ガスの処理装置に於いて、燃焼室が、水平方向の一方の端部側に排ガスの供給口を設けると共に該排ガスの供給口から離隔した位置にバーナーを設けた主燃焼室と、前記主燃焼室の水平方向の他方の端部側に接続すると共に垂直方向に配置された燃焼排ガスの排気筒と、を有し、前記主燃焼室の内周面及び排気筒の主燃焼室側の所定寸法部位に耐火材を敷設すると共に、排気筒に於ける耐火材の敷設部位よりも下方に冷却媒体を噴射する噴射部材を設けて構成されていることが好ましい。 In the exhaust gas treatment apparatus, the combustion chamber has an exhaust gas supply port on one end side in the horizontal direction and a burner at a position spaced apart from the exhaust gas supply port. A combustion exhaust gas exhaust pipe connected to the other end side in the horizontal direction of the combustion chamber and arranged in the vertical direction, and a predetermined number on the inner peripheral surface of the main combustion chamber and the main combustion chamber side of the exhaust pipe It is preferable that the refractory material is laid in the dimension portion and an injection member for injecting the cooling medium is provided below the refractory material laying portion in the exhaust pipe.
また上記排ガスの処理装置に於いて、閉鎖容器状の排ガス通路に冷却媒体の液面を検出する液面検出部材が設けられており、該閉鎖容器状の排ガス通路に於ける冷却媒体の液面を所定の範囲に調整し得るように構成されていることが好ましく、更に、燃焼室の排気筒が、前記閉鎖容器状の排ガス通路に於ける冷却媒体の液面よりも下方で開口することが好ましい。 Further, in the exhaust gas treatment apparatus, a liquid level detection member for detecting a liquid level of the cooling medium is provided in the closed vessel-like exhaust gas passage, and the liquid level of the cooling medium in the closed vessel-like exhaust gas passage is provided. It is preferable that the exhaust pipe of the combustion chamber is opened below the liquid level of the cooling medium in the closed vessel-like exhaust gas passage. preferable.
また上記排ガスの処理装置に於いて、閉鎖容器状の排ガス通路に於ける冷却媒体の液面よりも下方部位であって該排ガス通路の略全平面にわたり、多数の孔を形成した板部材を配置することが好ましい。 Further, in the exhaust gas treatment apparatus, a plate member in which a large number of holes are formed is disposed below the liquid level of the cooling medium in the closed container-like exhaust gas passage and over substantially the entire plane of the exhaust gas passage. It is preferable to do.
また上記排ガスの処理装置に於いて、閉鎖容器状の排ガス通路に、該排ガス通路の長さを延長するための壁部材を配置することが好ましい。 In the exhaust gas treatment apparatus, it is preferable that a wall member for extending the length of the exhaust gas passage is disposed in the exhaust gas passage having a closed container shape.
また上記排ガスの処理装置に於いて、閉鎖容器状の排ガス通路に於ける燃焼室の排気筒の下方に前記排気筒から排出される固形物を受け入れる収容容器を設け、閉鎖容器状の排ガス通路の所定位置に前記収容容器を出入りさせる出入口を設けることが好ましい。 In the exhaust gas treatment apparatus, a storage container for receiving solid matter discharged from the exhaust pipe is provided below the exhaust pipe of the combustion chamber in the closed container-like exhaust gas passage, It is preferable to provide an entrance through which the storage container enters and exits at a predetermined position.
また上記排ガスの処理装置に於いて、閉鎖容器状の排ガス通路に於ける冷却媒体の液面よりも下方に、圧力気体を噴射する気体噴射ノズル及び、又は冷却媒体を噴出する冷却媒体噴射ノズルを配置し、前記気体噴射ノズル及び、又は冷却媒体噴射ノズルから、圧力気体及び、又は冷却媒体を噴射して閉鎖容器状の排ガス通路に於ける冷却媒体に含まれる固形物を浮遊させるように構成することが好ましい。 In the exhaust gas treatment apparatus, a gas injection nozzle for injecting pressure gas and a cooling medium injection nozzle for injecting the cooling medium are provided below the liquid level of the cooling medium in the exhaust gas passage in the closed container shape. It is arranged to inject the pressure gas and / or the cooling medium from the gas injection nozzle and / or the cooling medium injection nozzle to float the solid matter contained in the cooling medium in the exhaust gas passage in the closed container shape. It is preferable.
また上記排ガスの処理装置に於いて、閉鎖容器状の排ガス通路に於ける冷却媒体の液面よりも下方に吸引口を接続したポンプを設け、該ポンプによって冷却媒体及び該冷却媒体に含まれる固形物を排出し得るように構成することが好ましい。 Further, in the exhaust gas treatment apparatus, a pump having a suction port connected below the liquid level of the cooling medium in the closed vessel-like exhaust gas passage is provided, and the cooling medium and the solid contained in the cooling medium are provided by the pump. It is preferable to configure so that an object can be discharged.
本発明に係る排ガスの処理装置（以下単に「処理装置」という）では、燃焼室と水スクラバーとを筐体に納めることによって、コンパクトな処理装置として構成することが出来る。特に、燃焼室の排気筒と水スクラバーとを閉鎖容器状の排ガス通路（以下単に「排ガス通路」という）によって接続し、該排ガス通路に配置された噴射部材によって冷却媒体を噴射することで、燃焼室から排出された燃焼排ガスを急速に冷却して温度を降下させることが出来、且つ冷却媒体によって燃焼排ガスに含まれている固形物を分離することが出来る。このため、処理装置としての冷却効率と固形物の分離効率を向上させることが可能となり、処理装置からの排気ガスをクリーンなものとすることが出来る。 The exhaust gas treatment apparatus (hereinafter simply referred to as “treatment apparatus”) according to the present invention can be configured as a compact treatment apparatus by housing a combustion chamber and a water scrubber in a casing. In particular, combustion is achieved by connecting an exhaust pipe of a combustion chamber and a water scrubber by a closed container-like exhaust gas passage (hereinafter simply referred to as “exhaust gas passage”), and injecting a cooling medium by an injection member disposed in the exhaust gas passage. The combustion exhaust gas discharged from the chamber can be rapidly cooled to lower the temperature, and the solid matter contained in the combustion exhaust gas can be separated by the cooling medium. For this reason, it becomes possible to improve the cooling efficiency and the solid separation efficiency of the processing apparatus, and the exhaust gas from the processing apparatus can be made clean.
また燃焼室を、主燃焼室と、該主燃焼室の端部側させて垂直方向に配置した燃焼排ガスの排気筒とによって構成し、主燃焼室の内周面と排気筒の主燃焼室側の所定部位に耐火材を敷設し、更に排気筒に於ける耐火材の敷設部位よりも下方に冷却媒体を噴射する噴射部材を設けて構成することによって、主燃焼室で燃焼した燃焼排ガスが排気筒から排気される際に冷却媒体を噴射して冷却することが出来る。 The combustion chamber is composed of a main combustion chamber and a flue gas exhaust pipe arranged in the vertical direction on the end side of the main combustion chamber, and the inner peripheral surface of the main combustion chamber and the main combustion chamber side of the exhaust pipe A fire-resistant material burned in the main combustion chamber is exhausted by laying a refractory material at a predetermined location and an injection member for injecting a cooling medium below the refractory-material location in the exhaust stack. A cooling medium can be injected and cooled when exhausted from the cylinder.
特に、冷却媒体の噴射部材が排気筒に於ける耐火材の敷設部位よりも下方にあるため、該噴射部材から噴射された冷却媒体が主燃焼室の内部まで飛散することがない。このため、飛散した冷却媒体によって加熱した耐火材を損傷することがない。 In particular, since the injection member for the cooling medium is located below the refractory material laying portion in the exhaust pipe, the cooling medium injected from the injection member does not scatter to the inside of the main combustion chamber. For this reason, the refractory material heated by the scattered cooling medium is not damaged.
また排ガス通路に冷却媒体の液面を検出する液面検出部材を設けて排ガス通路に於ける冷却媒体の液面を所定の範囲に調整し得るように構成することによって、該排ガス通路の内部を、所定の液面に調整された冷却媒体領域と、該冷却媒体の上部にある気体領域とに分割することが出来る。このため、排気筒から排気された燃焼排ガスを気体領域を通して水スクラバーに流通させることが可能であり、且つ排気筒に設けた噴射部材から噴射された冷却媒体によって燃焼排ガスから捕集された固形物を冷却媒体領域に分離して収集することが出来る。 In addition, by providing a liquid level detection member for detecting the liquid level of the cooling medium in the exhaust gas passage so that the liquid level of the cooling medium in the exhaust gas passage can be adjusted to a predetermined range, the interior of the exhaust gas passage can be adjusted. The cooling medium region adjusted to a predetermined liquid level and the gas region above the cooling medium can be divided. For this reason, it is possible to circulate the combustion exhaust gas exhausted from the exhaust pipe through the gas region to the water scrubber, and the solid matter collected from the combustion exhaust gas by the cooling medium injected from the injection member provided in the exhaust pipe Can be collected separately in the cooling medium region.
また燃焼室の排気筒を排ガス通路に於ける冷却媒体の液面よりも下方で開口させることで、排気筒から排気された燃焼排ガスは必然的に冷却媒体を潜ることになり、これに伴って燃焼排ガスを冷却することが可能となり、且つ該燃焼排ガスに含まれた固形物を冷却媒体によって分離することが出来る。 Further, by opening the exhaust pipe of the combustion chamber below the liquid level of the cooling medium in the exhaust gas passage, the combustion exhaust gas exhausted from the exhaust pipe inevitably lies in the cooling medium. The combustion exhaust gas can be cooled, and the solid matter contained in the combustion exhaust gas can be separated by the cooling medium.
また排ガス通路に於ける冷却媒体の液面よりも下方部位であって該排ガス通路の略全平面にわたり、多数の孔を形成した板部材を配置することによって、該板部材をフィルターとして機能させることが出来る。このため、板部材の上部の冷却媒体に存在する固形物であって、大きさが板部材に形成された孔の径よりも大きいものが冷却媒体領域の下方に沈殿することがない。 Also, by disposing a plate member in which a large number of holes are formed in a portion below the liquid level of the cooling medium in the exhaust gas passage and over substantially the entire plane of the exhaust gas passage, the plate member can function as a filter. I can do it. For this reason, solids present in the cooling medium above the plate member and having a size larger than the diameter of the hole formed in the plate member do not settle below the cooling medium region.
また排ガス通路に、該排ガス通路の長さを延長するための壁部材を配置することによって、排気筒から排気された燃焼排ガス及び該燃焼排ガスに含まれる固形物と冷却媒体との接触時間を延長させることが出来、これにより、燃焼排ガスの効果的な冷却と該燃焼排ガスに含まれている固形物の落下を促進することが出来る。 In addition, by arranging a wall member for extending the length of the exhaust gas passage in the exhaust gas passage, the contact time between the combustion exhaust gas exhausted from the exhaust pipe and the solid matter contained in the combustion exhaust gas and the cooling medium is extended. Accordingly, effective cooling of the combustion exhaust gas and the fall of solids contained in the combustion exhaust gas can be promoted.
特に、排ガス通路の上方から冷却媒体を噴射させた場合には、燃焼排ガスの冷却媒体との接触時間をより長期化することが出来るため、冷却効率を向上させて燃焼排ガスの冷却を円滑に行うことが出来る。 In particular, when the cooling medium is injected from above the exhaust gas passage, the contact time of the combustion exhaust gas with the cooling medium can be prolonged, so that the cooling efficiency is improved and the combustion exhaust gas is smoothly cooled. I can do it.
また排気筒の下方に固形物を受け入れる収容容器を設け、閉鎖容器状の排ガス通路の所定位置に収容容器を出入りさせる出入口を設けることによって、燃焼排ガスに含まれた固形物、或いは燃焼室から落下した固形物を効果的に収集することが出来る。 In addition, a storage container for receiving solid matter is provided below the exhaust pipe, and a solid container contained in the combustion exhaust gas or falling from the combustion chamber is provided by providing an inlet / outlet through which the storage container enters and exits at a predetermined position of the closed exhaust gas passage. Can be collected effectively.
また排ガス通路に於ける冷却媒体の液面よりも下方に、圧力気体を噴射する気体噴射ノズル，冷却媒体を噴出する冷却媒体噴射ノズルを配置し、これらの気体噴射ノズル，冷却媒体噴射ノズルから圧力気体，冷却媒体を噴射して冷却媒体に含まれている固形物を浮遊させることで、冷却媒体領域に於ける固形物の沈殿を防ぎ、固形物の肥大化を招くことがない。 In addition, a gas injection nozzle for injecting pressure gas and a cooling medium injection nozzle for injecting the cooling medium are arranged below the liquid level of the cooling medium in the exhaust gas passage, and pressure is applied from these gas injection nozzle and cooling medium injection nozzle. By injecting the gas and the cooling medium to float the solids contained in the cooling medium, precipitation of the solids in the cooling medium region is prevented and the solids are not enlarged.
また排ガス通路に於ける冷却媒体の液面よりも下方に吸引口を接続したポンプを設け、該ポンプによって冷却媒体及び該冷却媒体に含まれる固形物を排出し得るように構成することによって、冷却媒体に含まれている固形物を、該冷却媒体と共に外部に排出することが出来る。従って、排ガス通路に於ける冷却媒体領域の掃除を頻繁に行う必要がなく、保守作業を容易に行うことが出来る。 In addition, a pump having a suction port connected below the liquid level of the cooling medium in the exhaust gas passage is provided so that the cooling medium and the solid matter contained in the cooling medium can be discharged by the pump. The solid substance contained in the medium can be discharged to the outside together with the cooling medium. Therefore, it is not necessary to frequently clean the cooling medium region in the exhaust gas passage, and maintenance work can be easily performed.
以下、本発明に係る処理装置の最良の形態について説明する。本発明に係る処理装置は、半導体の製造工程から生成するシラン，ジシラン，ジボラン，ホスフィン，アルシンや、三フッ化窒素，フッ化水素，塩化水素，フッ化珪素，塩化珪素など毒性を持つ特殊材料ガスあるいは四フッ化炭素や六フッ化硫黄など地球環境に悪影響を与えるフロンガス等の排ガスを完全燃焼あるいは分解させて除害して排出するものである。 The best mode of the processing apparatus according to the present invention will be described below. The processing apparatus according to the present invention is a toxic special material such as silane, disilane, diborane, phosphine, arsine, nitrogen trifluoride, hydrogen fluoride, hydrogen chloride, silicon fluoride, silicon chloride, etc. produced from the semiconductor manufacturing process. Exhaust gas such as gas or chlorofluorocarbon gas that adversely affects the global environment, such as carbon tetrafluoride or sulfur hexafluoride, is completely burnt or decomposed to be removed and discharged.
特に、処理装置を、処理すべき排ガスを高温下で燃焼させ或いは分解させる燃焼室と、燃焼排ガスを冷却すると共に該燃焼排ガスに含まれている固形物を収集する水スクラバーと、燃焼室から排出された燃焼排ガスを水スクラバーに導く排ガス通路と、排ガス通路に配置された冷却媒体の噴射部材と、によって構成することで、燃焼室から排出された燃焼排ガスが排ガス通路を通過する際に噴射された冷却媒体によって冷却し、且つ冷却媒体に含まれている固形物が落下することで分離することが可能である。 In particular, the treatment apparatus is a combustion chamber for burning or decomposing the exhaust gas to be treated at a high temperature, a water scrubber for cooling the combustion exhaust gas and collecting solids contained in the combustion exhaust gas, and discharging from the combustion chamber. The exhaust gas passage that guides the generated combustion exhaust gas to the water scrubber and the coolant injection member disposed in the exhaust gas passage allow the combustion exhaust gas discharged from the combustion chamber to be injected when passing through the exhaust gas passage. It is possible to separate by cooling with the cooling medium and dropping the solids contained in the cooling medium.
また冷却媒体を適宜選択することによって燃焼排ガスに含まれている有害ガスを吸収することが好ましい。このように、燃焼排ガスに存在する有害ガスを吸収し得るような冷却媒体を用いることによって、燃焼室から排気された燃焼排ガスの冷却と固形物の分離及び燃焼排ガスに含まれる有害ガスの吸収を同時に短時間で実現することが可能となる。 Moreover, it is preferable to absorb the harmful gas contained in the combustion exhaust gas by appropriately selecting the cooling medium. In this way, by using a cooling medium that can absorb the harmful gas present in the combustion exhaust gas, it is possible to cool the combustion exhaust gas exhausted from the combustion chamber, separate the solid matter, and absorb the harmful gas contained in the combustion exhaust gas. At the same time, it can be realized in a short time.
従って、水スクラバーに供給される燃焼排ガスは、既に冷却し且つ固形物が分離していることになり、水スクラバーの効率を高めると共に保守に要する期間を延長させることが可能となる。 Therefore, the combustion exhaust gas supplied to the water scrubber has already been cooled and the solid matter has been separated, thereby increasing the efficiency of the water scrubber and extending the period required for maintenance.
また本発明の処理装置では、燃焼室と排ガス通路及び水スクラバーを１台の筐体に納めることによってコンパクト化を実現し、且つ水スクラバーから排出される排出ガスは、充分に冷却されると共に固形物が充分に除去されたものとなり、そのまま大気に排出することが可能となる。 Further, in the treatment apparatus of the present invention, the combustion chamber, the exhaust gas passage, and the water scrubber are housed in a single casing, thereby realizing compactness. The exhaust gas discharged from the water scrubber is sufficiently cooled and solidified. The object is sufficiently removed and can be discharged to the atmosphere as it is.
更に、燃焼室，排ガス通路及び水スクラバーが筐体に納められて一体化しているため、目的の位置に搬送し且つ設置する際の作業が容易であり、種々の処理工程から排出された排ガスを供給する配管設備や、除害された燃焼排ガスを大気に排出するための配管設備を設置する際にも、夫々の配管設備の配置位置が特定されるため有利である。 Furthermore, since the combustion chamber, exhaust gas passage, and water scrubber are housed in a housing and integrated, the work when transporting and installing to a target position is easy, and exhaust gas discharged from various processing steps can be removed. When installing the piping equipment to be supplied and the piping equipment for discharging the decontaminated combustion exhaust gas to the atmosphere, it is advantageous because the arrangement position of each piping equipment is specified.
本発明に係る処理装置の燃焼室は、供給された排ガスを、バーナーの火炎によって燃焼或いは分解した燃焼排ガスを、排気筒を介して排ガス通路に排気するものである。このため、燃焼室の形状や容量は特に限定するものではなく、処理すべき排ガスの種類や量に対応させて適宜設計される。同様にバーナーの数や燃料ガスの性質も特に限定するものではなく、処理すべき排ガスの種類や量に対応させて適宜設定される。 The combustion chamber of the processing apparatus according to the present invention exhausts combustion exhaust gas, which is obtained by burning or decomposing supplied exhaust gas with a flame of a burner, into an exhaust gas passage through an exhaust pipe. For this reason, the shape and capacity of the combustion chamber are not particularly limited, and are appropriately designed according to the type and amount of exhaust gas to be treated. Similarly, the number of burners and the nature of the fuel gas are not particularly limited, and are appropriately set according to the type and amount of exhaust gas to be treated.
特に、処理すべき排ガスに３フッ化窒素などが含まれている場合、処理温度を高温にすることが必要となり、燃焼室を高温に耐え得るような構造とすることが好ましい。このため、燃焼室の内周面及び排気筒の内周面に耐火材を敷設することによって、該燃焼室に充分な耐高温性を発揮させることが好ましい。耐火材の材料としては、特に限定するものではなく、高い耐火性を有すると共に良好な成形性を有するものであることが好ましい。 In particular, when the exhaust gas to be treated contains nitrogen trifluoride or the like, the treatment temperature needs to be high, and the combustion chamber is preferably structured to withstand high temperatures. For this reason, it is preferable to provide a sufficient high temperature resistance in the combustion chamber by laying a refractory material on the inner peripheral surface of the combustion chamber and the inner peripheral surface of the exhaust pipe. The material for the refractory material is not particularly limited, and preferably has a high fire resistance and a good moldability.
排ガスが半導体の製造設備や液晶パネルの製造設備から発生するものであり、該排ガスには多くの珪素成分が含まれ、燃焼室に於ける燃焼，分解に伴って酸化珪素としての固形物となる。この酸化珪素は、生成した段階では微小な粉末からなる粉塵（以下「粉塵」という）であり、落下して滞留したときに強固な塊状になる。 Exhaust gas is generated from semiconductor manufacturing equipment and liquid crystal panel manufacturing equipment. The exhaust gas contains many silicon components and becomes solid as silicon oxide as it is burned and decomposed in the combustion chamber. . This silicon oxide is fine dust (hereinafter referred to as “dust”) at the stage of generation, and becomes a solid lump when it falls and stays.
燃焼排ガスに含まれる粉塵は、燃焼室で落下して塊となるものもあり、燃焼排ガスと共に排出されるものもある。このため、燃焼室で落下した粉塵の塊及び燃焼排ガスに含まれる粉塵の何れも排気筒から排出された直後に捕集し得るように構成することが好ましい。 Some dust contained in the combustion exhaust gas falls into a lump in the combustion chamber, and some dust is discharged together with the combustion exhaust gas. For this reason, it is preferable that the dust lump falling in the combustion chamber and the dust contained in the combustion exhaust gas can be collected immediately after being discharged from the exhaust pipe.
従って、排気筒は燃焼室の端部に対し垂直方向であって開口部が下方に位置するように接続することが好ましい。排気筒をこのように構成することによって、燃焼室で落下した粉塵の塊を清掃するような場合、この塊を排気筒から外部に落下させて排出することが可能となる。 Therefore, it is preferable that the exhaust pipe is connected so that the opening is positioned in the vertical direction with respect to the end of the combustion chamber. By configuring the exhaust pipe in this way, when cleaning a lump of dust that has fallen in the combustion chamber, the lump can be dropped from the exhaust pipe to the outside and discharged.
排気筒から排気された燃焼排ガスは可及的速やかに冷却することが好ましい。従って、排気筒に於ける燃焼室側の所定寸法部分に敷設した耐火材よりも下方に冷却媒体を噴射する噴射部材を配置し、この噴射部材から冷却媒体を噴射することによって燃焼排ガスを速やかに冷却することが可能となる。 It is preferable to cool the combustion exhaust gas exhausted from the exhaust pipe as quickly as possible. Accordingly, an injection member for injecting a cooling medium is arranged below the refractory material laid in a predetermined dimension portion on the combustion chamber side in the exhaust pipe, and the combustion exhaust gas is quickly discharged by injecting the cooling medium from the injection member. It becomes possible to cool.
冷却媒体は高温の燃焼排ガスを冷却するものであり、この目的を達成し得るものであれば良く、材質を限定するものではない。燃焼排ガスを急速冷却するためには、液化炭酸ガスや液体窒素或いは水などがあり、コストや取り扱い性の容易さ等を考慮して設定することが好ましい。従って、冷却媒体を噴射する噴射部材も、冷却媒体の種類や噴射量等の条件にあわせて設定することが好ましい。 The cooling medium is for cooling the high-temperature combustion exhaust gas, and any material can be used as long as it can achieve this purpose, and the material is not limited. In order to rapidly cool the combustion exhaust gas, there are liquefied carbon dioxide gas, liquid nitrogen, water, and the like, and it is preferable to set in consideration of cost, ease of handling, and the like. Therefore, it is preferable that the injection member for injecting the cooling medium is also set in accordance with conditions such as the type of the cooling medium and the injection amount.
特に、排ガス通路に冷却媒体の層を形成する場合、該冷却媒体は常温で液体であることが必要となる。このような冷却媒体としては水がある。噴射部材から冷却媒体を噴射することによって、燃焼室から排出された直後の燃焼排ガスを急速に冷却することが可能となり、同時に冷却媒体によって燃焼排ガスに含まれた粉塵を分離すると共に有害ガスを吸収することが可能となる。 In particular, when a cooling medium layer is formed in the exhaust gas passage, the cooling medium needs to be liquid at room temperature. Such a cooling medium is water. By injecting the cooling medium from the injection member, it becomes possible to rapidly cool the combustion exhaust gas immediately after being discharged from the combustion chamber, and at the same time, the dust contained in the combustion exhaust gas is separated and the harmful gas is absorbed by the cooling medium. It becomes possible to do.
排気筒は燃焼室に対して垂直方向に配置されると共に開口部が下方に配置される。開口部の排ガス通路に於ける高さは特に限定するものではないが、冷却媒体の液面よりも下方であることが好ましい。このように、排気筒の開口部が冷却媒体の液面の下方に位置することで、排気筒の内部に設けた噴射部材から噴射された冷却媒体が飛散することがなく、且つ排気筒から排出される燃焼排ガスを冷却媒体の層に潜らせることが可能となり、燃焼排ガスの冷却媒体との接触時間を延長することが可能となる。このため、燃焼排ガスの冷却及び粉塵の分離、更に、冷却媒体による有害ガスの吸収をより効果的に行うことが可能となる。 The exhaust tube is disposed in a direction perpendicular to the combustion chamber and the opening is disposed below. The height of the opening in the exhaust gas passage is not particularly limited, but is preferably lower than the liquid level of the cooling medium. As described above, since the opening of the exhaust pipe is positioned below the liquid level of the cooling medium, the cooling medium injected from the injection member provided inside the exhaust pipe does not scatter and is discharged from the exhaust pipe. It is possible to cause the combustion exhaust gas to be hidden in the layer of the cooling medium, and to extend the contact time of the combustion exhaust gas with the cooling medium. For this reason, it becomes possible to more effectively perform the cooling of the combustion exhaust gas, the separation of dust, and the absorption of harmful gas by the cooling medium.
更に、排ガス通路に壁部材を配置することによって、該排ガス通路の長さを延長することが好ましい。このように、排ガス通路を延長することによって、燃焼室から排出された燃焼排ガスが水スクラバーに到達する間で冷却媒体と接触する長さを延長してより効果的に冷却すると共に粉塵の分離及び有害ガスの吸収を行うことが可能となる。 Furthermore, it is preferable to extend the length of the exhaust gas passage by arranging a wall member in the exhaust gas passage. Thus, by extending the exhaust gas passage, the combustion exhaust gas discharged from the combustion chamber extends the length of contact with the cooling medium while reaching the water scrubber, thereby cooling more effectively and separating dust and It becomes possible to absorb harmful gases.
燃焼排ガスから分離され排ガス通路に於ける冷却媒体に混合した粉塵が該冷却媒体の下方に沈殿して塊となるのは好ましくはない。このため、常に冷却媒体を攪拌して粉塵の浮遊状態を保持し得るようにしておくことが好ましい。冷却媒体の層を攪拌するためには、外部から圧力空気を導入させて噴射する方法や冷却媒体そのものを循環させる方法があり、何れの方法を採用しても良い。 It is not preferable that the dust separated from the combustion exhaust gas and mixed with the cooling medium in the exhaust gas passage settles below the cooling medium and becomes a lump. For this reason, it is preferable to always stir the cooling medium so that the floating state of the dust can be maintained. In order to stir the cooling medium layer, there are a method in which pressurized air is introduced from the outside and jetting, and a method in which the cooling medium itself is circulated, and either method may be adopted.
排ガス通路に於ける冷却媒体層に粉塵が浮遊している状態で該冷却媒体を吸引，排出することで、排ガス通路に於ける冷却媒体に混合した粉塵を排出することが好ましい。このように、冷却媒体と共に粉塵を排出することで、定常的な粉塵の排出を実現することが可能となる。従って、処理装置に溜まる粉塵の量が過大になることがなく、保守，清掃の間隔を延長することが可能となる。 It is preferable to discharge the dust mixed with the cooling medium in the exhaust gas passage by sucking and discharging the cooling medium in a state where the dust is floating in the cooling medium layer in the exhaust gas passage. Thus, by discharging the dust together with the cooling medium, it is possible to realize a steady discharge of the dust. Therefore, the amount of dust accumulated in the processing apparatus does not become excessive, and the maintenance and cleaning intervals can be extended.
以下、本発明に係る処理装置の好ましい実施例について図を用いて説明する。図１は処理装置の全体構成を説明する三面図である。図２は処理装置の配管系統を説明する系統図である。図３は排ガス通路の構成を説明する図である。 Hereinafter, preferred embodiments of a processing apparatus according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a three-side view illustrating the overall configuration of the processing apparatus. FIG. 2 is a system diagram illustrating a piping system of the processing apparatus. FIG. 3 is a diagram illustrating the configuration of the exhaust gas passage.
図に於いて、処理装置は、一方の端部側から供給された排ガスを分解、燃焼させる燃焼室Ａと、燃焼室Ａから排出された燃焼排ガスを冷却すると共に粉塵を分離して水スクラバーＣに導く排ガス通路Ｂと、排ガス通路Ｂを通って排気された燃焼排ガスを更に冷却すると共に粉塵を分離し且つ有害ガスを吸収する水スクラバーＣと、夫々所定位置に配置された燃焼室Ａ，排ガス通路Ｂ，水スクラバーＣを一体化して納める筐体Ｄと、を有して構成されている。 In the figure, the processing device decomposes and burns the exhaust gas supplied from one end side, cools the combustion exhaust gas discharged from the combustion chamber A and separates dust to form a water scrubber C. Exhaust gas passage B leading to the exhaust gas, water scrubber C for further cooling the combustion exhaust gas exhausted through the exhaust gas passage B, separating dust and absorbing harmful gases, and combustion chamber A and exhaust gas respectively disposed at predetermined positions And a housing D that accommodates the passage B and the water scrubber C in an integrated manner.
燃焼室Ａは、図示しない半導体の製造設備や液晶パネルの製造設備から排出された除害すべき排ガスを燃焼させ、或いは熱分解させて無害化するものであり、高さ方向の寸法よりも横方向の寸法の方が大きい主燃焼室１を有し、該主燃焼室１の一方の端部側は閉鎖されると共に該端部側に処理すべき排ガスが供給される排ガス供給路２が接続されている。また主燃焼室１の略中央部位には複数のバーナー３が設けられ、主燃焼室１の他方の端部側に縦方向に且つ下向きに排気筒４が接続されている。
Combustion chamber A is for detoxification by burning or thermally decomposing exhaust gas to be removed from semiconductor manufacturing equipment and liquid crystal panel manufacturing equipment (not shown). The main combustion chamber 1 has a larger dimension in the direction, and one end side of the main combustion chamber 1 is closed, and an exhaust
本実施例に於いて、主燃焼室１は円筒状に形成されており、内周面には全面にわたって耐火材５が敷設されている。また主燃焼室１の他方の端部側に接続された排気筒４の主燃焼室１との接続部位には耐火材５が敷設されており、この耐火材５によって、排気筒４の内部に耐火材５の厚さに対応した段差６が形成されている。
In the present embodiment, the main combustion chamber 1 is formed in a cylindrical shape, and a refractory material 5 is laid on the entire inner peripheral surface. In addition, a refractory material 5 is laid on the connection portion of the
排気筒４に敷設された耐火材５によって形成された段差６に対応して冷却媒体を噴射する噴射部材となる噴射ノズル２３が配置されている。排気筒４の段差６に配置する噴射部材の数や取付構造は特に限定するものではないが、噴射された冷却媒体が主燃焼室１の内部に飛散して該主燃焼室１に敷設した耐火材に支障を与えることのないように構成されている。
An
本実施例に於いて、冷却媒体としては上水を利用（以下、「冷却媒体」又は「冷却水」という）しており、噴射部材としては水を霧状に噴射する噴射ノズルを利用している。そして、２つの噴射ノズルを排気筒４の円周に沿って対向する位置に取り付け、噴射された水が旋回して排気筒４を保護すると共に粉塵を分離し得るように構成されている。
In this embodiment, clean water is used as the cooling medium (hereinafter referred to as “cooling medium” or “cooling water”), and the injection member is an injection nozzle that injects water in the form of a mist. Yes. The two injection nozzles are attached to positions facing each other along the circumference of the
排気筒４は主燃焼室１から下方に向けて延長しており、開口端部４ａが排ガス通路Ｂの内部に嵌入し、冷却媒体の液面よりも下位レベルで開口し得るように構成されている。即ち、排気筒４の開口端部４ａは、後述する下位レベルに対応させて配置されたＬセンサー１６ｂの検出レベルよりも下位に位置している。開口端部４ａとＬセンサー１６ｂとのレベル差は特に限定するものではないが、本実施例では、約１０mm程度になるように設定している。しかし、この数値以外の値であっても開口端部４ａが常に液面よりも下位にあれば良い。
The
排ガス通路Ｂは燃焼室Ａから排気された燃焼排ガスを大気に漏洩させることなく水スクラバーＣに導き、この過程で可及的に冷却すると共に粉塵を分離して外部に排出する機能を有するものである。このため、排ガス通路Ｂは、密閉された容器状に形成されており、容器状の通路本体１１と、該通路本体１１の上面を塞ぐ蓋体１２と、通路本体１１の底面に配置され略全面に多数の孔を形成した板部材１３と、通路本体１１の内部であって板部材１３上に配置され排ガス通路Ｂの長さを延長する壁部材１４と、排ガス通路Ｂに開口した排気筒４の下方に配置され該排気筒４と通して落下した粉塵を捕集する収容容器１５と、を有して構成されている。
The exhaust gas passage B has a function of guiding the combustion exhaust gas exhausted from the combustion chamber A to the water scrubber C without leaking to the atmosphere, cooling it as much as possible in this process, and separating and discharging the dust to the outside. is there. For this reason, the exhaust gas passage B is formed in a sealed container shape. The exhaust gas passage B is disposed on the container-shaped passage main body 11, the
通路本体１１は、蓋体１２と共に密閉した容器に形成され、内部に予め設定された液面を保持した冷却媒体層が形成される。このため、通路本体１１の内面には、最も低い液面を検出して警報信号を発生するＬＬセンサー１６ａと、予め設定された液面の下位レベルに対応させて配置されたＬセンサー１６ｂと、予め設定された液面の上位レベルに対応させて配置されたＨセンサー１６ｃと、最も高い液面を検出して警報信号を発生するＨＨセンサー１６ｄからなる４つの液面センサーが配置されている。
The passage body 11 is formed in a hermetically sealed container together with the
また通路本体１１に於ける収容容器１５を配置した側の側面には閉塞板１１ａが設けられており、保守作業を行う際には閉塞板１１ａを取り外すことで、通路本体１１の内部の清掃を行うことが可能なように構成されている。また閉塞板１１ａを取り外したとき、収容容器１５を通路本体１１から引き出して内部に収容されている粉塵の塊を排除することも可能である。
Further, a closing plate 11a is provided on the side surface of the passage body 11 on the side where the
板部材１３は、多数の小孔が形成された板１３ａと、該板１３ａの下面に取り付けた足状のスペーサー１３ｂとによって構成されている。従って、板部材１３を通路本体１１に収容したとき、通路本体１１の底面と板との間にスペーサー１３ｂの高さと等しい空間が形成されることになる。
The
壁部材１４は、排ガス通路Ｂの長さを延長するものであり、通路本体１１の平面寸法と略等しい寸法を持った上部板１４ａと、通路を規定する壁板１４ｂ，１４ｃとによって構成されている。上部板１４ａには、全面にわたって多数の小孔が形成されており、排ガス通路Ｂの上部に冷却媒体を噴射する噴射部材となるポンプ２１の吐出側の分岐管３２ｂが配置されている部位では、噴射された冷却水が小孔を通して滴り落ちて噴射ノズルとしての機能を発揮する。また水スクラバーＣと対応する部位では、燃焼排ガスが小孔を通して水スクラバーＣに流通する。
The
また図３に示すように、壁板１４ｂ，１４ｃは夫々Ｌ字形に形成されて互いに対向して配置されている。このため、矢印で示すようなクランク状の通路を形成することが可能となり、排ガス通路Ｂを延長することが可能となる。従って、排気筒４から排出された燃焼排ガスは延長された排ガス通路Ｂを通ることが可能となる。そして延長された排ガス通路Ｂを通ることで、冷却水との接触時間がながくなり、充分な冷却効果と粉塵の分離及び有害ガスの吸収を実現することが可能となる。
Further, as shown in FIG. 3, the wall plates 14b and 14c are each formed in an L shape and are arranged to face each other. For this reason, it becomes possible to form a crank-shaped passage as shown by an arrow, and the exhaust gas passage B can be extended. Therefore, the combustion exhaust gas discharged from the
通路本体１１に収容された冷却水には燃焼排ガスに含まれた粉塵が混入している。この粉塵が通路本体１１に沈殿して塊状に固化した場合、粉塵の排出が極めて困難になる。このため、本実施例では通路本体１１に収容されている冷却水を常に循環させ、或いは空気を噴射することで流れを形成しておき、これにより、粉塵の浮遊状態を保持して固化を防止し得るように構成されている。 The coolant contained in the passage main body 11 is mixed with dust contained in the combustion exhaust gas. When the dust settles on the passage main body 11 and solidifies into a lump, it becomes extremely difficult to discharge the dust. For this reason, in this embodiment, the cooling water stored in the passage body 11 is constantly circulated or air is injected to form a flow, thereby maintaining the dust floating state and preventing solidification. It is configured to be able to.
このため、通路本体１１の底板１１ｂには、冷却水を循環或いは排出するためのポンプ２１，２２に接続される配管、また圧力空気を供給するための配管が接続されている。
For this reason, piping connected to the
ポンプ２１は、通路本体１１に収容されている冷却水を循環させて燃焼排ガスを冷却冷却すると共に一部を通路本体１１の底板１１ｂから噴射して該通路本体１１に収容されている冷却水を攪拌する機能を有するものである。このため、ポンプ２１の吸引側の配管３１は通路本体１１の底板１１ｂに接続し、吐出側の配管３２は複数に分岐し、分岐配管３２ａが排気筒４に設けた噴射ノズル２３に接続され、分岐配管３２ｂが通路本体１１の上部（蓋体１２）に開口し、分岐配管３２ｃが通路本体１１の底板１１ｂに開口している。
The
従って、ポンプ２１を運転すると、通路本体１１に収容された冷却水は、配管３１から吸引され、各分岐配管３２ａ〜３２ｃを通って一部が噴射ノズル２３から排気筒４の内部に噴射されると共に排ガス通路Ｂの上部から噴射され、更に通路本体１１の底面１１ｂから噴射される。排気筒４に配置された噴射ノズル２３から噴射された冷却水は、該排気筒４を通る燃焼排ガスを冷却し，燃焼排ガスに含まれた粉塵を分離し，燃焼排ガスに含まれた有害ガスを吸収し、通路本体１１の上部から噴射された冷却水は壁部材１４の上部板１４ａに形成された小孔を通して滴り落ちて燃焼排ガスを冷却し，燃焼排ガスに含まれた粉塵を分離し，燃焼排ガスに含まれた有害ガスを吸収し、通路本体１１の底板１１ｂから噴射された冷却水は通路本体１１に収容されている冷却水を流動させて該冷却水に含まれた粉塵の浮遊状態を保持させる。
Accordingly, when the
ポンプ２２は、通路本体１１に収容されている冷却水を循環させて該通路本体１１に収容されている冷却水を攪拌することで粉塵の浮遊状態を保持すると共に、吸引した冷却水の一部を常に外部に排出することで、排出した冷却水に含まれている粉塵を排出する機能を有するものである。このため、ポンプ２２の吸引側の配管３４は通路本体１１の底板１１ｂに接続し、吐出側の配管３５は複数に分岐し、分岐管３５ａが通路本体１１の底板１１ｂに開口し、分岐管３５ｂが筐体Ｄを通って冷却水及び該冷却水に含まれている粉塵を外部に排出し得るように構成されている。
The
このため、ポンプ２２を運転すると、通路本体１１に収容された冷却水は、配管３４から吸引され、各分岐管３５ａ，３５ｂを通って一部は通路本体１１に循環し、該通路本体１１に収容されている冷却水を攪拌して該冷却水に含まれている粉塵の沈殿を防止して浮遊状態を保持させる。また一部の冷却水は、含んでいる粉塵と共に外部に排出される。ポンプ２２は処理装置が稼働している間、停止することなく運転され、これにより、常に一部の冷却水と該冷却水に含まれた粉塵を排出することが可能となる。
For this reason, when the
また通路本体１１の底板１１ｂには圧力空気を流通させる配管３６が接続されており、図示しないコンプレッサーで発生し、所定の圧力に調整されて供給された圧力空気を通路本体１１に収容されている冷却水に噴射し得るように構成されている。圧力空気の圧力は特に限定するものではなく、冷却水の深さに打ち勝って噴出し得るような値であれば良い。
A
このように、通路本体１１の底板１１ｂから圧力空気を噴射することによって、通路本体１１に収容されている冷却水は噴射された圧力空気によって攪拌され、この攪拌に伴って冷却水に含まれている粉塵は浮遊状態を保持する。
Thus, by injecting the pressure air from the
特に、ポンプ２１，２２の吐出側の分岐管３２ｃ，３５ａ及び配管３６が通路本体１１の底板１１ｂに開口し、且つ該底板１１ｂの上部には多数の小孔を形成した板部材１３が配置されているため、該板部材１３の小孔がノズルと同様の機能を発揮し、噴射された冷却水や圧力空気は細かく分割されて通路本体１１の下側から上部に向けてムラのない攪拌を実現することが可能となる。
In particular, the
従って、処理装置の稼働に伴って発生した粉塵は通路本体１１の冷却水中に混合し、ポンプ２１，２２による循環と圧力空気の噴射による冷却水の流動により、該冷却水中での浮遊状態を保持する。特に、ポンプ２２の運転に伴って一部が常時排出されることとなり、通路本体１１に大量の粉塵が滞留することを防止することが可能となる。
Therefore, the dust generated by the operation of the processing apparatus is mixed in the cooling water of the passage body 11, and the floating state in the cooling water is maintained by the circulation of the
このため、排ガス通路Ｂに対する粉塵の回収を主とした保守作業の頻度を軽減することが可能となり、製造ラインを停止させる回数を低減すると共に保守作業を容易に行うことが可能となる。 For this reason, it is possible to reduce the frequency of maintenance work mainly for collecting dust in the exhaust gas passage B, to reduce the number of times of stopping the production line, and to easily perform the maintenance work.
水スクラバーＣは排ガス通路Ｂの下流側の端部と接続され、該排ガス通路Ｂから排気される燃焼排ガスを導入して冷却すると共に該燃焼排ガスに含まれている粉塵を分離除去し、且つ燃焼排ガスに含まれている有害ガスを吸収し、更に、燃焼排ガスに含まれている水分を分離して筐体Ｄから排出する機能を有するものである。 The water scrubber C is connected to the downstream end of the exhaust gas passage B, introduces and cools the combustion exhaust gas exhausted from the exhaust gas passage B, separates and removes dust contained in the combustion exhaust gas, and burns It has a function of absorbing harmful gas contained in the exhaust gas, further separating water contained in the combustion exhaust gas, and discharging it from the casing D.
このため、水スクラバーＣは筒状の本体４１と、本体４１に収容された濾過材４２と、濾過材４２の下流側に設けた水切材４３と、濾過材４２に冷却水を噴射する噴射部材４４と、を有して構成されている。噴射部材４４には水配管４５が接続されており、該上水配管４５を介して供給された水を濾過材４２に向けて噴射することで、水面面積を増大させ、これにより、燃焼排ガスとの接触面積を広くして効果的な冷却と該燃焼排ガスに含まれる有害ガスの効果的な吸収を実現し得るように構成されている。
For this reason, the water scrubber C includes a cylindrical
水配管４５は途中で分岐配管４５ａ，４５ｂに分岐しており、夫々の分岐配管４５ａ，４５ｂに開閉弁４６ａ，４７ａ及び流量調整弁４６ｂ，４７ｂが設けられている。従って、これらの流量調整弁４６ａ，４６ｂを調整し、或いは開閉弁４７ａ，４７ｂの開閉を制御することで、噴射部材４４から噴射される水量を調整することが可能である。
The
尚、分岐配管４５ｃは、水スクラバーＣの排気管４８を清掃する際に利用するための配管であり、常時閉として設定されており、排気管４８を清掃する際に使用し得るように構成されている。
The
筐体Ｄは、燃焼室Ａ，排ガス通路Ｂ，水スクラバーＣを納める略密閉した容器５０として形成されている。また筐体Ｄは、内部を点検し保守作業を行うための開閉可能な扉５１を有し、天井には、排ガス供給路２、バーナー３に接続された燃焼ガス配管、ポンプ２２の吐出側に接続された分岐配管３５ｂ、通路本体１１に圧力空気を供給する配管３６、水スクラバーＣに水を供給する水配管４５、等の配管類の端末となるフランジ類が配置されている。
The casing D is formed as a substantially sealed
また水スクラバーＣの排気管４８には図示しないブロワが接続されており、燃焼室Ａ，排ガス通路Ｂ，水スクラバーＣの内部に常に負圧を作用させるように構成されている。従って、燃焼室Ａに於ける排ガス及び燃焼排ガスが逆流することなく水スクラバーＣ方向への流れを保持することが可能である。
A blower (not shown) is connected to the
上記の如く構成された処理装置では、予め通路本体１１に冷却水が供給され、Ｌセンサー１６ｂとＨセンサー１６ｃによって制御された液面を保持している。このとき、燃焼室Ａを構成する排気筒４は開口端部４ａが液面よりも下位レベルに位置している。処理装置の稼働に先立って、各ポンプ２１，２２の運転が開始され、配管３６から圧力空気が供給される。
In the processing apparatus configured as described above, cooling water is supplied to the passage body 11 in advance, and the liquid level controlled by the
図示しない設備から発生し主燃焼室１に供給された排ガスは、バーナー３により燃焼し或いは熱分解し、生成された燃焼排ガス及び粉塵は排気筒４から排ガス通路Ｂに排気される。燃焼排ガスが排気筒４を通過する際に、該排気筒４に設けた噴射部材２３によって噴射された冷却水によって冷却されると共に粉塵が冷却水に混合して通路本体１１に落下する。この過程で燃焼排ガスに含まれる有害ガスが冷却水に吸収される。
Exhaust gas generated from equipment not shown and supplied to the main combustion chamber 1 is burned or pyrolyzed by the
通路本体１１では冷却水は常に循環すると共に圧力空気が噴射されており、流動状態を保持している。従って、冷却水に含まれている粉塵は浮遊状態を保持し、通路本体１１で沈殿したり、塊状になることはない。そして、ポンプ２２の運転に伴って冷却水の一部が浮遊している粉塵と共に処理装置の外部に排出され、通路本体１１の内部に滞留する粉塵の量が増加することがない。
In the passage main body 11, the cooling water is constantly circulated and the pressure air is injected to maintain a fluid state. Therefore, the dust contained in the cooling water maintains a floating state and does not settle or become a lump in the passage main body 11. Then, along with the operation of the
排気筒４から排気された燃焼排ガスは、通路本体１１に収容された冷却水を潜って、且つ壁部材１４によって延長された通路を通過する。この過程で、燃焼排ガスを充分に冷却することが可能であり、含まれている粉塵を分離すると共に有害ガスを吸収することが可能となる。通路本体１１の下流側の端部に到達した燃焼排ガスは、水スクラバーＣに導入され、濾過材４２を通過する際に上方から落下する新たな水によってより充分に冷却されると共に残留している粉塵を分離除去し且つ有害ガスを吸収することが可能である。そして燃焼排ガスは水切材４３を通過して水分を除去した後、処理装置の外部に排出される。
The combustion exhaust gas exhausted from the
水スクラバーＣで供給される水は分岐管４５ｂの系を通り、水スクラバーＣから落下して通路本体１１に収容される。従って、ポンプ２２の運転に伴って排出された冷却水を補給することが可能となる。例えば、冷却水の液面が下がってセンサー１６ｂが作動した場合、センサー１６ｂの信号に基づいて水配管４５の分岐管４５ａに配置された開閉弁４６ａが開放し、水スクラバーＣには分岐管４５ａ，４５ｂの二つの系から水が供給される。また冷却水の液面が上昇してセンサー１６ｃが作動したとき、この信号に基づいて分岐管４５ａの開閉弁４６ａが閉鎖し、水スクラバーＣに対する水の供給が減少する。
The water supplied by the water scrubber C passes through the system of the branch pipe 45b, falls from the water scrubber C, and is stored in the passage main body 11. Therefore, it becomes possible to replenish the cooling water discharged with the operation of the
上記本発明では、燃焼室から排出された燃焼排ガスを水スクラバーに至る間で冷却することが可能である。従って、水スクラバーに高温の腐食性ガスを到達させることがなく、且つ筐体内部の温度を高くすることがない。このため、作業環境を良好に保つことが可能となる。従って、半導体の製造設備や液晶パネルの製造設備の近傍に設置した場合でも周囲への影響を与えることがなく有用である。 In the present invention, the combustion exhaust gas discharged from the combustion chamber can be cooled while reaching the water scrubber. Therefore, hot corrosive gas does not reach the water scrubber, and the temperature inside the housing is not increased. For this reason, it becomes possible to maintain a favorable work environment. Therefore, even if it is installed in the vicinity of a semiconductor manufacturing facility or a liquid crystal panel manufacturing facility, it is useful without affecting the surroundings.
Ａ 燃焼室
Ｂ 排ガス通路
Ｃ 水スクラバー
Ｄ 筐体
１ 主燃焼室
２ 排ガス供給路
３ バーナー
４ 排気筒
４ａ 開口端部
５ 耐火材
６ 段差
１１ 通路本体
１１ａ 閉塞板
１１ｂ 底板
１２ 蓋体
１３ 板部材
１３ａ 板
１３ｂ スペーサー
１４ 壁部材
１４ａ 上部板
１４ｂ，１４ｃ 壁板
１５ 収容容器
１６ａ ＬＬセンサー
１６ｂ Ｌセンサー
１６ｃ Ｈセンサー
１６ｄ ＨＨセンサー
２１，２２ ポンプ
２３ 噴射ノズル
３１，３２，３４，３５，３６
配管
３２ａ〜３２ｃ、３５ａ，３５ｂ
分岐配管
４１ 本体
４２ 濾過材
４３ 水切材
４４ 噴射部材
４５ 水配管
４５ａ〜４５ｃ 分岐配管
４６ａ，４６ｂ 開閉弁
４７ａ，４７ｂ 流量調整弁
４８ 排気管
５０ 容器
５１ 扉
A Combustion chamber B Exhaust gas passage C Water scrubber D Housing 1
Piping 32a-32c, 35a, 35b
Branch piping 41
Claims (9)
A pump having a suction port connected below the liquid level of the cooling medium in the exhaust gas passage in the closed container shape is provided so that the cooling medium and the solid matter contained in the cooling medium can be discharged by the pump. An exhaust gas treatment apparatus as set forth in any one of claims 1 to 8.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004189280A JP2006007124A (en) | 2004-06-28 | 2004-06-28 | Exhaust gas treatment apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004189280A JP2006007124A (en) | 2004-06-28 | 2004-06-28 | Exhaust gas treatment apparatus |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2006007124A true JP2006007124A (en) | 2006-01-12 |
Family
ID=35774942
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004189280A Pending JP2006007124A (en) | 2004-06-28 | 2004-06-28 | Exhaust gas treatment apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2006007124A (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103721494A (en) * | 2014-01-04 | 2014-04-16 | 扬州市刘氏化工有限公司 | Pneumatic slagging device |
| WO2016147443A1 (en) * | 2015-03-18 | 2016-09-22 | 株式会社東芝 | Gas-recycling device, additive layer fabrication apparatus, and additive layer fabrication method |
| KR20160123444A (en) * | 2015-04-15 | 2016-10-26 | 씨에스케이(주) | Scrubber for treating waste gas |
| CN109260924A (en) * | 2018-09-12 | 2019-01-25 | 盐城项远环保设备有限公司 | A kind of chemical industrial waste gas preprocessing device based on fast cutting stream |
| CN109364644A (en) * | 2018-08-21 | 2019-02-22 | 孙维 | A kind of dedusting tank in equipment for treating industrial waste gas |
| WO2023042694A1 (en) * | 2021-09-17 | 2023-03-23 | エドワーズ株式会社 | Detoxification device, deposit removal means, and deposit removal method |
-
2004
- 2004-06-28 JP JP2004189280A patent/JP2006007124A/en active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103721494A (en) * | 2014-01-04 | 2014-04-16 | 扬州市刘氏化工有限公司 | Pneumatic slagging device |
| WO2016147443A1 (en) * | 2015-03-18 | 2016-09-22 | 株式会社東芝 | Gas-recycling device, additive layer fabrication apparatus, and additive layer fabrication method |
| JP2016174990A (en) * | 2015-03-18 | 2016-10-06 | 株式会社東芝 | Gas reusing device, lamination molding device, and lamination molding method |
| US10780495B2 (en) | 2015-03-18 | 2020-09-22 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Gas-recycling device, additive manufacturing apparatus, and additive manufacturing method |
| KR20160123444A (en) * | 2015-04-15 | 2016-10-26 | 씨에스케이(주) | Scrubber for treating waste gas |
| KR101696843B1 (en) | 2015-04-15 | 2017-01-24 | 씨에스케이(주) | Scrubber for treating waste gas |
| CN109364644A (en) * | 2018-08-21 | 2019-02-22 | 孙维 | A kind of dedusting tank in equipment for treating industrial waste gas |
| CN109260924A (en) * | 2018-09-12 | 2019-01-25 | 盐城项远环保设备有限公司 | A kind of chemical industrial waste gas preprocessing device based on fast cutting stream |
| WO2023042694A1 (en) * | 2021-09-17 | 2023-03-23 | エドワーズ株式会社 | Detoxification device, deposit removal means, and deposit removal method |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100694903B1 (en) | Waste gas treating device | |
| US7641867B2 (en) | Apparatus for processing perfluorocarbon | |
| JP4579944B2 (en) | Exhaust gas treatment equipment | |
| JP2006275307A (en) | Exhaust gas treatment device | |
| JP5390723B1 (en) | Dry distillation incinerator and dry distillation incineration system equipped with the same | |
| KR102579998B1 (en) | Dust collection system, heat storage system | |
| JP5940482B2 (en) | Water scrubber and exhaust gas treatment equipment | |
| US10086413B2 (en) | Powder discharge system | |
| JP2006007124A (en) | Exhaust gas treatment apparatus | |
| JP2007196193A (en) | Spark extinguisher | |
| JP2010023000A (en) | Waste gas detoxification apparatus | |
| KR20090011467A (en) | A exhaust gas disposal appartus of semiconductor | |
| US20030049190A1 (en) | Method for processing perfluorocarbon, and apparatus therefor | |
| JP2000167341A (en) | Apparatus for removing harmful substance of waste gas or the like from combustion furnace of the like | |
| KR101617691B1 (en) | Device for purifying exhuasted gas from chemical vapor deposition | |
| JP2011115736A (en) | Selenium dioxide recovery apparatus and waste gas detoxification apparatus using the same | |
| KR101133206B1 (en) | Charcoal fire with hazardous materials removal apparatus | |
| TW200904511A (en) | Semiconductor exhaust gas treating device | |
| JP4926151B2 (en) | Abatement equipment | |
| JP3136610U (en) | Bug filter | |
| KR100243639B1 (en) | Gas scrubber system | |
| JP2004092985A (en) | Exhaust gas treatment apparatus | |
| KR101576212B1 (en) | Scrubber With Function for Pre Wet | |
| JP2022108061A (en) | Exhaust gas treatment facility | |
| JP4299077B2 (en) | Combustion experiment equipment for synthetic resin products |