JP2005531475A - 高純度シリカ粉末、その製造方法及び製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 不純物の合計が、500ppb未満であることを特徴とするシリカ粉末であり、四塩化ケイ素(SiCl4)の炎加水分解が、金属を含まない表面を有する装置において実行され、高純度四塩化ケイ素の炎加水分解により高純度ヒュームドシリカ粉末が得られることを特徴とするシリカ粉末の製造方法であり、シリカ粉末を製造する装置であって、シリカ粉末と接する表面全てが、金属を含まないことを特徴とするシリカ粉末の製造装置である。
Description
シリカ粉末はヒュームドシリカ又は溶融シリカのどちらでもよい。
外管の中に内管が配置されるノズルであり、内管は例えば石英ガラス、溶融石英、炭化ケイ素(SiC)、窒化ケイ素(Si3N4)、エナメル又はシリコン金属等のシリコンを主成分とするシリコン含有物質からなり、出発物質は四塩化ケイ素、四塩化ケイ素と酸素混合、ヒュームドシリカ、及びヒュームドシリカと酸素混合からなる群より選択され、内管を通る。
実施例1:クリーンルーム状態下でなく酸水素炎により四塩化ケイ素からヒュームドシリカ粉末を製造
四塩化ケイ素からヒュームドシリカ粉末を製造するために、反応対象物である四塩化ケイ素、酸素、及び水素は予め混合されずに石英ガラスノズルにより燃焼室へ通される。反応は四塩化ケイ素 16.6 g/min+酸素6.3 l/min+水素 8.9 l/minを使用して実行される。燃焼室は大気圧よりも大きい20mbarの圧力下で操作される。表1は分析結果を示す。
四塩化ケイ素からヒュームドシリカ粉末を製造するために、反応対象物である四塩化ケイ素、酸素、及び水素は予め混合されずに石英ガラスノズルにより燃焼室へ通される。反応は四塩化ケイ素 16.6 g/min+酸素 6.3 l/min+水素 8.9 l/minを使用して実行される。装置全体がクリーンルームクラス10000に属するクリーンルーム内にある。表1は分析結果を示す。
ヒュームドシリカ粉末から溶融シリカ粉末を製造するために、反応対象物であるヒュームドシリカ、酸素、及び水素は予め混合されずに石英ガラスノズルにより燃焼室へ通される。反応は水素 180 l/min+酸素 90 l/min+ヒュームドシリカ粉末 60.3 g/minを使用して実行される。燃焼室は、大気圧よりも大きい40mbarの圧力で操作される。表1は、分析結果を示す。
ヒュームドシリカ粉末から溶融シリカ粉末を製造するために、反応対象物であるヒュームドシリカ粉末、酸素、及び水素は予め混合しながら石英ガラスノズルにより燃焼室へ通される。反応は水素 180 l/min+酸素 90 l/min+ヒュームドシリカ粉末 60.3 g/minを使用して実行される。装置全体がクリーンルームクラス10000に属するクリーンルーム内にある。表1は分析結果を示す。
ヒュームドシリカ粉末から溶融シリカ粉末を製造するために、反応対象物であるヒュームドシリカ粉末、空気、及び水素は石英ガラスシリンダを含むトーチを介して燃焼室へ通される。反応は、センタープラズマガスとして酸素 45 l/min、シュラウドガスとして酸素 90 l/min及び水素 25 l/min、粉末ノズルを介して測定されるヒュームドシリカ粉末 15 kg/hを使用して実行される。燃焼室の圧力は、300torrであり、高周波プラズマの全出力は90kWである。本発明の場合、プラズマは当業者が精通している半導体技術の原理による高周波プラズマである。装置全体が、クリーンルームクラス10000に属するクリーンルーム内にある。表1は、分析結果を示す。
ヒュームドシリカ粉末から溶融シリカ粉末を製造するために、反応対象物であるヒュームドシリカ粉末、酸素、及び水素は予め混合されてステンレス鋼ノズルにより燃焼室へ通される。反応は水素 180 l/min+酸素 90 l/min+ヒュームドシリカ粉末 60.3 g/minを使用して実行される。装置全体がクリーンルームクラス10000に属するクリーンルーム内にある。表1は分析結果を示す。
[比較例1]
高純度ヒュームドシリカ粉末は、スクリューコンベヤにより酸素流に通され、そしてバーナー管に通される。バーナーは3本の管を含み、水素 7.6 m3/hが内管及び外管を介して燃焼室に導入され、内管は酸素 3.8 m3/h及びヒュームドシリカ粉末 1.8 kg/hを含む。表1は、分析結果を示す。
Claims (15)
- 不純物の合計が、500ppb未満であるシリカ粉末。
- 不純物の合計が、150ppb未満であるシリカ粉末。
- 不純物の合計が、150ppb未満であり、不純物レベルがそれぞれ、銅<1ppb、鉄<25ppb、ニッケル<2ppb、クロム<2ppb、チタン<3ppb、アルミニウム<31ppb、及びカルシウム<65ppb、マグネシウム<12ppb、ナトリウム<12ppb、カリウム<6ppb、リチウム<1ppbであり、及び粉末が炭素を含まない請求項1に記載のシリカ粉末。
- 該粉末が、ヒュームドシリカ粉末であって、BET表面積が50〜300m2/g、好ましくは150〜250m2/gである請求項1から3のいずれかに記載のシリカ粉末。
- 該粉末が、溶融シリカ粉末であって、平均粒径が100nm〜200μm、好ましくは1μm〜200μm、非常に特に好ましくは5μm〜40μmである請求項1から3のいずれかに記載のシリカ粉末。
- 粒径分布が狭く、D(95)−D(5)<50μm、好ましくは、D(95)−D(5)<35μmである請求項5に記載のシリカ粉末。
- 球形を有し、且つ完全にガラス状である請求項5又は6に記載のシリカ粉末。
- 四塩化ケイ素(SiCl4)の炎加水分解が、金属を含まない表面を有する装置において実行され、高純度四塩化ケイ素の炎加水分解により高純度ヒュームドシリカ粉末が得られる請求項1から4のいずれかに記載のシリカ粉末の製造方法。
- ヒュームドシリカ粉末の焼結が、金属を含まない表面を有する装置において実行され、高純度ヒュームドシリカ粉末を焼結することで高純度溶融シリカ粉末が得られる請求項5から7のいずれかに記載のシリカ粉末の製造方法。
- クリーンルーム状態下で実行される請求項8又は9に記載のシリカ粉末の製造方法。
- 100000〜1クラス、好ましくは10000〜100クラス、特に好ましくは1000クラスのクリーンルーム状態を使用する請求項10に記載のシリカ粉末の製造方法。
- 0.913bar〜1.513bar、好ましくは1.013bar〜1.413bar、特に好ましくは1.020bar〜1.200barの圧力で実行する請求項8又は9に記載のシリカ粉末の製造方法。
- シリコンを主成分とするシリコン含有物質からなり外管内に位置する内管を含むノズル。
- シリコンを主成分とするシリコン含有物質からなる表面を有する粉末ノズル、中間管、及び外管を含むプラズマトーチ。
- 請求項1から7のいずれかに記載のシリカ粉末を製造する装置であって、シリカ粉末と接する表面全てが、金属を含まないシリカ粉末の製造装置。
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