JP2005526371A - 絶縁層の厚さが電極間の間隔を形成する単一電子トランジスタ及び製造方法 - Google Patents
絶縁層の厚さが電極間の間隔を形成する単一電子トランジスタ及び製造方法 Download PDFInfo
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 15
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 claims abstract description 94
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 49
- 239000012491 analyte Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims abstract description 11
- 230000009870 specific binding Effects 0.000 claims abstract description 10
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 218
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 55
- 239000013545 self-assembled monolayer Substances 0.000 claims description 30
- 239000002094 self assembled monolayer Substances 0.000 claims description 27
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 7
- 230000005669 field effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 3
- 239000002356 single layer Substances 0.000 claims 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 abstract description 6
- 238000003491 array Methods 0.000 abstract description 4
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 10
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 9
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 8
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 4
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 4
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 4
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 2
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 2
- 238000012552 review Methods 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000018 DNA microarray Methods 0.000 description 1
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 1
- 238000004873 anchoring Methods 0.000 description 1
- 230000027455 binding Effects 0.000 description 1
- 238000004166 bioassay Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- UHYPYGJEEGLRJD-UHFFFAOYSA-N cadmium(2+);selenium(2-) Chemical compound [Se-2].[Cd+2] UHYPYGJEEGLRJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 1
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000007876 drug discovery Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003487 electrochemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001727 in vivo Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 230000003834 intracellular effect Effects 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000002052 molecular layer Substances 0.000 description 1
- -1 nanoclusters Substances 0.000 description 1
- 239000002159 nanocrystal Substances 0.000 description 1
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 1
- 230000037361 pathway Effects 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000002096 quantum dot Substances 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 238000001338 self-assembly Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/7613—Single electron transistors; Coulomb blockade devices
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/414—Ion-sensitive or chemical field-effect transistors, i.e. ISFETS or CHEMFETS
- G01N27/4146—Ion-sensitive or chemical field-effect transistors, i.e. ISFETS or CHEMFETS involving nanosized elements, e.g. nanotubes, nanowires
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S977/00—Nanotechnology
- Y10S977/902—Specified use of nanostructure
- Y10S977/932—Specified use of nanostructure for electronic or optoelectronic application
- Y10S977/936—Specified use of nanostructure for electronic or optoelectronic application in a transistor or 3-terminal device
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Abstract
Description
Claims (58)
- 面を含む基板と、
第1の電極端部及び側壁を含む、前記面から伸びる第1の電極と、
前記面から離れた絶縁層端部を含む、前記側壁上の絶縁層と、
前記面から離れた第2の電極端部を含む、前記側壁の反対側の前記絶縁層上の第2の電極と、
前記絶縁層端部上の少なくとも1つのナノ粒子と、
を含む単一電子トランジスタ。 - 請求項1に記載の単一電子トランジスタであって、前記絶縁層の厚さが約20nmより小さい単一電子トランジスタ。
- 請求項1に記載の単一電子トランジスタであって、前記絶縁層の厚さが約10nmである単一電子トランジスタ。
- 請求項1に記載の単一電子トランジスタであって、前記絶縁層端部が前記側壁を取り囲む連続した絶縁層端部である単一電子トランジスタ。
- 請求項4に記載の単一電子トランジスタであって、前記第2の電極端部が前記連続した絶縁層端部を取り囲む連続した第2の電極端部である単一電子トランジスタ。
- 請求項5に記載の単一電子トランジスタであって、前記連続した絶縁層端部及び前記第2の電極端部が、それぞれ、第1の電極端部を取り囲む第1及び第2のリングを形成する単一電子トランジスタ。
- 請求項6に記載の単一電子トランジスタであって、前記第1及び第2のリングが円形、楕円形又は多角形の第1及び第2のリングである単一電子トランジスタ。
- 請求項1に記載の単一電子トランジスタであって、前記第1の電極端部、前記絶縁層端部及び前記第2の電極端部が同一平面上にある単一電子トランジスタ。
- 請求項1に記載の単一電子トランジスタであって、前記絶縁層端部上の前記少なくとも1つのナノ粒子が、前記絶縁層端部上の複数のナノ粒子から構成し、前記第1の電極端部及び前記第2の電極端部の上にはナノ粒子が存在しない単一電子トランジスタ。
- 請求項1に記載の単一電子トランジスタであって、前記絶縁層端部上の前記少なくとも1つのナノ粒子が、前記絶縁層端部、前記第1の電極端部及び前記第2の電極端部上の複数のナノ粒子を含む単一電子トランジスタ。
- 請求項6に記載の単一電子トランジスタであって、前記絶縁層端部上の前記少なくとも1つのナノ粒子が、前記第1のリング上の複数のナノ粒子から構成し、前記第1の電極端部及び前記第2のリングの上にはナノ粒子が存在しない単一電子トランジスタ。
- 請求項6に記載の単一電子トランジスタであって、前記絶縁層端部上の前記少なくとも1つのナノ粒子が、前記第1のリング、前記第1の電極端部及び前記第2のリングの上の複数のナノ粒子を含む単一電子トランジスタ。
- 請求項1に記載の単一電子トランジスタが、
前記絶縁層端部上に自己組織化単一層をさらに含み、前記少なくとも1つのナノ粒子が前記絶縁層端部の反対側の前記自己組織化単一層上に存在する、
単一電子トランジスタ。 - 請求項1に記載の単一電子トランジスタが、
前記絶縁層端部、前記第1の電極端部及び前記第2の電極端部上に自己組織化単一層をさらに含み、前記少なくとも1つのナノ粒子が前記絶縁層端部、前記第1の電極端部及び前記第2の電極端部の反対側の前記自己組織化単一層上の複数のナノ粒子を含む、
単一電子トランジスタ。 - 請求項14に記載の単一電子トランジスタが、
前記自己組織化単一層と前記絶縁層端部、前記第1の電極端部及び前記第2の電極端部との間に第2の絶縁層をさらに含む、
単一電子トランジスタ。 - 請求項1に記載の単一電子トランジスタが、
化学的にゲートされた単一電子トランジスタを提供するために、前記少なくとも1つのナノ粒子の表面上に検体特異的結合剤をさらに含む、
単一電子トランジスタ。 - 請求項1に記載の単一電子トランジスタが、
単一電子形電界効果トランジスタを提供するために前記絶縁層端部の反対側の前記少なくとも1つのナノ粒子上のゲート電極と組み合わされる、
単一電子トランジスタ。 - 請求項1に記載の単一電子トランジスタが、
前記面から離れた第3の電極端部と、前記面と前記第3の電極端部との間の第3の電極用側壁とを含む、前記面から伸び前記第1の電極から間隔を空けて配置された第3の電極と、
前記面から離れた第2の絶縁層端部を含む、前記第3の電極用側壁上の第2の絶縁層と、
第4の電極端部を含む、前記第3の電極用側壁の反対側の前記第2の絶縁層上の第4の電極と、
前記第2の絶縁層上の少なくとも1つのナノ粒子と、
組み合わされる単一電子トランジスタ。 - 請求項18に記載の単一電子トランジスタであって、前記絶縁層及び前記第2の絶縁層が、それぞれ、1つの絶縁層の第1及び第2の部分を含み、前記第2の電極及び前記第4の電極が、それぞれ、1つの導電層の第1及び第2の部分を含む単一電子トランジスタ。
- 請求項1に記載の単一電子トランジスタが、前記絶縁層の反対側の前記第2の電極上に第2の絶縁層をさらに含む単一電子トランジスタ。
- 請求項1に記載の単一電子トランジスタであって、前記第1の電極端部が前記面から離れた位置にあり、前記側壁が前記面と前記第1の電極端部との間に伸長する単一電子トランジスタ。
- 基板上の第1及び第2の電極、並びに前記第1及び第2の電極間の間隔を形成する厚さを有する前記第1及び第2の電極間の絶縁層と、
前記絶縁層上の少なくとも1つのナノ粒子と、
を含む単一電子トランジスタ。 - 請求項22に記載の単一電子トランジスタであって、前記絶縁層の厚さが約20nmより小さい単一電子トランジスタ。
- 請求項22に記載の単一電子トランジスタであって、前記絶縁層の厚さが約10nmである単一電子トランジスタ。
- 請求項22に記載の単一電子トランジスタであって、前記絶縁層上の前記少なくとも1つのナノ粒子が、前記絶縁層上の複数のナノ粒子から構成し、前記第1の電極及び前記第2の電極の上にはナノ粒子が存在しない単一電子トランジスタ。
- 請求項22に記載の単一電子トランジスタであって、前記絶縁層上の前記少なくとも1つのナノ粒子が、前記絶縁層、前記第1の電極及び前記第2の電極上の複数のナノ粒子を含む単一電子トランジスタ。
- 請求項22に記載の単一電子トランジスタが、
前記絶縁層上に自己組織化単一層をさらに含み、前記少なくとも1つのナノ粒子が前記絶縁層の反対側の前記自己組織化単一層上に存在する、
単一電子トランジスタ。 - 請求項22に記載の単一電子トランジスタが、
前記絶縁層、前記第1の電極及び前記第2の電極上に自己組織化単一層をさらに含み、前記少なくとも1つのナノ粒子が前記絶縁層、前記第1の電極及び前記第2の電極の反対側の前記自己組織化単一層上の複数のナノ粒子を含む、
単一電子トランジスタ。 - 請求項28に記載の単一電子トランジスタが、
前記自己組織化単一層と前記絶縁層、前記第1の電極及び前記第2の電極との間に第2の絶縁層をさらに含む単一電子トランジスタ。 - 請求項22に記載の単一電子トランジスタが、
化学的にゲートされた単一電子トランジスタを提供するために、前記少なくとも1つのナノ粒子の表面上に検体特異的結合剤をさらに含む単一電子トランジスタ。 - 請求項22に記載の単一電子トランジスタが、
単一電子形電界効果トランジスタを提供するために前記絶縁層の反対側の前記少なくとも1つのナノ粒子上にゲート電極をさらに含む単一電子トランジスタ。 - 単一電子トランジスタを製造する方法であって、
基板上に第1の電極を形成するステップと、
前記第1の電極の少なくとも一部の上に絶縁層を共形的に形成するステップと、
前記第1の電極の反対側の前記絶縁層の少なくとも一部の上に第2の電極を共形的に形成するステップと、
前記第1の電極と前記第2の電極との間の前記絶縁層上に少なくとも1つのナノ粒子を配置するステップと、
を含む方法。 - 請求項32に記載の方法であって、前記第1の電極を形成するステップが、
前記基板上にマスク領域を形成するステップと、
前記基板上に第1の電極端部を有し、前記第1の電極端部上に前記マスク領域を有する前記第1の電極を形成するように、上に前記マスク領域が付いた基板を非等方性的にエッチングするステップと、
を含む方法。 - 請求項33に記載の方法であって、
前記絶縁層を共形的に形成するステップが、前記マスク領域を上に有する前記第1の電極端部を除いて、前記第1の電極上に絶縁体を共形的に形成するステップを含み、
前記第2の電極を共形的に形成するステップが、前記マスク領域を上に有する前記第1の電極端部を除いて、前記絶縁層上に第2の電極を共形的に形成するステップを含む方法。 - 請求項34に記載の方法であって、前記第2の電極を共形的に形成するステップと前記ナノ粒子を配置するステップとの間に、
前記マスク領域を前記第1の電極端部から取り除くステップを実行する方法。 - 請求項35に記載の方法であって、前記ナノ粒子を配置するステップが、前記第1の電極端部に隣接した前記絶縁層上にナノ粒子を配置するステップを含む方法。
- 請求項32に記載の方法であって、前記第1の電極が第1の電極端部を含み、前記第2の電極を共形的に形成するステップと前記少なくとも1つのナノ粒子を配置するステップとの間に、
前記第2の電極と前記絶縁層とを前記第1の電極端部から取り除くステップを実行する方法。 - 請求項37に記載の方法であって、前記ナノ粒子を配置するステップが前記第1の電極端部に隣接した前記絶縁層上にナノ粒子を配置するステップを含む方法。
- 請求項37に記載の方法であって、前記取り除くステップが、
前記第1の電極端部、前記第1の電極端部上の前記絶縁層及び前記第1の電極端部上の前記第2の電極が凹部層から突き出るように、前記基板上に前記凹部層を形成するステップと、
前記凹部層から突き出た前記第1の電極端部、前記第1の電極端部上の前記絶縁層及び前記第1の電極端部上の前記第2の電極を平坦化するステップと、
を含む方法。 - 請求項32に記載の方法であって、前記絶縁層の厚さが約20nmより小さい方法。
- 請求項40に記載の方法であって、前記絶縁層の厚さが約10nmである方法。
- 請求項32に記載の方法であって、前記配置するステップが、前記第1の電極と前記第2の電極との間の前記絶縁層上に複数のナノ粒子を配置するステップを含み、前記第1の電極及び前記第2の電極の上にはナノ粒子を含まない方法。
- 請求項32に記載の方法であって、前記配置するステップが、前記第1の電極と前記第2の電極との間の前記絶縁層、前記第1の電極及び前記第2の電極の上に複数のナノ粒子を配置するステップを含む方法。
- 請求項32に記載の方法であって、
前記第2の電極を共形的に形成するステップと前記少なくとも1つのナノ粒子を配置するステップとの間に、
前記第1の電極と前記第2の電極との間の前記絶縁層上に自己組織化単一層を形成するステップを実行し、
前記少なくとも1つのナノ粒子を配置するステップが、前記絶縁層の反対側の前記自己組織化単一層上に少なくとも1つのナノ粒子を配置するステップを含む方法。 - 請求項44に記載の方法であって、
前記第2の電極を共形的に形成するステップと前記自己組織化単一層を形成するステップとの間に、
前記絶縁層上に第2の絶縁層を形成するステップを実行し、
前記自己組織化単一層を形成するステップが、前記絶縁層の反対側の前記第2の絶縁層上に自己組織化単一層を形成するステップを含む方法。 - 請求項32に記載の方法が、
化学的にゲートされた単一電子トランジスタを提供するために、前記少なくとも1つのナノ粒子の表面上に検体特異的結合剤を形成するステップをさらに含む方法。 - 請求項32に記載の方法が、
単一電子形電界効果トランジスタを提供するために前記絶縁層の反対側の前記少なくとも1つのナノ粒子上にゲート電極を形成するステップをさらに含む方法。 - 請求項32に記載の方法が、前記絶縁層の反対側の前記第2の電極上に第2の絶縁層を形成するステップをさらに含む方法。
- 単一電子トランジスタを製造する方法であって、
絶縁層の厚さが第1及び第2の電極間の間隔を形成するように、基板上に前記第1及び第2の電極並びに前記第1及び第2の電極の間に前記絶縁層を形成するステップと、
前記絶縁層上に少なくとも1つのナノ粒子を配置するステップと、
を含む方法。 - 請求項49に記載の方法であって、前記絶縁層の厚さが約20nmより小さい方法。
- 請求項50に記載の方法であって、前記絶縁層の厚さが約10nmである方法。
- 請求項49に記載の方法であって、前記配置するステップが、前記第1の電極と前記第2の電極との間の前記絶縁層上に複数のナノ粒子を配置するステップを含み、前記第1の電極及び前記第2の電極の上にはナノ粒子を含まない方法。
- 請求項49に記載の方法であって、前記配置するステップが、前記第1の電極と前記第2の電極との間の前記絶縁層、前記第1の電極及び前記第2の電極の上に複数のナノ粒子を配置するステップを含む方法。
- 請求項49に記載の方法であって、
前記形成するステップと前記配置するステップとの間に、
前記第1の電極と前記第2の電極との間の前記絶縁層上に自己組織化単一層を形成するステップを実行し、
前記配置するステップが、前記絶縁層の反対側の前記自己組織化単一層上に少なくとも1つのナノ粒子を配置するステップを含む方法。 - 請求項54に記載の方法であって、
前記第1及び第2の電極及びそれらの電極の間の絶縁層を形成するステップと前記自己組織化単一層を形成するステップとの間に、
前記絶縁層上に第2の絶縁層を形成するステップを実行し、
前記自己組織化単一層を形成するステップが、前記絶縁層の反対側の前記第2の絶縁層上に自己組織化単一層を形成するステップを含む方法。 - 請求項49に記載の方法が、
化学的にゲートされた単一電子トランジスタを提供するために、前記少なくとも1つのナノ粒子の表面上に検体特異的結合剤を形成するステップをさらに含む方法。 - 請求項49に記載の方法が、
単一電子形電界効果トランジスタを提供するために前記絶縁層の反対側の前記少なくとも1つのナノ粒子上にゲート電極を形成するステップをさらに含む方法。 - 請求項49に記載の方法が、前記絶縁層の反対側の前記第2の電極上に第2の絶縁層を形成するステップをさらに含む方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/905,319 | 2001-07-13 | ||
US09/905,319 US6483125B1 (en) | 2001-07-13 | 2001-07-13 | Single electron transistors in which the thickness of an insulating layer defines spacing between electrodes |
PCT/US2002/022137 WO2003007384A2 (en) | 2001-07-13 | 2002-07-12 | Single-electron transistors and fabrication methods |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005526371A true JP2005526371A (ja) | 2005-09-02 |
JP2005526371A5 JP2005526371A5 (ja) | 2010-02-12 |
JP4814487B2 JP4814487B2 (ja) | 2011-11-16 |
Family
ID=25420626
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003513046A Expired - Fee Related JP4814487B2 (ja) | 2001-07-13 | 2002-07-12 | 絶縁層の厚さが電極間の間隔を形成する単一電子トランジスタ及び製造方法 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US6483125B1 (ja) |
EP (1) | EP1407492B1 (ja) |
JP (1) | JP4814487B2 (ja) |
AT (1) | ATE468611T1 (ja) |
AU (1) | AU2002322459A1 (ja) |
DE (1) | DE60236436D1 (ja) |
TW (1) | TW557546B (ja) |
WO (1) | WO2003007384A2 (ja) |
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- 2001-07-13 US US09/905,319 patent/US6483125B1/en not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-07-12 WO PCT/US2002/022137 patent/WO2003007384A2/en active Application Filing
- 2002-07-12 AU AU2002322459A patent/AU2002322459A1/en not_active Abandoned
- 2002-07-12 AT AT02756451T patent/ATE468611T1/de not_active IP Right Cessation
- 2002-07-12 EP EP02756451A patent/EP1407492B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-07-12 JP JP2003513046A patent/JP4814487B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-07-12 TW TW091115527A patent/TW557546B/zh active
- 2002-07-12 DE DE60236436T patent/DE60236436D1/de not_active Expired - Fee Related
- 2002-09-17 US US10/244,860 patent/US6784082B2/en not_active Expired - Fee Related
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US20030025133A1 (en) | 2003-02-06 |
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TW557546B (en) | 2003-10-11 |
JP4814487B2 (ja) | 2011-11-16 |
AU2002322459A1 (en) | 2003-01-29 |
WO2003007384A3 (en) | 2003-05-08 |
US6784082B2 (en) | 2004-08-31 |
EP1407492A2 (en) | 2004-04-14 |
DE60236436D1 (de) | 2010-07-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050712 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
A524 | Written submission of copy of amendment under article 19 pct |
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|
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100908 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20101001 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |