JP2005340515A - スプレーコート装置及びこれを用いたスプレーコート方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 塗布チャンバ1内にワーク支持台3を有し、ワーク支持台3上に載置されたワーク2に塗布液を噴霧してワーク2の表面に塗膜を成膜する装置であって、塗布チャンバ1内にワーク2に塗布液を噴霧する塗布用ノズル5が設けられ、ワーク支持台3の周囲に複数の給排気口25aが設けられ、これら複数の給排気口25aはそれぞれ独立して、その位置が移動可能で且つ給排気口の向く方向が変更可能な構成とされ、それぞれ独立して給排気量が調節可能な構成とされたスプレーコート装置。
【選択図】 図1
Description
しかしこのような塗布装置を用いて表面に凹凸を有するワークにスピンコートを行うと、液状の塗布材ではワークの凹凸形状で塗料の液だれが生じてしまい、均一な塗膜を成膜するのが困難であった。
しかしこのような塗布装置では、ワークの形状が変わると使用できないという問題があった。
しかしながらこの装置では、複雑な形状のワークに塗布材を塗布する場合、スプレーノズルの位置制御が複雑になり、微小な凹凸形状に均一に塗布を行うことができなかった。また、塗布チャンバ内でスプレーノズルの角度を変更すると、ノズルから噴射した塗布材がチャンバ内壁で跳ね返ってワークに付着することがあり、均一な塗布が行えないという問題があった。
また、ワークが表面に凹凸を有するものであっても、ワークの表面に均一な厚みの塗膜を形成できるスプレーコート方法の提供を目的とする。
前記塗布チャンバ内に前記ワークに塗布液を噴霧する塗布用ノズルが設けられ、前記ワーク支持台の周囲に複数の排気口が設けられ、
前記複数の排気口はそれぞれ独立して、その位置が移動可能で且つ排気口の向く方向が変更可能な構成とされ、それぞれ独立して排気量が調節可能な構成とされたことを特徴とする。
また、上記のいずれかの構成の本発明のスプレーコート装置において、前記塗布チャンバ内の雰囲気を減圧する減圧手段が設けられていることが好ましい。
また、本発明のスプレーコート方法は、上記の塗布チャンバ内にワーク支持台と塗布用ノズルと複数の給気口が設けられたスプレーコート装置を用い、前記塗布用ノズルから前記塗布液を噴霧して前記ワークの表面に塗膜を形成する際に、前記複数の給気口からそれぞれ供給する給気量を制御することを特徴とする。
前記塗布液としてレジストとその溶剤からなる塗布液を用い、前記ワーク支持台に載置されたワークとして表面に凹凸を有するワークを用いることを特徴とする。
上記の構成の本発明の立体回路基板の製造方法において、前記ワークの表面に塗膜を形成する工程の後に、フォトリソグラフィー技術により配線パターンを形成する工程を備えることを特徴とする。
また、塗布用ノズルから塗布液を噴霧してワークに塗布液をスプレーコートする際に、上記複数の排気口から強制排気して塗布チャンバ内を減圧することで、空気抵抗が減り、ワークへの霧状の塗布液(塗布液ミスト)の付きまわり性を向上できる。
また、ワークの形状に応じて複数の排気口の位置及び排気口の向く方向を塗布液の噴霧前或いは噴霧中に調整し、また、塗布用ノズルから塗布液を噴霧してワークに塗布液をスプレーコートする際には各排気口からの排気量を調整し、塗布液ミストの流れを制御することでワークの表面に厚みが均一な塗膜を形成できる。
また、ワークの形状に応じて複数の給気口の位置及び給気口の向く方向を塗布液の噴霧前或いは噴霧中に調整し、また、塗布用ノズルから塗布液を噴霧してワークに塗布液をスプレーコートする際には各給気口からの給気量を調整し、塗布液ミストの流れを制御することでワークの表面に厚みが均一な塗膜を形成できる。
従って、本発明のスプレーコート装置によれば、ワークが表面に凹凸を有するものであっても、表面に均一な厚みの塗膜を形成でき、しかもワークの凹凸形状が変化しても対応可能である。
なお、本発明は以下に説明する実施の形態に限定されるものではないことは勿論であるとともに、以下の図面においては各構成部分の縮尺について図面に表記することが容易となるように構成部分毎に縮尺を変えて記載している。
(第1の実施形態)
図1は、第1の実施形態のスプレーコート装置の概略構成を示す図である。
本実施形態のスプレーコート装置は、塗布チャンバ1内に、ワーク2を載置するワーク支持台3と、ワーク支持台3上に載置されたワーク2に溶剤蒸気とともに塗布液を霧状に噴霧する二流体ノズルからなる塗布用ノズル5が設けられ、ワーク支持台3の周囲に複数の給排気手段11が設けられ、さらにこの塗布チャンバ1にこの塗布チャンバ1内を雰囲気を減圧する減圧手段(図示略)が設けられた概略構成のものである。
このワーク支持台3の上面にワーク2が載置される。ワーク支持台3は、吸引によりワーク2を保持できるようになっている。
ワーク2は、シリコン基板、プリント基板、プラスチック基板、Cu基板、金属層付き基板、プリント配線基板などの基板や、また、この種の基板で表面に凹凸を有するものや、さらにこの凸部に斜面2aを有する形状のものが用いられる。
また、塗布用ノズル5に溶剤供給源(図示略)から溶剤蒸気9が供給される溶剤供給管8aが接続され、また、この溶剤供給管8aに溶剤蒸気の流量をコントロールするレギュレータ(図示略)とエアオペレーションバルブ8bが設けられている。上記溶剤供給源には、溶剤が収容された容器が備えられており、この容器内はN2加圧系によって加圧され、溶剤の飽和蒸気圧に保たれており、それにより容器内で溶剤蒸気が発生している。
このように塗布用ノズル5に溶剤蒸気9と塗布液4が供給されると、このノズル5の噴射口から溶剤蒸気とともに霧状の塗布液(塗布液ミスト)4aがワーク支持台3に向けて噴霧される。
溶剤9としては、塗布液4に含まれている溶剤が用いられ、例えば、キシレン、乳酸エチル、3メチルメトキシプロピオネ―ト(MMP)、エチルエトキシプロピオネート(EEP)、アセトン、n−ブチルアセテート(NBA)、エチルセロソルブアセテート(ECA)、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGNEA)などレジストシンナーとして使用される溶剤が用いられる。
塗布用ノズル5から噴射される塗布液の量としては、30〜200g/時間程度とされる。
給排気手段11は、図3に示すように上下に昇降可能な第一ステージ21上に左右に移動可能な第二ステージ22が設けられ、第二ステージ22上に第一ジョイント23を介して蛇腹状の第一給排気管24が接続され、さらにこの第一給排気管24と蛇腹状の第二給排気管25とが第二ジョイント26を介して接続されている。第一ステージ21内と第二ステージ22内にはそれぞれ給排気用通路(図示略)が形成されており、これら給排気用通路は連通している。
第一給排気管24と第二ステージ22の給排気用通路とは第一ジョイント23を介して連通しており、第一給排気管24と第二給排気管25とは第二ジョイント26を介して連通している。第一ステージ21の給排気用通路は、給排気ライン(図示略)に接続されている。第二給排気管25の先端が給排気口25aとされている。
これら複数の給排気手段11は、複数の第二給排気25が塗布チャンバ1内のワーク支持台3の周囲に配置されることで、複数の給排気口25aがワーク支持台3の周囲で開口している。
また、各給排気手段11の給排気量は、上記給排気ラインに備えられたファン(図示略)の回転数又はダンパ(図示略)の開閉により制御することができる。
従って、ワーク支持台3の周囲に配置された複数の排気口25aはそれぞれ独立して、その位置が移動可能で且つ給排気口の向く方向が変更可能な構成とされ、それぞれ独立して給排気量が調節可能な構成とされている。
複数の給排気手段11から排気される排気量の合計は、塗布用ノズル5から供給される空気の量以上とされ、例えば、塗布ノズル5からの空気の供給量が40リットル/分(40SLM)の場合、排気量の合計は40リットル/分以上とされる。
まず、上記減圧手段により塗布チャンバ1内の雰囲気を減圧する。
ついで、塗布チャンバ1内のワーク支持台3の上面にワーク2を載置し、吸引によりワーク支持台3に保持する。ここでのワーク2としては、図1と図2に示すような表面に凹凸を有し、かつ凸部の一方の側(図面では右側)に斜面2aを有するものが用いられる。また、ワーク2に溶剤ミストを噴霧する前には、ワーク2の形状に応じてワーク支持台3の周囲の複数の排気口25aの位置や高さや向きを予め調整しておく。
ついで、オペレーションバルブ5b、8bを開にし、塗布ノズル5の噴射口から溶剤蒸気とともに塗布液ミスト4aを回転するワーク2に向けて噴霧する。これとともに、ワーク2の斜面2の近傍に配置された給排気口25aから緩く給気を行い、斜面2aの近傍以外の部分に配置された給排気口25aからは強制排気を行う(特に、ワーク2の斜面2aが形成されている側と反対側に配置されている給排気口25aを中心に強制的に排気を行う)。
このようにすると、図4に示すように塗布用ノズル5から噴霧された塗布液ミスト4aの流れをワーク2の斜面2aが形成された側と反対側に向かう流れとすることができ、この塗布液ミスト4aの流れによって斜面2aへの塗布液ミスト4aのつきまわりが良くなり、ワーク2の表面に塗膜を形成する。なお、図4は塗布チャンバ1内で、塗布用ノズル5より下側を示した模式図である。
なお、塗布用ノズル5から塗布液ミスト4aの噴霧中に複数の給排気口25aの位置や高さや向きを調整するようにしてもよい。
また、上記実施形態においてはワーク支持台3の周囲に配置された給排気口25aが給気口と排気口を兼ねる場合について説明したが、図5に示すように給排気口25a内に排気口25bと給気口25bを別個に設けたものであってもよい。
また、この立体回路基板の製造方法においては、ワークの表面に塗膜を形成する工程の後に、フォトリソグラフィー技術により配線パターンを形成する工程が備えられることで立体回路基板が得られる。
Claims (8)
- 塗布チャンバ内にワーク支持台を有し、該ワーク支持台上に載置されたワークに塗布液を噴霧して前記ワークの表面に塗膜を成膜するスプレーコート装置であって、
前記塗布チャンバ内に前記ワークに塗布液を噴霧する塗布用ノズルが設けられ、前記ワーク支持台の周囲に複数の排気口が設けられ、
前記複数の排気口はそれぞれ独立して、その位置が移動可能で且つ排気口の向く方向が変更可能な構成とされ、それぞれ独立して排気量が調節可能な構成とされたことを特徴とするスプレーコート装置。 - 前記ワーク支持台の周囲に複数の給気口が設けられ、前記複数の給気口はそれぞれ独立して、その位置が移動可能で且つ給気口の向く方向が変更可能な構成とされ、それぞれ独立して給気量が調節可能な構成とされたことを特徴とする請求項1記載のスプレーコート装置。
- 前記塗布チャンバ内の雰囲気を減圧する減圧手段が設けられたことを特徴とする請求項1に記載のスプレーコート装置。
- 前記塗布チャンバ内の雰囲気を減圧する減圧手段が設けられたことを特徴とする請求項2に記載のスプレーコート装置。
- 請求項1又は3に記載のスプレーコート装置を用い、前記塗布用ノズルから前記塗布液を噴霧して前記ワークの表面に塗膜を形成する際に、前記複数の排気口からそれぞれ排出する排気量を個別に調節することを特徴とするスプレーコート方法。
- 請求項2又は4に記載のスプレーコート装置を用い、前記塗布用ノズルから前記塗布液を噴霧して前記ワークの表面に塗膜を形成する際に、前記複数の給気口からそれぞれ供給する給気量を制御することを特徴とするスプレーコート方法。
- 請求項5又は6のいずれか一項に記載のスプレーコート方法を用いる立体回路基板の製造方法であって、
前記塗布液としてレジストとその溶剤からなる塗布液を用い、前記ワーク支持台に載置されたワークとして表面に凹凸を有するワークを用いることを特徴とする立体回路基板の製造方法。 - 前記ワークの表面に塗膜を形成する工程の後に、フォトリソグラフィー技術により配線パターンを形成する工程を備えることを特徴とする請求項7に記載の立体回路基板の製造方法。
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