JP2005337907A - 光センサおよびそれを用いたアクチュエータ - Google Patents
光センサおよびそれを用いたアクチュエータ Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】光源10と、光源10からの光ビームを受光する受光素子24とを有し、受光素子24の出力に基づいて入射する光ビームの2次元方向の移動位置を検出する光センサ38において、受光素子24の受光領域30を、第1の方向Xに平行な第1の分割線40で第1の領域Aおよび第2の領域Bに分割すると共に、第1の領域Aおよび第2の領域Bの少なくとも一方を第1の分割線40に対して傾斜した第2の分割線42で分割する。
【選択図】図10
Description
前記受光素子の受光領域は、第1の方向に平行な第1の分割線で分割された第1の領域および第2の領域を有し、前記第1の領域および前記第2の領域の少なくとも一方は前記第1の分割線に対して傾斜した第2の分割線で分割されていることを特徴とするものである。
前記受光素子の受光領域は、第1の方向に平行な2本の第1の分割線で分割された第1の領域、第2の領域および第3の領域を有すると共に、中央の前記第2の領域は、前記第1の分割線に対して傾斜した第2の分割線で分割されていることを特徴とするものである。
前記受光素子の受光領域は、第1の方向に平行な2本の第1の分割線で分割された第1の領域、第2の領域および第3の領域を有し、
前記第2の領域の両側に位置する前記第1の領域および前記第3の領域の出力に基づいて前記第1の方向とほぼ直交する第2の方向における光ビームの位置に関連する情報を出力し、前記第2の領域の出力に基づいて前記第1の方向における光ビームの位置に関連する情報を出力することを特徴とするものである。
図1乃至図13は本発明の第1実施の形態を示すものである。本実施の形態は、2次元のレーザスキャナに用いられるアクチュエータとしてのガルバノミラー1を示すもので、図1はガルバノミラー1をミラー3の正面斜め上方から見た斜視図、図2はガルバノミラー1を背面側から見た斜視図、図3はガルバノミラー1の全体の分解斜視図、図4は可動部2の分解斜視図、図5はガルバノミラー1をミラー3の回転中心Gを通るX−Z平面で切った断面斜視図、図6は同じく回転中心Gを通るY−Z平面で切った断面平面図、図7は図5に示す状態から可動部2がY軸回りに回転した状態を示す断面平面図、図8は駆動手段を示す斜視図、図9(A),(B)は同じく駆動手段を示す平面図、図10はLEDユニット9の分解斜視図、図11は光センサ38を示す図、図12は受光素子24の受光領域30の構成を示す図、図13(A),(B)は光センサ38によるX方向位置SxおよびY方向位置Syの検出特性を示す図である。
Sy=((A1+A2+A3+A4)−(B1+B2+B3+B4))/(A1十A2+A3+A4+B1+B2+B3+B4)
Sx=((A1+B2)−(A2+B1))/(A1+A2+B1+B2)
により検出することもできる。
図14は、本発明の第2実施の形態の要部を示す概略斜視図である。
図15は、本発明の第3実施の形態に係るガルバノミラー60の要部を示す概略斜視図である。
図17は、本発明の第4実施の形態に係る光センサの要部の構成を示すものである。
Sx=(B2−B1)/(B1+B2)
により求めることができ、Y方向位置Syは、
Sy=(A−C))/(A+C)
により求めることができる。
図18は、本発明の第5実施の形態に係る光センサの要部の構成を示すものである。
2 可動部
3 ミラー
4 ホルダ
4h ポスト
5 フレキシブル基板
6 ピボット
7 ELコイル
8 AZコイル
9 LEDユニット
10 LED
11 基板
12 バランサ
12a 絞り
13 ワイヤ
21 ベース
21b バー
22 基板ユニット
23 基板
24 受光素子
27 マグネット
28 ヨーク
29 スポット
30 受光領域
38 光センサ
40 第1の分割線
41 分割線
42 第2の分割線
44 第1の分割線
50 リニアステージ
51 固定部
52 可動部
60 ガルバノミラー
61 LED
62 コリメータレンズ
63 センサミラー
70 受光領域
74 第1の分割線
Claims (15)
- 光源と、該光源からの光ビームを受光する受光素子とを有し、該受光素子の出力に基づいて入射する光ビームの2次元方向の移動位置を検出する光センサにおいて、
前記受光素子の受光領域は、第1の方向に平行な第1の分割線で分割された第1の領域および第2の領域を有し、前記第1の領域および前記第2の領域の少なくとも一方は前記第1の分割線に対して傾斜した第2の分割線で分割されていることを特徴とする光センサ。 - 前記受光領域の出力に基づいて、前記第1の方向および該第1の方向に垂直な第2の方向における光ビームの位置に関連する情報を出力することを特徴とする請求項1に記載の光センサ。
- 前記第2の分割線で分割された少なくとも2つの領域の出力差に基づいて前記第1の方向における光ビームの位置に関連する情報を出力し、前記第1の領域と前記第2の領域との出力差に基づいて前記第2の方向における光ビームの位置に関連する情報を出力することを特徴とする請求項2に記載の光センサ。
- 光源と、該光源からの光ビームを受光する受光素子とを有し、該受光素子の出力に基づいて入射する光ビームの2次元方向の移動位置を検出する光センサにおいて、
前記受光素子の受光領域は、第1の方向に平行な2本の第1の分割線で分割された第1の領域、第2の領域および第3の領域を有すると共に、中央の前記第2の領域は、前記第1の分割線に対して傾斜した第2の分割線で分割されていることを特徴とする光センサ。 - 前記受光領域の出力に基づいて、前記第1の方向および該第1の方向に垂直な第2の方向における光ビームの位置に関連する情報を出力することを特徴とする請求項4に記載の光センサ。
- 前記第2の分割線で分割された前記第2の領域の少なくとも2つの領域の出力差に基づいて前記第1の方向における光ビームの位置に関連する情報を出力し、前記第2の領域の両側に位置する前記第1の領域および前記第3の領域の出力差に基づいて前記第2の方向における光ビームの位置に関連する情報を出力することを特徴とする請求項5に記載の光センサ。
- 光源と、該光源からの光ビームを受光する受光素子とを有し、該受光素子の出力に基づいて入射する光ビームの2次元方向の移動位置を検出する光センサにおいて、
前記受光素子の受光領域は、第1の方向に平行な2本の第1の分割線で分割された第1の領域、第2の領域および第3の領域を有し、
前記第2の領域の両側に位置する前記第1の領域および前記第3の領域の出力に基づいて前記第1の方向とほぼ直交する第2の方向における光ビームの位置に関連する情報を出力し、前記第2の領域の出力に基づいて前記第1の方向における光ビームの位置に関連する情報を出力することを特徴とする光センサ。 - 前記第2の領域は、位置検出素子からなることを特徴とする請求項7に記載の光センサ。
- 前記第1の領域および前記第3の領域は、フォトダイオードからなることを特徴とする請求項7または8に記載の光センサ。
- 前記第1の方向における光ビームの位置検出範囲が、前記第2の方向における光ビームの位置検出範囲よりも大きいことを特徴とする請求項2,3,5〜9のいずれか一項に記載の光センサ。
- 前記受光領域に入射する光ビームのスポットは、前記第1の方向よりも前記第2の方向が大きい形状であることを特徴とする請求項2,3,5〜10のいずれか一項に記載の光センサ。
- 固定部に対して可動する可動部と、該可動部の位置および/または傾き量を検出する請求項1〜11のいずれか一項に記載の光センサとを有することを特徴とするアクチュエータ。
- 前記可動部は、少なくとも光学素子を有することを特徴とする請求項12に記載のアクチュエータ。
- 前記光学素子は、ミラーであることを特徴とする請求項13に記載のアクチュエータ。
- 前記光センサの一部が、前記可動部の重心に対して前記光学素子とは反対側において前記可動部に配置されていることを特徴とする請求項13または14に記載のアクチュエータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004157573A JP2005337907A (ja) | 2004-05-27 | 2004-05-27 | 光センサおよびそれを用いたアクチュエータ |
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2005337907A true JP2005337907A (ja) | 2005-12-08 |
Family
ID=35491647
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2004157573A Pending JP2005337907A (ja) | 2004-05-27 | 2004-05-27 | 光センサおよびそれを用いたアクチュエータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005337907A (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63169504A (ja) * | 1987-01-08 | 1988-07-13 | Fujitsu Ltd | 光学式2次元位置センサ |
JPS63229306A (ja) * | 1987-03-19 | 1988-09-26 | N T T Gijutsu Iten Kk | 線形受光デバイス |
JPH05210863A (ja) * | 1990-12-18 | 1993-08-20 | Ricoh Co Ltd | 光ピックアップ装置及びそれに用いる位置検出器 |
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-
2004
- 2004-05-27 JP JP2004157573A patent/JP2005337907A/ja active Pending
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