JP2005326463A - ひずみ検出による共振駆動保持機構を持った光偏向器 - Google Patents
ひずみ検出による共振駆動保持機構を持った光偏向器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005326463A JP2005326463A JP2004142215A JP2004142215A JP2005326463A JP 2005326463 A JP2005326463 A JP 2005326463A JP 2004142215 A JP2004142215 A JP 2004142215A JP 2004142215 A JP2004142215 A JP 2004142215A JP 2005326463 A JP2005326463 A JP 2005326463A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical deflector
- elastic support
- movable plate
- torsion
- strain
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Laser Beam Printer (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
【課題】 ねじれ振動動作に関連する部位の一部に構成した歪ゲージだけでは、その抵抗値変化、すなわちねじれひずみ量の変化の測定精度および分解能の点で十分であるとはいえない。
【解決手段】 弾性支持体は断面がX字の形状であり、反射面と同じ方向を向いた弾性支持体の表面に歪ゲージを構成している光偏向器を提供する。
【選択図】 図1
【解決手段】 弾性支持体は断面がX字の形状であり、反射面と同じ方向を向いた弾性支持体の表面に歪ゲージを構成している光偏向器を提供する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、入射光を偏向する光偏向器、及びそれを用いた光学機器、そしてねじり揺動体に関するものである。
近年において半導体デバイスの高集積化に代表されるようにマイクロエレクトロニクスの発展に伴い、様々な機器が高機能化とともに小型化されてきている。例えば、光偏向器を用いて光走査を行うレーザービームプリンタ、ヘッドマウントディスプレイ等の画像表示装置、バーコードリーダー等の入力デバイスの光取り入れ装置等においてもより一層の小型化が要求されている。これらの要求を満たす光偏向器として、例えば、マイクロマシンニング技術を用いて微小ミラーをねじり梁で支持しねじり振動させる構成で光を走査する光偏向器があり、その構造や駆動方法において様々なものが提案されている。
また、微小ミラーをねじり振動させる構成で光を走査する光偏向器として使用する際、微小ミラー部分の振動による振れ角(以下、変位角と呼ぶ)の値は重要な情報となるが、その検出や制御の方法としては特許文献1や特許文献2などで開示されているように、ねじり軸に関連する部位に歪ゲージを形成することで、その部分の歪を検出して可動部の変位角を算出し、それをもとに制御回路によって可動部の変位角を制御する方法がある。
またX字型の多角形断面からなる弾性支持体を持つ光偏向器は特許文献3に記載されている。
また特許文献4には可動板に形成された反射面の裏側の面に磁性体からなる可動コアを、その面と対面する場所にコイルを周回させた固定コアとを持ち、コイルを通電することで可動コアと固定コアの間に生じる異磁極または同磁極間の磁力(の吸引力または反発力)によって揺動動作を行う光偏向器が記載されている。
特開平1−316718号公報
特開平5−119280号公報
特開2003−131161号公報
特開2002−323669号公報
しかしながら歪ゲージが検出する歪は、ゲージの構成方向に生じるひずみ成分のみであるため、微小ミラーの振動運動の軸で、ねじれ動作を生じる弾性支持体に歪ゲージを適用する場合、ゲージの構成方向は重要な要素になってくる。また、本件に掛かる光偏向器のように、その光偏向器が持つ共振周波数での駆動を前提とし、比較的大きな変位角で動作するデバイスにおいては、厳密には弾性支持体の部位によってねじれの強度の分布が異なるため、ねじれ振動動作に関連する部位の一部に構成した歪ゲージだけでは、その抵抗値変化、すなわちねじれひずみ量の変化の測定精度および分解能の点で十分であるとはいえない。また、ねじり軸方向にゲージを構成した場合、可動板がどちらの方向に傾いているのかも判別しにくい。
そこで本発明では、微小ミラーをねじり振動させる構成で光走査を行う光偏向器において、入射光を偏向するための微小ミラーの振動状態を、弾性支持体に生ずる引張り応力の方向に沿うように構成した歪ゲージの抵抗値変化によって検出することで、弾性支持体のねじれひずみ量の変化を鋭敏にとらえ、さらにその結果を帰還することで微小ミラーの共振駆動状態を保持することを目的とするものである。
よって本発明は、
支持基板に可動板の両端が弾性支持体で支持され、該可動板の一方の面には反射面が形成され、該可動板を該弾性支持体のねじり軸を中心にねじり振動させることによって、該反射面に入射する入射光を偏向する光偏向器であって、該弾性支持体は断面がX字の形状であり、該反射面と同じ方向を向いた該弾性支持体の表面に歪ゲージを構成していることを特徴とする光偏向器を提供する。
支持基板に可動板の両端が弾性支持体で支持され、該可動板の一方の面には反射面が形成され、該可動板を該弾性支持体のねじり軸を中心にねじり振動させることによって、該反射面に入射する入射光を偏向する光偏向器であって、該弾性支持体は断面がX字の形状であり、該反射面と同じ方向を向いた該弾性支持体の表面に歪ゲージを構成していることを特徴とする光偏向器を提供する。
微小ミラーの揺動に伴う弾性支持部のねじれひずみ量に応じて変化する歪ゲージの抵抗値(ブリッジ回路の電圧値)を精密に検出することができるため、その変化量に応じた補正値を駆動回路に帰還して固有の共振周波数で駆動することができ、微小ミラーによる光偏向器で安定した光走査を可能にすることができた。
上記目的を達成するために本発明は、微小ミラーをねじり振動させる構成で光を走査する光偏向器おいて、X字型の多角形断面からなる弾性支持体を持つ。ここで、X字状の断面形状を持つ弾性支持体を有する光偏向器は、特許文献3で開示されているように、その微小ミラーをねじり軸回りにねじり易く、ねじり軸に垂直方向にたわみにくい状態で弾性支持することが可能であるため、微小ミラーはねじり軸回りのねじり振動以外の不要振動が生じにくく、安定した光偏向器を実現できる。このようなX型断面を有する光偏向器の前記弾性支持体のねじり振動時に生じるねじれひずみ量を、それに応じた抵抗値の変化量として検出するために前記弾性支持体の前面(ミラー面側)全域にねじれひずみによる引張り応力の発生方向と整合する方向に構成された歪ゲージと、前記歪ゲージの抵抗値の変化を検出するねじれ検出回路と、検出した抵抗値の変化量の最大値と共振駆動時のそれとを比較して、共振周波数のズレに伴う最大ねじれ量からの変動分を補正するために、抵抗値の最大変化量が共振駆動時のそれと一致するように駆動周波数を調整することで微小ミラーの共振駆動状態を保持する制御回路を少なくとも有することを特徴とする。
これにより弾性支持体に生じるひずみに伴う引張り応力を全域にわたって鋭敏に捕らえることが出来るため、その構成方向に配慮しない場合に比べ、検出感度および分解能を向上させることが出来る。
なお、微小ミラーの振動状態すなわち変位角は、そのねじり軸である弾性支持体のねじれ量に対応して一義的に定まり、そのねじれ量に対する歪ゲージの抵抗値の変化量もまた一義的に定まるものであるから、結果的に歪ゲージの抵抗値を知ることは微小ミラーの振動状態を知ることになる。したがって、抵抗値の変化量が最大となる時、それは弾性支持体のねじれ量が最大の時であり、微小ミラーが共振駆動の状態にあることになる。よって、その抵抗値の変化量の最大値を監視することで共振駆動状態にあることを見極めることができ、それが変化した場合は、その変化量を基に駆動系を制御することで、共振周波数が温度変化などの外乱により変動した際にも常に追従して安定した光走査が行える光偏向器を提供することができる。
ここで、図1〜図4に基づいて、弾性支持体に構成する歪ゲージの方向について説明する。図1は本発明で用いる光偏向器の一例であり、全体構成を示す斜視図である。図1において、光偏向器1は支持基板2に可動板5の両端がねじり揺動運動軸に相当する弾性支持体(ねじりバネ)3で支持された構造となっている。弾性支持体3は可動板5をB軸(つまりねじり軸)を中心に弾性的にC方向、つまり時計回り方向と反時計回り方向の両方向のねじり振動を自在に支持するものである。また、可動板5の一方の面は反射面4となっていて可動板5のC方向へのねじれにより反射面4に入射する入射光を所定変位角偏向するものである。なお、可動板5ははその両端がそれぞれねじれバネ3と接続しているため、支持基板2によって支持されている。また可動板5は、ねじり揺動するがB軸を中心に回転はしない。
なお、本件は可動板の駆動方法については特に規定するものではないが、ここでは特許文献4に記載される光偏向器の揺動動作について考えることにする。ここで図2は図1で説明した光偏向器で、図1では可動板5の裏側にあるため不図示のアクチュエータ部を取り付けた状態の一例で、可動板5のねじり軸3方向から見た時の側面図である。可動板5の反射面4が構成されている面の裏側に磁性体からなる可動コア6を取り付け、可動コア6を吸引し可動板5にトルクを発生させるためのコイルを周回させた固定コア7(いわゆる電磁石)が支持基板2の外側に、可動板5の反射面4とは反対側の面(すなわち、可動コアを取り付けた面)に対面する状態で設置されており、このコイルに通電することにより電磁力で可動板5が駆動される。なお固定コア7の取り付け方法は、支持基板部2をホルダー8によって保持し、固定コア7を設置した別基板と接合すればよい。
このような光偏向器において前記弾性支持体の前面(反射面側)全域に歪ゲージR1〜R4を形成する。これらR1〜R4は、その抵抗値の変化に伴う出力電圧の変化から弾性支持体のねじれ量を検出するためのホイートストン・ブリッジを構成するものであり、光偏向器が駆動されていない状態では平衡状態となるように調整されたものである。
図3(a)〜(c)は光偏向器を真上から見た時の図である。ここで固定コアに通電し、反射面が形成された可動部を揺動させた時の弾性支持体に作用する引張り応力の方向について図3(a)〜(c)を用いて考えてみる。まず、可動部が図3の(a)の矢印Aの方向に振れた時、それぞれの弾性支持体には同図中の両矢印の方向にねじれによる引張り応力が作用する。一方、可動部が図3の(b)の矢印Bの方向に振れた時、それぞれの弾性支持体には同図中の両矢印の方向にねじれによる引張り応力が働く。ここで、弾性支持体に構成する歪ゲージの方向であるが、図3の(c)のようにそれぞれ4箇所の弾性支持体には歪ゲージを構成するゲージ抵抗のすべての長手方向成分を弾性支持体のねじり軸の方向に対し45°傾けて配置する。図3(c)の向きに構成することにより、可動部が図3(a)の矢印Aの方向に振れた時、歪ゲージR3およびR4は、そのゲージの全長の大部分を占める長手方向へのねじれによる引張り応力を強く受けることになり、その抵抗値は大きく変化する。しかしR1およびR2に作用する引張り応力はR3およびR4に作用する引張り応力と同じ方向であるため、R1およびR2の主方向となる長手方向とは90°方向が異なることになり、弾性支持体のねじれに伴う引張り応力にほとんど影響されないことになる。同様に、可動部が図3(b)の矢印Bの方向に振れた時には上記とは全く逆になるため、R1およびR2の抵抗値が大きく変化するのに対し、R3およびR4がほとんどねじりによる引張り応力の影響を受けないことになる。この結果、R1〜R4で構成された図4のホイートストン・ブリッジ回路(ねじれ検出回路)のVout=V13−V24は図3(a)の時正電圧、図3(b)の時負電圧となり、その変位角に応じてVoutの大きさも変化する。なお、図4のR1〜R4が実際の光偏向器の弾性支持体に構成される際の位置は、図3で説明したR1〜R4の位置と一致する。
以上により、弾性支持体のねじれに伴う引張り応力が働く方向に沿って歪ゲージを構成することで、その引張り応力を鋭敏に捕らえることができるため、測定感度および分解能が向上し、また、可動部の振れ(傾き)方向が容易に判別することができ、より精密に可動板の振動状態を把握することができた。
続いて図5により実施例の一形態である弾性支持部のねじれ量を検出・制御することにより可動部の共振駆動状態を保持する例について説明する。
501は図4において説明した、光偏向器の弾性支持体に構成した歪ゲージR1〜R4からなるホイートストン・ブリッジ回路とその出力を増幅して取り出す差動アンプからなるねじれ検出回路部であり、その出力電圧の最大値と、ねじれ検出回路501の共振駆動状態における出力電圧の最大値とを比較し、変動していた場合にその変動分に見合った量を、駆動周波数のシフト量として変換するための演算部分が502に示す共振周波数制御回路部であり、503は共振周波数制御回路502の演算によって求められた駆動周波数のシフト量を帰還し、光偏向器の固定コアに新規の駆動周波数で駆動電圧を印加する光偏向器駆動回路(電源)部である。
ここで、共振周波数制御回路部の動作であるが、もし弾性支持体の最大ねじれ量に変動が生じた場合は、光偏向器の共振周波数f0が温度変化などの要因によって変動したと考えられる。そこで、光偏向器としての動作・性能に影響が無い程度の微小量(±Δf0)だけ駆動周波数を共振周波数から変位させ、その時のねじれ検出回路501の変位方向を観測する。もし+Δf0でねじれ検出回路501の出力が増加の方向に変位すれば共振周波数は周波数が高くなる方向に変位したと考えられ、一方−Δf0でねじれ検出回路501の出力が増加の方向に変位すれば共振周波数は低くなる方向に変位したと考えられる。したがって、変位方向が判れば、その方向にさらに微小量づつ駆動周波数を変位させて行き、ねじれ検出回路501で検出される出力が最大となる周波数が、元の共振周波数から変動した後の新しい共振周波数ということになり、再び共振周波数で光偏向器の駆動を継続することが出来た。
1 光偏向器
2 支持基板
3 弾性支持体(ねじりバネ)
4 反射面(微小ミラー面)
5 可動板
A 弾性支持体の断面形状を説明するための切り口方向
B ねじり軸
C ねじれ方向
2 支持基板
3 弾性支持体(ねじりバネ)
4 反射面(微小ミラー面)
5 可動板
A 弾性支持体の断面形状を説明するための切り口方向
B ねじり軸
C ねじれ方向
Claims (4)
- 支持基板に可動板の両端が弾性支持体で支持され、該可動板の一方の面には反射面が形成され、該可動板を該弾性支持体のねじり軸を中心にねじり振動させることによって、該反射面に入射する入射光を偏向する光偏向器であって、該弾性支持体は断面がX字の形状であり、該反射面と同じ方向を向いた該弾性支持体の表面に歪ゲージを構成していることを特徴とする光偏向器。
- 該弾性支持体の表面に構成した歪ゲージの長手方向の角度が、ねじり軸の方向に対して45°であることを特徴とする請求項1に記載の光偏向器。
- 少なくとも1つの該弾性支持体は2つの該歪ゲージを有し、該2つの歪ゲージの長手方向は互いに略直交することを特徴とする請求項2に記載の光偏向器。
- 該弾性支持体のねじれひずみ量を検出して、振動周期を補正することで該光偏向器の共振駆動状態を補正する手段を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の光偏向器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004142215A JP2005326463A (ja) | 2004-05-12 | 2004-05-12 | ひずみ検出による共振駆動保持機構を持った光偏向器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004142215A JP2005326463A (ja) | 2004-05-12 | 2004-05-12 | ひずみ検出による共振駆動保持機構を持った光偏向器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005326463A true JP2005326463A (ja) | 2005-11-24 |
Family
ID=35472890
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004142215A Withdrawn JP2005326463A (ja) | 2004-05-12 | 2004-05-12 | ひずみ検出による共振駆動保持機構を持った光偏向器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005326463A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008003330A (ja) * | 2006-06-22 | 2008-01-10 | Seiko Epson Corp | アクチュエータ |
JP2010008611A (ja) * | 2008-06-25 | 2010-01-14 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 可動構造体及びそれを用いたマイクロミラー素子 |
US7733551B2 (en) | 2006-09-20 | 2010-06-08 | Seiko Epson Corporation | Actuator, optical scanner and image-forming device |
-
2004
- 2004-05-12 JP JP2004142215A patent/JP2005326463A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008003330A (ja) * | 2006-06-22 | 2008-01-10 | Seiko Epson Corp | アクチュエータ |
US7733551B2 (en) | 2006-09-20 | 2010-06-08 | Seiko Epson Corporation | Actuator, optical scanner and image-forming device |
US7884990B2 (en) | 2006-09-20 | 2011-02-08 | Seiko Epson Corporation | Actuator, optical scanner and image-forming device |
US8035878B2 (en) | 2006-09-20 | 2011-10-11 | Seiko Epson Corporation | Actuator, optical scanner and image-forming device |
JP2010008611A (ja) * | 2008-06-25 | 2010-01-14 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 可動構造体及びそれを用いたマイクロミラー素子 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5582518B2 (ja) | 光走査装置 | |
US7355774B2 (en) | Optical deflector and optical apparatus using the same | |
US20050078169A1 (en) | Apparatus and methods for adjusting the rotational frequency of a scanning device | |
US20100296147A1 (en) | Optical reflection element | |
JP2006243251A (ja) | 光偏向器 | |
KR20070117487A (ko) | 진동자 장치, 광 편향기 및 그를 이용한 광학기기 | |
JP5400925B2 (ja) | 揺動体装置、光偏向器、及びそれを用いた光学機器 | |
JP2007322466A (ja) | 光偏向器、及びそれを用いた光学機器 | |
JPWO2019087919A1 (ja) | 光学反射素子 | |
JP2013080208A (ja) | 光走査装置 | |
JP5098319B2 (ja) | 光スキャナ装置 | |
US7126744B2 (en) | Stabilization of closed loop operation of a torsional hinged device | |
JP2011013270A (ja) | プレーナ型アクチュエータ及び光走査装置 | |
JP2008191537A (ja) | 振動素子、及び振動素子を備える光偏向器 | |
JP2004102249A (ja) | マイクロ可動体 | |
JP2005326465A (ja) | 光偏向器 | |
JP5554895B2 (ja) | 揺動構造体、及び揺動構造体を用いた揺動体装置 | |
JP5296423B2 (ja) | 光走査装置、画像形成装置、表示装置及び入力装置 | |
JP2005326463A (ja) | ひずみ検出による共振駆動保持機構を持った光偏向器 | |
JP5188315B2 (ja) | 揺動体装置、光偏向装置、及びそれを用いた光学機器 | |
JP5339752B2 (ja) | 揺動体装置及びその製造方法、光偏向器、画像形成装置 | |
JP2006323001A (ja) | 揺動体装置、およびそれを用いた光偏向器 | |
JP2006313216A (ja) | 揺動体装置、およびそれを用いた光偏向器 | |
WO2007148664A1 (ja) | アクチュエータ | |
JP2010002637A (ja) | 光走査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20070807 |