JP2005309008A

JP2005309008A - 光受信器

Info

Publication number: JP2005309008A
Application number: JP2004124700A
Authority: JP
Inventors: Yoshiyuki Doi; 芳行土居; Ikuo Ogawa; 育生小川; Senta Suzuki; 扇太鈴木; Yasuyuki Inoue; 靖之井上
Original assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Current assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority date: 2004-04-20
Filing date: 2004-04-20
Publication date: 2005-11-04

Abstract

【課題】光導波路を有する光導波路基板上に受光素子を搭載する光受信器において、ＰＤＬ（偏波依存性損失）の発生を抑え、かつ受光素子における漏洩電流が少ない光受信器を提供する。
【解決手段】光受信器は、光導波路基板１０の光導波路１２、溝１３に挿入したフィルタ１４、台座１５上の反射面１６、受光素子１７および封止剤１８を含む。封止剤１８は光導波路基板上面と反射面１６と受光素子１７を覆い、光導波路１２のクラッド１２−２の屈折率に近い屈折率を有する。光導波路１２中を図の左から右方向に進行する光の一部あるいは全部は、フィルタ１２によって反射し、光導波路基板１０の界面から封止剤１８へと透過し、反射面１６で全反射した後、受光素子１７に入射する。光導波路基板表面部１２−２と封止剤１８との界面において、屈折率差が実質的にほとんど無いため、反射率の偏波依存性が無く、光のＰＤＬを回避することが可能となる。
【選択図】図１

Description

本発明は、主として光ファイバ通信に適用される光受信器であり、特にフォトダイオードなどの受光素子が、光導波路を有する光導波路基板に搭載された光受信器に関する。

光ファイバ通信において使用される光受信器は、光を受信して電気信号を抽出することができるため、高速のパルス信号を検出する用途を始め、光線路中の光強度を観測する用途などで広く用いられている。

近年、小型・コンパクト、高機能化を主目的として、光導波路を有する光導波路基板上に受光素子を搭載した光受信器の開発が盛んに行われている。従来の光受信器の参考例として非特許文献１，２に記載されている光受信器を以下に説明する。

図１１は非特許文献１に記載されている従来の光受信器の構成例を示す。非特許文献１では光送信器の構成も示されているが、ここでは省略する。この光受信器は、光導波路１１２が形成された光導波路基板１１０と、光導波路１１２を斜めに横切って形成された溝１１３と、溝１１３に挿入されてかつ光導波路１１２中を導波する光を反射するフィルタ１１４と、フィルタ１１４で反射された光を受光する受光素子１１５とで構成されている。光導波路基板１１０は基板１１１と光導波路１１２からなり、光導波路１１２はコア１１２−１と上部クラッド１１２−２と下部クラッド１１２−３とからなる。ここで光導波路１１２のコア１１２−１中を図１１の左から右方向に進行する光の一部あるいは全部は、フィルタ１１４によって反射され、光導波路基板１１０の鉛直方向から角度θ_０で受光素子１１５に入射される。

図１２は非特許文献２で開示されている従来の光受信器の他の構成例を示す。この光受信器は、光導波路１１２が形成された光導波路基板１１０と、光導波路１１２を斜めに横切って形成された溝１１３と、溝１１３に挿入されてかつ光導波路１１２中を導波する光を反射するフィルタ１１４と、フィルタ１１４で反射された光を受光する受光素子１１５と、光導波路基板１１０と受光素子１１５間に挿入される台座１１６とで構成されている。光導波路基板１１０は基板１１１と光導波路１１２からなり、光導波路１１２はコア１１２−１と上部クラッド１１２−２と下部クラッド１１２−３とからなる。ここで光導波路１１２のコア１１２−１中を図１２の左から右方向に進行する光の一部あるいは全部は、フィルタ１１４によって反射され、光導波路基板１１０の鉛直方向から一定の角度θ_０で台座１１６に入射され、さらに一定の角度θ_１で受光素子１１５に入射される。

図１１と図１２に示したこれら従来例では、光導波路基板１１０の鉛直方向から一定の角度αを有する溝１１３が光導波路基板１１０上に作製されている。ここで溝１１３の作製装置としてダイシングソーが多く用いられているが、大きな角度を作製することは作製精度なことに加え、溝に挿入するフィルタ１１４の挿入角度が深いと反射率の偏波依存性損失（ＰＤＬ：Polarization dependence loss）が生じるため、概ねαは３０度以内に限定される。この場合、フィルタαとθ_０の関係は
θ_０＝９０−２α（度）（式１）
であるため、θ_０は３０度以上９０度未満となる。

宇野智昭ら「表面実装型のＬＤ／ＰＤ集積化モジュール」１９９７年電子情報通信学会エレクトロニクスソサエティ大会，Ｃ−３−８９，ｐ１９８（１９９７）山口章ら「樹脂パッケージを用いた小型・高信頼性アクセスデバイス」２００２年電子情報通信学会基礎・境界ソサイティ大会，ＳＡ−３−１，ｐ２１７−２１８（２００２）

図１１に示した従来の光受信器では、フィルタ１１４で反射した光が受光素子１１５に対して角度θ_０で入射する。ここで通常、光導波路１１２の上部クラッド１１２−２と受光素子１１５の屈折率はそれぞれ異なるため、光導波路基板１１０と受光素子１１５の界面における光の反射率は、入力偏波方向によって異なる。このため、受光素子１１５に光が入力されるものの、受光特性にＰＤＬ（偏波依存性損失）が生じるという課題があった。ＰＤＬの値は、特に光強度を観測する用途において十分小さいことが必須である。

光導波路１１２の屈折率をｎ_１、受光素子１１５の屈折率をｎ_２とすると、光導波路基板１１０と受光素子１１５の界面を透過して受光素子１１５に入力されるＴＥ偏波の透過率Ｔ_ＴＥおよびＴＭ偏波の透過率Ｔ_ＴＭは、
Ｔ_{ＴＥ，ＴＭ}＝１−（ｒ_{ＴＥ，ＴＭ}）^２（式２）
となる。ここでＴ_{ＴＥ，ＴＭ}は電界反射率であり、

である。さらに、透過率のＰＤＬは、
ＰＤＬ＝｜Ｔ_ＴＥ／Ｔ_ＴＭ｜（式５）
となる。

図１３に、受光素子１１５への入射角θ_０に対する透過率（Ｔ_ＴＥ, Ｔ_ＴＭ）と、ＰＤＬの関係を示す。ここで、光導波路１１２の材料はシリカグラス（屈折率＝約１．５）、受光素子１１５の材料はインジウムリン（屈折率＝約３．５）としている。先に、入射角θ_０は３０度以上９０度未満の範囲であると述べたが、その領域では偏波によって透過率が大きく変動し、同時に屈折によるＰＤＬも大きくなる。θ_０が３０度の時でもそのＰＤＬは０．５ｄＢ程度生じ、これは通常望ましいとされる０．１ｄＢよりも極めて大きな値である。

また、図１２においては、光導波路基板１１０と受光素子１１５の間に台座１１６を挿入しているが、仮に台座１１６の屈折率を光導波路基板１１０の表面部分（即ち、上部コア１１２−２）のそれと同一の１．５にしたとすると、台座１１６と接する光導波路基板１１０の上部界面での屈折は生じないため、ＰＤＬも生じない。しかし代わりに、受光素子１１５への入射角度は、θ_１＝θ_０となり、台座１１６（屈折率１．５）と受光素子１１５（屈折率３．５）間の界面において大きなＰＤＬが発生する。すなわち、台座１１６の屈折率を調整したとしても異なる屈折率界面が生じる以上、ＰＤＬが発生するという課題があった。

本発明は、このような従来技術における課題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、光導波路を有する光導波路基板上に受光素子を搭載する光受信器において、ＰＤＬの発生を抑え、かつ受光素子における漏洩電流が少ない、小型・コンパクト・高機能な光受信器を提供することにある。

上記目的を達成するため、本発明の第１の形態の光受信器は、光導波路が形成された光導波路基板と、前記光導波路基板上に前記光導波路を横切って形成された溝と、前記溝に挿入され前記光導波路中を導波する光を反射するフィルタと、前記光導波路基板上に搭載され前記フィルタで反射された光の方向を変えるための傾斜付き反射面を有する台座と、前記台座上に張り出し状に固定され前記反射面で反射された光を受光する受光素子と、前記フィルタで反射後の光路における少なくとも前記光導波路基板上と前記反射面と前記受光素子の受光面間に充填される封止剤とを具備し、かつ前記封止剤が前記光導波路のクラッドの屈折率に実質的に同一または極近似の屈折率を有することを特徴とする。

また、上記目的を達成するため、本発明の第２の形態の光受信器は、光導波路が形成された光導波路基板と、前記光導波路基板上に前記光導波路を横切って形成された溝と、前記溝に挿入され前記光導波路中を導波する光を反射するフィルタと、前記光導波路基板上に搭載されて前記フィルタで反射された光を透過しかつ該透過光の方向を変えるための傾斜付き反射面を有する台座と、前記台座上に固定されて前記反射面で反射され前記台座を透過した光を受光する受光素子とを具備し、かつ前記台座が前記光導波路のクラッドの屈折率に実質的に同一または極近似の屈折率を有し、前記フィルタによって反射された光が前記台座を透過して前記受光素子に入射するように前記台座が配置されていることを特徴とする。

ここで、前記光導波路は、シリカガラスまたはポリマーで形成されていることを特徴とすることができる。

また、前記受光素子は、複数の受光面が設けられた受光素子アレイであることを特徴とすることができる。

また、前記溝、前記フィルタ、前記台座、および前記受光素子もしくは前記受光素子アレイはそれぞれ、前記光導波路基板上の前記光導波路に対して傾けて配置されていることを特徴とすることができる。

また、前記受光素子もしくは前記受光素子アレイは、入射光の光軸に対してその受光面を傾けて配置されていることを特徴とすることができる。

また、前記光導波路は前記光導波路基板上に複数形成され、前記台座の前記反射面は、該複数の光導波路の位置に対応して所定の間隙を空けて複数形成され、各該反射面に隣接して該間隙を埋める位置に非反射面が形成されていることを特徴とすることができる。

また、前記光導波路は前記光導波路基板上に複数形成され、前記台座は、該複数の光導波路の位置に対応して開口された複数の貫通孔を有し、該複数の貫通孔の斜面のそれぞれに前記反射面が形成されていることを特徴とすることができる。

また、前記台座はシリコンで形成され、前記貫通孔は異方性エッチングにより作製されたことを特徴とすることができる。

また、前記光導波路基板上には、前記光導波路を挟んで、または複数の前記光導波路間に、該光導波路と同一方向に伸びる第２の溝が形成されていることを特徴とすることができる。

また、前記第２の溝内に不透明な樹脂が充填されていることを特徴とすることができる。

さらに、本発明の第１の形態の光受信器において、前記封止剤として少なくとも所定の波長帯で高透過率を示す熱硬化型のシリコーンが用いられ、該封止剤が前記受光素子のほぼ全体および前記導波路基板の上面の少なくとも一部を覆っていることを特徴とすることができる。

さらに、本発明の第１の形態の光受信器において、前記台座は金属であることを特徴とすることができる。

さらに、本発明の第２の形態の光受信器において、前記台座は少なくとも所定の波長帯で高透過率を示すシリカガラスまたはプラスチックであることを特徴とすることができる。

さらに、本発明の第２の形態の光受信器において、前記受光素子、前記台座および前記導波路基板の上面を覆っている封止剤を更に有することを特徴とすることができる。

上記の構成により、本発明によれば、光導波路基板の表面部（光導波路の上部クラッド）と光導波路基板上方の封止剤（本発明の第１の形態）または台座（本発明の第２の形態）との界面において、屈折率差が無いため、反射率の偏波依存性が無く、受光素子における光のＰＤＬ（偏波依存性損失）を回避することが可能となる。

また、本発明では、台座によって受光素子を精度よく堅固に固定することが可能となる。

さらに、本発明では、台座は、外部に信号を出力可能な配線板として機能することが可能となり、光導波路基板と受光素子間の絶縁を高くすることが可能となる。

また、本発明では、封止剤は光導波路基板と封止剤の界面での反射を抑圧し、光導波路基板上部を出力した光のスポットサイズが拡大するのを抑圧し、さらには光導波路基板、台座、受光素子などの部品を強固にかつ一括して固定することが可能となる。

加えて、本発明では、封止剤によって受光素子を覆うことにより、受光素子の信頼性を確保することが可能となる。

また、本発明では、光導波路の材質として硬度の高いシリカガラスを用いたことにより、台座の接着、封止剤の充填によって生じた応力によっても光導波路基板の特性、特に光導波路の特性は安定を保持することが可能となる。

この結果、本発明によれば、小型・コンパクト、高機能を有する光受信器を提供することが可能となる。

以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
（第１の実施形態）
本発明の第１の実施形態における光受信器の構成を図１〜図３に示す。図１は光受信器の断面図、図２は斜視図である。図２においては、見やすくするため、封止剤の描画を省略した。図３は本発明に係わる光導波路基板を定義するために図１の一部を示す模式図である。

図１および図２に示すように、本実施形態の光受信器は、光導波路１２が形成された光導波路基板１０と、光導波路基板１０上に光導波路１２を斜めに横切って形成された溝（スリット）１３と、溝１３に挿入されてかつ光導波路１２中を導波する光を反射するフィルタ１４と、光導波路基板１０上に搭載されてフィルタ１４で反射された光をさらに反射する傾斜付き反射面１６を有する台座１５と、台座１５上にオーバハング（張り出し、または突き出し）状に搭載されて上記反射面１６で反射された光を受光する受光素子１７と、フィルタ１４の反射光を受光素子１７まで導く封止剤１８とを有する。

光導波路基板１０は、図３に示すように、基板１１と基板１１上に形成された光導波路１２とを有し、光導波路１２はコア１２−１と上部クラッド１２−２と下部クラッド１２−３とを有する。

上記の封止剤１８は光導波路の上部クラッド１２−２の屈折率に近い屈折率を有し、フィルタ１４の反射光の光路の内で少なくとも光導波路基板１０の上面（即ち、上部クラッド１２−２の上面）と反射面１６間を覆って充填される。この事例では、封止剤１８は受光素子１７とフィルタ１４の全体も覆っている。ここで、光導波路基板１０の鉛直方向に対するフィルタ１４の傾斜角をαとし、光導波路基板１０の界面（水平方向）に対する台座１５の反射面１６の傾斜角をβとする。

光導波路のコア１２−１中を図２の左から右方向に進行する光の一部あるいは全部は、フィルタ１４によって反射され、さらにその反射光は光導波路の上部クラッド１２−２を通って封止剤１８に入射し、さらに台座１５の反射面１６で反射されてから受光素子１７の受光面２１に入射される。受光面２１に入射した光は受光素子１７で電気信号に変換され、金属膜２２を通じてその電気信号は外部観測装置（図示しない）に出力される。

次に、本実施形態の光受信器の各部品の材質および光受信器の作製方法の具体例について説明する。

光導波路基板１０の原材料はシリコン（Ｓｉ）であり、その表層にシリカガラスを主成分とする石英系光導波路１２を火炎直接堆積法、およびドライエッチング法によって作製した（図３参照）。この作製方法は一般的な技術なので、その詳細説明は省略する。この光導波路１２のクラッド１２−２，１２−３の屈折率は約１．５、コア／クラッド間の比屈折率差は０．５％で、下部クラッド１２−３、導波路コア１２−１、上部クラッド１２−２の厚みはそれぞれ２０μｍ、７μｍ、２０μｍである。光導波路基板１０の全体の厚みは約１０００μｍである。

この光導波路基板１０の上部に、光導波路１２を斜め垂直方向に横切って溝１３を作製した。すなわち、溝１３の作製装置としてダイシングソーを用い、そのダイヤモンドの刃を光導波路基板１０の鉛直方向から一定の角度αだけ傾斜させて光導波路基板１０の上部を切削し、溝１３を形成した。溝１３の深さは光導波路基板１０の上面から約２００μｍで、溝幅は約３０μｍである。

本実施形態では、溝１３の傾きαとフィルタ１４の傾きは共に１０度とした。溝１３の作製後、フィルタ１４を溝１３内に挿入する。フィルタ１４はポリイミドを主成分とする多層膜フィルタであり、光導波路１２を伝搬してきた入射光の一部はフィルタ１４により光導波路上面方向に反射し、残りが透過する。フィルタ１４の反射率は約１０％のものを用いた。

台座１５は光導波路基板１０（詳しくは、光導波路１２の上部クラッド１２−２）の熱膨張率に近い材質を採用し、ここでは５００μｍ厚の石英ガラスを用いた。台座１５には鋭角部の角度がβである傾斜面を設け、その傾斜面の表面に金を蒸着して反射面１６を作製した。台座１５を、その鋭角部を下向きにして光導波路基板１０上に搭載した。ここで、台座１５の上面には、電極用の金属膜２２が予め蒸着されているものとする。

受光素子１７は、１．３μｍおよび１．５μｍの波長帯で良好な感度を有するフォトダイオードを用い、その材質はインジウムリンを主成分とする。受光素子１７は、台座１５の上部にオーバハング状に搭載される。受光素子１７の表面の電極(図示しない)は、ハンダや金ワイヤを介して台座１５上の金属膜２２と接続し、この金属膜２２を通じて受光素子１７で得られた検出信号を外部観測装置（図示しない）に出力する。

封止剤１８は、上記波長帯（１．３μｍおよび１．５μｍ）で高透過率を示し、かつその屈折率が光導波路１２の上部クラッド１２−２の屈折率に近いものを選択した。ここでは、封止剤１８として、熱硬化型のシリコーン（silicone:珪素合成樹脂の一種）を使用した。光導波路基板１０の上面での屈折率を抑えるため、封止剤１７は、光がフィルタ１４で反射した後の光路（図１、図２の波線部分）のうち、少なくとも光導波路基板１０と反射面１６間に充填する。この事例では受光素子１７の全体と台座１５の一部も含むように封止剤１８を充填した。

次に、光導波路１２を進行する光が受光素子１７に入力されるまでの動作を説明する。

光導波路１２のコア１２−１中を図１の左から右方向に進行する光の一部あるいは全部は、フィルタ１２によって反射し、光導波路基板１０の界面から封止剤１８へと透過し、台座１５上に設けられた反射面１６で全反射した後、受光素子１７に入射する。

ここで、フィルタ１４の角度αと台座の反射面１６の角度βの関係について図４を用いて説明する。図４では、分かり易くするため、図１における上部クラッド１２−２（光導波路基板表面に相当）、光導波路コア１２−１、フィルタ１４、反射面１６、および受光素子上の受光面２１のみを模式的に記載している。図４において、ｎ_１は光導波路の上部クラッド１２−２の屈折率、ｎ_２は光導波路基板上部の封止剤１８の屈折率であり、他に角度としてθ_１，θ_２、γが示されている。γは受光面２１への光の入射角である。ここで、以下の関係が導かれる。
θ_１＝９０−２α（度）（式６）

γ＝１８０−２β−θ_２（度）（式８）
ここで、本実施形態では、一例として、受光面２１へ光が垂直入射し（γ＝０）、光導波路の上部クラッド１２−２と封止剤１８の屈折率が等しい（ｎ_１＝ｎ_２）条件とした。そのため、αとβの関係は、α−β＝−４５（度）となる。例えば、αが１０度とするとβは５５度となる。

このような構成とすれば、光導波路基板１０の表面部（光導波路の上部クラッド１２−２）と光導波路基板上方の封止剤１８との界面において、屈折率差が無いため、反射率の偏波依存性が無く、光のＰＤＬ（偏波依存性損失）を回避することが可能となる。また、溝１３の傾きαは１０度程度の浅い角度で良いため、精度良く溝加工が可能であり、フィルタ１４面でのＰＤＬ発生も回避できる。

また、台座１５は反射面１６の位置を精度良く決定できるばかりでなく、受光素子１７の搭載位置を決定し、台座１５を介して受光素子１７を堅固に固定することが可能となる。さらに、台座１５は、その上部に設けられた金属膜２２により外部に信号を出力可能な配線板として機能することが可能となり、さらに台座１５の材質がガラスでできているため、受光素子１７の漏洩電流に影響を与えないほど、光導波路基板１０と受光素子１７間の絶縁を高くすることが可能となる。

また、封止剤１８は、光導波路基板１０と封止剤１８の界面での反射を抑圧するばかりでなく、光導波路基板上部を出射した光のスポットサイズが拡大するのを抑圧することが可能となり、さらには光導波路基板１０、台座１５、受光素子１７などの部品を強固にかつ、一括して固定することが可能となる。加えて、封止剤１８によって受光素子１７を覆うことにより、受光素子１７の信頼性を確保することが可能となる。

また、光導波路１２（１２−１，１２−２，１２−３）の材質として硬度の高いシリカガラスを用いたことにより、台座１５との接着、封止剤１８の充填によって生じた応力によっても、光導波路基板１０の特性、特に光導波路１２の特性は安定を保持することが可能となる。さらに、光導波路１２のシリカガラスは屈折率が約１．５であるので、封止剤１８として通常使用されるエポキシ（epoxy）やシリコーン等の樹脂と屈折率整合を取りやすい。

（第１の実施形態の変形例）
上述した第１の実施形態では、溝１３の作製方法はダイシングソーによって行ったが、本発明はこれに限定されず、例えば気体レーザーを斜め方向から照射することによっても溝１３の作製は可能である。また、溝１３の傾きαは約３０度未満に設定することが標準的であるが、フィルタ１４面でのＰＤＬ発生など、多少の特性劣化を許容すれば、溝１３の傾きαは４５度未満の値に設定することも可能である。

また、第１の実施形態では、フィルタ１４の透過率は約１０％としたが、フィルタ１４として透過率０％〜１００％の全ての種類のフィルタを選択することが可能である。また、フィルタ１４の材質はポリイミドに限らず、例えば金属膜を用いて光を全反射させても良い。

また、台座１５の材質はガラスに限らず、プラスチックや金属なども選択可能である。特に、台座１５が金属であれば、別途金属蒸着して反射面１６を設けるという工程を無くすことが可能である。また、台座１５に金属蒸着して反射面１６を作る際、光導波路基板上面の電極（図示しない）を同時に一括して作製すると、工程を簡略化できる。

また、第１の実施形態では、封止剤１８の屈折率は光導波路の上部クラッド１２−２の屈折率と同一の値としたが、厳密に全く同一の値とすることはほとんど実現不可能なので、実際は近似な値がとられる。その場合、上述の式２と式５を利用して、なるべく透過率が高く、かつなるべくＰＤＬを小さくするような材質を選ぶことにより、本受信器の封止剤１８として適用できる。

また、第１の実施形態では、光導波路１２としてグラスシリカの光導波路を用いたが、封止剤１８との屈折率整合を取りやすい、ポリマー（高分子化合物）を主成分とする光導波路を用いても、本発明の及ぼす効果を概ね発揮することができる。

また、本実施形態では、光導波路基板１０として図３に示すような構造のものを想定したが、これに限定されず、例えばシリコン基板の上部にエッチング等で形成した比較的浅い溝内にシングルモードファイバのような光導波路を固定した構造の光導波路基板にも、同様に適用可能である。

（第２の実施形態）
本発明の第２の実施形態における光受信器の構成を図５に示す。この光受信器は、光導波路基板１０、光導波路１２、溝１３、フィルタ１４、台座５５、反射面５６、および受光素子１７で構成される。光導波路基板１０、光導波路１２、溝１３、およびフィルタ１４の構成は、第１の実施形態とほぼ同様である。上述した本発明の第１の実施形態と異なるところは、台座５５の設置位置および封止剤の有無についてである。

すなわち、本実施形態における台座５５は、光導波路の上部クラッド１２−２の屈折率に近い屈折率の透明な材料を用い、その反射面５６の鋭角部を上向きにして、光導波路基板１０上の溝１３およびフィルタ１４を覆う位置に、搭載される。受光素子１７は、フィルタ１４で反射されて、台座５５の内部を透過し、反射面５６の内面側で曲げられた光（破線で示す）を受光可能な台座５５上の位置に搭載される。

本実施形態では、このようにフィルタ１４からの反射光が受光素子１７に到達するまで台座５５の内部を透過するので、第１の実施形態で用いたような封止剤は必要としない。

次に、本実施形態の光受信器の各部品の材質および光受信器の作製方法についての具体例を説明する。

第１の実施形態と同様に、本実施形態の光導波路基板１０の原材料もシリコンであり、その表層にシリカガラスを主成分とする石英系光導波路１２を作製した。この光導波路基板１０上に、光導波路１２を斜め垂直方向に横切って溝１３を作製した。溝１２の作製後、フィルタ１４を溝１３内に挿入した。

台座５５は第１の実施形態と同様、５００μｍ厚の石英ガラスを用いたが、その屈折率は光導波路１２の上部クラッド１２−２の屈折率と同一または極めて近い値とした。台座５５には鋭角部の角度がβである傾斜面を設け、その傾斜面の表面に金を蒸着して反射面５６に作製した。台座５５は、第１の実施形態と異なり、その鋭角部を上向きにして光導波路基板１０上に搭載した。その際、反射面５６の位置をフィルタ１４の反射方向に一致させた。なお、台座５５の上面に、電極用の金属膜（図１の２２参照）が予め蒸着されているものを用いた。

受光素子１７はフォトダイオードであり、台座５５の上部に搭載した。受光素子１７の表面の電極（図示しない）は、ハンダや金ワイヤを介して台座５５上の金属膜と接続し、検出信号を外部観測装置（図示しない）に出力する。

次に、光導波路のコア１２−１を進行する光が受光素子１７に入力されるまでの動作を説明する。

光導波路のコア１２−１中を図５の左から右方向に進行する光の一部あるいは全部は、フィルタ１４によって反射し、光導波路基板界面（即ち、上部クラッド１２−２の界面）から台座５５へと透過し、台座５５上に設けられた反射面５６で全反射した後、受光素子１７に入射する。

ここで、角度αとβの関係についても、図４で説明した第１の実施形態と同様の関係である。本実施形態では、受光面２１（図４参照）へ光が垂直入射し（γ＝０）、光導波路の上部クラッド１２−２と台座５５の屈折率が等しい（ｎ_１＝ｎ_２）条件とした。この場合、αとβの関係は、α−β＝−４５となる。例えばαが１０度とするとβは５５度となる。

このような構成とすれば、光導波路基板表層部の上部クラッド１２−２と光導波路基板上方の台座５５との界面において屈折率差が無いため、反射率の偏波依存性が無く、光のＰＤＬを回避することが可能となる。また、溝の傾きαは１０度程度の浅い角度で良いため、精度良く溝加工が可能であり、フィルタ１４面でのＰＤＬ発生も回避できる。また、台座５５は、反射面５６の位置を精度良く決定できるばかりでなく、受光素子１７の搭載位置を決定し、受光素子１７を堅固に固定することが可能となる。さらに、台座５５は、上部に設けられた金属膜（図２の２２を参照）により外部に信号を出力可能な配線板として機能することが可能となり、さらに台座５５の材質がガラスでできているため、受光素子１７の漏洩電流に影響を与えないほど、光導波路基板１０と受光素子１７間の絶縁を高くすることが可能となる。また、台座５５は光導波路基板１０と台座５５の界面での反射を抑圧するばかりでなく、光導波路基板上部を出力した光のスポットサイズが拡大するのを抑圧することが可能となる。また、光導波路１２の材質として硬度の高いシリカガラスを用いたことにより、台座５５の接着によって生じた応力によっても光導波路基板１０の特性、特に光導波路１２の特性は安定を保持することが可能となる。また、第１の実施形態と比して、封止剤を使用しないため、プロセスを簡略化することが可能となる。

（第２の実施形態の変形例）
本実施形態によれば、溝１３の作製方法はダイシングソーによって行ったが、気体レーザーを斜め方向から照射することによっても作製は可能である。また、溝１３の傾きαは約３０度未満に設定することが標準的であるが、フィルタ１４面でのＰＤＬ発生など、多少の特性劣化を許容すれば、４５度未満の値に設定することも可能である。また、フィルタ１４の透過率は約１０％としたが、０％〜１００％の全ての種類のフィルタを選択することが可能である。また、フィルタ１４の材質はポリイミドに限らず、例えば金属膜を用い、光を全反射させても良い。また、台座５５の材質はガラスに限らず、プラスチックなども選択可能である。また、金属蒸着して反射面５６を作る際、光導波路基板上面の電極を同時に一括して作製すると、工程を簡略化できる。また、台座５５の屈折率は光導波路の上部クラッド１２−２のそれと同一の値でなくとも、前述の式２と式５を利用して、なるべく透過率が高く、かつなるべくＰＤＬを小さくするような材質を選ぶことにより、本受信器の台座５５の材質として適用可能である。また、本実施形態ではグラスシリカの導波路１２を用いたが、高分子を主成分とする光導波路を用いることによっても、本発明の及ぼす効果を概ね発揮することができる。

また、本実施形態では、台座５５および受光素子１７および光導波路基板１０の上面の一部を覆う封止剤を使用することも可能である。それにより、光導波路基板１０、台座５５、受光素１７子などの部品を強固にかつ一括して固定することが可能となり、加えて封止剤によって受光素１７子を覆うことにより、受光素子１７の信頼性を確保することが可能となる。また、本実施形態では、光導波路基板１０として図３に示すような構造のものを想定したが、これに限定されず、例えばシリコン基板の上部にエッチング等で形成した比較的浅い溝内にシングルモードファイバのような光導波路を固定した構造の光導波路基板にも、同様に適用可能である。

（第３の実施形態）
本発明の第３の実施形態における光受信器の構成を図６に示す。この光受信器は、光導波路基板１０、光導波路１２、溝１３、フィルタ１４、台座１５、反射面１６、および受光素子アレイ６７で構成される。光導波路１２は光導波路基板１０に含まれ、図３に示す第１の実施形態と同様に、シリコン基板１１上に形成された下部クラッド１２−３、コア１２−１、上部クラッド１２−２とから構成されている。図６においては、見やすくするため、封止剤および金属膜の描画を省略した。

本第３の実施形態の光受信器において、第１および第２の実施形態と異なるところは、受光素子を複数の受光部２１を持つアレイ（受光素子アレイ）６７としたことである。図６は第１の実施形態（図１、図２）の構成を改良したものであるが、台座１５の姿勢と位置を変更して封止剤の樹脂を省略することにより、第２の実施形態（図５）にも全く同様に、第２の実施形態の構成の改良として説明することが可能である。

各部品の材質および光受信器の作製方法、動作原理は第１の実施形態、第２の実施形態とほぼ同様である。図６において、複数作製された光導波路１２を導波する光は、フィルタ１４によってそれぞれ反射し、光導波路基板界面を通過して台座１５の反射面１６で全反射した後、受光素子アレイ６７の表面の各受光面２１に入射する。

このような構成とすれば、第１の実施形態および第２の実施形態に記述された効果を得ることに加え、複数の光導波路１２を唯一のフィルタ１４によって反射することができ、部品点数が削減できる。また、複数の受光面２１を持つ受光素子アレイ６７を単一の台座１５によって固定することができるため、部品点数が削減できるとともに、位置合わせの工程を全ての受光面２１に対して行う必要は無いため、作製が簡略化できる。さらに、台座１５は、上部に設けられた金属膜（図示しない）により受光素子アレイ６７の複数の電極（図示しない）から外部に一括して信号を出力可能な配線板として機能することが可能となる。

（第３の実施形態の変形例）
なお、本実施形態では同一チップ上に複数の受光面を持つ受光素子アレイ６７を用いたが、単一チップを複数用いても良い。その場合、位置合わせ作業が本実施形態より多くなるものの、フィルタや台座の部品点数は削減できる効果は得られ、加えて、別のチップを用いたことにより、同一チップの受光素子アレイを使用することに比して、チップ内での光・電機漏洩を抑圧することができる。

（第４の実施形態）
本発明の第４の実施形態における光受信器の構成を図７に示す。この光受信器は、光導波路基板１０、光導波路１２、溝１３、フィルタ１４、台座１５、反射面１６、受光素子アレイ６７で構成される。光導波路１２は光導波路基板１０に含まれ、図３に示す第１の実施形態と同様に、シリコン基板１１上に形成された下部クラッド１２−３、コア１２−１、上部クラッド１２−２とから構成されている。図７は上面図であり、見やすくするため、封止剤および金属膜の描画を省略した。上記の第３の実施形態と異なるところは、溝１３、フィルタ１４、台座１５および受光素子アレイ６７（もしくは複数の受光素子１７）が、光導波路基板１０上の導波路１２に対して垂直にならず、それぞれ同一の角δだけ傾けて配置されていることである。

図７は第１の実施形態（図１、図２）の構成を改良したものであるが、台座１５の姿勢と位置を変更して封止剤の樹脂を省略することにより、第２の実施形態（図５）にも全く同様に、第２の実施形態の構成の改良として説明することが可能である。

図７において、溝１３、フィルタ１４、台座１５、および受光素子アレイ６７は光導波路方向に対する垂直方向からそれぞれ同一の角δだけ傾いている。複数作製された光導波路１２を導波する光は、フィルタ１４によってそれぞれ反射し、光導波路基板界面を通過して反射面１６で全反射した後、受光素子アレイ６７の表面の受光面２１に入射する。その他、各部品の材質および光受信器の作製方法、動作原理は上記第１〜第３の実施形態とほぼ同様であるため省略する。

このような構成とすれば、上記第１〜第３の実施形態に記述された効果を得ることに加え、フィルタ１４で反射した光の光軸が光導波路方向に対して平行でないため、光導波路基板１０と光導波路基板上部界面での反射光や、受光素子アレイ６７の表面での反射光が再び光導波路１２に入射することを回避できる。すなわち、光導波路１２と光導波路上部は、その屈折率が同一であれば原理的には反射を生じないが、厳密に全く同一にすることはほとんど実現不可能であり、また光導波路基板１０の汚れ、密着性、平坦度によっても、その界面で多少の反射が生じることは免れず、このため、反射光の方向を光導波路方向に対して傾ける本実施形態の構成は極めて大きな効果を与える。また、本実施形態の別の効果として、上記第１〜第３の実施形態では、複数の受光面２１の間隔は複数の光導波路１２の間隔と等しかったが、反射光の方向を光導波路方向に対して傾ける本実施形態の構成により、受光面２１の間隔を光導波路１２の間隔よりさらに拡大することが可能となり、隣接する光導波路１２からの反射光の漏洩を抑圧することが可能となる。

なお、本実施形態においては、溝１３、フィルタ１４、台座１５、受光素子アレイ６７の傾斜角は全て等しいδとして記述したが、それぞれ異なる角度に設定しても良い。

（第５の実施形態）
本発明の第５の実施形態における光受信器の構成を図４に示す。図４は本実施形態における光受信器の構成要素のうち、光導波路の上部クラッド１２−２、光導波路のコア１２−１、フィルタ１４、反射面１６、および、受光素子上あるいは受光素子アレイ上の受光面２１のみを概念的に記載したものである。

第１の実施形態においても説明したように、図４において、ｎ_１は光導波路の上部クラッド１２−２の屈折率、ｎ_２は光導波路基板上部の封止剤（図１の符号１８参照）もしくは台座（図５の符号５５参照）の屈折率であり、他にθ_１，θ_２，γが示される。γは受光面２１への光の入射角である。

ここで、本実施形態が、本発明の上記第１〜第４の実施形態と異なるところは、受光素子アレイあるいは受光素子は、入射光の光軸とその受光面２１が垂直にならないように設置されることである。すなわち図４において、
γ≠０（度）（式９）
と設定することである。ただし受光面２１で生じるＰＤＬを小さくするために、前述の式５において、ＰＤＬが０．１ｄＢ以下に抑えられる角度に上記γを設定する。

ここでは光導波路の上部クラッド１２−２の屈折率ｎ_１および光導波路基板上部の封止剤（図１の符号１８参照）もしくは台座（図５の符号５５参照）の屈折率ｎ_２をそれぞれ１．５、受光素子（図１の符号１７参照）あるいは受光素子アレイ（図６の符号６７参照）の屈折率を３．５とした。その場合の透過率およびＰＤＬは図１３に示す特性図と同じ結果となる。この時、ＰＤＬを０．１ｄＢに抑えるためのγの条件は、
γ＜｜２０｜（度）（式１０）
である。

このような構成とすれば、上記第１〜第４の実施形態に記述された効果を得ることに加え、受光面２１で反射した光が入射時と同じ経路を辿らないため、受光素子表面あるいは受光素子アレイ表面での反射光が再び光導波路１２に入射することを回避できる。

（第６の実施形態）
本発明の第６の実施形態における光受信器の構成を図８に示す。この光受信器は、光導波路基板１０、複数の光導波路１２、溝１３、フィルタ１４、台座１５、複数の反射面１６、複数の非反射面８６、受光素子アレイ（図示しない、図６の符号６７と同様）、および封止剤（図示しない、図１の符号１８と同様）で構成される。図８において、見やすくするため、受光素子アレイ、受光面２１の一部、封止剤および金属膜（図２の符号２２と同様）の描画を省略した。

本実施形態が上記の第１〜第５の実施形態と異なるところは、上記の台座１５に、対応する各光導波路１２の位置に合わせて所定の間隙を空けて複数の反射面１６が配置され、各反射面１６に隣接してその間隙を埋める位置に、それぞれ非反射面８６が配置されていることである。

図８は第１の実施形態（図１、図２）の構成を改良したものを示しているが、台座の姿勢と位置を変更して封止剤の樹脂を省略することにより、第２の実施形態（図５）にも全く同様に適用することが可能である。同様に、本実施形態を第３〜第５の実施形態と組み合わせることができる。

台座１６の傾斜面には、その表面に金を蒸着して反射面１６を作製すると共に、その際にマスクをして金を蒸着しない非反射面８６を反射面に隣接して作製した。反射面１６の面積は、フィルタ１４で反射した光の大部分を全反射することが可能な大きさとした。これにより、反射面１６と非反射面８６とが交互に配列される。光導波路基板１０上には光導波路１２が複数設けられ、各光導波路１２の位置に合わせてそれぞれ配列された各反射面１６と各受光面２１が１対１で対応する。

各光導波路のコア１２−１中の光はフィルタ１４において反射した後、その光の大半が反射面１６で再び反射されて受光面２１に入射する。また広がり角の大きい一部の光は、非反射面８６に到達し、反射しないか、もしくは吸収される。同様に、光導波路１２間をクラッドモードとして進行してフィルタ１４で反射した光も非反射面８６に到達し、反射しないか、もしくは吸収される。その他、各部品の材質および光受信器の作製方法、動作原理は上記第１〜第５の実施形態とほぼ同様であるので、その説明は省略する。

このような構成とすれば、上記第１〜第５の実施形態に記述された効果を得ることに加え、所望の光導波路１２の光を確実に受光面２１に導く一方で、隣接する光導波路１２からの反射光およびクラッドモードからの反射光が受光されるのを非反射面８６により抑圧することが可能となる。そのため、受光素子における漏洩電流を減少することが可能となる。

なお、本実施形態では、説明の便宜上、同一チップ上に複数の受光面を持つ受光素子アレイを想定して説明したが、単一チップの受光素子を複数用いても良い。

（第７の実施形態）
本発明の第７の実施形態における光受信器の構成を図９に示す。この光受信器は、光導波路基板１０、複数の光導波路１２、溝１３、フィルタ（図示しない、図１の符号１４と同様）、台座９１、貫通孔９２、反射面９３、受光素子アレイ（図示しない、図６の符号６７と同様）、および封止剤（図示しない、図１の符号１８と同様）で構成される。図９においては、見やすくするため、受光素子アレイ、受光面２１の一部、フィルタ、封止剤および金属膜（図２の符号２２と同様）の描画を省略した。

本実施形態が上記の上記第１〜第６の実施形態と異なるところは、上記の台座９１に、各光導波路１２の位置に合わせて複数の貫通孔９２が形成され、その各貫通孔９２の斜面にそれぞれ反射面９３が設置されていることである。

溝、フィルタ、反射面、受光面の位置関係および光路は図１、図４で説明したと同様である。

一例として、台座９１の材質をシリコンとし、４方に傾斜面を有する貫通孔９２をウェットエッチング（異法性エッチング）により作製した。貫通孔９２の鋭角部の角度は精度良く作製され、５４．７度であった。貫通孔９２を作製後、その貫通孔９２の傾斜面に金を蒸着して反射面９３を作製した。台座９３は、その貫通孔９２の開口面積の狭い側を下向きにして光導波路基板１０上に搭載した。

光導波路基板１０上には光導波路１２が複数設けられており、各反射面９３と各受光面２１とが１対１対応する。各光導波路１２のコア（１２−１）中の光はフィルタ（１４）において反射した後、その光の大半が反射面９３で再び反射されて受光面２１に入射する。また、広がり角の大きい一部の光は、台座９１の非反射面（即ち、反射面９３と貫通孔９２に隣接する台座９１の下面；但し図示されてない）に到達し、反射しないか、もしくは吸収される。同様に、光導波路１２間をクラッドモードとして進行し、フィルタ（１４）で反射した光も台座９１の上記非反射面に到達し、反射しないか、もしくは吸収される。その他、各部品の材質および光受信器の作製方法、動作原理は上記第１〜第６の実施形態とほぼ同様であるので、その説明は省略する。

図９は第１の実施形態（図１、図２）の構成を改良したものを示しているが、台座９１を、その貫通孔９２の開口面積の狭い側を上向きにして光導波路基板１０上に搭載することにより、第２の実施形態（図５）にも全く同様に適用することが可能である。

このような構成とすれば、上記第１〜第５の実施形態に記述された効果を得ることに加え、複数の貫通孔９２を設けることにより、所望の光導波路１２の光を反射面９３により受光面２１に確実に導く一方で、隣接する光導波路１２からの反射光およびクラッドモードからの反射光が受光されるのを台座９１の非反射面で抑圧することが可能となる。そのため、受光素子における漏洩電流を減少することが可能となる。また、貫通孔９２の四方の反射面９３により集光性が向上する。

また、別の効果として、貫通孔９２をウェットエッチングで作製することより、非常に精度よく傾斜角が作製できるため、光受信器の歩留まりを向上することが可能となる。

なお、本実施形態においては、台座９３はシリコンで作製したが、ガラスやプラスチック、金属なども選択可能である。特に、金属であれば、別途金属蒸着して反射面９３を設けるという工程を無くすことが可能である。また、本実施形態では、説明の便宜上、同一チップ上に複数の受光面を持つ受光素子アレイを想定して説明したが、単一チップの受光素子を複数用いても良い。

（第８の実施形態）
本発明の第８の実施形態における光受信器の構成を図１０に示す。この光受信器は、光導波路基板１０、光導波路１２、溝１３、フィルタ１４、第２の溝１０３、台座（図示しない、図６の符号１５と同様）、反射面（図示しない、図６の符号１６と同様）、受光素子アレイ（図示しない、図６の符号６７と同様）、および封止剤（図示しない、図１の符号１８と同様）で構成される。図１０においては、見やすくするため、受光素子アレイ、台座、封止剤および金属膜（図２の符号２２と同様）の描画を省略した。

図１０は第１の実施形態（図１、図２）の構成を改良したものを示しているが、台座の姿勢と位置を変更して封止剤の樹脂を省略することにより、第２の実施形態（図５）にも全く同様に適用することが可能である。同様に、本実施形態を第３〜第７の実施形態と組み合わせることができる。

本実施形態が、上記第１〜第７の実施形態と異なるところは、上記の光導波路基板１０上に、各光導波路１２間にそれら光導波路と並行して同一方向に、第２の溝１０３が形成されていることである。従って、第２の溝１０３はフィルタ１４が挿入される第１の溝１３と交差している。

第２の溝１０３はドライエッチングで作製した。更に、第２の溝１０３には不透明な樹脂を充填した。光導波路基板１０上には光導波路１２が複数設けられ、各光導波路１２に対応する各反射面（１６）と各受光面（２１）が１対１で対応する。

各光導波路１２のコア（１２−１）中の光はフィルタ１４において反射した後、その光の大半が反射面（１６）で再び反射されて受光面（２１）に入射する。また、広がり角の大きい一部の光は、第２の溝１０３に到達し、第２の溝１０３に充填された不透明な樹脂により反射しないか、もしくは吸収される。同様に、各光導波路１２間をクラッドモードとして進行してフィルタ１４で反射した光も第２の溝１０３に到達し、第２の溝１０３に充填された不透明な樹脂により反射しないか、もしくは吸収される。その他、各部品の材質および光受信器の作製方法、動作原理は上記第１〜第７の実施形態とほぼ同様であるので、その説明は省略する。

このような構成とすれば、上記第１〜第７の実施形態に記述された効果を得ることに加え、第２の溝１０３を設けることにより、所望の光導波路１２の光を受光面（２１）に確実に導く一方で、隣接する光導波路１２からの反射光およびクラッドモードからの反射光が受光面（２１）に受光されるのを、第２の溝１０３に充填された不透明な樹脂により抑圧することが可能となる。そのため、受光素子における漏洩電流を減少することが可能となる。また別の効果として、第２の溝１０３に不透明な樹脂を充填したため、単に第２の溝１０３を設けるよりも大幅に漏洩光を抑圧することが可能となる。

なお、本実施形態においては、第２の溝１０３はドライエッチングで作製したが、ダイシングソーによる切削やレーザー照射を行って作製して同様の効果が得られる。

（他の実施形態）
上記では、本発明の好適な実施形態を例示して説明したが、本発明の実施形態は上記例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載の範囲内であれば、その構成部材等の置換、変更、追加、個数の増減、形状の設計変更等の各種変形は、全て本発明の実施形態に含まれる。

本発明の第１の実施形態における光受信器の構成を示す断面図である。本発明の第１の実施形態における光受信器の構成を示す斜視図である。本発明に係わる光導波路基板を定義するために図１の一部を示す模式図である。本発明の第１、第５の実施形態における光受信器の各部品の配列構成と光路の関係を示す概念図である。本発明の第２の実施形態における光受信器の構成を示す断面図である。本発明の第３の実施形態における光受信器の構成を示す斜視図である。本発明の第４の実施形態における光受信器の構成図を示す上面図である。本発明の第６の実施形態における光受信器の構成を示す斜視図である。本発明の第７の実施形態における光受信器の構成を示す斜視図である。本発明の第８の実施形態における光受信器の構成を示す斜視図である。従来の光受信器(非特許文献１)における構成を示す断面図である。従来の光受信器（非特許文献２）における構成を示す断面図である。従来の光受信器における、受光素子への入射角θ_０に対する透過率、並びにＰＤＬの関係を示す特性図である。

符号の説明

１０光導波路基板
１１基板（シリコン基板）
１２光導波路
１２−１光導波路のコア
１２−２光導波路の上部クラッド
１２−３光導波路の下部クラッド
１３溝
１４フィルタ
１５台座
１６反射面
１７受光素子
１８封止剤
２１受光面
５５台座
５６反射面
６７受光素子アレイ
８６非反射面
９１台座
９２貫通孔
９３反射面
１０３第２の溝
１１０光導波路基板
１１１基板（シリコン基板）
１１２光導波路
１１２−１光導波路のコア
１１２−２光導波路の上部クラッド
１１２−３光導波路の下部クラッド
１１３溝
１１４フィルタ
１１５受光素子
１１６台座

Claims

光導波路が形成された光導波路基板と、
前記光導波路基板上に前記光導波路を横切って形成された溝と、
前記溝に挿入され前記光導波路中を導波する光を反射するフィルタと、
前記光導波路基板上に搭載され前記フィルタで反射された光の方向を変えるための傾斜付き反射面を有する台座と、
前記台座上に張り出し状に固定され前記反射面で反射された光を受光する受光素子と、
前記フィルタで反射後の光路における少なくとも前記光導波路基板上と前記反射面と前記受光素子の受光面間に充填される封止剤とを具備し、かつ
前記封止剤が前記光導波路のクラッドの屈折率に実質的に同一または極近似の屈折率を有することを特徴とする光受信器。
光導波路が形成された光導波路基板と、
前記光導波路基板上に前記光導波路を横切って形成された溝と、
前記溝に挿入され前記光導波路中を導波する光を反射するフィルタと、
前記光導波路基板上に搭載されて前記フィルタで反射された光を透過しかつ該透過光の方向を変えるための傾斜付き反射面を有する台座と、
前記台座上に固定されて前記反射面で反射され前記台座を透過した光を受光する受光素子とを具備し、かつ
前記台座が前記光導波路のクラッドの屈折率に実質的に同一または極近似の屈折率を有し、前記フィルタによって反射された光が前記台座を透過して前記受光素子に入射するように前記台座が配置されていることを特徴とする光受信器。
前記光導波路は、シリカガラスまたはポリマーで形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の光受信器。
前記受光素子は、複数の受光面が設けられた受光素子アレイであることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の光受信器。
前記溝、前記フィルタ、前記台座、および前記受光素子もしくは前記受光素子アレイはそれぞれ、前記光導波路基板上の前記光導波路に対して傾けて配置されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の光受信器。
前記受光素子もしくは前記受光素子アレイは、入射光の光軸に対してその受光面を傾けて配置されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の光受信器。
前記光導波路は前記光導波路基板上に複数形成され、前記台座の前記反射面は、該複数の光導波路の位置に対応して所定の間隙を空けて複数形成され、各該反射面に隣接して該間隙を埋める位置に非反射面が形成されていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の光受信器。
前記光導波路は前記光導波路基板上に複数形成され、前記台座は、該複数の光導波路の位置に対応して開口された複数の貫通孔を有し、該複数の貫通孔の斜面のそれぞれに前記反射面が形成されていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の光受信器。
前記台座はシリコンで形成され、前記貫通孔は異方性エッチングにより作製されたことを特徴とする請求項８に記載の光受信器。
前記光導波路基板上には、前記光導波路を挟んで、または複数の前記光導波路間に、該光導波路と同一方向に伸びる第２の溝が形成されていることを特徴とする請求項１ないし９のいずれかに記載の光受信器。
前記第２の溝内に不透明な樹脂が充填されていることを特徴とする請求項１０に記載の光受信器。
前記封止剤として少なくとも所定の波長帯で高透過率を示す熱硬化型のシリコーンが用いられ、該封止剤が前記受光素子のほぼ全体および前記導波路基板の上面の少なくとも一部を覆っていることを特徴とする請求項１に記載の光受信器。
前記台座は金属であることを特徴とする請求項１または１２に記載の光受信器。
前記台座は少なくとも所定の波長帯で高透過率を示すシリカガラスまたはプラスチックであることを特徴とする請求項２に記載の光受信器。
前記受光素子、前記台座および前記導波路基板の上面を覆っている封止剤を更に有することを特徴とする請求項２または１４に記載の光受信器。