JP2005308918A - 光接続構造及びその製造方法並びに光デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 従来技術では、V溝と光導波路とを別々の基板に形成していたことにより、位置置合わせマークを使ってV溝基板に光導波路基板を接着固定する工程が必要であった。これに対して、本発明では、光導波路211〜215が形成されたPLC基板20にV溝231〜235も形成するので、製造工程が簡単になり位置精度も向上する。また、従来技術では、V溝に光ファイバを沿わせても光ファイバがV溝内で回動することにより、位置合わせ精度が低下することがあった。これに対して、本発明では、回動防止手段を設けたことにより、製造工程中におけるV溝231内での光ファイバ111の回動が抑えられるので、位置決め精度が向上する。
【選択図】 図1
Description
Waveguide Grating)、VOA(Variable Optical Attenuator)、光スプリッタ等のPLC(Planar Lightwave Circuit)技術を基盤とした多くの光部品が広く使われている。これらの光部品は光回路内部に干渉計や光分岐部を持ち、これらを組み合わせることで、光フィルタや光減衰器を実現し、光通信システムのキーデバイスとして使われている。
111〜115 光ファイバ
121〜125 光ファイバの斜め端面
13 多芯テープファイバ
14 接着剤
20 PLC基板
211〜215 光導波路
221〜225 光導波路の斜め端面
231〜235 V溝
24 光回路
25 シリコン基板
26 シリカガラス層
30 三芯テープファイバ
311,312 光ファイバ(回動防止手段)
322,323 V溝(回動防止手段)
41 蓋部材
421〜423 V溝
43 シリコン基板
44 接着剤
Claims (9)
- 斜め端面を有する光導波路と斜め端面を有する光ファイバとがそれぞれの前記斜め端面同士を合わせた状態で接続されてなる光接続構造において、
前記光導波路が形成された光導波路基板にV溝が形成され、
このV溝内に前記斜め端面同士を合わせた状態で前記光ファイバが固定され、
前記斜め端面同士を合わせる際における前記V溝内での前記光ファイバの回動を防止する回動防止手段が設けられた、
ことを特徴とする光接続構造。 - 前記回動防止手段は、光伝送に使用される少なくとも一本の前記光ファイバと光伝送に使用されない複数本の前記光ファイバとを有する多芯テープファイバと、前記複数本の光ファイバをそれぞれ固定する複数の前記V溝とからなる、
請求項1記載の光接続構造。 - 前記光導波路基板には斜めスリットが形成され、この斜めスリットの一部が前記光導波路の斜め端面となり、
前記複数のV溝は、前記光導波路基板の周端面に至る一端と前記斜めスリットに至る他端とを有し、かつ互いに平行に形成され、
前記複数のV溝のうち中央のV溝に位置する箇所にだけ前記光導波路が形成され、
前記複数本の光ファイバのうち光伝送に使用される前記光ファイバが前記中央のV溝に固定され、光伝送に使用されない残りの前記光ファイバが中央以外の前記V溝に固定された、
請求項2記載の光接続構造。 - 前記回動防止手段は、前記光ファイバが予め固定された蓋部材であって、前記V溝が形成されている前記光導波路基板上に載置されることにより、前記光ファイバを前記V溝内に挿入するものである、
請求項1記載の光接続構造。 - 前記蓋部材には、前記光ファイバを予め固定する別のV溝が形成された、
請求項4記載の光接続構造。
- 光導波路基板に形成された光回路と、この光回路の入力側の前記光導波路基板に接続された光ファイバと、この光回路の出力側の前記光導波路基板に接続された光ファイバとを備えた光デバイスにおいて、
前記光回路の入力側及び出力側の少なくとも一方に、請求項1乃至5のいずれかに記載の光接続構造が用いられた、
ことを特徴とする光デバイス。
- 請求項1乃至5のいずれかに記載の光接続構造を製造する方法であって、
前記光導波路基板に前記光導波路と前記V溝とを形成する工程と、
前記V溝内に前記光ファイバを載置する工程と、
前記V溝内の前記光ファイバと前記光導波路とを前記回動防止手段を用いつつ前記斜め端面同士を合わせた状態で接続する工程と、
を含む光接続構造の製造方法。 - 請求項3記載の光接続構造を製造する方法であって、
シリコン基板上に前記光導波路を含むシリカガラス層を形成して前記光導波路基板を得る工程と、
前記シリコン基板に異方性エッチングを施して前記V溝を形成する工程と、
前記光導波路基板を研削することによって前記斜めスリットを形成する工程と、
前記複数のV溝内に前記複数本の光ファイバをそれぞれ載置する工程と、
前記複数のV溝内に前記複数本の光ファイバをそれぞれ載置した状態を維持しつつ、前記V溝内の前記光ファイバと前記光導波路とを前記斜め端面同士を合わせた状態で接続する工程と、
を含む光接続構造の製造方法。 - 請求項5記載の光接続構造を製造する方法であって、
前記蓋部材に前記別のV溝を形成する工程と、
前記別のV溝内に前記光ファイバを固定する工程と、
前記光ファイバが固定された前記蓋部材を研磨することにより当該光ファイバに斜め端面を形成する工程と、
前記光導波路基板に前記光導波路と前記V溝とを形成する工程と、
前記光導波路基板上に前記蓋部材を載置することにより、前記光ファイバを前記V溝内に挿入する工程と、
前記V溝内に前記光ファイバを挿入した状態を維持しつつ、前記V溝内の前記光ファイバと前記光導波路とを前記斜め端面同士を合わせた状態で接続する工程と、
を含む光接続構造の製造方法。
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CN102565931A (zh) * | 2012-01-17 | 2012-07-11 | 上海圭光科技有限公司 | 一种新型v型槽基板 |
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