JP2005300681A - Toner for making wiring board and method for manufacturing wiring board using the same - Google Patents

Toner for making wiring board and method for manufacturing wiring board using the same Download PDF

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俊昭 山内
Koji Imamiya
弘二 今宮
Hiroshi Hashizume
弘 橋爪
Hideo Aoki
秀夫 青木
Naoko Yamaguchi
直子 山口
Tomoaki Takubo
知章 田窪
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To form accurate circuit patterns by easily and inexpensively performing production of wiring boards of many kinds in small quantities. <P>SOLUTION: A conductor underlayer is formed by an electrophotographic system using the toner containing a binder resin composed of an uncured thermosetting resin as a principal component, toner particles containing 15 to 70wt% conductive particles having an average grain size of ≤1 μm, external additives containing small grain size metal oxide particles having a BET surface area of ≥150 m<SP>2</SP>/g and undergoing a hydrophobing treatment and large grain size metal oxide particles having a BET surface area of ≤70 m<SP>2</SP>/g and a conductor layer is formed by performing printing thereon. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、電子写真方式を用いて配線基板を製造する技術に係り、特にこの製造技術に適したトナーに関する。   The present invention relates to a technique for manufacturing a wiring board using an electrophotographic method, and more particularly to a toner suitable for this manufacturing technique.

従来、配線基板や多層配線基板を構成する基板上に回路パターンを形成する方法として、スクリーン印刷方式が広く採用されていた。このスクリーン印刷方式では、銀、白金、銅、パラジウムなどの金属粉と、エチルセルロースなどのバインダーとを混合したものをテルピネオール、テトラリン、及びブチルカルビトールなどの溶媒で粘度を調整してペーストを作成し、このペーストを基板上に所定の回路パターンで塗布する。   Conventionally, a screen printing method has been widely adopted as a method of forming a circuit pattern on a substrate constituting a wiring substrate or a multilayer wiring substrate. In this screen printing method, a paste is prepared by adjusting the viscosity of a mixture of metal powders such as silver, platinum, copper, and palladium and a binder such as ethyl cellulose with a solvent such as terpineol, tetralin, and butyl carbitol. The paste is applied on the substrate with a predetermined circuit pattern.

しかし、このスクリーン印刷方式では、各回路パターンに対応した専用マスクを用意する必要があり、特に多品種小量生産になりがちな多層配線基板等を作成する場合、専用マスクの種類が多くなり、専用マスクを作製する時間が長くなるとともに、多層配線基板の製造コストが多大になるという問題があった。また、回路パターンの部分的な変更でも、専用マスクを再作成しなければならず、柔軟な対応が取れないという問題があった。   However, in this screen printing method, it is necessary to prepare a dedicated mask corresponding to each circuit pattern, especially when creating a multilayer wiring board and the like that tends to be produced in a variety of products and in small quantities, the types of dedicated masks increase. There is a problem that the time for producing the dedicated mask becomes longer and the manufacturing cost of the multilayer wiring board becomes great. In addition, even when the circuit pattern is partially changed, a dedicated mask has to be recreated, and there is a problem in that a flexible response cannot be obtained.

このようなスクリーン印刷方式の問題を解消するために、近年、電子写真方式により基板上に回路パターンを形成する方法が開発されている。この方法では、例えば球形の導電性粉末の表面に電荷制御剤を固着させた後、熱可塑性樹脂を被覆した構造を有する配線基板作成用トナーを作成し、これを感光体上に形成された所定のパターンの静電潜像に、静電的に付着させて可視像を形成することすなわち現像を行い、得られた可視像を基板に転写して回路パターンを形成していた(例えば、特許文献1参照)。   In order to solve such problems of the screen printing method, a method for forming a circuit pattern on a substrate by an electrophotographic method has been developed in recent years. In this method, for example, a charge control agent is fixed on the surface of a spherical conductive powder, and then a toner for forming a wiring board having a structure coated with a thermoplastic resin is prepared, and this toner is formed on a photosensitive member. The electrostatic latent image of the pattern is electrostatically attached to form a visible image, that is, development is performed, and the obtained visible image is transferred to a substrate to form a circuit pattern (for example, Patent Document 1).

しかしながら、このような電子写真方式に使用される配線基板作成用トナーは、一般のコピー用トナーに比べて、熱可塑性樹脂層が薄い為、トナーの電気抵抗が低いため帯電性が低下してかぶりを生じやすく、これを補うために外添剤を付与しても、その帯電量の制御が極めて難しいため、高精度な回路パターンを形成することが難しかった。   However, the toner for forming a wiring board used in such an electrophotographic method has a thinner thermoplastic resin layer than a general copying toner, and therefore the toner has a low electric resistance, so that the charging property is lowered and the fog is lowered. Even if an external additive is added to compensate for this, it is difficult to control the charge amount, and it is difficult to form a highly accurate circuit pattern.

このように、電子写真方式を用いて回路パターンを形成する場合には、現像を行うための帯電性と回路パターンとしての導電性とが相反する関係にあるため、その制御が困難であるという問題があった。特に、回路パターンのような微細なパターンを精度よく形成するためには、帯電性のコントロールが極めて重要となり、良好な回路パターン精度とその電気特性を両立させる配線基板作成用トナーの製造は、工業的に極めて困難であった。
特開2001−284769号公報
Thus, when a circuit pattern is formed using an electrophotographic method, the chargeability for developing and the conductivity as the circuit pattern are in a contradictory relationship, so that the control is difficult. was there. In particular, in order to accurately form a fine pattern such as a circuit pattern, it is extremely important to control the chargeability, and the production of a toner for producing a wiring board that achieves both good circuit pattern accuracy and its electrical characteristics is industrial. It was extremely difficult.
JP 2001-284769 A

本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、その目的は、配線基板の多品種少量生産を低コストで容易に行うことが可能であり、帯電性が安定してかぶりを生じ難く、精度の良い回路パターンを形成し得る配線基板作成用トナーを提供することにある。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to enable easy and low-cost production of various types of wiring boards at low cost, with stable chargeability and less likely to cause fogging. It is an object of the present invention to provide a toner for forming a wiring board capable of forming a good circuit pattern.

本発明は、電子写真方式を用いて導体下地層を形成した後、その上にメッキを行うことにより導体層を形成することを含む配線基板の作成技術であって、導体下地層を形成するために、未硬化の熱硬化性樹脂を主成分とするバインダー樹脂、及び1μm以下の平均粒径を有する導電性粒子15〜70重量%を含有するトナー粒子と、該トナー粒子に外添された、150m2/g以上のBET表面積を有する疎水化処理された小粒径の第1の金属酸化物粒子、及び70m2/g以下のBET表面積を有する大粒径の第2の金属酸化物粒子を含有する外添剤と含む配線基板作成用トナーを使用することを特徴とする。 The present invention is a technique for producing a wiring board including forming a conductor underlayer by electroplating and then forming a conductor layer by plating on the conductor underlayer. In addition, a binder resin mainly composed of an uncured thermosetting resin and toner particles containing 15 to 70% by weight of conductive particles having an average particle diameter of 1 μm or less, and externally added to the toner particles, Hydrophobized small first metal oxide particles having a BET surface area of 150 m 2 / g or more and second large metal oxide particles having a BET surface area of 70 m 2 / g or less It is characterized by using a toner for preparing a wiring board including an external additive contained therein.

本発明を用いると、帯電性安定してかぶりを生じ難く、精度の良い回路パターン有する配線基板を形成し得る。また、本発明を用いることにより、配線基板の多品種少量生産を低コストで容易に行うことが可能となる。   By using the present invention, it is possible to form a wiring board having a highly accurate circuit pattern that is stable in chargeability and hardly causes fogging. Further, by using the present invention, it is possible to easily produce a variety of small-scale production of wiring boards at low cost.

本発明の配線基板作成用トナーは、バインダー樹脂及び導電性粒子を含有するトナー粒子と、このトナー粒子に外添された外添剤とを含むトナーであって、バインダー樹脂は未硬化の熱硬化性樹脂を主成分とし、導電性粒子は1μm以下の平均粒径を有し、かつトナー粒子全重量に対し15〜70重量%含まれ、外添剤は、150m2/g以上のBET表面積を有する疎水化処理された小粒径金属酸化物粒子、及び70m2/g以下のBET表面積を有する大粒径金属酸化物粒子を含有する。 The toner for preparing a wiring board according to the present invention is a toner including toner particles containing a binder resin and conductive particles and an external additive externally added to the toner particles, and the binder resin is uncured thermosetting. The main component is conductive resin, the conductive particles have an average particle size of 1 μm or less, and 15 to 70% by weight based on the total weight of the toner particles, and the external additive has a BET surface area of 150 m 2 / g or more. And a hydrophobized small particle size metal oxide particle and a large particle size metal oxide particle having a BET surface area of 70 m 2 / g or less.

また、本発明の配線基板の製造方法は、上記配線基板作成用トナーを用いて電子写真方式により回路パターンを作成する工程を含む方法であって、
上記配線基板作成用トナーを用いて、静電潜像を現像してトナー像を形成する工程、
得られたトナー像を基板上に転写した後、加熱することにより、未硬化の熱硬化性樹脂を硬化せしめ、導体下地層を形成する工程、及び導体下地層上に、導電性材料をメッキしてメッキ層を設けることにより、導体層を形成する工程を具備する。
Further, the method for manufacturing a wiring board of the present invention is a method including a step of creating a circuit pattern by an electrophotographic method using the above-mentioned toner for creating a wiring board,
A step of developing a latent electrostatic image to form a toner image using the above-mentioned wiring board preparation toner;
After the obtained toner image is transferred onto the substrate, the uncured thermosetting resin is cured by heating to form a conductor underlayer, and a conductive material is plated on the conductor underlayer. A step of forming a conductor layer by providing a plating layer.

以下、図面を参照し、本発明をより詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the drawings.

図1は、本発明の配線基板作成用トナーの一例を表す模式図を示す。   FIG. 1 is a schematic view showing an example of a wiring board preparation toner of the present invention.

図示するように、このトナー7は、未硬化の熱硬化性樹脂を主成分とするバインダー樹脂及びこのバインダー樹脂中に分散された例えば銅などの金属からなる導電性粒子1を含むトナー粒子5と、このトナー粒子5上に外添されて付着した外添剤6とを含む。また、この外添剤6は、小粒径金属酸化物粒子3及び大粒径金属酸化物粒子4を含有する。   As shown in the figure, the toner 7 includes toner particles 5 including a binder resin mainly composed of an uncured thermosetting resin and conductive particles 1 made of a metal such as copper dispersed in the binder resin. And an external additive 6 which is externally added and adhered onto the toner particles 5. Further, the external additive 6 contains small-sized metal oxide particles 3 and large-sized metal oxide particles 4.

本発明では、配線基板の導体下地層を形成するために、トナー粒子中に、未硬化の熱硬化性樹脂を主成分とするバインダー樹脂と平均粒径1μm以下の導電性粒子15ないし70重量%とが使用される。   In the present invention, in order to form the conductor underlayer of the wiring board, the toner particles include a binder resin mainly composed of an uncured thermosetting resin and conductive particles having an average particle size of 1 μm or less of 15 to 70% by weight. And are used.

図1に示すように、このようなトナー粒子5では、電子写真方式の現像時に、トナー粒子5表面に現れる導電性粒子1の量が少ないため、トナーとして要求される帯電性を確保しやすくなる。   As shown in FIG. 1, in such toner particles 5, since the amount of conductive particles 1 appearing on the surface of the toner particles 5 is small at the time of electrophotographic development, it becomes easy to ensure the chargeability required for the toner. .

しかしながら、使用される熱硬化性樹脂例えばエポキシ樹脂等は、通常の電子写真用トナーに使用されるスチレン系樹脂やポリエステル系の熱可塑性樹脂と比較して官能基を多く持つため、特に多湿の環境において吸湿により帯電量を維持し難い傾向がある。トナーの電気抵抗が低く、かつ帯電量が低いという条件においては、トナーは電子写真の静電潜像のない部分においても現像をしてしまう、いわゆるかぶりという現象が生じ易い。また、現像時には、トナー粒子中の熱硬化性樹脂が未硬化であるため、通常のトナーと比較して十分な強度を持てず、現像器での撹拌によってトナーの破壊・劣化が進みやすいと考えられ、発生したトナー微粉がキャリアを覆うことによって帯電・現像を阻害し、これもかぶりを発生させる要因となり易い。このように、トナーの粒子径は、細かくすることによって精密な回路パターンを現像することが可能となる一方、トナー微粉が増えることによりかぶりを発生させやすいという不利点がある。また、このようなかぶりが発生すると、現像された回路パターン以外の部分にもトナーが付着することにより、回路のショートに繋がる危険性がある。   However, the thermosetting resins used, such as epoxy resins, have a larger number of functional groups than styrene resins and polyester thermoplastic resins used in ordinary electrophotographic toners. In this case, the charge amount tends to be difficult to maintain due to moisture absorption. Under the condition that the electric resistance of the toner is low and the charge amount is low, the toner tends to develop a so-called fogging phenomenon that develops even in a portion where there is no electrostatic latent image in electrophotography. Also, at the time of development, the thermosetting resin in the toner particles is uncured, so it does not have sufficient strength compared to normal toner, and it is thought that the destruction and deterioration of the toner is likely to proceed by stirring in the developing device. Thus, the generated toner fine powder covers the carrier to inhibit charging / development, and this is also likely to cause fogging. As described above, it is possible to develop a precise circuit pattern by reducing the particle diameter of the toner, but there is a disadvantage that fog is easily generated due to an increase in toner fine powder. In addition, when such fogging occurs, there is a risk that the toner adheres to a portion other than the developed circuit pattern, resulting in a short circuit.

この低抵抗・低帯電量によるかぶりを低減する方法として、電荷制御剤(CCA)を添加することにより帯電量を上げる方法が考えられるが、本発明に使用されるトナー粒子のように、導電性粒子及び熱硬化性樹脂を含む低抵抗で吸湿性を持つトナー粒子に、通常の電子写真用トナーと同様にしてCCAを添加しても、十分な効果が得られず、また、一般のCCAは熱分解性の物質であることが多く、回路としての十分な信頼性を得るため、このようなCCAは、配線基板作成用トナー中に多く入れることは望ましくない。   As a method of reducing the fog due to the low resistance and the low charge amount, a method of increasing the charge amount by adding a charge control agent (CCA) can be considered. However, as in the case of the toner particles used in the present invention, the conductivity is increased. Even if CCA is added to toner particles having low resistance and hygroscopicity including particles and a thermosetting resin in the same manner as a normal electrophotographic toner, a sufficient effect cannot be obtained. In many cases, it is a thermally decomposable substance, and in order to obtain sufficient reliability as a circuit, it is not desirable to put a large amount of such CCA in the toner for forming a wiring board.

また、帯電量を上げる手段として、シリカ等の外添剤を添加する手法も良く知られているが、通常の電子写真用トナーと同様にして外添剤を添加しても、このようなトナーの帯電制御には不十分であり、また多く入れすぎて、トナーの被覆率がある一定以上高くなると、シリカが遊離し、キャリアに付着して、逆に帯電量が下げるという悪影響がある。   Further, as a means for increasing the charge amount, a technique of adding an external additive such as silica is well known, but even if an external additive is added in the same manner as a normal electrophotographic toner, such a toner is also available. Insufficient charge control is performed, and if too much is added and the toner coverage becomes higher than a certain level, the silica is liberated and adheres to the carrier, which adversely decreases the charge amount.

本発明によれば、熱硬化性樹脂及び導電性粒子を使用した帯電性が安定しにくいトナー粒子に、BET表面積150m2/g以上の疎水化処理された小粒径金属酸化物粒子とBET表面積が70m2/g以下の大粒径金属酸化物粒子を含有する外添剤を適用することにより、安定した帯電性が得られ、かぶりが低減され、かつ導体パターンを形成するための導体下地層を形成することができる。 According to the present invention, the charging property easily stabilized toner particles using a thermosetting resin and electroconductive particles, small particle size metal oxide particles and BET surface area that is hydrophobic treatment above BET surface area of 150 meters 2 / g By applying an external additive containing a large-diameter metal oxide particle having a particle size of 70 m 2 / g or less, a stable charging property can be obtained, fogging is reduced, and a conductor underlayer for forming a conductor pattern Can be formed.

一般的に、粒径が細かくBET表面積の大きい金属酸化物粒子は、高い帯電量をトナーに与えることができる。添加量を増やすことで帯電量は更に増え、かつ流動性を上げ、トナー表面を金属酸化物粒子で覆うことにより、現像剤として撹拌したときの強度を増し、トナーの微粉の増加や、スペントトナーの増加を抑えられる。しかし、前述のように、添加量を増やしすぎると逆にキャリア汚染による帯電量低下という問題も発生する。   In general, metal oxide particles having a small particle size and a large BET surface area can impart a high charge amount to the toner. Increasing the added amount further increases the charge amount and improves fluidity, and covering the toner surface with metal oxide particles increases the strength when stirred as a developer, increasing the amount of toner fine powder, and spent toner. The increase of can be suppressed. However, as described above, when the addition amount is excessively increased, there is a problem that the charge amount is reduced due to carrier contamination.

一方、大粒径でBET表面積の小さい金属酸化物粒子を添加すると、コロあるいはスペーサとしての働きをすると考えられ、小粒径のものよりもトナーの微粉の増加やスペントトナーの増加を抑える効果が高いけれども、有効面積が小さいため帯電量を上げる効果が少ない。また、量を増やすと感光体を削る効果が高く、感光体ライフを縮めるという問題がある。   On the other hand, when metal oxide particles having a large particle size and a small BET surface area are added, it is considered that they act as a roller or a spacer, and have an effect of suppressing an increase in toner fine powder and an increase in spent toner than those having a small particle size. Although it is high, since the effective area is small, the effect of increasing the charge amount is small. Further, when the amount is increased, the effect of scraping the photoconductor is high, and there is a problem that the life of the photoconductor is shortened.

そのため、有効な外添剤の組合わせを検討したところ、BET表面積の大きい疎水化処理された金属酸化物粒子と、BET表面積の小さい金属酸化物粒子の両方を添加することにより、良好な帯電性とライフ性が得られ、かぶりを低減してパターン精度が良好となった。   Therefore, when an effective combination of external additives was examined, good chargeability was obtained by adding both the hydrophobized metal oxide particles having a large BET surface area and the metal oxide particles having a small BET surface area. Life was obtained, and the pattern accuracy was improved by reducing the fog.

小粒径金属酸化物粒子としてはBET表面積が150以上の疎水化処理されたものを用いる。このBET表面積は、好ましくは150ないし300であり、より好ましくは160ないし250である。150未満であると、帯電量を十分に上げることができず、かぶりが増えやすくなり、300を超えると、ライフで帯電量が上がって変動しやすくなる傾向がある。   As the metal oxide particles having a small particle diameter, those having a BET surface area of 150 or more and subjected to a hydrophobic treatment are used. The BET surface area is preferably 150 to 300, more preferably 160 to 250. If it is less than 150, the amount of charge cannot be increased sufficiently, and the fog tends to increase. If it exceeds 300, the amount of charge tends to increase and vary with life.

また、小粒径金属酸化物粒子は、その平均粒径が5ないし15nmであることが好ましい。   Further, the small particle size metal oxide particles preferably have an average particle size of 5 to 15 nm.

小粒径金属酸化物粒子の添加量は、好ましくは0.3〜1.5重量%である。0.3重量%未満であると有効な帯電量、流動性を与えられない傾向があり、1.5重量%を超えると逆にキャリア汚染により帯電量が下がり、かぶりの原因となる傾向がある。   The addition amount of the small metal oxide particles is preferably 0.3 to 1.5% by weight. If the amount is less than 0.3% by weight, there is a tendency that an effective charge amount and fluidity cannot be imparted. If the amount exceeds 1.5% by weight, the charge amount is lowered due to carrier contamination, which tends to cause fogging. .

大粒径金属酸化物粒子としては、BET表面積が70以下のものを用いる。このBET表面積は、好ましくは、10ないし70であり、より好ましくは20ないし60である。10未満であると、粒子径が大きいため、トナーへの均一な付着が難しく、また感光体を傷つけやすくなり、70を超えると、スペントトナーの発生を抑える効果が少なくなる傾向がある。   As the large particle size metal oxide particles, those having a BET surface area of 70 or less are used. The BET surface area is preferably 10 to 70, more preferably 20 to 60. If it is less than 10, since the particle diameter is large, uniform adhesion to the toner is difficult and the photoreceptor is easily damaged. If it exceeds 70, the effect of suppressing the generation of spent toner tends to be reduced.

また、大粒径金属酸化物粒子は、その平均粒径が小粒径金属酸化物粒子の平均粒径よりも大きくかつ25ないし100nmであることが好ましい。大粒径金属酸化物粒子と小粒径金属酸化物粒子の平均粒径の差は10ないし50nmであることが好ましい。   The large particle size metal oxide particles preferably have an average particle size larger than that of the small particle size metal oxide particles and 25 to 100 nm. The difference in average particle size between the large particle size metal oxide particles and the small particle size metal oxide particles is preferably 10 to 50 nm.

大粒径金属酸化物粒子の添加量は、好ましくは0.5〜2.0重量%である。0.5重量%未満であると、微粉及びスペント増加を抑える効果が低くなる傾向があり、2.0重量%を超えると、キャリア汚染による帯電量低下や、感光体のライフ低下となる傾向がある。   The addition amount of the large-diameter metal oxide particles is preferably 0.5 to 2.0% by weight. If it is less than 0.5% by weight, the effect of suppressing the increase in fine powder and spent tends to be low, and if it exceeds 2.0% by weight, the charge amount tends to decrease due to carrier contamination and the life of the photoreceptor tends to decrease. is there.

また、熱硬化性樹脂及び導電性粒子特に金属粒子を含むトナー粒子は、この硬い金属粒子が感光体を傷つけ、あるいは磨耗させる傾向があり、感光体のライフを著しく短くしてかぶりやゴースト、スジ等の欠陥画像が発生しやすい。   In addition, toner particles containing thermosetting resins and conductive particles, particularly metal particles, tend to damage or wear the photoconductor, and the life of the photoconductor is significantly shortened to reduce fog, ghosts, streaks. Such defect images are likely to occur.

本発明によれば、好ましくは外添剤にさらに金属石鹸粉を添加することにより、繰返し画像を出力しても感光体の劣化が少なく良好な画像を維持できる配線基板作成用トナーを提供することが可能となる。   According to the present invention, it is preferable to provide a toner for preparing a wiring board that can maintain a good image with little deterioration of the photoreceptor even when a repeated image is output, by further adding metal soap powder to the external additive. Is possible.

さらに、本発明によれば、上述のトナーを用いて得られた導体下地層中に分散させた導電性粒子の一部はトナー表面にも存在するため、基板上にトナーの回路パターンを形成し熱硬化させた後、導電性材料を用いて無電界メッキを施すことにより、露出した導電性粒子を核としてトナーパターン全体を覆う一様な導体層を形成することが可能となる。   Furthermore, according to the present invention, a part of the conductive particles dispersed in the conductor underlayer obtained by using the toner described above is also present on the toner surface, so that a circuit pattern of the toner is formed on the substrate. After heat curing, electroless plating is performed using a conductive material, thereby forming a uniform conductor layer that covers the entire toner pattern with the exposed conductive particles as nuclei.

さらにまた、本発明によれば、トナーを用いて形成された導体下地層パターンに十分な導電性がなくても、後続のメッキ層の形成により、導電性粒子及びメッキ層を含む導体層を形成することができるので、トナーのみを使用して導体層を形成する場合と異なり、トナー中の導電性粒子の量を少なくすることができる。これにより、トナーの帯電性を向上し得、良好でかぶりの少ないパターンを現像することができる。   Furthermore, according to the present invention, even if the conductor underlayer pattern formed using the toner does not have sufficient conductivity, a conductive layer including conductive particles and a plated layer is formed by forming a subsequent plated layer. Therefore, unlike the case where the conductor layer is formed using only the toner, the amount of conductive particles in the toner can be reduced. As a result, the chargeability of the toner can be improved, and a pattern with good fog and little fog can be developed.

バインダー樹脂として用いられる熱硬化性樹脂は、例えばフェノール樹脂、メラミン樹脂、フラン樹脂、ユポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ジアリルフタレート樹脂、及びポリイミド樹脂等があげられる。通常の電子写真用トナーのバインダー樹脂としては、一般に、加熱によって融ける熱可塑性樹脂が用いられるが、本発明の配線基板用トナーには、トナーの乗った回路上の導電パターンが加熱によっても安定していることが求められるため、熱硬化性樹脂が使用される。   Examples of the thermosetting resin used as the binder resin include phenol resin, melamine resin, furan resin, upoxy resin, unsaturated polyester resin, diallyl phthalate resin, and polyimide resin. As a binder resin for an ordinary electrophotographic toner, a thermoplastic resin that melts by heating is generally used. However, in the toner for a wiring board of the present invention, the conductive pattern on the circuit on which the toner is placed is stable even by heating. Therefore, a thermosetting resin is used.

基板の素材としては、ガラスエポキシ基材、及びベークライト基材(フェノール樹脂)等を用いることができる。トナーの素材としてもこれらの基材と親和性が高いよう、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、あるいはその混合物を用いるのことがより好ましい。   As a substrate material, a glass epoxy base material, a bakelite base material (phenol resin), or the like can be used. As a toner material, it is more preferable to use an epoxy resin, a phenol resin, or a mixture thereof so as to have a high affinity with these base materials.

トナーは、未硬化の熱硬化性樹脂に、平均粒径1μm以下の導電性粒子を15〜75重量%分散させることにより基本的に構成される。導電性粒子としては、Cu、Ni、Co、Ag、Pd、Rh、Au、Pt、Ir等の遷移金属粒子が好ましく用いられる。   The toner is basically constituted by dispersing 15 to 75% by weight of conductive particles having an average particle diameter of 1 μm or less in an uncured thermosetting resin. As the conductive particles, transition metal particles such as Cu, Ni, Co, Ag, Pd, Rh, Au, Pt, and Ir are preferably used.

導電性粒子の含有量は、トナー粒子全重量の15〜75重量%、好ましくは30〜65重量%である。導電性粒子の量が75重量%を超えると、トナーの電気抵抗が下がって帯電量が下がり、かぶりが発生し、導電性粒子の量が15重量%未満であると、トナー粒子表面に現れてメッキの際のコアとなる導電性粒子の量が少なくなるために、後続のメッキを行っても、回路パターンに十分な導電性を与えることができない。   The content of the conductive particles is 15 to 75% by weight, preferably 30 to 65% by weight, based on the total weight of the toner particles. When the amount of the conductive particles exceeds 75% by weight, the electric resistance of the toner decreases, the charge amount decreases, fogging occurs, and when the amount of the conductive particles is less than 15% by weight, the toner particles appear on the surface of the toner particles. Since the amount of conductive particles serving as a core during plating is reduced, even if subsequent plating is performed, sufficient conductivity cannot be imparted to the circuit pattern.

また、導電性粒子の粒子径は1μm以下、好ましくは0.1ないし1μm、より好ましくは0.2ないし0.7μmである。導電性粒子の粒子径が1μmを超えると、バインダー中の分散が不十分になり、トナー表面への露出、遊離した金属微粉粒子の存在が増え、かぶりが発生する。一方、導電性粒子の粒子径が0.1μm未満であると、導電性粒子の均一な分散が困難となる傾向がある。   The particle diameter of the conductive particles is 1 μm or less, preferably 0.1 to 1 μm, more preferably 0.2 to 0.7 μm. When the particle diameter of the conductive particles exceeds 1 μm, the dispersion in the binder becomes insufficient, the exposure to the toner surface, the presence of free metal fine particles, and fogging occur. On the other hand, when the particle diameter of the conductive particles is less than 0.1 μm, uniform dispersion of the conductive particles tends to be difficult.

メッキのための導電性材料としては、例えばCu、Ni、Co、Ag、Pd、Rh、Au、Pt、Ir等の遷移金属を使用することができる。   As the conductive material for plating, for example, transition metals such as Cu, Ni, Co, Ag, Pd, Rh, Au, Pt, and Ir can be used.

メッキのための導電性材料とトナーのための導電性粒子との組み合わせは、同じ材料であっても異なる材料であっても良い。好ましい組み合わせとしては、CuとCu、CuとPd、PdとPd、CuとNi、NiとPd等があげられる。Cuは、安価でかつ導電性が良好であるため好ましく用いられる。また、パラジウムは、メッキ反応の進行に対して触媒として作用することから好ましく使用され得る。   The combination of the conductive material for plating and the conductive particles for toner may be the same material or different materials. Preferred combinations include Cu and Cu, Cu and Pd, Pd and Pd, Cu and Ni, Ni and Pd, and the like. Cu is preferably used because it is inexpensive and has good conductivity. Palladium can be preferably used because it acts as a catalyst for the progress of the plating reaction.

本発明の配線基板作成用トナーには、必要に応じて、ワックス、分散補助剤、着色剤、及び電荷調整剤(CCA)等を添加することができる。   A wax, a dispersion aid, a colorant, a charge adjusting agent (CCA), and the like can be added to the toner for forming a wiring board of the present invention as necessary.

本発明の配線基板作成用トナーの製造方法としては、例えば溶融混練法があげられる。この溶融混練法では、例えば熱硬化性樹脂、及び導電性粒子等を含む原材料を均一に混合し、加圧ニーダーあるいはバンバリーミキサー、2本ロール、3本ロール、2軸押出し機などの混練機を用いて加熱混練を行い、混練物を冷却した後粗砕、その後ジェット粉砕機等を用いて微粉砕し、気流分級機等を用いて分級し、粒子径分布を整えてトナー粒子が得られる。なお、製造時、特に、加熱混練時には、熱硬化性樹脂が硬化しないように、温度、時間等に注意する。   Examples of the method for producing the toner for producing a wiring board of the present invention include a melt kneading method. In this melt-kneading method, raw materials including, for example, a thermosetting resin and conductive particles are uniformly mixed, and a kneader such as a pressure kneader, a Banbury mixer, a two-roll, a three-roll, or a twin-screw extruder is used. The mixture is heated and kneaded, the kneaded product is cooled and then coarsely pulverized, then finely pulverized using a jet pulverizer and the like, and classified using an airflow classifier or the like, and the particle size distribution is adjusted to obtain toner particles. At the time of production, particularly during heating and kneading, attention is paid to temperature, time, etc. so that the thermosetting resin is not cured.

更に、得られたトナー粒子に、BET表面積150m2/g以上の疎水化処理された小粒径金属酸化物粒子、及びBET表面積が70m2/g以下の大粒径金属酸化物粒子を外添する。外添方法としては、例えばヘンシェルミキサー等の混合機にてトナー粒子表面に付着せしめ、必要に応じて篩を通してトナーを得る方法があげられる。 Further, the obtained toner particles are externally added with small-diameter metal oxide particles subjected to hydrophobic treatment having a BET surface area of 150 m 2 / g or more and large-size metal oxide particles having a BET surface area of 70 m 2 / g or less. To do. As an external addition method, for example, a method of adhering to the surface of the toner particles with a mixer such as a Henschel mixer and obtaining the toner through a sieve if necessary can be mentioned.

トナーに外添される金属酸化物としては、例えば酸化ケイ素(シリカ)、酸化チタン、アルミナ、酸化ジルコニウム、酸化亜鉛、酸化スズ、酸化ゲルマニウム、酸化ガリウム等の材料があげられる。負の帯電性を付与する目的でシリカを添加するのがより好ましい。   Examples of the metal oxide externally added to the toner include materials such as silicon oxide (silica), titanium oxide, alumina, zirconium oxide, zinc oxide, tin oxide, germanium oxide, and gallium oxide. It is more preferable to add silica for the purpose of imparting negative chargeability.

さらに、これらの金属酸化物としては、多湿条件下での帯電量低下を防ぐ目的で、表面を疎水化処理したものが用いられる。表面処理剤としては、例えばジメチルジクロロシラン、ヘキサメチルジシラザン、アルキルシラン、ジメチルポリシロキサン、及びオクタメチルシクロシロキサン等を用いることができる。   Furthermore, as these metal oxides, those whose surfaces have been subjected to a hydrophobization treatment are used for the purpose of preventing a decrease in charge amount under humid conditions. As the surface treatment agent, for example, dimethyldichlorosilane, hexamethyldisilazane, alkylsilane, dimethylpolysiloxane, octamethylcyclosiloxane, and the like can be used.

外添剤として、さらに金属石鹸を添加することにより、感光体と現像剤あるいはクリーニング部材との機械的ストレスを抑え、感光体のライフを延長することが可能である。このような金属石鹸としては、好ましくは、例えばステアリン酸亜鉛、ステアリン酸カルシウム、ステアリン酸マグネシウム、ステアリン酸アルミニウム、及びラウリン酸亜鉛等の脂肪酸非アルカリ金属塩を用いることができ、より好ましくはステアリン酸亜鉛をトナー全重量に対し0.01〜1.0重量%添加することができる。また、金属石鹸の好ましい平均粒径は6μm以下、より好ましい平均粒径は1ないし5μmである。   By adding a metal soap as an external additive, it is possible to suppress mechanical stress between the photoreceptor and the developer or the cleaning member, and to extend the life of the photoreceptor. As such a metal soap, preferably, fatty acid non-alkali metal salts such as zinc stearate, calcium stearate, magnesium stearate, aluminum stearate, and zinc laurate can be used, more preferably zinc stearate. Can be added in an amount of 0.01 to 1.0% by weight based on the total weight of the toner. Moreover, the preferable average particle diameter of a metal soap is 6 micrometers or less, and a more preferable average particle diameter is 1 to 5 micrometers.

トナーの粒子径としては、体積50%粒子径として12μm以下、好ましくは10μm以下、より好ましくは6ないし9μmである。4μm以下の粒子の存在割合は好ましくは20個数%以下、好ましくは16個数%以下である。   The particle diameter of the toner is 12 μm or less, preferably 10 μm or less, more preferably 6 to 9 μm as a 50% volume particle diameter. The proportion of particles having a size of 4 μm or less is preferably 20% by number or less, and preferably 16% by number or less.

トナーの粒子径が12μmより大きいと、回路パターンの解像度を上げることができず、またトナー間の空隙のために回路の導通性が不十分になる恐れがある。しかし、一般的にトナー粒子径が6μm未満であると、現像特性が劣化してかぶりが増加しやすい傾向がある。これは、トナーの粒子径が小さいとキャリアの被覆率が上がるため、キャリアを覆ったトナーが、さらに添加されたトナーの帯電を阻害しやすく、また、トナーから導電性粒子が遊離しやすく、このような遊離導電性粒子がトナー間に多く存在すると、トナーの抵抗が下がって帯電量が低下するためと考えられる。そのため、トナー製造時、特に、その粉砕分級工程において、トナーの微粉量を少なくするように調整することが好ましい。しかしながら、このような調整を行うことは、トナーの歩留り・生産性と相反するので、制限無く減らす必要はない。そのため、トナーの微粉量と、かぶりとの関係を検討した結果、上記範囲に微粉量を抑えることにより、かぶりの少ない良好なトナー像が得られることが確認された。   If the particle size of the toner is larger than 12 μm, the resolution of the circuit pattern cannot be increased, and the continuity of the circuit may be insufficient due to the gap between the toners. However, generally, when the toner particle diameter is less than 6 μm, the development characteristics tend to deteriorate and the fog tends to increase. This is because when the particle size of the toner is small, the coverage of the carrier is increased, so that the toner covering the carrier easily inhibits charging of the added toner, and the conductive particles are easily released from the toner. It is considered that when a large amount of such free conductive particles are present between the toners, the resistance of the toner decreases and the charge amount decreases. For this reason, it is preferable to adjust so that the amount of fine powder of toner is reduced at the time of toner production, particularly in the pulverization and classification step. However, such adjustments are incompatible with toner yield and productivity, and need not be reduced without any limitation. Therefore, as a result of investigating the relationship between the amount of fine powder of toner and the fog, it was confirmed that a good toner image with less fog can be obtained by suppressing the amount of fine powder within the above range.

また、トナーの電気抵抗の低下を抑制することは、電子写真を用いてトナー像を形成する上において重要である。トナーは摩擦帯電により電荷を持ち、この電荷が、現像や転写などのプロセスを司る電気力の源となっている。電気抵抗が低いとチャージがリークしやすいために帯電量が下がり、また感光体−現像器間の電界から電荷注入を受けやすくなって、更に現像時の実効帯電量が下がり、その結果、かぶりが発生しやすくなる。本発明においては、導電性粒子を含有すること、また、官能基の多い熱硬化性樹脂を用いることにより、通常の電子写真用トナーと比較して電気抵抗が低くなりやすいが、この抵抗値を好ましくは1×1010Ωcm以上、より好ましくは1×1010Ωcmないし50×1010Ωcmに制御することにより、かぶりのなく鮮明な画像が得られる傾向がある。 In addition, it is important to suppress a decrease in the electrical resistance of the toner when forming a toner image using electrophotography. The toner has a charge due to frictional charging, and this charge is a source of electric force for controlling processes such as development and transfer. If the electrical resistance is low, the charge is likely to leak, resulting in a decrease in the amount of charge. Further, it becomes easier to receive charge injection from the electric field between the photoconductor and the developer, and the effective charge during development is further reduced. It tends to occur. In the present invention, by containing conductive particles and using a thermosetting resin having a large number of functional groups, the electric resistance tends to be lower than that of a normal electrophotographic toner. By controlling to preferably 1 × 10 10 Ωcm or more, more preferably 1 × 10 10 Ωcm to 50 × 10 10 Ωcm, a clear image without fog tends to be obtained.

次に、配線基板の製造工程の一例を、図2ないし図6を参照して説明する。   Next, an example of the manufacturing process of the wiring board will be described with reference to FIGS.

図2は、本発明の配線基板作成用トナーを適用し得る電子写真方式の配線基板製造装置の一例を表す概略図を示す。図3は、本発明に係る配線基板の製造装置の他の一例を表す概略図を示す。図4は、本発明にかかる配線基板の製造工程の一例を説明するための模式的な断面図を示す。図5は、本発明にかかる配線基板の製造工程の一例を説明するための模式的な断面図を示す。図6は、本発明にかかる配線基板の製造工程の一例を説明するための模式的な断面図を示す。   FIG. 2 is a schematic view showing an example of an electrophotographic wiring board manufacturing apparatus to which the wiring board preparation toner of the present invention can be applied. FIG. 3 is a schematic view showing another example of a wiring board manufacturing apparatus according to the present invention. FIG. 4 is a schematic cross-sectional view for explaining an example of the manufacturing process of the wiring board according to the present invention. FIG. 5: shows typical sectional drawing for demonstrating an example of the manufacturing process of the wiring board concerning this invention. FIG. 6: shows typical sectional drawing for demonstrating an example of the manufacturing process of the wiring board concerning this invention.

図2および図3に示された製造装置は、各々、本発明の配線基板作成用トナーを用いて導体パターンを形成するための装置及び絶縁パターンを形成するための装置であり、感光体ドラム200、帯電器201、レーザ発生・走査装置202、現像装置203、転写装置204、配線基板形成力の基材11、加熱あるいは光照射による樹脂硬化装置205を有し、図2に示す装置はさらに、樹脂エッチング装置206、及び無電解メッキ槽207を有する。   The manufacturing apparatuses shown in FIGS. 2 and 3 are an apparatus for forming a conductor pattern and an apparatus for forming an insulating pattern, respectively, using the toner for forming a wiring board of the present invention. 2, a charger 201, a laser generator / scanner 202, a developing device 203, a transfer device 204, a substrate 11 for forming a wiring board, a resin curing device 205 by heating or light irradiation, and the apparatus shown in FIG. A resin etching apparatus 206 and an electroless plating tank 207 are provided.

導体パターンの形成工程では、まず、感光体ドラム200を矢印方向に回転させながら、帯電器201により感光体ドラム200の表面電位を一定電位(例えばマイナス電荷)に均一に帯電させる。具体的な帯電方法としては、例えばスコロトロン帯電法、ローラ帯電法、ブラシ帯電法などがあげられる。次に、レーザ発生・走査装置202により、画像信号に応じてレーザ光202aを感光体ドラム200に照射し、照射部分のマイナス電荷を除去し、感光体ドラム200の表面に所定の導体下地層パターンの電荷の像(静電潜像)を形成する。   In the conductor pattern forming step, first, the surface potential of the photosensitive drum 200 is uniformly charged to a constant potential (for example, negative charge) by the charger 201 while rotating the photosensitive drum 200 in the direction of the arrow. Specific examples of the charging method include a scorotron charging method, a roller charging method, and a brush charging method. Next, the laser generator 202 scans the photosensitive drum 200 with laser light 202a in accordance with the image signal, removes negative charges from the irradiated portion, and forms a predetermined conductor underlayer pattern on the surface of the photosensitive drum 200. An image of electrostatic charge (electrostatic latent image) is formed.

次に、感光体ドラム200上の静電潜像に、、例えば銅、あるいはパラジウムなどの導電性粒子及び未硬化の熱硬化性樹脂を含み、図1と同様の構成を有し、現像装置203に貯留され、帯電された配線基板作成用トナー7を、供給機構によって静電的に付着させ可視像を形成する。このとき、正現像法あるいは反転現像法を用いることができる。また、現像装置203には、公知の電子写真式複写システムにおける乾式または湿式のトナー転写技術を適用することができる。   Next, the electrostatic latent image on the photosensitive drum 200 includes conductive particles such as copper or palladium and an uncured thermosetting resin, and has the same configuration as that in FIG. The wiring substrate preparation toner 7 stored and charged in the substrate is electrostatically attached by a supply mechanism to form a visible image. At this time, a normal development method or a reverse development method can be used. Further, a dry or wet toner transfer technique in a known electrophotographic copying system can be applied to the developing device 203.

現像装置203が例えば乾式現像方式である場合、現像装置203には、例えば3〜50μmの平均粒径を有する本発明の配線基板作成用トナー7が貯留される。ここで、配線基板作成用トナー7のより好ましい粒径は、5〜10μmである。   When the developing device 203 is, for example, a dry developing system, the developing device 203 stores the wiring substrate forming toner 7 of the present invention having an average particle diameter of, for example, 3 to 50 μm. Here, a more preferable particle diameter of the wiring board forming toner 7 is 5 to 10 μm.

続いて、感光体ドラム200の表面に、配線基板作成用トナー7により形成された可視像(パターン)は、転写装置204によって感光体ドラム200から所望の基材11上に静電転写される。転写後の感光体ドラム200において、図示しないクリーニング装置により、感光体ドラム表面に残った配線基板作成用トナー7は除去され回収される。   Subsequently, the visible image (pattern) formed on the surface of the photoconductive drum 200 by the wiring board forming toner 7 is electrostatically transferred from the photoconductive drum 200 onto the desired base material 11 by the transfer device 204. . In the photosensitive drum 200 after the transfer, the wiring board forming toner 7 remaining on the surface of the photosensitive drum is removed and collected by a cleaning device (not shown).

次いで、基材11上に転写された配線基板作成用トナー7を、加熱あるいは光照射による樹脂硬化装置205を通し、配線基板作成用トナー7に含有される未硬化の熱硬化性樹脂2を溶融し、硬化させる。これにより、図3に示すように、基板11上に、配線基板作成用トナー7が一体化された、所望のパターンの導体下地層12を形成する。   Next, the wiring board preparation toner 7 transferred onto the substrate 11 is passed through a resin curing device 205 by heating or light irradiation, and the uncured thermosetting resin 2 contained in the wiring board preparation toner 7 is melted. And cure. As a result, as shown in FIG. 3, a conductor base layer 12 having a desired pattern in which the wiring substrate forming toner 7 is integrated is formed on the substrate 11.

この導体下地層12は、導電性を有しないため、導体下地層12をCuの無電解メッキ槽207に浸し、導体下地層12上に、導電性粒子1を核としてCuを選択的に析出させ、図4に示すように、メッキ層13を形成し、導体下地層12の導電性粒子1及びメッキ層13を含む導体層を得る。このようにして、良好な導電性を有する導体パターンを形成することができる。なお、ここでは、無電解メッキ槽207のみで構成されるメッキ槽を示したが、これに限るものではなく、無電解メッキと電解メッキの双方を行うメッキ槽を用いてもよい。   Since the conductor underlayer 12 does not have conductivity, the conductor underlayer 12 is immersed in an electroless plating bath 207 of Cu, and Cu is selectively deposited on the conductor underlayer 12 using the conductive particles 1 as nuclei. As shown in FIG. 4, a plating layer 13 is formed, and a conductive layer including the conductive particles 1 of the conductor base layer 12 and the plating layer 13 is obtained. In this way, a conductor pattern having good conductivity can be formed. In addition, although the plating tank comprised only with the electroless plating tank 207 was shown here, it is not restricted to this, You may use the plating tank which performs both electroless plating and electrolytic plating.

また、無電解メッキを効率的に行うために、例えば、図示するように、導体下地層12をメッキ処理する前に、樹脂エッチング装置206において、導体下地層12の表面に金属粒子1の少なくとも一部を突出させる処理を施してもよい。この樹脂エッチング装置206は、導体下地層12の表面の樹脂の一部をエッチング除去するものであり、樹脂エッチング装置206では、導体下地層12の表面を、例えば、アセトンなどの溶剤、酸、アルカリなどのエッチング液に浸漬することによって化学的にエッチング除去を行う。また、樹脂エッチング装置206では、化学的にエッチング除去を行う以外に、例えば、ショットブラストやエアーブラストなどによって研磨して機械的にエッチング除去を行うこともできる。   In order to efficiently perform electroless plating, for example, as shown in the figure, before plating the conductor underlayer 12, in the resin etching apparatus 206, at least one of the metal particles 1 is formed on the surface of the conductor underlayer 12. You may perform the process which makes a part protrude. The resin etching device 206 is for removing a part of the resin on the surface of the conductor underlayer 12 by etching. In the resin etching device 206, the surface of the conductor underlayer 12 is removed with, for example, a solvent such as acetone, an acid, an alkali. Etching is removed chemically by dipping in an etching solution such as. In addition to the chemical etching removal, the resin etching apparatus 206 can also perform mechanical etching removal by polishing with, for example, shot blasting or air blasting.

なお、導体下地層12が完全に硬化した状態でない場合には、アルカリのメッキ液を採用することで、メッキ中に導体下地層12の表面の樹脂を除去して、メッキ処理することができるため、樹脂エッチング装置206によるエッチング除去は不要となる。また、導体下地層12の表面に形成される導体金属層13の厚みは、メッキ条件により制御することができる。メッキ処理後には、基材11と導体下地層12をより密着させ、剥離などを防止するために、樹脂硬化装置205で加熱あるいは光照射を行って、導体下地層12を完全に硬化させることが望ましい。   If the conductor underlayer 12 is not completely cured, an alkaline plating solution can be used to remove the resin on the surface of the conductor underlayer 12 during plating and perform plating. Etching removal by the resin etching device 206 becomes unnecessary. Further, the thickness of the conductor metal layer 13 formed on the surface of the conductor underlayer 12 can be controlled by plating conditions. After the plating process, in order to make the base material 11 and the conductor underlayer 12 more closely adhere to each other and prevent peeling, the conductor underlayer 12 can be completely cured by heating or light irradiation with the resin curing device 205. desirable.

次に、図5を参照して、絶縁パターンの形成工程を説明する。まず、感光体ドラム200を矢印方向に回転させながら、帯電器201により感光体ドラム200の表面電位を一定電位(例えばマイナス電荷)に均一に帯電させる。次に、レーザ発生・走査装置202により、画像信号に応じてレーザ光202aを感光体ドラム200に照射し、照射部分のマイナス電荷を除去し、感光体ドラム200の表面に所定パターンの電荷の像(静電潜像)を形成する。   Next, an insulating pattern forming process will be described with reference to FIG. First, while rotating the photosensitive drum 200 in the direction of the arrow, the charger 201 uniformly charges the surface potential of the photosensitive drum 200 to a constant potential (for example, negative charge). Next, the laser generation / scanning apparatus 202 irradiates the photosensitive drum 200 with laser light 202a in accordance with the image signal, removes negative charges from the irradiated portion, and forms a predetermined pattern of charge on the surface of the photosensitive drum 200. (Electrostatic latent image) is formed.

続いて、感光体ドラム200上の静電潜像に、現像装置203に貯留された帯電した樹脂粒子22を供給機構によって静電的に付着させ、可視像を形成する。このとき、正現像法あるいは反転現像法を用いることができる。また、現像装置203には、公知の電子写真式複写システムにおける乾式または湿式のトナー転写技術を適用することができる。   Subsequently, the charged resin particles 22 stored in the developing device 203 are electrostatically attached to the electrostatic latent image on the photosensitive drum 200 by the supply mechanism to form a visible image. At this time, a normal development method or a reverse development method can be used. Further, a dry or wet toner transfer technique in a known electrophotographic copying system can be applied to the developing device 203.

現像装置203が乾式現像方式である場合、現像装置203には、3〜50μmの粒径の樹脂粒子22が貯留される。ここで、樹脂粒子22のより好ましい粒径は、8〜15μmである。一方、現像装置203が湿式現像方式である場合、現像装置203には、3μm以下の粒径の樹脂粒子22が貯留される。絶縁パターンの形成においては、電気絶縁性の観点から絶縁層が厚いことが望ましく、したがって樹脂粒子22の粒径は、配線基板作成用トナーに比べて大きい。   When the developing device 203 is a dry developing system, resin particles 22 having a particle diameter of 3 to 50 μm are stored in the developing device 203. Here, the more preferable particle size of the resin particles 22 is 8 to 15 μm. On the other hand, when the developing device 203 is a wet developing system, the developing device 203 stores resin particles 22 having a particle size of 3 μm or less. In forming the insulating pattern, it is desirable that the insulating layer is thick from the viewpoint of electrical insulation, and therefore the particle size of the resin particles 22 is larger than that of the toner for forming a wiring board.

ここで、樹脂粒子22を構成する樹脂としては、常温で固体の未硬化の熱硬化性樹脂を用いることができる。未硬化の熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、フェノール樹脂等を使用することができ、必要により帯電制御剤を添加してもよい。また、樹脂粒子22中に所定の割合で含有されたシリカなどの微粒子を分散させてもよく、これによって、特に、多層配線基板において、剛性、熱膨張係数など特性を制御することができ、基板の信頼性の向上を図ることができる。   Here, as resin which comprises the resin particle 22, uncured thermosetting resin solid at normal temperature can be used. As the uncured thermosetting resin, an epoxy resin, a polyimide resin, a phenol resin, or the like can be used, and a charge control agent may be added as necessary. In addition, fine particles such as silica contained in the resin particles 22 in a predetermined ratio may be dispersed, whereby characteristics such as rigidity and thermal expansion coefficient can be controlled particularly in the multilayer wiring board. It is possible to improve the reliability.

感光体ドラム200の表面に樹脂粒子22により形成された可視像(パターン)は、転写装置204によって感光体ドラム200から所望の基材11上に静電転写される。転写後の感光体ドラム200において、図示を省略したクリーニング装置により、表面に残った樹脂粒子22は除去され回収される。   The visible image (pattern) formed by the resin particles 22 on the surface of the photosensitive drum 200 is electrostatically transferred from the photosensitive drum 200 onto the desired substrate 11 by the transfer device 204. In the photosensitive drum 200 after the transfer, the resin particles 22 remaining on the surface are removed and collected by a cleaning device (not shown).

次いで、基材11上に転写された樹脂粒子22を、加熱あるいは樹脂硬化装置205を通し、未硬化の熱硬化性樹脂を含む樹脂粒子22を溶融し硬化させ、一体化され硬化された熱硬化性樹脂からなる絶縁層14を形成する。   Next, the resin particles 22 transferred onto the substrate 11 are heated or passed through a resin curing device 205, and the resin particles 22 containing an uncured thermosetting resin are melted and cured. An insulating layer 14 made of a conductive resin is formed.

このようにして、配線基板用の基材11上に十分に良好な熱的特性、機械的特性、耐環境的特性を有する絶縁パターンを形成することができる。また、導体パターンの形成と絶縁パターンの形成のいずれの工程においても、未硬化の熱硬化性樹脂を主体とする樹脂を、加熱あるいは光照射により硬化させる前であれば、溶剤等により容易に除去することができるので、パターンの除去あるいは修正が可能である。   In this way, an insulating pattern having sufficiently good thermal characteristics, mechanical characteristics, and environmental resistance characteristics can be formed on the substrate 11 for a wiring board. In both the formation of the conductor pattern and the formation of the insulating pattern, the resin mainly composed of an uncured thermosetting resin can be easily removed with a solvent or the like before being cured by heating or light irradiation. The pattern can be removed or corrected.

本発明の方法によれば、電子写真方式により導電性粒子を含有する導体下地層を形成し、さらにその導体下地層上に無電解メッキを行って導体層を形成する工程と、さらに同様な電子写真方式により樹脂粒子を用いて絶縁層を形成する工程とを順に実施することにより、露光マスクを使用することなく配線基板を形成することができる。   According to the method of the present invention, a conductive underlayer containing conductive particles is formed by electrophotography, and a conductive layer is formed on the conductor underlayer by electroless plating. A wiring substrate can be formed without using an exposure mask by sequentially performing the step of forming an insulating layer using resin particles by a photographic method.

さらに、配線基板は、デジタル化された設計データからダイレクトに形成されるので、低コスト化、製造時間の短縮化を図ることもできる。また、本発明に係る配線基板の製造方法は、少量多品種生産に好適である。   Furthermore, since the wiring board is formed directly from the digitized design data, the cost can be reduced and the manufacturing time can be shortened. Further, the method for manufacturing a wiring board according to the present invention is suitable for small-quantity, multi-product production.

また、パターンを形成するための樹脂として、感光性樹脂を使用する必要がないうえに、チクソ性や粘度等の印刷性も特に必要としないため、樹脂の物性値(例えば、ヤング率、ガラス転移温度Tg、吸湿性など)に対する自由度が高く、結果的に信頼性の向上が可能である。また、使用される熱硬化性樹脂は、硬化後の熱特性が良好であるため、得られた配線基板に対する通常のはんだ付け温度(220〜260℃程度)での耐熱性も良好となる。   In addition, it is not necessary to use a photosensitive resin as a resin for forming a pattern, and in addition, printing properties such as thixotropy and viscosity are not particularly required. Therefore, physical properties of the resin (for example, Young's modulus, glass transition) The degree of freedom with respect to temperature Tg, hygroscopicity, etc. is high, and as a result, reliability can be improved. In addition, since the thermosetting resin used has good thermal characteristics after curing, the heat resistance at a normal soldering temperature (about 220 to 260 ° C.) with respect to the obtained wiring board is also good.

さらに、基板として従来の方法で製造された低コスト回路基板(例えば、ビルドアップ基板)を使用し、その上に本発明に係る方法を使用して、さらに導体パターンを形成することができる。   Furthermore, a low-cost circuit board (for example, a build-up board) manufactured by a conventional method is used as a substrate, and a conductor pattern can be further formed thereon using the method according to the present invention.

なお、ここでは、導体パターンおよび絶縁パターンの形成工程に、電子写真方式を用い、転写装置により静電的に基材上に配線基板作成用トナーまたは樹脂粒子を転写する方式ついて述べたが、この転写方式に限るものではない。例えば転写装置の代わりに、製造装置に中間転写体ドラム、中間転写体加熱装置を備え、中間転写体加熱装置によって軟化された導体下地層または樹脂層を、軟化状態のままで中間転写体ドラムから所望の基材上に接触させ加圧して、導体下地層または樹脂層の粘着性により転写させることも可能である。   Here, the electrophotographic method is used for the formation process of the conductor pattern and the insulating pattern, and the method for electrostatically transferring the wiring substrate forming toner or the resin particles onto the base material by the transfer device has been described. It is not limited to the transfer method. For example, instead of the transfer device, the production device includes an intermediate transfer drum and an intermediate transfer member heating device, and the conductor base layer or resin layer softened by the intermediate transfer member heating device is left in the softened state from the intermediate transfer drum. It is also possible to make a transfer on the basis of the adhesiveness of the conductor underlayer or the resin layer by contacting and pressurizing on a desired substrate.

また、本発明の技術を用いて、導体パターンおよび絶縁パターンの形成工程を繰り返すことにより、多層配線基板を形成することもできる。   Moreover, a multilayer wiring board can also be formed by repeating the formation process of a conductor pattern and an insulating pattern using the technique of this invention.

実施例1
バインダーとして熱硬化性エポキシ樹脂50重量部、及び導電
性粒子として体積平均粒径0.6μm銅粒子を50重量部を、ヘンシェルミキサーで5分間均一に混合した後、加圧ニーダーにて90℃の温度条件で10分間混練を行い、ゲル化後急冷した後ハンマーミルにて2mm以下まで粗粉砕を行った。その後、I式ジェット粉砕機及びDSX分級機を用いて約8.0μmのサイズまで微粉砕・分級を行い、トナー粒子を得た。
Example 1
After 50 parts by weight of thermosetting epoxy resin as a binder and 50 parts by weight of copper particles having a volume average particle size of 0.6 μm as conductive particles are uniformly mixed for 5 minutes with a Henschel mixer, the mixture is heated at 90 ° C. with a pressure kneader. The mixture was kneaded for 10 minutes under the temperature condition, rapidly cooled after gelation, and then coarsely pulverized to 2 mm or less with a hammer mill. Thereafter, using an I-type jet pulverizer and a DSX classifier, the particles were finely pulverized and classified to a size of about 8.0 μm to obtain toner particles.

得られたトナー粒子100重量部、シリカR974(デクサ製、BET165,平均粒径12nm,ジメチルジクロロシラン表面処理)1重量部、シリカNAX50(日本アエロジル製、BET49,平均粒径35nm,ヘキサメチルジシラザン表面処理)1重量部、及びステアリン酸亜鉛(4μm)0.2重量部を加えてヘンシェルミキサーにて10分間混合した後、200メッシュのふるいを通して平均粒径8.0μmのトナーを得た。   100 parts by weight of the obtained toner particles, 1 part by weight of silica R974 (made by Dexa, BET165, average particle size 12 nm, dimethyldichlorosilane surface treatment), silica NAX50 (made by Nippon Aerosil, BET49, average particle size 35 nm, hexamethyldisilazane) (Surface treatment) 1 part by weight and 0.2 part by weight of zinc stearate (4 μm) were added and mixed for 10 minutes with a Henschel mixer, and then a toner having an average particle size of 8.0 μm was obtained through a 200-mesh sieve.

以上のトナーを、定着ユニットを取り外した東芝テック製MFPのe−Studio450に入れ、導体下地層用プリントデータを出力してガラスエポキシ基材上に転写し、その後、160℃のホットプレート上で10分間加熱してトナーの加熱硬化、及び定着を行い、導体下地層が形成された基板を得た。また、評価のため、普通紙にも同様の転写及び定着を行い、サンプルを得た。   The above toner is put into an e-Studio 450 of a TOSHIBA TEC MFP from which the fixing unit has been removed, and print data for the conductor underlayer is output and transferred onto a glass epoxy substrate. The substrate was heated for a minute to heat and cure and fix the toner to obtain a substrate on which a conductor underlayer was formed. For evaluation, the same transfer and fixing were performed on plain paper to obtain a sample.

得られたサンプルについて、その導体下地層パターンを目視にて観察したところ、線パターンはくっきり描かれ、画像周辺のちりや、非画像部のかぶりも少ない良好なパターンが得られた。   When the conductor underlayer pattern of the obtained sample was observed with the naked eye, the line pattern was clearly drawn, and a good pattern with less dust around the image and less fog in the non-image area was obtained.

反射率によるかぶりの評価
サンプルの非画像部の反射率と、未転写の白紙の反射率とをフォトボルト社製Model 577で測定し、その差を求めたところ、非画像部のかぶりは0.3%と良好な値が得られた。
Evaluation of fog by reflectivity The reflectivity of the non-image portion of the sample and the reflectivity of the untransferred white paper were measured with a Model 577 manufactured by Photovolt, and the difference was determined. A good value of 3% was obtained.

更に、5万枚の紙を通した後、非画像部を目視にて観察したところ、感光体の磨耗によるかぶり等の弊害は現れなかった。   Furthermore, after passing through 50,000 sheets of paper, the non-image area was visually observed. As a result, no adverse effects such as fogging due to abrasion of the photosensitive member appeared.

また、導体下地層が形成された基板を用い、図2及び図5と同様の配線基板製造装置に適用して無電界銅メッキ処理による導体層の形成、及びエポキシ樹脂粒子による絶縁層形成を行い、回路の導通試験、絶縁試験を行なったところ、問題はなく、信頼性が良好であることがわかった。   In addition, using a substrate on which a conductor underlayer is formed, it is applied to a wiring board manufacturing apparatus similar to that shown in FIGS. 2 and 5, and a conductor layer is formed by electroless copper plating and an insulating layer is formed by epoxy resin particles. When the circuit continuity test and the insulation test were performed, it was found that there was no problem and the reliability was good.

実施例2
実施例1において、外添剤としてステアリン酸亜鉛を加えない以外は同様にして、平均粒径8.0μmのトナー粒子を得た。
Example 2
In Example 1, toner particles having an average particle diameter of 8.0 μm were obtained in the same manner except that zinc stearate was not added as an external additive.

得られたトナーを同様に東芝テック製MFPのe−Studio450に適用し、実施例1と同様にして導体下地層が形成された基板を得た。また、評価のため同様にしてサンプルを作成し、目視及び反射率によりかぶりを評価したところ、画像周辺のちりは問題なく、非画像のかぶりは0.4%であった。   The obtained toner was similarly applied to e-Studio 450 of MFP manufactured by TOSHIBA TEC, and a substrate on which a conductor underlayer was formed was obtained in the same manner as in Example 1. Further, samples were similarly prepared for evaluation, and fogging was evaluated by visual observation and reflectance. As a result, there was no problem with dust around the image, and the fogging of the non-image was 0.4%.

更に連続して紙を通し、非画像部を目視にて観察したところ、3万枚にて感光体の磨耗によるかぶりが発生したが、感光体を交換すると問題は無くなった。   Further, when paper was continuously passed and the non-image area was visually observed, fogging due to abrasion of the photoconductor occurred at 30,000 sheets, but the problem disappeared when the photoconductor was replaced.

また、導体下地層が形成された基板を用い、実施例1と同様にして無電界銅メッキ処理による導体層の形成、及び絶縁層形成を行い、回路の導通試験、絶縁試験を行なったところ、問題はなく、信頼性が良好であることがわかった。   Further, using the substrate on which the conductor underlayer was formed, the conductor layer was formed by electroless copper plating in the same manner as in Example 1, and the insulating layer was formed, and the circuit continuity test and the insulation test were performed. There was no problem and the reliability was found to be good.

比較例1
外添剤としてシリカR974を1重量部のみを使用すること以外は実施例1と同様にして平均粒径8.0μmのトナーを得た。
Comparative Example 1
A toner having an average particle size of 8.0 μm was obtained in the same manner as in Example 1 except that only 1 part by weight of silica R974 was used as an external additive.

得られたトナーを同様に東芝テック製MFPのe−Studio450に適用し、実施例1と同様にして導体下地層が形成された基板を得た。また、評価のため同様にしてサンプルを作成し、目視及び反射率によりかぶりを評価したところ、画像周辺のちりは少し多く、非画像のかぶりは0.9%と、悪い結果が得られた。   The obtained toner was similarly applied to e-Studio 450 of MFP manufactured by TOSHIBA TEC, and a substrate on which a conductor underlayer was formed was obtained in the same manner as in Example 1. Further, samples were similarly prepared for evaluation, and fogging was evaluated by visual observation and reflectance. As a result, there was a little dust around the image and a non-image fogging of 0.9% was obtained.

更に連続して紙を通し、非画像部を目視にて観察したところ、3万枚にて感光体の磨耗によるかぶりが発生した。感光体を交換してもかぶりが多く、トナーの帯電量の低下が見られた。   Further, paper was continuously passed through and the non-image area was visually observed. As a result, fogging due to abrasion of the photoconductor occurred on 30,000 sheets. Even when the photoconductor was replaced, fogging was large and the toner charge amount was reduced.

また、導体下地層が形成された基板を用い、実施例1と同様にして無電界銅メッキ処理による導体層の形成、及び絶縁層形成を行い、回路の導通試験、絶縁試験を行なったところ、絶縁性が不十分であり、十分な信頼性が得られないことがわかった。   Further, using the substrate on which the conductor underlayer was formed, the conductor layer was formed by electroless copper plating in the same manner as in Example 1, and the insulating layer was formed, and the circuit continuity test and the insulation test were performed. It was found that the insulation was insufficient and sufficient reliability could not be obtained.

比較例2
外添剤としてシリカR974を2重量部のみを使用する以外は実施例1と同様にして平均粒径8.0μmのトナーを得た。
Comparative Example 2
A toner having an average particle diameter of 8.0 μm was obtained in the same manner as in Example 1 except that only 2 parts by weight of silica R974 was used as an external additive.

得られたトナーを同様に東芝テック製MFPのe−Studio450に適用し、実施例1と同様にして導体下地層が形成された基板を得た。また、評価のため同様にしてサンプルを作成し、目視及び反射率によりかぶりを評価したところ、画像周辺のちりは良好であったが、非画像のかぶりは0.6%と、少し悪かった。   The obtained toner was similarly applied to e-Studio 450 of MFP manufactured by TOSHIBA TEC, and a substrate on which a conductor underlayer was formed was obtained in the same manner as in Example 1. Further, samples were prepared in the same manner for evaluation, and fogging was evaluated by visual observation and reflectance. As a result, the dust around the image was good, but the fogging of the non-image was a little bad at 0.6%.

更に紙を通してライフ確認を行ったところ、1万枚にて現像剤の帯電量の低下が見られ、かぶりが著しく増加した。   Further, when the life was confirmed through paper, a decrease in the charge amount of the developer was observed at 10,000 sheets, and the fog was remarkably increased.

また、導体下地層が形成された基板を用い、実施例1と同様にして無電界銅メッキ処理による導体層の形成、及び絶縁層形成を行い、回路の導通試験、絶縁試験を行なったところ、絶縁性が不十分であり、十分な信頼性が得られないことがわかった。   Further, using the substrate on which the conductor underlayer was formed, the conductor layer was formed by electroless copper plating in the same manner as in Example 1, and the insulating layer was formed, and the circuit continuity test and the insulation test were performed. It was found that the insulation was insufficient and sufficient reliability could not be obtained.

比較例3
外添剤としてシリカNAX50のみを2重量部使用する以外は実施例1と同様にして平均粒径8.0μmのトナーを得た。
Comparative Example 3
A toner having an average particle size of 8.0 μm was obtained in the same manner as in Example 1 except that only 2 parts by weight of silica NAX50 was used as an external additive.

得られたトナーを同様に東芝テック製MFPのe−Studio450に適用し、実施例1と同様にして導体下地層が形成された基板を得た。また、評価のため同様にしてサンプルを作成し、目視及び反射率によりかぶりを評価したところ、画像周辺のちりは多く、非画像のかぶりは1.2%と多かった。   The obtained toner was similarly applied to e-Studio 450 of MFP manufactured by TOSHIBA TEC, and a substrate on which a conductor underlayer was formed was obtained in the same manner as in Example 1. Further, samples were similarly prepared for evaluation, and fogging was evaluated by visual observation and reflectance. As a result, there were many dusts around the image, and fogging of non-images was as large as 1.2%.

また、導体下地層が形成された基板を用い、実施例1と同様にして無電界銅メッキ処理による導体層の形成、及び絶縁層形成を行い、回路の導通試験、絶縁試験を行なったところ、絶縁性が不十分であり、十分な信頼性が得られないことがわかった。   Further, using the substrate on which the conductor underlayer was formed, the conductor layer was formed by electroless copper plating in the same manner as in Example 1, and the insulating layer was formed, and the circuit continuity test and the insulation test were performed. It was found that the insulation was insufficient and sufficient reliability could not be obtained.

比較例4
銅粒子の粒子径を1.2μmとした以外は実施例1と同様にして平均粒径8.0μmのトナーを得た。
Comparative Example 4
A toner having an average particle size of 8.0 μm was obtained in the same manner as in Example 1 except that the particle size of the copper particles was 1.2 μm.

得られたトナーを同様に東芝テック製MFPのe−Studio450に適用し、実施例1と同様にして導体下地層が形成された基板を得た。また、評価のため同様にしてサンプルを作成し、目視及び反射率によりかぶりを評価したところ、画像周辺のちりがかなり増え、非画像部のかぶりは1.2%と多かった。   The obtained toner was similarly applied to e-Studio 450 of MFP manufactured by TOSHIBA TEC, and a substrate on which a conductor underlayer was formed was obtained in the same manner as in Example 1. Further, samples were similarly prepared for evaluation, and fogging was evaluated by visual observation and reflectance. As a result, dust around the image increased considerably, and fogging in the non-image area was as high as 1.2%.

また、導体下地層が形成された基板を用い、実施例1と同様にして無電界銅メッキ処理による導体層の形成、及び絶縁層形成を行い、回路の導通試験、絶縁試験を行なったところ、絶縁性が不十分であり、十分な信頼性が得られないことがわかった。   Further, using the substrate on which the conductor underlayer was formed, the conductor layer was formed by electroless copper plating in the same manner as in Example 1, and the insulating layer was formed, and the circuit continuity test and the insulation test were performed. It was found that the insulation was insufficient and sufficient reliability could not be obtained.

比較例5
外添剤としてシリカR974の代わりにR972(デクサ製、BET表面積135、平均粒径15nm,ジメチルジクロロシラン表面処理)を使用する以外は実施例1と同様にして、平均粒径8.0μmのトナーを得た。
Comparative Example 5
A toner having an average particle size of 8.0 μm as in Example 1 except that R972 (manufactured by Dexa, BET surface area 135, average particle size 15 nm, dimethyldichlorosilane surface treatment) is used as an external additive instead of silica R974. Got.

得られたトナーを同様に東芝テック製MFPのe−Studio450に適用し、実施例1と同様にして導体下地層が形成された基板を得た。また、評価のため同様にしてサンプルを作成し、目視及び反射率によりかぶりを評価したところ、画像周辺のちりは多く、非画像部のかぶりは1.1%と多かった。   The obtained toner was similarly applied to e-Studio 450 of MFP manufactured by TOSHIBA TEC, and a substrate on which a conductor underlayer was formed was obtained in the same manner as in Example 1. Further, samples were similarly prepared for evaluation, and fogging was evaluated by visual observation and reflectance. As a result, there were many dusts around the image, and fogging in the non-image area was as large as 1.1%.

また、導体下地層が形成された基板を用い、実施例1と同様にして無電界銅メッキ処理による導体層の形成、及び絶縁層形成を行い、回路の導通試験、絶縁試験を行なったところ、絶縁性が不十分であり、十分な信頼性が得られないことがわかった。   Further, using the substrate on which the conductor underlayer was formed, the conductor layer was formed by electroless copper plating in the same manner as in Example 1, and the insulating layer was formed, and the circuit continuity test and the insulation test were performed. It was found that the insulation was insufficient and sufficient reliability could not be obtained.

本発明の配線基板作成用トナーの一例を表す模式図Schematic diagram showing an example of a wiring board preparation toner of the present invention 電子写真方式の配線基板製造装置の一例を表す概略図Schematic showing an example of an electrophotographic wiring board manufacturing apparatus 電子写真方式の配線基板製造装置の他の一例を表す概略図Schematic showing another example of an electrophotographic wiring board manufacturing apparatus 本発明にかかる配線基板の製造工程の一例を説明するための模式的な断面図Typical sectional drawing for demonstrating an example of the manufacturing process of the wiring board concerning this invention 本発明にかかる配線基板の製造工程の一例を説明するための模式的な断面図Typical sectional drawing for demonstrating an example of the manufacturing process of the wiring board concerning this invention 本発明にかかる配線基板の製造工程の一例を説明するための模式的な断面図Typical sectional drawing for demonstrating an example of the manufacturing process of the wiring board concerning this invention

符号の説明Explanation of symbols

1…導電性粒子、2…熱硬化性樹脂、3…小粒径金属酸化物粒子、4…大粒径金属酸化物粒子、5…トナー粒子、6…外添剤、7…トナー、10…配線基板、11…基板、12…導体下地層、13…メッキ層、14…絶縁層、22…樹脂粒子、200…感光体ドラム、201…帯電器、202…レーザ発生・走査装置、202a…レーザ光、203…現像装置、204…転写装置、205…樹脂硬化装置、206…樹脂エッチング装置、207…無電解メッキ槽   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Conductive particle, 2 ... Thermosetting resin, 3 ... Small particle size metal oxide particle, 4 ... Large particle size metal oxide particle, 5 ... Toner particle, 6 ... External additive, 7 ... Toner, 10 ... Circuit board, 11 ... substrate, 12 ... conductor underlayer, 13 ... plated layer, 14 ... insulating layer, 22 ... resin particles, 200 ... photosensitive drum, 201 ... charger, 202 ... laser generating / scanning device, 202a ... laser Light, 203 ... developing device, 204 ... transfer device, 205 ... resin curing device, 206 ... resin etching device, 207 ... electroless plating bath

Claims (6)

未硬化の熱硬化性樹脂を主成分とするバインダー樹脂、及び1μm以下の平均粒径を有する導電性粒子15〜70重量%を含有するトナー粒子と、該トナー粒子に外添された、150m2/g以上のBET表面積を有する疎水化処理された第1の金属酸化物粒子、及び70m2/g以下のBET表面積を有し、該第1の金属酸化物粒子の平均粒径よりも大きい平均粒径を有する第2の金属酸化物粒子を含有する外添剤と含むことを特徴とする配線基板作成用トナー。 Toner particles containing 15 to 70% by weight of conductive particles having an average particle size of 1 μm or less, binder resin mainly composed of uncured thermosetting resin, and 150 m 2 externally added to the toner particles. Hydrophobized first metal oxide particles having a BET surface area of not less than / g, and an average having a BET surface area of not more than 70 m 2 / g and greater than the average particle diameter of the first metal oxide particles A toner for preparing a wiring board, comprising: an external additive containing second metal oxide particles having a particle size. 前記外添剤は、さらに金属石鹸を含むことを特徴とする請求項1に記載のトナー。   The toner according to claim 1, wherein the external additive further contains a metal soap. 前記導電性材料粒子は、銅、ニッケル、コバルト、銀、パラジウム、ロジウム、金、白金、及びイリジウムからなる群から選択される少なくとも1種の金属を含有する請求項1または2に記載のトナー。   The toner according to claim 1, wherein the conductive material particles contain at least one metal selected from the group consisting of copper, nickel, cobalt, silver, palladium, rhodium, gold, platinum, and iridium. 前記小粒径金属酸化物粒子の添加量は0.3〜1.5重量%であり、前記大粒径金属酸化物粒子の添加量は0.5〜2.0重量%である請求項1ないし3のいずれか1項に記載のトナー。   2. The addition amount of the small particle size metal oxide particles is 0.3 to 1.5% by weight, and the addition amount of the large particle size metal oxide particles is 0.5 to 2.0% by weight. 4. The toner according to any one of items 3 to 3. 未硬化の熱硬化性樹脂を主成分とするバインダー樹脂、1μm以下の平均粒径を有する導電性粒子15〜70重量%を含有するトナー粒子と、該トナー粒子に外添された、150m2/g以上のBET表面積を有する疎水化処理された第1の金属酸化物粒子、及び70m2/g以下のBET表面積を有し、該第1の金属酸化物粒子の平均粒径よりも大きい平均粒径を有する第2の金属酸化物粒子を含有する外添剤と含む配線基板作成用トナーを用いて、静電潜像を現像してトナー像を形成する工程、
得られたトナー像を基板上に転写した後、加熱することにより、未硬化の熱硬化性樹脂を硬化せしめ、導体下地層を形成する工程、及び
該導体下地層上に、導電性材料をメッキすることにより、導体層を形成する工程を具備することを特徴とする配線基板の製造方法。
Binder resin whose main component is uncured thermosetting resin, toner particles containing 15 to 70% by weight of conductive particles having an average particle size of 1 μm or less, and 150 m 2 / externally added to the toner particles The hydrophobized first metal oxide particles having a BET surface area of not less than g and an average particle having a BET surface area of not more than 70 m 2 / g and larger than the average particle diameter of the first metal oxide particles A step of developing a latent electrostatic image to form a toner image using a toner for forming a wiring board containing an external additive containing second metal oxide particles having a diameter;
After the obtained toner image is transferred onto the substrate, the uncured thermosetting resin is cured by heating to form a conductor underlayer, and a conductive material is plated on the conductor underlayer. A process for producing a wiring board comprising the step of forming a conductor layer.
前記導体層の形成は、無電解メッキあるいは無電解メッキと電解メッキの併用により行われる請求項5に記載の方法。   The method according to claim 5, wherein the conductor layer is formed by electroless plating or a combination of electroless plating and electrolytic plating.
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