JP2005291861A - 温度特性補正方法および計測装置 - Google Patents
温度特性補正方法および計測装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005291861A JP2005291861A JP2004106013A JP2004106013A JP2005291861A JP 2005291861 A JP2005291861 A JP 2005291861A JP 2004106013 A JP2004106013 A JP 2004106013A JP 2004106013 A JP2004106013 A JP 2004106013A JP 2005291861 A JP2005291861 A JP 2005291861A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- pressure sensor
- measurement
- pressure
- main body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
【解決手段】 計測環境に設けられた圧力変換器が計測対象の状態に応じて生成した流体圧力を計測装置本体に設けられた圧力センサに伝達し、この圧力センサに加わる流体圧力から前記計測環境における前記計測対象の状態を計測する計測装置において、圧力変換器が設けられた計測環境を一定に保つと共に計測装置本体に温度サイクルを付与する。そしてこの温度サイクルを与えた条件下において前記圧力センサに加えられた温度とそのときの前記圧力センサによる計測値とを互いに異なる温度においてそれぞれ求め、これらの温度と計測値との相関から前記圧力センサに対する温度補正式を求めて前記圧力センサによる計測値を補正する。
【選択図】 図2
Description
また同時に本発明は、上記温度特性補正方法を実行するに適した機能を備えた計測装置を提供することを目的としている。
<a> 前記圧力変換器が設けられた計測環境を一定に保つと共に前記計測装置本体に温度サイクルを付与し、
<b> この温度サイクルを与えた条件下において前記圧力センサに加えられた温度とそのときの前記圧力センサによる計測値とを、互いに異なる温度においてそれぞれ求め、
<c> これらの温度と計測値との相関から前記圧力センサに対する温度補正式を求めて前記圧力センサによる計測値を補正する
ことを特徴としている。
<A> 圧力センサを備えた計測装置本体と、
<B> この計測装置本体に外付けされて計測環境に設置され、計測対象の状態に応じて生成した流体圧力を前記圧力センサに伝達する圧力変換器と、
<C> 前記計測装置本体に組み込まれた温度センサと、
<D> 前記計測装置本体に加わる温度の変化に伴う互いに異なる温度環境において上記温度センサにて計測される温度と前記圧力変換器を介して前記圧力センサにより計測される計測値とをそれぞれ対応付けて記憶するメモリと、
<E> このメモリに記憶された温度と計測値との相関に基づいて前記圧力センサに対する温度補正式を求める補正式算出手段と、
<F> この補正式算出手段にて算出された温度補正式に従って前記圧力センサによる計測値を補正して出力する補正手段と
を備えて構成される。
図1はリモートシール式の圧力測定装置(計測装置)の要部概略構成図、この圧力測定装置は、圧力センサを備えた計測装置本体10と、この計測装置10に外付けされる第1の圧力変換器11とを備えて構成される。上記圧力センサは、例えば半導体型の差圧センサ1とこの差圧センサ1に圧力を導入する一対のダイヤフラム13,16を備えたものからなる。また第1の圧力変換器11は、測定環境の圧力Pxを受けて撓みを生じるダイヤフラムを備えたもので、このダイヤフラムと前記圧力センサの一方のダイヤフラム13との間を圧力伝搬媒体(シリコーンオイル等の圧力油)を封入したキャピラリーチューブ12を介して連結することで前記計測装置本体10に外付けされる。また圧力センサの他方のダイヤフラム16には、同様にキャピラリーチュープ15を介して参照圧力(例えば大気圧)Poを導入する為の第2の圧力変換器14が連結される。
PV(T)=aT2+bT+c
として表す。そしてこの近似式(温度特性)に前記メモリ5に記憶された温度Tmax,Tmin,Tstdと計測値PVTmax,PVTmin,PVTstdとをそれぞれ代入して、その係数a,b,cをそれぞれ算出する[ステップS4]。
即ち、工場等における計測装置本体10に対する温度校正処理は、例えば特定の基準温度Tref(例えば25℃)における差圧センサ1の出力Pと、計測装置本体10から外部出力される出力データPVとの図3(a)に破線で示すような入出力関係αは、例えば
PV=m・P+n
なる一次式で近似される。この近似式における係数mで示される傾き(スパン)と係数nで示されるオフセット(ゼロ点)を調整することで、前記出力Pと出力データPVとの関係が図3(a)に実線で示すような入出力特性βとなるように、その入出力特性が補正される。上述した近似式で示される計測特性(入出力特性)を所定の動作保証温度範囲の各温度点でそれぞれ求めることで、前記差圧センサ1の出力(計測値)に対する補正関数F(P,T)が求められ、この補正関数F(P,T)の下で差圧センサ1の出力を補正することで前記計測装置10の出力データPVが
PV=F(P,T)
として求められることになる。
PV(T)=aT2+bT+c
として示される。そしてこの温度特性PV(T)は、圧力変換器11に加わる環境(この例では圧力と温度)を一定にした状態で、しかも前述したように前記計測装置本体10の基本的な入出力特性を校正した状態で求められるものである。従って上述した温度特性PV(T)として示される出力データPVの変化分は、専ら、外付けされた第1の圧力変換器11およびキャピラリーチューブ12に起因して新たに生じた計測誤差成分であるとして捉えることができる。即ち、計測装置本体10に対する補正関数F(P,T)は、予め準備された標準的な圧力変換器を取り付けることを前提として求められている。また外付けされた第1の圧力変換器11が設けられる計測環境は、通常、高精度に温度管理された工業プロセスであることが多い。これ故、上記計測環境を一定化しておけば、計測装置本体10に温度サイクルを加えたときに生じる出力変化分である温度特性PV(T)は、圧力変換器の仕様の違い、およびキャピラリーチューブ12を介する圧力伝達特性の変化によるものと考えることができる。
PV=F(P,T)−PV(T)
=F(P,T)−[aT2+bT+c]
としてその補正式を求め[ステップS5]、この温度補正式に従って前記差圧センサ1の出力Pを補正すれば計測誤差のない計測データPV、つまり温度補正した計測データPVを得ることが可能となる[ステップS6]。
2 温度センサ
3 マイクロプロセッサ
5 メモリ
10 計測装置本体
11 第1の圧力変換器(圧力変換器)
12,15 キャピラリーチューブ
13,14 ダイヤフラム
16 第2の圧力変換器
Claims (6)
- 計測環境に設けられた圧力変換器が計測対象の状態に応じて生成した流体圧力を計測装置本体に設けられた圧力センサに伝達し、この圧力センサに加わる流体圧力から前記計測環境における前記計測対象の状態を計測する計測装置において、
前記計測環境を一定に保つと共に前記計測装置本体に温度サイクルを付与し、前記圧力センサに加えられた温度とそのときの該圧力センサによる計測値とを互いに異なる温度においてそれぞれ求め、これらの温度と計測値との相関から前記圧力センサに対する温度補正式を求めて前記圧力センサによる計測値を補正することを特徴とする温度特性補正方法。 - 前記圧力変換器は、前記計測装置本体に外付けされて該計測装置本体から離れた計測環境に設けられるものである請求項1に記載の温度特性補正方法。
- 前記圧力センサに加えられた温度とそのときの該圧力センサによる計測値は、最高温度時、最低温度時、および標準温度時にそれぞれ求められるものである請求項1に記載の温度特性補正方法。
- 前記温度サイクルは、恒温槽を用いて、または前記計測装置本体の設置環境における日間温度差として与えられるものである請求項1に記載の温度特性補正方法。
- 圧力センサを備えた計測装置本体と、
この計測装置本体に外付けされて計測環境に設置され、計測対象の状態に応じて生成した流体圧力を前記圧力センサに伝達する圧力変換器と、
前記計測装置本体に組み込まれた温度センサと、
前記計測装置本体に加わる温度の変化に伴う互いに異なる温度環境において上記温度センサにて計測される温度と前記圧力変換器を介して前記圧力センサにより計測される計測値とをそれぞれ対応付けて記憶するメモリと、
このメモリに記憶された温度と計測値との相関に基づいて前記圧力センサに対する温度補正式を求める補正式算出手段と、
算出された温度補正式に従って前記圧力センサによる計測値を補正して出力する補正手段と
を具備したことを特徴とする計測装置。 - 前記圧力センサは、一対のダイヤフラムを介してそれぞれ加えられる圧力の差を検出する差圧センサからなり、
前記圧力変換器は、圧力伝搬媒体を充填したキャピラリーチューブを介して前記ダイヤフラムに連結されて上記圧力伝搬媒体を封入する圧力変換用ダイヤフラムを備えたものである請求項5に記載の計測装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004106013A JP4718121B2 (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | 温度特性補正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004106013A JP4718121B2 (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | 温度特性補正方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005291861A true JP2005291861A (ja) | 2005-10-20 |
JP4718121B2 JP4718121B2 (ja) | 2011-07-06 |
Family
ID=35324956
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004106013A Expired - Lifetime JP4718121B2 (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | 温度特性補正方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4718121B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010096630A (ja) * | 2008-10-16 | 2010-04-30 | Yokogawa Electric Corp | 信号処理装置 |
CN110553786A (zh) * | 2019-10-11 | 2019-12-10 | 北京七星华创流量计有限公司 | 压力传感器的补偿方法和*** |
US20210139318A1 (en) * | 2019-11-11 | 2021-05-13 | Robert Bosch Gmbh | Method for determining at least one temperature compensation parameter for the compensation of temperature effects on the measured values of a sensor system |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102706511B (zh) * | 2012-05-29 | 2014-03-12 | 西北工业大学 | 一种实时环境下通过互联网进行压力量值传递的装置 |
JP6296031B2 (ja) * | 2015-09-28 | 2018-03-20 | 株式会社村田製作所 | 圧力センサ製造装置および圧力センサ製造方法 |
-
2004
- 2004-03-31 JP JP2004106013A patent/JP4718121B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010096630A (ja) * | 2008-10-16 | 2010-04-30 | Yokogawa Electric Corp | 信号処理装置 |
CN110553786A (zh) * | 2019-10-11 | 2019-12-10 | 北京七星华创流量计有限公司 | 压力传感器的补偿方法和*** |
CN110553786B (zh) * | 2019-10-11 | 2021-09-24 | 北京七星华创流量计有限公司 | 压力传感器的补偿方法和*** |
US20210139318A1 (en) * | 2019-11-11 | 2021-05-13 | Robert Bosch Gmbh | Method for determining at least one temperature compensation parameter for the compensation of temperature effects on the measured values of a sensor system |
US11945715B2 (en) * | 2019-11-11 | 2024-04-02 | Robert Bosch Gmbh | Method for determining at least one temperature compensation parameter for the compensation of temperature effects on the measured values of a sensor system |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4718121B2 (ja) | 2011-07-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2453931C1 (ru) | Улучшенная компенсация температуры многопараметрического датчика давления | |
JP5097132B2 (ja) | プロセス変量トランスミッタにおける多相オーバーリーディング補正 | |
RU2145703C1 (ru) | Преобразователь давления с вынесенной герметичной диафрагмой и контуром коррекции и способ измерения давления | |
JP5337542B2 (ja) | マスフローメータ、マスフローコントローラ、それらを含むマスフローメータシステムおよびマスフローコントローラシステム | |
US8042401B2 (en) | Isolation system for process pressure measurement | |
US5811690A (en) | Differential pressure transmitter with highly accurate temperature compensation | |
US8069729B2 (en) | Pressure gauge | |
JP5110878B2 (ja) | プロセス圧力センサのキャリブレーション | |
US20180238741A1 (en) | Process transmitter isolation compensation | |
CN106248296A (zh) | 压力变送器的多变元、变温标定方法 | |
JP4718121B2 (ja) | 温度特性補正方法 | |
JP2017044577A (ja) | ガスセンサ較正装置及びガスセンサ較正方法 | |
JPS5932916Y2 (ja) | NaK置換型圧力測定装置 | |
US11221266B2 (en) | Automatic zero reset for a pressure transducer | |
EP0916079A1 (en) | Method and apparatus for increasing update rates in measurement instruments | |
JP7106756B2 (ja) | 遠隔シールダイヤフラムシステム | |
KR100946255B1 (ko) | 차동형 수중 압력 측정 장치 | |
US11226242B2 (en) | Process transmitter isolation compensation | |
JP2001074578A (ja) | 差圧測定装置の温度特性調整方法 | |
JP2000180284A (ja) | 隔膜置換器付差圧・圧力伝送器 | |
CN106321075B (zh) | 电子压力计及用于电子压力计的标定方法 | |
US20240142100A1 (en) | Liquid level signal correction system and method | |
RU8802U1 (ru) | Камера стабилизационная | |
JP2010096630A (ja) | 信号処理装置 | |
JP2021117110A (ja) | 圧力センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051226 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080313 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20080326 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080519 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081022 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20081204 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20090311 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090409 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20090515 |
|
A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Effective date: 20090731 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110304 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Effective date: 20110331 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140408 Year of fee payment: 3 |