JP2005259591A - Reduced pressure treatment device - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a reduced pressure treatment device in which the amount of gas leakage from a seal edge in vacuum discharge gas can be reduced, and high vacuum can be maintained for a long time. <P>SOLUTION: An exhaust cup 1 is provided with the columnar main body 100, the main exhaust part 104 which is in the center location of the main body and which opens an aperture over almost all the face in a contact face to a rear face flat glass at a PDP 200, and a differential exhaust gas part 102 which is positioned in the outer periphery of the main exhaust part 104, and which opens an aperture over almost all the face in the contact face to the rear face glass 203. Between a seal edge 107a of the main exhaust part 104 and respective seal edges 107b of the differential exhaust gas part 102 and the PDP 200, metallic gaskets 109a, 109b are arranged, and the value of a face pressure A (MPa) to be loaded on the seal edges 107a, 107b of the exhaust cup 1 divided by the value of a yield strength B (Kg/mm<SP>2</SP>) of the gaskets 109a, 109b in 0.2% distortion becomes 0.01 or more. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、減圧処理装置に関し、特に、複数の板ガラスと、該板ガラスの間に形成された減圧層とを有するガラスパネルの減圧処理装置に関する。   The present invention relates to a reduced pressure processing apparatus, and more particularly to a reduced pressure processing apparatus for a glass panel having a plurality of plate glasses and a reduced pressure layer formed between the plate glasses.

従来、真空ガラス、例えば「スペーシア」（登録商標）やプラズマディスプレイパネル（以下「ＰＤＰ」という。）等に好適な基本構造を有するガラスパネルとして、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すような対向する２枚の板ガラス６００，６０１と、該板ガラス６００，６０１の間に形成される減圧層６０２と、該減圧層６０２の周縁をシールする低融点ガラスからなる周縁シール材６０３と、板ガラス６００を貫通する穴に一端が埋め込まれ、該一端側において低融点ガラスからなるシール材６０４によって板ガラス６００に溶着される排気管６０５とを備えるガラスパネル６０６が知られている。このガラスパネル６０６における減圧層６０２は、真空ガラスにおいては真空とされ、ＰＤＰにおいては減圧された後、キセノン（Ｘｅ）やネオン（Ｎｅ）等の希ガスが充填される。   Conventionally, as a glass panel having a basic structure suitable for vacuum glass, for example, “Spacia” (registered trademark), a plasma display panel (hereinafter referred to as “PDP”), and the like, shown in FIGS. 6 (a) and 6 (b). Two sheet glass 600 and 601 which face each other, a decompression layer 602 formed between the sheet glasses 600 and 601, a peripheral sealing material 603 made of low melting point glass that seals the periphery of the decompression layer 602, and a sheet glass There is known a glass panel 606 having one end embedded in a hole penetrating through 600 and an exhaust pipe 605 welded to the plate glass 600 by a sealing material 604 made of low-melting glass on the one end side. The decompression layer 602 in the glass panel 606 is evacuated in the vacuum glass and decompressed in the PDP, and then filled with a rare gas such as xenon (Xe) or neon (Ne).

そして、このガラスパネル６０６は、ペアリングされた板ガラス６００，６０１の周縁部に塗布された周縁シール材６０３と、板ガラス６００及び排気管６０５の接合部に塗布されたシール材６０４とを焼成によって溶融して板ガラス６００，６０１を接合し且つ排気管６０５を板ガラス６００に溶着した後、排気管６０５を介して減圧層６０２を減圧し、さらに排気管６０５の他端を封じ切ることによって作製される。   And this glass panel 606 fuse | melts the peripheral sealing material 603 apply | coated to the peripheral part of the paired plate glass 600,601, and the sealing material 604 apply | coated to the junction part of the plate glass 600 and the exhaust pipe 605 by baking. Then, after the plate glasses 600 and 601 are joined and the exhaust pipe 605 is welded to the plate glass 600, the decompression layer 602 is decompressed through the exhaust pipe 605, and the other end of the exhaust pipe 605 is sealed off.

減圧層６０２の減圧の際には、排気管６０５の他端にニトリルゴム（ＮＢＲ）等からなるＯ−リング６０７を介して減圧管６０８が接続される。減圧管６０８は、一端において径が拡大されて形成されたゲッタ室６０９を有する円管であり、その他端は不図示のターボ分子ポンプ（以下「ＴＭＰ」という。）に接続され、ゲッタ室６０９内に非蒸発型ゲッタ６１０を有する（図６（ｂ））。そして、ガラスパネル６０６及び減圧管６０８を不図示の炉内において所定温度まで加熱して減圧層６０２に存在する水分、有機物、油脂等をガス化させると共に、非蒸発型ゲッタ６１０を活性化し、その後、ＴＭＰを稼働させて上記ガス及び空気を減圧層６０２から除去して減圧層６０２を減圧すると共に、活性化された非蒸発型ゲッタ６１０によって減圧管６０８を流れる上記ガスを吸着して除去するが、Ｏ−リング６０７は高温に耐えることができないため、非蒸発型ゲッタ６１０を高温で活性化することができず、減圧層６０２の減圧の効率低下を招くという問題があり、特に、この効率低下により、減圧層６０２の減圧は長時間となるため、ＰＤＰにおいては蛍光体膜の劣化等を招くという問題があった。   When the decompression layer 602 is decompressed, the decompression pipe 608 is connected to the other end of the exhaust pipe 605 via an O-ring 607 made of nitrile rubber (NBR) or the like. The decompression pipe 608 is a circular pipe having a getter chamber 609 formed with an enlarged diameter at one end, and the other end is connected to a turbo molecular pump (hereinafter referred to as “TMP”) (not shown). Has a non-evaporable getter 610 (FIG. 6B). Then, the glass panel 606 and the decompression tube 608 are heated to a predetermined temperature in a furnace (not shown) to gasify moisture, organic matter, oils and the like present in the decompression layer 602, and activate the non-evaporable getter 610, The TMP is activated to remove the gas and air from the decompression layer 602 to decompress the decompression layer 602, and the activated non-evaporable getter 610 adsorbs and removes the gas flowing through the decompression tube 608. Since the O-ring 607 cannot withstand high temperatures, the non-evaporable getter 610 cannot be activated at high temperatures, leading to a reduction in the efficiency of decompression of the decompression layer 602. As a result, the decompression of the decompression layer 602 takes a long time, and the PDP has a problem of deteriorating the phosphor film.

そして、近年、この長時間に亘る減圧層６０２の減圧を避けるため、Ｏ−リングの代わりに金属製のガスケットを使用した全金属製の排気装置が減圧層６０２の減圧に用いられるようになった。   In recent years, in order to avoid the decompression of the decompression layer 602 over a long period of time, an all-metal exhaust device using a metal gasket instead of the O-ring has been used to decompress the decompression layer 602. .

この全金属製の排気装置である排気カップ７００は、図７（ａ）に示すように、ステンレス製の円柱部材から成り、その中心軸上に形成された円筒状の本排気部７０１と、該本排気部７０１と連通する金属製の本排気系７０２と、本排気部７０１を同心円的に包囲する環状溝状差動排気部７０３と、該差動排気部７０３と連通する金属製の差動排気系７０４と、本排気部７０１内に配設される横置きのコイル状のフィラメント７０５とを備える。図７（ｂ）に示すように、本排気部７０１が板ガラス６００に接触する部分（以下「シールエッジ」という。）は、本排気部７０１の外周縁を形成するシールエッジ７００ａと差動排気部７０３の外周縁を形成するシールエッジ７００ｂとから成り、シールエッジ７００ａ及びシールエッジ７００ｂの各下端面の平面度は可能な限りフラットとして大きな掻き傷の無いようにすることで、減圧層６０２の減圧の際において、排気カップ７００は、フィラメント７０５がガラスパネル６０６の排気管６０５に対向するように、板ガラス６００上に確実に装着される。このとき、差動排気部７０３は不図示のロータリーポンプ（以下「ＲＰ」という。）によって減圧されるので、排気カップ７００は板ガラス６００に吸着する（例えば、特許文献１参照）。   As shown in FIG. 7 (a), an exhaust cup 700, which is an exhaust device made of all metal, comprises a cylindrical main exhaust part 701 formed of a stainless steel column member and formed on the central axis thereof, as shown in FIG. A metal main exhaust system 702 that communicates with the main exhaust part 701, an annular groove-shaped differential exhaust part 703 that concentrically surrounds the main exhaust part 701, and a metal differential that communicates with the differential exhaust part 703. An exhaust system 704 and a horizontal coil-like filament 705 disposed in the main exhaust unit 701 are provided. As shown in FIG. 7B, a portion where the main exhaust portion 701 comes into contact with the glass sheet 600 (hereinafter referred to as “seal edge”) is a seal edge 700 a that forms the outer peripheral edge of the main exhaust portion 701 and a differential exhaust portion. 703, and the flatness of each lower end surface of the seal edge 700a and the seal edge 700b is as flat as possible so that there is no large scratch, thereby reducing the pressure of the decompression layer 602. At this time, the exhaust cup 700 is securely mounted on the plate glass 600 such that the filament 705 faces the exhaust pipe 605 of the glass panel 606. At this time, since the differential exhaust unit 703 is decompressed by a rotary pump (hereinafter referred to as “RP”) (not shown), the exhaust cup 700 is adsorbed to the plate glass 600 (for example, see Patent Document 1).

この排気カップ７００では、Ｏ−リングを使用しないため、非蒸発型ゲッタを高温で活性化することができ、減圧層７０２の減圧における効率を向上することができる。
特表２００２−５３０１８４号公報 Since this exhaust cup 700 does not use an O-ring, the non-evaporable getter can be activated at a high temperature, and the pressure reduction efficiency of the pressure reduction layer 702 can be improved.
Special Table 2002-530184 gazette

しかしながら、上述した排気カップ７００は、シールエッジ７００ａ，７００ｂの平面度を高くして、減圧時の吸着度を高めても、０．１Ｐａ未満の圧力にまで減圧することができず、パネル内部の表面から発生するガスを排気するのに多大な時間を必要とした。   However, even if the exhaust cup 700 described above increases the flatness of the seal edges 700a and 700b and increases the degree of adsorption during decompression, it cannot be decompressed to a pressure of less than 0.1 Pa. It took a lot of time to exhaust the gas generated from the surface.

また、ディスプレイ用ガラスパネルにおいては、発光ガスを導入した場合に残留したガスが不純物となり、ガラスパネルの寿命を短縮させたり、発光特性を変化させたりしていた。   Further, in the display glass panel, when the luminescent gas is introduced, the residual gas becomes an impurity, which shortens the life of the glass panel or changes the light emission characteristics.

さらに、真空ガラスにおいては、内部との連通部を封止するために必要な真空度が十分に得られず、少し内部からガス脱離が生じると断熱性能が劣化するという問題が生じる。   Further, in the vacuum glass, the degree of vacuum necessary for sealing the communication portion with the interior cannot be obtained sufficiently, and there is a problem that the heat insulation performance deteriorates when gas desorption occurs slightly from the inside.

本発明の目的は、真空排気中のシールエッジからのガスリークの量を少なくすることができ、真空引き時間を短縮させ、且つ、高真空度を長時間維持することができる減圧処理装置を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a decompression processing apparatus that can reduce the amount of gas leak from a seal edge during evacuation, shorten the evacuation time, and maintain a high degree of vacuum for a long time. There is.

請求項１記載の減圧処理装置は、複数の板ガラス、該複数の板ガラスの間に設けられた減圧層、及び前記板ガラスの周縁部に配設されて前記減圧層と連通する排気孔を有するガラスパネルの前記板ガラスに接触するように構成された減圧処理装置であって、前記板ガラスとの接触面に開口し且つ前記排気孔と対向する減圧室と、前記板ガラスとの接触面に開口し且つ前記減圧室を包囲する環状の差動排気部と、前記減圧室の外周縁を形成する第１のシールエッジと前記板ガラスの間に敷設された金属板から成る第１のガスケットと、前記差動排気部の外周縁を形成する第２のシールエッジと前記板ガラスの間に敷設された金属板から成る第２のガスケット材とを備える減圧処理装置において、前記第１及び第２のシールエッジに係る面圧力Ａ（ＭＰａ）の値を０．２％ひずみ時の前記第１及び第２のガスケット材の耐力Ｂ（Ｋｇ／ｍｍ²）の値で割った第１の値が０．０１以上であることを特徴とする。 The reduced pressure processing apparatus according to claim 1, wherein the glass panel has a plurality of plate glasses, a reduced pressure layer provided between the plurality of plate glasses, and an exhaust hole that is disposed at a peripheral portion of the plate glass and communicates with the reduced pressure layer. a configured vacuum processing apparatus to contact the plate glass, a decompression chamber to open and opposite to the exhaust hole in the contact surface between the plate glass, open to the contact surface between the plate glass and the vacuum a differential pumping portion of the annular surrounding the chamber, a first gasket made of laid metal plate between the plate glass and the first seal edge for forming the outer peripheral edge of the vacuum chamber, said differential pumping region In a vacuum processing apparatus comprising a second seal edge forming an outer peripheral edge of the metal plate and a second gasket material made of a metal plate laid between the plate glasses, the surface pressure relating to the first and second seal edges A And wherein the first value divided by the value of the value of time distortion 0.2% MPa) first and yield strength of the second gasket material B (Kg / mm ²⁾ is 0.01 or more To do.

請求項２記載の減圧処理装置は、請求項１記載の減圧処理装置において、前記第１の値を、前記第１及び第２のガスケット材の厚みＣ（ｍｍ）で割った第２の値が０．１以上であることを特徴とする。   The decompression apparatus according to claim 2 is the decompression apparatus according to claim 1, wherein a second value obtained by dividing the first value by the thickness C (mm) of the first and second gasket materials is It is 0.1 or more.

請求項１記載の減圧処理装置によれば、減圧室の外周縁を形成する第１のシールエッジ及び差動排気部の外周縁を形成する第２のシールエッジの夫々と板ガラスの接触面に金属板から成る第１及び第２のガスケット材が敷設され、第１及び第２のシールエッジに係る面圧力Ａ（ＭＰａ）の値を０．２％ひずみ時の第１及び第２のガスケット材の耐力Ｂ（Ｋｇ／ｍｍ²）の値で割った第１の値が０．０１以上であるので、真空排気中のシールエッジからのガスリークの量を少なくすることができ、真空引き時間を短縮させ、且つ、高真空度を長時間維持することができる。 According to the decompression processing apparatus of claim 1, the first seal edge that forms the outer peripheral edge of the decompression chamber and the second seal edge that forms the outer peripheral edge of the differential exhaust portion and the contact surface of the plate glass with metal the first and second gasket material is laid a plate, the first and second gasket material values at strain 0.2% of the surface pressure a according to the first and second seal edge (MPa) since the first value divided by the value of the yield strength B (Kg / mm ²⁾ is 0.01 or more, it is possible to reduce the amount of gas leakage from the sealing edge in the evacuation, to shorten the evacuation time And a high degree of vacuum can be maintained for a long time.

請求項２記載の減圧処理装置によれば、第１の値を、第１及び第２のガスケット材の厚みＣ（ｍｍ）で割った第２の値が０．１以上であるとき、真空排気中のシールエッジからのガスリークの量を確実に少なくすることができる。   According to the decompression apparatus of claim 2, when the second value obtained by dividing the first value by the thickness C (mm) of the first and second gasket materials is 0.1 or more, the vacuum exhaust is performed. The amount of gas leak from the inside seal edge can be surely reduced.

本発明者等は、上記目的を達成すべく鋭意研究を行った結果、複数の板ガラス、該複数の板ガラスの間に設けられた減圧層、及び板ガラスの周縁部に配設されて減圧層と連通する排気孔を有するガラスパネルの板ガラスに接触する接触面に開口し且つ排気孔と対向する減圧室と、減圧室の外周にあってその全面に亘って開口する差動排気部と、減圧室の外周縁を形成する第１のシールエッジ及び差動排気部の夫々の外周縁を形成する第２のシールエッジの夫々に敷設された金属板から成る第１及び第２のガスケット材とを備える減圧処理装置において、第１及び第２のシールエッジに係る面圧力Ａ（ＭＰａ）の値を０．２％ひずみ時の第１及び第２のガスケット材の耐力Ｂ（Ｋｇ／ｍｍ²）の値で割った値が０．０１以上であると、真空排気中のシールエッジからのガスリークの量を少なくすることができ、真空引き時間を短縮させ、且つ、高真空度を長時間維持することができることを見出した。 As a result of intensive studies to achieve the above object, the present inventors have found that a plurality of plate glasses, a reduced pressure layer provided between the plurality of plate glasses, and a peripheral portion of the plate glass are communicated with the reduced pressure layer. A decompression chamber that opens to a contact surface that contacts the glass plate of the glass panel having an exhaust hole to be opposed to the exhaust hole, a differential exhaust portion that is located on an outer periphery of the decompression chamber and opens over the entire surface, and a decompression chamber reduced pressure and a first and second gasket members formed of a first seal edge and the differential pumping section metal plates laid in each of the second sealing edge forming the outer peripheral edge of each of which forms a peripheral edge in the processing apparatus, the value of the surface pressure of the first and second sealing edges a strength of the first and second gasket material values at strain 0.2% (MPa) B (Kg / mm 2) If the divided value is 0.01 or more, vacuum exhaust Of it is possible to reduce the amount of gas leakage from the sealing edge, to shorten the evacuation time, and found that it is possible to maintain a high degree of vacuum for a long time.

本発明は、上記知見に基づいてなされたものである。   The present invention has been made based on the above findings.

以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図１は、本発明の実施の形態に係る減圧処理装置の構成を概略的に示す図であり、（ａ）は、平面図であり、（ｂ）は、線Ｉｂ−Ｉｂに沿う断面図である。   FIG. 1 is a diagram schematically showing a configuration of a decompression processing apparatus according to an embodiment of the present invention, where (a) is a plan view and (b) is a cross-sectional view taken along line Ib-Ib. is there.

図１において、減圧処理装置としての排気カップ１は、円柱状の本体１００と、本体１００の中央位置において、ガラスパネルとしてのＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）２００における背面板ガラス２０３への接触面にほぼその全面に亘って開口する円筒状の本排気部１０４と、本排気部１０４を同心円的に包囲すると共に上述の背面板ガラス２０３への接触面にほぼその全面に亘って開口する環状溝状差動排気部１０２と、差動排気部１０２と連通する管状の差動排気系１０５と、本排気部１０４と連通する管状の本排気系１０６と、本排気部１０４内に配設される横置きのコイル状のフィラメント１０８とを備える。   In FIG. 1, an exhaust cup 1 as a decompression processing apparatus is substantially on the contact surface to a back plate glass 203 in a cylindrical main body 100 and a PDP (plasma display panel) 200 as a glass panel at the center position of the main body 100. A cylindrical main exhaust portion 104 that opens over the entire surface, and an annular groove-shaped differential exhaust that concentrically surrounds the main exhaust portion 104 and opens over the entire contact surface with the back plate glass 203 described above. , A tubular differential exhaust system 105 communicating with the differential exhaust section 102, a tubular main exhaust system 106 communicating with the main exhaust section 104, and a horizontal coil disposed in the main exhaust section 104 Shaped filament 108.

本排気部１０４の外周縁を形成する部分（以下「シールエッジ」という。）１０７ａと差動排気部１０２の外周縁を形成する部分（以下「シールエッジ」という。）１０７ｂは、その夫々の幅が０．５ｍｍ〜２．０ｍｍの範囲、例えば０．５ｍｍである。   A width (hereinafter referred to as “seal edge”) 107a forming the outer peripheral edge of the exhaust portion 104 and a portion (hereinafter referred to as “sealing edge”) 107b forming the outer peripheral edge of the differential exhaust portion 102 are each of the width. Is in the range of 0.5 mm to 2.0 mm, for example 0.5 mm.

差動排気系１０５は不図示のＲＰ（ロータリーポンプ）に接続される一方、本排気系１０６は不図示のＴＭＰ（ターボ分子ポンプ）に接続され、差動排気系１０５及び本排気系１０６は、排気カップ１がＰＤＰ２００に装着された際に、ＲＰ及びＴＭＰの作動によって減圧される。   The differential exhaust system 105 is connected to a RP (rotary pump) (not shown), while the main exhaust system 106 is connected to a TMP (turbo molecular pump) (not shown). The differential exhaust system 105 and the main exhaust system 106 are When the exhaust cup 1 is attached to the PDP 200, the pressure is reduced by the operation of the RP and TMP.

本排気部１０４内に配設されたフィラメント１０８は、図１（ａ）において本排気部１０４のほぼ中央に設けられ、接触面からの高さは約５ｍｍである。   The filament 108 disposed in the main exhaust unit 104 is provided at substantially the center of the main exhaust unit 104 in FIG. 1A, and the height from the contact surface is about 5 mm.

ここで、排気カップ１の材質はステンレスであり、特に、０〜５００℃の間において背面板ガラス２０３の膨張係数（８．５×１０^-6／℃）と排気カップ１の膨張係数との差の絶対値が２０×１０^-6／℃以下となる金属が用いられる。また、本排気系１０６及び差動排気系１０５の材質は金属である。 Here, the material of the exhaust cup 1 is stainless steel, in particular, of the difference between the coefficient of expansion (8.5 × 10 ^-6 / ℃) and expansion coefficient of the exhaust cup 1 of the back plate glass 203 in between 0 to 500 ° C. A metal having an absolute value of 20 × 10 ⁻⁶ / ° C. or less is used. The material of the exhaust system 106 and the differential exhaust system 105 is metal.

さらに、シールエッジ１０７ａ，１０７ｂとＰＤＰ２００の間には金属製のガスケット１０９ａ，１０９ｂが配される。このガスケット１０９ａ，１０９ｂの０．２％ひずみ時の耐力Ｂ（Ｋｇ／ｍｍ²）の値に対する排気カップ１のシールエッジ１０７ａ，１０７ｂにかかる面圧力Ａ（ＭＰａ）の値関係は、Ａ／Ｂ≧０．０１であることが好ましい。これにより、後述する図４の真空排気処理においてシールエッジ１０７ａ，１０７ｂからのガスリークの量を少なくすることができ、真空引き時間を短縮させ、且つ、高真空度を長時間維持することができる。 Further, metal gaskets 109 a and 109 b are disposed between the seal edges 107 a and 107 b and the PDP 200. The value relationship of the surface pressure A (MPa) applied to the seal edges 107a and 107b of the exhaust cup 1 with respect to the value of the proof stress B (Kg / mm ² ) at 0.2% strain of the gaskets 109a and 109b is A / B ≧ It is preferable that it is 0.01. As a result, the amount of gas leak from the seal edges 107a and 107b can be reduced in the evacuation process of FIG. 4 to be described later, the evacuation time can be shortened, and the high degree of vacuum can be maintained for a long time.

また、ガスケット１０９ａ，１０９ｂの厚みＣ（ｍｍ）の値と、上記値Ａ，Ｂとの関係は、Ａ／（Ｂ×Ｃ）≧０．１であることが好ましい。これにより、後述する図４の減圧処理においてシールエッジ１０７ａ，１０７ｂからのガスリークの量をより確実に少なくすることができる。   The relationship between the thickness C (mm) of the gaskets 109a and 109b and the values A and B is preferably A / (B × C) ≧ 0.1. Accordingly, the amount of gas leak from the seal edges 107a and 107b can be more reliably reduced in the decompression process of FIG.

次に、排気カップ１が装着されるＰＤＰ２００について図面を参照しながら説明する。   Next, the PDP 200 to which the exhaust cup 1 is attached will be described with reference to the drawings.

図２は、図１におけるＰＤＰ２００の構成を概略的に示す図であり、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は部分断面図である。   2A and 2B are diagrams schematically showing the configuration of the PDP 200 in FIG. 1, wherein FIG. 2A is a perspective view and FIG. 2B is a partial cross-sectional view.

図２において、ＰＤＰ２００は、厚さが、例えば２．８ｍｍの前面板ガラス２０１と、前面板ガラス２０１との間に減圧層２０２を形成すべく前面板ガラス２０１から、例えば０．１ｍｍの間隔を隔てて配設され、厚さが、例えば２．８ｍｍの背面板ガラス２０３とから成り、前面板ガラス２０１及び背面板ガラス２０３は、その外周縁において低融点ガラスフリットからなる封着部２０４により封着される。   In FIG. 2, the PDP 200 is arranged at a distance of, for example, 0.1 mm from the front plate glass 201 so as to form a decompression layer 202 between the front plate glass 201 having a thickness of, for example, 2.8 mm and the front plate glass 201. The front plate glass 201 and the back plate glass 203 are sealed by a sealing portion 204 made of a low-melting glass frit at the outer peripheral edge thereof.

前面板ガラス２０１の内面上には、透明電極２０５ａ及び金属電極２０５ｂとから成る表示電極２０５がパターン形成され、該表示電極２０５を覆うように誘電体ガラス層２０６が積層され、誘電体ガラス層２０６上には、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）製誘電体保護層２０７が積層されている。   A display electrode 205 composed of a transparent electrode 205 a and a metal electrode 205 b is patterned on the inner surface of the front plate glass 201, and a dielectric glass layer 206 is laminated so as to cover the display electrode 205. A dielectric protective layer 207 made of magnesium oxide (MgO) is laminated.

また、背面板ガラス２０３の内面上には、蛍光体２１２〜２１４の発光を制御するアドレス電極２０８が所定のピッチでスパッタリングやスクリーン印刷によってパターン形成され、該アドレス電極２０８を覆うように誘電体ガラス層２０９が同じくスパッタリングやスクリーン印刷によって積層され、該誘電体ガラス層２０９上には、複数のチャンネル状放電空間２１０を画成する複数のガラス製リブ２１１がサンドブラスト法やブレード成型法によってパターン成形され、各放電空間２１０におけるリブ２１１の表面には、カラー表示をすべく赤色（Ｒ）の蛍光体２１２、緑色（Ｇ）の蛍光体２１３、及び青色（Ｂ）の蛍光体２１４が順に連続して塗布されている。   On the inner surface of the back plate glass 203, the address electrodes 208 for controlling the light emission of the phosphors 212 to 214 are patterned by sputtering or screen printing at a predetermined pitch, and a dielectric glass layer is formed so as to cover the address electrodes 208 209 is also laminated by sputtering or screen printing, and on the dielectric glass layer 209, a plurality of glass ribs 211 defining a plurality of channel-like discharge spaces 210 are patterned by sandblasting or blade molding, A red (R) phosphor 212, a green (G) phosphor 213, and a blue (B) phosphor 214 are successively applied to the surface of the rib 211 in each discharge space 210 in order to perform color display. Has been.

リブ２１１は、その高さが、例えば０．１ｍｍであり、前面板ガラス２０１と背面板ガラス２０３との間隔を約０．１ｍｍに保持する。また、放電空間２１０には、希ガスが封入されている。希ガスは、例えばネオン（Ｎｅ）とキセノン（Ｘｅ）を組成とする混合ガス系が用いられており、その封入圧力は約４０〜７０ｋＰａの範囲に設定される。   The height of the rib 211 is, for example, 0.1 mm, and the distance between the front plate glass 201 and the back plate glass 203 is maintained at about 0.1 mm. The discharge space 210 is filled with a rare gas. As the rare gas, for example, a mixed gas system composed of neon (Ne) and xenon (Xe) is used, and the sealing pressure is set in a range of about 40 to 70 kPa.

そして、蛍光体２１２〜２１４は、放電空間２１０への放電によって発生する波長の短い紫外線により励起発光する。   Then, the phosphors 212 to 214 are excited to emit light by ultraviolet rays having a short wavelength generated by discharge into the discharge space 210.

図３は、図２における背面板ガラス２０３の構成を概略的に示す図であり、（ａ）は、斜視図であり、（ｂ）は、（ａ）の線III−IIIに沿う断面図である。   FIG. 3 is a diagram schematically showing the configuration of the back plate glass 203 in FIG. 2, (a) is a perspective view, and (b) is a sectional view taken along line III-III in (a). .

図３（ａ）及び図３（ｂ）において、背面板ガラス２０３は、減圧層２０２に希ガスを封入する封止部３００を有する。この封止部３００は、図２（ｂ）におけるリブ２１１が形成されるリブ形成範囲３０１の外側且つ封着部２０４の内側に形成された内径２ｍｍの貫通孔３０２と、貫通孔３０２に内嵌された外径２ｍｍのガラス管３０３と、ガラス管３０３と背面板ガラス２０３とを接合する低融点ガラス３０４とからなる。このとき、貫通孔３０２はリブ形成範囲３０１の外側且つ封着部２０４の内側に形成されるので、封止部３００は背面板ガラス２０３の角部近傍に配設される。また、ガラス管３０３は、後述する減圧層２０２の減圧処理においてフィラメント１０８から加熱されることによってその先端が溶融されて封止される。   In FIG. 3A and FIG. 3B, the back plate glass 203 has a sealing part 300 that encloses a rare gas in the decompression layer 202. The sealing portion 300 includes a through-hole 302 having an inner diameter of 2 mm formed outside the rib forming range 301 where the rib 211 in FIG. 2B is formed and inside the sealing portion 204, and fitted into the through-hole 302. And a low melting point glass 304 that joins the glass tube 303 and the back plate glass 203 to each other. At this time, since the through hole 302 is formed outside the rib formation range 301 and inside the sealing portion 204, the sealing portion 300 is disposed in the vicinity of the corner portion of the back plate glass 203. Further, the tip of the glass tube 303 is melted and sealed by being heated from the filament 108 in the decompression process of the decompression layer 202 described later.

次に、排気カップ１によるＰＤＰ２００における減圧層２０２の真空排気処理について説明する。   Next, the vacuum exhausting process of the decompression layer 202 in the PDP 200 by the exhaust cup 1 will be described.

図４は、図１における排気カップ１により実行されるＰＤＰ２００の減圧層２０２の真空排気処理を説明するのに用いられる図である。   FIG. 4 is a diagram used for explaining the vacuum exhausting process of the decompression layer 202 of the PDP 200 executed by the exhaust cup 1 in FIG.

図４において、まず、図２の前面板ガラス２０１及び背面板ガラス２０３の全周縁に低融点ガラスフリット５００を塗布すると共に、ガラス管３０３の周りに低融点ガラス３０４を塗布する（図４（ａ））。   4, first, a low melting glass frit 500 is applied to the entire periphery of the front plate glass 201 and the back plate glass 203 of FIG. 2, and a low melting glass 304 is applied around the glass tube 303 (FIG. 4A). .

次いで、排気カップ１を、その本排気部１０４の中央に封止部３００のガラス管３０３があるように、またそのシールエッジ１０７ａ，１０７ｂがガスケット１０９ａ，１０９ｂを介して背面板ガラス２０３の上に配設されるようにＰＤＰ２００に装着する。このシールエッジ１０７ａ，１０７ｂにかかる面圧力Ａ（ＭＰａ）と、ガスケット１０９の０．２％ひずみ時の耐力Ｂ（Ｋｇ／ｍｍ²）の値及び厚みＣ（ｍｍ）の値との関係は図１で上述した通りである。 Then, distribution of exhaust cup 1, so that there is a glass tube 303 of the sealing portion 300 at the center of the main exhaust portion 104 and the seal edge 107a, to 107b are on the back plate glass 203 with a gasket 109a, 109b Attach it to the PDP 200 as shown. The relationship between the surface pressure A (MPa) applied to the seal edges 107a and 107b and the value of the proof stress B (Kg / mm ² ) and the thickness C (mm) at 0.2% strain of the gasket 109 is shown in FIG. As described above.

そして、差動排気系１０５と接続するＲＰを作動させて差動排気部１０２及び背面板ガラス２０３によって形成された密封空間の圧力を１０〜１０³Ｐａまで減圧し、排気カップ１を背面板ガラス２０３に吸着させる。このとき、フィラメント１０８が封止部３００のガラス管３０３の先端と対峙するのは上述した通りである（図４（ｂ））。 Then, the pressure was reduced in the sealed space formed by the differential pumping region 102 and the back plate glass 203 by actuating the RP to be connected to differential pumping system 105 until 10 to 10 ³ Pa, the exhaust cup 1 to the rear plate glass 203 Adsorb. At this time, the filament 108 faces the tip of the glass tube 303 of the sealing portion 300 as described above (FIG. 4B).

その後、排気カップ１が装着されたまま、ＰＤＰ２００を不図示の炉の内部で焼成して低融点ガラスフリット５００及び低融点ガラス３０４を溶融させた後、ＰＤＰ２００を冷却して低融点ガラスフリット５００及び低融点ガラス３０４を凝固させることによって前面板ガラス２０１及び背面板ガラス２０３を封着すると共に、ガラス管３０３を背面板ガラス２０３に接合する（図４（ｃ））。これにより、前面板ガラス２０１及び背面板ガラス２０３の間に減圧層２０２が形成されるが、上述した処理は大気中で実行されるので、減圧層２０２の圧力は大気圧である。   Thereafter, with the exhaust cup 1 attached, the PDP 200 is fired inside a furnace (not shown) to melt the low melting point glass frit 500 and the low melting point glass 304, and then the PDP 200 is cooled to cool the low melting point glass frit 500 and The low melting point glass 304 is solidified to seal the front plate glass 201 and the back plate glass 203, and the glass tube 303 is joined to the back plate glass 203 (FIG. 4C). Thereby, although the decompression layer 202 is formed between the front plate glass 201 and the back plate glass 203, since the process mentioned above is performed in air | atmosphere, the pressure of the decompression layer 202 is atmospheric pressure.

次いで、炉内の温度を一定時間維持することによってＰＤＰ２００内の減圧層２０２に存在する水分、有機物、油脂等をガス化させると共に、本排気系１０６と接続するＴＭＰを稼働させて当該ガス及び空気を本排気系１０６及び本排気部１０４を介して減圧層２０２から除去することによって減圧層２０２を減圧するベーキングを行い、減圧層２０２の圧力が１０^-1Ｐａを下回ると、希ガスを本排気系１０６及び本排気部１０４を介して減圧層２０２へ充填し、減圧層２０２の圧力が約４０〜７０ｋＰａを上回ると、ＰＤＰ２００の冷却を開始すると共に、フィラメント１０８に通電して、これを発熱させる。これにより、フィラメント１０８が対向するガラス管３０３の先端を溶融させて減圧層２０２を封止する（図４（ｄ））。 Next, by maintaining the temperature in the furnace for a certain period of time, moisture, organic matter, fats and oils, etc. present in the decompression layer 202 in the PDP 200 are gasified, and the TMP connected to the exhaust system 106 is operated to operate the gas and air. If the performed baking for decompressing the decompression layer 202 by removing from the vacuum layer 202 through the exhaust system 106 and the exhaust portion 104, pressure in the vacuum layer 202 is below 10 ^-1 Pa, the exhaust of the inert gas When the decompression layer 202 is filled through the system 106 and the main exhaust unit 104, and the pressure of the decompression layer 202 exceeds about 40 to 70 kPa, cooling of the PDP 200 is started and the filament 108 is energized to generate heat. . Thereby, the tip of the glass tube 303 facing the filament 108 is melted to seal the decompression layer 202 (FIG. 4D).

その後、ＲＰの作動を停止して排気カップ１を背面板ガラス２０３から離脱させる。   Thereafter, the operation of the RP is stopped and the exhaust cup 1 is detached from the rear plate glass 203.

減圧層２０２の減圧処理において、ＲＰは、排気カップ１が背面板ガラス２０３に装着された後、常に作動し、差動排気部１０２及び背面板ガラス２０３から形成される減圧空間を減圧することによって排気カップ１を背面板ガラス２０３に吸着させるだけでなく、外乱により排気カップ１と背面板ガラス２０３とが口開いた際に、差動排気部１０２へ侵入した空気を排出することによって本排気部１０４への空気の侵入を防止する。   In the decompression process of the decompression layer 202, the RP always operates after the exhaust cup 1 is mounted on the rear plate glass 203, and decompresses the decompression space formed by the differential exhaust unit 102 and the rear plate glass 203. 1 is not adsorbed to the back plate glass 203, but when the exhaust cup 1 and the back plate glass 203 are opened due to a disturbance, the air that has entered the differential exhaust unit 102 is discharged to discharge the air to the main exhaust unit 104. Prevent the intrusion.

本処理によれば、シールエッジ１０７ａ，１０７ｂが夫々ガスケット１０９ａ，１０９ｂを介して背面板ガラス２０３の上に配設されるようにＰＤＰ２００に装着するので、シールエッジ１０７ａ，１０７ｂからのガスリークを少なくすることができ、真空引き時間を短縮させ、且つ、高真空度を長時間維持することができる。   According to this process, since the seal edges 107a and 107b are mounted on the PDP 200 so as to be disposed on the back plate glass 203 via the gaskets 109a and 109b, gas leakage from the seal edges 107a and 107b is reduced. It is possible to shorten the time for evacuation and maintain a high degree of vacuum for a long time.

上述したＰＤＰ２００では、封止部３００が背面板ガラス２０３の角部近傍に配設されたが、減圧層２０２の減圧効率向上のため、封止部３００が背面板ガラス２０３の角部以外の周縁部において複数箇所設けられるようにしてもよい。   In the PDP 200 described above, the sealing portion 300 is disposed in the vicinity of the corner portion of the back plate glass 203. However, in order to improve the pressure reduction efficiency of the decompression layer 202, the sealing portion 300 is located at the peripheral portion other than the corner portion of the back plate glass 203. A plurality of locations may be provided.

また、排気カップ１が装着されるガラスパネルは、上述したＰＤＰ２００に限られず、減圧層２０２が真空にされた真空ガラスであってもよく、この他、建築物や乗り物（自動車、鉄道車両、船舶）用の窓ガラス、又は、冷蔵庫や保温装置等のような各種装置の扉や壁部等、種々の用途に使用されるガラスパネルであってもよい。   The glass panel to which the exhaust cup 1 is attached is not limited to the above-described PDP 200, and may be vacuum glass in which the decompression layer 202 is evacuated. In addition, a building or vehicle (automobile, railway vehicle, ship) ) Or glass panels used for various applications such as doors and walls of various devices such as refrigerators and heat retaining devices.

また、ガラス管３０３に熱を与える熱源としては、フィラメント１０８だけでなく赤外線輻射ヒータ等を用いてもよい。   Further, as a heat source for applying heat to the glass tube 303, not only the filament 108 but also an infrared radiation heater or the like may be used.

上述した本実施の形態では、封着部２０４を形成する材料として低融点ガラスフリット５００を使用する例を示したが、これに代えて、金属製の溶融ハンダを使用してもよい。   In the present embodiment described above, an example in which the low-melting glass frit 500 is used as a material for forming the sealing portion 204 is shown, but instead, a metal melting solder may be used.

前面板ガラス２０１，背面板ガラス２０３に使用される板ガラスとしては、フロートガラスに限られるものではなく、ガラスパネルの用途や目的に応じて、例えば、型板ガラス、表面処理により光拡散機能を備えたすりガラス、網入りガラス、線入りガラス、強化ガラス、倍強度ガラス、低反射ガラス、高透過ガラス、セラミック印刷ガラス、熱線や紫外線吸収機能を備えた特殊ガラス、又は、これらの組み合わせ等、種々のガラスを適宜選択して使用することができる。   The plate glass used for the front plate glass 201 and the back plate glass 203 is not limited to float glass, and depending on the purpose and purpose of the glass panel, for example, template glass, ground glass having a light diffusing function by surface treatment, Various glasses such as meshed glass, lined glass, tempered glass, double-strength glass, low reflection glass, high transmission glass, ceramic printing glass, special glass with heat ray and ultraviolet absorption function, or a combination thereof are used as appropriate. You can select and use.

ガラスの組成についても、ソーダ珪酸ガラス、ソーダ石灰ガラス、ほう珪酸ガラス、アルミノ珪酸ガラス、各種結晶化ガラス等を使用することができ、前面板ガラス２０１，背面板ガラス２０３の厚みについても、適宜選択自由である。   As for the glass composition, soda silicate glass, soda lime glass, borosilicate glass, aluminosilicate glass, various crystallized glasses, and the like can be used, and the thicknesses of the front plate glass 201 and the back plate glass 203 can be appropriately selected. is there.

また、本実施の形態に係る排気カップ１の形状は円柱状であったが、これに限定されるものではない。同様に、本実施の形態の差動排気部１０２は本排気部１０４を同心円的に包囲するものであったが、これに限定されるものではない。   Moreover, although the shape of the exhaust cup 1 which concerns on this Embodiment was a column shape, it is not limited to this. Similarly, the differential exhaust part 102 of the present embodiment concentrically surrounds the exhaust part 104, but is not limited to this.

次に、本発明の実施例について説明する。
（実施例１）
円柱状の本体と、本体中央位置にあってＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）の背面板ガラスへの接触面にほぼその全面に亘って開口する本排気部と、本排気部の外周にあって上述の背面板ガラスへの接触面にほぼその全面に亘って開口する差動排気部と、差動排気部と連通する管状の差動排気系と、本排気部と連通する管状の本排気系と、本排気部内に配設される横置きのコイル状のフィラメントとを備えるサンプルを準備する。 Next, examples of the present invention will be described.
Example 1
A cylindrical body, and the exhaust section which is open over substantially its entire surface to the contact surface of the back plate glass of the PDP In the body center position (plasma display panel), the back of the above In the outer periphery of the exhaust portion a differential pumping portion that opens over substantially the entire surface to the contact surface of the plate glass, and the differential pumping system of tubular communicating with the differential pumping portion, and the exhaust system of tubular communicating with the exhaust unit, the exhaust A sample including a horizontally placed coil-like filament disposed in the section is prepared.

ここで、サンプルの本排気部及び差動排気部の外周を画するシールエッジの幅Ｗが０．５（ｍｍ）、各シールエッジの内周の直径Ｘが夫々６４（ｍｍ）、３８（ｍｍ）である。   Here, the width W of the seal edge defining the outer periphery of the main exhaust portion and the differential exhaust portion of the sample is 0.5 (mm), and the inner diameter X of each seal edge is 64 (mm) and 38 (mm), respectively. ).

このとき、シールエッジの面積Ｓ（ｍｍ²）は、
Ｓ≒（Ｘ＋Ｙ）×π×Ｗ≒１６０．２
となり、排気カップ１にかかる大気圧Ｑ（Ｋｇ）は
Ｑ≒（Ｘ／２）²×π×０．０１≒３２．２
となる。従って、面圧力Ａ（ＭＰａ）は
Ａ＝Ｑ／Ｓ＝３２．２／１６０．２≒０．２（Ｋｇ／ｍｍ²）
＝０．２×９．８（Ｎ／ｍｍ²）＝１．９６（ＭＰａ）
と求められる。 At this time, the area S (mm ² ) of the seal edge is
S≈ (X + Y) × π × W≈160.2
The atmospheric pressure Q (Kg) applied to the exhaust cup 1 is Q≈ (X / 2) ² × π × 0.01≈32.2
It becomes. Accordingly, the surface pressure A (MPa) is A = Q / S = 32.2 / 160.2≈0.2 (Kg / mm ² )
= 0.2 × 9.8 (N / mm ² ) = 1.96 (MPa)
Is required.

また、サンプルが配される背面ガラスの角部には封止部が設けられており、サンプルの本排気部の中央に封止部のガラス管があるように、またサンプルのシールエッジがアルミ製であって、厚みＣが０．０５ｍｍのガスケットを介して背面板ガラスの上に配設されるようにサンプルをＰＤＰに装着する。   In addition, a sealing part is provided at the corner of the back glass where the sample is arranged, so that the glass tube of the sealing part is in the center of the main exhaust part of the sample, and the seal edge of the sample is made of aluminum Then, the sample is mounted on the PDP so as to be disposed on the back plate glass through a gasket having a thickness C of 0.05 mm.

その後、ＰＤＰのサンプルを装着した状態で、ＰＤＰの前面板ガラス及び背面板ガラスの全周縁に低融点ガラスフリットを塗布すると共に、上述のガラス管の周りに低融点ガラスを塗布する。   Thereafter, with the PDP sample mounted, a low-melting glass frit is applied to the entire periphery of the front plate glass and the rear plate glass of the PDP, and a low-melting glass is applied around the glass tube.

次に差動排気系と接続するＲＰを作動させて差動排気部及び背面板ガラスによって形成された密封空間の圧力を１０〜１０³Ｐａまで減圧し、サンプルを背面板ガラスに吸着させる。 Next, the RP connected to the differential exhaust system is operated to reduce the pressure in the sealed space formed by the differential exhaust part and the back plate glass to 10 to 10 ³ Pa, and the sample is adsorbed on the back plate glass.

その後、サンプルが装着されたまま、ＰＤＰを不図示の炉の内部で焼成して低融点ガラスフリット及び低融点ガラスを溶融させた後、ＰＤＰを冷却して低融点ガラスフリット及び低融点ガラスを凝固させることによって前面板ガラス及び背面板ガラスを封着すると共に、上述のガラス管を背面板ガラスに接合する。   Thereafter, with the sample mounted, the PDP is fired inside a furnace (not shown) to melt the low melting glass frit and the low melting glass, and then the PDP is cooled to solidify the low melting glass frit and the low melting glass. By doing so, the front plate glass and the back plate glass are sealed, and the above-mentioned glass tube is bonded to the back plate glass.

次いで、炉内の温度を一定時間維持することによってＰＤＰ内の減圧層に存在する水分、有機物、油脂等をガス化させると共に、本排気系と接続するＴＭＰを稼働させて当該ガス及び空気を減圧層から除去する。   Next, by maintaining the temperature in the furnace for a certain period of time, moisture, organic matter, oils and fats present in the decompression layer in the PDP are gasified, and the TMP connected to the exhaust system is operated to decompress the gas and air. Remove from layer.

この除去処理における、減圧層の圧力の時間経過を図５に示す。   FIG. 5 shows the time course of pressure in the decompression layer in this removal process.

（実施例２〜３）
シールエッジの幅Ｗが１．０（ｍｍ）であるが、それ以外の構成は実施例１と同一のサンプルを実施例２として準備し、そのシールエッジの幅Ｗが２．０（ｍｍ）であるが、それ以外の構成は実施例１と同一のサンプルを実施例３として用意し、実施例１と同様の除去処理を実行し、そのときの減圧層の圧力の時間経過を図５に示す。 (Examples 2-3)
The width W of the seal edge is 1.0 (mm). Otherwise, the same sample as in Example 1 is prepared as Example 2, and the width W of the seal edge is 2.0 (mm). Although there are other configurations, the same sample as in Example 1 is prepared as Example 3, the removal process similar to that in Example 1 is executed, and the time course of the pressure in the decompression layer at that time is shown in FIG. .

（比較例１〜２）
シールエッジの幅Ｗが５．０（ｍｍ）であるが、それ以外の構成は実施例１と同一のサンプルを比較例１として準備し、そのシールエッジの幅Ｗが１０．０（ｍｍ）であるが、それ以外の構成は実施例１と同一のサンプルを比較例２として用意し、実施例１と同様の除去処理を実行し、そのときの減圧層の圧力の時間経過を図５に示す。 (Comparative Examples 1-2)
The width W of the seal edge is 5.0 (mm), but other than that, the same sample as in Example 1 is prepared as Comparative Example 1, and the width W of the seal edge is 10.0 (mm). Although there are other configurations, the same sample as in Example 1 is prepared as Comparative Example 2, the same removal process as in Example 1 is performed, and the time course of the pressure in the decompression layer at that time is shown in FIG. .

以上、実施例１〜３及び比較例１〜２の結果を表１に示す。   The results of Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 and 2 are shown in Table 1 above.

表１の真空引き能力においては、除去処理を開始してから９０分経過までの減圧層の最低圧力が０．０１２Ｐａ以下であったサンプルを◎とし、０．１Ｐａ以下であったサンプルを○とし、０．１Ｐａより大きかったサンプルを×とした。

In evacuation capability of the Table 1, the sample minimum pressure in the vacuum layer is less than or equal to 0.012Pa from the start of the removal process until after 90 minutes and ◎, and ○ the sample was 0.1Pa or less Samples that were greater than 0.1 Pa were rated as x.

また、表１の高真空度維持能力においては、除去処理を開始してから１６５分を経過するまでの間、減圧層の圧力を０．１Ｐａ以下で維持できたサンプルを○とし、維持できなかったサンプルを×とした。   Moreover, in the high vacuum degree maintenance capability of Table 1, it is set as (circle) the sample which was able to maintain the pressure of the pressure reduction layer at 0.1 Pa or less until it passed 165 minutes after starting removal processing, and cannot be maintained. The sample was marked with x.

表１に示すように、比較例２の真空引き能力が十分でないことがわかり、その一方、実施例１〜３及び比較例１が高い真空引き能力を有しており、その中でも実施例１〜２は特に高い真空引き能力を有することがわかった。また、比較例１〜２の高真空度維持能力が十分でないことがわかり、その一方、実施例１〜３は高い高真空度維持能力を有していることがわかった。
また定量的には、Ａ／Ｂの値が０．００３以上、好ましくは０．０１以上であるときであって、Ａ／（Ｂ×Ｃ）の値が０．０５以上、好ましくは０．１以上であるとき、真空引き能力、高真空度維持能力が共に良好であるということがわかった。 As shown in Table 1, it can be seen that the evacuation ability of Comparative Example 2 is not sufficient, while Examples 1-3 and Comparative Example 1 have a high evacuation ability. 2 was found to have a particularly high evacuation capacity. Moreover, it turned out that the high vacuum degree maintenance capability of Comparative Examples 1-2 is not enough, On the other hand, it turned out that Examples 1-3 have a high high vacuum degree maintenance capability.
Quantitatively, the value of A / B is 0.003 or more, preferably 0.01 or more, and the value of A / (B × C) is 0.05 or more, preferably 0.1. When it was above, it turned out that both a vacuum drawing capability and a high vacuum maintenance capability are favorable.

これは、Ａ／Ｂの値やＡ／（Ｂ×Ｃ）の値が小さくなる程、真空排気中のシールエッジからのガスリークの量を少なくすることができるためであると考えられる。   This is considered to be because the amount of gas leak from the seal edge during evacuation can be reduced as the value of A / B or A / (B × C) becomes smaller.

本発明の実施の形態に係る減圧処理装置の構成を概略的に示す図であり、（ａ）は、平面図であり、（ｂ）は、線Ｉｂ−Ｉｂに沿う断面図である。It is a figure which shows roughly the structure of the decompression processing apparatus which concerns on embodiment of this invention, (a) is a top view, (b) is sectional drawing which follows line Ib-Ib. 図１におけるＰＤＰ２００の構成を概略的に示す図であり、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は部分断面図である。It is a figure which shows schematically the structure of PDP200 in FIG. 1, (a) is a perspective view, (b) is a fragmentary sectional view. 図２における背面板ガラス２０３の構成を概略的に示す図であり、（ａ）は、斜視図であり、（ｂ）は、（ａ）の線III−IIIに沿う断面図である。It is a figure which shows schematically the structure of the back plate glass 203 in FIG. 2, (a) is a perspective view, (b) is sectional drawing which follows the line III-III of (a). 図１における排気カップ１により実行されるＰＤＰ２００の減圧層２０２の真空排気処理を説明するのに用いられる図である。It is a figure used for demonstrating the vacuum exhausting process of the pressure reduction layer 202 of PDP200 performed by the exhaust cup 1 in FIG. 実施例１〜３及び比較例１〜２のサンプルにより実行される除去処理におけるＰＤＰの減圧層の圧力の時間経過を示すグラフである。It is a graph which shows the time passage of the pressure of the pressure reduction layer of PDP in the removal process performed by the sample of Examples 1-3 and Comparative Examples 1-2. 従来のガラスパネルの構成を概略的に示す図であり、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は断面図である。It is a figure which shows the structure of the conventional glass panel roughly, (a) is a perspective view, (b) is sectional drawing. 従来の排気カップの構成を概略的に示す図であり、（ａ）は断面図であり、（ｂ）は平面図である。It is a figure which shows the structure of the conventional exhaust cup schematically, (a) is sectional drawing, (b) is a top view.

符号の説明Explanation of symbols

１ 排気カップ
１０２ 差動排気部
１０４ 本排気部
１０７ａ，１０７ｂ シールエッジ
１０８ フィラメント
１０９ａ，１０９ｂ ガスケット
２００ ＰＤＰ
２０２ 減圧層
２０３ 背面板ガラス
３００ 封止部
３０３ ガラス管 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Exhaust cup 102 Differential exhaust part 104 This exhaust part 107a, 107b Seal edge 108 Filament 109a, 109b Gasket 200 PDP
202 Decompression layer 203 Back plate glass 300 Sealing part 303 Glass tube

Claims (2)

複数の板ガラス、該複数の板ガラスの間に設けられた減圧層、及び前記板ガラスの周縁部に配設されて前記減圧層と連通する排気孔を有するガラスパネルの前記板ガラスに接触するように構成された減圧処理装置であって、前記板ガラスとの接触面に開口し且つ前記排気孔と対向する減圧室と、前記板ガラスとの接触面に開口し且つ前記減圧室を包囲する環状の差動排気部と、前記減圧室の外周縁を形成する第１のシールエッジと前記板ガラスの間に敷設された金属板から成る第１のガスケットと、前記差動排気部の外周縁を形成する第２のシールエッジと前記板ガラスの間に敷設された金属板から成る第２のガスケット材とを備える減圧処理装置において、
前記第１及び第２のシールエッジに係る面圧力Ａ（ＭＰａ）の値を０．２％ひずみ時の前記第１及び第２のガスケット材の耐力Ｂ（Ｋｇ／ｍｍ²）の値で割った第１の値が０．０１以上であることを特徴とする減圧処理装置。 A plurality of plate glasses, a reduced pressure layer provided between the plurality of plate glasses, and a glass panel having an exhaust hole disposed at a peripheral portion of the plate glass and communicating with the reduced pressure layer are configured to contact the plate glass. A pressure reducing chamber that opens on a contact surface with the plate glass and faces the exhaust hole, and an annular differential exhaust portion that opens on a contact surface with the plate glass and surrounds the pressure reducing chamber When, a second seal that forms a first gasket made of a metal plate laid between the plate glass and the first seal edge for forming the outer peripheral edge of the vacuum chamber, the outer periphery of the differential pumping region In a vacuum processing apparatus comprising a second gasket material made of a metal plate laid between an edge and the plate glass,
Divided by the value of the yield strength of the first and second surface pressure A (MPa) value of 0.2% strain the first and second time of of the sealing edge of the gasket material B (Kg / mm ²⁾ A reduced pressure processing apparatus, wherein the first value is 0.01 or more. 前記第１の値を、前記第１及び第２のガスケット材の厚みＣ（ｍｍ）で割った第２の値が０．１以上であることを特徴とする請求項１記載の減圧処理装置。   The reduced pressure processing apparatus according to claim 1, wherein a second value obtained by dividing the first value by the thickness C (mm) of the first and second gasket materials is 0.1 or more.

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