JP2005254448A - 適応制御光学ミラー用mems素子 - Google Patents
適応制御光学ミラー用mems素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005254448A JP2005254448A JP2005064702A JP2005064702A JP2005254448A JP 2005254448 A JP2005254448 A JP 2005254448A JP 2005064702 A JP2005064702 A JP 2005064702A JP 2005064702 A JP2005064702 A JP 2005064702A JP 2005254448 A JP2005254448 A JP 2005254448A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- spring
- upright
- plate
- coupled
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/0841—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting element being moved or deformed by electrostatic means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
【解決手段】作動アクチュエータ210に設けた可動の中間電極214上にミラー・ピクセルを搭載した可動プレート202を取り付ける。中間電極は1対の直立ばね206a、bによって基板上に支持されており、直立ばねのそれぞれが、ばねの一方の端部で互いに結合し、他方の端部では分離している平行な2つのセグメントを有する。分離しているセグメント端部の一方は基板に結合され、分離しているセグメント端部の他方は中間電極に結合されている。結合しているセグメント端部に対応する直立ばねの端部が基板から遠ざかる方に向けられ、かつ可動プレート中の狭いスロットを貫通してばね本体が突き出し、直立ばねのほぼ中央にミラー面が来るようになっている。
【選択図】図2A
Description
Claims (10)
- 基板上に支持されたプレートであって、その面内に位置する回転軸の周りに基板に対して回転するようになされた第1のプレートと、
前記第1のプレートに結合され、前記第1のプレートと前記基板の間に配置された可動電極とを備え、
前記可動電極が前記基板に対して移動するとき、前記第1のプレートが前記回転軸周りに回転する、MEMS素子。 - 前記可動電極が前記基板上に1対の直立ばねによって支持され、各ばねが前記可動電極と前記基板の間に結合され、前記1対の直立ばねが回転軸を規定する、請求項1に記載の素子。
- 前記基板に結合された1つまたは複数の静止電極をさらに備え、
前記可動電極が前記静止電極の1つに向かって移動するとき、前記第1のプレートが前記回転軸周りに回転し、
前記可動電極と前記1つまたは複数の静止電極がフリンジフィールドアクチュエータを形成し、
前記可動電極および前記1つまたは複数の静止電極が、積層ウェーハのただ1つの層を用いて形成される、請求項1に記載の素子。 - 基板から第1の偏位距離のところに懸架された回転可能な物体と、
前記回転可能な物体と前記基板の間に結合された直立ばねとを備え、
前記直立ばねが、前記第1の偏位距離より遠い距離だけ前記基板から偏位する回転軸の周りに前記物体を回転させることができる、MEMS素子。 - 前記回転可能な物体上に取り付けられ、前記第1の偏位距離より遠い、前記基板から第2の偏位距離のところに配置された構造物をさらに備え、
前記直立ばねが、前記基板から前記構造物の先まで延び、前記構造物中の開口を貫通して突き出る、請求項4に記載の素子。 - 前記回転可能な物体が、外側の部分構造体と内側の部分構造体とを備え、
前記内側の部分構造体は、前記外側の部分構造体に対して移動できるようになされ、前記外側の構造体は、前記基板に対して移動できるようになされ、
前記素子が2対の直立ばねを備え、一方の対の各ばねは、前記基板と前記外側の部分構造体の間に結合され、他方の対の各ばねは、前記外側の部分構造体と前記内側の部分構造体の間に結合されている、請求項4に記載の素子。 - 前記回転可能な物体が、
基部と、
前記基部に移動可能に結合された部分構造体と、
前記部分構造体を前記基部に対して平行移動させるようになされた作動アクチュエータとを備え、
前記作動アクチュエータが平行板アクチュエータである、請求項4に記載の素子。 - 基板上に支持された直立ばねを備え、
前記直立ばねが、前記直立ばねの一方の端部で互いに結合し、前記直立ばねの他方の端部では分離している2つのセグメントを有し、
分離しているセグメント端部の一方が前記基板に結合され、分離しているセグメント端部の他方が前記基板に対して移動できるようになされる、MEMS素子。 - 結合しているセグメント端部の方が、分離しているセグメント端部より前記基板から遠い距離のところに来るように、前記直立ばねが前記基板に対して配置され、
前記直立ばねが、分離しているセグメント端部をはさみ型の動作で開くようになされる、請求項8に記載の素子。 - 基板から第1の偏位距離のところに懸架された回転可能な物体をさらに備え、
前記基板に対して移動できるようになされた前記分離しているセグメント端部が、前記回転可能な物体に結合され、
前記直立ばねが、前記回転可能な物体を、前記第1の偏位距離より遠い距離だけ前記基板から偏位する回転軸の周りに回転させることができる、請求項8に記載の素子。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/796,618 US7099063B2 (en) | 2004-03-09 | 2004-03-09 | MEMS device for an adaptive optics mirror |
US10/796618 | 2004-03-09 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005254448A true JP2005254448A (ja) | 2005-09-22 |
JP5113986B2 JP5113986B2 (ja) | 2013-01-09 |
Family
ID=34919895
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005064702A Expired - Fee Related JP5113986B2 (ja) | 2004-03-09 | 2005-03-09 | 適応制御光学ミラー用mems素子 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7099063B2 (ja) |
JP (1) | JP5113986B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009136637A1 (ja) * | 2008-05-08 | 2009-11-12 | 日本発條株式会社 | 光走査用アクチュエータおよび光走査用アクチュエータの製造方法 |
JP2011191592A (ja) * | 2010-03-16 | 2011-09-29 | Canon Inc | マイクロ構造体及びその製造方法 |
JP2011191593A (ja) * | 2010-03-16 | 2011-09-29 | Canon Inc | マイクロ構造体及びその製造方法 |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100707185B1 (ko) * | 2005-03-16 | 2007-04-13 | 삼성전자주식회사 | 복층 플레이트 구조의 액츄에이터 |
US7355317B2 (en) * | 2005-03-31 | 2008-04-08 | Lucent Technologies Inc. | Rocker-arm actuator for a segmented mirror |
US7485870B2 (en) * | 2006-09-12 | 2009-02-03 | Alcatel-Lucent Usa Inc. | Pneumatic infrared detector |
US20080219303A1 (en) * | 2007-03-02 | 2008-09-11 | Lucent Technologies Inc. | Color mixing light source and color control data system |
US7502160B2 (en) * | 2007-03-02 | 2009-03-10 | Alcatel-Lucent Usa Inc. | Speckle reduction in laser-projector images |
US7440158B2 (en) * | 2007-03-02 | 2008-10-21 | Lucent Technologies Inc. | Direct optical image projectors |
US9778477B2 (en) * | 2007-03-02 | 2017-10-03 | Alcatel-Lucent Usa Inc. | Holographic MEMS operated optical projectors |
US7750286B2 (en) * | 2007-06-19 | 2010-07-06 | Alcatel-Lucent Usa Inc. | Compact image projector having a mirror for reflecting a beam received from a polarization beam splitter back to the polarization beam splitter |
US7580175B2 (en) * | 2007-06-21 | 2009-08-25 | Alcatel-Lucent Usa Inc. | Detector of infrared radiation having a bi-material transducer |
US7851759B2 (en) | 2007-06-21 | 2010-12-14 | Alcatel-Lucent Usa Inc. | Infrared imaging apparatus |
KR101345288B1 (ko) * | 2007-09-21 | 2013-12-27 | 삼성전자주식회사 | 2축 구동 전자기 스캐너 |
US8109638B2 (en) | 2008-01-22 | 2012-02-07 | Alcatel Lucent | Diffuser configuration for an image projector |
US8247999B2 (en) * | 2008-01-22 | 2012-08-21 | Alcatel Lucent | Time division multiplexing a DC-to-DC voltage converter |
US20090184976A1 (en) * | 2008-01-22 | 2009-07-23 | Alcatel-Lucent | System and Method for Color-Compensating a Video Signal Having Reduced Computational Requirements |
US8129669B2 (en) * | 2008-01-22 | 2012-03-06 | Alcatel Lucent | System and method generating multi-color light for image display having a controller for temporally interleaving the first and second time intervals of directed first and second light beams |
US7842923B2 (en) * | 2008-07-28 | 2010-11-30 | Alcatel-Lucent Usa Inc. | Thermal actuator for an infrared sensor |
EP2353043A1 (en) * | 2008-11-20 | 2011-08-10 | BAE Systems PLC | Deformable mirror suspension |
EP2189832A1 (en) * | 2008-11-20 | 2010-05-26 | BAE Systems PLC | Deformable Mirror Suspension |
US8226241B2 (en) * | 2009-05-15 | 2012-07-24 | Alcatel Lucent | Image projector employing a speckle-reducing laser source |
US8585205B2 (en) | 2009-10-07 | 2013-11-19 | Nigel J. Greaves | Gimbaled handle stabilizing controller assembly |
EP2486449A1 (en) * | 2009-10-07 | 2012-08-15 | Nigel J. Greaves | Gimbaled handle stabilizing controller assembly |
US20110234985A1 (en) * | 2010-03-26 | 2011-09-29 | Alcatel-Lucent Usa Inc. | Despeckling laser-image-projection system |
US8925384B2 (en) * | 2012-05-29 | 2015-01-06 | Freescale Semiconductor, Inc. | MEMS sensor with stress isolation and method of fabrication |
DE102013212095B4 (de) * | 2013-06-25 | 2024-06-27 | Robert Bosch Gmbh | Mikro-elektromechanischer Reflektor und Verfahren zum Herstellen eines mikro-elektromechanischen Reflektors |
US10890767B1 (en) | 2017-09-27 | 2021-01-12 | United Services Automobile Association (Usaa) | System and method for automatic vision correction in near-to-eye displays |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0784196A (ja) * | 1993-09-13 | 1995-03-31 | Canon Inc | 光偏向器およびそれを用いた表示装置 |
US20020021055A1 (en) * | 2000-08-18 | 2002-02-21 | Lee Jin-Ho | Micro-actuator and manufacturing method thereof |
US6384952B1 (en) * | 1997-03-27 | 2002-05-07 | Mems Optical Inc. | Vertical comb drive actuated deformable mirror device and method |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4241045C1 (de) * | 1992-12-05 | 1994-05-26 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren zum anisotropen Ätzen von Silicium |
US5629790A (en) * | 1993-10-18 | 1997-05-13 | Neukermans; Armand P. | Micromachined torsional scanner |
US5745278A (en) * | 1997-02-05 | 1998-04-28 | Raytheon Optical Systems, Inc. | Innovative deformable mirror actuator configuration |
US6497141B1 (en) * | 1999-06-07 | 2002-12-24 | Cornell Research Foundation Inc. | Parametric resonance in microelectromechanical structures |
US6201631B1 (en) * | 1999-10-08 | 2001-03-13 | Lucent Technologies Inc. | Process for fabricating an optical mirror array |
US6283601B1 (en) * | 2000-04-14 | 2001-09-04 | C Speed Corporation | Optical mirror system with multi-axis rotational control |
US6983924B2 (en) * | 2000-04-26 | 2006-01-10 | Brigham Young University | Compliant, ortho-planar, linear motion spring |
US6771001B2 (en) * | 2001-03-16 | 2004-08-03 | Optical Coating Laboratory, Inc. | Bi-stable electrostatic comb drive with automatic braking |
US6838738B1 (en) * | 2001-09-21 | 2005-01-04 | Dicon Fiberoptics, Inc. | Electrostatic control of micro-optical components |
US20050120553A1 (en) * | 2003-12-08 | 2005-06-09 | Brown Dirk D. | Method for forming MEMS grid array connector |
US6845670B1 (en) * | 2003-07-08 | 2005-01-25 | Freescale Semiconductor, Inc. | Single proof mass, 3 axis MEMS transducer |
-
2004
- 2004-03-09 US US10/796,618 patent/US7099063B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2005
- 2005-03-09 JP JP2005064702A patent/JP5113986B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0784196A (ja) * | 1993-09-13 | 1995-03-31 | Canon Inc | 光偏向器およびそれを用いた表示装置 |
US6384952B1 (en) * | 1997-03-27 | 2002-05-07 | Mems Optical Inc. | Vertical comb drive actuated deformable mirror device and method |
US20020021055A1 (en) * | 2000-08-18 | 2002-02-21 | Lee Jin-Ho | Micro-actuator and manufacturing method thereof |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009136637A1 (ja) * | 2008-05-08 | 2009-11-12 | 日本発條株式会社 | 光走査用アクチュエータおよび光走査用アクチュエータの製造方法 |
JP5198561B2 (ja) * | 2008-05-08 | 2013-05-15 | 日本発條株式会社 | 光走査用アクチュエータおよび光走査用アクチュエータの製造方法 |
JP2011191592A (ja) * | 2010-03-16 | 2011-09-29 | Canon Inc | マイクロ構造体及びその製造方法 |
JP2011191593A (ja) * | 2010-03-16 | 2011-09-29 | Canon Inc | マイクロ構造体及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7099063B2 (en) | 2006-08-29 |
JP5113986B2 (ja) | 2013-01-09 |
US20050200938A1 (en) | 2005-09-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5113986B2 (ja) | 適応制御光学ミラー用mems素子 | |
US6876484B2 (en) | Deformable segmented MEMS mirror | |
JP4206102B2 (ja) | 垂直くし型電極を具備したアクチュエータ | |
US7355317B2 (en) | Rocker-arm actuator for a segmented mirror | |
US7075699B2 (en) | Double hidden flexure microactuator for phase mirror array | |
EP1927873A1 (en) | Micromirror device with a hybrid parallel plate and comb drive actuator | |
EP2006247A2 (en) | MEMS device with an angular vertical comb actuator | |
JP3723431B2 (ja) | マイクロ電気機械光学デバイス | |
WO2006109687A1 (ja) | 微小機械構造体 | |
JP2006343481A (ja) | ミラー装置 | |
JP4115116B2 (ja) | 熱マイクロエレクトリカルメカニカルアクチュエータ | |
US6995895B2 (en) | MEMS actuator for piston and tilt motion | |
JP2006095683A (ja) | 平衡カンチレバー板を有するモノリシックmemsデバイス | |
US6781744B1 (en) | Amplification of MEMS motion | |
JP2007155966A (ja) | ミラー装置 | |
US6980339B2 (en) | Deformable MEMS mirror | |
US6850354B2 (en) | Monolithic MEMS device for optical switches | |
US6998758B2 (en) | Deformable MEMS mirror with membrane actuated by application of torque | |
WO2008107870A1 (en) | A mems device having reduced deformations | |
KR20030067491A (ko) | 공진형 평면외 써멀 버클빔 액츄에이터 | |
JP2001117029A (ja) | マイクロ電気機械光学デバイス | |
JP2005195798A (ja) | 光偏向装置 | |
JP2008003309A (ja) | 微小電気機械素子及び微小電気機械素子アレイ並びに変調装置 | |
US20040061923A1 (en) | Monolithic two-axis MEMS device for optical switches | |
JP4544574B2 (ja) | 光偏向装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080307 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110209 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110509 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111128 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20120228 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120302 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120328 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120918 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121015 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151019 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5113986 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |