JP2005249714A - 膜厚測定装置および膜厚測定方法 - Google Patents
膜厚測定装置および膜厚測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005249714A JP2005249714A JP2004063791A JP2004063791A JP2005249714A JP 2005249714 A JP2005249714 A JP 2005249714A JP 2004063791 A JP2004063791 A JP 2004063791A JP 2004063791 A JP2004063791 A JP 2004063791A JP 2005249714 A JP2005249714 A JP 2005249714A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film thickness
- contact
- sheet
- measured
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
【課題】 シート支持部材のシート支持面上に支持したシート膜厚を正確に測定できるようにすること。
【解決手段】 膜厚測定装置１は、接触センサＳ３により基準板Ｐ表面までの距離Ｘ０を検出し且つその両側に配置した一方の近接センサＳ１および他方の近接センサＳ２により基準板Ｐ表面までの距離Ｙ０およびＹ１を検出し、記憶する基準値検出記憶手段と、接触センサＳ３により基準板Ｐ上のシート状被測定物Ｂ表面までの距離Ｘｎを検出し且つ一方の近接センサＳ１および他方の近接センサＳ２により基準板Ｐ表面までの距離Ｙ０ｎおよびＹ１ｎを検出し、記憶する測定値検出記憶手段と、センサ間距離ａ1，ａ2、測定基準値Ｘ０，Ｙ０，Ｙ１、および膜厚測定値Ｘｎ，Ｙ０ｎ，Ｙ１ｎの値に基づいてシート状被測定物Ｂの厚さを演算して記憶する膜厚演算記憶手段とを有する。
【選択図】 図３
【解決手段】 膜厚測定装置１は、接触センサＳ３により基準板Ｐ表面までの距離Ｘ０を検出し且つその両側に配置した一方の近接センサＳ１および他方の近接センサＳ２により基準板Ｐ表面までの距離Ｙ０およびＹ１を検出し、記憶する基準値検出記憶手段と、接触センサＳ３により基準板Ｐ上のシート状被測定物Ｂ表面までの距離Ｘｎを検出し且つ一方の近接センサＳ１および他方の近接センサＳ２により基準板Ｐ表面までの距離Ｙ０ｎおよびＹ１ｎを検出し、記憶する測定値検出記憶手段と、センサ間距離ａ1，ａ2、測定基準値Ｘ０，Ｙ０，Ｙ１、および膜厚測定値Ｘｎ，Ｙ０ｎ，Ｙ１ｎの値に基づいてシート状被測定物Ｂの厚さを演算して記憶する膜厚演算記憶手段とを有する。
【選択図】 図３
Description
本発明はシート状被測定物の膜厚測定装置および膜厚測定方法に関する
前記種類の膜厚測定装置としては、下記の特許文献１〜５が従来公知である。
（特許文献１）特開２００２−２８６４０５号公報
特許文献１記載の技術は、５つのリニアゲージ３の配置によりベルト幅方向ＷＤに沿って速やかに測定ポイントが設定されると共に、シャフト２の表面を滑らせるようにしてベルトＥＶをベルト周方向に移送することにより周方向ＲＤに沿って測定ポイントが速やかに設定される。このため、連続的に且つ迅速に膜厚を測定できる。またリニアゲージ３によりベルトＥＶをシャフト２の表面に押し当てるようにしてベルト表面側から機械的に接触して膜厚を測定するので、ベルトの材質による制限を受けずに膜厚が測定できるうえ、ベルトの組付け制度やブレに左右されることなく、膜厚を正確に測定できる。
（特許文献１）特開２００２−２８６４０５号公報
特許文献１記載の技術は、５つのリニアゲージ３の配置によりベルト幅方向ＷＤに沿って速やかに測定ポイントが設定されると共に、シャフト２の表面を滑らせるようにしてベルトＥＶをベルト周方向に移送することにより周方向ＲＤに沿って測定ポイントが速やかに設定される。このため、連続的に且つ迅速に膜厚を測定できる。またリニアゲージ３によりベルトＥＶをシャフト２の表面に押し当てるようにしてベルト表面側から機械的に接触して膜厚を測定するので、ベルトの材質による制限を受けずに膜厚が測定できるうえ、ベルトの組付け制度やブレに左右されることなく、膜厚を正確に測定できる。
（特許文献２）特開平５−３３２７６４号公報
特許文献２記載の技術は、シート５の表面までの距離を測定する検出ヘッド１１と、浮き上り量演算３１とを備え、あらかじめ、シート５の速度に対応したロール１からシート５の浮き上り量を浮き上り量演算器３１に記憶する。浮き上り量演算器３１で、コントローラ２０からシート５の速度信号に対してロール１からシート５の浮き上り量を求める。
前記検出ヘッド１１の変位出力を前記浮き上り量で補正する。
特許文献２記載の技術は、シート５の表面までの距離を測定する検出ヘッド１１と、浮き上り量演算３１とを備え、あらかじめ、シート５の速度に対応したロール１からシート５の浮き上り量を浮き上り量演算器３１に記憶する。浮き上り量演算器３１で、コントローラ２０からシート５の速度信号に対してロール１からシート５の浮き上り量を求める。
前記検出ヘッド１１の変位出力を前記浮き上り量で補正する。
（特許文献３）特開平１１−３５１８５６号公報
特許文献３記載の技術は、被検査物のシート２を回転可能な計測ローラ１に密着させ、前記計測ローラ１の両側端にレーザ測定装置３を配置し、上方に渦流式変位計８を配置している。前記レーザ測定装置３の投光器５側のレーザービーム７の光路中に前記渦流式変位計８と一体に移動する遮光体９を設けている。前記渦流式変位計８の先端と前記計測ローラ１表面の距離αから、前記渦流式変位計８から伸びる前記遮光体９の先端までの距離γと前記レーザ装置３の受光器６側の受光幅βの合計を減算して前記シート厚さＴを計測する。
特許文献３記載の技術は、被検査物のシート２を回転可能な計測ローラ１に密着させ、前記計測ローラ１の両側端にレーザ測定装置３を配置し、上方に渦流式変位計８を配置している。前記レーザ測定装置３の投光器５側のレーザービーム７の光路中に前記渦流式変位計８と一体に移動する遮光体９を設けている。前記渦流式変位計８の先端と前記計測ローラ１表面の距離αから、前記渦流式変位計８から伸びる前記遮光体９の先端までの距離γと前記レーザ装置３の受光器６側の受光幅βの合計を減算して前記シート厚さＴを計測する。
（特許文献４）特開平５−２３１８５６号公報
特許文献４記載の技術は、非金属のシート５の表面までの距離を測る変位計の検出ヘッド１１の被測定部の近傍に金属のみに感知する渦電流型変位計２０を配置することにより、金属製のロール１上に被測定シート５が配置された状態で、前記検出ヘッド１１とロール１の表面までの距離を測定する。検出ヘッド１１と渦電流型変位計２０との出力差を求めることにより、熱変形などによるロール１等の変形、ロール１の偏心による測定誤差の生じないシート５の厚み測定ができる。
特許文献４記載の技術は、非金属のシート５の表面までの距離を測る変位計の検出ヘッド１１の被測定部の近傍に金属のみに感知する渦電流型変位計２０を配置することにより、金属製のロール１上に被測定シート５が配置された状態で、前記検出ヘッド１１とロール１の表面までの距離を測定する。検出ヘッド１１と渦電流型変位計２０との出力差を求めることにより、熱変形などによるロール１等の変形、ロール１の偏心による測定誤差の生じないシート５の厚み測定ができる。
（特許文献５）特開平１１−２４８４２４号公報
特許文献５記載の技術は、シート１の走行方向に直行して配置された基準部材２の上面にシート１を接触走行させる。基準部材上面距離検出センサ５の検出値Ａからレーザービーム遮光量Ｂを減算してシート１の厚さＤを計測する。前記検出値Ａの検出時には、前記基準部材上面距離検出センサ５の計測点の近傍に向けて流体を噴射して基準部材２への圧接力を走行シート１に付与する。
特許文献５記載の技術は、シート１の走行方向に直行して配置された基準部材２の上面にシート１を接触走行させる。基準部材上面距離検出センサ５の検出値Ａからレーザービーム遮光量Ｂを減算してシート１の厚さＤを計測する。前記検出値Ａの検出時には、前記基準部材上面距離検出センサ５の計測点の近傍に向けて流体を噴射して基準部材２への圧接力を走行シート１に付与する。
（特許文献１の問題点）
特許文献１記載の技術では、シャフトの表面を膜厚ゼロの点（膜厚の零点）としてベルト膜厚を測定するので、膜厚測定中にベルトがズレる可能性があり、精度補正が困難である。
（特許文献２の問題点）
特許文献２記載の技術では、変位計の出力を補正するための、シートの浮き上り量を測定する時に発生するシートのバタツキに対応できないため、高精度の補正が困難である。
（特許文献３の問題点）
特許文献３記載の技術では、ロールの位置を渦流式変位計８で検出し、ベルトの位置をレーザ測定で算出するため、測定時のベルトのバタツキに対応できないため高精度な厚さ測定が保証されない。
（特許文献４の問題点）
特許文献４記載の技術では、シート５の厚さ測定時にシートのバタツキに対応できないため高精度な厚さ測定が保証されない。
（特許文献５の問題点）
特許文献５記載の技術では、外側から流体を吹き付けて基準部材２表面からのシート１の浮き上りを防止しているが、基準部材２表面とシート１との間のエアー等のかみこみは解決できない。
特許文献１記載の技術では、シャフトの表面を膜厚ゼロの点（膜厚の零点）としてベルト膜厚を測定するので、膜厚測定中にベルトがズレる可能性があり、精度補正が困難である。
（特許文献２の問題点）
特許文献２記載の技術では、変位計の出力を補正するための、シートの浮き上り量を測定する時に発生するシートのバタツキに対応できないため、高精度の補正が困難である。
（特許文献３の問題点）
特許文献３記載の技術では、ロールの位置を渦流式変位計８で検出し、ベルトの位置をレーザ測定で算出するため、測定時のベルトのバタツキに対応できないため高精度な厚さ測定が保証されない。
（特許文献４の問題点）
特許文献４記載の技術では、シート５の厚さ測定時にシートのバタツキに対応できないため高精度な厚さ測定が保証されない。
（特許文献５の問題点）
特許文献５記載の技術では、外側から流体を吹き付けて基準部材２表面からのシート１の浮き上りを防止しているが、基準部材２表面とシート１との間のエアー等のかみこみは解決できない。
本発明は前述の事情に鑑み、下記（Ｏ01）〜（Ｏ03）の記載内容を課題とする。
（Ｏ01）シート状被測定物の膜厚測定部分を支持する基準部材表面上のシート状被測定物の膜厚を測定する際、膜厚測定時の表面の位置を正確に測定することにより、前記基準部材表面上のシート状被測定物の表面と、前記基準部材表面との間の距離（シート状被測定物の膜厚）を正確に測定できるようにすること。
（Ｏ02）シート状被測定物の膜厚測定部分を支持する基準部材表面としてロールのような円筒状の表面を使用するのではなく、平面状の基準部材表面にすることによりロールの偏心、ブレ等の影響を受け難くすること。
（Ｏ03）電気マイクロ等の接触センサの付近に近接センサを配置することにより、膜厚測定時の基準部材のたわみ、ねじれ、振動等の影響を緩和すること。
（Ｏ01）シート状被測定物の膜厚測定部分を支持する基準部材表面上のシート状被測定物の膜厚を測定する際、膜厚測定時の表面の位置を正確に測定することにより、前記基準部材表面上のシート状被測定物の表面と、前記基準部材表面との間の距離（シート状被測定物の膜厚）を正確に測定できるようにすること。
（Ｏ02）シート状被測定物の膜厚測定部分を支持する基準部材表面としてロールのような円筒状の表面を使用するのではなく、平面状の基準部材表面にすることによりロールの偏心、ブレ等の影響を受け難くすること。
（Ｏ03）電気マイクロ等の接触センサの付近に近接センサを配置することにより、膜厚測定時の基準部材のたわみ、ねじれ、振動等の影響を緩和すること。
次に、前記課題を解決するために案出した本発明を説明するが、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、本発明の要素には、実施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。
また、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明の範囲を実施例に限定するためではない。
また、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明の範囲を実施例に限定するためではない。
（第１発明）
前記課題を解決するために、第１発明の膜厚測定装置は、次の構成要件（Ａ01）〜（Ａ05）を備えたことを特徴とする。
（Ａ01）基準部材（Ｐ）表面までの距離を検出する間隔を置いて配置された一対の近接センサ（Ｓ１，Ｓ２）と、前記近接センサ（Ｓ１，Ｓ２）の間に配置され且つ距離測定対象物（Ｐ，Ｂ）の表面に接触する接触端（Ｓ３c）を有し、前記接触端（Ｓ３c）が前記基準部材（Ｐ）表面に当接した状態で前記基準部材（Ｐ）表面までの距離を検出し且つ前記基準部材（Ｐ）表面に置かれたシート状被測定物（Ｂ）の表面に前記接触端（Ｓ３c）が当接した状態で前記シート状被測定物（Ｂ）の表面までの距離を測定する接触センサ（Ｓ３）とを支持するセンサ支持部材（２）、
（Ａ02）前記一対の近接センサ（Ｓ１，Ｓ２）の中の一方の近接センサ（Ｓ１）と前記接触センサ（Ｓ３）との距離ａ1と、他方の近接センサ（Ｓ２）と前記接触センサ（Ｓ３）との距離ａ2とをセンサ間距離ａ1，ａ2として記憶するセンサ間距離記憶手段（Ｃ１）、
（Ａ03）前記基準部材（Ｐ）表面に前記接触端（Ｓ３c）が当接した状態で、前記接触センサ（Ｓ３）により前記基準部材（Ｐ）表面までの距離Ｘ０を検出し且つ前記一方の近接センサ（Ｓ１）および他方の近接センサ（Ｓ２）により前記基準部材（Ｐ）表面までの距離Ｙ０およびＹ１を検出し、検出した前記各距離Ｘ０，Ｙ０，Ｙ１を、基準値Ｘ０，Ｙ０、Ｙ１として記憶する基準値検出記憶手段（Ｃ２）、
（Ａ04）前記基準部材（Ｐ）表面上の前記シート状被測定物（Ｂ）の表面に前記接触端（Ｓ３c）が当接した状態で、前記接触センサ（Ｓ３）により前記シート状被測定物（Ｂ）表面までの距離Ｘｎを検出し且つ前記一方の近接センサ（Ｓ１）および他方の近接センサ（Ｓ２）により前記基準部材（Ｐ）表面までの距離Ｙ０ｎおよびＹ１ｎを検出し、検出した前記各距離Ｘｎ，Ｙ０ｎ，Ｙ１ｎを、測定値Ｘｎ，Ｙ０ｎ，Ｙ１ｎとして記憶する測定値検出記憶手段（Ｃ６）、
（Ａ05）前記センサ間距離ａ1，ａ2、前記測定基準値Ｘ０，Ｙ０，Ｙ１、および前記膜厚測定値Ｘｎ，Ｙ０ｎ，Ｙ１ｎの値に基づいて前記シート状被測定物（Ｂ）の厚さを演算して記憶する膜厚演算記憶手段（Ｃ７）。
前記課題を解決するために、第１発明の膜厚測定装置は、次の構成要件（Ａ01）〜（Ａ05）を備えたことを特徴とする。
（Ａ01）基準部材（Ｐ）表面までの距離を検出する間隔を置いて配置された一対の近接センサ（Ｓ１，Ｓ２）と、前記近接センサ（Ｓ１，Ｓ２）の間に配置され且つ距離測定対象物（Ｐ，Ｂ）の表面に接触する接触端（Ｓ３c）を有し、前記接触端（Ｓ３c）が前記基準部材（Ｐ）表面に当接した状態で前記基準部材（Ｐ）表面までの距離を検出し且つ前記基準部材（Ｐ）表面に置かれたシート状被測定物（Ｂ）の表面に前記接触端（Ｓ３c）が当接した状態で前記シート状被測定物（Ｂ）の表面までの距離を測定する接触センサ（Ｓ３）とを支持するセンサ支持部材（２）、
（Ａ02）前記一対の近接センサ（Ｓ１，Ｓ２）の中の一方の近接センサ（Ｓ１）と前記接触センサ（Ｓ３）との距離ａ1と、他方の近接センサ（Ｓ２）と前記接触センサ（Ｓ３）との距離ａ2とをセンサ間距離ａ1，ａ2として記憶するセンサ間距離記憶手段（Ｃ１）、
（Ａ03）前記基準部材（Ｐ）表面に前記接触端（Ｓ３c）が当接した状態で、前記接触センサ（Ｓ３）により前記基準部材（Ｐ）表面までの距離Ｘ０を検出し且つ前記一方の近接センサ（Ｓ１）および他方の近接センサ（Ｓ２）により前記基準部材（Ｐ）表面までの距離Ｙ０およびＹ１を検出し、検出した前記各距離Ｘ０，Ｙ０，Ｙ１を、基準値Ｘ０，Ｙ０、Ｙ１として記憶する基準値検出記憶手段（Ｃ２）、
（Ａ04）前記基準部材（Ｐ）表面上の前記シート状被測定物（Ｂ）の表面に前記接触端（Ｓ３c）が当接した状態で、前記接触センサ（Ｓ３）により前記シート状被測定物（Ｂ）表面までの距離Ｘｎを検出し且つ前記一方の近接センサ（Ｓ１）および他方の近接センサ（Ｓ２）により前記基準部材（Ｐ）表面までの距離Ｙ０ｎおよびＹ１ｎを検出し、検出した前記各距離Ｘｎ，Ｙ０ｎ，Ｙ１ｎを、測定値Ｘｎ，Ｙ０ｎ，Ｙ１ｎとして記憶する測定値検出記憶手段（Ｃ６）、
（Ａ05）前記センサ間距離ａ1，ａ2、前記測定基準値Ｘ０，Ｙ０，Ｙ１、および前記膜厚測定値Ｘｎ，Ｙ０ｎ，Ｙ１ｎの値に基づいて前記シート状被測定物（Ｂ）の厚さを演算して記憶する膜厚演算記憶手段（Ｃ７）。
（第１発明の作用）
前記構成要件（Ａ01）〜（Ａ05）を備えた第１発明の膜厚測定装置（１）では、センサ支持部材（２）は、近接センサ（Ｓ１，Ｓ２）と、前記近接センサ（Ｓ１，Ｓ２）の間に配置された接触センサ（Ｓ３）とを支持する。前記接触センサ（Ｓ３）は、前記接触端（Ｓ３c）が基準部材（Ｐ）表面に当接した状態で前記基準部材（Ｐ）表面までの距離を検出する。また、前記接触センサ（Ｓ３）は、前記基準部材（Ｐ）表面に置かれたシート状被測定物（Ｂ）の表面に前記接触端（Ｓ３c）が当接した状態で前記シート状被測定物（Ｂ）の表面までの距離を測定する。
センサ間距離記憶手段（Ｃ１）は、一対の近接センサ（Ｓ１，Ｓ２）の中の一方の近接センサ（Ｓ１）と接触センサ（Ｓ３）との距離ａ1と、他方の近接センサ（Ｓ２）と前記接触センサ（Ｓ３）との距離ａ2とをセンサ間距離ａ1，ａ2として記憶する。
基準値検出記憶手段（Ｃ２）は、前記基準部材（Ｐ）表面に前記接触端（Ｓ３c）が当接した状態で、前記接触センサ（Ｓ３）により前記基準部材（Ｐ）表面までの距離Ｘ０を検出し且つ前記一方の近接センサ（Ｓ１）および他方の近接センサ（Ｓ２）により前記基準部材（Ｐ）表面までの距離Ｙ０およびＹ１を検出する。前記基準値検出記憶手段（Ｃ２）は、検出した前記各距離Ｘ０，Ｙ０，Ｙ１を、基準値Ｘ０，Ｙ０、Ｙ１として記憶する。
測定値検出記憶手段（Ｃ６）は、前記基準部材（Ｐ）表面上のシート状被測定物（Ｂ）の表面に前記接触端（Ｓ３c）が当接した状態で、前記接触センサ（Ｓ３）により前記シート状被測定物（Ｂ）表面までの距離Ｘｎを検出し且つ前記一方の近接センサ（Ｓ１）および他方の近接センサ（Ｓ２）により前記基準部材（Ｐ）表面までの距離Ｙ０ｎおよびＹ１ｎを検出する。前記測定値検出記憶手段（Ｃ６）は、検出した前記各距離Ｘｎ，Ｙ０ｎ，Ｙ１ｎを、測定値Ｘｎ，Ｙ０ｎ，Ｙ１ｎとして記憶する。
膜厚演算記憶手段（Ｃ７）は、前記センサ間距離ａ1，ａ2、前記測定基準値Ｘ０，Ｙ０，Ｙ１、および前記膜厚測定値Ｘｎ，Ｙ０ｎ，Ｙ１ｎの値に基づいて前記シート状被測定物（Ｂ）の厚さを演算し、記憶する。
前記構成要件（Ａ01）〜（Ａ05）を備えた第１発明の膜厚測定装置（１）では、センサ支持部材（２）は、近接センサ（Ｓ１，Ｓ２）と、前記近接センサ（Ｓ１，Ｓ２）の間に配置された接触センサ（Ｓ３）とを支持する。前記接触センサ（Ｓ３）は、前記接触端（Ｓ３c）が基準部材（Ｐ）表面に当接した状態で前記基準部材（Ｐ）表面までの距離を検出する。また、前記接触センサ（Ｓ３）は、前記基準部材（Ｐ）表面に置かれたシート状被測定物（Ｂ）の表面に前記接触端（Ｓ３c）が当接した状態で前記シート状被測定物（Ｂ）の表面までの距離を測定する。
センサ間距離記憶手段（Ｃ１）は、一対の近接センサ（Ｓ１，Ｓ２）の中の一方の近接センサ（Ｓ１）と接触センサ（Ｓ３）との距離ａ1と、他方の近接センサ（Ｓ２）と前記接触センサ（Ｓ３）との距離ａ2とをセンサ間距離ａ1，ａ2として記憶する。
基準値検出記憶手段（Ｃ２）は、前記基準部材（Ｐ）表面に前記接触端（Ｓ３c）が当接した状態で、前記接触センサ（Ｓ３）により前記基準部材（Ｐ）表面までの距離Ｘ０を検出し且つ前記一方の近接センサ（Ｓ１）および他方の近接センサ（Ｓ２）により前記基準部材（Ｐ）表面までの距離Ｙ０およびＹ１を検出する。前記基準値検出記憶手段（Ｃ２）は、検出した前記各距離Ｘ０，Ｙ０，Ｙ１を、基準値Ｘ０，Ｙ０、Ｙ１として記憶する。
測定値検出記憶手段（Ｃ６）は、前記基準部材（Ｐ）表面上のシート状被測定物（Ｂ）の表面に前記接触端（Ｓ３c）が当接した状態で、前記接触センサ（Ｓ３）により前記シート状被測定物（Ｂ）表面までの距離Ｘｎを検出し且つ前記一方の近接センサ（Ｓ１）および他方の近接センサ（Ｓ２）により前記基準部材（Ｐ）表面までの距離Ｙ０ｎおよびＹ１ｎを検出する。前記測定値検出記憶手段（Ｃ６）は、検出した前記各距離Ｘｎ，Ｙ０ｎ，Ｙ１ｎを、測定値Ｘｎ，Ｙ０ｎ，Ｙ１ｎとして記憶する。
膜厚演算記憶手段（Ｃ７）は、前記センサ間距離ａ1，ａ2、前記測定基準値Ｘ０，Ｙ０，Ｙ１、および前記膜厚測定値Ｘｎ，Ｙ０ｎ，Ｙ１ｎの値に基づいて前記シート状被測定物（Ｂ）の厚さを演算し、記憶する。
（第１発明の形態１）
第１発明の形態１の膜厚測定装置（１）は、前記構成要件（Ａ01）〜（Ａ05）を備えた第１発明において、次の構成要件（Ａ06）、（Ａ07）を備えたことを特徴とする。
（Ａ06）シート状被測定物（Ｂ）を前記基準部材（Ｐ）表面に接触させた状態で搬送するシート状被測定物搬送装置（Ｃ３+ＤＢ+ＭＢ+Ｒｄ+Ｒｆ）、
（Ａ07）前記基準部材（Ｐ）表面に接触した状態で搬送される前記シート状被測定物（Ｂ）の表面に前記接触端（Ｓ３c）が当接した状態で、前記接触センサ（Ｓ３）により前記シート状被測定物（Ｂ）表面までの距離Ｘｎを検出し且つ前記一方の近接センサ（Ｓ１）および他方の近接センサ（Ｓ２）により前記基準部材（Ｐ）表面までの距離Ｙ０ｎおよびＹ１ｎを検出し、検出した前記各距離Ｘｎ，Ｙ０ｎ，Ｙ１ｎを、測定値Ｘｎ，Ｙ０ｎ，Ｙ１ｎとして記憶する前記測定値検出記憶手段（Ｃ６）。
第１発明の形態１の膜厚測定装置（１）は、前記構成要件（Ａ01）〜（Ａ05）を備えた第１発明において、次の構成要件（Ａ06）、（Ａ07）を備えたことを特徴とする。
（Ａ06）シート状被測定物（Ｂ）を前記基準部材（Ｐ）表面に接触させた状態で搬送するシート状被測定物搬送装置（Ｃ３+ＤＢ+ＭＢ+Ｒｄ+Ｒｆ）、
（Ａ07）前記基準部材（Ｐ）表面に接触した状態で搬送される前記シート状被測定物（Ｂ）の表面に前記接触端（Ｓ３c）が当接した状態で、前記接触センサ（Ｓ３）により前記シート状被測定物（Ｂ）表面までの距離Ｘｎを検出し且つ前記一方の近接センサ（Ｓ１）および他方の近接センサ（Ｓ２）により前記基準部材（Ｐ）表面までの距離Ｙ０ｎおよびＹ１ｎを検出し、検出した前記各距離Ｘｎ，Ｙ０ｎ，Ｙ１ｎを、測定値Ｘｎ，Ｙ０ｎ，Ｙ１ｎとして記憶する前記測定値検出記憶手段（Ｃ６）。
（第１発明の形態１の作用）
前記構成要件（Ａ06），（Ａ07）を備えた第１発明の形態１の膜厚測定装置（１）では、シート状被測定物搬送装置（Ｃ３+ＤＢ+ＭＢ+Ｒｄ+Ｒｆ）は、シート状被測定物（Ｂ）を前記基準部材（Ｐ）表面に接触させた状態で搬送する。
測定値検出記憶手段（Ｃ６）は、前記基準部材（Ｐ）表面に接触した状態で搬送される前記シート状被測定物（Ｂ）の表面に前記接触端（Ｓ３c）が当接した状態で、前記接触センサ（Ｓ３）により前記シート状被測定物（Ｂ）表面までの距離Ｘｎを検出し且つ前記一方の近接センサ（Ｓ１）および他方の近接センサ（Ｓ２）により前記基準部材（Ｐ）表面までの距離Ｙ０ｎおよびＹ１ｎを検出し、検出した前記各距離Ｘｎ，Ｙ０ｎ，Ｙ１ｎを、測定値Ｘｎ，Ｙ０ｎ，Ｙ１ｎとして記憶する。
したがって、接触センサ（Ｓ３）により検出した前記シート状被測定物（Ｂ）表面までの距離Ｘｎと、前記接触センサ（Ｓ３）の両側に配置した一方の近接センサ（Ｓ１）および他方の近接センサ（Ｓ２）により検出した基準部材（Ｐ）表面までの距離Ｙ０ｎおよびＹ１ｎとに基づいてシート状被測定物（Ｂ）の正確な厚さを演算して記憶することができる。
前記構成要件（Ａ06），（Ａ07）を備えた第１発明の形態１の膜厚測定装置（１）では、シート状被測定物搬送装置（Ｃ３+ＤＢ+ＭＢ+Ｒｄ+Ｒｆ）は、シート状被測定物（Ｂ）を前記基準部材（Ｐ）表面に接触させた状態で搬送する。
測定値検出記憶手段（Ｃ６）は、前記基準部材（Ｐ）表面に接触した状態で搬送される前記シート状被測定物（Ｂ）の表面に前記接触端（Ｓ３c）が当接した状態で、前記接触センサ（Ｓ３）により前記シート状被測定物（Ｂ）表面までの距離Ｘｎを検出し且つ前記一方の近接センサ（Ｓ１）および他方の近接センサ（Ｓ２）により前記基準部材（Ｐ）表面までの距離Ｙ０ｎおよびＹ１ｎを検出し、検出した前記各距離Ｘｎ，Ｙ０ｎ，Ｙ１ｎを、測定値Ｘｎ，Ｙ０ｎ，Ｙ１ｎとして記憶する。
したがって、接触センサ（Ｓ３）により検出した前記シート状被測定物（Ｂ）表面までの距離Ｘｎと、前記接触センサ（Ｓ３）の両側に配置した一方の近接センサ（Ｓ１）および他方の近接センサ（Ｓ２）により検出した基準部材（Ｐ）表面までの距離Ｙ０ｎおよびＹ１ｎとに基づいてシート状被測定物（Ｂ）の正確な厚さを演算して記憶することができる。
（第１発明の形態２）
第１発明の形態２の膜厚測定装置は、前記第１発明または第１発明の実施の形態１において、次の構成要件（Ａ08）を備えたことを特徴とする。
（Ａ08）平面により形成された前記基準部材表面。
（第１発明の形態２の作用）
前記構成要件を備えた第１発明の形態２では、基準部材（P）の表面が平面であるので、ロールのような円筒状表面を使用する場合の、ロールの偏心、ブレ等の影響を受け難くなる。
第１発明の形態２の膜厚測定装置は、前記第１発明または第１発明の実施の形態１において、次の構成要件（Ａ08）を備えたことを特徴とする。
（Ａ08）平面により形成された前記基準部材表面。
（第１発明の形態２の作用）
前記構成要件を備えた第１発明の形態２では、基準部材（P）の表面が平面であるので、ロールのような円筒状表面を使用する場合の、ロールの偏心、ブレ等の影響を受け難くなる。
（第２発明）
第２発明の膜厚測定方法は、前記第１発明の形態１の膜厚測定装置を使用してシート状被測定物（Ｂ）の膜厚（ｔ）を測定することを特徴とする。
（第２発明の作用）
前記構成を備えた第２発明の膜厚測定方法は、前記第１発明の実施の形態１の膜厚測定装置を使用してシート状被測定物の膜厚を測定するので、シート状測定物（Ｂ）の正確な厚さを検出して記憶することができる。
第２発明の膜厚測定方法は、前記第１発明の形態１の膜厚測定装置を使用してシート状被測定物（Ｂ）の膜厚（ｔ）を測定することを特徴とする。
（第２発明の作用）
前記構成を備えた第２発明の膜厚測定方法は、前記第１発明の実施の形態１の膜厚測定装置を使用してシート状被測定物の膜厚を測定するので、シート状測定物（Ｂ）の正確な厚さを検出して記憶することができる。
前述の本発明の膜厚測定装置および膜厚測定方法は、次の効果（Ｅ01）〜（Ｅ04）を奏する。
（Ｅ01）シート状被測定物の膜厚測定部分を支持する基準部材表面上のシート状被測定物の膜厚を測定する際、膜厚測定時の表面の位置を正確に測定することにより、前記基準部材表面上のシート状被測定物の表面と、前記基準部材表面との間の距離（シート状被測定物の膜厚）を正確に測定することができる。
（Ｅ02）シート状被測定物の膜厚測定部分を支持する基準部材表面としてロールのような円筒状の表面を使用するのではなく、平面状の基準部材表面にすることによりロールの偏心、ブレ等の影響を受け難くすることができる。
（Ｅ03）電気マイクロ等の接触センサの付近に近接センサを配置することにより、膜厚測定時の基準部材のたわみ、ねじれ、振動等の影響を緩和することができる。
（Ｅ01）シート状被測定物の膜厚測定部分を支持する基準部材表面上のシート状被測定物の膜厚を測定する際、膜厚測定時の表面の位置を正確に測定することにより、前記基準部材表面上のシート状被測定物の表面と、前記基準部材表面との間の距離（シート状被測定物の膜厚）を正確に測定することができる。
（Ｅ02）シート状被測定物の膜厚測定部分を支持する基準部材表面としてロールのような円筒状の表面を使用するのではなく、平面状の基準部材表面にすることによりロールの偏心、ブレ等の影響を受け難くすることができる。
（Ｅ03）電気マイクロ等の接触センサの付近に近接センサを配置することにより、膜厚測定時の基準部材のたわみ、ねじれ、振動等の影響を緩和することができる。
次に図面を参照しながら、本発明の実施の形態の膜厚測定装置の具体例（実施例）を説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
図１は本発明の膜厚測定装置の実施例１の全体説明図である。
図２は膜厚測定装置の実施例１の説明図で、図２Ａは前記図１のIIＡ−IIＡ線断面図、図２Ｂは前記図１のIIＢ−IIＢ線断面図である。
図３は膜厚測定装置の実施例１の要部拡大図で、図３Ａは基準板上にベルトが配置されていない状態で基準板上面の位置を測定する近接センサと接触センサとを示す図、図３Ｂは基準板の上においたベルトの膜厚を検出している状態を示す図で前記図２のIIIＢ−IIIＢ線断面図である。
図２は膜厚測定装置の実施例１の説明図で、図２Ａは前記図１のIIＡ−IIＡ線断面図、図２Ｂは前記図１のIIＢ−IIＢ線断面図である。
図３は膜厚測定装置の実施例１の要部拡大図で、図３Ａは基準板上にベルトが配置されていない状態で基準板上面の位置を測定する近接センサと接触センサとを示す図、図３Ｂは基準板の上においたベルトの膜厚を検出している状態を示す図で前記図２のIIIＢ−IIIＢ線断面図である。
図１〜図３に示す本発明の実施例１の膜厚測定装置１は、基準板（基準部材）Ｐの表面に接触した状態で搬送されるエンドレスのベルト（シート状被測定物）Ｂの膜厚を測定する装置である。
図１〜図３において、ベルト（シート状被測定物）Ｂは、ベルト駆動ロールＲｄと従動ロールＲｆとを有するベルト支持ロール（Ｒｄ，Ｒｆ）により回転可能に支持されている。前記ベルト駆動ロールＲｄと従動ロールＲｆとの間には、前記ベルト（シート状被測定物）Ｂの裏面を支持するように基準板Ｐが配置されている。前記基準板Ｐとベルト支持ロール（Ｒｄ，Ｒｆ）とは、図示しない上下移動装置によって上下方向に移動可能に支持されている。
図１〜図３において、ベルト（シート状被測定物）Ｂは、ベルト駆動ロールＲｄと従動ロールＲｆとを有するベルト支持ロール（Ｒｄ，Ｒｆ）により回転可能に支持されている。前記ベルト駆動ロールＲｄと従動ロールＲｆとの間には、前記ベルト（シート状被測定物）Ｂの裏面を支持するように基準板Ｐが配置されている。前記基準板Ｐとベルト支持ロール（Ｒｄ，Ｒｆ）とは、図示しない上下移動装置によって上下方向に移動可能に支持されている。
図１において、前記ベルトＢの端部には、ベルト位置マークＢｍが形成されている。前記ベルト位置マークＢｍは、ベルト位置検出センサＳＮによって検出される。前記ベルト位置検出センサＳＮは、前記ベルト駆動ロールＲｄの回転駆動により回転するベルトＢのベルト位置マークＢｍを検出することにより前記ベルトＢの回転位置を検出することができる。
図３において、前記基準板Ｐの上方には、センサ支持部材２が設けられている。前記センサ支持部材２には、近接センサＳ１，Ｓ２およびリニアゲージ等の接触センサＳ３が支持されている。前記接触センサＳ３は、前記近接センサＳ１，Ｓ２の間に配置されている。前記一方の近接センサＳ１と前記接触センサＳ３とのセンサ間距離はａ1、前記接触センサＳ３と前記他方の近接センサＳ２とのセンサ間距離はａ2である。
前記接触センサＳ３は、固定部Ｓ３aと可動部Ｓ３bと前記可動部Ｓ３bの先端である接触部Ｓ３cとを有している。
前記接触センサＳ３は、固定部Ｓ３aと可動部Ｓ３bと前記可動部Ｓ３bの先端である接触部Ｓ３cとを有している。
前記ベルト（シート状被測定物）Ｂの膜厚を測定する場合、最初に基準板Ｐを図３Ａに示す基準値検出位置に移動させる。前記図３Ａに示す基準値測定位置において、膜厚測定装置１の近接センサＳ１，Ｓ２は、基準板Ｐの表面までの距離Ｙ０，Ｙ１を検出する。また、前記接触センサＳ３は、基準板Ｐの表面に当接する前記接触部Ｓ３cにより、前記基準板Ｐまでの距離Ｘ０を検出する。
その後、前記基準板Ｐを膜厚測定装置１の下方のベルト着脱位置に移動させて、ベルト支持ロール（Ｒｄ，Ｒｆ）および基準板Ｐ上面にベルトＢを支持する。
その後、前記基準板Ｐを膜厚測定装置１の下方のベルト着脱位置に移動させて、ベルト支持ロール（Ｒｄ，Ｒｆ）および基準板Ｐ上面にベルトＢを支持する。
図３Ｂにおいて、前記ベルト支持ロール（Ｒｄ，Ｒｆ）および基準板Ｐ上にベルトＢを配置した状態で前記基準板Ｐを膜厚測定する位置まで移動させる。なお、前記基準板Ｐの移動によりこの図３Ｂに示す基準板Ｐは、前記図３Ａに示す基準板Ｐに対して傾斜角θだけ傾斜している。
図３Ｂにおいて、前記近接センサＳ１，Ｓ２は、前記ベルトＢが配置された状態の基準板Ｐの表面までの距離Ｙ０n，Ｙ１nを検出する。前記接触センサＳ３は、前記基準板Ｐが膜厚測定する位置まで移動したベルトＢの表面に当接する前記接触部Ｓ３cにより、前記ベルトＢの表面までの距離Ｘnを検出する。
図３Ｂにおいて、前記近接センサＳ１，Ｓ２は、前記ベルトＢが配置された状態の基準板Ｐの表面までの距離Ｙ０n，Ｙ１nを検出する。前記接触センサＳ３は、前記基準板Ｐが膜厚測定する位置まで移動したベルトＢの表面に当接する前記接触部Ｓ３cにより、前記ベルトＢの表面までの距離Ｘnを検出する。
図３において、前記基準板Ｐ上に配置されたベルトＢの膜厚をｔとした場合、前記膜厚ｔは次式（１）により算出される。
ｔ＝｜（Ｘn−Ｘ0）−｛a2（Ｙ0n−Ｙ0）＋a1（Ｙ1n−Ｙ1）｝／（a1＋a2）｜cosθ …………………（１）
なお、cosθは、次式（２）により算出される。
cosθ＝（a1＋a2）／｛（a1＋a2）2＋｜（Ｙ1n−Ｙ1）−（Ｙ0n−Ｙ0）｜2 ｝1/2 ………………（２）
ｔ＝｜（Ｘn−Ｘ0）−｛a2（Ｙ0n−Ｙ0）＋a1（Ｙ1n−Ｙ1）｝／（a1＋a2）｜cosθ …………………（１）
なお、cosθは、次式（２）により算出される。
cosθ＝（a1＋a2）／｛（a1＋a2）2＋｜（Ｙ1n−Ｙ1）−（Ｙ0n−Ｙ0）｜2 ｝1/2 ………………（２）
図４は膜厚測定装置の実施例１において、前記図３Ｂに示す傾斜角θがθ＝０の場合の要部拡大図で、図４Ａは表面にシート状被測定物を支持した状態で測定位置に移動した基準板が前記図３Ａと同じ測定位置に移動した状態を示す図、図４Ｂは表面にシート状被測定物を支持した状態で測定位置に移動した基準板が前記図３Ａから垂直方向にずれた状態を示す図である。
図４Ａにおいて、近接センサＳ１，Ｓ２が測定している基準板Ｐまでの距離Ｙ0n，Ｙ1nは、前記図３Ａに示す前記近接センサＳ１，Ｓ２が検出している基準値Ｙ０，Ｙ１と同じ値である。この場合、前記図４Ａに示す基準板Ｐは、近接センサＳ１，Ｓ２に対して前記図３Ａに示す前記基準板Ｐと同じ距離にある。すなわち、Ｙ０n＝Ｙ０，Ｙ１n＝Ｙ１である。
この場合、前記基準板Ｐ上に配置されたベルトＢの膜厚ｔは、前記式（１）、（２）により、
ｔ＝｜Ｘn−Ｘ0｜
となる。
図４Ａにおいて、近接センサＳ１，Ｓ２が測定している基準板Ｐまでの距離Ｙ0n，Ｙ1nは、前記図３Ａに示す前記近接センサＳ１，Ｓ２が検出している基準値Ｙ０，Ｙ１と同じ値である。この場合、前記図４Ａに示す基準板Ｐは、近接センサＳ１，Ｓ２に対して前記図３Ａに示す前記基準板Ｐと同じ距離にある。すなわち、Ｙ０n＝Ｙ０，Ｙ１n＝Ｙ１である。
この場合、前記基準板Ｐ上に配置されたベルトＢの膜厚ｔは、前記式（１）、（２）により、
ｔ＝｜Ｘn−Ｘ0｜
となる。
図４Ｂにおいて、基準板Ｐは、前記図３Ａに示す基準板Ｐの位置が垂直方向のみにズレαが生じた状態である。この場合、前記近接センサＳ１，Ｓ２が検出する基準板Ｐまでの距離Ｙ０n，Ｙ１nは、
Ｙ０n＝Ｙ０＋α ……………………………………………………………（３）
Ｙ１n＝Ｙ１＋α ……………………………………………………………（４）
となる。この場合、前記基準板Ｐ上面に支持されたベルトＢの膜厚ｔは、前記式（１）、（２）、（３）、（４）により算出される。すなわち、
ｔ＝｜（Ｘn−Ｘ0）−（Ｙ0n−Ｙ0）｜
または、
ｔ＝｜（Ｘn−Ｘ0）−（Ｙ1n−Ｙ1）｜
となる。
Ｙ０n＝Ｙ０＋α ……………………………………………………………（３）
Ｙ１n＝Ｙ１＋α ……………………………………………………………（４）
となる。この場合、前記基準板Ｐ上面に支持されたベルトＢの膜厚ｔは、前記式（１）、（２）、（３）、（４）により算出される。すなわち、
ｔ＝｜（Ｘn−Ｘ0）−（Ｙ0n−Ｙ0）｜
または、
ｔ＝｜（Ｘn−Ｘ0）−（Ｙ1n−Ｙ1）｜
となる。
図５は実施例１の膜厚測定装置のコントローラＣの機能ブロック図である。
図５において、膜厚測定装置１のコントローラＣは、外部との信号の入出力および入出力信号レベルの調節等を行うＩ／Ｏ（入出力インターフェース）、必要な処理を行うためのプログラムおよびデータ等が記憶されたＲＯＭ（リードオンリーメモリ）、必要なデータを一時的に記憶するためのＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）、前記ＲＯＭに記憶されたプログラムに応じた処理を行うＣＰＵ（中央演算処理装置）、ならびにクロック発振器等を有するコンピュータにより構成されており、前記ＲＯＭに記憶されたプログラムを実行することにより種々の機能を実現することができる。
図５において、膜厚測定装置１のコントローラＣは、外部との信号の入出力および入出力信号レベルの調節等を行うＩ／Ｏ（入出力インターフェース）、必要な処理を行うためのプログラムおよびデータ等が記憶されたＲＯＭ（リードオンリーメモリ）、必要なデータを一時的に記憶するためのＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）、前記ＲＯＭに記憶されたプログラムに応じた処理を行うＣＰＵ（中央演算処理装置）、ならびにクロック発振器等を有するコンピュータにより構成されており、前記ＲＯＭに記憶されたプログラムを実行することにより種々の機能を実現することができる。
（信号出力要素）
コントローラＣに入力する信号を出力する信号出力要素としては基準値測定開始キーＫ１、膜厚測定開始キーＫ２、ベルト位置センサＳＮ、近接センサＳ１，Ｓ２、接触センサＳ３等がある。
前記基準値測定開始キーＫ１は、前記図３Ａに示す状態で入力された場合に、前記近接センサＳ１，Ｓ２、接触センサＳ３が前記基準板Ｐまでの距離測定を開始する信号を出力する。
前記膜厚測定開始キーＫ２は、図３Ｂまたは図４に示す状態で入力された場合に、ベルト駆動ロールＲｄの駆動開始と、前記近接センサＳ１，Ｓ２による前記基準板Ｐまでの距離の測定開始と、前記接触センサＳ３による前記ベルト（シート状被測定物）Ｂ上面までの距離測定の開始を指示する信号を出力する。
前記ベルト位置センサＳＮは、前記ベルト駆動ロールＲｄの回転駆動により回転するベルトＢのベルト位置マークＢｍを検出して、その検出信号をベルトＢの回転位置信号をコントローラＣに出力する。
前記近接センサＳ１，Ｓ２は、前記コントローラＣに膜厚測定信号および基準信号を出力する。
前記接触センサＳ３は、前記コントローラＣに膜厚測定信号および基準信号を出力する。
コントローラＣに入力する信号を出力する信号出力要素としては基準値測定開始キーＫ１、膜厚測定開始キーＫ２、ベルト位置センサＳＮ、近接センサＳ１，Ｓ２、接触センサＳ３等がある。
前記基準値測定開始キーＫ１は、前記図３Ａに示す状態で入力された場合に、前記近接センサＳ１，Ｓ２、接触センサＳ３が前記基準板Ｐまでの距離測定を開始する信号を出力する。
前記膜厚測定開始キーＫ２は、図３Ｂまたは図４に示す状態で入力された場合に、ベルト駆動ロールＲｄの駆動開始と、前記近接センサＳ１，Ｓ２による前記基準板Ｐまでの距離の測定開始と、前記接触センサＳ３による前記ベルト（シート状被測定物）Ｂ上面までの距離測定の開始を指示する信号を出力する。
前記ベルト位置センサＳＮは、前記ベルト駆動ロールＲｄの回転駆動により回転するベルトＢのベルト位置マークＢｍを検出して、その検出信号をベルトＢの回転位置信号をコントローラＣに出力する。
前記近接センサＳ１，Ｓ２は、前記コントローラＣに膜厚測定信号および基準信号を出力する。
前記接触センサＳ３は、前記コントローラＣに膜厚測定信号および基準信号を出力する。
（被制御要素）
コントローラＣの出力信号により制御される被制御要素としてはベルト駆動回路ＤＢがある。前記ベルト駆動回路ＤＢは、コントローラＣの出力するベルト駆動制御信号に応じてベルト駆動モータＭＢを駆動してベルトＢを回転させる。
コントローラＣの出力信号により制御される被制御要素としてはベルト駆動回路ＤＢがある。前記ベルト駆動回路ＤＢは、コントローラＣの出力するベルト駆動制御信号に応じてベルト駆動モータＭＢを駆動してベルトＢを回転させる。
（コントローラＣの機能）
前記コントローラＣは、基準値測定開始キーＫ１から入力される入力信号に応じた処理を実行して、近接センサＳ１，Ｓ２、接触センサＳ３の測定信号（基準信号）を検出して記憶する機能を有している。前記コントローラＣは、膜厚測定開始キーＫ２、ベルト位置検出センサＳＮ等から入力される入力信号に応じた処理を実行して、ベルト駆動回路に制御信号を出力し、近接センサＳ１，Ｓ２、接触センサＳ３の測定信号を検出して記憶する機能を有している。
前記コントローラＣは、基準値測定開始キーＫ１から入力される入力信号に応じた処理を実行して、近接センサＳ１，Ｓ２、接触センサＳ３の測定信号（基準信号）を検出して記憶する機能を有している。前記コントローラＣは、膜厚測定開始キーＫ２、ベルト位置検出センサＳＮ等から入力される入力信号に応じた処理を実行して、ベルト駆動回路に制御信号を出力し、近接センサＳ１，Ｓ２、接触センサＳ３の測定信号を検出して記憶する機能を有している。
すなわち、コントローラＣは次の各機能を有する機能要素Ｃ１〜Ｃ７を備えている。前記各機能要素の機能はコントローラＣに記憶されているプログラムやデータ等により実現される。
Ｃ１：センサ間距離記憶手段、
センサ間距離記憶手段Ｃ１は、一方の近接センサＳ１と前記接触センサＳ３とのセンサ間の距離ａ1および接触センサＳ３と他方の近接センサＳ２とのセンサ間の距離ａ2とを記憶している。
Ｃ２：基準値検出記憶手段
基準値検出記憶手段Ｃ２は、基準板Ｐの上面にベルト（シート状被測定物）Ｂが支持されていない状態（図３Ａの状態）で前記基準値測定開始キーＫ１が入力された場合、近接センサＳ１，Ｓ２および接触センサＳ３の測定値Ｙ０，Ｙ１，Ｘ０を検出して記憶する。
Ｃ３：ベルト駆動制御手段
ベルト駆動制御手段Ｃ３は、膜厚測定開始キーＫ２の入力信号に応じてベルト駆動回路ＤＢを介してベルト駆動モータＭＢを駆動する。前記ベルト駆動モータＭＢは、ベルト駆動ロールＲｄを駆動することにより基準板Ｐの上面に支持されたベルトＢを駆動する。
前記ベルト駆動制御手段Ｃ３、ベルト駆動回路ＤＢ、ベルト駆動モータＭＢ、ベルト支持ロール（Ｒｄ+Ｒｆ）等によりベルト搬送装置（Ｃ３+ＤＢ+ＭＢ+Ｒｄ+Ｒｆ）が構成されている。
Ｃ１：センサ間距離記憶手段、
センサ間距離記憶手段Ｃ１は、一方の近接センサＳ１と前記接触センサＳ３とのセンサ間の距離ａ1および接触センサＳ３と他方の近接センサＳ２とのセンサ間の距離ａ2とを記憶している。
Ｃ２：基準値検出記憶手段
基準値検出記憶手段Ｃ２は、基準板Ｐの上面にベルト（シート状被測定物）Ｂが支持されていない状態（図３Ａの状態）で前記基準値測定開始キーＫ１が入力された場合、近接センサＳ１，Ｓ２および接触センサＳ３の測定値Ｙ０，Ｙ１，Ｘ０を検出して記憶する。
Ｃ３：ベルト駆動制御手段
ベルト駆動制御手段Ｃ３は、膜厚測定開始キーＫ２の入力信号に応じてベルト駆動回路ＤＢを介してベルト駆動モータＭＢを駆動する。前記ベルト駆動モータＭＢは、ベルト駆動ロールＲｄを駆動することにより基準板Ｐの上面に支持されたベルトＢを駆動する。
前記ベルト駆動制御手段Ｃ３、ベルト駆動回路ＤＢ、ベルト駆動モータＭＢ、ベルト支持ロール（Ｒｄ+Ｒｆ）等によりベルト搬送装置（Ｃ３+ＤＢ+ＭＢ+Ｒｄ+Ｒｆ）が構成されている。
Ｃ４：ベルト位置検出手段
ベルト位置検出手段Ｃ４は、エンドレスのベルトＢの端部に形成されたベルト位置マークＢｍ（図１参照）を検出するベルト位置検出センサＳＮの検出信号により前記ベルトＢの回転位置を検出する。
Ｃ５：パルス出力手段
パルス出力手段Ｃ５は近接センサＳ１，Ｓ２および接触センサＳ３の測定値Ｙ０n，Ｙ１n，Ｘnを検出して記憶するタイミングを支持するための膜厚測定用パルスを出力する。なお、前記膜厚測定用パルスの出力期間は、ベルト位置検出センサＳＮがベルト位置マークＢｍを検出した時点から次の前記ベルト位置マークＢｍを検出するまでの全期間を含む。
ベルト位置検出手段Ｃ４は、エンドレスのベルトＢの端部に形成されたベルト位置マークＢｍ（図１参照）を検出するベルト位置検出センサＳＮの検出信号により前記ベルトＢの回転位置を検出する。
Ｃ５：パルス出力手段
パルス出力手段Ｃ５は近接センサＳ１，Ｓ２および接触センサＳ３の測定値Ｙ０n，Ｙ１n，Ｘnを検出して記憶するタイミングを支持するための膜厚測定用パルスを出力する。なお、前記膜厚測定用パルスの出力期間は、ベルト位置検出センサＳＮがベルト位置マークＢｍを検出した時点から次の前記ベルト位置マークＢｍを検出するまでの全期間を含む。
Ｃ６：測定値検出記憶手段
測定値検出記憶手段Ｃ６は、基準板Ｐの上面にベルト（シート状被測定物）Ｂが支持されている状態での近接センサＳ１，Ｓ２および接触センサＳ３の測定値Ｙ０n，Ｙ１n，Ｘnを、前記膜厚測定用パルスが出力される度に検出し記憶する。
Ｃ７：膜厚演算手段
膜厚演算手段Ｃ７は、前記測定値検出記憶手段Ｃ６が測定値Ｙ０n，Ｙ１n，Ｘnを検出して記憶する度に前記基準値検出記憶手段Ｃ２および前記測定値検出記憶手段Ｃ６で記憶された値Ｙ０，Ｙ１，Ｘ０，Ｙ０n，Ｙ１n，Ｘnに基づいて基準板Ｐの上面に支持されたベルトＢの膜厚ｔを算出する。
測定値検出記憶手段Ｃ６は、基準板Ｐの上面にベルト（シート状被測定物）Ｂが支持されている状態での近接センサＳ１，Ｓ２および接触センサＳ３の測定値Ｙ０n，Ｙ１n，Ｘnを、前記膜厚測定用パルスが出力される度に検出し記憶する。
Ｃ７：膜厚演算手段
膜厚演算手段Ｃ７は、前記測定値検出記憶手段Ｃ６が測定値Ｙ０n，Ｙ１n，Ｘnを検出して記憶する度に前記基準値検出記憶手段Ｃ２および前記測定値検出記憶手段Ｃ６で記憶された値Ｙ０，Ｙ１，Ｘ０，Ｙ０n，Ｙ１n，Ｘnに基づいて基準板Ｐの上面に支持されたベルトＢの膜厚ｔを算出する。
（フローチャートの説明）
次に実施例１の膜厚測定装置１のコントローラＣが行う処理のフローチャートを説明する。
図６は前記実施例１のコントローラＣの膜厚測定処理のフローチャートである。図６のフローチャートの各ＳＴ（ステップ）の処理は、膜厚測定装置１の電源スイッチがオンになったときに開始される。なお、図６のフローチャートでは、一組のセンサＳ１，Ｓ２，Ｓ３の膜厚検出処理のフローチャートが示されているが、センサＳ１，Ｓ２，Ｓ３の組が複数ある場合は、複数の各組のセンサＳ１，Ｓ２，Ｓ３毎に同一の処理が行われる。
次に実施例１の膜厚測定装置１のコントローラＣが行う処理のフローチャートを説明する。
図６は前記実施例１のコントローラＣの膜厚測定処理のフローチャートである。図６のフローチャートの各ＳＴ（ステップ）の処理は、膜厚測定装置１の電源スイッチがオンになったときに開始される。なお、図６のフローチャートでは、一組のセンサＳ１，Ｓ２，Ｓ３の膜厚検出処理のフローチャートが示されているが、センサＳ１，Ｓ２，Ｓ３の組が複数ある場合は、複数の各組のセンサＳ１，Ｓ２，Ｓ３毎に同一の処理が行われる。
図６のステップＳＴ１において、基準値測定開始キーＫ１がオンになったか否かを判断する。ノー（Ｎ）の場合は前記ＳＴ１を繰り返し実行し、イエス（Ｙ）の場合はＳＴ２に移る。
ＳＴ２において、近接センサＳ１，Ｓ２および接触センサＳ３の値Ｙ０，Ｙ１,Ｘ０を基準値として検出、記憶する。
ＳＴ３において、膜厚測定開始キーＫ２がオンになった否かを判断する。ノー（Ｎ）の場合は前記ＳＴ３を繰り返し実行し、イエス（Ｙ）の場合はＳＴ４に移る。
ＳＴ４において、次の処理を実行する。
（１）ベルト駆動ロールＲｄを駆動してベルトＢを駆動する
（２）膜厚測定用のパルス出力を開始する
（３）膜厚測定用のパルス検出値ｎ＝０とする
次に、ＳＴ５に移る。
ＳＴ２において、近接センサＳ１，Ｓ２および接触センサＳ３の値Ｙ０，Ｙ１,Ｘ０を基準値として検出、記憶する。
ＳＴ３において、膜厚測定開始キーＫ２がオンになった否かを判断する。ノー（Ｎ）の場合は前記ＳＴ３を繰り返し実行し、イエス（Ｙ）の場合はＳＴ４に移る。
ＳＴ４において、次の処理を実行する。
（１）ベルト駆動ロールＲｄを駆動してベルトＢを駆動する
（２）膜厚測定用のパルス出力を開始する
（３）膜厚測定用のパルス検出値ｎ＝０とする
次に、ＳＴ５に移る。
ＳＴ５において、ベルト位置検出センサＳＮがベルトＢに形成されたベルト位置マークＢｍを検出したか否かを判断する。ノー（Ｎ）の場合は前記ＳＴ５を繰り返し実行し、イエス（Ｙ）の場合はＳＴ６に移る。
ＳＴ６において、膜厚測定用のパルスが出力されたか否かを判断する。ノー（Ｎ）の場合は前記ＳＴ６を繰り返し実行し、イエス（Ｙ）の場合はＳＴ７に移る。
ＳＴ７において、パルス番号ｎ＝ｎ＋１とする。
ＳＴ８において、次の処理を実行する。
（１）近接センサＳ１の測定値Ｙ０nを検出し、記憶する。
（２）近接センサＳ２の測定値Ｙ１nを検出し、記憶する。
（３）接触センサＳ３の測定値Ｘnを検出し、記憶する。
次に、ＳＴ９に移る。
ＳＴ６において、膜厚測定用のパルスが出力されたか否かを判断する。ノー（Ｎ）の場合は前記ＳＴ６を繰り返し実行し、イエス（Ｙ）の場合はＳＴ７に移る。
ＳＴ７において、パルス番号ｎ＝ｎ＋１とする。
ＳＴ８において、次の処理を実行する。
（１）近接センサＳ１の測定値Ｙ０nを検出し、記憶する。
（２）近接センサＳ２の測定値Ｙ１nを検出し、記憶する。
（３）接触センサＳ３の測定値Ｘnを検出し、記憶する。
次に、ＳＴ９に移る。
ＳＴ９において、ベルトＢの膜厚（厚さ）ｔを式（１）により演算して記憶する。
ｔ＝｜（Ｘn−Ｘ0）−｛a2（Ｙ0n−Ｙ0）＋a1（Ｙ1n−Ｙ1）｝／（a1＋a2）｜cosθ ………………………（１）
ＳＴ１０において、ベルト位置検出センサＳＮがベルトＢに形成されたベルト位置マークＢｍを検出したか否かを判断する。前記ベルト位置検出センサＳＮがベルト位置マークＢｍを検出した場合、エンドレスであるベルトＢの一周分の膜厚を測定することができる。
ノー（Ｎ）の場合は前記ＳＴ６に戻り、イエス（Ｙ）の場合はＳＴ１１に移る。
ＳＴ１１において、次の処理を行う。
（１）ベルト駆動ロールＲｄの駆動を停止する
（２）パルス出力を停止する
前記ＳＴ１１の処理を終了すると、膜厚検出処理のフローチャートが終了する。
ｔ＝｜（Ｘn−Ｘ0）−｛a2（Ｙ0n−Ｙ0）＋a1（Ｙ1n−Ｙ1）｝／（a1＋a2）｜cosθ ………………………（１）
ＳＴ１０において、ベルト位置検出センサＳＮがベルトＢに形成されたベルト位置マークＢｍを検出したか否かを判断する。前記ベルト位置検出センサＳＮがベルト位置マークＢｍを検出した場合、エンドレスであるベルトＢの一周分の膜厚を測定することができる。
ノー（Ｎ）の場合は前記ＳＴ６に戻り、イエス（Ｙ）の場合はＳＴ１１に移る。
ＳＴ１１において、次の処理を行う。
（１）ベルト駆動ロールＲｄの駆動を停止する
（２）パルス出力を停止する
前記ＳＴ１１の処理を終了すると、膜厚検出処理のフローチャートが終了する。
前記膜厚測定装置１の近接センサＳ１，Ｓ２は、基準板Ｐの上面にベルト（シート状被測定物）Ｂを配置する前と後で前記基準板Ｐまでの距離をそれぞれ検出するため、膜厚測定時の前記基準板Ｐの位置が前記基準値測定時の位置と異なった場合（基準板Ｐが撓んだり傾斜したりした場合）でも正確な膜厚を検出することができる。
前記膜厚測定装置１の接触センサＳ３は、前記接触センサＳ３の接触部Ｓ３cが前記基準板Ｐ上のベルトＢの表面に当接した状態で膜厚測定をするため、測定時のベルトＢのバタツキにも対応することができる。
本実施例１では、一組のセンサＳ１〜Ｓ３を複数組配置（図１参照）しているので、ベルト（シート状被測定物）Ｂの複数箇所の膜厚を一度に検出することができる。また、実測値として、０．５μｍ（３δ）の測定精度を達成することができる。
前記膜厚測定装置１の接触センサＳ３は、前記接触センサＳ３の接触部Ｓ３cが前記基準板Ｐ上のベルトＢの表面に当接した状態で膜厚測定をするため、測定時のベルトＢのバタツキにも対応することができる。
本実施例１では、一組のセンサＳ１〜Ｓ３を複数組配置（図１参照）しているので、ベルト（シート状被測定物）Ｂの複数箇所の膜厚を一度に検出することができる。また、実測値として、０．５μｍ（３δ）の測定精度を達成することができる。
図７は本発明の膜厚測定装置の実施例２の全体説明図である。
図８は膜厚測定装置の実施例２の要部拡大図で、図８Ａは基準板上に測定物が配置されていない状態で基準板の位置を測定する近接センサと接触センサとを示す図、図８Ｂは基準板上においた測定物の膜厚を検出している状態を示す図である。
なお、この実施例２の説明において、前記実施例１の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
この図７、図８に示すの実施例２は、下記の点で前記実施例１と相違しているが、他の点では前記実施例１と同様に構成されている。
図７において、実施例２の膜厚測定装置１では、近接センサＳ１，Ｓ２の間に接触センサＳ３〜Ｓ５が配置されている。
図８は膜厚測定装置の実施例２の要部拡大図で、図８Ａは基準板上に測定物が配置されていない状態で基準板の位置を測定する近接センサと接触センサとを示す図、図８Ｂは基準板上においた測定物の膜厚を検出している状態を示す図である。
なお、この実施例２の説明において、前記実施例１の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
この図７、図８に示すの実施例２は、下記の点で前記実施例１と相違しているが、他の点では前記実施例１と同様に構成されている。
図７において、実施例２の膜厚測定装置１では、近接センサＳ１，Ｓ２の間に接触センサＳ３〜Ｓ５が配置されている。
図８において、前記接触センサＳ３〜Ｓ５は、前記近接センサＳ１，Ｓ２の間に配置されている。前記一方の近接センサＳ１と前記接触センサＳ３とは、センサ間の距離がｂ1となるように配置されている。前記接触センサＳ３と接触センサＳ４とは、センサ間の距離がｂ2となるように配置されている。前記接触センサＳ４と接触センサＳ５とは、センサ間の距離がｂ3となるように配置されている。前記接触センサＳ５と前記他方の近接センサＳ２とは、センサ間の距離がｂ4となるように配置されている。
前記接触センサＳ３は、固定部Ｓ３aと可動部Ｓ３bと前記可動部Ｓ３bの先端である接触部Ｓ３cとを有している。
前記接触センサＳ４は、固定部Ｓ４aと可動部Ｓ４bと前記可動部Ｓ４bの先端である接触部Ｓ４cとを有している。
前記接触センサＳ５は、固定部Ｓ５aと可動部Ｓ５bと前記可動部Ｓ５bの先端である接触部Ｓ５cとを有している。
前記接触センサＳ４は、固定部Ｓ４aと可動部Ｓ４bと前記可動部Ｓ４bの先端である接触部Ｓ４cとを有している。
前記接触センサＳ５は、固定部Ｓ５aと可動部Ｓ５bと前記可動部Ｓ５bの先端である接触部Ｓ５cとを有している。
図８Ａにおいて、前記接触センサＳ３〜Ｓ５は、前記基準板Ｐが膜厚測定する位置まで移動した基準板Ｐの表面に当接する前記接触部Ｓ３c〜Ｓ５cにより、前記基準板Ｐまでの距離Ｘ０〜Ｘ２を検出する。
図８Ｂにおいて、前記ベルト支持ロール（Ｒｄ，Ｒｆ）および基準板Ｐ上にベルトＢを支持した状態で前記基準板Ｐを膜厚測定する位置まで移動させる。なお、前記基準板Ｐの移動によりこの図８Ｂに示す基準板Ｐは、前記図８Ａに示す基準板Ｐに対して傾斜角θだけ傾斜している。
前記接触センサＳ３〜Ｓ５は、前記基準板Ｐが膜厚測定する位置まで移動したベルトＢの表面に当接する前記接触部Ｓ３c〜Ｓ５cにより、前記ベルトＢの表面までの距離Ｘ０n〜Ｘ２nを検出する。
前記接触センサＳ３〜Ｓ５は、前記基準板Ｐが膜厚測定する位置まで移動したベルトＢの表面に当接する前記接触部Ｓ３c〜Ｓ５cにより、前記ベルトＢの表面までの距離Ｘ０n〜Ｘ２nを検出する。
図８の近接センサＳ１と接触センサＳ３との間の距離ｂ１は、前記図３の距離ａ１に対応し、図８の近接センサＳ２と接触センサＳ３との間の距離（ｂ２＋ｂ３＋ｂ４）は、前記図３示す距離ａ２に対応している。したがって、接触センサＳ３で検出される前記基準板Ｐ上に配置されたベルトＢの膜厚をｔ1とした場合、前記膜厚ｔ1は前記式（１）のａ１，ａ２をｂ１，（ｂ２＋ｂ３＋ｂ４）に置き替えた次式（５）により算出される。
ｔ1＝｜（Ｘ0n−Ｘ0）−｛(b2+b3+b4)( Ｙ0n−Ｙ0)＋b1(Ｙ1n−Ｙ1)｝／（b1+b2+b3+b4）｜cosθ ……………………（５）
この場合cosθは、前記式（２）の（ａ1＋ａ2）を（b1+b2+b3+b4）に置き替えた次式（６）により算出される。
cosθ＝（b1+b2+b3+b4）／｛（b1+b2+b3+b4）2＋｜（Ｙ1n−Ｙ1）−（Ｙ0n−Ｙ0）｜2｝1/2 ………………（６）
ｔ1＝｜（Ｘ0n−Ｘ0）−｛(b2+b3+b4)( Ｙ0n−Ｙ0)＋b1(Ｙ1n−Ｙ1)｝／（b1+b2+b3+b4）｜cosθ ……………………（５）
この場合cosθは、前記式（２）の（ａ1＋ａ2）を（b1+b2+b3+b4）に置き替えた次式（６）により算出される。
cosθ＝（b1+b2+b3+b4）／｛（b1+b2+b3+b4）2＋｜（Ｙ1n−Ｙ1）−（Ｙ0n−Ｙ0）｜2｝1/2 ………………（６）
前記接触センサＳ４で検出される前記基準板Ｐ上に配置されたベルトＢの膜厚をｔ2とした場合、前記膜厚ｔ2は次式（７）により算出され、式（７）のcosθは前記式（６）により算出される。
ｔ2＝｜（Ｘ1n−Ｘ1）−｛(b3+b4)( Ｙ0n−Ｙ0)＋(b1+b2)( Ｙ1n−Ｙ1)｝／（b1+b2+b3+b4）｜cosθ ………………（７）
前記膜厚ｔ2の式（７）と前記実施例１の膜厚ｔの式（１）とを比較した場合、前記式（７）は、式（１）のａ1，ａ2を（b1+b2），（b3+b4）に置き替えた式である。
ｔ2＝｜（Ｘ1n−Ｘ1）−｛(b3+b4)( Ｙ0n−Ｙ0)＋(b1+b2)( Ｙ1n−Ｙ1)｝／（b1+b2+b3+b4）｜cosθ ………………（７）
前記膜厚ｔ2の式（７）と前記実施例１の膜厚ｔの式（１）とを比較した場合、前記式（７）は、式（１）のａ1，ａ2を（b1+b2），（b3+b4）に置き替えた式である。
前記接触センサＳ５で検出される前記基準板Ｐ上に配置されたベルトＢの膜厚をｔ3とした場合、前記膜厚ｔ3は次式（８）により算出され、式（８）のcosθは前記式（６）により算出される。
ｔ3＝｜（Ｘ2n−Ｘ2）−｛b4(Ｙ0n−Ｙ0)＋(b1+b2+b3)( Ｙ1n−Ｙ1)｝／（b1+b2+b3+b4）｜cosθ ………………（８）
前記膜厚ｔ3の式（８）と前記実施例１の膜厚ｔの式（１）とを比較した場合、前記式（８）は、式（１）のａ1，ａ2をb1，（b2+b3+b4）に置き替えた次式である。
ｔ3＝｜（Ｘ2n−Ｘ2）−｛b4(Ｙ0n−Ｙ0)＋(b1+b2+b3)( Ｙ1n−Ｙ1)｝／（b1+b2+b3+b4）｜cosθ ………………（８）
前記膜厚ｔ3の式（８）と前記実施例１の膜厚ｔの式（１）とを比較した場合、前記式（８）は、式（１）のａ1，ａ2をb1，（b2+b3+b4）に置き替えた次式である。
図９は実施例２の膜厚測定装置のコントローラＣの機能ブロック図である。
この図９の実施例２は、下記の点で前記実施例１と相違しているが、他の点では前記実施例１と同様に構成されている。
図９において、前記コントローラＣに入力する信号を出力する信号出力要素として、接触センサＳ３〜Ｓ５を有している。
この図９の実施例２は、下記の点で前記実施例１と相違しているが、他の点では前記実施例１と同様に構成されている。
図９において、前記コントローラＣに入力する信号を出力する信号出力要素として、接触センサＳ３〜Ｓ５を有している。
図９に示す実施例２のコントローラＣの次の各機能要素Ｃ１’，Ｃ２’，Ｃ６’，Ｃ７’は、前記実施例１の図５の各機能要素Ｃ１，Ｃ２，Ｃ６，Ｃ７と異なる機能を備えている。
Ｃ１’：センサ間距離記憶手段、
前記センサ間距離記憶手段Ｃ１’は、一方の近接センサＳ１と前記接触センサＳ３とのセンサ間の距離ｂ1、前記接触センサＳ３と接触センサＳ４とのセンサ間の距離ｂ2、前記接触センサＳ４と接触センサＳ５とのセンサ間の距離ｂ3、前記接触センサＳ５と他方の近接センサＳ２とのセンサ間の距離ｂ4とを記憶している。
Ｃ２’：基準値検出記憶手段
基準値検出記憶手段Ｃ２’は、基準板Ｐの上面にベルト（シート状被測定物）Ｂが支持されていない状態で前記基準値測定開始キーＫ１が入力された場合、近接センサＳ１，Ｓ２および接触センサＳ３〜Ｓ５の測定値Ｙ０，Ｙ１，Ｘ０〜Ｘ２を検出して記憶する。
Ｃ１’：センサ間距離記憶手段、
前記センサ間距離記憶手段Ｃ１’は、一方の近接センサＳ１と前記接触センサＳ３とのセンサ間の距離ｂ1、前記接触センサＳ３と接触センサＳ４とのセンサ間の距離ｂ2、前記接触センサＳ４と接触センサＳ５とのセンサ間の距離ｂ3、前記接触センサＳ５と他方の近接センサＳ２とのセンサ間の距離ｂ4とを記憶している。
Ｃ２’：基準値検出記憶手段
基準値検出記憶手段Ｃ２’は、基準板Ｐの上面にベルト（シート状被測定物）Ｂが支持されていない状態で前記基準値測定開始キーＫ１が入力された場合、近接センサＳ１，Ｓ２および接触センサＳ３〜Ｓ５の測定値Ｙ０，Ｙ１，Ｘ０〜Ｘ２を検出して記憶する。
Ｃ６’：測定値検出記憶手段
測定値検出記憶手段Ｃ６は、基準板Ｐの上面にベルト（シート状被測定物）Ｂが支持されている状態での近接センサＳ１，Ｓ２および接触センサＳ３〜Ｓ５の測定値Ｙ０n，Ｙ１n，Ｘ０n〜Ｘ２nを、前記膜厚測定用パルスが出力される度に検出し記憶する。
Ｃ７’：膜厚演算手段
膜厚演算手段Ｃ７は、前記測定値検出記憶手段Ｃ６’が測定値Ｙ０n，Ｙ１n，Ｘ０n〜Ｘ２nを検出して記憶する度に前記基準値検出記憶手段Ｃ２’および前記測定値検出記憶手段Ｃ６’で記憶された値を基に基準板Ｐの上面に支持されたベルトＢの膜厚ｔ１〜ｔ３を算出する。
測定値検出記憶手段Ｃ６は、基準板Ｐの上面にベルト（シート状被測定物）Ｂが支持されている状態での近接センサＳ１，Ｓ２および接触センサＳ３〜Ｓ５の測定値Ｙ０n，Ｙ１n，Ｘ０n〜Ｘ２nを、前記膜厚測定用パルスが出力される度に検出し記憶する。
Ｃ７’：膜厚演算手段
膜厚演算手段Ｃ７は、前記測定値検出記憶手段Ｃ６’が測定値Ｙ０n，Ｙ１n，Ｘ０n〜Ｘ２nを検出して記憶する度に前記基準値検出記憶手段Ｃ２’および前記測定値検出記憶手段Ｃ６’で記憶された値を基に基準板Ｐの上面に支持されたベルトＢの膜厚ｔ１〜ｔ３を算出する。
（フローチャートの説明）
次に実施例２の膜厚測定装置１のコントローラＣが行う処理のフローチャートを説明する。
図１０は前記実施例２のコントローラＣの膜厚測定処理のフローチャートである。
この図１０の実施例２の膜厚検出処理のフローチャートは、下記の点で前記実施例１の膜厚検出処理のフローチャートと相違しているが、他の点では前記実施例１の膜厚検出処理のフローチャートと同様である。
次に実施例２の膜厚測定装置１のコントローラＣが行う処理のフローチャートを説明する。
図１０は前記実施例２のコントローラＣの膜厚測定処理のフローチャートである。
この図１０の実施例２の膜厚検出処理のフローチャートは、下記の点で前記実施例１の膜厚検出処理のフローチャートと相違しているが、他の点では前記実施例１の膜厚検出処理のフローチャートと同様である。
ＳＴ２´において、近接センサＳ１，Ｓ２および接触サンサＳ３〜Ｓ５の値Ｙ０，Ｙ１，Ｘ０〜Ｘ２を基準値として検出、記憶する。
ＳＴ８´において、次の処理を行う。
（１）近接センサＳ１の測定値Ｙ０nを検出、記憶する。
（２）近接センサＳ２の測定値Ｙ１nを検出、記憶する。
（３）接触センサＳ３の測定値Ｘ０nを検出、記憶する。
（４）接触センサＳ４の測定値Ｙ１nを検出、記憶する。
（５）接触センサＳ５の測定値Ｙ２nを検出、記憶する。
ＳＴ９´において、検出値を基に測定物の厚さを演算する。なお、前記ＳＴ９´の詳細な説明は後述の図１１において説明する。
ＳＴ８´において、次の処理を行う。
（１）近接センサＳ１の測定値Ｙ０nを検出、記憶する。
（２）近接センサＳ２の測定値Ｙ１nを検出、記憶する。
（３）接触センサＳ３の測定値Ｘ０nを検出、記憶する。
（４）接触センサＳ４の測定値Ｙ１nを検出、記憶する。
（５）接触センサＳ５の測定値Ｙ２nを検出、記憶する。
ＳＴ９´において、検出値を基に測定物の厚さを演算する。なお、前記ＳＴ９´の詳細な説明は後述の図１１において説明する。
図１１は、前記図１０のＳＴ９´の処理の詳細な説明である。
図１１において、前記図１０の膜厚検出処理のフローチャートのＳＴ９´は次の処理を行う。
（１）接触センサＳ３で検出される前記基準板Ｐ上に配置されたベルトＢの膜厚ｔ1は、
ｔ1＝｜（Ｘ0n−Ｘ0）−｛(b2+b3+b4)(Ｙ0−Ｙ0n)＋b1(Ｙ1−Ｙ1n)｝／（b1+b2+b3+b4）｜cosθ ………………（５）
により演算し、記憶する。なお、cosθは前記式（６）により算出される。
（２）接触センサＳ４で検出される前記基準板Ｐ上に配置されたベルトＢの膜厚ｔ2は、
ｔ2＝｜（Ｘ1n−Ｘ1）−｛(b3+b4)(Ｙ0−Ｙ0n)＋(b1+b2)(Ｙ1−Ｙ1n)｝／（b1+b2+b3+b4）｜cosθ ………………（７）
により演算し、記憶する。なお、cosθは前記式（６）により算出される。
（３）接触センサＳ５で検出される前記基準板Ｐ上に配置されたベルトＢの膜厚ｔ3は、
ｔ3＝｜（Ｘ2n−Ｘ2）−｛b4(Ｙ0−Ｙ0n)＋(b1+b2+b3)(Ｙ1−Ｙ1n)｝／（b1+b2+b3+b4）｜cosθ ………………（８）
により演算し、記憶する。なお、cosθは前記式（６）により算出される。
図１１において、前記図１０の膜厚検出処理のフローチャートのＳＴ９´は次の処理を行う。
（１）接触センサＳ３で検出される前記基準板Ｐ上に配置されたベルトＢの膜厚ｔ1は、
ｔ1＝｜（Ｘ0n−Ｘ0）−｛(b2+b3+b4)(Ｙ0−Ｙ0n)＋b1(Ｙ1−Ｙ1n)｝／（b1+b2+b3+b4）｜cosθ ………………（５）
により演算し、記憶する。なお、cosθは前記式（６）により算出される。
（２）接触センサＳ４で検出される前記基準板Ｐ上に配置されたベルトＢの膜厚ｔ2は、
ｔ2＝｜（Ｘ1n−Ｘ1）−｛(b3+b4)(Ｙ0−Ｙ0n)＋(b1+b2)(Ｙ1−Ｙ1n)｝／（b1+b2+b3+b4）｜cosθ ………………（７）
により演算し、記憶する。なお、cosθは前記式（６）により算出される。
（３）接触センサＳ５で検出される前記基準板Ｐ上に配置されたベルトＢの膜厚ｔ3は、
ｔ3＝｜（Ｘ2n−Ｘ2）−｛b4(Ｙ0−Ｙ0n)＋(b1+b2+b3)(Ｙ1−Ｙ1n)｝／（b1+b2+b3+b4）｜cosθ ………………（８）
により演算し、記憶する。なお、cosθは前記式（６）により算出される。
本実施例２では、一対の近接センサＳ１，Ｓ２の間に３個の接触センサＳ３〜Ｓ５を配置（図７参照）しているので、前記実施例１の一対のセンサＳ１，Ｓ２の間に１個の接触センサＳ３を配置したものと比較して、近接センサの必要個数を増加させることなくベルト（シート状被測定物）Ｂの膜厚測定箇所を一度に多く検出することができる。
以上、本発明の実施例を詳述したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更例を下記に例示する。
（Ｈ01）本発明の実施例では、一対の近接センサＳ１，Ｓ２と前記一対の近接センサＳ１，Ｓ２の間に配置された接触センサＳ３（Ｓ３〜Ｓ５）とを組み合せたものを複数組配置したが、この場合、前記隣接して配置された近接センサＳ１，Ｓ２の一方を省略することが可能である。
（Ｈ02）前記各実施例の膜厚測定装置は、画像形成装置の中間転写ベルトの厚さを検出することが可能である。
（Ｈ03）前記各実施例の膜厚測定装置１では、基準板Ｐとベルト支持ロール（Ｒｄ，Ｒｆ）とが図示しない上下移動装置によって上下方向に移動可能に支持されていたが、前記基準板Ｐとベルト支持ロール（Ｒｄ，Ｒｆ）とに対して、前記膜厚測定装置１を上下方向に移動可能に構成することが可能である。
（Ｈ01）本発明の実施例では、一対の近接センサＳ１，Ｓ２と前記一対の近接センサＳ１，Ｓ２の間に配置された接触センサＳ３（Ｓ３〜Ｓ５）とを組み合せたものを複数組配置したが、この場合、前記隣接して配置された近接センサＳ１，Ｓ２の一方を省略することが可能である。
（Ｈ02）前記各実施例の膜厚測定装置は、画像形成装置の中間転写ベルトの厚さを検出することが可能である。
（Ｈ03）前記各実施例の膜厚測定装置１では、基準板Ｐとベルト支持ロール（Ｒｄ，Ｒｆ）とが図示しない上下移動装置によって上下方向に移動可能に支持されていたが、前記基準板Ｐとベルト支持ロール（Ｒｄ，Ｒｆ）とに対して、前記膜厚測定装置１を上下方向に移動可能に構成することが可能である。
２…センサ支持部材、Ｂ…シート状被測定物、Ｃ１…センサ間距離記憶手段、Ｃ２…基準値検出記憶手段、Ｃ６…測定値検出記憶手段、Ｃ７…膜厚演算記憶手段、Ｐ…基準板、Ｓ１，Ｓ２…近接センサ、Ｓ３c…接触端、Ｓ３…接触センサ。
Claims (4)
- 次の構成要件（Ａ01）〜（Ａ05）を備えたことを特徴とする膜厚測定装置、
（Ａ01）基準部材表面までの距離を検出する間隔を置いて配置された一対の近接センサと、前記近接センサの間に配置され且つ距離測定対象物の表面に接触する接触端を有し、前記接触端が前記基準部材表面に当接した状態で前記基準部材表面までの距離を検出し且つ前記基準部材表面に置かれたシート状被測定物の表面に前記接触端が当接した状態で前記シート状被測定物の表面までの距離を測定する接触センサとを、前記各センサ間の位置関係が固定した状態で支持するセンサ支持部材、
（Ａ02）前記一対の近接センサの中の一方の近接センサと前記接触センサとの距離ａ1と、他方の近接センサと前記接触センサとの距離ａ2とをセンサ間距離ａ1，ａ2として記憶するセンサ間距離記憶手段、
（Ａ03）前記基準部材表面に前記接触端が当接した状態で、前記接触センサにより前記基準部材表面までの距離Ｘ０を検出し且つ前記一方の近接センサおよび他方の近接センサにより前記基準部材表面までの距離Ｙ０およびＹ１を検出し、検出した前記各距離Ｘ０，Ｙ０，Ｙ１を、基準値Ｘ０，Ｙ０、Ｙ１として記憶する基準値検出記憶手段、
（Ａ04）前記基準部材表面上の前記シート状被測定物の表面に前記接触端が当接した状態で、前記接触センサにより前記シート状被測定物表面までの距離Ｘｎを検出し且つ前記一方の近接センサおよび他方の近接センサにより前記基準部材表面までの距離Ｙ０ｎおよびＹ１ｎを検出し、検出した前記各距離Ｘｎ，Ｙ０ｎ，Ｙ１ｎを、測定値Ｘｎ，Ｙ０ｎ，Ｙ１ｎとして記憶する測定値検出記憶手段、
（Ａ05）前記センサ間距離ａ1，ａ2、前記測定基準値Ｘ０，Ｙ０，Ｙ１、および前記膜厚測定値Ｘｎ，Ｙ０ｎ，Ｙ１ｎの値に基づいて前記シート状被測定物の厚さを演算して記憶する膜厚演算記憶手段。 - 次の構成要件（Ａ06）〜（Ａ07）を備えたことを特徴とする請求項１記載の膜厚測定装置、
（Ａ06）シート状被測定物を前記基準部材表面に接触させた状態で搬送するシート状被測定物搬送装置、
（Ａ07）前記基準部材表面に接触した状態で搬送される前記シート状被測定物の表面に前記接触端が当接した状態で、前記接触センサにより前記シート状被測定物表面までの距離Ｘｎを検出し且つ前記一方の近接センサおよび他方の近接センサにより前記基準部材表面までの距離Ｙ０ｎおよびＹ１ｎを検出し、検出した前記各距離Ｘｎ，Ｙ０ｎ，Ｙ１ｎを、測定値Ｘｎ，Ｙ０ｎ，Ｙ１ｎとして記憶する前記測定値検出記憶手段。 - 次の構成要件（Ａ08）を備えたことを特徴とする請求項１または２記載の膜厚測定装置、
（Ａ08）平面により形成された前記基準部材表面。 - 前記請求項１ないし３のいずれか記載の膜厚測定装置を使用してシート状被測定物の膜厚を測定する膜厚測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004063791A JP2005249714A (ja) | 2004-03-08 | 2004-03-08 | 膜厚測定装置および膜厚測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004063791A JP2005249714A (ja) | 2004-03-08 | 2004-03-08 | 膜厚測定装置および膜厚測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2005249714A true JP2005249714A (ja) | 2005-09-15 |
Family
ID=35030307
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004063791A Pending JP2005249714A (ja) | 2004-03-08 | 2004-03-08 | 膜厚測定装置および膜厚測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2005249714A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011038856A (ja) * | 2009-08-07 | 2011-02-24 | Toyota Motor Corp | 膜厚測定装置および膜厚測定方法 |
| CN102410822A (zh) * | 2010-09-21 | 2012-04-11 | 捷毅***股份有限公司 | 厚度量测装置及其方法 |
| KR20230077950A (ko) * | 2021-11-26 | 2023-06-02 | 에스피오주식회사 | 간섭계와 리니어 게이지를 이용한 렌즈 두께 측정기 및 이를 이용한 두께 측정 방법 |
-
2004
- 2004-03-08 JP JP2004063791A patent/JP2005249714A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011038856A (ja) * | 2009-08-07 | 2011-02-24 | Toyota Motor Corp | 膜厚測定装置および膜厚測定方法 |
| CN102410822A (zh) * | 2010-09-21 | 2012-04-11 | 捷毅***股份有限公司 | 厚度量测装置及其方法 |
| KR20230077950A (ko) * | 2021-11-26 | 2023-06-02 | 에스피오주식회사 | 간섭계와 리니어 게이지를 이용한 렌즈 두께 측정기 및 이를 이용한 두께 측정 방법 |
| KR102671322B1 (ko) * | 2021-11-26 | 2024-05-31 | 에스피오주식회사 | 간섭계와 리니어 게이지를 이용한 렌즈 두께 측정기 및 이를 이용한 두께 측정 방법 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4865609B2 (ja) | 用紙穿孔装置及び画像形成装置 | |
| TWI473965B (zh) | Thickness measurement system and thickness measurement method | |
| EP3277610B1 (en) | Measured sensor distance correction | |
| JP5544799B2 (ja) | 記録材の長さ測定装置、画像形成装置およびプログラム | |
| KR102518930B1 (ko) | 시트 두께 측정 장치 | |
| JP5323631B2 (ja) | インクジェット画像記録装置およびベルト搬送補正方法 | |
| JP6082885B2 (ja) | 電池用電極シートの製造方法および製造装置 | |
| KR20040021576A (ko) | 전자사진 인쇄 장치용 제어 시스템에서 개방 루프의 용지위치 오류를 최소화하기 위한 방법과 장치 | |
| JP2008007246A (ja) | ベルト調整装置、ベルト調整方法および搬送装置 | |
| JP2005249714A (ja) | 膜厚測定装置および膜厚測定方法 | |
| JP3421646B2 (ja) | 平板用非接触式厚さ計 | |
| JP5467517B2 (ja) | 放射線測定装置 | |
| JP2009047665A (ja) | 膜厚分布測定装置および塗膜形成装置 | |
| JP3922937B2 (ja) | 厚み計測方法及び装置 | |
| JPH04369409A (ja) | 光学式厚さ測定装置 | |
| JP2003140475A (ja) | 受光体ベルトトラッキング装置 | |
| JP2001109160A (ja) | 基板露光装置におけるマスク撓み補正機構 | |
| JP5263582B2 (ja) | 画像形成装置およびプログラム | |
| JP2834638B2 (ja) | 自動板厚測定装置 | |
| TW200815262A (en) | Glass centering apparatus for flat panel display | |
| JP5264461B2 (ja) | ベルト駆動装置及び画像形成装置 | |
| JP2020148738A (ja) | 板材の位置検出方法、板材のデータ補正方法、及び板材の位置検出装置 | |
| JP4393696B2 (ja) | 測長システム | |
| JP2000250375A5 (ja) | ||
| JP2002311746A (ja) | 熱定着装置 |