JP2005217199A - 信号線回路装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 信号線回路装置102は、実装基板120上に配置される。信号線回路装置102は、誘電体層104と、誘電体層104の表面に形成された信号線106と、実装基板120と誘電体層104との間に形成され、信号線106と実装基板120との間に空隙を生じさせるスペーサ(半田130またはフォトソルダレジスト132)と、を含む。
【選択図】 図3
Description
ここで、誘電体層4の表面には信号線6が形成され、誘電体層4の裏面にはグランド線8が形成される。また、図示していないが、誘電体層4の表面には半導体素子や受動素子等の回路素子が配置され、回路素子を覆うモールド樹脂14が形成される。
ここで、増幅器201は、入力回路200と、トランジスタ202と、コイル204と、信号線回路装置102と、出力回路206とにより構成される。入力回路200は、トランジスタ202のベースに接続され、出力回路206は、コレクタに接続される。また、トランジスタ202のコレクタには、コイル204および信号線回路装置102が接続される。トランジスタ202のエミッタは接地される。信号線回路装置102の構成の詳細は後述するが、信号線回路装置102は、信号線とグランド線とにより構成されるマイクロストリップ線路を含む。ここで、増幅器201の特性は、トランジスタ202の特性やコイル204の特性によって変動するが、信号線回路装置102の信号線の長さを調整することにより増幅器201の特性の変動を低減することができる。
図6(a)、図7(a)、および図8(a)は、マイクロストリップライン型の信号線回路装置102を示す。図6(b)、図7(b)、および図8(b)は、コプラナー型の信号線回路装置102を示す。
まず、図9(a)に示すように、金属箔400上にフォトレジスト401を形成し、信号線106を形成する領域において金属箔400を露出させる。次いで電解めっき法等により、金属箔400の露出面に信号線106を形成する。つづいて、図9(b)に示すように、信号線106上に、表面にグランド線108が形成された誘電体層104を貼り付ける。その後、グランド線108と同時に形成される図示しないパターン上に回路素子等を配置し、つづいて回路素子をモールド樹脂114で封止する(図9(c))。
まず、図9を参照して説明したのと同様、金属箔400上にフォトレジストを形成し、所定の領域において金属箔400を露出させ、配線パターン(不図示)を形成する。つづいて、金属箔400上に、表面に導電箔が設けられた絶縁体層134を形成する。その後、エッチングにより導電箔をパターニングし、絶縁体層134上に信号線106を形成する(図10(a))。その後、信号線106上に、表面にグランド線108が形成された誘電体層104を貼り付ける(図10(b))。絶縁体層134と誘電体層104とは、同じ材料により構成することができる。その後、グランド線108と同時に形成される図示しないパターン上に回路素子等を配置し、つづいて回路素子をモールド樹脂114で封止する(図10(c))。
Claims (6)
- 誘電体層と、
前記誘電体層の一方の面に形成された信号線と、
前記誘電体層の前記一方の面に設けられ、前記誘電体層の一方の面側に他の部材が配置されたときに、前記信号線と当該他の部材との間に空隙を生じさせるスペーサと、
を含むことを特徴とする信号線回路装置。 - 基板と、
前記基板表面に形成された導電部材と、
前記基板上に配置された誘電体層と、
前記誘電体層の一方の面に形成された信号線と、
前記基板と前記誘電体層との間に設けられ、信号線と前記基板との間に空隙を生じさせるスペーサと、
を含むことを特徴とする信号線回路装置。 - 請求項1または2に記載の信号線回路装置において、
前記スペーサは、前記信号線の膜厚よりも厚く形成されたことを特徴とする信号線回路装置。 - 請求項1乃至3いずれかに記載の信号線回路装置において、
前記信号線は、前記誘電体層と接する面とは反対の面において、露出して形成されたことを特徴とする信号線回路装置。 - 請求項1乃至3いずれかに記載の信号線回路装置において、
前記信号線は、前記誘電体層を構成する材料よりも誘電率が低い絶縁材料により覆われたことを特徴とする信号線回路装置。 - 請求項1乃至5いずれかに記載の信号線回路装置において、
前記誘電体層の前記一方の面とは反対面に配置された回路素子と、
前記誘電体層の前記反対面において、回路素子を封止する封止樹脂と、
をさらに含むことを特徴とする信号線回路装置。
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