JP2005191040A - 熱電モジュールの製造方法及びそれに用いる位置決め治具 - Google Patents
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Abstract
【課題】量産性に優れる熱電モジュールの機能を確保するために、熱電素子を正確に配設しさらに半田ペーストを使用しての熱電モジュールの製造を可能にし、さらには熱電素子を傷つけない熱電モジュールの製造方法を提供する。
【解決手段】支持基板上に配線導体を配し、該配線導体の上方に複数の開口を有する位置決め治具を複数積層し、互いの開口をずらして配置し、積層した複数の前記位置決め治具の前記開口よりなる貫通孔に熱電素子を挿入し、該熱電素子を前記配線導体と加熱接合した後、前記位置決め治具を移動させ、前記熱電素子から前記位置決め治具を取り外す工程を含むようにする。
【選択図】
【図1】
【解決手段】支持基板上に配線導体を配し、該配線導体の上方に複数の開口を有する位置決め治具を複数積層し、互いの開口をずらして配置し、積層した複数の前記位置決め治具の前記開口よりなる貫通孔に熱電素子を挿入し、該熱電素子を前記配線導体と加熱接合した後、前記位置決め治具を移動させ、前記熱電素子から前記位置決め治具を取り外す工程を含むようにする。
【選択図】
【図1】
Description
本発明は、半導体等の発熱体の冷却等に好適に使用され、量産性に優れる熱電モジュールの製造方法に関する。
従来より、ペルチェ効果を利用した熱電素子は、電流を流すことにより一端が発熱するとともに他端が吸熱するため、冷却用の熱電素子として用いられている。特に、熱電モジュールとしてレーザーダイオードの温度制御、小型で構造が簡単でありフロンレスの冷却装置、冷蔵庫、恒温槽、光検出素子、半導体製造装置等の電子冷却素子、レーザーダイオードの温度調節等への幅広い利用が期待されている。
この室温付近で使用される熱電モジュールに使用される熱電素子用材料は、冷却特性が優れるという観点からA2B3型結晶(AはBi及び/又はSb、BはTe及び/又はSe)からなる熱電素子が一般的に用いられる。
例えば、P型の熱電素子にはBi2Te3(テルル化ビスマス)とSb2Te3(テルル化アンチモン)との固溶体が、N型の熱電素子にはBi2Te3とBi2Se3(セレン化ビスマス)との固溶体が特に優れた性能を示すことから、このA2B3型結晶(AはBi及び/又はSb、BはTe及び/又はSe)が熱電素子として広く用いられている。
ペルチェ効果を利用した熱電モジュールは、図1に示すように、支持基板1a、1bのそれぞれ一方の表面に、それぞれ配線導体2a、2bが形成され、熱電素子3が配線導体2a、2bによって挟持されるとともに、電気的に直列に連結されるように配置されている。ここで、熱電素子3はN型熱電素子3a及びP型熱電素子3bの2種類からなり、これらを交互に配列し、電気的に直列になるように配線導体2a、2bで接続され、さらにリード線4に接続することによって、外部から熱電素子3に直流電圧を印加することができ、その電流の向きに応じて吸熱あるいは発熱を生じせしめることができる。
上記の配線導体2a、2bは、大電流に耐え得るように、通常は銅電極が用いられ、配線導体2a、2bに熱電素子3が半田で接合されている。
上記のような熱電モジュールは、構造が簡単で、取扱が容易であるにもかかわらず、安定な特性を維持することが出来るため、広範囲にわたる利用が注目されている。特に、小型で局所冷却ができ、室温付近の精密な温度制御が可能であるため、半導体レーザや光集積回路等に代表される一定温度に精密制御される装置や小型冷蔵庫等に利用されている。
このような構造を有する熱電モジュールを作製するに当っては、図4に熱電モジュールの製造方法における部分断面図を示すように、配線導体21を上にして配置した2枚の支持基板のうち、任意の1枚の支持基板22上方に、所定の位置に同一格子形状を有する三枚の格子形状構造体23a、23b、23cを重ねてなる格子治具23を配設し、該格子治具12の各格子部に半田ペースト等よりなる接合剤24を介して熱電素子25を挿入した後、前記三枚の格子形状構造体23a、23b、23cよりなる格子治具23のうち、少なくとも一枚の格子形状構造体を支持基板22に対して適切な位置まで水平移動して熱電素子25の位置決めを行い、配線導体21と熱電素子25とを加熱接合させた熱電モジュールを製造する方法が開示されている。(例えば、特許文献1参照)。
特開平3−201579号公報
しかしながら、特許文献1に記載の熱電モジュールの製造方法では、熱電素子が支持基板上の配線導体に格子治具を介して挿入し、格子治具を水平移動させて配線導体上で熱電素子の位置決めをした後に、熱電素子と支持基板を半田で加熱接合する必要があった。この場合、熱電素子と配線導体との接合に半田ペーストを用いると、格子治具で熱電素子を位置決めする際に、熱電素子が移動して半田ペーストが熱電素子の側面に接着することによって、隣接する熱電素子同士が接触して短絡したり、また、配線導体と熱電素子間の半田ペーストが著しく減少するため、熱電素子を配線導体に接合するのが困難であった。即ち、上記の方法では、半田ペーストを用いると不具合を生じるため、半田メッキ等を用いる必要があった。
したがって、本発明の目的は、量産性に優れる熱電モジュールの機能を確保するために、熱電素子を正確に配設しさらに半田ペーストを使用しての熱電モジュールの製造を可能にし、さらには熱電素子を傷つけない熱電モジュールの製造方法を提供することにある。
本発明の熱電モジュールの製造方法は、支持基板上に配線導体を配し、該配線導体の上方に複数の開口を有する位置決め治具を複数積層し、互いの開口をずらして配置し、積層した複数の前記位置決め治具の前記開口よりなる貫通孔に熱電素子を挿入し、該熱電素子を前記配線導体と加熱接合した後、前記位置決め治具を移動させ、前記熱電素子から前記位置決め治具を取り外す工程を含むことを特徴とする。
さらに、複数の前記位置決め治具の移動が、前記支持基板に対して水平方向であることを特徴とする。
さらに、前記位置決め治具が格子形状であり、前記貫通孔の面積をS1、前記熱電素子の端面の面積をS2としたとき、S1/S2=1.05〜1.90とすることを特徴とする。
また、本発明の位置決め治具は、本発明の熱電モジュールの製造方法に用いられる位置決め治具であって、開口の角部に曲面部を形成したことを特徴とする。
さらに、前記曲面部の曲率半径が前記開口の最長辺長さの50%以下であることを特徴とする。
さらに、前記位置決め治具が熱膨張係数5.0×10−5/℃以下の材質からなることを特徴とする。
このように、本発明の熱電モジュールの製造方法によれば、複数の開口を有する位置決め治具を複数積層し、互いの開口をずらして配置し、積層した複数の位置決め治具の各開口よりなる貫通孔に熱電素子を挿入し、該熱電素子を配線導体と加熱接合した後、前記位置決め治具を移動させ、前記熱電素子から前記位置決め治具を取り外す工程を含むことにより、前記熱電素子の位置決め後に前記配線導体との加熱接合が可能になるため、前記熱電素子と前記配線導体の接合力を高め、前記熱電素子の倒れを防ぐとともに、半田ペーストの前記熱電素子の側面への接着を防ぐことにより、隣接する前記熱電素子同士が短絡することなく、量産性に優れた熱電モジュールの製造が可能になる。
さらに、複数の前記位置決め治具の移動が、前記支持基板に対して水平方向とすることにより、前記位置決め治具が前記熱電素子の側面への衝突を防ぐとともに、前記貫通孔を前記熱電素子の外周よりも広げた後に前記熱電モジュールを取り出すことが可能となるため、前記位置決め治具から前記熱電モジュールを容易に取り出すことができる。
さらに、前記位置決め治具が格子形状であることにより、複数の前記熱電素子同士のクリアランスを一定に保つことができるため、前記熱電素子を精度よく配置することができる。また、前記貫通孔の面積をS1、前記熱電素子の端面の面積をS2としたとき、S1/S2=1.05〜1.90とすることにより、前記熱電素子を前記貫通孔の外周に接触することなく前記貫通孔に挿入可能になるため、前記熱電素子における傷やメッキ剥離を低減することができるとともに、前記熱電素子を精度よく配置することができる。
また、本発明の熱電モジュールの製造方法に用いられる位置決め治具の開口の角部に曲面部を形成することにより、前記開口からなる貫通孔に熱電素子を挿入する際に、前記位置決め治具が前記熱電素子の側面に与える損傷を低減することができ、さらに、前記曲面部の曲率半径が前記開口の最長辺長さの50%以下とすることにより、前記損傷をさらに低減することができ、前記熱電素子における傷やメッキ剥離を低減することができる。
さらに、前記位置決め治具の材質の熱膨張係数を5.0×10−5/℃以下とすることにより、前記貫通孔の熱膨張を抑制することができるため、前記貫通孔の熱膨張による前記熱電素子の側面への接触による損傷を低減できるとともに、前記熱電素子から前記位置決め治具を取り外す工程が極めて容易になる。
図1は本発明の熱電モジュールの製造方法によって作製された熱電モジュールを示す斜視図である。
本発明の熱電モジュールの製造方法によって作製された熱電モジュールは、図1に示すように、支持基板1a、1bのそれぞれ一方の表面に、それぞれ配線導体2a、2bが形成され、熱電素子3が配線導体2a、2bによって挟持されるとともに、電気的に直列に連結されるように配置されている。ここで、熱電素子3はN型熱電素子3a及びP型熱電素子3bの2種類からなり、これらを交互に配列し、電気的に直列になるように配線導体2a、2bで接続され、さらにリード線4に接続することによって、外部から熱電素子3に直流電圧を印加することができる。
そして、本発明の熱電モジュールの製造方法は、支持基板1a上に配線導体2aを配し、その配線導体2aの上方に、図2(a)に示す複数の開口5を有する位置決め治具6を複数積層し、互いの開口5をずらして配置し、図2(b)、(c)に示すように、積層した複数の位置決め治具6の開口5a、5bの重なりよりなる貫通孔7に熱電素子3を挿入し、図3(a)に示すように、熱電素子3を配線導体2と加熱接合した後、図3(b)に示すように、位置決め治具6を移動させ、熱電素子3から位置決め治具6を取り外す工程を含むことを特徴とする。これにより、熱電素子3と配線導体2aを強固に接合するために必要な半田ペースト8を維持できるため、接合熱電素子3と配線導体2aとの接合力を高め、熱電素子3の倒れを防ぐとともに、半田ペースト8の熱電素子3の側面への接着を防ぐことにより、隣接する熱電素子3同士が短絡することなく、量産性に優れた熱電モジュールの製造が可能になる。
さらに、複数の位置決め治具6の移動が、支持基板1aに対して水平方向であることが好ましい。これは、例えば、位置決め治具6の移動が支持基板1aに対して垂直方向であるならば、熱電素子3から位置決め治具6を取り外す際に、貫通孔7の外周部に熱電素子3が接触しやすくなるため、熱電素子3の側面に傷やメッキ剥離を発生させる可能性があるからである。また、配線導体2aと熱電素子3の加熱接合によって位置決め治具6が熱膨張を起こし、貫通孔7が小さくなるため、熱電素子3から位置決め治具6を取り外すことができない場合がある。
さらに、位置決め治具6が格子形状であり、貫通孔7の面積をS1、熱電素子3の端面の面積をS2としたとき、S1/S2=1.05〜1.90であることが好ましい。これは、位置決め治具6が格子形状でないなら、隣り合う熱電素子3同士のクリアランスを一定に保つことが困難になり、熱電素子3を精度よく配線導体2に配置することができない場合があるからである。また、S1/S2が1.05未満では、熱電素子3の貫通孔7への挿入が困難になるとともに、加熱接合後に位置決め治具6を移動する際に、熱電素子3の側面に傷やメッキ剥離を発生させる場合があるからである。また、S1/S2が1.90を超えると、貫通孔7と熱電素子3とのクリアランスが増大し、熱電素子3を精度よく配線導体2aに配するのが困難になる。したがって、S1/S2=1.05〜1.90であることが好ましく、望ましくはS1/S2=1.10〜1.70であり、さらに安全に熱電素子3を貫通孔7に挿入し、隣り合う熱電素子3と開口5との干渉を防ぐためには、S1/S2=1.20〜1.60であることが望ましい。ここで、熱電素子3の端面とは、配線導体2aと加熱接合せしめられる面である。
また、図2(d)に示すように、開口5の角部に外側へ張り出した曲面部9を形成することが好ましい。これは、開口5の角部に曲面部9を施さないと、熱電素子3を貫通孔7に挿入する際に、開口5の角部が熱電素子3の側面を傷つけることによって、メッキ剥離が生じる場合があるからである。ここで、曲面部9を開口5の外側へ張り出して配すると、逃げ部が広くなるため熱電素子3が貫通孔7に接触し難いので望ましい。
さらに、曲面部9の曲率半径が開口5の最長辺長さの50%以下であることが好ましい。これは、開口5の最長辺長さの50%を超えると、開口5と熱電素子3とのクリアランスが増大するため、熱電素子3を精度よく配線導体2に配置することができなくなる場合があるからである。
さらに、位置決め治具6が熱膨張係数5.0×10−5/℃以下の材質からなることが好ましい。これは、位置決め治具6の材質の熱膨張係数が5.0×10−5/℃を超えると、熱電素子3と配線導体2aを加熱接合する際に、位置決め治具6が熱膨張することにより、貫通孔7と熱電素子3とが接触する場合が生じ、該接触により熱電素子3の側面に傷やメッキ剥離が発生しやすくなる。ここで、位置決め治具6の材質としては、アルミナ、アルミニウム、銅、鋼、ステンレス等を例示できる。特に、ステンレスが耐熱性、加工性、耐久性、コストの面から好ましい。
次に、本発明の熱電モジュールの製造方法について以下に説明する。
まず、支持基板1aを準備する。支持基板1aとしては、耐振動及び衝撃性に優れ、配線導体2aの密着強度が大きく、また、放熱面や冷却面としての熱抵抗が小さいものが好ましい。具体的には、アルミナ、ムライト、窒化アルミニウム、窒化珪素、炭化珪素の少なくとも1種からなる焼結体を例示できる。特にコストの点からアルミナ焼結体を、熱伝導率が高く、熱抵抗が小さい点で窒化アルミニウム焼結体を、強度及び熱伝導率の点で炭化珪素焼結体を、衝撃性や強度の点で窒化珪素焼結体を好適に使用できる。
支持基板1aの曲げ強度は、200MPa以上、特に250MPa以上、更には300MPa以上にすることが、配線導体2の形成や半田層の形成に伴う応力集中に対しても支持基板1aの破損を防止する効果を高め、より高い信頼性を得る点において好ましい。
次いで、支持基板1a上に配線導体2aを形成する。配線導体2は、Cu、Al、Au、Pt、Ni及びWのうち少なくとも1種の金属を用いることが可能である。これらのうち、特にCuが電気伝導性及び支持基板1への密着強度の点で、また、Alがコストの点で望ましい。
配線導体2の形成は、例えば支持基板1aとなるグリーンシート表面に金属ペーストを塗布した後に同時焼成しても良いし、一旦支持基板1aを作製した後に金属ペーストを塗布して焼成して作製したメタライズ表面上にメッキで作製することがコスト、電極形状の精度の面で好ましい。
次に、支持基板1a上の配線導体2の少なくとも一部に半田ペースト8あるいは半田ペーストよりなる接合剤を塗布し、半田層を形成する。半田ペースト8は、接合強度を高めるためにSn成分を含むことが好ましい。具体的には、Sn−Sb又はAu−Sn等が例示できる。特に、Au−Snが、共晶型合金であり、流動性や濡れ性がよく、高い接合強度が得られる点で好ましい。ここで塗布方法としては、メタルマスクあるいはスクリーンメッシュを用いたスクリーン印刷法がコスト、量産性の面から好ましい。
次に、複数の開口5を有する位置決め治具6を準備する。このような複数の開口5を有する複数の位置決め治具6を積層し、互いの開口5をずらして配置すると、開口5の重なりにより熱電素子3の挿入部位である貫通孔7を形成する。この貫通孔7を形成するためには、少なくとも2枚以上の位置決め治具6が必要である。ここで、位置決め治具6を積層させて貫通孔7を正方形、及び長方形にするためには、例えば、図2(b)に示すように、2枚の位置決め治具6を積層し、任意の2つの開口5を対角線上に位置させればよい。位置決め治具6の材質は熱電モジュールの加熱工程(約300℃)に耐えられる材質であれば何でも良いが、ステンレスが耐熱性、加工性、耐久性、コストの面から最良である。
また、位置決め治具6の開口5を作製する加工方法としては、マスクを施し、エッチングを行う露光工程によって作製することが好ましい。特に、開口5の加工精度としては、開口5の長さに対するばらつきが±10%以下、好ましくは±5%以下、より望ましくは±3%以下であれば、複数の位置決め治具6を重ねたときに得られる貫通孔7の精度を高め、熱電素子3を精度よく配線導体2a上に配置する際に好ましい。
次に、図3に示すように、複数積層した位置決め治具6の開口5より形成される貫通孔7を、熱電素子3を配置する配線導体2aの上方に位置させた後に、複数積層した位置決め治具6を貫通する貫通穴を形成し、前記貫通穴にピン10を挿入することにより、複数の位置決め治具6を支持する。
次に、支持基板1aを治具ベース11で保持し、位置決め治具6の前記貫通穴に対応する位置にある治具ベース11に穴加工を施し、前記貫通穴に挿入したピン10を治具ベース11と固定し、位置決め治具6を熱電素子3の位置決めをして固定する。ここで、治具ベース11は位置決め治具6の前記貫通穴と同じ位置にピン10を予め固定していても良いが、位置決め治具6の前記貫通穴に対応する位置にピン10を挿入するための穴加工を施すほうが、位置決め治具6の積層をより簡易的にでき、加工コストの面からも好ましい。また、ピン10は2個以上であり、好ましくは3個、より望ましくは4個であれば、複数の位置決め治具6を重ねたときに得られる貫通孔7の精度を高め、熱電素子5を精度よく配線導体2a上に配置する際に好ましい。また、半田ペースト8と位置決め治具6が接触しないように、スペーサー等を挟むことが好ましい。
次に、貫通孔7に熱電素子3を挿入する。熱電素子3を挿入する方法としては、真空ピンセット等で1つずつ摘み上げて挿入してもよいが、量産性の上で、振込み治具に一括で熱電素子3を振り込んだ後、貫通孔7に転写する方法が好適である。
そして、本発明によれば、熱電素子3の位置決め後に、配線導体2aと半田を介して加熱接合をすることが重要である。この加熱接合は急激に半田溶融温度まで加熱して半田接合してもよいが、半田ペースト8に含まれるフラックス成分等を利用して、100℃前後に加熱して、熱電素子3と配線導体2aを接着させる方法でも良い。
加熱接合した後、図3(b)に示すように、位置決め治具6と治具ベース11とを支持するピン10を取り外し、複数の位置決め治具6を移動させて、貫通孔7を熱電素子3の外周よりも十分に広げた後に、位置決め治具6を熱電素子3から取り外す。これによって、位置決め治具6を熱電素子3に接触させることなく取り出すことを極めて容易にできる。
本発明に用いられる熱電素子3は、Bi、Sb、Te及びSeのうち少なくとも2種を主成分とすることが好ましい。Bi2Te3、Sb2Te3、Bi2Se3等のカルコゲナイト型結晶を使用した熱電素子3は、室温付近の熱電特性に優れ、情報通信関連の冷却用熱電モジュールとして好適に使用できる。また、これらの材料は、Snとの反応性にも富み、特にAu−Sn半田との組合せは、流動性や濡れ性が良い点から、強固な接着が可能である。
また、N型熱電素子3aは、I及び/又はBrを含むことが好ましい。即ち、半導体を形成するため、ハロゲン元素の添加によって電子濃度の調整がなされ、キャリア濃度の制御されたN型熱電素子3aとして優れた特性を示すことができる。
なお、N型熱電素子3a及びP型熱電素子3bは、溶製材料であっても焼結体であっても良いが、N型熱電素子3aを溶製材料、特に単結晶からなり、P型熱電素子3bが焼結体、特に平均結晶粒径が5μm以下の焼結体からなる、もしくはN型熱電素子3a及びP型熱電素子3bを溶製材料、特に単結晶からなることが、優れた特性とコスト低減を同時に実現しやすい点で好ましい。
さらにまた、熱電素子3の両端面は、半田の濡れ性の向上及び、半田層を構成する半田成分が熱電素子3の内部に拡散することを抑制するために、2層のニッケルメッキ層と1層のAuメッキ層を備えている。
位置決め治具6を熱電素子3から取り出した後、支持基板1aと同質の材料からなる支持基板1bに、支持基板1aと同様な配線導体2b及び半田ペースト8を配置し、不活性ガス雰囲気にて、支持基板1aと接合していない熱電素子3のもう一方の端面と支持基板1bを加熱接合することによって、本発明の熱電モジュールの製造方法によって作製された熱電モジュールとなる。
図1に示した熱電モジュールを、本発明の製造方法を用いて作製した。
まず、相対密度が96%、曲げ強度が350MPa、熱伝導率が24W/mK(20℃)であるアルミナ焼結体を縦8.2mm、横6.0mm、高さ0.3mmに加工して支持基板1a、1bとし、この支持基板1a、1bのそれぞれ一方の表面に、メタライズ法によりCuからなる配線導体2a、2bを形成した。
次に、熱電素子3として、BiTeSeからなるN型熱電素子3aとBiSbTeからなるP型熱電素子3bをそれぞれ23個ずつ準備し、いずれの型の熱電素子も縦0.65mm、横0.65mm、高さ0.90mmの寸法であった。ここで、熱電素子3の両端面部に電気メッキにてAuを0.05〜0.1μm及びNiを2μm形成した。ここで熱電素子3の両端面部とは、配線導体2a、2bと加熱接合せしめられる面である。
次に、融点240℃のSn−Sbを主成分とする半田ペースト8を作製し、支持基板1aの表面に形成された配線導体2aの一部の表面に塗布した。塗布方法としては、メッシュスクリーンを用いた。
次に、SUS304のステンレスを用いて複数の開口を有する位置決め治具6を作製した。位置決め治具6の各開口5は、マスクを施し、エッチングを行う露光工程にて加工した。また、開口5にかからない位置決め治具6の4角に、ピン10を挿入するための貫通穴を加工した。
その後、半田ペースト8を塗布した配線導体2aの上方に、2枚の位置決め治具6を積層し、互いの開口5をずらして配置することで開口5の重なりにより貫通孔7を形成し、この貫通孔7を、熱電素子3を配置する任意の位置に移動させた後に、ピン10を前記貫通穴に通して治具ベース11と固定し、N型熱電素子3aとP型熱電素子3bを電気的に直列になるように挿入した。
次に、半田ペースト8に含まれているフラックス成分を利用して、100℃に加熱し、各熱電素子3と配線導体2aを接合した。
次に、位置決め治具6を貫通孔7が熱電素子3の外周よりも広くなるように移動し、接着後の熱電モジュールを取り外した。
最後に、もう一方の支持基板1bを不活性ガス雰囲気において、支持基板1aと接合していない熱電素子3のもう一方の端面と支持基板1bを加熱接合することによって、熱電モジュールを作製した。
(実施例1)上記の本発明の熱電モジュールの製造方法で作製した熱電モジュールを通電試験及び冷熱試験を行い、熱電モジュールの信頼性を検証した。
また、比較例として、前記製造方法において、熱電素子と配線導体を加熱接合する前に、熱電素子の位置決めを、位置決め治具を水平移動することによって作製した熱電モジュールを用いて上記と同様の試験を行った。
ここで、熱電モジュールの信頼性の検証において、それぞれの製造方法で熱電モジュールを22個作製し、各熱電モジュールにImaxの電流2.0(A)を5分間隔でON、OFFする通電試験を72サイクル行った後に、前記熱電モジュールを15分ごとに−45℃、80℃の温度下におき、10時間保持した冷熱試験を行った。そして、この通電試験及び冷熱試験の試験前後の熱電モジュールの内部抵抗(Ω)の変化率(%)が0.1%以下の熱電モジュールを良品とした。
比較例の製造工程で作製された熱電モジュールは、熱電素子25が移動して半田ペースト24が熱電素子25の側面に被着したため、配線基板との接合に必要な半田ペーストを確保できなくなり、熱電素子の倒れが生じたり、また、熱電素子25の側面に被着した半田ペースト24を介して隣接する熱電素子3同士で短絡が発生して、10個の熱電モジュールにおいて内部抵抗の変化率が0.1%を超えた。
これに対して、本発明の熱電モジュールの製造方法で作製した熱電モジュールは、熱電素子3を位置決めした後に配線導体2a接合するため、熱電素子3と配線導体2aとの接合力を高め、さらに、半田ペースト8の熱電素子3の側面への被着を防ぐこともでき、熱電素子3の倒れを防ぐとともに、隣接する熱電素子3同士が短絡することない熱電モジュールを作製できた。
(実施例2)本発明の熱電モジュールの製造方法に用いる位置決め治具において、2枚の位置決め治具6を積層して形成された貫通孔7の面積(S1)を0.427〜0.845(mm2)とし、端面の面積(S2)を0.4225(mm2)とした熱電素子3を貫通孔7に挿入し、熱電モジュールを作製した。
ここで、得られた熱電モジュールについて、倍率40倍の双眼顕微鏡にて熱電素子3の外観を検査した。検査方法として、メッキ剥離については熱電素子3の配線導体2aと接合していない端面のメッキ部を全数検査し、また、熱電素子3の側面の傷については、熱電モジュールの外周部に配置されている熱電素子3のみを検査した。熱電素子3の側面に傷がなく、前記端面のメッキ剥離が熱電素子3の両端面のメッキ面積の50%以下のものを○、熱電素子3の端面のメッキ剥離が熱電素子3の両端面のメッキ面積の50%を超えるもの、もしくは熱電素子3の側面に傷があるものを△とした。また、熱電素子3と配線導体2aを加熱接合後、配線導体2aに対する熱電素子3の位置精度を検査し、熱電素子3が配線導体2a内に配置されているものを○、熱電素子3が配線導体2aからオーバーハングしているものを△として評価し、結果を表1に示した。
表1に示すように、試料番号1、2はS1/S2=1.05未満となったため、加熱接合前に熱電素子3の貫通孔7への挿入が困難になり、熱電素子3が貫通孔7に接触して傷やメッキ剥離が生じた。
また、試料番号6、7は、S1/S2=1.90を超えたため、熱電素子3の位置決めが困難になり、高精度に熱電素子3を配線導体2aに配することができなかった。
これらに対して試料番号3〜5はS1/S2=1.05〜1.90としたため、熱電素子3の貫通孔7への挿入が容易で、かつ適切な位置に熱電素子3を配することができた。
(実施例3)本発明の熱電モジュールの製造方法に用いる位置決め治具において、開口5の角部に曲面部を施さない位置決め治具6、及び開口5の角部に曲面部9を施し、また、曲面部9の曲率半径を開口5の最長辺を基準として変化させた位置決め治具6を用いて熱電モジュールを作製した。
ここで、得られた熱電モジュールについて、倍率40倍の双眼顕微鏡にて熱電素子3の外観を検査した。検査方法は実施例2と同様である。熱電素子3の側面に傷がなく、熱電素子3の配線導体2aと接合していない端面にメッキ剥離がないものを◎、前記端面のメッキ部のメッキ剥離が熱電素子3の両端面のメッキ面積の50%以下のものを○、熱電素子3の端面のメッキ剥離が熱電素子3の両端面のメッキ面積の50%を超えるもの、もしくは熱電素子3の側面に傷があるものを△とし、熱電素子3の位置精度は実施例2と同様の評価とし、結果を表2に示した。
表2に示すように、試料番号8は開口5の角部に曲面部9が施されてなかったため、熱電素子3が貫通孔7の角部に接触し、メッキ剥離が生じた。
また、試料番号13、14は曲面部9が開口5の最長辺の50%を超えたため、貫通孔7と熱電素子3とのクリアランスが増大し、熱電素子3を精度よく配線導体2aに配することができなかった。
これらに対して試料番号9〜12は開口5の角部に曲面部9が施され、かつ曲面部9の曲率半径が開口5の最長辺の50%以下であったため、熱電素子3にメッキ剥離が生じることなく、精度よく適切な位置に熱電素子3を配線導体2aに配することができた。
(実施例4)本発明の熱電モジュールの製造方法に用いる位置決め治具において、熱膨張係数が異なる材質からなる位置決め治具6を用いて熱電モジュールを作製した。ここで、得られた熱電モジュールについて、倍率40倍の双眼顕微鏡にて熱電素子3の外観を検査した。検査及び評価方法は実施例3と同様である。この結果を表3に示した。
表3に示すように、試料番号20、21は位置決め治具6の材質の熱膨張係数が5.0×10−5/℃を超えたために、熱電素子3と配線導体2aを加熱接合する工程において、位置決め治具6の熱膨張が著しく増大し、熱電素子3と貫通孔7とのクリアランスが減少し、熱電素子3の側面に貫通孔7が接触し、熱電素子3にメッキ剥離が生じた。
これに対して、試料番号15〜19は位置決め治具6の材質の熱膨張係数が5.0×10−5/℃以下であったために、熱電素子3と配線導体2aを加熱接合する工程において、位置決め治具6の熱膨張を抑制し、熱電素子3と貫通孔7との接触を防ぐことができたので、傷やメッキ剥離のない熱電素子3からなる熱電モジュールを作製できた。
1、22・・・支持基板
2、21・・・配線導体
3、25・・・熱電素子
4・・・リード線
5・・・開口
6、23・・・格子形状治具
7・・・貫通孔
8、24・・・半田ペースト(半田層)
9・・・曲面部
10・・・ピン
11・・・治具ベース
2、21・・・配線導体
3、25・・・熱電素子
4・・・リード線
5・・・開口
6、23・・・格子形状治具
7・・・貫通孔
8、24・・・半田ペースト(半田層)
9・・・曲面部
10・・・ピン
11・・・治具ベース
Claims (6)
- 支持基板上に配線導体を配し、該配線導体の上方に複数の開口を有する位置決め治具を複数積層し、互いの開口をずらして配置し、積層した複数の前記位置決め治具の各開口よりなる貫通孔に熱電素子を挿入し、該熱電素子を前記配線導体と加熱接合した後、前記位置決め治具を移動させ、前記熱電素子から前記位置決め治具を取り外す工程を含むことを特徴とする熱電モジュールの製造方法。
- 複数の前記位置決め治具の移動が、前記支持基板に対して水平方向であることを特徴とする請求項1記載の熱電モジュールの製造方法。
- 前記位置決め治具が格子形状であり、前記貫通孔の面積をS1、前記熱電素子の端面の面積をS2としたとき、S1/S2=1.05〜1.90であることを特徴とする請求項1または2記載の熱電モジュールの製造方法。
- 請求項1記載の製造方法に用いられる位置決め治具であって、開口の角部に曲面部を形成したことを特徴とする位置決め治具。
- 前記曲面部の曲率半径が前記開口の最長辺長さの50%以下であることを特徴とする請求項4記載の位置決め治具。
- 熱膨張係数5.0×10−5/℃以下の材質からなることを特徴とする請求項4または5記載の位置決め治具。
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JP2003426887A JP2005191040A (ja) | 2003-12-24 | 2003-12-24 | 熱電モジュールの製造方法及びそれに用いる位置決め治具 |
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---|---|---|---|---|
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-
2003
- 2003-12-24 JP JP2003426887A patent/JP2005191040A/ja active Pending
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