JP2005189397A - 薄膜フィルタの接合方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 薄膜フィルタを接合するときの位置ずれを生じさせずに表面の平坦度を確保することができる薄膜フィルタの接合方法を提供する。
【解決手段】 複数の基板レスフィルタ11,12,13の凹面を仮基板20に向けて仮基板20上の予め決められた位置に食品包装用のフィルム40を介して固定した後、光硬化型の接着剤50を基板レスフィルタ11,12,13に塗布する。この第2の工程の後、基板レスフィルタ11,12,13にガラス基板30を載せ、接着剤50に光を照射して基板レスフィルタ11,12,13に接合する。その後、仮基板20とフィルム40との間に空気を入れて基板レスフィルタ11,12,13を仮基板20から剥離する。
【選択図】 図1
【解決手段】 複数の基板レスフィルタ11,12,13の凹面を仮基板20に向けて仮基板20上の予め決められた位置に食品包装用のフィルム40を介して固定した後、光硬化型の接着剤50を基板レスフィルタ11,12,13に塗布する。この第2の工程の後、基板レスフィルタ11,12,13にガラス基板30を載せ、接着剤50に光を照射して基板レスフィルタ11,12,13に接合する。その後、仮基板20とフィルム40との間に空気を入れて基板レスフィルタ11,12,13を仮基板20から剥離する。
【選択図】 図1
Description
この発明は薄膜フィルタの接合方法に関する。
従来、光通信用のフィルタの組立では、出射される光の帯域を分けるため、2枚以上の薄膜フィルタを規則的に透明な基板上に配列して接合する。
従来の薄膜フィルタの接合方法を次に述べる。
まず、UV接着剤を透明な基板の所定の位置に塗布する。
次に、接着剤が塗布された基板上にフィルタを位置決め用の機械を用いて位置決めしながら順次載せていく。
すべてのフィルタを載せた後、UV光を接着剤に照射してフィルタを基板に接合させる。
特開2001−343551号公報
ところで、フィルタの製造の際、例えば10μm程度の反りが生じることがある。
反ったフィルタの凸面を接着剤が塗布された基板に向けて載せ、UV光を照射した場合、フィルタが傾いた状態のまま接着剤が硬化してしまうため、フィルタの表面の平坦度を確保することは難しい。
また、反りを修正してフィルタの表面を平坦にするためにフィルタに圧力を加えた場合、フィルタが接着剤上で不規則に動いてフィルタ同士がずれる。
この発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、その課題は薄膜フィルタを接合するときの位置ずれを生じさせずに表面の平坦度を確保することができる薄膜フィルタの接合方法を提供することである。
上記課題を解決するため請求項1記載の発明は、複数の薄膜フィルタの凹面を仮基板に向けて前記仮基板上の予め決められた位置に吸着性媒体を介して固定する第1の工程と、この第1の工程の後、前記薄膜フィルタを基板に接着剤で接合する第2の工程とを含むことを特徴とする。
請求項2に記載の発明は、請求項1記載の薄膜フィルタの接合方法において、前記接着剤は光硬化型であり、前記基板は透明であることを特徴とする。
請求項3に記載の発明は、請求項1又は2記載の薄膜フィルタの接合方法において、前記吸着性媒体は、前記薄膜フィルタとの接触を保つことによって前記薄膜フィルタの移動を阻止し、前記接着剤を介した前記基板と前記薄膜フィルタとの接合力よりも小さい粘着力を有するフィルムであることを特徴とする。
この発明の薄膜フィルタの接合方法によれば、薄膜フィルタを接合するときの位置ずれを生じさせずに表面の平坦度を確保することができる。
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1はこの発明の一実施形態に係る薄膜フィルタの接合方法を説明するためのフィルタの断面構造を示す模式図である。
この薄膜フィルタの接合方法にはフィルム(吸着性媒体)40と仮基板20とが用いられる。
フィルム40は基板レスフィルタ(薄膜フィルタ)11,12,13との接触を保つことによって基板レスフィルタ11,12,13の移動を阻止する。フィルム40の粘着力はガラス基板(透明な基板)30と基板レスフィルタ11,12,13との接着剤を介した接合力よりも小さい。
フィルム40としては、例えば塩化ビニール製のデスク保護シートやラップフィルムを用いることができる。
基板レスフィルタ11,12,13はそれぞれ複数の薄膜を積層して形成された多層膜フィルタである。
基板レスフィルタ11,12,13を仮基板20に接合する前に、予めそれらの反りの方向を合わせておく。
仮基板20の上面は所定の平面度を有する。
まず、フィルム40を仮基板20の上面に空気を巻き込まないように貼り付ける。
次に、第1の基板レスフィルタ11の凹面を仮基板20に向けて仮基板20上の予め決められた位置に位置決め用の機械を用いて載せる。
その後、第1の基板レスフィルタ11の凸面に圧力を加えて第1の基板レスフィルタ11を仮基板20に密着させる。このとき、第1の基板レスフィルタ11は仮基板20の上面に倣って平坦になる。
なお、誤った位置に固定してしまった場合には、仮基板20とフィルム40との間に空気を入れて第1の基板レスフィルタ11を剥離させ、フィルム40を仮基板20に貼り直して改めて予め決められた位置に第1の基板レスフィルタ11を載せ、固定する。
第2、第3の基板レスフィルタ12,13も同様の工程によって仮基板20上に固定する(第1の工程)。
すべての基板レスフィルタ11,12,13を決められた位置に固定した後、UV硬化型(光硬化型)の接着剤50を基板レスフィルタ11,12,13の一方の面(仮基板20に固定されていない側の面)に塗布する。
その後、基板レスフィルタ11,12,13にガラス基板30を載せ、接着剤50にUV光を照射する。その結果、基板レスフィルタ11,12,13がガラス基板30に接合される(第2の工程)。
最後に、ガラス基板30に接合された基板レスフィルタ11,12,13を仮基板20から剥離する。このとき、仮基板20とフィルム40との間に空気やメタノールを入れることによって、フィルム40と基板レスフィルタ11,12,13との接合力がガラス基板30と基板レスフィルタ11,12,13との接合力より小さくなるため、ガラス基板30に接合された基板レスフィルタ11,12,13をフィルム40から容易に剥離することができる。
基板レスフィルタ11,12,13の表面(他方の面)の平坦度を測定したとき、平坦度は1〜2μm程度であった。この測定結果から基板レスフィルタ11,12,13の平坦度が矯正されたことがわかる。
この実施形態によれば、フィルム40によって基板レスフィルタ11,12,13の移動が阻止されるので、基板レスフィルタ11,12,13をガラス基板30に接合するときの位置ずれを生じさせずに表面の平坦度を確保することができる。
図2(a)はこの発明に係る薄膜フィルタの接合方法で得られたフィルタの使用例を説明するための模式図、図2(b)は図2(a)のb−b線に沿う断面図であり、共通する部分には同一符号を付してその説明を省略する。
このフィルタは4つの基板レスフィルタ(薄膜フィルタ)111,112,113,114の両面にガラス基板30,130を貼り付けたものである。
基板レスフィルタ111,112,113,114とガラス基板30,130との接合方法は上記実施形態と同様であるのでその説明を省略する。なお、ガラス基板130には反射膜131が形成されている。
ここで、基板レスフィルタ111,112,113,114の特性を以下のように仮定する。
第1の基板レスフィルタ111では波長λ1を境にして長波長側の光C1が透過し、短波長側の光が反射する。
第2の基板レスフィルタでは波長λ2を境にして長波長側の光C2が透過し、短波長側の光が反射する。
第3の基板レスフィルタでは波長λ3を境にして長波長側の光C3が透過し、短波長側の光が反射する。
第4の基板レスフィルタでは波長λ4を境にして長波長側の光C4が透過し、短波長側の光が反射する。
ガラス基板30に入射した光はガラス基板130の基板レスフィルタ111,112,113,114と対向する面に設けられた反射膜131で反射され、第1の基板レスフィルタ111に至る。波長λ1より長波長側の光C1は第1の基板レスフィルタ111、ガラス基板30を透過し、図2(a)に示すように出射する。
λ1より短波長側の光は第1の基板レスフィルタ111で反射された後、反射膜131で再び反射され、第2の基板レスフィルタ112に至る。波長λ2より長波長側の光C2は第2の基板レスフィルタ112、ガラス基板30を透過し、図2(a)に示すように出射する。
以後、同様にして光C3、C4は第3の基板レスフィルタ113及び第4の基板レスフィルタ114でそれぞれ分光され、ガラス基板30から図2(a)に示すように出射する。
その結果、図2(a)に示すように分光された光C1、C2、C3、C4がガラス基板30から出射される。
11,12,13、111,112,113,114 基板レスフィルタ(薄膜フィルタ)
20 仮基板
30 透明な基板
40 フィルム(吸着性媒体)
50 接着剤
20 仮基板
30 透明な基板
40 フィルム(吸着性媒体)
50 接着剤
Claims (3)
- 複数の薄膜フィルタの凹面を仮基板に向けて前記仮基板上の予め決められた位置に吸着性媒体を介して固定する第1の工程と、
この第1の工程の後、前記薄膜フィルタを基板に接着剤で接合する第2の工程と
を含むことを特徴とする薄膜フィルタの接合方法。 - 前記接着剤は光硬化型であり、前記基板は透明であることを特徴とする請求項1記載の薄膜フィルタの接合方法。
- 前記吸着性媒体は、前記薄膜フィルタとの接触を保つことによって前記薄膜フィルタの移動を阻止し、前記接着剤を介した前記基板と前記薄膜フィルタとの接合力よりも小さい粘着力を有するフィルムであることを特徴とする請求項1又は2記載の薄膜フィルタの接合方法。
Priority Applications (1)
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JP2003429036A JP2005189397A (ja) | 2003-12-25 | 2003-12-25 | 薄膜フィルタの接合方法 |
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JP2003429036A JP2005189397A (ja) | 2003-12-25 | 2003-12-25 | 薄膜フィルタの接合方法 |
Publications (1)
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WO2015016113A1 (ja) * | 2013-07-31 | 2015-02-05 | 旭硝子株式会社 | 電子デバイスの製造方法 |
CN108646352A (zh) * | 2018-07-17 | 2018-10-12 | 北极光电(深圳)有限公司 | 一种多通道薄膜滤波器组件及其制作方法 |
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2003
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