JP2005175366A - ヒータおよびヒータ付き炉 - Google Patents
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Abstract
【課題】 従来の素線は、1本で形成されているため、素線が切れてしまうと温度が急激に低下し、これにより、熱処理中の半導体基板が直ちに不良となるという問題があった。
【解決手段】 本発明に係るヒータ付き炉は、半導体基板を熱処理するヒータ付き炉であって、前記熱処理を行うために発熱する相互に並列接続された複数の素線を含む中空の筒状のヒータと、前記半導体基板を支持し前記ヒータの中に収容するためのボートとを含む。
【選択図】 図2
【解決手段】 本発明に係るヒータ付き炉は、半導体基板を熱処理するヒータ付き炉であって、前記熱処理を行うために発熱する相互に並列接続された複数の素線を含む中空の筒状のヒータと、前記半導体基板を支持し前記ヒータの中に収容するためのボートとを含む。
【選択図】 図2
Description
本発明は、半導体装置に熱処理を施すための、ヒータおよびヒータ付き炉に関する。
上記したヒータは、特許文献1および図6に示すように、発熱する素線16を有する。
しかしながら、上記従来の素線16は、1本で形成されているため、素線が切れてしまうと温度が急激に低下し、これにより、熱処理中の半導体基板が直ちに不良となるという問題があった。
上記した問題を解決するために、本発明に係るヒータ付き炉は、半導体基板を熱処理するヒータ付き炉であって、前記熱処理を行うために発熱する相互に並列接続された複数の素線を含む中空の筒状のヒータと、前記半導体基板を支持し前記ヒータの中に収容するためのボートとを含む。
本発明に係るヒータ付き炉によれば、ヒータは、複数の素線が相互に並列接続されていることにより、複数の素線のうち1本が切れても、残された素線の発熱によって、炉内の温度を熱処理可能な温度範囲に維持する。この結果、前記熱処理を続けることができ、半導体基板は直ちに不良となることを低減することが可能になる。
上記した本発明に係るヒータ付き炉では、前記複数の素線は、屈曲状または螺旋状の少なくともどちらか1つを有した形状であることが望ましい。
上記した本発明に係るヒータ付き炉では、前記複数の素線は、前記複数の素線のうち1本が切断されたときでも、前記ヒータ付き炉内の温度を熱処理可能な温度範囲に維持する本数を有していることが望ましい。
本発明に係るヒータは、半導体基板を熱処理するヒータであって、前記熱処理を行うために発熱する相互に並列接続された複数の素線を含む中空の筒状に形成されている。
本発明に係るヒータによれば、ヒータは、複数の素線が相互に並列接続されていることにより、複数の素線のうち1本が切れてしまっても、残された複数の素線の発熱によって、熱処理可能な温度範囲に維持する。よって、熱処理を続けることができ、半導体基板は直ちに不良となることを低減することが可能になる。
上記した本発明に係るヒータでは、前記複数の素線は、屈曲状または螺旋状の少なくともどちらか1つを有した形状であることが望ましい。
上記した本発明に係るヒータでは、前記複数の素線は、前記複数の素線のうち1本が切断されたときでも、前記ヒータの温度を熱処理可能な温度範囲に維持する本数を有していることが望ましい。
以下、本発明に係るヒータ付き炉の実施形態について図1〜図3を参照して説明する。
図1は、半導体基板を熱処理するヒータ付き炉の実施形態を示す断面図である。図1に示されるように、本実施形態のヒータ付き炉は、縦型炉1であり、半導体基板であるウエハ5を熱処理するために、ヒータ2と、炉心管3と、ボート4とを有する。
ヒータ2は、縦型炉1の内壁の近傍に配置される。ヒータ2は、発熱する温度を別々に制御するために、第1のヒータ2a、第2のヒータ2b、第3のヒータ2c、第4のヒータ2d、第5のヒータ2eを有する。各ヒータ2a〜2eは、溶接などによって接合されており、全体に縦方向に延びた中空の円筒状に形成される。
炉心管3は、ヒータ2の内側に配置される。炉心管3は、ヒータ2によって発熱した熱を維持するために、中空の円筒状に形成される。
ボート4は、複数のウエハ5を並べて支持するために図示しない支持部が形成され、前記ウエハ5とともに炉心管3の中に挿入される。
図2は、ヒータ2の構造を示す斜視図である。図2に示されるように、ヒータ2は、第1〜第5のヒータ2a〜2eと、前記各ヒータ2a〜2eの温度を管理するための図示しない温度センサと、前記各ヒータ2a〜2eの温度を制御するための第1〜第5駆動電源7a〜7eとを有する。
第1のヒータ2aは、複数の素線6と、図示しない温度センサと、駆動電源7aとを有する。前記素線6は、リング状の素線6aと、直線の素線6bとを有する。リング状の素線6aは、第1のヒータ2aの上方と下方とに配置される。複数の素線6は、直線の素線6bが前記リング状の素線6a間に一定の間隔をおいて接続されていることにより、並列につながれている。他の第2のヒータ2b〜第5のヒータ2eについても同様に構成される。
素線6の材質は、優れた耐酸化特性と超高温に対応した材料が使われる。例えば、二珪化モリブデン(MoSi2)及びカンタル(FeCrAl)などが使われる。
素線6の材質は、優れた耐酸化特性と超高温に対応した材料が使われる。例えば、二珪化モリブデン(MoSi2)及びカンタル(FeCrAl)などが使われる。
駆動電源7aは、前記複数の素線6に接続されている。駆動電源7aは、あらかじめ設定された温度に対応する量の電流を流して、複数の素線6を発熱させることにより、熱処理を行う温度に維持する。他の第2の駆動電源7b〜第5の駆動電源7eについても同様に構成される。
以上詳述したように本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
本実施形態に係る縦型炉1によれば、ヒータ2は、複数の素線6が相互に並列接続されていることにより、素線6の1本が切れても、残された素線6の発熱によって、縦型炉1内の温度を熱処理可能な温度範囲に維持することが可能になる。よって、熱処理を続けることができ、ウエハ5は直ちに不良となることを低減することができる。
本実施形態に係る縦型炉1によれば、ヒータ2は、複数の素線6が相互に並列接続されていることにより、素線6の1本が切れても、残された素線6の発熱によって、縦型炉1内の温度を熱処理可能な温度範囲に維持することが可能になる。よって、熱処理を続けることができ、ウエハ5は直ちに不良となることを低減することができる。
(変形例1)上記した素線6の形状は、図3〜5に示すように、波線形状8、折線形状9および螺旋形状10であることが望ましい。前記形状により、素線の全長を長くすることができ、抵抗を大きくすることが可能になる。その結果、素線は、流す電流値を大きくすることなく高温に発熱させることができるので、効率よく熱処理することができる。
(変形例2)上記した複数の素線6は、1本の素線6が切れたときでも、縦型炉1内の温度を熱処理可能な温度範囲に維持することができる本数であることが望ましい。例えば、熱処理可能な温度範囲は、1000℃±3℃であるとする。求めた本数の一つが50本であれば、1本切れても1000℃±3℃の範囲内に維持することができる。よって、熱処理は、素線6が1本切れても中断することなく続けてできる。
2…ヒータ、2a〜2e…第1〜第5のヒータ、6,6a,6b…素線。
Claims (6)
- 半導体基板を熱処理するヒータ付き炉であって、
前記熱処理を行うために発熱する相互に並列接続された複数の素線を含む中空の筒状のヒータと、
前記半導体基板を支持し前記ヒータの中に収容するためのボートと
を含むことを特徴とするヒータ付き炉。 - 請求項1に記載のヒータ付き炉であって、
前記複数の素線は、屈曲状または螺旋状の少なくともどちらか1つを有した形状であることを特徴とするヒータ付き炉。 - 請求項1又は2に記載のヒータ付き炉であって、
前記複数の素線は、前記複数の素線のうち1本が切断されたときでも、前記ヒータ付き炉内の温度を熱処理可能な温度範囲に維持する本数を有することを特徴とするヒータ付き炉。 - 半導体基板を熱処理するヒータであって、
前記熱処理を行うために発熱する相互に並列接続された複数の素線を含む中空の筒状に形成されていることを特徴とするヒータ。 - 請求項4に記載のヒータであって、
前記複数の素線は、屈曲状または螺旋状の少なくともどちらか1つを有した形状であることを特徴とするヒータ。 - 請求項4又は5に記載のヒータであって、
前記複数の素線は、前記複数の素線のうち1本が切断されたときでも、前記ヒータの温度を熱処理可能な温度範囲に維持する本数を有することを特徴とするヒータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003416431A JP2005175366A (ja) | 2003-12-15 | 2003-12-15 | ヒータおよびヒータ付き炉 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003416431A JP2005175366A (ja) | 2003-12-15 | 2003-12-15 | ヒータおよびヒータ付き炉 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2005175366A true JP2005175366A (ja) | 2005-06-30 |
Family
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Family Applications (1)
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JP2003416431A Withdrawn JP2005175366A (ja) | 2003-12-15 | 2003-12-15 | ヒータおよびヒータ付き炉 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2005175366A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2701458A1 (en) * | 2012-08-23 | 2014-02-26 | Kabushiki Kaisha Riken | MoSi2-based coil heater and tubular heater module having the same |
-
2003
- 2003-12-15 JP JP2003416431A patent/JP2005175366A/ja not_active Withdrawn
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EP2701458A1 (en) * | 2012-08-23 | 2014-02-26 | Kabushiki Kaisha Riken | MoSi2-based coil heater and tubular heater module having the same |
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Legal Events
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