JP2005175228A - レジスト剥離方法およびレジスト剥離装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板周囲の雰囲気の排気によるレジスト剥離液の液温低下(基板の温度低下)を抑制し、レジスト剥離液の混合時の発熱反応により得られた熱エネルギーを無駄にすることなく、効率良くレジスト剥離処理を行うことができるレジスト剥離方法およびレジスト剥離装置を提供する。
【解決手段】スピンチャック1を収容したカップ3には、排気管34が接続されており、この排気管34の途中部には、ダンパ開閉機構35によって開閉されるダンパ36が介装されている。ノズル2からウエハWの表面にSPM(硫酸と過酸化水素水との混合液)が吐出されている期間(ウエハWの表面にSPMが供給されている期間)およびウエハWの表面上にSPMの液膜が形成されている期間は、ダンパ36が全閉状態にされて、カップ3内の雰囲気の排気が停止される。
【選択図】 図1
【解決手段】スピンチャック1を収容したカップ3には、排気管34が接続されており、この排気管34の途中部には、ダンパ開閉機構35によって開閉されるダンパ36が介装されている。ノズル2からウエハWの表面にSPM(硫酸と過酸化水素水との混合液)が吐出されている期間(ウエハWの表面にSPMが供給されている期間)およびウエハWの表面上にSPMの液膜が形成されている期間は、ダンパ36が全閉状態にされて、カップ3内の雰囲気の排気が停止される。
【選択図】 図1
Description
この発明は、半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基板、プラズマディスプレイ用ガラス基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板などの各種基板の表面から不要となったレジスト膜を剥離して除去するためのレジスト剥離方法およびレジスト剥離装置に関する。
半導体装置や液晶表示装置の製造工程では、半導体ウエハや液晶表示パネル用ガラス基板などの基板の表面に形成されたレジスト膜を剥離して除去するための処理(レジスト剥離処理)が行われる。このレジスト剥離処理の方式としては、複数枚の基板を一括して処理するバッチ式が従来の主流であったが、最近では、処理対象の基板の大型化に伴って、基板の表面にレジスト剥離液を供給して、基板を1枚ずつ処理する枚葉式が注目されてきている。
枚葉式のレジスト剥離処理を実施する装置は、処理室内に、基板をほぼ水平に保持して回転させるスピンチャックと、このスピンチャックに保持された基板の表面(上面)にレジスト剥離液を供給するためのノズルとを備えている。レジスト剥離処理では、スピンチャックによって基板が保持されて静止した状態か、または、スピンチャックによって基板がその中心を通る鉛直軸線まわりにごく低速で回転されている状態で、そのスピンチャックに保持されている基板の表面にノズルから高温のレジスト剥離液が供給される。これにより、基板の表面にレジスト剥離液の液盛りによる液膜が形成され、基板の表面に形成されているレジスト膜が酸化して剥離される。
スピンチャックは、有底筒状の処理カップ内に配置されていて、処理カップの底面には、スピンチャックの周囲の雰囲気を排気するための排気口が形成されている。レジスト剥離液を含む雰囲気の拡散を抑制するため、装置稼働中は、基板に対するレジスト剥離液の供給時/非供給時に関係なく、処理カップの底面の排気口から処理カップ内の雰囲気が一定の排気量で常に排気されている。
特開昭61−129829号公報
レジスト剥離液は、一定の温度以上で良好なレジスト剥離性能を発揮する。そこで、ノズルから基板の表面に供給されるレジスト剥離液は、その良好なレジスト剥離性能を発揮可能な温度よりも十分高い温度に昇温されている。しかしながら、処理カップの底面の排気口からの排気によって、スピンチャックに保持された基板の周囲には気流が形成されるため、ノズルから基板の表面に供給されたレジスト剥離液が急速に温度低下し、基板の表面に形成されているレジスト膜を良好に剥離できないという問題があった。
そこで、この発明の目的は、基板周囲の雰囲気の排気によるレジスト剥離液の液温低下(基板の温度低下)を抑制できるレジスト剥離方法およびレジスト剥離装置を提供することである。
上記の目的を達成するための請求項1記載の発明は、混合時に発熱反応を呈する混合液をレジスト剥離液として用いて、基板(W)の表面からレジスト膜を剥離して除去する方法であって、ノズル(2)から基板の表面に向けて上記レジスト剥離液を吐出する液吐出工程(S3)と、少なくとも上記液吐出工程が行われている間、上記液吐出工程の開始以前よりも排気量を減少させて基板の周囲の雰囲気を排気するか、または、基板の周囲の雰囲気の排気を停止させる低排気工程(S3,S4)とを含むことを特徴とするレジスト剥離方法である。
なお、括弧内の英数字は、後述の実施形態における対応構成要素等を表す。以下、この項において同じ。
請求項1記載の発明によれば、少なくともノズルから基板の表面に向けてレジスト剥離液が吐出されている間は、レジスト剥離液の吐出開始以前よりも少ない排気量で基板の周囲の雰囲気の排気が行われるか、または、基板の周囲の雰囲気の排気が停止される。これにより、基板の周囲に排気による気流が形成されないので、混合時の発熱反応によって昇温された後にノズルから基板の表面に供給されるレジスト剥離液の液温低下を抑制することができる。よって、レジスト剥離液のレジスト剥離能力を十分に発揮させることができ、基板の表面に形成されている不要なレジスト膜を良好に剥離して除去することができる。すなわち、レジスト剥離液の混合時の発熱反応により得られた熱エネルギーを無駄にすることなく、効率の良いレジスト剥離処理を行うことができる。
請求項1記載の発明によれば、少なくともノズルから基板の表面に向けてレジスト剥離液が吐出されている間は、レジスト剥離液の吐出開始以前よりも少ない排気量で基板の周囲の雰囲気の排気が行われるか、または、基板の周囲の雰囲気の排気が停止される。これにより、基板の周囲に排気による気流が形成されないので、混合時の発熱反応によって昇温された後にノズルから基板の表面に供給されるレジスト剥離液の液温低下を抑制することができる。よって、レジスト剥離液のレジスト剥離能力を十分に発揮させることができ、基板の表面に形成されている不要なレジスト膜を良好に剥離して除去することができる。すなわち、レジスト剥離液の混合時の発熱反応により得られた熱エネルギーを無駄にすることなく、効率の良いレジスト剥離処理を行うことができる。
請求項2記載の発明は、上記液吐出工程の後に、基板の表面に上記レジスト剥離液の液盛りによる液膜が形成された状態を維持するパドル工程(S4)をさらに含み、上記低排気工程は、上記液吐出工程およびパドル工程を通じて行われることを特徴とする請求項1記載のレジスト剥離方法である。
この発明によれば、液吐出工程だけでなく、これに引き続いて行われるパドル工程中も、レジスト剥離液の吐出開始以前よりも少ない排気量で基板の周囲の雰囲気の排気が行われるか、または、基板の周囲の雰囲気の排気が停止される。これにより、基板の表面上に溜められているレジスト剥離液の液温低下を抑制することができ、基板の表面に供給されたレジスト剥離液の液温を維持することができる。よって、レジスト剥離液のレジスト剥離能力を十分に発揮することができ、基板の表面に形成されている不要なレジスト膜を良好に剥離して除去することができる。すなわち、パドル工程中であっても、レジスト剥離液の混合時の発熱反応により得られた熱エネルギーを無駄にすることなく、効率の良いレジスト剥離処理を行うことができる。
この発明によれば、液吐出工程だけでなく、これに引き続いて行われるパドル工程中も、レジスト剥離液の吐出開始以前よりも少ない排気量で基板の周囲の雰囲気の排気が行われるか、または、基板の周囲の雰囲気の排気が停止される。これにより、基板の表面上に溜められているレジスト剥離液の液温低下を抑制することができ、基板の表面に供給されたレジスト剥離液の液温を維持することができる。よって、レジスト剥離液のレジスト剥離能力を十分に発揮することができ、基板の表面に形成されている不要なレジスト膜を良好に剥離して除去することができる。すなわち、パドル工程中であっても、レジスト剥離液の混合時の発熱反応により得られた熱エネルギーを無駄にすることなく、効率の良いレジスト剥離処理を行うことができる。
請求項3記載の発明は、混合時に発熱反応を呈する混合液をレジスト剥離液として用いて、基板(W)の表面からレジスト膜を剥離して除去する装置であって、基板を保持する基板保持手段(1)と、この基板保持手段に保持された基板に向けて上記レジスト剥離液を吐出するノズル(2)と、上記基板保持手段に保持された基板の周囲の雰囲気を排気するための排気管(34)と、この排気管に介装されていて、少なくとも当該排気管における排気の流量が異なる2つの位置に変位可能なダンパ(36)と、少なくとも上記ノズルから上記レジスト剥離液が吐出されている間、上記ダンパを制御して、そのレジスト剥離液の吐出開始以前よりも上記排気管からの排気量を減少させるか、または、上記排気管からの排気を停止させる排気制御手段(5)とを含むことを特徴とするレジスト剥離装置である。
この構成によれば、レジスト剥離液が混合時の発熱反応によって昇温された後、少なくともノズルから基板の表面に向けてレジスト剥離液が吐出されている間は、レジスト剥離液の吐出開始以前よりも少ない排気量で基板の周囲の雰囲気の排気が行われるか、または、基板の周囲の雰囲気の排気が停止される。これにより、基板の周囲に排気による気流が形成されないので、ノズルから基板の表面に供給されるレジスト剥離液の液温低下を抑制することができる。よって、レジスト剥離液のレジスト剥離能力を十分に発揮させることができ、基板の表面に形成されている不要なレジスト膜を良好に剥離して除去することができる。すなわち、レジスト剥離液の混合時の発熱反応により得られた熱エネルギーを無駄にすることなく、効率の良いレジスト剥離処理を行うことができる。
なお、上記ノズルからのレジスト剥離液の吐出停止後、基板の表面に上記レジスト剥離液の液盛りによる液膜が形成されたパドル状態が所定時間維持される場合、上記排気制御手段は、上記レジスト液が吐出されている期間および上記パドル状態が維持されている期間を通じて、レジスト剥離液の吐出開始以前よりも上記排気管からの排気量を減少させるか、または、上記排気管からの排気を停止させるものであることが好ましい。こうすることにより、基板の表面上に液膜の状態で溜められているレジスト剥離液の液温低下を抑制することができ、基板の表面に供給されたレジスト剥離液の液温をより高温に維持することができる。上記パドル状態が維持されている期間であっても、レジスト剥離液の混合時の発熱反応により得られた熱エネルギーを無駄にすることなく、効率の良いレジスト剥離処理を行うことができる。
以下では、この発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
図1は、この発明の一実施形態に係るレジスト剥離装置の構成を図解的に示す図である。このレジスト剥離装置は、基板の一例であるシリコン半導体ウエハW(以下、単に「ウエハW」という。)の表面(上面)にレジスト剥離液を供給して、そのウエハWの表面から不要になったレジスト膜を剥離して除去するレジスト剥離処理を行う枚葉式の装置であり、ウエハWをほぼ水平に保持して回転させるスピンチャック1と、このスピンチャック1に保持されたウエハWの表面にレジスト剥離液を供給するためのノズル2と、ウエハWから流下または飛散するレジスト剥離液を受け取るためのカップ3とを備えている。
図1は、この発明の一実施形態に係るレジスト剥離装置の構成を図解的に示す図である。このレジスト剥離装置は、基板の一例であるシリコン半導体ウエハW(以下、単に「ウエハW」という。)の表面(上面)にレジスト剥離液を供給して、そのウエハWの表面から不要になったレジスト膜を剥離して除去するレジスト剥離処理を行う枚葉式の装置であり、ウエハWをほぼ水平に保持して回転させるスピンチャック1と、このスピンチャック1に保持されたウエハWの表面にレジスト剥離液を供給するためのノズル2と、ウエハWから流下または飛散するレジスト剥離液を受け取るためのカップ3とを備えている。
スピンチャック1は、たとえば、ほぼ鉛直な方向に延びたスピン軸11と、スピン軸11の上端に取り付けられたスピンベース12と、このスピンベース12の周縁部に配設された複数個の挟持部材13とを有している。複数個の挟持部材13は、ウエハWの外形に対応した円周上に配置されていて、ウエハWの周面を異なる複数の位置で挟持することにより、ウエハWをほぼ水平な姿勢で保持することができる。また、モータなどの駆動源を含む回転駆動機構14がスピン軸11に結合されていて、複数個の挟持部材13でウエハWを保持した状態で、回転駆動機構14からスピン軸11に駆動力を入力することにより、ウエハWをスピン軸11の中心軸線まわりに回転させることができる。
ノズル2は、レジスト剥離液の供給位置を変更できるスキャンノズルとしての基本形態を有している。具体的には、カップ3の側方には、旋回軸21が鉛直方向にほぼ沿って配置されており、ノズル2は、その旋回軸21の上端部からほぼ水平に延びたノズルアーム22の先端部に取り付けられている。旋回軸21には、アーム駆動機構23からの駆動力が与えられるようになっていて、旋回軸21を回転させることにより、ノズル2をスピンチャック1に保持されたウエハWの上方に配置したり、カップ3の外側に設定された待機位置に配置したりすることができる。また、旋回軸21を所定の角度範囲内で往復回転させることにより、スピンチャック1に保持されたウエハWの上方でノズルアーム22を揺動させることができ、これに伴って、スピンチャック1に保持されたウエハWの表面上で、ノズル2からのレジスト剥離液の供給位置をスキャン(移動)させることができる。
ノズル2には、混合液供給路41が接続されている。この混合液供給路41には、硫酸供給路42からの硫酸と、過酸化水素水供給路43からの過酸化水素水とが、ミキシングバルブ44で合流して供給されるようになっている。硫酸供給路42の途中部には、ミキシングバルブ44への硫酸の供給/停止を切り換えるための硫酸バルブ45が介装されている。一方、過酸化水素水供給路43の途中部には、ミキシングバルブへの過酸化水素水の供給/停止を切り換えるための過酸化水素水バルブ46が介装されている。
ミキシングバルブ44では、硫酸供給路42からの硫酸と過酸化水素水供給路43からの過酸化水素水とが単に合流するだけであり、ミキシングバルブ44から混合液供給路41に流出する混合液は、硫酸と過酸化水素水とが十分に混ざり合っていない。そこで、混合液供給路41には、その混合液供給路41を流れる硫酸および過酸化水素水の混合液を撹拌するための撹拌フィン付流通管47が介装されている。
撹拌フィン付流通管47は、管部材内に、それぞれ液体流通方向を軸にほぼ180度のねじれを加えた長方形板状体からなる複数の撹拌フィンを、液体流通方向に沿う管中心軸まわりの回転角度を90度ずつ交互に異ならせて配置した構成のものであり、たとえば、株式会社ノリタケカンパニーリミテド・アドバンス電気工業株式会社製の商品名「MXシリーズ:インラインミキサー」を用いることができる。撹拌フィン付流通管47では、硫酸および過酸化水素水の混合液が十分に撹拌されることにより、硫酸と過酸化水素水との化学反応(H2SO4+H2O2→H2SO5+H2O)が生じて、強い酸化力を有するH2SO5を含むSPM(sulfuric acid/hydrogen peroxide mixture:硫酸過酸化水素水)が生成される。その際、化学反応による発熱(反応熱)を生じ、この発熱によって、SPMの液温は、ウエハWの表面に形成されているレジスト膜を良好に剥離可能な温度よりも十分高い温度(たとえば、80〜130℃)に昇温する。
撹拌フィン付流通管47で生成された高温のSPMは、レジスト剥離液として、混合液供給路41を通ってノズル2に供給され、ノズル2からスピンチャック1に保持されたウエハWの表面に向けて吐出される。
カップ3は、スピンチャック1の周囲を取り囲む側面31と、スピンチャック1のスピン軸11が貫通した底面32とを有する容器状に形成されている。底面32には、カップ3に受け取られたレジスト剥離液(廃液)を排出するためのドレン配管33と、カップ3内の雰囲気を排気するための排気管34とが接続されている。排気管34の途中部には、ロータリアクチュエータなどを含むダンパ開閉機構35によって開閉されるダンパ36が介装されている。
カップ3は、スピンチャック1の周囲を取り囲む側面31と、スピンチャック1のスピン軸11が貫通した底面32とを有する容器状に形成されている。底面32には、カップ3に受け取られたレジスト剥離液(廃液)を排出するためのドレン配管33と、カップ3内の雰囲気を排気するための排気管34とが接続されている。排気管34の途中部には、ロータリアクチュエータなどを含むダンパ開閉機構35によって開閉されるダンパ36が介装されている。
このレジスト剥離装置はさらに、マイクロコンピュータを含む構成の制御部5を備えている。制御部5は、レジスト剥離処理に際して、回転駆動機構14およびアーム駆動機構23の動作を制御する。また、硫酸バルブ45および過酸化水素水バルブ46の開閉を制御して、ノズル2からレジスト剥離液(SPM)を吐出させたり、そのレジスト剥離液の吐出を停止させたりする。さらには、ダンパ開閉機構35を制御して、ダンパ36の開閉を切り替える。
図2は、レジスト剥離処理について説明するためのフローチャートである。レジスト剥離処理の開始に際して、ノズル2がカップ3の外側に設定された待機位置に配置されている状態で、硫酸バルブ45および過酸化水素水バルブ46が開かれることにより、混合液供給路41に溜まったレジスト剥離液がプリディスペンス(廃棄)される(ステップS1)。このとき、ダンパ36は全開状態であり、カップ3内の雰囲気が排気管34から150mmH2Oの排気圧(排気管34内の管内圧力)で排気されている。
プリディスペンスの後、カップ3外の待機位置に配置されているノズル2が、スピンチャック1によって一定の低回転速度(たとえば、30rpm)で回転されているウエハWの上方に移動される(ステップS2)。そして、硫酸バルブ45および過酸化水素水バルブ46が開かれて、ノズル2からレジスト剥離液としてのSPMがウエハWの表面に供給される(ステップS3)。ウエハWの表面へのSPMの供給が行われている間(たとえば、15秒間)、ウエハWの表面上におけるSPMの供給位置が、ウエハWの回転中心を含むセンタ位置とウエハWの周縁部を含むエッジ位置との間で繰り返し移動(スキャン)させられる。具体的には、ウエハWの回転中心を含むセンタ位置からスキャンが開始され、SPMの供給位置がウエハWの周縁部を含むエッジ位置に達すると、スキャン方向が反転されて、SPMの供給位置がセンタ位置に戻され、さらに、SPMの供給位置がセンタ位置に達すると、スキャン方向が再び反転されるといったようにして、SPMの供給位置がセンタ位置とエッジ位置との間で8.5往復される。このように、スピンチャック1によってウエハWが低速回転される一方で、SPMの供給位置のスキャンが行われることにより、ウエハWの表面に対してSPMがむらなく供給されて、ウエハWの表面上にSPMが液膜の状態となって溜められる(液盛り)。
なお、SPMの供給位置がセンタ位置とエッジ位置との間で8.5往復されて、ノズル2がウエハWの周縁部上(エッジ位置)に位置したときに、ノズルアーム22の旋回(揺動)を一定時間(たとえば、2秒間)停止させて、ノズル2からのSPMがウエハWの周縁部に集中的に供給されるようにしてもよい。こうすることにより、ウエハWの周縁部にSPMを十分に供給することができ、ウエハWの周縁部におけるSPMの液温低下(ウエハWの温度低下)をより効果的に抑制することができる。
ウエハWへのSPMの供給開始と同時に、ダンパ開閉機構35が制御されて、ダンパ36が全閉状態にされる。すなわち、SPMの供給開始と同時に、カップ3内の雰囲気の排気が停止される。これにより、スピンチャック1に保持されたウエハWの周囲に排気による気流が形成されないので、ノズル2からウエハWの表面に供給されるSPMの液温低下を抑制することができる。
ノズル2からウエハWの表面へのSPMの供給が終了してから所定のパドル時間(たとえば、30秒間)、ウエハWの表面上にSPMが液盛りされた状態のままにされる(ステップS4)。このパドル時間中も引き続き、ダンパ36が全閉状態にされており、カップ3内の雰囲気の排気が停止されている。これにより、ウエハWの表面上に溜められているSPMの液温低下を抑制することができ、ウエハWの表面に供給されたSPMの高温状態を維持することができる。よって、SPMのレジスト剥離能力を十分に発揮することができ、ウエハWの表面に形成されている不要なレジスト膜をSPMに含まれるH2SO5の強い酸化力によって剥離することができる。
上記パドル時間が経過すると、スピンチャック1によるウエハWの回転速度が予め定めるリンス回転速度(たとえば、500rpm)まで上げられる。その後、図示しないDIWノズルからウエハWの表面へのDIW(脱イオン化された純水)の供給が開始される(ステップS5)。DIWノズルからのDIWは、ウエハWの表面のほぼ中央部に供給されるようになっている。ウエハWの表面上に供給されたDIWは、ウエハWの回転に伴って受ける遠心力により、その供給位置からウエハWの回転半径方向外方側へと導かれる。これにより、ウエハWの表面の全域にDIWが隈無く行き渡り、ウエハWの表面に付着しているSPMがきれいに洗い流される。DIWの供給が所定のリンス時間(たとえば、30秒間)にわたって行われると、ウエハWの回転速度が予め定める高回転速度(たとえば、2500rpm)に上げられて、ウエハWに付着しているDIWを振り切って乾燥させる処理が行われる(ステップS6)。この乾燥処理は所定の乾燥時間(たとえば、30秒間)にわたって行われる。乾燥処理後はウエハWの回転速度が減速されていき、ウエハWが静止すると、図示しない搬送ロボットにより、スピンチャック1から処理後のウエハWが搬出されていく。
上記パドル時間が経過して、ウエハWの回転速度が上記リンス回転速度に上げられるのと同時に、ダンパ36が全開状態にされて、150mmH2Oの排気圧での排気管34からの排気が再開される。そして、ウエハWに対するDIWによる処理およびウエハWを乾燥させる処理が行われている間、その排気管34からのカップ3内の雰囲気の排気が継続される。これにより、スピンチャック1に保持されたウエハWの周辺に、カップ3の底面に向かう気流が発生し、DIWの供給時などにウエハWから流下または飛散することによって発生するSPM成分を含むミストは、その気流に流されて、排気管34から排気とともに排出される。これにより、SPM成分を含むミストによるウエハWの汚染を防止することができ、高品質なウエハWを提供することができる。
また、乾燥処理後もカップ3内の雰囲気の排気は続けられる。これにより、スピンチャック1から処理後のウエハWを搬出する際に、カップ3内の雰囲気が外部(処理室外)に漏れ出すのを防止することができる。
図3は、SPM(H2SO4+H2O2)の吐出開始からの経過時間とウエハWの温度との関係を示すグラフである。ノズル2からのSPMの吐出開始と同時にダンパ36を全閉状態にし、ノズル2からSPMを15秒間にわたって吐出させた後、ウエハWの表面上にSPMの液膜が形成されている状態で放置した場合において、ウエハWの温度を放射温度計で測定した結果が実線で示されている。また、ノズル2からのSPMの吐出開始後もダンパ36を全開状態のままにして、ノズル2からSPMを15秒間にわたって吐出させた後、ウエハWの表面上にSPMの液膜が形成されている状態で放置した場合において、ウエハWの温度を放射温度計で測定した結果が破線で示されている。
図3は、SPM(H2SO4+H2O2)の吐出開始からの経過時間とウエハWの温度との関係を示すグラフである。ノズル2からのSPMの吐出開始と同時にダンパ36を全閉状態にし、ノズル2からSPMを15秒間にわたって吐出させた後、ウエハWの表面上にSPMの液膜が形成されている状態で放置した場合において、ウエハWの温度を放射温度計で測定した結果が実線で示されている。また、ノズル2からのSPMの吐出開始後もダンパ36を全開状態のままにして、ノズル2からSPMを15秒間にわたって吐出させた後、ウエハWの表面上にSPMの液膜が形成されている状態で放置した場合において、ウエハWの温度を放射温度計で測定した結果が破線で示されている。
これらの結果を比較して、ノズル2からSPMが吐出されている期間(ウエハWの表面にSPMが供給されている期間)およびウエハWの表面上にSPMの液膜が形成されている期間を通じて、ダンパ36を全閉状態にして、カップ3内の雰囲気の排気を停止させることにより、ウエハWの温度低下、つまりウエハWの表面に供給されたSPMの液温低下を抑制できることが理解される。
以上、この発明の一実施形態について説明したが、この発明は他の形態で実施することもできる。たとえば、上記の実施形態では、全開状態と全閉状態とに切替可能なダンパ36を用いた構成を例にとったが、このダンパ36に代えて、ダンパ開閉機構によって開度を段階的または無段階に調整可能なシーケンシャルダンパが用いられてもよい。このシーケンシャルダンパが用いられる場合、ノズル2からSPMが吐出されている期間およびウエハWの表面上にSPMの液膜が形成されている期間における排気量(排気圧)を、必ずしも零にしなくても、ノズル2からSPMが吐出される以前およびウエハWに対するDIWによる処理以後の期間における排気量(排気圧)よりも小さくなるように調整すれば、ウエハWの表面に供給されたSPMの液温低下の抑制という効果を得ることができる。
また、上記の実施形態では、硫酸と過酸化水素水との混合液であるSPMをレジスト剥離液として用いているが、硫酸とオゾン水との混合液や硫酸とフッ酸との混合液がレジスト剥離液として用いられてもよい。
さらにまた、処理対象となる基板の一例としてウエハWを取り上げたが、ウエハWに限らず、液晶表示装置用ガラス基板、プラズマディプレイパネル用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板および磁気/光ディスク用基板などの他の種類の基板が処理の対象とされてもよい。
さらにまた、処理対象となる基板の一例としてウエハWを取り上げたが、ウエハWに限らず、液晶表示装置用ガラス基板、プラズマディプレイパネル用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板および磁気/光ディスク用基板などの他の種類の基板が処理の対象とされてもよい。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
1 スピンチャック
2 ノズル
3 カップ
5 制御部
34 排気管
35 ダンパ開閉機構
36 ダンパ
W シリコン半導体ウエハ
2 ノズル
3 カップ
5 制御部
34 排気管
35 ダンパ開閉機構
36 ダンパ
W シリコン半導体ウエハ
Claims (3)
- 混合時に発熱反応を呈する混合液をレジスト剥離液として用いて、基板の表面からレジスト膜を剥離して除去する方法であって、
ノズルから基板の表面に向けて上記レジスト剥離液を吐出する液吐出工程と、
少なくとも上記液吐出工程が行われている間、上記液吐出工程の開始以前よりも排気量を減少させて基板の周囲の雰囲気を排気するか、または、基板の周囲の雰囲気の排気を停止させる低排気工程と
を含むことを特徴とするレジスト剥離方法。 - 上記液吐出工程の後に、基板の表面に上記レジスト剥離液の液盛りによる液膜が形成された状態を維持するパドル工程をさらに含み、
上記低排気工程は、上記液吐出工程およびパドル工程を通じて行われることを特徴とする請求項1記載のレジスト剥離方法。 - 混合時に発熱反応を呈する混合液をレジスト剥離液として用いて、基板の表面からレジスト膜を剥離して除去する装置であって、
基板を保持する基板保持手段と、
この基板保持手段に保持された基板に向けて上記レジスト剥離液を吐出するノズルと、
上記基板保持手段に保持された基板の周囲の雰囲気を排気するための排気管と、
この排気管に介装されていて、少なくとも当該排気管における排気の流量が異なる2つの位置に変位可能なダンパと、
少なくとも上記ノズルから上記レジスト剥離液が吐出されている間、上記ダンパを制御して、そのレジスト剥離液の吐出開始以前よりも上記排気管からの排気量を減少させるか、または、上記排気管からの排気を停止させる排気制御手段と
を含むことを特徴とするレジスト剥離装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003413875A JP2005175228A (ja) | 2003-12-11 | 2003-12-11 | レジスト剥離方法およびレジスト剥離装置 |
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JP2009141332A (ja) * | 2007-12-06 | 2009-06-25 | Semes Co Ltd | オゾン水混合液供給装置及び方法、並びにこれを具備する基板処理装置 |
JP2011049526A (ja) * | 2009-07-31 | 2011-03-10 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置、液処理方法、プログラムおよびプログラム記録媒体 |
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- 2003-12-11 JP JP2003413875A patent/JP2005175228A/ja active Pending
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