JP2005172783A - Clamp device for inspecting glass substrate - Google Patents

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奇南 金
Shiwa Cho
址和 丁
Shoretsu Lee
鍾烈 李
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Gyeong Chae Bae
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To shorten the time required in inspection, to suppress the occurrence of flaws by minimizing the physical contact with glass substrate, and to prevent vibration of the glass substrate and conduct accurate inspection. <P>SOLUTION: A clamping device 100 for inspecting the glass substrate is composed of a fixed frame 140 installed on an inspection zone, first and second upper clamps 111 and 112, and first and second lower clamps 121 and 122. The second lower clamp 122 includes a lower clamp means 120, installed so as to be freely moved left and right along the underside of the fixed frame and the side part clamping means 130 comprising a plurality of side part clamps, respectively installed on both sides of the fixed frame and clamping both end parts of the glass substrate and pulling the glass substrate to both sides so that the glass substrate is stretched to the right and the left. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、ガラス基板検査用のクランプ装置に関し、更に詳しくは、成形工程においてガラス基板を検査するとき、ガラス基板を検査ゾーンにローディング／アンローディングする作業を容易にするだけでなく、検査に要する時間を短縮し、ガラス基板に物理的な接触を最小化して欠陥の発生を抑制し、且つ、ガラス基板の振動を防止して正確な検査が行われるようにするガラス基板検査用のクランプ装置に関する。   The present invention relates to a clamp device for inspecting a glass substrate, and more particularly, when inspecting a glass substrate in a molding process, it not only facilitates loading / unloading of the glass substrate into an inspection zone, but also requires inspection. The present invention relates to a clamp device for glass substrate inspection that shortens time, minimizes physical contact with the glass substrate, suppresses the occurrence of defects, and prevents vibration of the glass substrate to perform accurate inspection. .

一般に、ＴＦＴ−ＬＣＤ（薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ）、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）、ＥＬ（Electro luminescence）などの平板ディスプレイの製造分野で用いられるガラス基板は、成形工程においてガラス溶解炉で溶解されたガラス液を溶解成形機に供給して製造され、カッティング機（cutting apparatus）によって一次規格に合わせて切断され、コンベアシステムによって加工ラインに運搬される。   In general, glass substrates used in the field of manufacturing flat panel displays such as TFT-LCD (thin film transistor liquid crystal display), PDP (plasma display panel), EL (electro luminescence), etc. It is manufactured by supplying it to a melt molding machine, cut to the primary standard by a cutting apparatus, and transported to a processing line by a conveyor system.

成形工程におけるガラス基板の検査は、後工程への不良品投入を事前に遮断することによって、コストを低減し、歩留りを向上させる効果がある。
成形工程において、コンベアシステムによって移送されるガラス基板を検査するためには、ガラス基板をコンベアシステムから取り外して検査位置に設置する必要がある。このとき、次のような点等を十分考慮する必要がある。 The inspection of the glass substrate in the molding process has an effect of reducing the cost and improving the yield by blocking the introduction of defective products to the subsequent process in advance.
In the molding process, in order to inspect the glass substrate transferred by the conveyor system, it is necessary to remove the glass substrate from the conveyor system and place it at the inspection position. At this time, it is necessary to fully consider the following points.

第一に、ガラス基板を検査位置にローディング又はアンローディングする作業が容易であると共に、検査にかかる時間を短縮する必要があり、且つ、検査の際にガラス基板に物理的な接触を防止してガラス基板の欠陥の発生を最大限抑制する必要がある。
第二に、検査の際、ガラス基板の振動を最小化して正確な検査が行われるようにする必要がある。 First, it is easy to load or unload the glass substrate at the inspection position, and it is necessary to reduce the time required for the inspection, and to prevent physical contact with the glass substrate during the inspection. It is necessary to suppress the occurrence of defects in the glass substrate as much as possible.
Secondly, during the inspection, it is necessary to minimize the vibration of the glass substrate so that an accurate inspection is performed.

そこで、上記のような点等を考慮して、成形工程においてガラス基板の検査が可能であるようにガラス基板をクランプする装置を開発する必要があり、これによって、成形工程においてガラス基板の検査が容易に、迅速且つ正確に行われるようにする必要がある。   Therefore, it is necessary to develop a device that clamps the glass substrate so that the glass substrate can be inspected in the molding process in consideration of the above points and the like. It needs to be done easily, quickly and accurately.

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、成形工程においてガラス基板を検査するとき、ガラス基板を検査ゾーンにローディング／アンローディングする作業を容易にするだけでなく、検査に要する時間を短縮し、ガラス基板に物理的な接触を最小化して欠陥の発生を抑制し、且つ、ガラス基板の振動を防止して正確な検査が行われるようにするガラス基板検査用のクランプ装置を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and its purpose is not only to facilitate the work of loading / unloading the glass substrate into the inspection zone when inspecting the glass substrate in the molding process. For glass substrate inspection that shortens the time required for inspection, minimizes physical contact with the glass substrate, suppresses the occurrence of defects, and prevents vibration of the glass substrate to ensure accurate inspection It is in providing a clamping device.

上記目的を達成するために、本発明は、ガラス基板を検査するために検査ゾーンにクランプする装置であって、検査ゾーンに設置される固定フレームと、固定フレームの上側にそれぞれ設置され、ガラス基板の上端部をクランプする第１及び第２上部クランプからなり、第１上部クランプは固定フレームの上側に固定され、第２上部クランプは、固定フレームの上側に沿って左右に移動自在に設置される上部クランプ手段と、固定フレームの下側にそれぞれ設置され、ガラス基板の下端部をクランプすると共に、ガラス基板が上下に伸ばされるようにガラス基板を下方に引っ張る第１及び第２下部クランプからなり、第１下部クランプは、固定フレームの下側に固定され、第２下部クランプは、固定フレームの下側に沿って左右に移動自在に設置される下部クランプ手段と、固定フレームの両側にそれぞれ設置され、ガラス基板の両端部をクランプすると共にガラス基板が左右に伸ばされるようにガラス基板を両側に引っ張る複数の側部クランプからなる側部クランプ手段とを含むことを特徴とする装置が提供される。   In order to achieve the above object, the present invention is an apparatus for clamping to an inspection zone for inspecting a glass substrate, and is installed on each of a fixed frame installed in the inspection zone and an upper side of the fixed frame. The first upper clamp is fixed to the upper side of the fixed frame, and the second upper clamp is movably installed along the upper side of the fixed frame. The upper clamp means and each of the first and second lower clamps, which are respectively installed on the lower side of the fixed frame, clamp the lower end of the glass substrate and pull the glass substrate downward so that the glass substrate is stretched up and down, The first lower clamp is fixed to the lower side of the fixed frame, and the second lower clamp is movable right and left along the lower side of the fixed frame. Lower clamp means placed on each side of the fixed frame, and a side part composed of a plurality of side clamps that clamp both ends of the glass substrate and pull the glass substrate to both sides so that the glass substrate is stretched to the left and right And a clamping means.

本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置は、成形工程においてガラス基板を検査するとき、ガラス基板を検査ゾーンにローディング／アンローディングする作業を容易にするだけでなく、検査に要する時間を短縮し、ガラス基板に物理的な接触を最小化して欠陥の発生を抑制し、且つ、ガラス基板の振動を防止して正確な検査が行われるようにする効果を奏する。   The clamping device for glass substrate inspection according to the present invention not only facilitates loading / unloading of the glass substrate into the inspection zone when inspecting the glass substrate in the molding process, but also reduces the time required for inspection, There is an effect that the physical contact with the glass substrate is minimized to suppress the occurrence of defects, and the glass substrate is prevented from vibrating so that an accurate inspection is performed.

以下、図面を参照しつつ本発明の好適な実施の形態を説明する。
図１は本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置の正面図である。
図示のように、本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置１００は、成形工程においてガラス基板１を検査のるために検査ゾーンにクランプする装置１００で、固定フレーム１４０と、固定フレーム１４０の上側にそれぞれ設置され、ガラス基板１の上端部をクランプする上部クランプ手段１１０と、固定フレーム１４０の下側にそれぞれ設置され、ガラス基板１の下端部をクランプすると共に、ガラス基板１が上下に伸ばされるようにガラス基板１を下方に引っ張る下部クランプ手段１２０と、固定フレーム１４０の両側にそれぞれ設置され、ガラス基板１の両端部をクランプすると共に、ガラス基板１が左右に伸ばされるようにガラス基板１を両側に引っ張る側部クランプ手段１３０とを含む。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a front view of a clamping device for glass substrate inspection according to the present invention.
As shown in the figure, a clamping apparatus 100 for inspecting a glass substrate according to the present invention is an apparatus 100 that clamps a glass substrate 1 to an inspection zone for inspecting in a molding process. The upper clamp means 110 that clamps the upper end of the glass substrate 1 and the lower clamp frame 140 are clamped at the lower side of the glass substrate 1 and the glass substrate 1 is extended vertically. The lower clamp means 120 for pulling the glass substrate 1 downward and the both sides of the fixed frame 140 are clamped on both sides of the glass substrate 1, and the glass substrate 1 is placed on both sides so that the glass substrate 1 is stretched left and right. And side clamp means 130 for pulling on.

固定フレーム１４０は、成形工程においてガラス基板１を検査するための位置に設置され、上側と下側にそれぞれ位置する上部及び下部フレーム１４１、１４２が一対の側部フレーム１４３によって連結する。
上部クランプ手段１１０は、固定フレーム１４０の上側、すなわち、上部フレーム１４１にそれぞれ設置され、ガラス基板１の上端部をクランプする第１及び第２上部クランプ１１１、１１２からなり、第１上部クランプ１１１は、固定フレーム１４０の上部フレーム１４１に固定され、第２上部クランプ１１２は、固定フレーム１４０の上部フレーム１４１に沿って左右に移動自在に設置される。 The fixed frame 140 is installed at a position for inspecting the glass substrate 1 in the molding process, and upper and lower frames 141 and 142 positioned on the upper side and the lower side are connected by a pair of side frames 143.
The upper clamp means 110 includes first and second upper clamps 111 and 112 that are installed on the upper side of the fixed frame 140, that is, on the upper frame 141, and clamp the upper end of the glass substrate 1. The first upper clamp 111 is The second upper clamp 112 is fixed to the upper frame 141 of the fixed frame 140, and is movably installed along the upper frame 141 of the fixed frame 140.

図２及び図３に示す第１上部クランプ１１１は、固定フレーム１４０の上側フレーム１４１にブラケット１４１ａによって第１空圧シリンダ１１１ａが設置され、第１空圧シリンダ１１１ａの端、すなわち、下端に回転自在に結合される一対のグリッパ１１１ｃを、空圧によって、ガラス基板１の上端部を掴んだり放したりするために、互いに閉じたり開いたりする。   The first upper clamp 111 shown in FIG. 2 and FIG. 3 has a first pneumatic cylinder 111a installed on the upper frame 141 of the fixed frame 140 by a bracket 141a, and is rotatable at the end of the first pneumatic cylinder 111a, that is, at the lower end. The pair of grippers 111c coupled to each other is closed or opened with respect to each other in order to grasp or release the upper end portion of the glass substrate 1 by air pressure.

第１空圧シリンダ１１１ａは、一対のポート１１１ｂを介して空圧が選択的に供給され、一対のグリッパ１１１ｃを回転させて互いに閉じたり開いたりすることにより、グリッパ１１１ｃが閉じられるとき、その端がガラス基板１の上端部を把持せしめる。
図４及び図５に示す第２上部クランプ１１２は、固定フレーム１４０の上側、すなわち、上部フレーム１４１に設置されるガイドレール１１２ａに沿って摺動するように、第２空圧シリンダ１１２ｂが設置され、第２空圧シリンダ１１２ｂは、端に回転自在に結合される一対のグリッパ１１２ｄを、空圧によって、ガラス基板１の上端部を掴んだり放したりするために、互いに閉じたり開いたりする。 The first pneumatic cylinder 111a is supplied with pneumatic pressure selectively through a pair of ports 111b, and when the gripper 111c is closed by rotating the pair of grippers 111c to close or open each other, Holds the upper end of the glass substrate 1.
4 and 5, the second pneumatic cylinder 112b is installed so as to slide along the guide rail 112a installed on the upper frame 141, that is, the upper frame 141. The second pneumatic cylinder 112b closes and opens the pair of grippers 112d, which are rotatably coupled to the ends, to hold or release the upper end of the glass substrate 1 by pneumatic pressure.

第２空圧シリンダ１１２ｂは、上部フレーム１４１に下部フレーム１４２の長手方向に並設されるガイドレール１１２ａに摺動自在に設置され、一対のポート１１２ｃに選択的に供給される空圧によって、グリッパ１１２ｄを回転させて互いに閉じたり開いたりすることにより、グリッパ１１２ｄが閉じられるとき、その端がガラス基板１の上端部を把持せしめる。   The second pneumatic cylinder 112b is slidably installed on a guide rail 112a arranged in parallel with the upper frame 141 in the longitudinal direction of the lower frame 142, and the second pneumatic cylinder 112b is gripped by pneumatic pressure selectively supplied to the pair of ports 112c. When the gripper 112d is closed by rotating and closing each other by rotating the 112d, the end grips the upper end of the glass substrate 1.

第２上部クランプ１１２は、第２空圧シリンダ１１２ｂがガイドレール１１２ａに摺動自在に設置されることにより、側部クランプ手段１３０によってガラス基板１が左右に伸ばされる場合、ガラス基板１が伸ばされる方向に移動することによってガラス基板１が全領域にわたって伸ばされるようにする。   The second upper clamp 112 is configured such that when the second pneumatic cylinder 112b is slidably installed on the guide rail 112a and the glass substrate 1 is stretched left and right by the side clamp means 130, the glass substrate 1 is stretched. The glass substrate 1 is stretched over the entire area by moving in the direction.

第２上部クランプ１１２は、ガラス基板１が左右に伸ばされることによって移動していた第２空圧シリンダ１１２ｂが、ガラス基板１を除去した後は、元の位置に復帰するように、固定フレーム１４０の上側、すなわち、上部フレーム１４１と第２空圧シリンダ１１２ｂにコイルばねのような弾性部材１１２ｅが設置される。   The second upper clamp 112 is fixed to the fixed frame 140 so that the second pneumatic cylinder 112b, which has been moved by the glass substrate 1 being stretched left and right, returns to its original position after the glass substrate 1 is removed. An elastic member 112e such as a coil spring is installed on the upper side, that is, on the upper frame 141 and the second pneumatic cylinder 112b.

下部クランプ手段１２０は、固定フレーム１４０の下側、すなわち、下部フレーム１４２にそれぞれ設置され、ガラス基板１の下端部をクランプすると共に、ガラス基板１が上下に伸ばされるようにガラス基板１を下方に引っ張る第１及び第２下部クランプ１２１、１２２からなり、第１下部クランプ１２１は、下部フレーム１４２に固定され、第２下部クランプ１２２は、下部フレーム１４２に沿って左右に移動自在に設置される。   The lower clamp means 120 is installed on the lower side of the fixed frame 140, that is, on the lower frame 142, and clamps the lower end portion of the glass substrate 1 and moves the glass substrate 1 downward so that the glass substrate 1 is extended vertically. The first and second lower clamps 121 and 122 are pulled. The first lower clamp 121 is fixed to the lower frame 142, and the second lower clamp 122 is installed so as to be movable right and left along the lower frame 142.

図６及び図７に示す第１下部クランプ１２１は固定フレーム１４０の下側、すなわち、下部フレーム１４２に空圧によって上下に往復移動する移動部材１２１ｂを有する第３空圧シリンダ１２１ａが設置され、第３空圧シリンダ１２１ａの移動部材１２１ｂの端に第４空圧シリンダ１２１ｄが設置され、第４空圧シリンダ１２１ｄは、端に回転自在に結合される一対のグリッパ１２１ｆを、空圧によって、ガラス基板１の下端部を掴んだり放したりするために、互いに閉じたり開いたりする。   The first lower clamp 121 shown in FIGS. 6 and 7 is provided with a third pneumatic cylinder 121a having a moving member 121b that reciprocates up and down by pneumatic pressure on the lower side of the fixed frame 140, that is, the lower frame 142. The fourth pneumatic cylinder 121d is installed at the end of the moving member 121b of the three pneumatic cylinder 121a, and the fourth pneumatic cylinder 121d uses a pair of grippers 121f that are rotatably coupled to the ends to form a glass substrate by pneumatic pressure. Close and open to each other to grab and release the lower end of 1.

第３空圧シリンダ１２１ａは、一対のポート１２１ｃを介して空圧が選択的に供給され、移動部材１２１ｂを往復移動せしめることにより、第４空圧シリンダ１２１ｄを上下に往復移動させる。
第４空圧シリンダ１２１ｄは、一対のポート１２１ｅを介して空圧が選択的に供給され、一対のグリッパ１２１ｆを回転させて互いに閉じたり開いたりすることにより、グリッパ１２１ｆが閉じられるとき、その端がガラス基板１の下端部を把持せしめる。 The third pneumatic cylinder 121a is selectively supplied with pneumatic pressure via a pair of ports 121c, and reciprocates the moving member 121b, thereby reciprocating the fourth pneumatic cylinder 121d up and down.
The fourth pneumatic cylinder 121d is supplied with pneumatic pressure selectively through a pair of ports 121e, and when the gripper 121f is closed by rotating the pair of grippers 121f to close or open each other, Holds the lower end of the glass substrate 1.

図８及び図９に示す第２下部クランプ１２２は、固定フレーム１４０の下側、すなわち、下部フレーム１４２に設置されるガイドレール１２２ａに沿って摺動するように、第５空圧シリンダ１２２ｂが設置され、第５空圧シリンダ１２２ｂは、空圧によって上下に往復移動する移動部材１２２ｃを有し、第５空圧シリンダ１２２ｂの移動部材１２２ｃの端に第６空圧シリンダ１２２ｅが設置され、第６空圧シリンダ１２２ｅは、端に回転自在に結合される一対のグリッパ１２２ｇを、空圧によって、ガラス基板１の下端部を掴んだり放したりするために、互いに閉じたり開いたりする。   The second lower clamp 122 shown in FIGS. 8 and 9 is provided with the fifth pneumatic cylinder 122b so as to slide along the guide rail 122a installed on the lower side of the fixed frame 140, that is, the lower frame 142. The fifth pneumatic cylinder 122b has a moving member 122c that reciprocates up and down by pneumatic pressure. A sixth pneumatic cylinder 122e is installed at the end of the moving member 122c of the fifth pneumatic cylinder 122b. The pneumatic cylinder 122e closes or opens a pair of grippers 122g, which are rotatably coupled to the ends, so as to grip and release the lower end portion of the glass substrate 1 by pneumatic pressure.

第５空圧シリンダ１２２ｂは、下部フレーム１４２に下部フレーム１４２の長手方向に並設されるガイドレール１２２ａに摺動自在に設置され、一対のポート（図示せず）を介して空圧が選択的に供給され、移動部材１２２ｃを往復移動することにより、移動部材１２２ｃに結合された第６空圧シリンダ１２２ｅを上下に往復移動させる。   The fifth pneumatic cylinder 122b is slidably installed on a guide rail 122a arranged in parallel with the lower frame 142 in the longitudinal direction of the lower frame 142, and the pneumatic pressure is selectively selected via a pair of ports (not shown). And the sixth pneumatic cylinder 122e coupled to the moving member 122c is reciprocated up and down by reciprocating the moving member 122c.

第６空圧シリンダ１２２ｅは、一対のポート１２２ｆを介して空圧が選択的に供給され、一対のグリッパ１２２ｇを回転させて互いに閉じたり開いたりすることにより、グリッパ１２２ｇが閉じられるとき、その端がガラス基板１の下端部を把持せしめる。
第２下部クランプ１２２は、第５空圧シリンダ１２２ｂがガイドレール１２２ａに摺動自在に設置されることによって、側部クランプ手段１３０によってガラス基板１が左右に伸ばされる場合、ガラス基板１が伸ばされる方向に移動することにより、ガラス基板１が全領域にわたって伸ばされるようにする。 The sixth pneumatic cylinder 122e is supplied with pneumatic pressure selectively via a pair of ports 122f, and when the gripper 122g is closed by rotating the pair of grippers 122g to close or open each other, Holds the lower end of the glass substrate 1.
The second lower clamp 122 is configured such that when the fifth pneumatic cylinder 122b is slidably installed on the guide rail 122a and the glass substrate 1 is stretched left and right by the side clamp means 130, the glass substrate 1 is stretched. By moving in the direction, the glass substrate 1 is stretched over the entire region.

第２下部クランプ１２２は、ガラス基板１が左右に伸ばされることによって移動していた第５空圧シリンダ１２２ｂが、ガラス基板１を除去した後は、元の位置に復帰するように、固定フレーム１４０の下側、すなわち、下部フレーム１４２と第５空圧シリンダ１２２ｂにコイルばねのような弾性部材１２２ｈが設置される。   The second lower clamp 122 is fixed to the fixed frame 140 so that the fifth pneumatic cylinder 122b, which has been moved by the glass substrate 1 being stretched left and right, returns to its original position after the glass substrate 1 is removed. An elastic member 122h such as a coil spring is installed on the lower side, that is, on the lower frame 142 and the fifth pneumatic cylinder 122b.

側部クランプ手段１３０は、固定フレーム１４０の両側、すなわち、側部フレーム１４３ごとにそれぞれ設置され、ガラス基板１の両端部をクランプすると共に、ガラス基板１が左右に伸ばされるように、ガラス基板１を両側に引っ張る複数の側部クランプ１３１からなる。   The side clamp means 130 are installed on both sides of the fixed frame 140, that is, for each side frame 143, and clamps both ends of the glass substrate 1, and the glass substrate 1 is stretched to the left and right. It consists of a plurality of side clamps 131 that pull both sides.

図１０及び図１１に示す側部クランプ１３１は、固定フレーム１４０の一方の側、すなわち、側部フレーム１４３に空圧によって左右に往復移動する移動部材１３１ｂを有する第７空圧シリンダ１３１ａが設置され、第７空圧シリンダ１３１ａの移動部材１３１ｂの端に第８空圧シリンダ１３１ｄが設置され、第８空圧シリンダ１３１ｄは、端に回転自在に結合される一対のグリッパ１３１ｆを、空圧によって、ガラス基板１の側端部を掴んだり放したりするために、互いに閉じたり開いたりする。   The side clamp 131 shown in FIGS. 10 and 11 is provided with a seventh pneumatic cylinder 131a having a moving member 131b that reciprocates left and right by pneumatic pressure on one side of the fixed frame 140, that is, the side frame 143. The eighth pneumatic cylinder 131d is installed at the end of the moving member 131b of the seventh pneumatic cylinder 131a. The eighth pneumatic cylinder 131d has a pair of grippers 131f that are rotatably coupled to the ends by pneumatic pressure. In order to grab and release the side edges of the glass substrate 1, they close and open each other.

第７空圧シリンダ１３１ａは、一対のポート１３１ｃを介して空圧が選択的に供給され、移動部材１３１ｂを往復移動することにより、移動部材１３１ｂに結合された第８空圧シリンダ１３１ｄを左右に往復移動させる。
第８空圧シリンダ１３１ｄは、一対のポート１３１ｅを介して空圧が選択的に供給され、一対のグリッパ１３１ｆを回転させて互いに閉じたり開いたりすることにより、グリッパ１３１ｆが閉じられるとき、その端がガラス基板１の下端部を把持せしめる。 The seventh pneumatic cylinder 131a is selectively supplied with pneumatic pressure via a pair of ports 131c, and reciprocates the moving member 131b, thereby moving the eighth pneumatic cylinder 131d coupled to the moving member 131b to the left and right. Move back and forth.
The eighth pneumatic cylinder 131d is supplied with pneumatic pressure selectively via a pair of ports 131e, and when the gripper 131f is closed by rotating the pair of grippers 131f to close or open each other, Holds the lower end of the glass substrate 1.

下部クランプ手段１２０の第１及び第２下部クランプ１２１、１２２と側部クランプ手段１３０の側部クランプ１３１は、ガラス基板１をクランプするとき、ガラス基板１がクランプされる位置に整列できるように、ガラス基板１の端部を支持するアライナ１２１ｇ、１２２ｉ、１３１ｇが備えられる。   When the glass substrate 1 is clamped, the first and second lower clamps 121 and 122 of the lower clamp unit 120 and the side clamp 131 of the side clamp unit 130 may be aligned to a position where the glass substrate 1 is clamped. Aligners 121g, 122i, and 131g that support end portions of the glass substrate 1 are provided.

各々のアライナ１２１ｇ、１２２ｉ、１３１ｇは、第３空圧シリンダ１２１ａ、第５空圧シリンダ１２２ｂ及び第７空圧シリンダ１３１ａのそれぞれの端に結合されるブラケット１２１ｈ、１２２ｊ、１３１ｈごとに、両側に１枚ずつ設置される。
図１２ないし図１６は、本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置を用いて成形工程でガラス基板１を検査するための装置を示す図である。図示のように、本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置に用いるガラス基板の検査装置は、ガラス基板の検査のためにク、ランプ装置１００によって固定されたガラス基板１をスキャンするビジョンアセンブリ２００と、ビジョンアセンブリ２００をガラス基板１の一方の側から他方の側に移動させるビジョンアセンブリ移動手段３００と、ビジョンアセンブリ２００によってスキャンしたイメージからガラス基板１の欠陥をデータ化して処理する欠陥データ処理部４００と、欠陥データ処理部４００から処理されたデータを表示するディスプレイ部５００とを含む。 Each aligner 121g, 122i, 131g has one on each side for each bracket 121h, 122j, 131h coupled to the respective ends of the third pneumatic cylinder 121a, the fifth pneumatic cylinder 122b, and the seventh pneumatic cylinder 131a. One by one.
12 to 16 are views showing an apparatus for inspecting the glass substrate 1 in the forming process using the clamping apparatus for inspecting the glass substrate according to the present invention. As shown in the drawing, a glass substrate inspection apparatus used in a glass substrate inspection clamp apparatus according to the present invention includes a vision assembly 200 that scans a glass substrate 1 fixed by a lamp device 100 for inspection of the glass substrate, and A vision assembly moving means 300 for moving the vision assembly 200 from one side of the glass substrate 1 to the other side, and a defect data processing unit 400 that converts and processes defects on the glass substrate 1 from images scanned by the vision assembly 200. And a display unit 500 that displays data processed from the defect data processing unit 400.

図１５に示すように、ビジョンアセンブリ２００は、ガラス基板検査用のクランプ装置１００によって固定されたガラス基板１の一方の側に位置し、照明２１０で光を照射して複数のカメラ２２０でガラス基板１をスキャンする。
ビジョンアセンブリ２００は、一方の側が開放されているビジョンフレーム２３０の内側の両方にカメラ固定部材２４０と照明固定部材２５０がそれぞれ垂設され、カメラ固定部材２４０に複数のカメラ２２０が開放されている一方の側を介してガラス基板１をスキャンするように固定され、照明固定部材２５０に照明２１０が複数のカメラ２２０のスキャン領域に光を照射するように設置される。 As shown in FIG. 15, the vision assembly 200 is positioned on one side of the glass substrate 1 fixed by the clamping device 100 for inspecting the glass substrate, and irradiates light with illumination 210 and uses a plurality of cameras 220 to form the glass substrate. Scan 1
In the vision assembly 200, a camera fixing member 240 and an illumination fixing member 250 are vertically suspended on both sides of the vision frame 230 that is open on one side, and a plurality of cameras 220 are open on the camera fixing member 240. The glass substrate 1 is fixed to scan through the side, and the illumination 210 is installed on the illumination fixing member 250 so as to irradiate the scan areas of the plurality of cameras 220.

ビジョンアセンブリ移動手段３００は、ビジョンアセンブリ２００のカメラ２２０がガラス基板１の全領域をスキャンするように、ビジョンアセンブリ２００をガラス基板１の一方の側から他方の側に移動させる。
ビジョンアセンブリ移動手段３００は、ビジョンアセンブリ移動手段３００のフレーム３１５の下部に第１リードスクリュー３１０が回転自在に設置され、第１リードスクリュー３１０にカート３２０が螺合されて設置され、カート３２０の上側にビジョンアセンブリ２００が結合され、第１リードスクリュー３１０に第１移送モータ（図示せず）が連結され、フレーム３１５の上部に第１リードスクリュー３１０と平行をなすように第２リードスクリュー３４０が回転自在に設置され、第２リードスクリュー３４０に螺合されるボールナット３５０がビジョンアセンブリ２００のビジョンフレーム２３０に固定され、第２リードスクリュー３４０を回転させる第２移動モータ３６０が第２リードスクリュー３４０に機械的に連結される。 The vision assembly moving means 300 moves the vision assembly 200 from one side of the glass substrate 1 to the other side so that the camera 220 of the vision assembly 200 scans the entire area of the glass substrate 1.
The vision assembly moving unit 300 includes a first lead screw 310 rotatably installed at a lower portion of the frame 315 of the vision assembly moving unit 300, and a cart 320 screwed into the first lead screw 310. The vision assembly 200 is coupled to the first lead screw 310, and a first transfer motor (not shown) is connected to the first lead screw 310. The second lead screw 340 is rotated on the upper portion of the frame 315 so as to be parallel to the first lead screw 310. A ball nut 350 that is freely installed and screwed into the second lead screw 340 is fixed to the vision frame 230 of the vision assembly 200, and a second moving motor 360 that rotates the second lead screw 340 is attached to the second lead screw 340. Mechanically linked.

第２リードスクリュー３４０は、カート３２０の上側に設置される支持フレーム３３０に両端が支持されることにより、回転自在に設置される。
欠陥データ処理部４００は、ビジョンアセンブリ２００のカメラ２２０から転送されるイメージからガラス基板１の欠陥の個数、大きさ、位置などをデータ化して処理する。 The second lead screw 340 is rotatably installed by having both ends supported by a support frame 330 installed on the upper side of the cart 320.
The defect data processing unit 400 converts the number of defects, the size, the position, and the like of the glass substrate 1 from the image transferred from the camera 220 of the vision assembly 200 into data.

ディスプレイ部５００は、欠陥データ処理部４００から処理されたガラス基板１の欠陥の個数、大きさ、位置などのデータを外部に表示する。
かかる構造のガラス基板検査用のクランプ装置１００の作用は、次のおうに行われる。
成形工程において成形された上端が移送グリッパ（図示せず）に固定され、移送レール（図示せず）に沿って移送されたガラス基板１を停止させた後、移送グリッパ（図示せず）からガラス基板１を取り外して固定フレーム１４０の内側に位置させた後、上部クランプ手段１１０の第１及び第２上部クランプ１１１、１１２でガラス基板１の上端部をクランプする。 The display unit 500 displays data such as the number, size, and position of defects of the glass substrate 1 processed from the defect data processing unit 400 to the outside.
The operation of the clamp apparatus 100 for testing a glass substrate having such a structure is performed as follows.
The upper end formed in the forming step is fixed to a transfer gripper (not shown), and the glass substrate 1 transferred along the transfer rail (not shown) is stopped, and then the glass is transferred from the transfer gripper (not shown). After the substrate 1 is removed and positioned inside the fixed frame 140, the upper end portion of the glass substrate 1 is clamped by the first and second upper clamps 111 and 112 of the upper clamp means 110.

すなわち、第１及び第２上部クランプ１１１、１１２の第１及び第２空圧シリンダ１１１ａ、１１２ｂを動作させて、グリッパ１１１ｃ、１１２ｄによってガラス基板１の上端部をクランプせしめる。
一方、ガラス基板１を固定フレーム１４０の内側に位置させるとき、ガラス基板１を下部クランプ手段１２０及び側部クランプ手段１３０のアライナ１２１ｇ、１２２ｈ、１３１ｇに位置させることにより、容易にクランプ位置に整列できるようにすることができる。 That is, the first and second pneumatic cylinders 111a and 112b of the first and second upper clamps 111 and 112 are operated, and the upper ends of the glass substrate 1 are clamped by the grippers 111c and 112d.
On the other hand, when the glass substrate 1 is positioned inside the fixed frame 140, the glass substrate 1 can be easily aligned with the clamp position by being positioned on the aligners 121g, 122h, 131g of the lower clamp means 120 and the side clamp means 130. Can be.

上部クランプ手段１１０によってガラス基板１の上端部がクランプされると、下部クランプ手段１２０でガラス基板１の下端部をクランプする。
すなわち、下部クランプ手段１２０の第４及び第６空圧シリンダ１２１ｄ、１２２ｅを動作させて、下部クランプ手段１２０のグリッパ１２１ｆ、１２２ｇでガラス基板１の下端部をクランプする。 When the upper end portion of the glass substrate 1 is clamped by the upper clamp means 110, the lower end portion of the glass substrate 1 is clamped by the lower clamp means 120.
That is, the fourth and sixth pneumatic cylinders 121d and 122e of the lower clamp unit 120 are operated, and the lower end portion of the glass substrate 1 is clamped by the grippers 121f and 122g of the lower clamp unit 120.

ガラス基板１の上端と下端がそれぞれ上部及び下部クランプ手段１１０、１２０によってクランプされると、下部クランプ手段１２０の第３及び第５空圧シリンダ１２１ａ、１２２ｂを動作させて、ガラス基板１を下方に一定の力で引張って上下に伸ばされるようにする。   When the upper and lower ends of the glass substrate 1 are clamped by the upper and lower clamp means 110 and 120, respectively, the third and fifth pneumatic cylinders 121a and 122b of the lower clamp means 120 are operated to move the glass substrate 1 downward. Pull it up and down with a constant force.

ガラス基板１が上下に伸ばされると、側部クランプ手段１３０の第８空圧シリンダ１３１ｄが動作して、グリッパ１３１ｆでガラス基板１の側端部をそれぞれクランプし、第７空圧シリンダ１３１ａを動作させて、ガラス基板１を両側に引張ってガラス基板１が左右に伸ばされるようにする。   When the glass substrate 1 is stretched up and down, the eighth pneumatic cylinder 131d of the side clamp means 130 is operated, the side ends of the glass substrate 1 are clamped by the grippers 131f, and the seventh pneumatic cylinder 131a is operated. Then, the glass substrate 1 is pulled to both sides so that the glass substrate 1 is stretched left and right.

側部クランプ手段１３０の第７空圧シリンダ１３１ａによってガラス基板１が左右に伸ばされるとき、上部及び下部クランプ手段１１０、１２０の第１上部クランプ１１１と第１下部クランプ１２１によって、ガラス基板１は一定の位置に固定された状態で、第２上部クランプ１１２と第１下部クランプ１２２のそれぞれがガイドレール１１２ａ、１２２ａに沿って移動することによって、ガラス基板１が全領域にわたって左右に伸ばされるようにする。よって、ガラス基板１が撓まないようにすると共に、振動を最小化して、ビジョンアセンブリ２００でスキャンするとき、鮮明なイメージを取得せしめる。   When the glass substrate 1 is stretched left and right by the seventh pneumatic cylinder 131a of the side clamp means 130, the glass substrate 1 is fixed by the first upper clamp 111 and the first lower clamp 121 of the upper and lower clamp means 110, 120. The glass substrate 1 is extended to the left and right over the entire area by moving the second upper clamp 112 and the first lower clamp 122 along the guide rails 112a and 122a in a state where the glass substrate 1 is fixed at the position of. . Therefore, the glass substrate 1 is prevented from being bent and vibrations are minimized to obtain a clear image when scanning with the vision assembly 200.

ガラス基板１が上部及び下部クランプ１１０、１２０と側部クランプ１３０によってクランプされて伸ばされると、ビジョンアセンブリ移動手段３００によってビジョンアセンブリ２００をガラス基板１の一方の側から他方の側に移動させて、ビジョンアセンブリ２００の照明２１０と複数のカメラ２２０でガラス基板１の全領域をスキャンした後、欠陥データ処理部４００によってスキャンして取得したイメージからガラス基板１の欠陥の個数、大きさ、位置などのデータとして処理してディスプレイ部５００によって表示する。   When the glass substrate 1 is clamped and extended by the upper and lower clamps 110 and 120 and the side clamps 130, the vision assembly moving means 300 moves the vision assembly 200 from one side to the other side of the glass substrate 1, After the entire area of the glass substrate 1 is scanned by the illumination 210 of the vision assembly 200 and the plurality of cameras 220, the number, size, position, and the like of the defects of the glass substrate 1 from the image acquired by scanning by the defect data processing unit 400. The data is processed and displayed on the display unit 500.

上述のように本発明の好適な実施例によれば、成形工程においてガラス基板を検査するとき、ガラス基板を検査ゾーンにローディング／アンローディングする作業を容易にするだけでなく、検査に要する時間を短縮し、ガラス基板に物理的な接触を最小化して欠陥の発生を抑制し、且つ、ガラス基板の振動を防止して正確な検査が行われるようにする。   As described above, according to the preferred embodiment of the present invention, when the glass substrate is inspected in the molding process, not only the operation of loading / unloading the glass substrate to / from the inspection zone is facilitated, but also the time required for the inspection is reduced. Shortening, minimizing physical contact with the glass substrate to suppress the occurrence of defects, and preventing vibration of the glass substrate so that accurate inspection is performed.

上記において、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明の請求範囲を逸脱することなく、当業者は種々の改変をなし得るであろう。   While preferred embodiments of the present invention have been described above, those skilled in the art will be able to make various modifications without departing from the scope of the claims of the present invention.

本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置の正面図。The front view of the clamp apparatus for glass substrate inspection by this invention. 本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置の第１上部クランプを示す正面図。The front view which shows the 1st upper clamp of the clamp apparatus for glass substrate inspection by this invention. 本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置の第１上部クランプを示す側面図。The side view which shows the 1st upper clamp of the clamp apparatus for glass substrate inspection by this invention. 本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置の第２上部クランプを示す正面図。The front view which shows the 2nd upper clamp of the clamp apparatus for glass substrate inspection by this invention. 本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置の第２上部クランプを示す底面図。The bottom view which shows the 2nd upper clamp of the clamp apparatus for glass substrate inspection by this invention. 本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置の第１下部クランプを示す正面図。The front view which shows the 1st lower clamp of the clamp apparatus for glass substrate inspection by this invention. 本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置の第１下部クランプを示す側面図。The side view which shows the 1st lower clamp of the clamp apparatus for glass substrate inspection by this invention. 本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置の第２下部クランプを示す正面図。The front view which shows the 2nd lower clamp of the clamp apparatus for glass substrate inspection by this invention. 本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置の第２下部クランプを示す平面図。The top view which shows the 2nd lower clamp of the clamp apparatus for glass substrate inspection by this invention. 本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置の側部クランプに示す正面図。The front view shown to the side part clamp of the clamp apparatus for glass substrate inspection by this invention. 本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置の側部クランプに示す側面図。The side view shown to the side clamp of the clamp apparatus for glass substrate inspection by this invention. 本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置を用いるガラス基板の検査装置の正面図。The front view of the inspection apparatus of the glass substrate using the clamp apparatus for glass substrate inspection by this invention. 本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置を用いるガラス基板の検査装置の側面図。The side view of the inspection apparatus of the glass substrate using the clamp apparatus for glass substrate inspection by this invention. 本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置を用いるガラス基板の検査装置の平面図。The top view of the inspection apparatus of the glass substrate using the clamp apparatus for glass substrate inspection by this invention. 本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置を用いるガラス基板の検査装置におけるビジョンアセンブリを示す斜視図。The perspective view which shows the vision assembly in the inspection apparatus of the glass substrate using the clamp apparatus for glass substrate inspection by this invention. 本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置を用いるガラス基板の検査装置の構成図。The block diagram of the inspection apparatus of the glass substrate using the clamp apparatus for glass substrate inspection by this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１１０ 上部クランプ手段．１１１ 第１上部クランプ．１１１ａ 第１空圧シリンダ．１１１ｃ グリッパ．１１２ 第２上部クランプ．１１２ａ ガイドレール．１１２ｂ 第２空圧シリンダ．１１２ｄ グリッパ．１１２ｅ 弾性部材．１２０ 下部クランプ手段．１２１ 第１下部クランプ．１２１ａ 第３空圧シリンダ．１２１ｂ 移動部材．１２１ｄ 第４空圧シリンダ．１２１ｆ グリッパ．１２２ 第２下部クランプ．１２２ａ ガイドレール．１２２ｂ 第５空圧シリンダ．１２２ｃ 移動部材．１２２ｅ 第６空圧シリンダ．１２２ｇ グリッパ．１３０ 側部クランプ手段．１３１ 側部クランプ．１３１ａ 第７空圧シリンダ．１３１ｂ 移動部材．１３１ｄ 第８空圧シリンダ．１３１ｆ グリッパ．１４０ 固定フレーム．１４１ 上部フレーム．１４２ 下部フレーム．１４３ 側部フレーム 110 Upper clamp means. 111 First upper clamp. 111a First pneumatic cylinder. 111c gripper. 112 Second upper clamp. 112a Guide rail. 112b Second pneumatic cylinder. 112d Gripper. 112e Elastic member. 120 Lower clamp means. 121 First lower clamp. 121a Third pneumatic cylinder. 121b Moving member. 121d Fourth pneumatic cylinder. 121f gripper. 122 Second lower clamp. 122a guide rail. 122b Fifth pneumatic cylinder. 122c moving member. 122e Sixth pneumatic cylinder. 122g gripper. 130 Side clamp means. 131 Side clamp. 131a Seventh pneumatic cylinder. 131b Moving member. 131d Eighth pneumatic cylinder. 131f gripper. 140 Fixed frame. 141 Upper frame. 142 Lower frame. 143 Side frame

Claims (9)

ガラス基板を検査するために検査ゾーンにクランプする装置であって、
前記検査ゾーンに設置される固定フレームと、
前記固定フレームの上側にそれぞれ設置され、前記ガラス基板の上端部をクランプする第１及び第２上部クランプからなり、前記第１上部クランプは前記固定フレームの上側に固定され、前記第２上部クランプは、前記固定フレームの上側に沿って左右に移動自在に設置される上部クランプ手段と、
前記固定フレームの下側にそれぞれ設置され、前記ガラス基板の下端部をクランプすると共に、前記ガラス基板が上下に伸ばされるように前記ガラス基板を下方に引っ張る第１及び第２下部クランプからなり、前記第１下部クランプは、前記固定フレームの下側に固定され、前記第２下部クランプは、前記固定フレームの下側に沿って左右に移動自在に設置される下部クランプ手段と、
前記固定フレームの両側にそれぞれ設置され、前記ガラス基板の両端部をクランプすると共に前記ガラス基板が左右に伸ばされるように前記ガラス基板を両側に引っ張る複数の側部クランプからなる側部クランプ手段とを含むガラス基板検査用のクランプ装置。 A device for clamping to an inspection zone for inspecting a glass substrate,
A fixed frame installed in the inspection zone;
The first upper clamp is fixed to the upper side of the fixed frame, and the first upper clamp is installed on the upper side of the fixed frame, and clamps the upper end of the glass substrate. Upper clamp means installed movably to the left and right along the upper side of the fixed frame;
The first and second lower clamps that are respectively installed on the lower side of the fixed frame, clamp the lower end of the glass substrate, and pull the glass substrate downward so that the glass substrate is stretched up and down, The first lower clamp is fixed to the lower side of the fixed frame, and the second lower clamp is a lower clamp means that is movably installed along the lower side of the fixed frame;
Side clamp means installed on both sides of the fixed frame, which clamps both end portions of the glass substrate and comprises a plurality of side clamps for pulling the glass substrate to both sides so that the glass substrate is stretched to the left and right. Including clamping device for glass substrate inspection. 前記上部クランプ手段の第１上部クランプは、
前記固定フレームの上側に第１空圧シリンダが設置され、前記第１空圧シリンダは、端に回転自在に結合される一対のグリッパを、空圧によって、前記ガラス基板の上端部を掴んだり放したりするために、互いに閉じたり開いたりすることを特徴とする請求項１に記載のガラス基板検査用のクランプ装置。 The first upper clamp of the upper clamp means is
A first pneumatic cylinder is installed on the upper side of the fixed frame, and the first pneumatic cylinder grips or releases the upper end portion of the glass substrate by air pressure with a pair of grippers rotatably coupled to the ends. The glass substrate inspection clamp device according to claim 1, wherein the glass substrate inspection device is closed or opened. 前記上部クランプ手段の第２上部クランプは、
前記固定フレームの上側に設置されるガイドレールに沿って摺動するように、第２空圧シリンダが設置され、前記第２空圧シリンダは端に回転自在に結合される一対のグリッパを、空圧によって、前記ガラス基板の上端部を掴んだり放したりするために、互いに閉じたり開いたりすることを特徴とする請求項１に記載のガラス基板検査用のクランプ装置。 The second upper clamp of the upper clamp means is
A second pneumatic cylinder is installed so as to slide along a guide rail installed on the upper side of the fixed frame, and the second pneumatic cylinder has a pair of grippers rotatably coupled to ends. 2. The clamping device for inspecting a glass substrate according to claim 1, wherein the glass substrate is closed or opened to hold or release the upper end of the glass substrate by pressure. 前記上部クランプ手段の第２上部クランプは、
前記ガラス基板が左右に伸ばされることによって移動していた前記第２空圧シリンダが元の位置に復帰するように、前記固定フレームの上側と前記第２空圧シリンダに弾性部材が設置されることを特徴とする請求項３に記載のガラス基板検査用のクランプ装置。 The second upper clamp of the upper clamp means is
Elastic members are installed on the upper side of the fixed frame and the second pneumatic cylinder so that the second pneumatic cylinder, which has been moved by extending the glass substrate to the left and right, returns to its original position. The clamp apparatus for glass substrate inspection of Claim 3 characterized by these. 前記下部クランプ手段の第１下部クランプは、
前記固定フレームの下側に空圧によって上下に往復移動する移動部材を有する第３空圧シリンダが設置され、前記第３空圧シリンダの移動部材の端に第４空圧シリンダが設置され、前記第４空圧シリンダは、端に回転自在に結合される一対のグリッパを、空圧によって、前記ガラス基板の下端部を掴んだり放したりするために、互いに閉じたり開いたりすることを特徴とする請求項１に記載のガラス基板検査用のクランプ装置。 The first lower clamp of the lower clamp means is
A third pneumatic cylinder having a moving member that reciprocates up and down by pneumatic pressure is installed below the fixed frame, and a fourth pneumatic cylinder is installed at an end of the moving member of the third pneumatic cylinder, The fourth pneumatic cylinder is characterized in that a pair of grippers rotatably coupled to the ends are closed or opened with respect to each other in order to grasp or release the lower end portion of the glass substrate by pneumatic pressure. The clamp apparatus for glass substrate inspection of Claim 1. 前記下部クランプ手段の第２下部クランプは、
前記固定フレームの下側に設置されるガイドレールに沿って摺動するように、第５空圧シリンダが設置され、前記第５空圧シリンダは、空圧によって上下に往復移動する移動部材を有し、前記第５空圧シリンダの移動部材の端に第６空圧シリンダが設置され、前記第６空圧シリンダは、端に回転自在に結合される一対のグリッパを、空圧によって、前記ガラス基板の下端部を掴んだり放したりするために、互いに閉じたり開いたりすることを特徴とする請求項１に記載のガラス基板検査用のクランプ装置。 The second lower clamp of the lower clamp means is
A fifth pneumatic cylinder is installed so as to slide along a guide rail installed on the lower side of the fixed frame, and the fifth pneumatic cylinder has a moving member that reciprocates up and down by pneumatic pressure. And a sixth pneumatic cylinder is installed at an end of the moving member of the fifth pneumatic cylinder, and the sixth pneumatic cylinder is configured such that a pair of grippers rotatably coupled to the ends are pneumatically attached to the glass. The glass substrate inspection clamp device according to claim 1, wherein the substrate is closed or opened to grasp or release the lower end of the substrate. 前記下部クランプ手段の第２下部クランプは、
前記ガラス基板が左右に伸ばされることによって移動していた前記第５空圧シリンダが元の位置に復帰するように、前記固定フレームの下側と前記第５空圧シリンダに弾性部材が設置されることを特徴とする請求項６に記載のガラス基板検査用のクランプ装置。 The second lower clamp of the lower clamp means is
Elastic members are installed on the lower side of the fixed frame and the fifth pneumatic cylinder so that the fifth pneumatic cylinder, which has been moved by extending the glass substrate to the left and right, returns to its original position. The glass substrate inspection clamp device according to claim 6. 前記側部クランプ手段の側部クランプは、
前記固定フレームの一方の側に空圧によって左右に往復移動する移動部材を有する第７空圧シリンダが設置され、前記第７空圧シリンダの移動部材の端に第８空圧シリンダが設置され、前記第８空圧シリンダは、端に回転自在に結合される一対のグリッパを、空圧によって、ガラス基板の側端部を掴んだり放したりするために、互いに閉じたり開いたりすることを特徴とする請求項１に記載のガラス基板検査用のクランプ装置。 The side clamp of the side clamp means is
A seventh pneumatic cylinder having a moving member that reciprocates left and right by pneumatic pressure is installed on one side of the fixed frame, and an eighth pneumatic cylinder is installed at an end of the moving member of the seventh pneumatic cylinder, The eighth pneumatic cylinder is characterized in that a pair of grippers rotatably coupled to the ends are closed or opened with respect to each other in order to grab and release the side end portions of the glass substrate by pneumatic pressure. The clamping device for glass substrate inspection according to claim 1. 前記下部クランプ手段の第１または第２下部クランプ、または前記側部クランプ手段に側部クランプは、
ガラス基板をクランプするとき、ガラス基板がクランプされる位置に整列できるように、ガラス基板の端部を支持するアライナが備えられることを特徴とする請求項５ないし請求項８のいずれか１項に記載のガラス基板検査用のクランプ装置。 A side clamp on the first or second lower clamp of the lower clamp means, or the side clamp means,
9. The aligner according to claim 5, further comprising an aligner that supports an end portion of the glass substrate so that the glass substrate can be aligned at a position where the glass substrate is clamped when the glass substrate is clamped. The clamp apparatus for glass substrate inspection of description.
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