JP2005161760A - インクジェット記録ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】 フレキシブルフラットケーブルの構成が簡単でありながら配線７９が高密度にできるようにする。
【解決手段】フレキシブルフラットケーブルの片面のうち両外周縁にはＸ方向に帯状に延びるコモン接合電極７７−１を形成し、２つのコモン接合電極７７−１で囲まれた領域に１０列の島状の個別接合電極７８を千鳥状に形成し、例えば、第７列番号［０００］と第８列番号［００５］との千鳥配列された個別接合電極７８，７８の間には、Ｙ方向の隙間を２段階差があるように設定する一方、第９列番号［００４］の個別接合電極７８は、第７列番号［０００］と第８列番号［００５］の個別接合電極７８，７８のＹ方向の段階の間に配置するのである。このように構成すると、配線７９が混み合う箇所（配設密度の大きい箇所、Ｘ方向において集積回路１０２に近い第７列〜第１０列の個別接合電極７８〜７８の間）で、隣接する配線７９同士の隙間寸法やコモン接合電極７７の側縁７７ａと配線７９との隙間を余り密にすることなく、且つ配線密度を微細に形成できる。
【選択図】図１５

Description

本発明は、インクジェット記録ヘッドに係り、より詳しくは、アクチュエータに給電するための配線基板上に形成される配線パターンに関するものである。

先行技術のオンディマンド型のインクジェット記録ヘッドにおいては、特許文献１等に開示されているように、複数枚のプレートを積層したキャビティユニットに、２列に配置した複数の圧力室が設けられ、各圧力室に対応する活性部（エネルギー発生手段）を有する圧電アクチュエータがキャビティユニットと接合されている。そして、圧電アクチュエータの各活性部に電圧印加するために、該アクチュエータの上面にその長手方向の両側縁に沿って上記各活性部と対応した表面電極が設けられ、外部からの制御信号を伝達するためのフレキシブルフラットケーブルにおける接合端子部（接合電極）と圧電アクチュエータの表面電極とが重ねて接合される。

その場合、フレキシブルフラットケーブルは、圧電アクチュエータの長手方向の延長方向に長く形成され、２列の接合電極（接合端子部）に連設した各配線は、フレキシブルフラットケーブルの狭い幅の部分（長手方向と直交する方向の幅）に多数本形成され、外部に引き出される。コモン用の接合電極は、各列の接合電極において配線の引き出し方向の端部に配置されており、各活性部に一対一で接続される個別の接合電極から引き出される多数の配線は、フレキシブルフラットケーブルの幅方向において２つのコモン用の接合電極の間に通される。その結果、フレキシブルフラットケーブルにおけるコモン用の配線を含む各配線の幅が微細になり間隔も至極狭くなる。特に最近では、カラー記録の普及、高速記録に伴い、記録ヘッドに４〜６列のノズル列を形成することが行われているから、それに対応してノズル数ひいては接合電極の数が増大するのに比例して隣接する配線間の距離（間隔）や配線とコモン用の接合電極（接合端子部）との間隔が狭くなり、隣接する配線間等で発生する相互インダクタンスが増大して、記録性能が悪化するという問題があった。

そこで、特許文献２に示すように、フレキシブル回路基板を、片面に配線を有する複数の基板層の積層体にて構成し、その複数の基板層の少なくとも１つに開口部を有して、その後側に配置された基板層の配線を前記開口部を介して露出させて接合電極を形成し、これを個別電極用の表面電極に接合することで、配線の高集積化を実現することが考えられた。
特開２００３−１５９７９５号公報 特開平１１−１４７３１１号公報

本発明の発明者は、複数個のノズル列を有するインクジェット記録ヘッドにおいて、各ノズルに対応する吐出エネルギー発生手段に給電する配線基板をノズル列と直交する方向に長く延ばし、エネルギー発生手段と一対一で接続される個別の接合電極から配線を、ノズル列と直交する方向に延ばすことを考えた。このようにすると、コモン用の接合電極は、複数列のエネルギー発生手段の各列端を相互に接続するように配線基板の側縁に沿って延びることになり、また、１つの列の個別の接合電極から延びる配線は、他の列の個別の接合電極の間を抜けるために、屈曲して形成されることになる。

このとき、一部の個別の接合電極から延びる配線は、他の列の個別の接合電極とコモン用の接合電極との間を通らざるを得ず、その配線とコモン用の接合電極との間隔が極端に狭くなり、上記のように相互インダクタンスが増大するという問題が発生した。

本発明は、このように個別の接合電極から延びる配線が他の列の個別の接合電極とコモン用の接合電極との間を通るものにおいて、その配線とコモン用の接合電極との間隔が狭くならないようにして上記問題点を解決することを技術的課題とするものである。

上記技術的課題を解決するため、請求項１に記載の発明のインクジェット記録ヘッドは、第１の方向に沿って列状に配置された複数個のノズルからなる複数個のノズル列と、前記各ノズルに対応する圧力室の複数の列と、前記各圧力室内のインクに選択的に吐出エネルギーを与える複数個のエネルギー発生手段を有するアクチュエータと、前記各エネルギー発生手段に給電する配線を有する配線基板とからなるインクジェット記録ヘッドにおいて、前記アクチュエータには、前記各エネルギー発生手段に個別に接続され、前記各ノズル列毎に対応しかつ前記第１の方向に沿って千鳥状に配列された複数個の個別表面電極と、前記各エネルギー発生手段に共通に接続されたコモン表面電極とがほぼ平面状に配置され、前記配線基板には、前記アクチュエータの複数個の個別表面電極に対向する位置に前記第１の方向に沿って千鳥状に配列されその個別表面電極と接合する複数個の個別接合電極と、前記アクチュエータのコモン表面電極に対向する位置にそのコモン表面電極と接合するコモン接合電極とが形成され、前記配線基板のコモン接合電極は、前記個別表面電極のなす列の延長方向において、その列とほぼ直交する方向に帯状に延び、前記各個別接合電極に接続された配線は、前記帯状のコモン接合電極の側縁とほぼ平行状に延び、前記配線基板の複数個の個別接合電極のうち、前記帯状のコモン接合電極の側縁に最も近い位置に配置された個別接合電極に接続された配線を、この個別接合電極とは別の列でかつこの個別接合電極よりも前記側縁に対して離れて位置する他の個別接合電極と前記側縁との間を通し、前記側縁と配線との間の隙間が前記個別接合電極と前記側縁との隙間とほぼ等しいか大きくなる位置に形成したものである。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、前記個別接合電極が３列以上あり、かつその各列の端に位置する個別接合電極と前記コモン接合電極の側縁との隙間が３段階以上に設定され、
１つの列の端の個別接合電極とそれに接続された配線の延びる方向に隣接する列の端の個別接合電極との間に他の列の個別接合電極に接続された配線が通るようにされたその両個別接合電極間が、前記３段階のうち２段階差以上離れているものである。

請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、前記個別接合電極が３列以上あり、かつその各列の端に位置する個別接合電極と前記コモン接合電極の側縁との隙間が３段階以上に設定され、第１の列の端の個別接合電極とそれに接続された配線の延びる方向に隣接する第２の列の端の個別接合電極との間が、前記３段階のうち２段階差以上離れ、第２の列の端の個別接合電極からそれに接続された配線の延びる方向に隣接する第３の列の端の個別接合電極が、前記第１の列の端の個別接合電極と第２の列の端の個別接合電極との前記段階差の間にあるように形成したものである。

請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、前記配線基板は、前記ノズル列とほぼ直交する方向に延びたフレキシブルフラットケーブルであり、前記コモン接合電極は、そのフレキシブルフラットケーブルの前記第１の方向とほぼ直交する方向に延びる縁部に沿って形成されているものである。

請求項５に記載の発明は、請求項４に記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、前記フレキシブルフラットケーブルの延びる方向の中途部には、前記エネルギー発生手段の駆動用の集積回路が搭載され、前記各配線の他端が前記集積回路に接続されているものである。

請求項６に記載の発明は、請求項４または５に記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、前記フレキシブルフラットケーブルは、片面に前記コモン接合電極と個別接合電極と配線とを有する基板を備え、前記コモン接合電極及び個別接合電極は前記基板に形成された開口部を介して露出しているものである。

請求項７に記載の発明は、請求項６に記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、前記各開口部に露出する前記コモン接合電極及び個別接合電極の面にはバンプ電極を設けて、前記コモン表面電極及び個別表面電極とそれぞれ重ね接合したものである。

請求項１に記載の発明によれば、配線基板の複数個の個別接合電極のうち、前記帯状のコモン接合電極の側縁に最も近い位置に配置された個別接合電極に接続された配線を、この個別接合電極とは別の列でかつこの個別接合電極よりも前記側縁に対して離れて位置する他の個別接合電極と前記側縁との間を通し、前記側縁と配線との間の隙間が前記個別接合電極と前記側縁との隙間とほぼ等しいか大きくなる位置に形成したから、個別接合電極が複数列に配列されているとき、コモン接合電極の側縁に最も近い位置に配置された個別接合電極からの配線が、別の列の端部であって前記側縁から離れた位置の個別接合電極と前記側縁との隙間を通過するときも、その配線とコモン接合電極の側縁との隙間が必要以上に狭くなることがなく、側縁と隣接する配線との間で発生する相互インダクタンスが増大しないので、記録性能が悪化しないのである。

請求項２に記載の発明によれば、個別接合電極の列が３列以上あるとき、奇数列と偶数列の千鳥配列された隣合う個別接合電極のＸ方向の隙間寸法が小さくても、Ｙ方向の隙間を２段階の差があるように設定することで、複数本の配線が互いに余り接近しない状態で配置できるのである。

請求項３に記載の発明によれば、配線が混み合う箇所（配設密度の大きい箇所）で、隣接する配線同士の隙間寸法やコモン接合電極の側縁と配線との隙間を余り密にすることなく、且つ配線密度を微細に形成できるのである。

請求項４に記載の発明によれば、配線基板をフレキシブルフラットケーブルとすることで、薄型に形成でき、このフレキシブルフラットケーブルの片面にて千鳥状に点在している個別接合電極の列の存在する領域の外には、同じフレキシブルフラットケーブルの片面に形成されるコモン接合電極が前記列とほぼ直交する方向（Ｘ方向）に帯状に形成されているから、アクチュエータの広幅面に形成された複数のコモン表面電極とコモン接合電極とが確実に接合でき、フレキシブルフラットケーブルが温度変化等にて前記帯の延びる方向に伸縮しても接合の剥がれを発生することがなく信頼性を向上させることができる。

また、前記個別表面電極は前記アクチュエータの広幅面の内周寄り部位に形成されているものであるから、フレキシブルフラットケーブルの広幅面の広い面積を利用して、対応する多数の個別接合電極及びその配線を高密度に配置できるという効果を奏する。

請求項５に記載の発明によれば、フレキシブルフラットケーブルの長手方向（延びる方向）の中途部に駆動用の集積回路を搭載してそれに配線の他端を接続するので、集積回路が別の箇所にある場合に比べて、構成が簡単となり、且つ配線作業も容易となる。

請求項６に記載の発明によれば、フレキシブルフラットケーブルの積層構造が簡単であり、且つフレキシブルフラットケーブルの片面の開口部とアクチュエータの広幅面に形成された表面電極との重ね合わせで容易に位置合わせして接合できる。

請求項７に記載の発明によれば、バンプ電極を介してフレキシブルフラットケーブルとアクチュエータとの接合が可能となり、接合作業がさらに容易になるとともに、接合強度を一層向上させることができるという効果を奏する。

以下、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。図１は本発明を適用するインクジェット記録ヘッドの各部品の斜視図、図２はキャビティユニット等の斜視図、図３はキャビティユニットの要部の部分拡大斜視図、図４は圧電アクチュエータの部分拡大断面図、図５は圧電シートにおける個別電極とダミー電極とそれらの内部導通電極の位置を示す部分拡大斜視図、図６〜図１１は圧電アクチュエータ１２における各層の電極パターンを示す図、図１２及び図１３は電極パターンの重なり状態を示す要部拡大平面図、図１４は圧電アクチュエータの表面電極とフレキシブルフラットケーブルの接合用電極との重なり配置状態を示す平面図、図１５はフレキシブルフラットケーブルにおける接合用電極と配線との要部拡大平面図である。

本発明に係るカラー記録用のインクジェット記録ヘッドは、図示しないが、用紙の搬送方向（副走査方向、以下第１の方向またはＹ方向という）と直交する方向（主走査方向、以下第２の方向、Ｘ方向という）に往復移動するキャリッジに搭載されたヘッドユニット１を有し、そのヘッドユニット１上には、例えば、シアン、マゼンタ、イエロー、ブラックの４色のカラーインクがぞれぞれ充填されたインクカートリッジが着脱可能に搭載されている。

ヘッドユニット１は、図２に示すように、前面（図２における下面）にＹ方向（第１の方向）に複数個のノズル１１ａ（図２参照）が列状に配置され、且つそのノズル列がＸ方向に適宜間隔で複数列（実施形態では５列）を備えたキャビティユニット１０と、その上面に対して接着剤または接着シートを介して接着し積層されるプレート型の圧電アクチュエータ１２と、その背面（上面）に外部機器との電気的接続のために重ね接合された配線基板の１例としてのフレキシブルフラットケーブル４０とにより構成されている。

キャビティユニット１０は図２に示すように構成されている。すなわち、下層から順にノズルプレート１１、カバープレート１５、ダンパープレート１６、二枚のマニホールドプレート１７，１８、２枚のスペーサプレート１９，２０及び圧力室２３が形成されているベースプレート２１の合計８枚の偏平な板をそれぞれ接着剤にて重ね接合して積層した構成である。合成樹脂製のノズルプレート１１を除き、各プレート１５〜２１は、４２％ニッケル合金鋼板製であり、それらの板厚さを５０μｍ〜１５０μｍ程度の厚さを有する。

前記ノズルプレート１１には、微小径（実施形態では２５μｍ程度）の多数のインク噴出用のノズル１１ａが、当該ノズルプレート１１における第１の方向（キャビティユニット１０の長辺方向であり、図２において、Ｙ方向、副走査方向）に沿って千鳥配列状に設けられている。また各ノズル列ＮはＸ方向（主走査方向）に適宜間隔で５列（個別の列には、符号Ｎ１〜Ｎ５を付する、但し、Ｎ４，Ｎ５は図示せず）に配列されている。実施形態では、第１列〜第５列の各々のノズル列Ｎの長さは１インチ、各々のノズル１１ａの数は７５個で、つまり配列密度は７５（ｄｐｉ［ドット・パー・インチ］）である。

そして、図２において、右から順番にノズル列Ｎ１〜Ｎ５（但し、Ｎ４，Ｎ５は図示せず）とするとき、ノズル列Ｎ１はシアンインク（Ｃ）用であり、ノズル列Ｎ２はイエローインク（Ｙ）用であり、ノズル列Ｎ３はマゼンタインク（Ｍ）用であり、ノズル列Ｎ４及びＮ５はブラックインク（ＢＫ）用とする。

上下マニホールドプレート１７，１８には、Ｙ方向に長いインク通路が各ノズル列Ｎ１〜Ｎ５に対応して板厚方向に貫通するように形成され、上側の第１スペーサプレート１９と下側のダンパープレート１６とに挟まれて積層されることにより、前記インク通路が５列の共通インク室（マニホールド室）２６となる。そして、図２において、右から順に共通インク室２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ，２６ｅとするとき、共通インク室２６ａはシアンインク（Ｃ）用であり、共通インク室２６ｂはイエローインク（Ｙ）用であり、共通インク室２６ｃはマゼンタインク（Ｍ）用であり、第４番目と第５番目の共通インク室２６ｄ，２６ｅの対はブラックインク（ＢＫ）用となる。

図２において、ベースプレート２１のＹ方向の一端部にＸ方向に適宜間隔で穿設された４つのインク供給口を右から順に符号３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄとするとき、インク供給口３１ａ，３１ｂ，３１ｃは、右端から順の共通インク室２６ａ，２６ｂ，２６ｃに対応し、右から４番目のインク供給口３１ｄは、２つの共通インク室２６ｄ，２６ｅの互いに近接した端部に共通に対応している。そして、図２に示すように、インク供給口３１ａ，３１ｂ，３１ｃの位置に対応して、第２スペーサプレート２０及び第１スペーサプレート９１の一端部に穿設されたインク供給通路３２が対応する共通インク室２６ａ，２６ｂ，２６ｃの一端部に連通している。

また、下側のマニホールドプレート１７の下面に接着されるダンパープレート１６の下面側には、各共通インク室２６に対応する位置にＹ方向に長いダンパー室２７が下面方向にのみ開放するように凹み形成され、その下面側のカバープレート１５にて塞がれて完全な密閉状のダンパー室２７が構成される。

この構成により、圧電アクチュエータ１２の駆動で圧力室２３に作用する圧力波のうち、インクにより伝播されて共通インク室２６の方向に向かう後退成分を、板厚の薄いダンパープレート１６の振動により吸収し、いわゆるクロストークが発生することを防止するのである。

第１スペーサプレート１９には、各ノズル列Ｎ１〜Ｎ５のノズル１１ａに対応する絞り部２８がＸ方向に若干長く、Ｙ方向に細幅の凹溝状に形成されている。この各絞り部２８の一端は対応するマニホールドプレート１８における共通インク室２６ａ〜２６ｅに連通し、各絞り部２８の他端は後述するように、上側の第２スペーサプレート２０における上下貫通する連通孔２９に連通するように形成されている。

カバープレート１５、ダンパープレート１６、２枚のマニホールド１７，１８、第１及び第２スペーサプレート１９，２０には、それぞれ、各ノズル列Ｎ１〜Ｎ５毎にノズル１１ａに連通する連通路２５が、共通インク室２６及びダンパー室２７と上下に重ならない位置で上下に貫通するように形成されている。

また、ベースプレート２１には、各ノズル列Ｎ毎に、Ｘ方向に沿って延びる細幅の圧力室２３（各圧力室の列を符合２３−１，２３−２，２３−３，２３−４，２３−５とする）がノズル１１ａの個数に対応してベースプレート２１を厚さ方向に貫通して形成されている。そして、各圧力室２３の長手方向（Ｘ方向）の一端は、第２スペーサプレート２０に穿設された連通孔２９を介して第１スペーサプレート１９における各絞り部２８の他端に連通しており、各圧力室２３の長手方向の他端は、第２スペーサプレート２０に穿設された各連通路２５に連通している。圧力室２３は隣接する列の圧力室に対してＹ方向に半ピッチずれ、いわゆる千鳥状に配列されている。

これにより、各インク供給口３１ａ〜３１ｄから各共通インク通路２６内に流入したインクは、絞り部２８、連通孔２９を通って各圧力室２３内に分配されたのち、この各圧力室２３内から連通路２５を通って、この圧力室２３に対応するノズル１１ａに至るという構成になっている。

次に、圧電アクチュエータ１２の構成について説明する。圧電アクチュエータ１２は、後に詳述するように、圧電シートを積層方向に挟んで形成されている個別電極３６とコモン電極の積層方向に対向する前記両電極間の前記圧電シートを活性部（エネルギー発生手段）として有し、任意の個別電極３６とコモン電極３７との間に電圧を印加することにより、その印加された個別電極３６に対応した圧電シートの活性部に、当該積層方向に圧電縦効果による歪みを発生するものである。該活性部（エネルギー発生手段）は、圧力室２３の数と同一の数で同一の列にてその対応する位置に形成されている。

即ち、前記活性部は、ノズル１１ａ（圧力室２３）の列方向（第１の方向、Ｙ方向）に沿って並べられ、且つ前記ノズルの列の数（５つ）と同じ数だけ、第２の方向（Ｘ方向）に並べられている。また、各活性部は、前記第２の方向（キャビティユニット１０の幅方向、Ｘ方向）に圧力室２３の長手方向に長く形成され、且つ隣接する活性部の配置間隔（ピッチＰ）も後述する圧力室２３の配置と同様であって、千鳥状配列されることになる。

圧電アクチュエータ１２は、図４に示すように、１枚の厚さが３０μｍ程度の圧電セラミックス板からなる複数枚（実施形態では７枚）の圧電シート３３，３４とが交互に積層された群と、該群の上面に２枚のシート４６，４７からなる拘束層を積層し、さらにその上面に表面シートとしてのトップシート３５を積層した構造である。拘束層のシ−ト及びトップシ−トは圧電セラミックス板でも良いし、他の材料でも良く、電気的絶縁性を有すれば良い。

コモン電極３７を有する最下層の圧電シート３４から上方へ数えて偶数番目の圧電シート３３の上面（平板面）には、図４に示すように、前記キャビティユニット１１における各圧力室２３に対応した箇所ごとに細幅の個別電極３６のパターンが、第１の方向（圧電シート３３の長辺方向、図２のＹ方向、各ノズル１１ａの列方向）に沿って列状に形成される。

図７は圧電シート３３における個別電極３６等のパターンを示す平面図であり、圧電シートの一部のみを示し、前述した圧力室列２３−１，２３−２，２３−３に対応した第１列目の個別電極３６−１と第２列目の個別電極３６−２と第３列目の個別電極３６−３とについて示し、第４と第５列目の圧力室列２３−４，２３−５に対応する個別電極については図示していないが、略同じである。

各個別電極３６−１，３６−２，３６−３のパターンは、前記第１の方向と直交する第２の方向（Ｘ方向）に沿って各圧電シート３３の短辺と平行状に延びる。その場合、各個別電極３６−１，３６−２，３６−３における直線部３６ｂは、前記各圧力室列２３−１，２３−２，２３−３（図６の点線参照）とほぼ同じ長さで平面視で重複しており、且つ各圧力室よりもやや狭い幅の直線状に形成されている。

各個別電極３６−１〜個別電極３６−３における端部３６ａは、図５に示すように、それぞれ平面視で直線部３６ｂに対して角度α（６０度程度の鋭角）にて傾斜状に屈曲形成されて、圧力室外に延びている。

また、この各端部３６ａは、上下に隣接する圧電シート３４における第１の島状個別導通部としてのダミー個別電極３８（図５、図６参照）及び後述する拘束層における下層シート４６の第１接続パターン５３（個別には、符合５３−１，５３−２，５３−３で示す、図８参照）と少なくとも一部が平面視で重なり、圧電シート３４及び下層シート４６を貫通する内部導通電極４２ａ，４２ｂ，９０とそれぞれ電気的に接続可能な位置に配置される（図５、図８、図１２参照）。

さらに、圧電シート３３には、圧電シート３４におけるコモン電極３７と平面視で一部重複する個所であって、圧電シート３３の広幅面における短辺及び長辺に沿う外周部位や前記個別電極３６−１と３６−２との列等を囲む部位等にダミーコモン電極４３が形成されている（図７参照）。

前記コモン電極３７は、最下層の圧電シート３４とそれから上方へ数えて奇数番目の圧電シート３４の各表面に印刷形成されるものである（図６，図１２，図１３参照）。コモン電極３７は、前記各列の圧力室２３−１，２３−２，２３−３ひいては各列の個別電極３６−１，３６−２，３６−３の配置位置と平面視で重複し、且つその各圧力室２３（個別電極３６の直線部３６ｂ）の長手方向（Ｘ方向）に沿って長い第１電気導通部分３７ａと、前記各圧力室２３の長手方向の両端部に対応して、前記第１電気導通部分３７ａの両端を前記第１の方向（Ｙ方向）に沿って連結（電気的に接続）する第２電気導通部分３７ｂとからなるように形成する。なお、圧電シート３４の広幅面における短辺及び長辺に沿う外周部位を囲むように第３導通部（周囲導通部）３７ｃが、前記前記第１電気導通部分３７ａ、第２電気導通部分３７ｂの端部に連結するように形成されている。

図６及び図１２を参照しながら、コモン電極３７のパターンをより詳しく説明すると、例えば、第１列の圧力室２３−１の各圧力室２３の長手方向の寸法に略等しい長さの平面視矩形状の第１電気導通部分３７ａと、前記各圧力室２３の長手方向の両端部に対応する上方で前記各第１電気導通部分３７ａの両端に連結し、圧力室２３の列方向（Ｙ方向）に延びる第２電気導通部分３７ｂとからなり、この第１電気導通部分３７ａと第２電気導通部分３７ｂとで囲まれた領域であって、第１列の圧力室２３−１の隣接する圧力室２３の間に位置する隔壁２４の上方に対応して短冊状の空白部分４８ができるものである。各第１電気導通部分３７ａの配置間隔Ｐは各個別電極３６−１，３６−２，３６−３の配置間隔Ｐひいては圧力室２３の配置間隔Ｐと等しく設定配置されている（図６、図１２参照）。

前記第１列の圧力室２３−１と第２列の圧力室２３−２との間等に対応する圧電シート３４の部位には、前記２列の第２電気導通部分３７ｂの長辺縁３７ｂ′で囲まれた領域内に、平面視で略小判型のダミー個別電極３８（個別には符号３８−１，３８−２，３８−３で示す）が圧力室２３ひいては個別電極３６の列方向に沿って一定間隔で配置されている。各ダミー個別電極３８は、各個別電極３６の直線部３６ｂではなく、各一端部３６ａの少なくとも一部と平面視で重複するように一定間隔で配置形成されている。この小判型の各ダミー個別電極３８も、平面視において、前記各個別電極３６における一端部３６ａが延びる方向と同じ方向に、圧電シートの３４の短辺に対して角度α（６０度程度の鋭角）にて傾斜状に延びている（図６参照）。

この各ダミー個別電極３８を第１の島状個別導通部と称する。そして、各ダミー個別電極３８のパターン領域の輪郭縁と、前記第２電気導通部分３７ｂの長辺縁３７ｂ′との最接近した位置での間隔、並びに隣接するダミー個別電極３８，３８のパターン領域の輪郭縁同士の間隔を一定距離に設定する。

このように、第１の島状個別導通部としての各ダミー個別電極３８を傾斜状に形成すると、各ダミー個別電極３８の長さ寸法を長く形成できるものでありながら、隣接するパターン領域の輪郭縁同士の間隔を一定距離に保持しながら、前記対向する一対の第２電気導通部分３７ｂの長辺縁３７ｂ′，３７ｂ′間の距離を短く設定できる（図６及び図１２参照）。その結果、前記各パターンの印刷形成時に、パターンの輪郭がにじむ等して、パターンの領域（面積）に若干の大小の誤差ができても、隣接するパターンの間隔を所定距離以上に保持できるから、その各電極に電圧を印加したときに、隣接する電極間に電流が漏れることがなく、所定の圧力室に対応する活性部のみを確実に作動させることができ、記録品質を良好に保持できるという効果を奏する。その結果、圧電アクチュエータ１２の短辺（Ｘ方向）の寸法を短く形成でき、インクジェット記録ヘッドをコンパクトに形成できるという効果を奏する。

そして、最下層の圧電シート３４を除き、それより上層の圧電シート３４、３３には、幹部３７ａ，３７ｂ，３７ｃ等のコモン電極３７とダミーコモン電極４３との複数箇所を上下方向に電気的に接続するために、電極３７、４３の位置において、各圧電シート３４、３３の板厚さを貫通するように穿設された複数のスルーホール内にそれぞれ充填した導電部材（導電性ペースト）にて内部導通電極４１を形成する。同様に、複数枚の圧電シート３３における各個別電極３６−１の端部３６ａと、圧電シート３４における各ダミー個別電極３８とには、それぞれを上下方向に電気的に接続するために、端部３６ａと電極３８の位置において、各圧電シート３３、３４の板厚さを貫通するように穿設された複数のスルーホール内にそれぞれ充填した導電部材（導電性ペースト）にて内部導通電極４２ａ，４２ｂが形成されている。その場合、圧電シート３３における内部導通電極４２ａと圧電シート３４における内部導通電極４２ｂとは、平面視で上下に重複しない位置に適宜距離ｅ１だけ隔てて形成されている（図５、図１２参照）。

前記拘束層としての２枚のシート４６、４７のうちの下層シート４６の上面には、図８に示すように、平面視で略小判型の第１接続用パターン５３（個別には符号５３−１，５３−２，５３−３で示す）が前記圧電シート３４における各ダミー個別電極３８−１，３８−２，３８−３の少なくとも一部と平面視で重複するように一定間隔で配置形成されている。この各第１接続用パターン５３もそれぞれ平面視で圧電アクチュエータ１２の短辺（Ｘ方向）に対して角度α（６０度程度の鋭角）にて傾斜状に延びている。また、前記下層シ−ト４６の上面の４隅及びパターン５３の列間には、前記圧電シ−ト３４におけるコモン電極３７の一部にそれぞれ平面視で重複する位置にコモン導通部としての連絡用パターン５４が形成されている。

他方、図９に示すように、上層シ−ト４７の上面には、前記圧電シ−ト３４におけるコモン電極３７と平面視でほぼ同じ大きさで重複するようなコモン導通部としての連絡用パターン５５と、前記下層シ−ト４６における第１接続用パターン５３（個別には符号５３−１，５３−２，５３−３で示す）の少なくとも一部と平面視で重複するように、第２接続用パターン５６（個別には符号５６−１，５６−２，５６−３で示す）が一定間隔で配置形成されている。

この第２接続用パターン５６を第２の島状個別導通部と称する。実施形態では、第１の島状個別導通部であるダミー個別電極３８とは、第１接続用パターン５３を介し、且つ各圧電シートの層厚さ方向に貫通するような後述する内部導通電極９０，９２を介して電気的に導通している。

そして、この各第２接続用パターン５６もそれぞれ平面視で圧電アクチュエータ１２の短辺が延びる方向に対して角度α（６０度程度の鋭角）にて傾斜状に延びている（図９及び図１３参照）。さらに、各第２接続用パターン５６のパターン領域の輪郭縁と、前記連絡用パターン５５のパターン領域の直線状の輪郭縁５５ａとの最接近した位置での間隔、並びに隣接する第２接続用パターン５６、５６のパターン領域の輪郭縁同士の間隔を一定距離に設定する。

このように、第２の島状個別導通部としての各第２接続用パターン５６を傾斜状に形成すると、各第２接続用パターン５６の長さ寸法を長く形成できるものでありながら、隣接するパターン領域の輪郭縁同士の間隔を一定距離に保持しながら、前記対向する一対の輪郭縁５５ａ，５５ａ間の距離を短く設定できる（図１３参照）。その結果、前記各パターンの印刷形成時に、パターンの輪郭がにじむ等して、パターンの領域（面積）に若干の大小の誤差ができても、隣接するパターンの間隔を所定距離ｅ２以上に保持できるから、その各電極に電圧を印加したときに、隣接する電極間に電流が漏れることがなく、所定の圧力室に対応する活性部のみを確実に作動させることができて、記録品質を良好に保持できるという効果を奏する。

その結果、圧電アクチュエータ１２の短辺（Ｘ方向）の寸法を短く形成でき、インクジェット記録ヘッドをコンパクトに形成できるという効果を奏する。

図１０及び図１３に示すように、圧電アクチュエータ１２の最上層である表面シートとしてのトップシ−ト３５の上面には、前記上層シ−ト４７における連絡用パターン５５の一部に平面視で重複するようにコモン用導電層５１がトップシ−ト３５の上面のうち外周縁寄り部位に帯状等にて形成されている。また、トップシ−ト３５の上面には、前記上層シ−ト４７における各第２接続用パターン５６−１，５６−２，５６−３にそれぞれ平面視で重複するように、個別用導電層５２（個別には符号５２−１，５２−２，５２−３で示す）が一定間隔で配置形成されている。この各個別用導電層５２−１，５２−２，５２−３は、図１０に示すように、トップシ−ト３５の短辺縁（Ｘ方向）ひいては各個別電極３６−１，３６−２，３６−３と略平行であって、その各個別電極の直線部３６ｂの部位方向に伸びる直線状に形成されるが、各個別電極の直線部３６ｂよりは短い。さらに、このトップシート３５の上面に形成される各個別用導電層５２−１，５２−２，５２−３は、図１３に示すように、その各下方に並列状に位置する相隣接する圧力室２３、２３の間の隔壁２４の上方に位置させる。図１３では、隔壁２４の中心からわずかずれているが、その中心に一致させても良い。

さらに、図１１に示すように、前記トップシート３５の上面には、後述するフラットケーブル４０、４０の下面に形成されたコモン接合電極７７及び個別接合電極７８とにそれぞれに接続するための表面電極（後付け電極）として、平面視矩形状、小判型または楕円状等の個別表面電極５８とコモン表面電極５７とが形成されている。
その場合、図１３に示すように、個別表面電極５８は、トップシート３５における各個別用導電層５２−１，５２−２，５２−３の長さ方向の適宜部分に平面視で一部だけ重複して電気的に接続するように島状に形成し、且つ各個別用導電層５２−１，５２−２，５２−３の列方向（Ｙ方向）に隣接する箇所では、Ｘ方向にずれるように千鳥状に配置形成する。

換言すると、図示実施形態では、各個別表面電極５８は、対応する圧力室２３ひいては活性部に対して平面視で、それらの配置間隔（ピッチ）Ｐの略半分だけずれた位置に配置され、且つ隣接する圧力室２３，２３の間の隔壁２４の上方に配置されることになる（図１３参照）。

なお、この実施形態の変形例として、隣接する圧力室２３の間の隔壁２４の上方に配置する前記各個別表面電極５８は、対応する圧力室２３（活性部）に対して、前記配置間隔（ピッチＰ）の１．５倍の距離ずつＹ方向にずらして配置しても良い。

そして、前記下層シ−ト４６の各第１接続用パターン５３−１，５３−２，５３−３，の箇所には、下側にて隣接する圧電シ−ト３４の各ダミー個別電極３８−１，３８−２，３８−３とそれぞれを上下方向に電気的に接続するために、下層シ−ト４６の板厚さを貫通するように穿設された複数のスルーホール内にそれぞれ充填した導電部材（導電性ペースト）にて内部導通電極９０が形成されている（図４、図８参照）。

また、下層シート４６における連絡用パターン５４の箇所には、前記下側にて隣接する圧電シート３４のコモン電極３７と上下方向に電気的に接続するために、前記と同様の複数のスルーホール内にそれぞれ充填した導電部材からなる内部導通電極９１が形成されている（図８参照）。

同様に、上層シート４７には、その第２接続用パターン５６−１，５６−２，５６−３の箇所と下層シート４６の第１接続用パターン５３−１，５３−２，５３−３の箇所とを個別的に電気的に接続するためにスルーホール内に内部導通電極９２、及び連絡用パターン５５と連絡用パターン５４とを電気的に接続するためにスルーホール内に内部導通電極９３がそれぞれ形成されている（図９参照）。

トップシート３５にも、前記と同様にして、個別用導電層５２−１，５２−２，５２−３の箇所と、下に隣接する上層シート４７における第２接続用パターン５６−１，５６−２，５６−３の箇所とを個別的に電気的に接続するためにスルーホール内に内部導通電極９４が設けられ、また、トップシート３５には、そのコモン用導電層５１と下に隣接する上層シート４７における連絡用パターン５５とを電気的に接続するためにスルーホール内に内部導通電極９５がそれぞれ形成されている（図１０参照）。

数枚のシートを積層した場合、その上下に隣接するシートにおける個別電極３６及びそれに対応するダミー個別電極３８、第１接続用パターン５３、第２接続用パターン５６の間を上下に接続するための内部導通電極４２ａ，４２ｂ，９０，９２，９４同士を平面視で重複しない位置に配置させることが好ましい。

また、コモン表面電極５７は、トップシート３５の上面に形成されたコモン用導電層５１の一部に平面視で重複するように、島状に後付けされるものである。コモン表面電極５７及び個別表面電極５８の後付けは、銀−パラジュウム系の導電部材をスクリーン印刷形成することにより行われる。

次に、前記多数のコモン表面電極５７及び個別表面電極５８にそれぞれ電気的に接合するための配線基板の１例としてフレキシブルフラットケーブル４０におけるコモン接合電極７７、個別接合電極７８及びこれらの各接合電極７７、７８と外部素子に接続するための配線７９の配置等の構成について、図１１、図１４、図１５を参照しながら説明する。

図１４（ａ）及び図１４（ｂ）に示すように、フレキシブルフラットケーブル４０は、トップシート３５の上面に重ねられ、ノズル列と直交する方向（Ｘ方向）に外方へ突出して配置される。フレキシブルフラットケーブル４０は、電気絶縁性を有し、可撓性の合成樹脂材（例えば、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂）からなる帯状のベース材１００の片面に銅箔からなるコモン接合電極７７、個別接合電極７８、微細な配線７９がフォトレジスト法等により形成され、これらの表面を電気絶縁性を有し、可撓性の合成樹脂材（例えば、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂）からなるカバーレイ１０１にて被覆させたものであり、配線７９の他端はベース材１００に搭載された駆動用の集積回路１０２に電気的に接合されており、フレキシブルフラットケーブル４０の長手方向の他端の複数の端子１０５と集積回路１０２とが接続されている。なお、ベース材１００には、島状の個別接合電極７８に相当する箇所及び帯状のコモン接合電極７７のうちコモン表面電極５７の配置箇所に相当する部位に孔（開口部）を開けて、その孔（開口部）部位にバンプ電極１０３を固着している（図１４（ｂ）参照）。

なお、圧電アクチュエータ２０の上面において、図１１に示すように、コモン表面電極５７は、トップシート３５の広幅面の外周寄り部位であって前記第１の方向（Ｙ方向）及びそれと直交する第２の方向（Ｘ方向）とに適宜間隔にて配置形成されている。また、個別表面電極５８は、第１ノズル列Ｎ１，第２ノズル列Ｎ２，第３ノズル列Ｎ３，第４ノズル列Ｎ４，第５ノズル列Ｎ５ひいては、それに対応する５列の圧力室２３−１，２３−２，２３−３，２３−４，２３−５の列ごとにそれぞれＹ方向に沿って２列の千鳥配置にて形成されている。図１１において、第１圧力室列２３−１に対応する個別表面電極の群を第１群５８−１で示し、第２圧力室列２３−２に対応するものを第２群５８−２、第３圧力室列２３−３に対応するものを第３群５８−３、第４圧力室列２３−４に対応するものを第４群５８−４、第５圧力室列２３−５に対応するものを第５群５８−５でそれぞれ示す。

フレキシブルフラットケーブル４０において、図１４に示すように、コモン接合電極７７は、第２の方向（Ｘ方向、アクチュエータの短辺方向）に沿って延びる対の側縁に沿って形成された帯状の２本の第１コモン接合電極部７７−１を少なくとも有する。実施形態では、第１の方向（Ｙ方向、アクチュエータの長辺方向）に沿って延びる側縁に沿って形成された帯状の１本の第２コモン接合電極部７７−２を有し、さらに、第２コモン接合電極部７７−２の両端が各第１コモン接合電極部７７−１の先端部に電気的に接続されている。なお、図１４では、コモン表面電極５７の配置位置ひいてはそれに対するバンプ電極１０３を示して、第１コモン接合電極部７７−１や第２コモン接合電極部７７−２との重なり状態を示す。２本の第１コモン接合電極部７７−１の他端部は、フレキシブルフラットケーブル４０の長手方向の他端の接続端子１０４に電気的に接続されている。

他方、個別接合電極７８は、第１圧力室列２３−１，第２圧力室列２３−２，第３圧力室列２３−３，第４圧力室列２３−４，第５圧力室列２３−５ひいてはこれに対応する列状の個別表面電極５８に対向するように、第１の方向（Ｙ方向）に延びて千鳥状に配置されている。図１４（ａ）及び図１５において、第１圧力室列２３−１に対応する個別接合電極の群を第１群７８−１で示し、第２圧力室列２３−２に対応するものを第２群７８−２、第３圧力室列２３−３に対応するものを第３群７８−３、第４圧力室列２３−４に対応するものを第４群７８−４、第５圧力室列２３−５に対応するものを第５群７８−５と称する。

各列の個別接合電極７８の数は、各列のノズルの個数（＝７５、実施形態）に等しく、例えば、図１５において第１群７８−１では、［００２］，［００７］，［１０２］，［１０７］‥‥［３６２］，［３６７］の番号で示す位置に個別接合電極７８が配置される。同様に、第２群７８−２では、［００３］，［００８］，［１０３］，［１０８］‥‥［３６３］，［３６８］の番号で示し、第３群７８−３では、［００１］，［００６］，［１０１］，［１０６］‥‥［３６１］，［３６６］の番号で示し、第４群７８−４では、［０００］，［００５］，［１００］，［１０５］‥‥［３６０］，［３６５］の番号で示し、第５群７８−５では、［００４］，［００９］，［１０４］，［１０９］‥‥［３６４］，［３６９］の番号で示す。従って、第１の方向（Ｙ方向）に延びる個別接合電極７８の列は、Ｘ方向に適宜間隔で１０列配置されていることになる。列番号で表現すると、番号［００２］，［０１２］，［０２２］‥‥［３６２］が第１列の個別接合電極７８であり、番号［００７］，［０１７］，［０２７］‥‥［３６７］が第２列というようにして配置され、第１０列の個別接合電極７８は番号［００９］，［０１９］，［０２９］‥‥［３６９］のものである。

そして、第１列と第２列の個別接合電極７８，７８が千鳥配列されているというように、各群における奇数列と偶数列の個別接合電極７８，７８が千鳥配列されている。

さらに、第１列と第２列の個別接合電極に対して、第７列と第８列の個別接合電極は、それぞれＹ方向において同じ位置（つまり同じ行）に配置されているが、第３列と第４列、第５列と第６列、及び第９列と第１０列の各個別接合電極は、Ｙ方向に半ピッチずれて（つまりＹ方向において第１列と第２列の個別接合電極の各間にその各列の個別接合電極が位置する）配置されている。第３列と第４列、第５列と第６列、及び第９列と第１０列の各個別接合電極はそれぞれ互いに同じ行に並べられている。

なお、図１５において個別接合電極に付された番号［０００］，［００１］・・・はその電極が接続される駆動用の集積回路１０２の出力端子の一方の端からの順番を示す。個別接合電極は１０列あるから、その電極と出力端子とを接続する配線７９の形成パターンは、番号［０００］から［００９］までを一組として、［３６９］までその繰り返しとなる。

実施形態では、図１５に示すように、第７列番号［０００］の個別接合電極７８と、第１列番号［００２］の個別接合電極７８とが、一方の第１コモン接合電極部７７−１における第２の方向（Ｘ方向）に沿って延びる側縁７７ａに最も近い位置に配置されている。従って、前記側縁７７ａと平行状の仮想線が番号［０００］または番号［００２］の個別接合電極７８のＹ方向の厚さの中央を通るように設定したとき、側縁７７ａと平行状の仮想線との間隔をＥ０とすれば、その間隔を１段階差と定義する。同様に、第４列番号［３６８］の個別接合電極７８と、第１０列番号［３６９］の個別接合電極７８とが、他方の第１コモン接合電極部７７−１における第２の方向（Ｘ方向）に沿って延びる側縁７７ｂに最も近い位置に配置されているように配置するので、番号［３６８］または番号［３６９］の個別接合電極７８のＹ方向の厚さの中央を通る仮想線と側縁７７ｂとの間隔Ｅ０が１段階差となる。

第３列番号［００３］の個別接合電極７８と、第５列番号［００１］の個別接合電極７８と、第９列番号［００４］の個別接合電極７８とは、これらの個別接合電極７８のＹ方向の厚さの中央を通る仮想線と前記側縁７７ａとの間隔Ｅ２が２段階差（即ち、ほぼ２×Ｅ０の間隔寸法）であるように配置する。

同様にして、第２列番号［００７］の個別接合電極７８と、第６列番号［００６］の個別接合電極７８と、第８列番号［００５］の個別接合電極７８とは、これらの個別接合電極７８のＹ方向の厚さの中央を通る仮想線と前記側縁７７ａとの間隔Ｅ３が３段階差（即ち、ほぼ３×Ｅ０の間隔寸法）であるように配置し、第４列番号［００８］の個別接合電極７８と、第１０列番号［００９］の個別接合電極７８とは、これらの個別接合電極７８のＹ方向の厚さの中央を通る仮想線と前記側縁７７ａとの間隔Ｅ４が４段階差（即ち、ほぼ４×Ｅ０の間隔寸法）であるように配置するのである。

これらの場合、前記側縁７７ａと、これに最も近い位置に配置された前記各個別接合電極７８との間の隙間８０の寸法をＥ１とするとき、その他の群であって、各群の端部に位置する個別接合電極７８、例えば番号［００３］，［００１］，［００４］の個別接合電極７８の側縁と側縁７７ａとの隙間寸法Ｅ２はＥ１より大きくなり、Ｅ２＞Ｅ０＞Ｅ１の大小関係となる（図１５参照）。

そして、前記全ての列の各個別接合電極７８に接続する配線７９は、第１コモン接合電極部７７−１における第２の方向（Ｘ方向）に沿って延びる側縁７７ａに沿って延びるように配線パターンを形成する。このとき、配線７９のルートは、個別接合電極７８と前記側縁７７ａとの間、個別接合電極７８と個別接合電極７８との間に配置されるように１直線状または直線と屈曲部との組み合わせで決定される。

そして、帯状のコモン接合電極７７の側縁７７ａに最も近い位置に配置された個別接合電極７８に接続された配線７９を、この個別接合電極７８とは別の列（群）で且つこの個別接合電極７８よりも側縁７７ａに対して離れて位置する他の個別接合電極７８と側縁７７ａとの間を通し、側縁７７ａと配線７９との間の隙間８０が個別接合電極７８と側縁７７ａとの隙間８０の寸法Ｅ１とほぼ等しいか大きくなる位置に形成（配置）する。例えば、第４群７８−４における番号［０００］の個別接合電極７８に接続した配線７９を、別の群（列）、例えば第５群７８−５における番号［００４］で示す個別接合電極７８と側縁７７ａとの隙間８０を通過させるとき、その配線７９と側縁７７ａとの間の隙間寸法の大きさを前記隙間寸法Ｅ１に等しくするか大きい寸法となるように設定する。

図１５の実施形態では、第９列番号［００４］の個別接合電極７８と側縁７７ａとの間に２段階差の隙間があるので、これよりも集積回路１０２から遠い位置にある第１列番号［００２］，第３列番号［００３］，第５列番号［００１］，第７列番号［０００］の各個別接合電極７８に接続した４本の配線７９の途中は、その隙間を通す。この４本の配線７９のうち側縁７７ａに最も近いもの（第４群における番号［０００］の各個別接合電極７８に接続する配線７９）でも、前記隙間寸法Ｅ１にほぼ等しいか、大きくなるようにするものである。

また、１つの列の端の個別接合電極７８とそれに接続された配線７９の延びる方向に隣接する列の端の個別接合電極７８との間に他の列の個別接合電極７８に接続された配線７９が通るようにされたその両個別接合電極７８，７８の間は、前記３段階差のうち２段階差以上離れているように設定されている。図１５の実施形態では、例えば、第７列番号［０００］と第８列番号［００５］との千鳥配列された個別接合電極７８，７８は、Ｙ方向で２段階差を有するので、他の複数の列、即ち、第１列から第３列における端の個別接合電極７８（番号［００２］，［００３］，［００１］）の３本の配線７９が斜め方向に通しうる隙間が形成できるのである。このように構成すると、各群における奇数列と偶数列の千鳥配列された隣合う個別接合電極７８，７８の第２方向（Ｘ方向）の隙間寸法が小さくても、Ｙ方向の隙間を２段階の差があるように設定することで、３本の配線７９が互いに余り接近しない状態で配置できるのである。

さらに、個別接合電極７８が３列以上あり、かつその各列の端に位置する個別接合電極７８とコモン接合電極７７の側縁７７ａとの隙間が３段階以上に設定され、第１の列の端の個別接合電極７８とそれに接続された配線７９の延びる方向に隣接する第２の列の端の個別接合電極７８との間が、前記３段階のうち２段階差以上離れ、第２の列の端の個別接合電極７８からそれに接続された配線７９の延びる方向に隣接する第３の列の端の個別接合電極７８が、前記第１の列の端の個別接合電極７８と第２の列の端の個別接合電極７８との前記段階差の間にあるように設定されている。実施形態では、第７列番号［０００］と第８列番号［００５］との千鳥配列された個別接合電極７８，７８の間には、Ｙ方向の隙間を２段階差があるように設定する一方、第９列番号［００４］の個別接合電極７８は、第７列番号［０００］と第８列番号［００５］の個別接合電極７８，７８のＹ方向の段階の間に配置するのである。このように構成すると、配線７９が混み合う箇所（配設密度の大きい箇所、Ｘ方向において集積回路１０２に近い第７列〜第１０列の個別接合電極７８〜７８の間）で、隣接する配線７９同士の隙間寸法やコモン接合電極７７の側縁７７ａと配線７９との隙間を余り密にすることなく、且つ配線密度を微細に形成できるのである。

駆動用の集積回路１０２は、外部機器（記録装置本体側の制御基板）からシリアル転送されてくる記録データを、各ノズルに対応するパラレルデータに変換し、かつ記録データに対応した所定電圧の波形信号を生成して、各配線７９に出力するものである。集積回路１０２とアクチュエータ１２との間の接続は、ノズル数に対応した配線７９を上記のように高密度に形成する必要があるが、集積回路１０２よりも制御基板側では、記録データをシリアル転送するので、低密度な配線パターンでよい。

フレキシブルフラットケーブル４０は、可撓性を有し、湾曲変形に対する耐久性のある電気絶縁性の合成樹脂材（ベース材１００）の片面に形成された銅箔等の導体からなる微細幅の配線７９を同じく可撓性を有して電気絶縁性の合成樹脂材からなるカバーレイ１０１にて覆い、前記コモン接合電極７７の対応する部分及び個別接合電極７８の部分のみをフレキシブルフラットケーブル４０の広場面の片面側（ベース材１００側）に開口し、その開口部にバンプ電極１０３を形成し、半田製のバンプ電極１０３のときは当該バンプ電極１０３をコモン表面電極５７及び個別表面電極５８に重ねて加熱押圧して接合する。異方導電性樹脂などの加圧により導電性を有するタイプの場合には、単なる加圧接合で良く、フレキシブルフラットケーブル４０の接合の作業性が良くなる。

前記実施形態では、ノズルの列は５列ひいては個別接合電極７８が千鳥配列で１０列であったが、本発明では３列以上の個別接合電極７８に対して適用できるものである。

なお、コモン表面電極５７及び個別表面電極５８は、圧電アクチュエータ１２の広幅面の中心点を対称中心とする点対称状に配置されている一方、配線基板であるフレキシブルフラットケーブル４０の広幅面に形成されるコモン接合電極７７及び個別接合電極７８を、当該フレキシブルフラットケーブル４０を対称中心の周りに１８０度回転移動させたときに前記多数のコモン表面電極５７及び個別表面電極５８にそれぞれ電気的に接合し得るように配置する構成を採用すれば、同一のヘッドユニットを使って、フレキシブルフラットケーブル４０の引出し方向を１８０度回転させて逆にする作業が至極簡単にできるという効果を奏する。

本発明の第１実施形態による圧電式インクジェット記録ヘッドのキャビティユニットと圧電アクチュエータと、フラットケーブルとを分離して示す斜視図である。 キャビティユニットの分解斜視図である。 キャビティユニットの一部分解斜視図である。 圧電アクチュエータの部分拡大断面図である。 圧電シートにおける個別電極とダミー電極とそれらの内部導通電極の位置を示す部分拡大斜視図である。 コモン電極等のパターンを示す圧電シートの一部切欠き拡大平面図である。 個別電極等のパターンを示す圧電シートの一部切欠き拡大平面図である。 拘束層の下層シートにおけるパターンを示す一部切欠き拡大平面図である。 拘束層の上層シートにおけるパターンを示す一部切欠き拡大平面図である。 トップシートにおける個別用導電層等のパターンを示す一部切欠き拡大平面図である。 トップシートにおける個別表面電極等のパターンを示す一部切欠き拡大平面図である。 コモン電極等のパターンの詳細を示す圧電シートの一部切欠き拡大平面図である。 トップシートの平面視における圧力室に対する個別電極と個別用導電層と個別表面電極との重なり関係を示す一部切欠き拡大平面図である。 （ａ）はフレキシブルフラットケーブルにおけるコモン接合電極、個別接合電極、配線、集積回路等の配置関係を示す概略平面図、（ｂ）は側面図である。 フレキシブルフラットケーブルにおけるコモン接合電極、個別接合電極、配線の配置状態を示す一部拡大平面図である。

符号の説明

１ インクジェット記録ヘッド
１１ キャビティユニット
１１ａ ノズル
１２ 圧電アクチュエータ
２２ ベースプレート
２３ 圧力室
３３，３４ 圧電シート
３５ トップシート
３６ 個別電極
３７ コモン電極
４０ フラットケーブル
５７ コモン表面電極
５８ 個別表面電極
７７ コモン接合電極
７７ａ 側縁
７８ 個別接合電極
７９ 配線
１０２ 集積回路

Claims (7)

1. 第１の方向に沿って列状に配置された複数個のノズルからなる複数個のノズル列と、前記各ノズルに対応する圧力室の複数の列と、前記各圧力室内のインクに選択的に吐出エネルギーを与える複数個のエネルギー発生手段を有するアクチュエータと、前記各エネルギー発生手段に給電する配線を有する配線基板とからなるインクジェット記録ヘッドにおいて、
   前記アクチュエータには、前記各エネルギー発生手段に個別に接続され、前記各ノズル列毎に対応しかつ前記第１の方向に沿って千鳥状に配列された複数個の個別表面電極と、前記各エネルギー発生手段に共通に接続されたコモン表面電極とがほぼ平面状に配置され、
   前記配線基板には、前記アクチュエータの複数個の個別表面電極に対向する位置に前記第１の方向に沿って千鳥状に配列されその個別表面電極と接合する複数個の個別接合電極と、前記アクチュエータのコモン表面電極に対向する位置にそのコモン表面電極と接合するコモン接合電極とが形成され、
   前記配線基板のコモン接合電極は、前記個別表面電極のなす列の延長方向において、その列とほぼ直交する方向に帯状に延び、
   前記各個別接合電極に接続された配線は、前記帯状のコモン接合電極の側縁とほぼ平行に延び、
   前記配線基板の複数個の個別接合電極のうち、前記帯状のコモン接合電極の側縁に最も近い位置に配置された個別接合電極に接続された配線を、この個別接合電極とは別の列でかつこの個別接合電極よりも前記側縁に対して離れて位置する他の個別接合電極と前記側縁との間を通し、前記側縁と配線との間の隙間が前記個別接合電極と前記側縁との隙間とほぼ等しいか大きくなる位置に形成したことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
2. 前記個別接合電極が３列以上あり、かつその各列の端に位置する個別接合電極と前記コモン接合電極の側縁との隙間が３段階以上に設定され、
   １つの列の端の個別接合電極とそれに接続された配線の延びる方向に隣接する列の端の個別接合電極との間に他の列の個別接合電極に接続された配線が通るようにされたその両個別接合電極間が、前記３段階のうち２段階差以上離れていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
3. 前記個別接合電極が３列以上あり、かつその各列の端に位置する個別接合電極と前記コモン接合電極の側縁との隙間が３段階以上に設定され、
   第１の列の端の個別接合電極とそれに接続された配線の延びる方向に隣接する第２の列の端の個別接合電極との間が、前記３段階のうち２段階差以上離れ、
   第２の列の端の個別接合電極からそれに接続された配線の延びる方向に隣接する第３の列の端の個別接合電極が、前記第１の列の端の個別接合電極と第２の列の端の個別接合電極との前記段階差の間にあることを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェット記録ヘッド。
4. 前記配線基板は、前記ノズル列とほぼ直交する方向に延びたフレキシブルフラットケーブルであり、前記コモン接合電極は、そのフレキシブルフラットケーブルの前記第１の方向とほぼ直交する方向に延びる縁部に沿って形成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
5. 前記フレキシブルフラットケーブルの延びる方向の中途部には、前記エネルギー発生手段の駆動用の集積回路が搭載され、前記各配線の他端が前記集積回路に接続されていることを特徴とする請求項４に記載のインクジェット記録ヘッド。
6. 前記フレキシブルフラットケーブルは、片面に前記コモン接合電極と個別接合電極と配線とを有する基板を備え、前記コモン接合電極及び個別接合電極は前記基板に形成された開口部を介して露出していることを特徴とする請求項４または５に記載のインクジェット記録ヘッド。
7. 前記各開口部に露出する前記コモン接合電極及び個別接合電極の面にはバンプ電極を設けて、前記コモン表面電極及び個別表面電極とそれぞれ重ね接合したことを特徴とする請求項６に記載のインクジェット記録ヘッド。

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