JP2005158338A - 試料の観察装置及び加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 電子光学鏡筒から試料へ電子線を照射して試料を観察するための装置であって、排気機構を有する容器と、前記容器内に、電子光学鏡筒部を先端に有する3次元的に可動なアームと、前記電子線が照射された前記試料から放出された電子を検出するための検出器とを備え、前記電子光学鏡筒部は、電子線源と、前記電子線源から放出された電子を加速するための加速電極と、加速された電子線を収束するための電子レンズと、前記電子光学鏡筒部と前記試料との相対位置を変化させることで前記電子線を前記試料上へ照射する位置を走査するための手段とを備える。検出器は、別の3次元的に可動なアームの先端に取り付けられる。
【選択図】 図1
Description
排気機構を有する容器と、
前記容器内に、電子光学鏡筒部を先端に有する3次元的に可動なアームと、前記電子線が照射された前記試料から放出された電子を検出するための検出器とを備え、
前記電子光学鏡筒部は、電子線源と、前記電子線源から放出された電子を加速するための加速電極と、加速された電子線を収束するための電子レンズと、前記電子光学鏡筒部と前記試料との相対位置を変化させることで前記電子線を前記試料上へ照射する位置を走査するための手段とを備えることを特徴とする。
排気機構を有する容器と、
前記容器内に、2つ以上の3次元的に可動なアームを有し、前記アームの各先端に、電子光学鏡筒部、前記電子線が照射された前記試料から放出された電子を検出するための検出器、検出器付きの電子光学鏡筒部、走査プローブ顕微鏡、又は光学顕微鏡から選択した要素が配置され、
前記電子光学鏡筒部は、電子線源と、前記電子線源から放出された電子を加速するための加速電極と、加速された電子線を収束するための電子レンズと、前記電子光学鏡筒部と前記試料との相対位置を変化させることで前記電子線を試料上へ照射する位置を走査するための手段を備えることを特徴とする。
排気機構を有する容器と、
前記容器内に、電子光学鏡筒部を先端に有する3次元的に可動なアームと、前記電子線が照射された前記試料から放出された電子を検出する検出器とを有し、
前記電子光学鏡筒部は、電子線源と、前記電子線源から放出された電子を加速するための加速電極と、加速された電子線を収束するための電子レンズと、前記電子光学鏡筒部と前記試料との相対位置を変化させることで前記電子線を試料上へ照射する位置を走査しながら前記試料を加工する手段を備えることを特徴とする。
図1は、本発明の実施形態1による試料の観察装置及び加工装置の構成を示す図である。
図3は、本発明の実施形態2による試料の観察装置及び加工装置の構成を示す図である。
図4は、本発明の実施形態3による試料の観察装置及び加工装置の構成を示す図である。
図5は、本発明の実施形態4による試料の観察装置及び加工装置の構成を示す図である。
2 検出器
3,4 3次元的に可動なアーム
5 試料
6 気密容器
7 排気機構
8 絶縁体基板
9 開孔部
10 電極
11 電子源チップ
12 引出し電極
13 加速電極
14(15,16,17) アインツェルレンズ
18 外周電極
19,20 絶縁体
21 電極端子
22 ピエゾスキャナとの接続部分
23 Oリング
24 検出器付きの電子光学鏡筒部
25 STM
26 光学顕微鏡
27 ボールSi
Claims (10)
- 電子光学鏡筒から試料へ電子線を照射して試料を観察するための装置であって、
排気機構を有する容器と、
前記容器内に、電子光学鏡筒部を先端に有する3次元的に可動なアームと、前記電子線が照射された前記試料から放出された電子を検出するための検出器とを備え、
前記電子光学鏡筒部は、電子線源と、前記電子線源から放出された電子を加速するための加速電極と、加速された電子線を収束するための電子レンズと、前記電子光学鏡筒部と前記試料との相対位置を変化させることで前記電子線を前記試料上へ照射する位置を走査するための手段とを備えることを特徴とする試料の観察装置。 - 前記検出器は、前記電子光学鏡筒部に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の試料の観察装置。
- 前記検出器は、前記容器に固定されていることを特徴とする請求項1に記載の試料の観察装置。
- 前記アームとは別に、前記検出器を先端に有する3次元的に可動な第二のアームを備えることを特徴とする請求項1に記載の試料の観察装置。
- 前記検出器付きの電子光学鏡筒部を先端に有するアームとは別に、第二の検出器を先端に有する3次元的に可動な第二のアームを備えることを特徴とする請求項2に記載の試料の観察装置。
- 前記検出器付きの電子光学鏡筒部を先端に有するアームとは別に、第二の検出器付きの電子光学鏡筒部を先端に有する3次元的に可動な第二のアームを備えることを特徴とする請求項2に記載の試料の観察装置。
- 前記検出器付きの電子光学鏡筒部を先端に有するアームとは別に、走査プローブ顕微鏡を先端に有する3次元的に可動なアームを備えることを特徴とする請求項2に記載の試料の観察装置。
- 前記容器内に、前記検出器付きの電子光学鏡筒部を先端に取り付けた3次元的に可動なアームとは別に、光学顕微鏡を先端に有する3次元的に可動なアームを備えることを特徴とする請求項2に記載の試料の観察装置。
- 電子光学鏡筒から試料へ電子線を照射して試料を観察するための装置であって、
排気機構を有する容器と、
前記容器内に、2つ以上の3次元的に可動なアームを有し、前記アームの各先端に、電子光学鏡筒部、前記電子線が照射された前記試料から放出された電子を検出するための検出器、検出器付きの電子光学鏡筒部、走査プローブ顕微鏡、又は光学顕微鏡から選択した要素が配置され、
前記電子光学鏡筒部は、電子線源と、前記電子線源から放出された電子を加速するための加速電極と、加速された電子線を収束するための電子レンズと、前記電子光学鏡筒部と前記試料との相対位置を変化させることで前記電子線を前記試料上へ照射する位置を走査するための手段を備えることを特徴とする試料の観察装置。 - 電子光学鏡筒から試料へ電子線を照射することで試料を加工するための装置であって、
排気機構を有する容器と、
前記容器内に、電子光学鏡筒部を先端に有する3次元的に可動なアームと、前記電子線が照射された前記試料から放出された電子を検出するための検出器とを備え、
前記電子光学鏡筒部は、電子線源と、前記電子線源から放出された電子を加速するための加速電極と、加速された電子線を収束するための電子レンズと、前記電子光学鏡筒部と前記試料との相対位置を変化させることで前記電子線を前記試料上へ照射する位置を走査しながら前記試料を加工する手段を備えることを特徴とする試料の加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003392396A JP2005158338A (ja) | 2003-11-21 | 2003-11-21 | 試料の観察装置及び加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003392396A JP2005158338A (ja) | 2003-11-21 | 2003-11-21 | 試料の観察装置及び加工装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2005158338A true JP2005158338A (ja) | 2005-06-16 |
Family
ID=34719108
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003392396A Pending JP2005158338A (ja) | 2003-11-21 | 2003-11-21 | 試料の観察装置及び加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005158338A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008111777A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-15 | Jeol Ltd | 顕微鏡用試料作成装置 |
JP2015079765A (ja) * | 2014-12-16 | 2015-04-23 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
WO2015118605A1 (ja) * | 2014-02-04 | 2015-08-13 | 富士通株式会社 | 材料評価装置及び方法 |
US9543111B2 (en) | 2011-01-31 | 2017-01-10 | Hitachi High-Technologies Corporation | Charged particle beam device |
-
2003
- 2003-11-21 JP JP2003392396A patent/JP2005158338A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2008111777A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-15 | Jeol Ltd | 顕微鏡用試料作成装置 |
US9543111B2 (en) | 2011-01-31 | 2017-01-10 | Hitachi High-Technologies Corporation | Charged particle beam device |
WO2015118605A1 (ja) * | 2014-02-04 | 2015-08-13 | 富士通株式会社 | 材料評価装置及び方法 |
JP2015079765A (ja) * | 2014-12-16 | 2015-04-23 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
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