JP2005154162A - Method and apparatus for processing glass pipe, and glass pipe - Google Patents

Method and apparatus for processing glass pipe, and glass pipe Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress a glass pipe from being made oval in processing of inside CVD or diameter reduction by heating a starting glass pipe. <P>SOLUTION: In the glass processing method, in the case of performing inside chemical vapor deposition or diameter reduction of a starting glass pipe G by relatively moving a heating furnace 20 equipped with a heating element 21 for annularly enclosing the circumference of the starting glass pipe G in a longitudinal direction of the starting glass pipe G with respect to the starting glass pipe G in which an outer diameter is 30 mm or more and a wall thickness is 3 mm or more and is less than 15 mm and an ovality of the outer diameter is 1.0% or less using a glass processing apparatus 1, a temperature of at least one of the heating element 21 and the starting glass pipe G is measured and the amount of heat generation of the heating element 21 is adjusted based on the measured temperature. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、出発ガラスパイプと加熱源とを出発ガラスパイプの長手方向に相対移動させて、出発ガラスパイプの内付けや縮径を行うガラスパイプ加工方法及び装置、さらには内付けまたは縮径されたガラスパイプに関する。   The present invention relates to a method and apparatus for processing a glass pipe, in which the starting glass pipe and the heat source are relatively moved in the longitudinal direction of the starting glass pipe to internally attach or reduce the diameter of the starting glass pipe, and further, the internal pipe or the diameter thereof is reduced. Related to glass pipes.

光ファイバ母材を製造する工程において、ガラスパイプの内側にガラス層を形成する内付け工程（例えば、非特許文献１参照。）や、ガラスパイプを所望の径に縮径する工程が行われる。これらの工程では、ガラスパイプの外側に設けられた加熱源により、ガラスパイプをその長手方向に順次加熱していく。   In the process of manufacturing the optical fiber preform, an internal process of forming a glass layer inside the glass pipe (for example, refer to Non-Patent Document 1) and a process of reducing the diameter of the glass pipe to a desired diameter are performed. In these steps, the glass pipe is sequentially heated in the longitudinal direction by a heating source provided outside the glass pipe.

例えば、内付けＣＶＤ法と呼ばれる内付け工程では、内付けの基板となる出発ガラスパイプの内側に、ガラス微粒子（ＳｉＯ２）を生成するためのガラス原料ガスを導入し、出発ガラスパイプの外側に設けた加熱源を出発ガラスパイプの長手方向に沿ってトラバースさせて出発ガラスパイプを加熱する。このように出発ガラスパイプを加熱することにより、出発ガラスパイプの内側に導入されたガラス原料ガスが酸化反応してガラス微粒子が生成される。そして、ガラス微粒子は、ガラス原料ガスの流れの下流側における出発ガラスパイプの内周面に付着して堆積していく。その後、堆積したガラス微粒子は、加熱源のトラバースによって加熱されて透明化し、順次ガラス層が形成される。
このような内付け工程を繰り返し行い、出発ガラスパイプの肉厚が所望の厚さとなるまでガラス層を複数層形成して、光ファイバ母材の中間体をなすガラスパイプを形成することができる。 For example, in an internal process called an internal CVD method, a glass raw material gas for generating glass fine particles (SiO 2 ) is introduced inside a starting glass pipe serving as an internal substrate, and outside the starting glass pipe. The provided heat source is traversed along the longitudinal direction of the starting glass pipe to heat the starting glass pipe. By heating the starting glass pipe in this way, the glass raw material gas introduced inside the starting glass pipe is oxidized to produce glass particles. Then, the glass fine particles adhere to and accumulate on the inner peripheral surface of the starting glass pipe on the downstream side of the flow of the glass raw material gas. Thereafter, the deposited glass fine particles are heated and transparentized by a traverse of a heating source, and a glass layer is sequentially formed.
By repeatedly performing such an internal process, a plurality of glass layers are formed until the thickness of the starting glass pipe reaches a desired thickness, so that a glass pipe that forms an intermediate of the optical fiber preform can be formed.

さらに、縮径工程では、例えばコラプス法またはロッドインコラプス法により出発ガラスパイプの中実化を行う前工程として、出発ガラスパイプをその長手方向に沿って加熱して軟化させ、コラプス法と同様の表面張力作用によって出発ガラスパイプの径を小さくする。   Further, in the diameter reduction process, as a pre-process for solidifying the starting glass pipe by, for example, the collapse method or the rod-in collapse method, the starting glass pipe is heated and softened along the longitudinal direction thereof, and is the same as the collapse method. The diameter of the starting glass pipe is reduced by the surface tension effect.

「光ファイバ通信 国際版１９９１年（Optical Fiber Communications International Edition 1991）」，マクグローヒル出版社（McGraw-Hill Book Co.），ｐ．６６−６７“Optical Fiber Communications International Edition 1991”, McGraw-Hill Book Co., p. 66-67

ところで、このようなガラス加工において使用される加熱源としては、一般に酸水素バーナが用いられている。酸水素バーナを用いる場合、その火炎は下から上に向かって上昇するため、通常は水平方向に配置した出発ガラスパイプをその軸回りに回転させつつ下側から火炎を当てて加熱を行う。その際、出発ガラスパイプの上側には直接火炎が当たらないため、出発ガラスパイプの円周方向にわたって均一な温度分布を得ることが難しく、出発ガラスパイプの粘性に円周方向の偏りが生じてしまう。
そのため、加工後のガラスパイプの形状に歪みを生じさせてしまうことがあった。また、火炎により発生する風圧により、軟化した出発ガラスパイプを局所的に収縮させてしまうことがあった。 By the way, as a heat source used in such glass processing, an oxyhydrogen burner is generally used. When the oxyhydrogen burner is used, the flame rises from the bottom to the top, so that the flame is usually applied from the lower side while rotating the starting glass pipe arranged in the horizontal direction around its axis. At that time, since the flame does not directly hit the upper side of the starting glass pipe, it is difficult to obtain a uniform temperature distribution over the circumferential direction of the starting glass pipe, and a circumferential deviation occurs in the viscosity of the starting glass pipe. .
Therefore, the glass pipe after processing may be distorted. In addition, the softened starting glass pipe may be locally contracted by the wind pressure generated by the flame.

このように、加工されたガラスパイプに歪みが生じてその断面形状が非円化した場合、光ファイバ母材としての不具合を発生させてしまう。
例えば、内付け工程で形成されたガラスパイプをコラプス法により中実化してガラスロッドとし、光ファイバ母材のコア部分を形成した場合には、その母材から得られた光ファイバのコアも非円化してしまい、偏波分散を生じる等して伝送特性を低下させてしまう。 As described above, when the processed glass pipe is distorted and the cross-sectional shape thereof becomes non-circular, a defect as an optical fiber preform is generated.
For example, when the glass pipe formed in the internal process is solidified by a collapse method to form a glass rod and the core portion of the optical fiber preform is formed, the optical fiber core obtained from the preform is also non-coated. As a result, the transmission characteristic deteriorates due to circularization and polarization dispersion.

なお、このようなガラスパイプの非円化は、出発ガラスパイプの径が大きく厚さが薄いほど顕著に発生していた。   Such non-circularity of the glass pipe was more noticeable as the diameter of the starting glass pipe was larger and the thickness was thinner.

本発明は、出発ガラスパイプを加熱して内付けや縮径等の加工を行う際にガラスパイプの非円化を抑制することのできるガラス加工方法及び装置、これにより加工されたガラスパイプを提供することを目的としている。   The present invention provides a glass processing method and apparatus capable of suppressing non-circularization of a glass pipe when the starting glass pipe is heated to perform processing such as internal attachment and diameter reduction, and a glass pipe processed by the method The purpose is to do.

上記目的を達成することのできる本発明に係るガラス加工方法は、外径が３０ｍｍ以上であり、肉厚が３ｍｍ以上かつ１５ｍｍ未満であり、外径の非円率が１．０％以下である出発ガラスパイプに対し、その周囲を円環状に囲む発熱部を備えた加熱炉を前記出発ガラスパイプの長手方向に相対移動させて、前記出発ガラスパイプの内付けまたは縮径を行う際に、前記発熱部と前記出発ガラスパイプのうち少なくとも一方の温度を測定して、前記測定した温度に基づいて前記発熱部の発熱量を調節することを特徴としている。
なお、外径の非円率は、出発ガラスパイプの任意の円周上における外径のうち、最大値をａ、最小値をｂ、平均値をcとしたときに、次式（１）により定義することができる。
｛（ａ−ｂ）／ｃ｝×１００ ・・・（１） The glass processing method according to the present invention that can achieve the above object has an outer diameter of 30 mm or more, a wall thickness of 3 mm or more and less than 15 mm, and a non-circularity of the outer diameter of 1.0% or less. When the internal heating or the diameter reduction of the starting glass pipe is performed by relatively moving the heating furnace provided with the heat generating part surrounding the periphery of the starting glass pipe in an annular shape in the longitudinal direction of the starting glass pipe, The temperature of at least one of the heat generating part and the starting glass pipe is measured, and the amount of heat generated by the heat generating part is adjusted based on the measured temperature.
The non-circularity of the outer diameter is expressed by the following equation (1) when the maximum value is a, the minimum value is b, and the average value is c among the outer diameters on an arbitrary circumference of the starting glass pipe. Can be defined.
{(Ab) / c} × 100 (1)

また、本発明に係るガラスパイプ加工方法において、前記発熱量の調節は、前記出発ガラスパイプの長手方向の１００ｍｍ以上の領域に対して、前記相対移動とともに少なくとも１回行うことが好ましい。   In the glass pipe processing method according to the present invention, it is preferable that the adjustment of the heat generation amount is performed at least once with the relative movement with respect to a region of 100 mm or more in the longitudinal direction of the starting glass pipe.

また、本発明に係るガラスパイプ加工方法において、前記発熱部の外側に設けた温度測定器を用い、前記発熱部に設けた空隙部を通して、前記出発ガラスパイプの外表面の温度を測定することが好ましい。   Further, in the glass pipe processing method according to the present invention, the temperature of the outer surface of the starting glass pipe can be measured through a gap provided in the heat generating portion using a temperature measuring device provided outside the heat generating portion. preferable.

また、本発明に係るガラスパイプ加工方法において、前記内付けまたは前記縮径を行う際に、前記ガラスパイプの最高温度の箇所から最高温度より３０℃低い温度となる箇所までの、前記出発ガラスパイプの長手方向に沿った距離を２０ｍｍ以上とすることが好ましい。   Further, in the glass pipe processing method according to the present invention, when performing the internal attachment or the diameter reduction, the starting glass pipe from the highest temperature location of the glass pipe to a location where the temperature is 30 ° C. lower than the highest temperature. The distance along the longitudinal direction is preferably 20 mm or more.

また、本発明に係るガラスパイプ加工方法において、前記内付けまたは前記縮径を行う際に、前記相対移動の速度を１０ｍｍ／分以上とすることが好ましい。   In the glass pipe processing method according to the present invention, it is preferable that the speed of the relative movement is set to 10 mm / min or more when the internal attachment or the diameter reduction is performed.

また、本発明に係るガラスパイプ加工方法において、前記内付けまたは前記縮径を行う際に、前記出発ガラスパイプの円周方向における最高温度と最低温度との差を２００℃以下とすることが好ましい。   Further, in the glass pipe processing method according to the present invention, it is preferable that the difference between the maximum temperature and the minimum temperature in the circumferential direction of the starting glass pipe is 200 ° C. or less when performing the internal attachment or the diameter reduction. .

また、本発明に係るガラスパイプ加工方法において、前記内付けまたは前記縮径を行う際に、前記出発ガラスパイプを、その中心軸回りに１０ｒｐｍ以上１５０ｒｐｍ以下の速度で回転させることが好ましい。   In the glass pipe processing method according to the present invention, it is preferable to rotate the starting glass pipe around the central axis at a speed of 10 rpm or more and 150 rpm or less when performing the internal attachment or the diameter reduction.

また、本発明に係るガラスパイプ加工方法において、前記内付けまたは前記縮径を行う際に、前記出発ガラスパイプの長手方向の１００ｍｍ以上の領域に対して、前記相対移動とともに前記出発ガラスパイプの外径を測定して、前記測定した外径に基づいて前記出発ガラスパイプの内側の圧力を少なくとも１回調節することが好ましい。   Further, in the glass pipe processing method according to the present invention, when the internal attachment or the diameter reduction is performed, the outside of the starting glass pipe is moved together with the relative movement with respect to a region of 100 mm or more in the longitudinal direction of the starting glass pipe. Preferably, the diameter is measured and the pressure inside the starting glass pipe is adjusted at least once based on the measured outer diameter.

また、本発明に係るガラスパイプ加工方法において、前記外径の測定は、レーザ光式モニタ、ＣＣＤカメラ、Ｘ線カメラのうち何れか１つ以上の外径測定器を用いて行うことが好ましい。   Further, in the glass pipe processing method according to the present invention, the measurement of the outer diameter is preferably performed using any one or more outer diameter measuring devices among a laser beam monitor, a CCD camera, and an X-ray camera.

また、本発明に係るガラスパイプ加工方法において、前記外径の測定は、前記発熱部の外側に設けた外径測定器を用い、前記発熱部に設けた空隙部を通して行うことが好ましい。   In the glass pipe processing method according to the present invention, it is preferable that the outer diameter is measured through an air gap provided in the heat generating portion using an outer diameter measuring device provided outside the heat generating portion.

また、本発明に係るガラスパイプ加工方法において、前記内付けまたは前記縮径を行う際に、前記出発ガラスパイプの内側と外側の圧力差を、１５００Ｐａ以下に調節することが好ましい。   Moreover, in the glass pipe processing method which concerns on this invention, when performing the said internal attachment or the said diameter reduction, it is preferable to adjust the pressure difference of the inner side of the said starting glass pipe and an outer side to 1500 Pa or less.

また、本発明に係るガラスパイプ加工方法において、前記出発ガラスパイプの外径Ｏｄと前記発熱部の内径ＩＤの比ＩＤ／Ｏｄを、１．１〜５．０の範囲内に設定することが好ましい。   Moreover, in the glass pipe processing method which concerns on this invention, it is preferable to set ratio ID / Od of the outer diameter Od of the said start glass pipe and the internal diameter ID of the said heat generating part in the range of 1.1-5.0. .

また、本発明に係るガラスパイプは、本発明のガラスパイプ加工方法を用いて加工され、外径の非円率が０．５％以下であることを特徴としている。   Moreover, the glass pipe which concerns on this invention is processed using the glass pipe processing method of this invention, and the non-circularity of an outer diameter is 0.5% or less, It is characterized by the above-mentioned.

また、本発明に係るガラスパイプ加工装置は、被加熱体である出発ガラスパイプの周囲を円環状に囲む発熱部を備えた加熱炉と、前記出発ガラスパイプの内側にガスを供給するガス供給部と、前記出発ガラスパイプの内側からガスを排出するガス排出部と、前記出発ガラスパイプと前記加熱炉とを前記出発ガラスパイプの長手方向に相対移動させる移動手段と、前記発熱部と前記出発ガラスパイプのうち少なくとも一方の温度を測定する温度測定器と、前記発熱部の発熱量を調節する発熱量調節手段とを備えていることを特徴としている。   Further, the glass pipe processing apparatus according to the present invention includes a heating furnace provided with a heat generating unit surrounding the periphery of the starting glass pipe that is a heated object in an annular shape, and a gas supply unit that supplies gas to the inside of the starting glass pipe A gas discharge unit that discharges gas from the inside of the starting glass pipe, a moving unit that relatively moves the starting glass pipe and the heating furnace in a longitudinal direction of the starting glass pipe, the heating unit, and the starting glass A temperature measuring device that measures the temperature of at least one of the pipes, and a calorific value adjusting means that adjusts the calorific value of the heat generating part are provided.

また、本発明に係るガラスパイプ加工装置において、前記出発ガラスパイプの外径を測定する外径測定器と、前記出発ガラスパイプの内側の圧力を調節する圧力調節手段とを備えていることが好ましい。   Moreover, the glass pipe processing apparatus according to the present invention preferably includes an outer diameter measuring device for measuring the outer diameter of the starting glass pipe, and a pressure adjusting means for adjusting the pressure inside the starting glass pipe. .

また、本発明に係るガラスパイプ加工装置において、前記発熱部は、その内周側と外周側を貫通する空隙部を有することが好ましい。   Moreover, the glass pipe processing apparatus which concerns on this invention WHEREIN: It is preferable that the said heat generating part has a space | gap part which penetrates the inner peripheral side and outer peripheral side.

また、本発明に係るガラスパイプ加工装置において、前記空隙部は、穴であって、前記穴は、複数形成され、前記発熱部の長手方向または周方向の何れにも並ばずに配置されていることが好ましい。   Moreover, in the glass pipe processing apparatus according to the present invention, the gap portion is a hole, and a plurality of the holes are formed and arranged without being arranged in either the longitudinal direction or the circumferential direction of the heat generating portion. It is preferable.

また、本発明に係るガラスパイプ加工装置において、前記加熱炉は、前記発熱部の周囲に誘導コイルを備えた誘導加熱炉であり、前記空隙部は、穴であって、前記誘導コイルの内側に配置された前記穴の１つあたりの内周側開口面積は、１０００ｍｍ２以下であり、前記誘導コイルの内側に配置された前記穴の内周側開口総面積は、前記誘導コイルの内側に位置する前記発熱部の内周側面積の５０％以下であることが好ましい。 Further, in the glass pipe processing apparatus according to the present invention, the heating furnace is an induction heating furnace provided with an induction coil around the heat generating portion, and the gap portion is a hole and is provided inside the induction coil. The inner peripheral opening area per one of the holes arranged is 1000 mm 2 or less, and the inner peripheral opening total area of the holes arranged inside the induction coil is located inside the induction coil. It is preferable that it is 50% or less of the inner peripheral area of the heat generating part.

本発明によれば、出発ガラスパイプを加熱して内付けや縮径等の加工を行う際にガラスパイプの非円化を抑制することのできるガラス加工方法及び装置、これにより加工されたガラスパイプを提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the glass processing method and apparatus which can suppress the non-circularization of a glass pipe when heating a starting glass pipe and performing processing, such as internal attachment and diameter reduction, The glass pipe processed by this Can be provided.

以下、本発明に係る、ガラスパイプ加工方法、ガラスパイプ加工装置、ガラスパイプの実施の形態の例を、図面を参照して説明する。
図１に、本発明に係るガラスパイプ加工方法を実施することのできるガラスパイプ加工装置を示す。
図１に示すガラスパイプ加工装置１は、所謂内付け法（内付けＣＶＤ法）により、出発ガラスパイプの内側でガラス微粒子を生成し、それを出発ガラスパイプの内側に堆積させてガラス膜を形成するものである。 Hereinafter, examples of embodiments of a glass pipe processing method, a glass pipe processing apparatus, and a glass pipe according to the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 shows a glass pipe processing apparatus capable of carrying out the glass pipe processing method according to the present invention.
The glass pipe processing apparatus 1 shown in FIG. 1 generates glass fine particles inside the starting glass pipe by a so-called internal attachment method (internal CVD method), and deposits it inside the starting glass pipe to form a glass film. To do.

ガラスパイプ加工装置１は、両端付近に支持部１１が立設された基台１２を有している。支持部１１は、それぞれ回動可能なチャック１３を有しており、これらチャック１３は、出発ガラスパイプＧの端部をそれぞれ把持し、出発ガラスパイプＧを水平に支持する。
２つの支持部１１の間には、出発ガラスパイプＧを加熱するための加熱炉２０が設けられている。この加熱炉２０には、出発ガラスパイプＧを円環状に囲む発熱部を備えた加熱炉を用いることができ、例えば、誘導加熱炉や抵抗加熱炉を用いることができる。本実施形態では、誘導加熱炉を用いた場合について説明する。 The glass pipe processing apparatus 1 has a base 12 on which support parts 11 are erected in the vicinity of both ends. Each of the support portions 11 has a chuck 13 that can be rotated. Each chuck 13 grips an end portion of the starting glass pipe G, and supports the starting glass pipe G horizontally.
A heating furnace 20 for heating the starting glass pipe G is provided between the two support portions 11. As the heating furnace 20, a heating furnace including a heat generating portion surrounding the starting glass pipe G in an annular shape can be used. For example, an induction heating furnace or a resistance heating furnace can be used. In this embodiment, a case where an induction heating furnace is used will be described.

加熱炉２０は、基台１２上の支持部１１の間に設けられた支持レール（移動手段）１４に対して取り付けられており、支持レール１４の長手方向に沿って移動することができる。支持レール１４は、チャック１３に把持された出発ガラスパイプＧの中心軸と平行に配置されており、加熱炉２０は出発ガラスパイプＧの中心軸と平行に移動する。   The heating furnace 20 is attached to a support rail (moving means) 14 provided between the support portions 11 on the base 12, and can move along the longitudinal direction of the support rail 14. The support rail 14 is disposed in parallel with the central axis of the starting glass pipe G held by the chuck 13, and the heating furnace 20 moves in parallel with the central axis of the starting glass pipe G.

また、支持部１１には、一方側（図中左側）に、ガス供給管（ガス供給部）１５が接続され、他方側（図中右側）にバッファタンク１６及びガス排気管（ガス排出部）１７が接続されている。これらのガス供給管１５とバッファタンク１６及びガス排気管１７は、出発ガラスパイプＧの内部の空間と連続したガスの流路を形成している。
また、ガス供給管１５には、出発ガラスパイプＧの内部の空間へガスを導入するためのガス導入手段（図示せず）が接続されている。ガス導入手段は、四塩化ケイ素（ＳｉＣｌ４）、酸素（Ｏ２）、ヘリウム（Ｈｅ）や四塩化ゲルマニウム（ＧｅＣｌ４）等を、単一のガスもしくは適宜混合したガスとして導入することができるように構成されている。 Further, a gas supply pipe (gas supply part) 15 is connected to the support part 11 on one side (left side in the figure), and a buffer tank 16 and a gas exhaust pipe (gas discharge part) on the other side (right side in the figure). 17 is connected. The gas supply pipe 15, the buffer tank 16, and the gas exhaust pipe 17 form a gas flow path that is continuous with the space inside the starting glass pipe G.
The gas supply pipe 15 is connected to a gas introduction means (not shown) for introducing gas into the space inside the starting glass pipe G. The gas introduction means can introduce silicon tetrachloride (SiCl 4 ), oxygen (O 2 ), helium (He), germanium tetrachloride (GeCl 4 ), etc. as a single gas or a gas mixed appropriately. It is configured.

図１に示した加熱炉２０について説明する。
図２に示すように、本実施形態の加熱炉２０は、高周波誘電加熱方式の炉であり、誘導コイル２３に交流電流を流すことで発熱部２１が発熱する。発熱部２１は、出発ガラスパイプＧの周囲を円環状に囲む円筒形状をなしており、その材質はグラファイトまたはジルコンである。この発熱部２１がガラスの軟化点以上の温度に発熱することによって、出発ガラスパイプＧを加熱して軟化させる。なお、出発ガラスパイプＧの材質が、ＶＡＤ法等により作成された純度の高いガラスの場合、軟化点は１７００℃程度である。
誘導コイル２３は、発熱部２１の軸方向の中央部分を加熱するように配置されており、適宜その巻き数が設定されている。
また、発熱部２１と誘導コイル２３との間には、絶縁体２２が設けられている。 The heating furnace 20 shown in FIG. 1 will be described.
As shown in FIG. 2, the heating furnace 20 of the present embodiment is a high-frequency dielectric heating type furnace, and the heat generating portion 21 generates heat when an alternating current is passed through the induction coil 23. The heat generating portion 21 has a cylindrical shape surrounding the starting glass pipe G in an annular shape, and the material thereof is graphite or zircon. When the heat generating part 21 generates heat at a temperature equal to or higher than the softening point of the glass, the starting glass pipe G is heated and softened. In addition, when the material of the starting glass pipe G is a high-purity glass made by the VAD method or the like, the softening point is about 1700 ° C.
The induction coil 23 is disposed so as to heat the central portion of the heat generating portion 21 in the axial direction, and the number of turns is appropriately set.
An insulator 22 is provided between the heat generating part 21 and the induction coil 23.

また、加熱炉２０は、発熱部２１の温度を測定する温度測定器２５と、出発ガラスパイプＧの温度を測定する温度測定器２４を備えている。温度測定器２５は、接触式または非接触式のどちらであっても良いが、温度測定器２４は、非接触式の放射温度計である。温度測定器２４は、出発ガラスパイプＧのうち、発熱部２１によって加熱された領域の温度を測定するためのものであり、好ましくは、誘導コイル２３の内側に位置した部分の外表面温度を測定できると良い。そのため、誘導コイル２３の内側に配置されている発熱部２１と絶縁体２２には、それぞれの内周側と外周側とを貫通した空隙部が、穴２１ａ，２２ａとして形成されている。
このような構成により、穴２１ａ，２２ａを通して、誘導コイル２３の外側に配置された温度測定器２４から出発ガラスパイプＧの加熱されている領域の外表面温度を直接測定することができる。 The heating furnace 20 includes a temperature measuring device 25 that measures the temperature of the heat generating portion 21 and a temperature measuring device 24 that measures the temperature of the starting glass pipe G. Although the temperature measuring device 25 may be either a contact type or a non-contact type, the temperature measuring device 24 is a non-contact type radiation thermometer. The temperature measuring device 24 is for measuring the temperature of the region of the starting glass pipe G that is heated by the heat generating portion 21, and preferably measures the outer surface temperature of the portion located inside the induction coil 23. I hope you can. For this reason, in the heat generating portion 21 and the insulator 22 arranged inside the induction coil 23, void portions penetrating the inner peripheral side and the outer peripheral side are formed as holes 21a and 22a.
With such a configuration, the outer surface temperature of the heated region of the starting glass pipe G can be directly measured from the temperature measuring device 24 disposed outside the induction coil 23 through the holes 21a and 22a.

また、温度測定器２４，２５は、電流制御部２６に接続されており、それぞれの測定値を電流制御部２６に送ることができる。電流制御部２６は、温度測定器２４，２５により測定された温度に基づいて、誘導コイル２３に流す電流の大きさを調節するものである。誘導コイル２３に流す電流の大きさを調節することで、発熱部２１の発熱量を調節できる。すなわち、電流制御部２６は、発熱部２１の発熱量調節手段として機能する。また、発熱量の調節は、誘導コイル２３にかける電圧の大きさを調節して行っても良い。
また、出発ガラスパイプＧの複数箇所の温度を測定するために、出発ガラスパイプＧの温度を測定する温度測定器２４は、複数設けられていても良い。
なお、本発明においては、発熱部２１と出発ガラスパイプＧの少なくともどちらか一方の温度を測定できれば良い。 Further, the temperature measuring devices 24 and 25 are connected to the current control unit 26, and each measured value can be sent to the current control unit 26. The current control unit 26 adjusts the magnitude of the current flowing through the induction coil 23 based on the temperature measured by the temperature measuring devices 24 and 25. By adjusting the magnitude of the current flowing through the induction coil 23, the amount of heat generated by the heat generating portion 21 can be adjusted. That is, the current control unit 26 functions as a calorific value adjusting unit of the heat generating unit 21. Further, the amount of heat generation may be adjusted by adjusting the magnitude of the voltage applied to the induction coil 23.
Moreover, in order to measure the temperature of several places of the starting glass pipe G, the temperature measuring device 24 which measures the temperature of the starting glass pipe G may be provided with two or more.
In the present invention, it is only necessary to measure the temperature of at least one of the heat generating portion 21 and the starting glass pipe G.

また、加熱炉２０は、出発ガラスパイプＧの外径を測定することができる外径測定器２７を備えている。外径測定器２７は、レーザ光式モニタ、ＣＣＤカメラ、Ｘ線カメラのうち何れかを使用すると良い。また、外径測定器２７は、出発ガラスパイプＧのうち、加熱されている箇所または加熱された直後の箇所の外径を測定できることが好ましい。本実施形態では、誘導コイル２３の外側に外径測定器２７が配置されており、上記の温度測定用とは別に形成された発熱部２１と絶縁体２２の穴２１ａ，２２ａを通して、加熱されている箇所の外径を測定することができる。また、外径測定器２７は、流量制御部２８に接続されており、測定値を流量制御部２８に送ることができる。流量制御部２８は、外径測定器２７により測定された外径値に基づき、出発ガラスパイプＧの内側の圧力を調節するためのものである。   Further, the heating furnace 20 includes an outer diameter measuring device 27 that can measure the outer diameter of the starting glass pipe G. The outer diameter measuring device 27 may be any one of a laser light monitor, a CCD camera, and an X-ray camera. Moreover, it is preferable that the outer diameter measuring device 27 can measure the outer diameter of the part of the starting glass pipe G that is heated or just after being heated. In the present embodiment, an outer diameter measuring device 27 is arranged outside the induction coil 23, and is heated through the heat generating portion 21 and holes 21a and 22a of the insulator 22 formed separately from the above-described temperature measurement. The outer diameter of the location can be measured. Further, the outer diameter measuring instrument 27 is connected to the flow rate control unit 28, and can send a measured value to the flow rate control unit 28. The flow rate control unit 28 is for adjusting the pressure inside the starting glass pipe G based on the outer diameter value measured by the outer diameter measuring device 27.

次に、図３に示す模式図を参照して、出発ガラスパイプＧの内側の圧力を調節するための構成について説明する。
図３に示すように、出発ガラスパイプＧの内側には、その一端側（図中左側）からガスが供給され、他端側（図中右側）からそのガスが排出される。ガスを排出するガス排気管１７と出発ガラスパイプＧとの間には、バッファタンク１６が設けられており、排出前のガスがこのバッファタンク１６内に溜められる。バッファタンク１６には、ガス管３１が接続されており、流量調節器（ＭＦＣ）３０により調節された流量のガスが適宜バッファタンク１６内に供給される。ガス管３１から供給されるガスの量によって、バッファタンク１６内の圧力が変化し、それに伴って出発ガラスパイプＧ内の圧力も変化する。 Next, a configuration for adjusting the pressure inside the starting glass pipe G will be described with reference to the schematic diagram shown in FIG.
As shown in FIG. 3, the gas is supplied to the inside of the starting glass pipe G from one end side (left side in the figure), and the gas is discharged from the other end side (right side in the figure). A buffer tank 16 is provided between the gas exhaust pipe 17 for discharging the gas and the starting glass pipe G, and the gas before discharge is stored in the buffer tank 16. A gas pipe 31 is connected to the buffer tank 16, and a gas having a flow rate adjusted by a flow rate regulator (MFC) 30 is appropriately supplied into the buffer tank 16. The pressure in the buffer tank 16 changes depending on the amount of gas supplied from the gas pipe 31, and the pressure in the starting glass pipe G changes accordingly.

また、バッファタンク１６には、バッファタンク１６内の圧力を測定する圧力計２９が取り付けられている。また、圧力計２９は、流量制御部２８に接続され、測定値はこの流量制御部２８に送られる。
このような構成により、外径測定器２７により測定された外径値と、圧力計２９により測定されたバッファタンク１６内の圧力値に基づいて、流量制御部２８が流量調節器３０を制御して、バッファタンク１６内の圧力を調節する。バッファタンク１６内の圧力が調節されることによって、出発ガラスパイプＧ内の圧力が調節され、軟化した出発ガラスパイプＧの外径を調節することができる。 Further, a pressure gauge 29 for measuring the pressure in the buffer tank 16 is attached to the buffer tank 16. The pressure gauge 29 is connected to the flow rate control unit 28, and the measured value is sent to the flow rate control unit 28.
With this configuration, the flow controller 28 controls the flow controller 30 based on the outer diameter value measured by the outer diameter measuring instrument 27 and the pressure value in the buffer tank 16 measured by the pressure gauge 29. Thus, the pressure in the buffer tank 16 is adjusted. By adjusting the pressure in the buffer tank 16, the pressure in the starting glass pipe G is adjusted, and the outer diameter of the softened starting glass pipe G can be adjusted.

また、発熱部２１に穴２１ａが形成されていることで、その穴２１ａに面した出発ガラスパイプＧの領域は、周囲に比べてその加熱の度合が低くなってしまうおそれがある。そのため、図２に示すように、発熱部２１に形成された複数の穴２１ａは、発熱部２１における同一長手方向または同一円周方向の何れにも並ばないように配置されていることが好ましい。
さらに、誘導コイル２３の内側に配置された穴２１ａの、１つあたりの内周側の開口面積を１０００ｍｍ２以下としておくことで、穴２１ａが形成されたことによる加熱に対する影響を少なくして、均一な加熱状態を保つことができる。また、発熱部２１による加熱効率を良好に保つために、誘導コイル２３の内側に配置された全ての穴２１ａの内周側の開口総面積を小さくすることが望ましい。例えば、誘導コイル２３の内側に位置する発熱部２１の内周側面積に対して、穴２１ａの内周側の開口総面積を５０％以下とすると良い。 Further, since the hole 21a is formed in the heat generating portion 21, the area of the starting glass pipe G facing the hole 21a may be less heated than the surrounding area. Therefore, as shown in FIG. 2, the plurality of holes 21 a formed in the heat generating portion 21 are preferably arranged so as not to line up in either the same longitudinal direction or the same circumferential direction in the heat generating portion 21.
Furthermore, by setting the opening area on the inner peripheral side per hole 21a arranged inside the induction coil 23 to 1000 mm 2 or less, the influence on heating due to the formation of the hole 21a is reduced, A uniform heating state can be maintained. Further, in order to keep the heating efficiency by the heat generating portion 21 good, it is desirable to reduce the total opening area on the inner peripheral side of all the holes 21 a arranged inside the induction coil 23. For example, the total opening area on the inner peripheral side of the hole 21a may be 50% or less with respect to the inner peripheral side area of the heat generating portion 21 located inside the induction coil 23.

また、上記の発熱部２１は、空隙部として穴２１ａが形成された円筒形状をなしたものであるが、発熱体の形状は出発ガラスパイプの周囲を円環状に囲むものであれば他の形態であっても良い。
例えば他の発熱部として、図４に示すように、出発ガラスパイプＧの長手方向（図中左右方向）に蛇行して全体として円筒形状をなす形状としても良い。この形態では、蛇行した隙間が、出発ガラスパイプＧの長手方向に沿って形成されて発熱部の外周側と内周側を貫通する、スリット状の空隙部３６である。そして、この空隙部３６を通して出発ガラスパイプＧの温度や外径を測定することができる。
また、図４に示すように、円周方向に不連続となっている箇所の両側に電極を接続して、発熱部３５を電気抵抗式で発熱させることができる。その場合、図２に示したような誘導コイルは不要である。
また、他の発熱部として、２つ以上の円筒形状に分かれてその隙間が空隙部として形成された発熱部であっても良い。 The heat generating portion 21 has a cylindrical shape with a hole 21a formed as a gap portion. However, the shape of the heat generating body is not limited so long as it surrounds the starting glass pipe in an annular shape. It may be.
For example, as another heat generating part, as shown in FIG. 4, it is good also as a shape which meanders in the longitudinal direction (left-right direction in the figure) of the starting glass pipe G, and makes a cylindrical shape as a whole. In this embodiment, the meandering gap is a slit-shaped gap portion 36 that is formed along the longitudinal direction of the starting glass pipe G and penetrates the outer peripheral side and the inner peripheral side of the heat generating portion. Then, the temperature and outer diameter of the starting glass pipe G can be measured through the gap 36.
Further, as shown in FIG. 4, electrodes can be connected to both sides of the portion discontinuous in the circumferential direction, and the heat generating portion 35 can be heated by an electric resistance type. In that case, an induction coil as shown in FIG. 2 is unnecessary.
Further, as another heat generating part, it may be a heat generating part that is divided into two or more cylindrical shapes and the gap is formed as a gap.

なお、本発明においては、発熱部の径方向外側から出発ガラスパイプの温度や外径の測定を行うためには、必ずしも物理的な空間が形成された空隙部を設ける必要はなく、例えば温度測定器や外径測定器のセンサ光（赤外線等）が透過する箇所を設ければ良い。   In the present invention, in order to measure the temperature and outer diameter of the starting glass pipe from the outside in the radial direction of the heat generating portion, it is not always necessary to provide a gap portion in which a physical space is formed, for example, temperature measurement What is necessary is just to provide the location which the sensor light (infrared rays etc.) of a measuring device or an outer diameter measuring device permeate | transmits.

次に、図１から図３に示したガラスパイプ加工装置１を用いて出発ガラスパイプＧに内付けを行う方法について説明する。
なお、本発明において用いられる出発ガラスパイプＧは、外径が３０ｍｍ以上であり、肉厚が３ｍｍ以上かつ１５ｍｍ未満であり、外径の非円率が１．０％以下である。好ましくは、内径が２４ｍｍ以上であると良い。このような径が大きく厚さが薄い出発ガラスパイプを用いる場合に、本発明の非円抑制効果を顕著に得ることができる。
また、出発ガラスパイプＧの長さは、例えば６００ｍｍ程度のものを好適に用いることができる。 Next, a method for internally attaching the starting glass pipe G using the glass pipe processing apparatus 1 shown in FIGS. 1 to 3 will be described.
The starting glass pipe G used in the present invention has an outer diameter of 30 mm or more, a wall thickness of 3 mm or more and less than 15 mm, and a non-circularity of the outer diameter of 1.0% or less. Preferably, the inner diameter is 24 mm or more. When using such a starting glass pipe having a large diameter and a small thickness, the non-circularity suppressing effect of the present invention can be remarkably obtained.
Moreover, the length of the starting glass pipe G can use the thing of about 600 mm suitably, for example.

さらに、使用する出発ガラスパイプＧの外径を適宜設定することにより、出発ガラスパイプの外径Ｏｄと前記発熱部の内径ＩＤの比ＩＤ／Ｏｄを、１．１〜５．０の範囲内に設定することが好ましい。このような設定により、発熱部２１と出発ガラスパイプＧとの間の間隙Ｌ３が狭くなって出発ガラスパイプＧを効率的に加熱することができ、加工して得られるガラスパイプの真円化を促進できる。また、発熱部２１と出発ガラスパイプＧとの間の空間が小さくなり、出発ガラスパイプＧに加わる外圧の変動を小さくすることができる。   Furthermore, by appropriately setting the outer diameter of the starting glass pipe G to be used, the ratio ID / Od of the outer diameter Od of the starting glass pipe and the inner diameter ID of the heat generating part is within the range of 1.1 to 5.0. It is preferable to set. With such a setting, the gap L3 between the heat generating portion 21 and the starting glass pipe G is narrowed so that the starting glass pipe G can be efficiently heated, and the roundness of the glass pipe obtained by processing can be reduced. Can promote. Moreover, the space between the heat generating part 21 and the starting glass pipe G becomes small, and the fluctuation | variation of the external pressure added to the starting glass pipe G can be made small.

内付けを行う際には、まず、ガス導入手段により、四塩化ケイ素と酸素を含むガラス原料ガスを出発ガラスパイプＧの内側に導入する。ガラス原料ガスには、ガラス原料ガス中の四塩化ケイ素の分圧を調整するためにヘリウムが含まれていても良い。また、酸素の量によっても四塩化ケイ素の分圧を調整することができる。   When performing the internal attachment, first, a glass raw material gas containing silicon tetrachloride and oxygen is introduced into the inside of the starting glass pipe G by gas introduction means. The glass source gas may contain helium in order to adjust the partial pressure of silicon tetrachloride in the glass source gas. The partial pressure of silicon tetrachloride can also be adjusted by the amount of oxygen.

このように、出発ガラスパイプＧの内側に適宜ガスを導入しつつ、出発ガラスパイプＧをその中心軸回りに回転させる。回転速度は、例えば１０ｒｐｍ以上１５０ｒｐｍ以下とする。回転速度を１０ｒｐｍ以上とすることで、出発ガラスパイプＧの円周方向の温度差を小さくすることができる。例えば、加熱されている領域における円周方向の最高温度と最低温度の差を、２００℃以下とすることが容易である。これにより、出発ガラスパイプＧの円周方向の粘度差を小さくして、非円化を防止することができる。さらに好ましくは、加熱されている領域における円周方向の最高温度と最低温度の差を、５０℃以下とすると良い。
また、回転速度を１５０ｒｐｍ以下とすることで、遠心力が過大となることによる出発ガラスパイプの振れ回りの発生を抑制できる。 In this way, the starting glass pipe G is rotated around its central axis while appropriately introducing gas inside the starting glass pipe G. The rotation speed is, for example, 10 rpm or more and 150 rpm or less. By setting the rotation speed to 10 rpm or more, the temperature difference in the circumferential direction of the starting glass pipe G can be reduced. For example, it is easy to set the difference between the maximum temperature and the minimum temperature in the circumferential direction in the heated region to 200 ° C. or less. Thereby, the viscosity difference of the circumference direction of the starting glass pipe G can be made small, and non-circularization can be prevented. More preferably, the difference between the maximum temperature and the minimum temperature in the circumferential direction in the heated region is 50 ° C. or less.
In addition, by setting the rotation speed to 150 rpm or less, it is possible to suppress the occurrence of swinging of the starting glass pipe due to excessive centrifugal force.

次に、出発ガラスパイプＧの外側の表面温度が、例えば１９００℃から２１００℃程度の範囲内の所望の温度となるように、誘導コイル２３に電流を流して発熱部２１の温度を昇温させる。
そして、加熱炉２０を出発ガラスパイプＧの一端側から他端側に向けて（すなわち、長手方向に沿って）トラバースする。このとき、トラバースを開始する位置は、ガラス原料ガスが供給されるガス供給管１５が設置された側とする。なお、トラバースする速度は、１０ｍｍ／分以上に設定する。このようなトラバース速度とすることで、図２に示すように、出発ガラスパイプＧの最高温度となる箇所Ｔ１から、その最高温度より３０℃温度が下がる箇所Ｔ２までの距離Ｌ２を長くすることができ、出発ガラスパイプＧの長手方向における粘度の変化の割合を小さくすることができる。したがって、出発ガラスパイプＧの長手方向における外径の変動を抑制することができる。 Next, current is passed through the induction coil 23 to raise the temperature of the heat generating portion 21 so that the surface temperature of the outside of the starting glass pipe G becomes a desired temperature within a range of about 1900 ° C. to 2100 ° C., for example. .
Then, the heating furnace 20 is traversed from one end side of the starting glass pipe G toward the other end side (that is, along the longitudinal direction). At this time, the position where the traverse is started is the side where the gas supply pipe 15 to which the glass source gas is supplied is installed. The traversing speed is set to 10 mm / min or more. By setting such a traverse speed, as shown in FIG. 2, the distance L2 from the point T1 that is the highest temperature of the starting glass pipe G to the point T2 where the temperature is lowered by 30 ° C. from the highest temperature can be increased. It is possible to reduce the rate of change in viscosity in the longitudinal direction of the starting glass pipe G. Therefore, fluctuations in the outer diameter in the longitudinal direction of the starting glass pipe G can be suppressed.

また、距離Ｌ２は、誘導コイル２３を設けた長さＬ１によっても異なるため、予め誘導コイル２３の長さＬ１を長くしておくことで、距離Ｌ２を長くすることが容易である。なお、距離Ｌ２は、例えば２０ｍｍ以上であると良い。   Further, since the distance L2 varies depending on the length L1 provided with the induction coil 23, it is easy to increase the distance L2 by increasing the length L1 of the induction coil 23 in advance. The distance L2 is preferably 20 mm or more, for example.

さらに、本実施形態においては、穴２１ａ，２２ａを通して、温度測定器２４により、加熱されている出発ガラスパイプＧの外表面の温度を測定し、その測定値が所望の値となるように、電流制御部２６によって誘導コイル２３の電流を制御し、発熱部２１の発熱量を調節する。これにより、出発ガラスパイプＧの温度を長手方向で一定となるように制御して、出発ガラスパイプＧの形状を長手方向で均一化することができる。
もしくは、予め発熱部２１の温度と出発ガラスパイプＧの温度との関係を調べておき、温度測定器２４により測定した発熱部２１の温度を基に、出発ガラスパイプＧの温度が所望の値となるように発熱部２１の発熱量を調節してもよい。
また、発熱部２１の温度と出発ガラスパイプＧの温度の両方の測定値を用いて、発熱部２１の発熱量を調節すると、さらに精度良く出発ガラスパイプＧの温度を制御することができる。 Further, in the present embodiment, the temperature of the outer surface of the heated starting glass pipe G is measured by the temperature measuring device 24 through the holes 21a and 22a, and the current is measured so that the measured value becomes a desired value. The control unit 26 controls the current of the induction coil 23 to adjust the amount of heat generated by the heat generating unit 21. Thereby, the temperature of the starting glass pipe G can be controlled to be constant in the longitudinal direction, and the shape of the starting glass pipe G can be made uniform in the longitudinal direction.
Alternatively, the relationship between the temperature of the heat generating portion 21 and the temperature of the starting glass pipe G is examined in advance, and the temperature of the starting glass pipe G is set to a desired value based on the temperature of the heat generating portion 21 measured by the temperature measuring device 24. You may adjust the emitted-heat amount of the heat-emitting part 21 so that it may become.
Moreover, if the calorific value of the heat generating part 21 is adjusted using the measured values of both the temperature of the heat generating part 21 and the temperature of the starting glass pipe G, the temperature of the starting glass pipe G can be controlled with higher accuracy.

なお、この発熱部２１の発熱量の調節は、少なくとも１回のトラバース中において、出発ガラスパイプＧの長手方向１００ｍｍ以上の領域に対して継続的に行うと良い。   Note that the adjustment of the amount of heat generated by the heat generating portion 21 may be continuously performed for a region of 100 mm or more in the longitudinal direction of the starting glass pipe G during at least one traverse.

また、穴２１ａ，２２ａを通して、外径測定器２７により、加熱されている出発ガラスパイプＧの外径を測定し、その測定値が所望の値となるように、外径測定器２７により測定された外径値と、圧力計２９により測定されたバッファタンク１６内の圧力値に基づいて、流量制御部２８により流量調節器３０を制御する。これによりバッファタンク１６内の圧力とともに出発ガラスパイプＧ内の圧力を調節して、軟化した出発ガラスパイプＧの外径を調節して所望の値に保つことができる。したがって、出発ガラスパイプＧの形状を長手方向で均一化することができる。   Further, the outer diameter of the heated starting glass pipe G is measured by the outer diameter measuring device 27 through the holes 21a and 22a, and is measured by the outer diameter measuring device 27 so that the measured value becomes a desired value. Based on the outer diameter value and the pressure value in the buffer tank 16 measured by the pressure gauge 29, the flow rate controller 30 is controlled by the flow rate control unit 28. Thereby, the pressure in the starting glass pipe G can be adjusted together with the pressure in the buffer tank 16, and the outer diameter of the softened starting glass pipe G can be adjusted and kept at a desired value. Therefore, the shape of the starting glass pipe G can be made uniform in the longitudinal direction.

また、圧力の調節を行う際には、出発ガラスパイプＧの内側と外側の圧力差が、１５００Ｐａ以下となるように調節すると良い。出発ガラスパイプＧの内外の差圧を１５００Ｐａ以下に小さく保つことで、出発ガラスパイプＧの急激な変形を防ぎ、非円化を抑制することができる。   Further, when adjusting the pressure, it is preferable to adjust the pressure difference between the inside and the outside of the starting glass pipe G to be 1500 Pa or less. By keeping the pressure difference inside and outside the starting glass pipe G small to 1500 Pa or less, abrupt deformation of the starting glass pipe G can be prevented and non-circularization can be suppressed.

なお、この圧力の調節は、少なくとも１回のトラバース中において、出発ガラスパイプＧの長手方向１００ｍｍ以上の領域に対して継続的に行うと良い。   This pressure adjustment is preferably performed continuously in a region of 100 mm or more in the longitudinal direction of the starting glass pipe G during at least one traverse.

図２に示すように、ガラス原料ガスが導入されている状態で加熱炉２０が出発ガラスパイプＧの長手方向にトラバースされると、加熱された領域における出発ガラスパイプＧの内側では、四塩化ケイ素が酸化反応を起こして、シリカ（ＳｉＯ２）であるガラス微粒子（ススと呼ばれる）Ｇ１が生成される。そして、このガラス微粒子Ｇ１は、熱泳動効果によって、ガラス原料ガスの流れの下流側における出発ガラスパイプＧの内側に付着して堆積（スス付けと呼ばれる）していく。そして、ガラス微粒子Ｇ１が堆積した部分には多孔質状のガラス微粒子堆積体Ｇ２が形成されるとともに、加熱炉２０のトラバースによって加熱されて透明化し、順次ガラス層Ｇ３が形成される。 As shown in FIG. 2, when the heating furnace 20 is traversed in the longitudinal direction of the starting glass pipe G with the glass raw material gas being introduced, silicon tetrachloride is formed inside the starting glass pipe G in the heated region. Causes an oxidation reaction to generate glass particles (called soot) G1 which is silica (SiO 2 ). And this glass microparticle G1 adheres to the inner side of the starting glass pipe G in the downstream of the flow of glass raw material gas by the thermophoresis effect, and is deposited (referred to as sooting). A porous glass fine particle deposit G2 is formed in the portion where the glass fine particles G1 are deposited, and is heated by a traverse of the heating furnace 20 to become transparent, and a glass layer G3 is sequentially formed.

ガラス層Ｇ３を堆積させ、加熱炉２０を出発ガラスパイプＧの他端側（ガス排気管１７側）までトラバースした後、加熱炉２０の温度を、出発ガラスパイプＧの内側でガラス微粒子Ｇ１が生成しない程度の温度（例えば、出発ガラスパイプＧの表面温度が５００℃程度となる温度）まで下げる。そして、温度を下げた加熱炉２０を、スス付けを開始したガス供給管１５側までトラバースして戻す。   After the glass layer G3 is deposited and the heating furnace 20 is traversed to the other end side (gas exhaust pipe 17 side) of the starting glass pipe G, the temperature of the heating furnace 20 is generated inside the starting glass pipe G. The temperature is lowered to a temperature at which the temperature is not reached (for example, the temperature at which the surface temperature of the starting glass pipe G becomes about 500 ° C.). Then, the heating furnace 20 whose temperature has been lowered is traversed back to the gas supply pipe 15 side where the sooting is started.

さらに上記のトラバースによる往復移動を複数回繰り返して、所望の厚さのガラス層Ｇ３を形成する。これにより、光ファイバ母材の中間体をなす所望のガラスパイプを形成することができる。なお、出発ガラスパイプＧ内に供給するガスに、四塩化ゲルマニウム等の屈折率調整用のガスを含ませることで、屈折率が調整されたガラス層Ｇ３を形成することができる。   Furthermore, the reciprocating movement by the traverse is repeated a plurality of times to form a glass layer G3 having a desired thickness. Thereby, the desired glass pipe which makes the intermediate body of an optical fiber preform | base_material can be formed. In addition, the gas layer G3 in which the refractive index was adjusted can be formed by including a gas for adjusting the refractive index such as germanium tetrachloride in the gas supplied into the starting glass pipe G.

また、本発明に係るガラスパイプ加工方法において、上述した出発ガラスパイプの内付けと同様の制御を行って、出発ガラスパイプの縮径を行うこともできる。
図５に示すように、出発ガラスパイプＧの縮径を行う際には、上記のガラスパイプ加工装置１（図１から図３参照）を用いて、同様の温度制御や圧力制御を行いつつ縮径を行って、非円率の小さいガラスパイプを得ることができる。なお、出発ガラスパイプＧの内側に供給するガスは、窒素やアルゴン等の不活性ガスを用いると良い。また、出発ガラスパイプＧの内側の圧力は、出発ガラスパイプＧの外側に対して負圧とすることで、容易に縮径を行うことができるが、出発ガラスパイプＧの外側に対してやや陽圧とすることで、非円率をさらに低減することができる。 Further, in the glass pipe processing method according to the present invention, the diameter of the starting glass pipe can be reduced by performing the same control as the above-described internal attachment of the starting glass pipe.
As shown in FIG. 5, when the diameter of the starting glass pipe G is reduced, the above glass pipe processing apparatus 1 (see FIGS. 1 to 3) is used to reduce the diameter while performing the same temperature control and pressure control. A glass pipe with a small non-circularity can be obtained by performing the diameter. Note that the gas supplied to the inside of the starting glass pipe G is preferably an inert gas such as nitrogen or argon. Moreover, the pressure inside the starting glass pipe G can be reduced easily by setting the negative pressure to the outside of the starting glass pipe G. By setting the pressure, the non-circularity can be further reduced.

以上説明したガラスパイプ加工方法及びガラスパイプ加工装置によれば、得られるガラスパイプの非円化を効果的に抑制して、外径の非円率が０．５％以下のガラスパイプを得ることができる。   According to the glass pipe processing method and the glass pipe processing apparatus described above, it is possible to effectively suppress non-circularity of the obtained glass pipe and obtain a glass pipe having an outer diameter non-circularity of 0.5% or less. Can do.

次に、本発明に係る実施例について説明する。
上述したガラスパイプ加工装置１を用いて、上述した温度制御や圧力制御を行いつつ、出発ガラスパイプＧの内付けを行った。出発ガラスパイプＧは、外径３５ｍｍ、内径２７ｍｍ、非円率０．３％のものを用いた。また、内付け時の加熱炉２０のトラバース速度は、１００ｍｍ／分であり、出発ガラスパイプＧの回転速度は４０ｒｐｍとした。また、内付け時の出発ガラスパイプＧの内側の圧力は、外側の大気圧に対して８０Ｐａ高い圧力とした。さらに、加熱された出発ガラスパイプＧの外表面の最高温度は２１００℃であった。
さらに、本実施例の結果と比較するために、加熱源に酸水素バーナを用いて、同様に出発ガラスパイプＧの内付けを行った。 Next, examples according to the present invention will be described.
Using the glass pipe processing apparatus 1 described above, the starting glass pipe G was internally attached while performing the temperature control and pressure control described above. The starting glass pipe G had an outer diameter of 35 mm, an inner diameter of 27 mm, and a non-circularity of 0.3%. Moreover, the traverse speed of the heating furnace 20 at the time of internal attachment was 100 mm / min, and the rotation speed of the starting glass pipe G was 40 rpm. Moreover, the pressure inside the starting glass pipe G at the time of internal attachment was set to 80 Pa higher than the outside atmospheric pressure. Furthermore, the maximum temperature of the outer surface of the heated starting glass pipe G was 2100 ° C.
Furthermore, in order to compare with the result of the present example, the starting glass pipe G was similarly installed by using an oxyhydrogen burner as a heating source.

そして、加熱源を上記の加熱炉２０とした場合と、酸水素バーナとした場合に得られたそれぞれのガラスパイプについて、任意の箇所の円周方向に沿ってその外径を測定した。この結果のグラフを、図６に示す。   And the outer diameter was measured along the circumferential direction of arbitrary places about each glass pipe obtained when the heating source was the heating furnace 20 and the oxyhydrogen burner. The resulting graph is shown in FIG.

図６に示すように、加熱炉２０を用いて内付けを行った本発明に係る実施例は、外径の変動が少なく、非円率が０．２％程度であった。これに対して、酸水素バーナを用いて内付けを行った比較例は、外径の変動が大きく、非円率が０．５％より大きくなっていた。
このように、本発明に係るガラスパイプ加工方法及びガラスパイプ加工装置によれば、外径の非円率が小さいガラスパイプを得られることが確認できた。 As shown in FIG. 6, the embodiment according to the present invention in which the heating furnace 20 was used for internal attachment had a small variation in the outer diameter, and the non-circularity was about 0.2%. On the other hand, in the comparative example in which the oxyhydrogen burner was used, the fluctuation of the outer diameter was large and the non-circularity was larger than 0.5%.
As described above, according to the glass pipe processing method and the glass pipe processing apparatus according to the present invention, it was confirmed that a glass pipe having a small non-circularity of the outer diameter can be obtained.

本発明に係るガラスパイプ加工方法を実施することのできるガラスパイプ加工装置の全体概略図である。1 is an overall schematic view of a glass pipe processing apparatus capable of carrying out a glass pipe processing method according to the present invention. 図１に示した加熱炉を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the heating furnace shown in FIG. 出発ガラスパイプの内圧を制御するための構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure for controlling the internal pressure of a starting glass pipe. 他の発熱部の例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the example of another heat-emitting part. 本発明に係るガラスパイプ加工方法において縮径を行う際の模式図である。It is a schematic diagram at the time of reducing the diameter in the glass pipe processing method according to the present invention. 実施例の結果を示すグラフである。It is a graph which shows the result of an Example.

符号の説明Explanation of symbols

１ ガラスパイプ加工装置
１１ 支持部
１２ 基台
１３ チャック
１４ 支持レール（移動手段）
１５ ガス供給管（ガス供給部）
１６ バッファタンク
１７ ガス排気管（ガス排出部）
２０ 加熱炉
２１ 発熱部
２１ａ 穴
２２ 絶縁体
２２ａ 穴
２３ 誘導コイル
２４，２５ 温度測定器
２６ 電流制御部（発熱量調整手段）
２７ 外径測定器
２８ 流量制御部（圧力調整手段）
２９ 圧力計
３０ 流量調節器
３１ ガス管
３５ 発熱部
３６ 空隙部
Ｇ 出発ガラスパイプ
Ｇ１ ガラス微粒子
Ｇ２ ガラス微粒子堆積体
Ｇ３ ガラス層 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Glass pipe processing apparatus 11 Support part 12 Base 13 Chuck 14 Support rail (moving means)
15 Gas supply pipe (gas supply part)
16 Buffer tank 17 Gas exhaust pipe (gas exhaust part)
20 Heating furnace 21 Heating part 21a Hole 22 Insulator 22a Hole 23 Inductive coils 24, 25 Temperature measuring device 26 Current control part (heat generation amount adjusting means)
27 Outer Diameter Measuring Device 28 Flow Control Unit (Pressure Adjustment Unit)
29 Pressure gauge 30 Flow controller 31 Gas pipe 35 Heat generating part 36 Cavity part G Starting glass pipe G1 Glass particulate G2 Glass particulate deposit G3 Glass layer

Claims (18)

外径が３０ｍｍ以上であり、肉厚が３ｍｍ以上かつ１５ｍｍ未満であり、外径の非円率が１．０％以下である出発ガラスパイプに対し、その周囲を円環状に囲む発熱部を備えた加熱炉を前記出発ガラスパイプの長手方向に相対移動させて、前記出発ガラスパイプの内付けまたは縮径を行う際に、前記発熱部と前記出発ガラスパイプのうち少なくとも一方の温度を測定して、前記測定した温度に基づいて前記発熱部の発熱量を調節することを特徴とする、ガラスパイプ加工方法。   For a starting glass pipe having an outer diameter of 30 mm or more, a wall thickness of 3 mm or more and less than 15 mm, and a non-circularity of the outer diameter of 1.0% or less, a heating part is provided that surrounds the circumference in an annular shape. When the internal heating or shrinking of the starting glass pipe is performed by relatively moving the heated furnace in the longitudinal direction of the starting glass pipe, the temperature of at least one of the heating unit and the starting glass pipe is measured. The method for processing a glass pipe, wherein the calorific value of the heat generating part is adjusted based on the measured temperature. 請求項１に記載のガラスパイプ加工方法であって、
前記発熱量の調節は、前記出発ガラスパイプの長手方向の１００ｍｍ以上の領域に対して、前記相対移動とともに少なくとも１回行うことを特徴とするガラスパイプ加工方法。 The glass pipe processing method according to claim 1,
The method of processing a glass pipe is characterized in that the adjustment of the heat generation amount is performed at least once with the relative movement with respect to a region of 100 mm or more in the longitudinal direction of the starting glass pipe. 請求項１または２に記載のガラスパイプ加工方法であって、
前記発熱部の外側に設けた温度測定器を用い、前記発熱部に設けた空隙部を通して、前記出発ガラスパイプの外表面の温度を測定することを特徴とするガラスパイプ加工方法。 The glass pipe processing method according to claim 1 or 2,
A method for processing a glass pipe, comprising: measuring a temperature of an outer surface of the starting glass pipe through a gap provided in the heat generating portion using a temperature measuring device provided outside the heat generating portion. 請求項１から３の何れか１項に記載のガラスパイプ加工方法であって、
前記内付けまたは前記縮径を行う際に、前記ガラスパイプの最高温度の箇所から最高温度より３０℃低い温度となる箇所までの、前記出発ガラスパイプの長手方向に沿った距離を２０ｍｍ以上とすることを特徴とするガラスパイプ加工方法。 A glass pipe processing method according to any one of claims 1 to 3,
When performing the internal attachment or the diameter reduction, the distance along the longitudinal direction of the starting glass pipe from the location of the highest temperature of the glass pipe to the location where the temperature is 30 ° C. lower than the maximum temperature is 20 mm or more. The glass pipe processing method characterized by the above-mentioned. 請求項１から４の何れか１項に記載のガラスパイプ加工方法であって、
前記内付けまたは前記縮径を行う際に、前記相対移動の速度を１０ｍｍ／分以上とすることを特徴とするガラスパイプ加工方法。 The glass pipe processing method according to any one of claims 1 to 4,
A glass pipe processing method, wherein the relative movement speed is set to 10 mm / min or more when the internal attachment or the diameter reduction is performed. 請求項１から５の何れか１項に記載のガラスパイプ加工方法であって、
前記内付けまたは前記縮径を行う際に、前記出発ガラスパイプの円周方向における最高温度と最低温度との差を２００℃以下とすることを特徴とするガラスパイプ加工方法。 A glass pipe processing method according to any one of claims 1 to 5,
The glass pipe processing method, wherein the difference between the maximum temperature and the minimum temperature in the circumferential direction of the starting glass pipe is set to 200 ° C. or less when the internal attachment or the diameter reduction is performed. 請求項１から６の何れか１項に記載のガラスパイプ加工方法であって、
前記内付けまたは前記縮径を行う際に、前記出発ガラスパイプを、その中心軸回りに１０ｒｐｍ以上１５０ｒｐｍ以下の速度で回転させることを特徴とするガラスパイプ加工方法。 A glass pipe processing method according to any one of claims 1 to 6,
A glass pipe processing method characterized by rotating the starting glass pipe around its central axis at a speed of 10 rpm or more and 150 rpm or less when performing the internal attachment or the diameter reduction. 請求項１から７の何れか１項に記載のガラスパイプ加工方法であって、
前記内付けまたは前記縮径を行う際に、前記出発ガラスパイプの長手方向の１００ｍｍ以上の領域に対して、前記相対移動とともに前記出発ガラスパイプの外径を測定して、前記測定した外径に基づいて前記出発ガラスパイプの内側の圧力を少なくとも１回調節することを特徴とするガラスパイプ加工方法。 The glass pipe processing method according to any one of claims 1 to 7,
When performing the internal attachment or the diameter reduction, the outer diameter of the starting glass pipe is measured together with the relative movement with respect to a region of 100 mm or more in the longitudinal direction of the starting glass pipe, and the measured outer diameter is obtained. And adjusting the pressure inside the starting glass pipe at least once. 請求項８に記載のガラスパイプ加工方法であって、
前記外径の測定は、レーザ光式モニタ、ＣＣＤカメラ、Ｘ線カメラのうち何れか１つ以上の外径測定器を用いて行うことを特徴とするガラスパイプ加工方法。 The glass pipe processing method according to claim 8,
The method for processing a glass pipe, wherein the outer diameter is measured using one or more outer diameter measuring instruments among a laser beam monitor, a CCD camera, and an X-ray camera. 請求項８または９に記載のガラスパイプ加工方法であって、
前記外径の測定は、前記発熱部の外側に設けた外径測定器を用い、前記発熱部に設けた空隙部を通して行うことを特徴とするガラスパイプ加工方法。 The glass pipe processing method according to claim 8 or 9,
The method for processing a glass pipe is characterized in that the outer diameter is measured using an outer diameter measuring device provided outside the heat generating portion and through a gap provided in the heat generating portion. 請求項１から１０の何れか１項に記載のガラスパイプ加工方法であって、
前記内付けまたは前記縮径を行う際に、前記出発ガラスパイプの内側と外側の圧力差を、１５００Ｐａ以下に調節することを特徴とするガラスパイプ加工方法。 The glass pipe processing method according to any one of claims 1 to 10,
The glass pipe processing method characterized by adjusting a pressure difference between the inside and outside of the starting glass pipe to 1500 Pa or less when performing the internal attachment or the diameter reduction. 請求項１から１１の何れか１項に記載のガラスパイプ加工方法であって、
前記出発ガラスパイプの外径Ｏｄと前記発熱部の内径ＩＤの比ＩＤ／Ｏｄを、１．１〜５．０の範囲内に設定することを特徴とするガラスパイプ加工方法。 The glass pipe processing method according to any one of claims 1 to 11,
A method for processing a glass pipe, wherein a ratio ID / Od of an outer diameter Od of the starting glass pipe and an inner diameter ID of the heat generating portion is set within a range of 1.1 to 5.0. 請求項１から１２の何れか１項に記載のガラスパイプ加工方法を用いて加工され、外径の非円率が０．５％以下であることを特徴とするガラスパイプ。   A glass pipe processed using the glass pipe processing method according to any one of claims 1 to 12, wherein the non-circularity of the outer diameter is 0.5% or less. 被加熱体である出発ガラスパイプの周囲を円環状に囲む発熱部を備えた加熱炉と、
前記出発ガラスパイプの内側にガスを供給するガス供給部と、
前記出発ガラスパイプの内側からガスを排出するガス排出部と、
前記出発ガラスパイプと前記加熱炉とを前記出発ガラスパイプの長手方向に相対移動させる移動手段と、
前記発熱部と前記出発ガラスパイプのうち少なくとも一方の温度を測定する温度測定器と、
前記発熱部の発熱量を調節する発熱量調節手段とを備えていることを特徴とするガラスパイプ加工装置。 A heating furnace provided with a heat generating portion surrounding the periphery of the starting glass pipe, which is an object to be heated, in an annular shape;
A gas supply unit for supplying gas to the inside of the starting glass pipe;
A gas discharge unit for discharging gas from the inside of the starting glass pipe;
Moving means for relatively moving the starting glass pipe and the heating furnace in the longitudinal direction of the starting glass pipe;
A temperature measuring device for measuring the temperature of at least one of the heating part and the starting glass pipe;
A glass pipe processing apparatus comprising: a calorific value adjusting means for adjusting the calorific value of the heat generating part. 請求項１４に記載のガラスパイプ加工装置であって、
前記出発ガラスパイプの外径を測定する外径測定器と、
前記出発ガラスパイプの内側の圧力を調節する圧力調節手段とを備えていることを特徴とするガラスパイプ加工装置。 The glass pipe processing apparatus according to claim 14,
An outer diameter measuring device for measuring the outer diameter of the starting glass pipe;
A glass pipe processing apparatus comprising pressure adjusting means for adjusting the pressure inside the starting glass pipe. 請求項１４または１５に記載のガラスパイプ加工装置であって、
前記発熱部は、その内周側と外周側を貫通する空隙部を有することを特徴とするガラスパイプ加工装置。 The glass pipe processing apparatus according to claim 14 or 15,
The said heat generating part has a space | gap part which penetrates the inner peripheral side and outer peripheral side, The glass pipe processing apparatus characterized by the above-mentioned. 請求項１６に記載のガラスパイプ加工装置であって、
前記空隙部は、穴であって、
前記穴は、複数形成され、前記発熱部の同一長手方向または同一円周方向の何れにも並ばずに配置されていることを特徴とするガラスパイプ加工装置。 The glass pipe processing apparatus according to claim 16,
The gap is a hole,
A plurality of the holes are formed and arranged without being arranged in either the same longitudinal direction or the same circumferential direction of the heat generating portion. 請求項１６または１７に記載のガラスパイプ加工装置であって、
前記加熱炉は、前記発熱部の周囲に誘導コイルを備えた誘導加熱炉であり、
前記空隙部は、穴であって、
前記誘導コイルの内側に配置された前記穴の１つあたりの内周側開口面積は、１０００ｍｍ２以下であり、
前記誘導コイルの内側に配置された前記穴の内周側開口総面積は、前記誘導コイルの内側に位置する前記発熱部の内周側面積の５０％以下であることを特徴とするガラスパイプ加工装置。 The glass pipe processing apparatus according to claim 16 or 17,
The heating furnace is an induction heating furnace provided with an induction coil around the heat generating part,
The gap is a hole,
The inner peripheral side opening area per one of the holes arranged inside the induction coil is 1000 mm 2 or less,
Glass pipe processing characterized in that an inner peripheral side opening total area of the hole arranged inside the induction coil is 50% or less of an inner peripheral side area of the heat generating portion located inside the induction coil apparatus.
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EP04027678A EP1533283B1 (en) 2003-11-20 2004-11-22 Apparatus and method for processing a glass tube
DK04027678.4T DK1533283T3 (en) 2003-11-20 2004-11-22 Device and method for processing a glass tube
US12/622,056 US8024945B2 (en) 2003-11-20 2009-11-19 Glass tube processing apparatus
US12/789,111 US8015845B2 (en) 2003-11-20 2010-05-27 Glass tube processing method

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008540321A (en) * 2005-05-16 2008-11-20 ヘレウス クワルツグラス ゲーエムベーハー ウント コンパニー カーゲー Method for producing a quartz glass tube by stretching a hollow cylinder of quartz glass
CN112499957A (en) * 2020-12-18 2021-03-16 长飞光纤光缆股份有限公司 Multi-channel rotary chuck of PCVD lathe

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101134637B (en) * 2007-08-01 2010-09-01 江苏通力机电集团有限公司 Glass pipe heating furnace
FI123122B (en) * 2009-02-16 2012-11-15 Optogear Oy Plant for the production of glass material
NL1037164C2 (en) 2009-07-30 2011-02-02 Draka Comteq Bv METHOD FOR MANUFACTURING A PRIMARY FORM FOR OPTICAL FIBERS.
CN102476910A (en) 2010-11-23 2012-05-30 洛阳兰迪玻璃机器股份有限公司 Slit type vacuum glass sealing device
US20120312233A1 (en) * 2011-06-10 2012-12-13 Ge Yi Magnetically Enhanced Thin Film Coating Method and Apparatus
JP5486573B2 (en) * 2011-09-30 2014-05-07 株式会社フジクラ Optical fiber preform manufacturing method and optical fiber manufacturing method
DE102011116806A1 (en) * 2011-10-25 2013-04-25 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Method for producing a cylindrical glass component by elongation
US9119748B2 (en) * 2011-10-28 2015-09-01 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. Electronic discriminating device for body exudate detection
DE102012111974A1 (en) * 2012-12-07 2014-06-12 Blackcam 4D Gmbh Camera carriage and recording system
NL2012868B1 (en) * 2014-05-22 2016-03-15 Draka Comteq Bv A method for manufacturing an optical preform.
KR102233643B1 (en) * 2014-06-17 2021-04-01 헤래우스 쿼츠 노쓰 아메리카 엘엘씨 Apparatus and method for measurement of transparent cylindrical articles
CN104710106B (en) * 2015-03-09 2017-12-12 烽火通信科技股份有限公司 A kind of induction furnace for preform collapsing
CA3057618A1 (en) * 2017-03-24 2018-09-27 Corning Incorporated Systems and methods for measuring the temperature of glass during tube conversion
CN108330470A (en) * 2018-04-16 2018-07-27 福建闽烯科技有限公司 The chemical vapor depsotition equipment of single heating system multi-reaction chamber
CN108516668B (en) * 2018-04-28 2021-03-16 中国建筑材料科学研究总院有限公司 Secondary drawing device and method for glass tube
NL2020974B1 (en) * 2018-05-23 2019-12-02 Draka Comteq Bv A device, system and method for forming a core rod for optical fibers
EP3643687B1 (en) * 2018-10-26 2022-11-30 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Method and device for homogenisation of glass
EP3643688B1 (en) 2018-10-26 2022-12-14 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Method for homogenising glass
CN115304254B (en) * 2021-12-06 2023-05-09 苏州东辉光学有限公司 Wire drawing furnace for manufacturing cylindrical lens
CN114486542B (en) * 2021-12-28 2024-01-12 安徽云蒙仪表有限公司 Glass tube detection device for glass tube liquid level meter

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61222934A (en) * 1985-03-19 1986-10-03 Fujitsu Ltd Production of optical fiber preform
JPS62162632A (en) * 1986-01-14 1987-07-18 Sumitomo Electric Ind Ltd Working of glass pipe
JPH03242342A (en) * 1990-02-19 1991-10-29 Furukawa Electric Co Ltd:The Production of preform for optical fiber
JPH0426522A (en) * 1990-05-22 1992-01-29 Asahi Glass Co Ltd Production of synthetic quartz glass tube
JP2002531366A (en) * 1998-12-10 2002-09-24 ヘレウス・クアルツグラース・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー・コマンディット・ゲゼルシャフト Method for producing tubes made of vitreous material, in particular quartz glass
JP2003238177A (en) * 2002-02-15 2003-08-27 Sumitomo Electric Ind Ltd Method and apparatus for manufacturing quartz pipe
JP2005119916A (en) * 2003-10-17 2005-05-12 Sumitomo Electric Ind Ltd Method and apparatus for manufacturing glass article

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52121341A (en) * 1976-04-06 1977-10-12 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Production of optical fiber base materials and production apparatus fo r the same
JPS6024058B2 (en) * 1977-11-15 1985-06-11 日本電信電話株式会社 Optical fiber preform manufacturing equipment
JPS593943B2 (en) * 1981-06-03 1984-01-26 日本電信電話株式会社 Temperature control method during glass production using MCVD method
JPS59131533A (en) * 1983-01-14 1984-07-28 Furukawa Electric Co Ltd:The Temperature control in optical glass production
IT1168839B (en) * 1983-09-15 1987-05-20 Cselt Centro Studi Lab Telecom PROCESS AND EQUIPMENT FOR THE PRODUCTION OF PREFORMS FOR OPTICAL FIBERS WITH HIGH SPEED OF DEPOSITION
US5203691A (en) * 1988-08-30 1993-04-20 At&T Bell Laboratories Torch assembly for heating glassy tubes
FR2677972B1 (en) * 1991-06-21 1996-12-06 France Telecom METHOD FOR MANUFACTURING PREFORMS FOR OPTICAL FIBERS AND DEVICE FOR CARRYING OUT SAID METHOD.
DE19536960A1 (en) * 1995-10-04 1996-03-21 Heraeus Quarzglas Long glass component prodn. by drawing process
JP3242342B2 (en) 1997-02-12 2001-12-25 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション Power supply control apparatus and method
KR100306381B1 (en) * 1998-12-10 2001-11-30 윤종용 Apparatus and method for manufacturing optical fiber matrix for condensation and closing of deposition tubes
US6502427B1 (en) * 2000-10-31 2003-01-07 Alcatel Method and apparatus for controlling an outside diameter of a preform bait tube during a glass layer deposition process
AU2002367308A1 (en) * 2001-12-21 2003-07-24 Fibercore, Inc. Method for offline collapsing a preform
JP4062410B2 (en) * 2002-01-30 2008-03-19 住友電気工業株式会社 Manufacturing method and manufacturing apparatus for glass pipe for optical fiber
JP2003321238A (en) 2002-04-30 2003-11-11 Fujikura Ltd Method and apparatus for producing optical fiber preform
US20050103057A1 (en) * 2002-09-03 2005-05-19 Byung-Yoon Kang Method for making optical fiber preform having ultimately low pmd through improvement of ovality

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61222934A (en) * 1985-03-19 1986-10-03 Fujitsu Ltd Production of optical fiber preform
JPS62162632A (en) * 1986-01-14 1987-07-18 Sumitomo Electric Ind Ltd Working of glass pipe
JPH03242342A (en) * 1990-02-19 1991-10-29 Furukawa Electric Co Ltd:The Production of preform for optical fiber
JPH0426522A (en) * 1990-05-22 1992-01-29 Asahi Glass Co Ltd Production of synthetic quartz glass tube
JP2002531366A (en) * 1998-12-10 2002-09-24 ヘレウス・クアルツグラース・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー・コマンディット・ゲゼルシャフト Method for producing tubes made of vitreous material, in particular quartz glass
JP2003238177A (en) * 2002-02-15 2003-08-27 Sumitomo Electric Ind Ltd Method and apparatus for manufacturing quartz pipe
JP2005119916A (en) * 2003-10-17 2005-05-12 Sumitomo Electric Ind Ltd Method and apparatus for manufacturing glass article

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008540321A (en) * 2005-05-16 2008-11-20 ヘレウス クワルツグラス ゲーエムベーハー ウント コンパニー カーゲー Method for producing a quartz glass tube by stretching a hollow cylinder of quartz glass
CN112499957A (en) * 2020-12-18 2021-03-16 长飞光纤光缆股份有限公司 Multi-channel rotary chuck of PCVD lathe

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