JP2005148071A - 3次元位置測定センサー - Google Patents

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Abstract

【課題】 簡単な構造で傾斜角および回転角が調節されて測定対象物体の位置を容易に把握できる3次元位置測定センサーを提供する。
【解決手段】 固定軸22を中心として独立的に回転可能な第1回転板24aおよび第2回転板24bと、前記第2回転板中心部の固定軸内に形成されたカメラ32と、前記第1回転板上に固設されたミラー支持部により支持され、前記カメラの上方に形成されたミラー部31と、前記第1回転板上に固設された光源支持部により支持され、前記ミラー部と前記第2回転板との間に形成された1つ以上の光源33a、33bと、前記第2回転板上に形成されたマーク支持部により支持され、前記ミラー部と前記第2回転板との間に形成されたマーク部34と、前記第2回転板の外周面に形成され、前記ミラー部の傾斜角を変更させるギア部27と、を含む3次元位置測定センサー。
【選択図】 図2A

Description

本発明は、3次元位置測定センサーおよびその測定方法に係り、より詳細には、簡単な構造で測定対象の位置およびセンサーから測定対象までの距離を容易に測定できる3次元位置測定センサーおよびその測定方法に関する。
従来から、基準位置を設定し、測定対象物体の方位および測定対象物体までの距離で表現されるその測定対象物体の位置を測定するためのさまざまな装置および方法が開発されてきた。その多くは最も基本的な3角法原理に基づいて、その測定装置を具現したものであって、それぞれの長所と短所がある。最近、家庭用移動ロボットや高速化されたモバイル装置の開発に伴い、このような位置測定装置特に位置測定の結果が即座に得られるシステムの重要性が高まっている。
基準位置(すなわち位置測定センサー)からの測定対象物体の位置は、3つの変数により表現することができる。これを図1を参照して説明する。位置測定センサーを基準点Oとすれば、測定対象物体Aは、xy平面でx軸を基準とした方位角Φと、xy平面を基準としてz軸方向への傾斜を示した傾斜角Ψとの2つの変数で対象物体Aの方向を表現することができる。さらに、第3の変数として基準点Oから測定対象物体Aまでの距離rを決定すれば、測定対象物体Aの座標を示すことができる。このような位置変数(Φ、Ψおよびr)はそれぞれ別個独立に、または全て一緒に変わることがあり、その正確な情報を得ることは多様な分野において極めて重要な問題となっている。
従来の位置測定装置とそれに付随する装置を説明すれば、次のようである。従来の位置測定装置を2種に大別すれば、第1に、距離測定器またはカメラが直接上下左右に回転しながら測定する方式と、第2に、鏡により反射されたビームを利用して測定する方式と、がある。
前記第1の方式を利用した装置は、距離測定器またはカメラを直接駆動させなければならないので、比較的大きな動力を生成する駆動部を必要とし、移動する対象物体の位置を測定する時に高速回転させるのが困難であった。具体的例として、次のような技術が公知である。特許文献1(Canon社による米国意匠特許、2002年)は、距離測定器またはカメラの傾斜角および方位角の制御軸に駆動器が直接付いており、方位角および傾斜角測定のための駆動が独立的に行われる。しかし、このような形態のカメラは一般に無限回転(360°を超えた回転動作)が難しいという短所がある。特許文献2は、方位角および傾斜角が独立的に制御され、スリップリングにより方位角が無限回転可能とされている。しかし、スリップリングを利用してアナログ信号を伝達する場合、信号の歪曲が発生するという問題がある。特許文献3では、方位角と傾斜角を1つのモーターを利用して制御する構造を開示しているが、方位角と傾斜角を任意の位置に制御できないという問題がある。
前記第2の方式を利用した装置は、鏡を駆動して測定対象物体の方向(方位角および傾斜角)および距離を測定するものであって、駆動される部分が小さいので、移動する測定対象物体の位置を測定するのに比較的容易な形態である。具体的に、例えば、特許文献4は、2つのモーターで方位角および傾斜角を独立的に制御できる位置測定装置を開示するものである。しかし、特殊なチェーンを使用しなければならないので、小型化が困難である。
このような従来技術による位置測定センサーの問題点を整理すれば、次のようである。
第1に、方位角および傾斜角などの方向角を測定するための装置が装着されるプラットホームの限界により、方向角、すなわち回転角が0°〜360°の範囲でのみ変化し、それ以上の回転をする移動物体の位置測定には無理がある。
第2に、方位角と傾斜角が相互に従属しており、独立に設定できない状態で測定しなければならない装置では任意の方向にある測定対象物体までの距離を正確に測定できないという問題がある。
第3に、360°すべての方向の領域を可視圏に置くために全方向鏡を使用するシステムの場合、このような全方向画面がカメラに投影されるので、カメラが処理しなければならない領域が広くなり、結果として撮像した画像の解像度が低くなるという問題がある。
米国意匠特許第D474489号図面およびその説明 米国特許第6,479,813号明細書 米国特許第4,886,330号明細書 米国特許第4,945,459号明細書
本発明では従来技術の問題点を解決するために、方位角および傾斜角などの方向角を測定するための装置を独立的に調節でき、高速で移動する物体に対して距離を容易に測定できる3次元位置測定センサーおよびその測定方法を提供することを目的とする。
本発明では前記目的を解決するために、3次元位置測定センサーにおいて、固定軸を中心として独立的に回転可能な第1回転板および第2回転板と、前記第2回転板の中心部の固定軸内に形成されたカメラと、前記第1回転板上に固設されたミラー支持部により支持されて、前記カメラの上方に形成されたミラー部と、前記第1回転板上に固設された光源支持部により支持され、前記ミラー部と前記第2回転板との間に形成された1つ以上の光源と、前記第2回転板上に形成されたマーク支持部により支持され、前記ミラー部と前記第2回転板との間に形成されたマーク部と、前記第2回転板の外周面に形成され、前記ミラー部の傾斜角を変更させるギア部と、を含む3次元位置測定センサーを提供する。
本発明において、好ましくは、前記第1回転板および前記第2回転板は前記固定軸と軸受ギアにより連結されて独立的に回転することを特徴とする。
本発明において、好ましくは、前記第1回転板および前記第2回転板はそれぞれ第1モーターおよび第2モーターの動力伝達部と噛合して、前記第1モーターおよび前記第2モーターの駆動により回転することを特徴とする。
本発明において、好ましくは、前記固定軸の一端部に形成され、前記第1モーターが設置された第1固定板と、前記第1回転板と前記第2回転板との間に形成され、前記第2モーターが設置された第2固定板と、をさらに含むことを特徴とする。
本発明において、好ましくは、前記第1回転板および前記第2回転板は前記固定軸との連結部位に設置された、コイル、磁石および軸受を含むスピンドルモーターにより独立的に回転することを特徴とする。
本発明において、好ましくは、前記ミラー支持部は前記第1回転板の上部の両側部で垂直方向に固設された2個のミラー支持台と、前記2個のミラー支持台と軸受により回動可能に連結されて、前記ミラー部を水平方向に支持するミラー回転軸と、前記ミラー回転軸に形成され、前記ギア部と噛合して前記ギア部の回転により前記ミラー回転軸を回転させて、前記ミラー部の傾斜角を変化させるミラー回転体と、を含むことを特徴とする。
本発明において、好ましくは、前記光源支持部は前記第1回転板上の一側部で垂直方向に固設された光源支持台と、前記光源支持台の端部と連結されて前記ミラー部と前記第2回転板との間に水平方向に延設された光源支持板と、を含むことを特徴とする。
本発明において、好ましくは、前記光源は前記ミラー部と前記第2回転板との間の光源支持板上に形成されたことを特徴とする。
本発明において、好ましくは、前記マーク支持部は前記第2回転板上の一側部で垂直方向に固設されたマーク支持台と、前記マーク支持台の端部と連結されて、前記ミラー部と前記第2回転板との間に延設されたマーク支持板と、を含むことを特徴とする。
本発明において、好ましくは、前記マーク部は前記マーク支持板の端部に形成されたことを特徴とする。
本発明において、好ましくは、前記ギア部は前記第2回転板の外周面の一部に形成されたクラウンギアであることを特徴とする。
本発明によれば、比較的簡単な構造を有する3次元位置測定センサーによって、方位角および回転角が独立的に調節可能であり、測定対象物体の位置を容易に検出できる。また、本発明による3次元位置測定センサーを移動装置(すなわち家庭用ロボットまたは交通手段など)に装着して相対的な測定対象物体の座標値を容易に検出できる。
以下、図面を参照して本発明による3次元位置測定センサーについてより詳細に説明する。
図2Aは、本発明による3次元位置測定センサーの一実施例(第1実施例)を示す斜視図である。図2Bは、本発明による3次元位置測定センサーの第2実施例を示す斜視図であり、図2Cおよび図2Dは、図2Bの正面図および側面図である。本発明による3次元位置測定センサーは、図2Aおよび図2Bに示すように、位置測定対象物体に光を照射してその対象物体の表面から反射された映像を測定する測定部および前記測定部を駆動する駆動部に分けられる。前記測定部は、対象物体に光を照射する2つの光源(第1光源33aおよび第2光源33b)と、光を対象物体方向に反射させるミラー部31と、対象物体から反射されてミラー部31に映る映像を撮像するカメラ32と、を含む。そして、前記駆動部は、ミラー部31を支持するミラー支持部(ミラー支持台25など)と、第1光源および第2光源をそれぞれ支持する第1光源支持部29aおよび第2光源支持部29bと、前記光源33a、33b、ミラー部31などを対象物体方向に向くように水平方向回転させる第1回転板24aおよび第2回転板24bと、を含む。また、前記ミラー支持部は、前記第1回転板24aの上部の両側部で垂直方向に固設された一対のミラー支持台25のほかに、前記一対のミラー支持台25と軸受により回動可能に連結されて、前記ミラー部を水平方向に支持するミラー回転軸26aと、前記ミラー回転軸26a上に形成され、前記ミラー回転軸26aを回転させて前記ミラー部の傾斜角を変化させるミラー回転体26bと、を含む。
図2Aないし図2Dを参照して、本発明による位置測定センサーの駆動部について説明する。固定軸22を中心として独立的に回転可能な第1回転板24aおよび第2回転板24bが形成されている。第1回転板24aおよび第2回転板24bは固定軸22と軸受で連結されており、それぞれ別途の駆動源を有している。
第1回転板24aは第2回転板24bより広い面積を有している。第1回転板24a上面にはミラー部31を支持するためのミラー支持部(25、26a)が形成されている。ミラー支持部(25、26a)には、第1回転板24a上面の両側の対向する側部(周縁部)に形成され、固定軸22と平行した垂直方向に形成された2つのミラー支持台25と、2つのミラー支持台25の端部と連結されて、ミラー部31を支持するミラー回転軸26aと、が含まれる。ここで、ミラー支持台25は第1回転板24aの上部側面で垂直方向に形成され、第2回転板24bの上方に延びている。したがって、ミラー回転軸26aにより支持されるミラー部31は第2回転板24bから所定間隔をおいて上方に懸架されている構造となる。
第1回転板24aの上面周縁部のミラー支持台25が形成されていない部位には本発明による3次元位置測定センサーの光源33aおよび33bを支持する光源支持部29aおよび29bが固定されている。本発明による3次元位置測定センサーの光源は1つ以上を使用でき、ここでは光源が2つである場合を仮定する。光源支持部29aおよび29bは第1回転板24a上面の一側部に垂直方向に形成された光源支持台と、光源支持台の端部と連結され、第2回転板24bとミラー部31との間に延びて水平方向に形成された光源支持板とを含む。光源支持台はミラー支持台25より長さを短くしつつも第2回転板24bと第1回転板24aの間隔よりは長く形成することで、光源支持板を第2回転板24bとミラー部31との間に挿入させて配置する。
第2回転板24b上面の一側部(周縁部)にはマーク支持部28が形成されている。マーク支持部28は、光源支持部29aおよび29bと同様に、垂直方向に形成されたマーク支持軸と、マーク支持軸の端部から水平方向にミラー部31および第2回転板24b間に延びているマーク支持板とを含んで形成される。マーク支持板は第2回転板24b上面の周辺部から径方向に中心に向かって延びて形成されるが、第2回転板24bの中心部に及ばない長さで形成される。すなわち、ミラー部31の下方に位置するが、光源33a、33bの光源支持板の長さより短く形成れているので、図2Dの側面図に示すように、ミラー部31が回転してもぶつからないようその一部分にのみ重ならせた。
第2回転板24bの上面の一側部にはギア部27が形成されている。ギア部27は前記ミラー部31の傾斜角を調節するためのものであって、ミラー回転軸26aの端部(片方のミラー支持部25近傍)に形成されたミラー回転体26bを回転させることによって、ミラー回転軸26aを介してミラー部31を回転させる。この時、ギア部27とミラー回転体26bは相互に噛合して動力を伝達するものである。本実施例では、ギア部27は、第2回転板24bの外周面にクラウンギア状に形成されたものとしている。
ここで、第1回転板24aおよび第2回転板24bは独立的に回転可能であると記述した。図2Bないし図2Dでは、第1回転板24aおよび第2回転板24bを回転させるための駆動源として、方位角制御モーター(第1モーター23a)および傾斜角制御モーター(第2モーター23b)を導入した実施例を示してある。しかし、このために別途のモーターおよび固定板を導入せずに、米国公開特許第2003−6653号に開示されたような一般的に公知のスピンドルモーターなどを使用することもできる。この場合、固定軸22およびそれを取り囲む第1回転板24aおよび第2回転板24bの中心部位にコイル、磁石および軸受を含むスピンドルモーターを設置する。したがって、この場合、別途の第1固定板21a、第2固定板21bなどは形成しなくても良いことになる。
図2Bは、モーターを別途の固定板により固定した実施例を示すものである。そこで、図2Bないし図2Dでは、これらを駆動させるための第1モーター23aおよび第2モーター23bを具備した例を示す。第1モーター23aは固定軸22の下部に固定された第1固定板21a上に形成されて第1回転板24aに動力を伝達させる。そのために、第1モーター23aの動力伝達部と第1回転板24aとは相互にギアが噛合するように形成されている。そして、第2回転板24bを回転させるために第2モーター23bを導入する。第2モーター23bは第1回転板24aの上部で固定軸22に固設された第2固定板21b上に設置されている。第2モーター23bの動力伝達部と第2回転板24bのギアとが噛合して回転する。
ここで、機能上、第1モーター23aは方位角制御モーターとして、第2モーター23bは傾斜角制御モーターとして機能することができる。すなわち、方位角制御モーターである第1モーター23aは光源33aおよび33bとミラー部31を測定対象物体方向に回転させて方位角の測定を可能にする。傾斜角制御モーターである第2モーター23bは前記第2回転板24bを回転させて、ミラー部31の傾斜角、すなわち傾斜を調節することができる。これについての詳細なる説明は後述する。
以下、本発明による測定部について図2Aないし図2Dを参照して詳細に説明する。
第3固定板21c(図2D参照)と結合された固定軸22の中心部位にはカメラ32(図2B参照)が形成されている。カメラ32は固定軸22内部に形成され、ミラー部31により反射された測定対象物体の映像を受け入れる。第1回転板24aに固定されて第3固定板21c上方に延長された第1光源支持部29aおよび第2光源支持部29b上には第1光源33aおよび第2光源33bが形成されている。また、第2回転板24b上には、マーク支持部28が固設されている。マーク支持部28の前記第2回転板24b上方に平行に延びた部分にはマーク部34が形成されている。
光源33aおよび33bは一般的に使われる光源であれば適用可能であり、具体的には発光ダイオード(LED:Light-Emitting Diode)などを使うことができる。光源33aおよび33bから光を放出させるために、光源支持部29aおよび29bと、光源支持部29aおよび29bに接続された第1回転板24aおよび第2固定支持台21bの連結部品には、電極(図示せず)が形成されている。ミラー部31はミラー回転軸26aの中心部位に連結されている。ミラー部31は、カメラ32、第1および第2光源33aおよび33bとマーク部34の上方に位置する。マーク部34は傾斜角を決定するためのものである。マーク部34の位置はミラー部31の片側下部に位置させ、カメラ32により位置測定対象物体の映像が撮影される画面の周辺部に像を結ばせることが望ましい。
以下、本発明による3次元位置測定センサーの一実施例の動作について説明する。初期の基準位置で測定対象物体の方向にミラー部31を回転させるために、次のような作動をする。まず、第1モーター(方位角制御モーター)23aを駆動させると、第1回転板24aが回転する。これにより、ミラー支持台25が回転し、ミラー回転軸26aが回転しつつミラー部31も共に回転する。そして、第1光源支持部29aおよび第2光源支持部29bも回転しつつ第1光源33aおよび第2光源33bも共に回転する。このようにして、方位角を制御することができる。これは測定対象物体の位置によってミラー部31、第1光源33aおよび第2光源33bの方向を変更させることができることを意味し、前記図1のΦを決定できることを意味する。
第2モーター(傾斜角制御モーター)23bを駆動させると、第2回転板24bが回転する。これにより、クラウンギア27が回転しつつ、ミラー回転体26bを回転させ、ミラー部31を回転させて傾斜角を変更させることができる。この時、マーク部34の位置もこれにより変化する。これは図1のΨを決定できることを意味する。
以下、本発明による3次元位置測定センサーの一実施例による対象物体の位置を測定する原理(方法)について説明する。図3Aは、本発明による位置測定センサーにより対象物体に光を照射し、その映像を得るプロセスを示した概略図であり、図3Bは、対象物体に光を照射して獲得した映像を示した図面である。
本発明による3次元位置測定センサーの位置を基準位置と想定する。図3Aを参照すれば、測定対象物体Mに向かうように測定部の傾斜角を変更した後、光源33aおよび33bから光を放出する。放出した光がミラー部31により反射されて対象物体Mに向かって照射される。対象物体Mで反射された映像はさらにミラー部31を通じてカメラ32により撮影される。これを示した映像が図3Bである。この時、前記対象物体Mの映像を得るために、本発明による3次元位置測定センサーの第1モーター23aを駆動してミラー部31、第1および第2光源33aおよび33bを対象物体Mの方向に回転させる。これは方位角を求めるためである。そして、第2モーター23bを駆動して、ミラー部31の傾斜を対象物体Mで反射された映像とマーク部34の映像とが、両方とも、ミラー部31を経てカメラ32に結ばれるように調整する。これは傾斜角を求めるためである。
以下、基準位置(位置測定センサー)からの対象物体の方位角および傾斜角を決定する方法を、図3Cを参照して具体的に説明すれば、次のようである。ここでは図2Bの第2実施例を基準として説明する。
対象物体の位置の基準位置に対する方位角は下記数式1により表すことができる。
Figure 2005148071
ここで、θ1は、第1モーター23aの回転軸の回転角度を示し、aは、ギア比による定数である。G1は、第1モーター23a軸のピニオンギアの歯の数を示し、G11は、第1回転板24a側面に形成されたピニオンギアの歯の数を示す。
そして、傾斜角は下記数式2により表すことができる。
Figure 2005148071
ここで、θ2は、第2モーター23bの回転軸の回転角度を示し、bおよびcは、ギア比による定数である。これにより、対象物体をミラー部31を通じてカメラ32で撮影した映像を解析する。
図3Bを参照すれば、Xcは、カメラ32の映像の中央を示す点である。X1は、本発明による3次元位置測定センサーの第1光源33aから放出した光がミラー部31を通じて対象物体から反射されてカメラ32に結ばれた点である。そして、X2は、第2光源33bから放出した光がミラー部31を通じて対象物体に反射されてカメラ32に結ばれた点を示す。PSD(Position Sensing Detector)の原理を利用して前記映像を解析すれば、次のようになる。
第1光源33aから対象物体までの距離はPSDの原理によりr1に反比例した値と求められる。そして、第2光源から対象物体までの距離はPSDの原理によりr2に反比例した値と求められる。方位角φは2つの点X1およびX2を連結する線分が水平線となす角であるαと求められる。これを図3Cを参照して具体的に示せば、下記式3のようになる。
Figure 2005148071
そして、傾斜角ψは下記数式4で表される。
Figure 2005148071
ここで、dは、ギア比による定数項である。βは、X1とX2を連結する直線上のXcでX1とX2を連結する直線との法線を設定し、傾斜角マーク部34により結ばれる点であるXsと前記Xcとを連結する直線を設定し、その間の角度を示したものである。これを前記数式2および図3Cを参照して整理すれば、下記数式5のようになる。
Figure 2005148071
ここで、θ1は、第1モーター23aの回転角度を示し、φ1は、第1回転板24aの回転角度、すなわち方位角を示す。φ2は、第2回転板24bの回転角度を示し、θ2は、第2モーター23bの回転角度を示す。G2は、第2モーター23bに形成されたピニオンギアの歯の数を示し、G21は、第2回転板24bの回転板の側面に形成されたピニオンギアの歯の数を示す。そして、G3は、第2回転板24b側上面に形成されたクラウンギア27の歯の数を示し、G31は、ミラー回転体26bに固定されたピニオンギアの歯の数を示す。ここで、ギア比を示すbおよびcは定数項になる。
これによって本発明による3次元測定センサーを基準として対象物体の位置を決定する位置関数の距離r、方位角φおよび傾斜角ψを決定できる。
前記説明で多くの事項が具体的に記載されているが、これらは発明の範囲を限定するものではなく、望ましい実施例の例示として解釈されねばならない。本発明の範囲は説明された実施例によって定められるのではなく、特許請求の範囲に記載された技術的思想により定められねばならない。
本発明は3次元位置測定センサーおよびその測定方法に関する技術である。簡単な構造でセンサーから見た測定対象の位置およびセンサーから測定対象までの距離を容易に測定できる3次元位置測定センサーおよびその測定方法に利用可能である。
基準点(測定センサー)から測定対象物体の(方位角、傾斜角などの)方向角および距離を示した座標系である。 本発明による3次元位置測定センサーの第1実施例を示す斜視図である。 本発明による3次元位置測定センサーの第2実施例を示す斜視図である。 図2Bに示す第2実施例に係る3次元位置測定センサーの正面図である。 図2Bに示す第2実施例に係る3次元位置測定センサーの側面図である。 本発明による3次元位置測定センサーにより測定対象Mに光を照射して映像を獲得するプロセスを示す概略図である。 本発明による3次元位置測定センサーにより得た測定対象の位置分析のための映像を示す図面である。 本発明による3次元位置測定センサーにより得た測定対象の位置を分析するための変数を説明するための図面である。
符号の説明
20 位置測定センサー
21a 第1固定板
21b 第2固定板
21c 第3固定板
22 固定軸
23a 第1モーター(方位角制御モーター)
23b 第2モーター(傾斜角制御モーター)
24a 第1回転板
24b 第2回転板
25 ミラー支持台
26a ミラー回転軸
26b ミラー回転体(ピニオンギア)
27 ギア部(クラウンギア)
28 マーク支持部
29a 第1光源支持部
29b 第2光源支持部
31 ミラー部
32 カメラ
33a 第1光源
33b 第2光源
34 マーク部

Claims (11)

  1. 3次元位置測定センサーにおいて、
    固定軸を中心として独立的に回転可能な第1回転板および第2回転板と、
    前記第2回転板中心部の固定軸内に形成されたカメラと、
    前記第1回転板上に固設されたミラー支持部により支持され、前記カメラの上方に形成されたミラー部と、
    前記第1回転板上に固設された光源支持部により支持され、前記ミラー部と前記第2回転板との間に形成された1つ以上の光源と、
    前記第2回転板上に形成されたマーク支持部により支持され、前記ミラー部と前記第2回転板との間に形成されたマーク部と、
    前記第2回転板の外周面に形成され、前記ミラー部の傾斜角を変更させるギア部と、を含むことを特徴とする3次元位置測定センサー。
  2. 前記第1回転板および前記第2回転板は、前記固定軸と軸受ギアとにより連結されて独立的に回転することを特徴とする請求項1に記載の3次元位置測定センサー。
  3. 前記第1回転板および前記第2回転板はそれぞれ第1モーターおよび第2モーターの動力伝達部と噛合して、前記第1モーターおよび前記第2モーターの駆動により回転することを特徴とする請求項2に記載の3次元位置測定センサー。
  4. 前記固定軸の一端部に形成され、前記第1モーターが設置された第1固定板と、
    前記第1回転板と前記第2回転板との間に形成され、前記第2モーターが設置された第2固定板と、をさらに含むことを特徴とする請求項3に記載の3次元位置測定センサー。
  5. 前記第1回転板および前記第2回転板は、前記固定軸との連結部位に設置された、コイル、磁石および軸受を含むスピンドルモーターにより独立的に回転することを特徴とする請求項2に記載の3次元位置測定センサー。
  6. 前記ミラー支持部は、
    前記第1回転板の上部の両側部で垂直方向に固設された2個のミラー支持台と、
    前記2個のミラー支持台と軸受により回動可能に連結されて、前記ミラー部を水平方向に支持するミラー回転軸と、
    前記ミラー回転軸に形成され、前記ギア部と噛合して、前記ギア部の回転により前記ミラー回転軸を回転させて前記ミラー部の傾斜角を変化させるミラー回転体と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の3次元位置測定センサー。
  7. 前記光源支持部は、
    前記第1回転板上の一側部で垂直方向に固設された光源支持台と、
    前記光源支持台の端部と連結されて前記ミラー部と前記第2回転板との間に水平方向に延設された光源支持板と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の3次元位置測定センサー。
  8. 前記光源は、
    前記ミラー部と前記第2回転板との間の光源支持板上に形成されたことを特徴とする請求項7に記載の3次元位置測定センサー。
  9. 前記マーク支持部は、
    前記第2回転板上の一側部で垂直方向に固設されたマーク支持台と、
    前記マーク支持台の端部と連結されて、前記ミラー部と前記第2回転板との間に延設されたマーク支持板と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の3次元位置測定センサー。
  10. 前記マーク部は前記マーク支持板の端部に形成されたことを特徴とする請求項9に記載の3次元位置測定センサー。
  11. 前記ギア部は前記第2回転板の外周面の一部に形成されたクラウンギアであることを特徴とする請求項1に記載の3次元位置測定センサー。


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