JP2005145015A - Functional liquid supply tube, functional liquid supply mechanism equipped with it and functional liquid drop discharge apparatus, manufacturing method of electro-optical apparatus, electro-optical apparatus and electronic device - Google Patents

Functional liquid supply tube, functional liquid supply mechanism equipped with it and functional liquid drop discharge apparatus, manufacturing method of electro-optical apparatus, electro-optical apparatus and electronic device Download PDF

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貞治 小森
Toshimasa Mori
俊正 森
Hirokazu Yanagihara
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a functional liquid supply tube which is stable toward organic solvents without damaging air impermeability and waterproofing property, functional liquid supply mechanism equipped with this tube, a functional liquid drop discharge apparatus and a manufacturing method of an electro-optical apparatus, an electro-optical apparatus and an electronic device. <P>SOLUTION: The functional liquid supply tube 52 constitutes a flow path for functional liquid containing organic solvents as its solvent. The tube further comprises an inner-area layer member 54 in the innermost layer which is resistant to organic solvent and impermeable to air in the direction of the cross-section and an outer-area layer member 55 in the outermost layer having waterproofing property. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、例えば有機ＥＬ装置の発光材等を主成分とし、有機溶剤を溶媒とする機能液の流路を構成する機能液供給チューブおよびこれを備えた機能液供給機構、並びに機能液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器、に関するものである。   The present invention provides, for example, a functional liquid supply tube that constitutes a flow path of a functional liquid mainly composed of a light emitting material of an organic EL device, and an organic solvent as a solvent, a functional liquid supply mechanism including the functional liquid supply tube, and a functional liquid droplet discharge The present invention relates to a device, an electro-optical device manufacturing method, an electro-optical device, and an electronic apparatus.

従来、水系のインクを用いたインクジェット記録装置のインク供給チューブにおいて、気体非透過性の中間積層材に対し、疎水性の素材に接着剤を混練した内面積層材と、同じく疎水性の素材に接着剤を混練した外面積層材と、を挟むように接着して積層させた構造をとるものが知られている。内面積層材および外面積層材の材質の例としてポリエチレンが挙げられている。
このインク供給チューブは、中間積層材が酸素の透過を遮断してインクの酸化を防ぐとともに、内面積層材および外面積層材が周囲エアーの湿気の混入を防止し、内面積層材および外面積層材に接着剤を混練して各層間の剥離を防ぎ屈曲耐久性を高める構成になっている（例えば、特許文献１参照）。
特開平１０−２７８２８９号公報 Conventionally, in an ink supply tube of an ink jet recording apparatus using water-based ink, an inner laminate material obtained by kneading an adhesive with a hydrophobic material is bonded to a gas-impermeable intermediate laminate material, and also adhered to a hydrophobic material. An outer area layer material in which an agent is kneaded is known to have a structure in which it is bonded and laminated so as to sandwich it. As an example of the material of the inner surface laminated material and the outer area layer material, polyethylene is cited.
In this ink supply tube, the intermediate laminate material blocks the permeation of oxygen to prevent ink oxidation, and the inner surface laminate material and the outer area layer material prevent moisture from surrounding air from being mixed into the inner surface laminate material and the outer area layer material. Adhesives are kneaded to prevent peeling between the layers and to increase bending durability (for example, see Patent Document 1).
Japanese Patent Laid-Open No. 10-278289

ところで、有機ＥＬ装置の発光層を形成する機能液はＥＬ発光材料を有機溶剤に溶かしたものも存在し、この機能液の流路として上記従来のインク供給チューブを用いると、機能液が直接接触する内面積層材が膨潤するため流路抵抗（圧力損失）が変化し、そのまま用いることができない問題がある。また、内面積層材および外面積層材に接着剤を混練することにより、物性が変化して本来の防水性が発揮できない問題がある。さらに、ポリエチレンは成形収縮率が大きいため、複数の薄層で積層する構造では薄く成形された部分の防水性が損なわれる（シール切れをおこす）問題がある。   By the way, there is a functional liquid for forming a light emitting layer of an organic EL device in which an EL light emitting material is dissolved in an organic solvent. When the conventional ink supply tube is used as a flow path for the functional liquid, the functional liquid is in direct contact. Since the inner laminated material that swells swells, the flow resistance (pressure loss) changes, and there is a problem that it cannot be used as it is. In addition, there is a problem that the original waterproofness cannot be exhibited by kneading an adhesive into the inner surface laminated material and the outer area layer material due to a change in physical properties. Furthermore, since polyethylene has a large molding shrinkage ratio, there is a problem that the waterproof property of a thinly molded portion is impaired (causes a seal breakage) in a structure in which a plurality of thin layers are laminated.

本発明は、有機溶剤に対し安定であって、気体非透過性および防水性を損なうことがない機能液供給チューブおよびこれを備えた機能液供給機構、並びに機能液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題としている。   The present invention relates to a functional liquid supply tube that is stable to an organic solvent and does not impair gas impermeability and waterproofness, a functional liquid supply mechanism including the functional liquid supply tube, a functional liquid droplet ejection device, and an electro-optical device. It is an object to provide a manufacturing method, an electro-optical device, and an electronic apparatus.

本発明の機能液供給チューブは、有機溶剤を溶媒とする機能液の流路を構成する機能液供給チューブであって、断面方向において、耐有機溶剤性を有するとともに気体非透過性を有する最内層の内面積層材と、防水性を有する最外層の外面積層材と、を備えたことを特徴とする。   The functional liquid supply tube of the present invention is a functional liquid supply tube that constitutes a flow path of a functional liquid using an organic solvent as a solvent, and has an organic solvent resistance and a gas impermeability in the cross-sectional direction. And an outermost layer material having an outermost layer having waterproof properties.

この構成によれば、機能液に直接接触する内面積層材は、その耐有機溶剤性により機能液による膨潤が防止されるとともに、その気体非透過性により周囲エアーの機能液への接触や混入を防止することができる。このため、機能液による機能液供給チューブの変質を防止することができるとともに、周囲エアーの酸素や水分の機能液に対する影響を排除することができる。一方、外面積層材は周囲エアーの水分や湿気が透過することを防止する。これにより、周囲エアーの水分の機能液に対する影響を排除することができる。しかも、機能液供給チューブはこれらの内面積層材と外面積層材とから成る単純な２層構造であるので、各層に十分な厚みをもたせることができる。   According to this configuration, the inner surface laminate material that is in direct contact with the functional liquid is prevented from swelling by the functional liquid due to its organic solvent resistance, and the gas impermeable property prevents contact and mixing of the surrounding air with the functional liquid. Can be prevented. For this reason, it is possible to prevent the functional liquid supply tube from being deteriorated by the functional liquid, and to eliminate the influence of oxygen and moisture of the ambient air on the functional liquid. On the other hand, the outer area layer material prevents the moisture and moisture of the surrounding air from permeating. Thereby, the influence with respect to the functional liquid of the water | moisture content of ambient air can be excluded. Moreover, since the functional liquid supply tube has a simple two-layer structure composed of these inner surface laminated material and outer area layer material, each layer can have a sufficient thickness.

この場合、内面積層材と外面積層材とを接着する、接着剤層を更に備えることが好ましい。   In this case, it is preferable to further include an adhesive layer that bonds the inner surface laminated material and the outer area layer material.

この構成によれば、接着剤を内面積層材および外面積層材に混練する必要がないために、混練によって内面積層材および外面積層材が変性することがない。すなわち、混練による物性の変化がなく、内面積層材の耐有機溶剤性および気体非透過性の低下と、外面積層材の防水性の低下とを防止することができる。また、機能液供給チューブが折り曲げられて応力集中した場合にも、内面積層材と外面積層材との層間滑りにより生じる積層材間の剥離を防止でき、機能液供給チューブの屈曲耐久性を向上させることができる。   According to this configuration, since it is not necessary to knead the adhesive into the inner surface laminated material and the outer area layer material, the inner surface laminated material and the outer area layer material are not modified by the kneading. That is, there is no change in physical properties due to kneading, and it is possible to prevent deterioration of the organic solvent resistance and gas impermeability of the inner surface laminated material and deterioration of the waterproof property of the outer area layer material. In addition, even when the functional liquid supply tube is bent and stress is concentrated, peeling between the laminated materials caused by interlayer slip between the inner surface laminated material and the outer area layer material can be prevented, and the bending durability of the functional liquid supply tube is improved. be able to.

この場合、接着剤層は、ポリオレフィン系接着剤で構成されていることが好ましい。   In this case, the adhesive layer is preferably composed of a polyolefin-based adhesive.

この構成によれば、ポリオレフィン系接着剤が内面積層材と外面積層材との間に接着層を形成するために、機能液供給チューブの屈曲耐久性が損なわれることがなく、かつポリオレフィンの性質である防水性も併せて強化することができる。すなわち、成形収縮によって薄くなった外面積層材に生じるシール切れ部分を、ポリオレフィン系接着剤によって補修することができる。なお、ポリオレフィン系接着剤の例としては１５０℃でホットメルトしたポリエチレン、１５０℃でホットメルトしたエチレン酢酸ビニール共重合体、および１７０℃でホットメルトしたポリプロピレンなどが挙げられる。   According to this configuration, since the polyolefin-based adhesive forms an adhesive layer between the inner surface laminated material and the outer area layer material, the bending durability of the functional liquid supply tube is not impaired, and the property of polyolefin A certain waterproof property can be strengthened together. That is, it is possible to repair the seal-cut portion generated in the outer area layer material that has become thin due to molding shrinkage by the polyolefin-based adhesive. Examples of polyolefin adhesives include polyethylene hot melted at 150 ° C., ethylene vinyl acetate copolymer hot melted at 150 ° C., and polypropylene hot melted at 170 ° C.

この場合、内面積層材は、エチレンビニルアルコール共重合体で構成されることが好ましい。   In this case, the inner surface laminated material is preferably composed of an ethylene vinyl alcohol copolymer.

この構成によれば、エチレンビニルアルコール共重合体が持つ、耐有機溶剤性によって機能液供給チューブの膨潤を防ぐとともに、気体非透過性によって大気中の酸素の混入を防ぎ、機能液が酸化して変質するのを防止することができる。特に、エチレンビニルアルコール共重合体は成形収縮率が小さいため、ポリエチレンなどに比べ流路径を精度良く成形することができる。   According to this configuration, the ethylene-vinyl alcohol copolymer has an organic solvent resistance to prevent swelling of the functional liquid supply tube, and gas impermeability prevents the entry of oxygen in the atmosphere, thereby oxidizing the functional liquid. It is possible to prevent deterioration. In particular, since the ethylene vinyl alcohol copolymer has a small molding shrinkage rate, the flow path diameter can be accurately molded as compared with polyethylene and the like.

この場合、外面積層材は、ポリエチレンおよびポリプロピレンのいずれかで構成されることが好ましい。   In this case, the outer area layer material is preferably composed of either polyethylene or polypropylene.

この構成によれば、ポリエチレンおよびポリプロピレンがもつ防水性により、大気中の湿気が機能液に取り込まれるのを有効に防止することができる。   According to this configuration, due to the waterproofness of polyethylene and polypropylene, it is possible to effectively prevent moisture in the atmosphere from being taken into the functional liquid.

この場合、機能液は有機ＥＬ装置の発光層を構成するＥＬ発光材を主成分とするものであることが好ましい。   In this case, it is preferable that the functional liquid is mainly composed of an EL light-emitting material constituting the light-emitting layer of the organic EL device.

有機ＥＬ装置の製造過程においてインクジェット法は、ポリエチレンジオキシチオフェン（PEDOT）に代表される水系の機能液による正孔注入／輸送層形成過程と、有機溶剤に溶かしたＥＬ発光材に代表される溶剤系の機能液の発光層形成過程とに応用されている。
上記の構成によれば、機能液が有機溶剤を溶媒とするＥＬ発光材であっても、機能液供給チューブを膨潤させることがなく、ＥＬ発光材が周囲エアーの水分や酸素により変質するのを防止することができる。これにより、供給されるＥＬ発光材の寿命を伸ばすとともに、形成される有機ＥＬ装置の発光層の信頼性を向上させることができる。 In the process of manufacturing an organic EL device, the inkjet method uses a hole injection / transport layer formation process with an aqueous functional liquid typified by polyethylene dioxythiophene (PEDOT), and a solvent typified by an EL light-emitting material dissolved in an organic solvent. It is applied to the process of forming the light emitting layer of the functional liquid of the system.
According to the above configuration, even if the functional liquid is an EL light-emitting material using an organic solvent as a solvent, the functional liquid supply tube does not swell and the EL light-emitting material is altered by moisture or oxygen in the surrounding air. Can be prevented. Thereby, while extending the lifetime of the supplied EL light-emitting material, it is possible to improve the reliability of the light-emitting layer of the organic EL device to be formed.

本発明の機能液供給機構は、ワークに対し複数のノズルから機能液滴を吐出する機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液供給機構であって、機能液を貯留する機能液タンクと、上流側を機能液タンクに接続し、下流側を機能液滴吐出ヘッドに接続した上記の機能液供給チューブと、を備えたことを特徴とする。   The functional liquid supply mechanism of the present invention is a functional liquid supply mechanism that supplies a functional liquid to a functional liquid droplet ejection head that discharges functional liquid droplets from a plurality of nozzles to a workpiece, and a functional liquid tank that stores the functional liquid; The functional liquid supply tube having the upstream side connected to the functional liquid tank and the downstream side connected to the functional liquid droplet ejection head is provided.

この構成によれば、機能液タンクから送り出される機能液は、機能液供給チューブを介して機能液滴吐出ヘッドに供給される。気体非透過性、耐有機溶剤性、および防水性を備えた上記の機能液供給チューブを用いることにより、長時間かけて機能液供給チューブ内を移動する機能液が変質することがなく、機能液滴吐出ヘッドには新鮮な機能液を供給することができる。   According to this configuration, the functional liquid sent out from the functional liquid tank is supplied to the functional liquid droplet ejection head via the functional liquid supply tube. By using the functional liquid supply tube having gas impermeability, organic solvent resistance, and waterproofing, the functional liquid that moves in the functional liquid supply tube over a long period of time is not altered, and the functional liquid A fresh functional liquid can be supplied to the droplet discharge head.

この場合、機能液は、脱気した状態で機能液タンクに貯留されていることが好ましい。   In this case, the functional liquid is preferably stored in the functional liquid tank in a deaerated state.

この構成によれば、機能液に溶存する気体量は不飽和な状態にあるため、機能液供給チューブから分子レベルで周囲エアーが進入することがあっても、機能液は飽和状態になるまでエアーを吸収でき、気泡の発生を防止することができる。   According to this configuration, since the amount of gas dissolved in the functional liquid is in an unsaturated state, even if ambient air enters at the molecular level from the functional liquid supply tube, Can be absorbed and the generation of bubbles can be prevented.

本発明の機能液滴吐出装置は、上記の機能液供給機構と、機能液滴吐出ヘッドと、ワークを、機能液滴吐出ヘッドに対しＸ軸方向およびＹ軸方向に相対的に移動させるＸ・Ｙ移動機構と、を備えたことを特徴とする。   A functional liquid droplet ejection apparatus according to the present invention includes the above-described functional liquid supply mechanism, a functional liquid droplet ejection head, and an X.multidot. And a Y moving mechanism.

この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドに新鮮な機能液が供給されるため、機能液滴吐出装置で製造される製品の信頼性を向上させることができる。具体的には、製品の成膜不良、発光不良等を生じることがない。   According to this configuration, since a fresh functional liquid is supplied to the functional liquid droplet ejection head, it is possible to improve the reliability of a product manufactured by the functional liquid droplet ejection apparatus. Specifically, there is no occurrence of product film formation failure, light emission failure, or the like.

本発明の電気光学装置の製造方法は、上記の機能液滴吐出装置を用い、ワークに機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。   The method of manufacturing an electro-optical device according to the present invention is characterized in that the functional droplet discharge device described above is used to form a film-forming portion using functional droplets on a workpiece.

また、本発明の電気光学装置は、上記の機能液滴吐出装置を用い、ワークに機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。   In addition, an electro-optical device according to the present invention is characterized in that the above-described functional liquid droplet ejection device is used, and a film forming portion using functional liquid droplets is formed on a workpiece.

これらの構成によれば、機能液が変質しにくい機能液滴吐出装置を用いて製造されるため、信頼性の高い電気光学装置を製造することが可能となる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。   According to these configurations, since the functional liquid is manufactured by using the functional liquid droplet ejection device that hardly changes in quality, it becomes possible to manufacture a highly reliable electro-optical device. As the electro-optical device (flat panel display), a color filter, a liquid crystal display device, an organic EL device, a PDP device, an electron emission device, and the like are conceivable. The electron emission device is a concept including a so-called FED (Field Emission Display) or SED (Surface-conduction Electron-Emitter Display) device. Further, as the electro-optical device, devices including metal wiring formation, lens formation, resist formation, light diffuser formation, and the like are conceivable.

本発明の電子機器は、上記の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。   An electronic apparatus according to an aspect of the invention includes the electro-optical device manufactured by the method for manufacturing the electro-optical device or the electro-optical device described above.

この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。   In this case, the electronic apparatus corresponds to various electric products in addition to a mobile phone and a personal computer equipped with a so-called flat panel display.

以上に述べたように、本発明の機能液供給チューブおよびこれを備えた機能液供給機構、並びに機能液滴吐出装置によれば、機能液供給チューブおよび機能液の変質を防止して機能液を安定に供給することができるため、機能液滴の吐出精度が向上できるとともに、機能液および機能液供給チューブの交換頻度を減少させることができ、生産性を向上させることができる。   As described above, according to the functional liquid supply tube of the present invention, the functional liquid supply mechanism including the functional liquid supply tube, and the functional liquid droplet ejection device, the functional liquid can be prevented by preventing the functional liquid supply tube and the functional liquid from being altered. Since the liquid can be stably supplied, the ejection accuracy of the functional liquid droplets can be improved, the frequency of replacement of the functional liquid and the functional liquid supply tube can be reduced, and productivity can be improved.

また、本発明の電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器は、上記の機能液滴吐出装置を用いて製造されるため、作業の信頼性を高め、効率的にこれらを製造することが可能となる。   In addition, since the electro-optical device manufacturing method, the electro-optical device, and the electronic apparatus according to the present invention are manufactured using the above-described functional liquid droplet ejection device, the reliability of work is increased and the devices are efficiently manufactured. It becomes possible.

以下、添付の図面を参照して、本発明の機能液供給チューブおよびこれを備えた機能液供給機構を適用した機能液滴吐出装置について説明する。本実施形態の機能液滴吐出装置は、いわゆるフラットパネルディスプレイの一種である有機ＥＬ装置や液晶表示装置等の製造ラインに組み込まれるものである。この機能液滴吐出装置は、ポリエチレンジオキシチオフェン（PEDOT）に代表される水系の機能液を用いた正孔注入／輸送層形成用のものや、有機溶剤に溶かしたＥＬ発光材に代表される溶剤系の機能液の発光層形成用のもの等が存在する。これらはその溶媒の違いによって一部構成が異なるものの概ね同形態であるため、本実施形態では主として発光層形成用の機能液滴吐出装置について説明する。   Hereinafter, a functional liquid supply tube of the present invention and a functional liquid droplet ejection apparatus to which a functional liquid supply mechanism including the functional liquid supply tube of the present invention is applied will be described with reference to the accompanying drawings. The functional liquid droplet ejection device of this embodiment is incorporated in a production line for an organic EL device or a liquid crystal display device which is a kind of so-called flat panel display. This functional droplet discharge device is represented by a hole injection / transport layer formation using an aqueous functional liquid typified by polyethylene dioxythiophene (PEDOT) and an EL luminescent material dissolved in an organic solvent. There exist those for forming a light emitting layer of a solvent-based functional liquid. Although these have almost the same form, although some of the configurations differ depending on the solvent, this embodiment will mainly describe a functional liquid droplet ejection device for forming a light emitting layer.

図１に示すように、機能液滴吐出装置１は、機台６と、機台６の上側中央に十字状に配設された、３個の機能液滴吐出ヘッド１１を有する描画装置２と、機台６上に描画装置２と並列に設置され機能液滴吐出ヘッド１１の保守等に用いる各種の装置から成るメンテナンス装置３と、描画装置２に機能液を供給する機能液供給機構４と、を備えている。描画装置２は、機能液滴吐出ヘッド１１を用いてワークＷ上に機能液滴による描画を行うものである。メンテナンス装置３は、機能液滴吐出ヘッド１１の保守を行うと共に、機能液滴吐出ヘッド１１から適切に機能液滴が吐出されているか否かの検査を行い、機能液滴吐出ヘッド１１による機能液滴の吐出を安定させるためのものである。また、機能液滴吐出装置１は、上記の各構成装置を統括的に制御する制御装置１６１を備えている。なお、本実施形態では機能液滴の吐出をドライエアーや不活性ガスの雰囲気で行うチャンバ装置が取り付けられていないが、これを備えた構成としてもよい。   As shown in FIG. 1, the functional liquid droplet ejection apparatus 1 includes a machine base 6 and a drawing apparatus 2 having three functional liquid droplet ejection heads 11 arranged in a cross shape at the upper center of the machine base 6. A maintenance device 3 comprising various devices installed on the machine base 6 in parallel with the drawing device 2 and used for maintenance of the functional liquid droplet ejection head 11, and a functional liquid supply mechanism 4 for supplying the drawing device 2 with a functional liquid; It is equipped with. The drawing device 2 performs drawing with functional droplets on the workpiece W using the functional droplet discharge head 11. The maintenance device 3 performs maintenance of the functional liquid droplet ejection head 11 and also checks whether the functional liquid droplets are appropriately ejected from the functional liquid droplet ejection head 11, and the functional liquid produced by the functional liquid droplet ejection head 11. This is for stabilizing the ejection of the droplets. Further, the functional liquid droplet ejection apparatus 1 includes a control device 161 that comprehensively controls each of the above constituent devices. In the present embodiment, a chamber apparatus that discharges functional droplets in an atmosphere of dry air or inert gas is not attached, but a configuration including the chamber apparatus may be used.

メンテナンス装置３は、機能液滴吐出装置１の非稼働時に、機能液滴吐出ヘッド１１に密接してその乾燥を防止する保管ユニット２１と、増粘した機能液を除去するための吸引（クリーニング）および機能液滴吐出ヘッド１１の捨て吐出を受ける（フラッシング）吸引ユニット３１と、機能液滴吐出ヘッド１１のノズル面１２に付着する汚れを払拭するためのワイピングユニット４１とを有している。これら各ユニットは、機台６上にＸ軸方向に延在するように載置された移動テーブル４３に搭載され、この移動テーブル４３によってＸ軸方向に移動可能に構成されている。   The maintenance device 3 includes a storage unit 21 that is in close contact with the functional liquid droplet ejection head 11 to prevent drying when the functional liquid droplet ejection device 1 is not in operation, and suction (cleaning) for removing the thickened functional liquid. And a suction unit 31 that receives (flushing) the waste discharged from the functional liquid droplet ejection head 11 and a wiping unit 41 for wiping off dirt adhering to the nozzle surface 12 of the functional liquid droplet ejection head 11. Each of these units is mounted on a moving table 43 placed on the machine base 6 so as to extend in the X-axis direction, and is configured to be movable in the X-axis direction by the moving table 43.

保管ユニット２１は、機能液滴吐出ヘッド１１のノズル面１２に密着する封止キャップ２２を有しており、封止キャップ２２は封止キャップ昇降機構２３を介して移動テーブル４３に取り付けられている。機能液滴吐出装置１の非稼働時には、機能液滴吐出ヘッド１１は移動テーブル４３上のメンテナンス位置２４に移動しており、これに対し封止キャップ２２を上昇させて機能液滴吐出ヘッド１１のノズル面１２に密着させる。すなわち、機能液滴吐出ヘッド１１の全ノズル１３を封止し、各ノズル１３における機能液滴の乾燥を防止している。これにより機能液の増粘を抑制していわゆるノズル詰りを防止するようになっている。   The storage unit 21 has a sealing cap 22 that is in close contact with the nozzle surface 12 of the functional liquid droplet ejection head 11, and the sealing cap 22 is attached to the moving table 43 via a sealing cap lifting mechanism 23. . When the functional liquid droplet ejection apparatus 1 is not in operation, the functional liquid droplet ejection head 11 is moved to the maintenance position 24 on the moving table 43. In response to this, the sealing cap 22 is lifted and the functional liquid droplet ejection head 11 is moved. The nozzle surface 12 is closely attached. That is, all the nozzles 13 of the functional liquid droplet ejection head 11 are sealed to prevent the functional liquid droplets from being dried at each nozzle 13. This suppresses the thickening of the functional liquid and prevents so-called nozzle clogging.

吸引ユニット３１には、機能液滴吐出ヘッド１１のノズル面１２に密着する吸引キャップ３２を有しており、吸引キャップ３２は吸引キャップ昇降機構３３を介して移動テーブル４３に取り付けられている。また、吸引キャップ３２には図示しないが、吸引ポンプが接続されている。機能液滴吐出ヘッド１１に機能液の充填を行う場合や増粘した機能液を吸引する場合には、この吸引キャップ３２を上昇させて機能液滴吐出ヘッド１１に密着させて、ポンプ吸引を行う。また、機能液滴の吐出（描画）を休止するとき、機能液滴吐出ヘッド１１を駆動させてフラッシング（捨て吐出）を行う。その際、吸引キャップ３２を機能液滴吐出ヘッド１１から僅かに離間させてフラッシングを受けるようにしている。これにより、ノズル詰まりが防止されると共に、ノズル詰まりの生じた機能液滴吐出ヘッド１１の機能が回復される。   The suction unit 31 has a suction cap 32 that is in close contact with the nozzle surface 12 of the functional liquid droplet ejection head 11, and the suction cap 32 is attached to the moving table 43 via a suction cap lifting mechanism 33. Although not shown, a suction pump is connected to the suction cap 32. When the functional liquid discharge head 11 is filled with the functional liquid or when the thickened functional liquid is sucked, the suction cap 32 is raised and brought into close contact with the functional liquid droplet discharge head 11 to perform pump suction. . Further, when the functional liquid droplet ejection (drawing) is suspended, the functional liquid droplet ejection head 11 is driven to perform flushing (disposal ejection). At that time, the suction cap 32 is slightly separated from the functional liquid droplet ejection head 11 so as to receive the flushing. This prevents nozzle clogging and restores the function of the functional liquid droplet ejection head 11 in which nozzle clogging has occurred.

ワイピングユニット４１には、ワイピングシート４２が繰出し自在且つ巻取り自在に設けられており、繰り出したワイピングシート４２を送りながら、且つ移動テーブル４３によりワイピングユニット４１をＸ軸方向に移動させながら、機能液滴吐出ヘッド１１のノズル面１２を拭き取るようになっている。このため、上記吸引動作等により機能液滴吐出ヘッド１１のノズル面１２に付着した機能液が取り除かれ、機能液滴吐出時の飛行曲がり等が防止される。なお、メンテナンス装置３として、上記の各ユニットに加え、機能液滴吐出ヘッド１１から吐出された機能液滴の飛行状態を検査する吐出検査ユニット（図示省略）等を、搭載することが好ましい。   The wiping unit 41 is provided with a wiping sheet 42 that can be unwound and rewinded. While feeding the wiping sheet 42 that has been fed out and moving the wiping unit 41 in the X-axis direction by the moving table 43, the functional liquid The nozzle surface 12 of the droplet discharge head 11 is wiped off. For this reason, the functional liquid adhering to the nozzle surface 12 of the functional liquid droplet ejection head 11 is removed by the above-described suction operation or the like, and flight bending or the like during functional liquid droplet ejection is prevented. In addition to the above units, the maintenance device 3 preferably includes a discharge inspection unit (not shown) that inspects the flight state of the functional liquid droplets ejected from the functional liquid droplet ejection head 11.

図１に示すように描画装置２は、機台６上に十字状に設置したＸ・Ｙ移動機構６１を有している。Ｘ・Ｙ移動機構６１は、機能液滴吐出ヘッド１１に対して、ワークＷをＸ軸方向およびＹ軸方向に相対移動させるものであり、ワークＷを搭載するＸ軸テーブル６２と、これを跨いで直交するように設置されて、機能液滴吐出ヘッド１１を搭載しているＹ軸テーブル７１と、を有している。また、描画装置２には、機能液滴吐出ヘッド１１の位置認識を行うヘッド認識カメラ（図示省略）や、ワークＷの位置認識を行うための一対のワーク認識カメラ７７、７７等の各種の装置が備えられている。   As shown in FIG. 1, the drawing apparatus 2 has an XY movement mechanism 61 installed in a cross shape on the machine base 6. The XY movement mechanism 61 moves the workpiece W relative to the functional liquid droplet ejection head 11 in the X-axis direction and the Y-axis direction, and straddles the X-axis table 62 on which the workpiece W is mounted. And a Y-axis table 71 on which the functional liquid droplet ejection head 11 is mounted. The drawing apparatus 2 includes various devices such as a head recognition camera (not shown) for recognizing the position of the functional liquid droplet ejection head 11 and a pair of work recognition cameras 77 and 77 for recognizing the position of the work W. Is provided.

ワークＷは、電極等を作り込んだ透光性（透明）のガラス基板で構成されており、その表面は、画素を作りこむための複数の描画領域Ｄと非描画領域Ｓとに区分けされている。そして、この描画領域Ｄに機能液滴を吐出して描画が行われる。   The work W is composed of a translucent (transparent) glass substrate in which electrodes and the like are formed, and the surface thereof is divided into a plurality of drawing regions D and non-drawing regions S for forming pixels. Yes. Then, drawing is performed by discharging functional droplets to the drawing region D.

Ｘ軸テーブル６２は、Ｘ軸方向に延在するメンテナンス装置３と相互に平行になるように機台６に直接設置されており、ワークＷを吸着する吸着テーブル６３および吸着テーブル６３をＺ軸廻りに回転自在に支持するθテーブル６４からなるセットテーブル６６と、セットテーブル６６をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸スライダ６５と、Ｘ軸スライダ６５を駆動するＸ軸モータ（図示省略）とを有している。ワークＷは吸着テーブル６３上に吸着載置され、Ｘ軸スライダ６５を介して主走査方向であるＸ軸方向に移動できるようになっている。   The X-axis table 62 is directly installed on the machine base 6 so as to be parallel to the maintenance device 3 extending in the X-axis direction, and the suction table 63 and the suction table 63 for sucking the work W are moved around the Z-axis. A set table 66 composed of a θ table 64 that is rotatably supported, an X-axis slider 65 that slidably supports the set table 66 in the X-axis direction, and an X-axis motor (not shown) that drives the X-axis slider 65. have. The workpiece W is sucked and placed on the suction table 63 and can move in the X-axis direction, which is the main scanning direction, via the X-axis slider 65.

Ｙ軸テーブル７１は、Ｘ軸テーブル６２を挟んで機台６に立設された左右一対の支柱７２と、両支柱７２に掛渡されたＹ軸フレーム７３と、Ｙ軸フレーム７３にスライド自在に支持されるＹ軸スライダ７４と、Ｙ軸スライダ７４を駆動するＹ軸モータ（図示省略）と、Ｙ軸スライダ７４に支持され機能液滴吐出ヘッド１１を搭載するメインキャリッジ７５とを有している。メインキャリッジ７５にはヘッドユニット７６が垂設されており、ヘッドユニット７６には、サブキャリッジ（図示省略）を介してＲ色、Ｇ色およびＢ色の３つの機能液滴吐出ヘッド１１が搭載されている。   The Y-axis table 71 is slidable on a pair of left and right columns 72 erected on the machine base 6 with the X-axis table 62 interposed therebetween, a Y-axis frame 73 spanned between both columns 72, and the Y-axis frame 73. A Y-axis slider 74 that is supported, a Y-axis motor (not shown) that drives the Y-axis slider 74, and a main carriage 75 that is supported by the Y-axis slider 74 and on which the functional liquid droplet ejection head 11 is mounted. . A head unit 76 is suspended from the main carriage 75, and three functional liquid droplet ejection heads 11 for R color, G color, and B color are mounted on the head unit 76 via a sub-carriage (not shown). ing.

図１に示すように、機能液滴吐出ヘッド１１は、機能液滴を吐出する多数（例えば１８０個）のノズル１３をそのノズル面１２に有しており、それら多数のノズル１３が２列のノズル列１４を形成している（図示のように１列でも可）。また機能液滴吐出ヘッド１１は、これらのノズル列に対応した一対のヘッド内流路（図示省略）と、これらヘッド内流路に連なる一対の導入口部１５が設けられている（図４参照）。本実施形態では、各機能液滴吐出ヘッド１１のノズル列のうち、一方のみを使用するようになっており、片側の導入口部１５にのみ機能液供給機構４が接続されている。このＲ、Ｇ、Ｂ３個の機能液滴吐出ヘッド１１は、ノズル列１４が主走査方向に直交するようにヘッドユニット７６にＸ軸方向に横並びに配設されている。   As shown in FIG. 1, the functional liquid droplet ejection head 11 has a large number (for example, 180) of nozzles 13 for ejecting functional liquid droplets on its nozzle surface 12, and the large number of nozzles 13 are arranged in two rows. A nozzle row 14 is formed (one row is possible as shown). Further, the functional liquid droplet ejection head 11 is provided with a pair of in-head flow paths (not shown) corresponding to these nozzle rows and a pair of introduction ports 15 connected to the in-head flow paths (see FIG. 4). ). In the present embodiment, only one of the nozzle rows of each functional liquid droplet ejection head 11 is used, and the functional liquid supply mechanism 4 is connected only to the inlet 15 on one side. The R, G, B three functional liquid droplet ejection heads 11 are arranged side by side in the X-axis direction on the head unit 76 so that the nozzle rows 14 are orthogonal to the main scanning direction.

そして、ワークＷに描画を行う場合には、機能液滴吐出ヘッド（ヘッドユニット７６）１１を所定のワークギャップを存してワークＷに臨ませておいて、Ｘ軸テーブル６２による主走査（ワークＷの往復移動）に同期して、機能液滴吐出ヘッド１１を吐出駆動させる。また、Ｙ軸テーブル７１により適宜、副走査（ヘッドユニット７６の移動）が行われる。この一連の動作により、ワークＷの描画領域Ｄに所望の機能液滴の選択的吐出、すなわち描画が行われる。   When drawing on the workpiece W, the functional liquid droplet ejection head (head unit 76) 11 is allowed to face the workpiece W with a predetermined workpiece gap, and main scanning (workpiece by the X-axis table 62 is performed. The functional liquid droplet ejection head 11 is driven to eject in synchronization with the reciprocating movement of W. Further, sub-scanning (movement of the head unit 76) is appropriately performed by the Y-axis table 71. By this series of operations, desired functional droplets are selectively ejected to the drawing region D of the work W, that is, drawing is performed.

また、機能液滴吐出ヘッド１１のメンテナンスを行う場合には、移動テーブル４３により吸引ユニット３１を所定のメンテナンス位置２４に移動させると共に、Ｙ軸テーブル７１によりヘッドユニット７６を上記のメンテナンス位置２４に移動させ、機能液滴吐出ヘッド１１のフラッシング或いはポンプ吸引を行う。また、ポンプ吸引を行った場合には、続いて移動テーブル４３によりワイピングユニット４１をメンテナンス位置２４に移動させ、機能液滴吐出ヘッド１１のワイピングを行う。同様に、作業が終了して装置の稼動を停止する時には、保管ユニット２１により、機能液滴吐出ヘッド１１にキャッピングが行われる。   When performing maintenance on the functional liquid droplet ejection head 11, the suction unit 31 is moved to the predetermined maintenance position 24 by the moving table 43, and the head unit 76 is moved to the maintenance position 24 by the Y-axis table 71. Then, flushing or pump suction of the functional liquid droplet ejection head 11 is performed. When pump suction is performed, the wiping unit 41 is subsequently moved to the maintenance position 24 by the moving table 43, and the functional liquid droplet ejection head 11 is wiped. Similarly, when the operation is finished and the operation of the apparatus is stopped, the functional liquid droplet ejection head 11 is capped by the storage unit 21.

次に、図１および図２を参照して、機能液供給機構４について詳細に説明する。機能液供給機構４は、Ｒ色、Ｇ色およびＢ色の３つの機能液タンク５１と、機能液タンク５１を昇降自在に支持するタンク架台１０１と、を有している。各機能液タンク５１と各機能液滴吐出ヘッド１１との間には機能液の供給流路となる機能液供給チューブ５２が、各機能液供給チューブ５２と各機能液滴吐出ヘッド１１との間にはこれらを接続するヘッド側アダプタ５３が、そして各機能液チューブ５２と各機能液タンク５１との間にはこれらを接続するタンク側アダプタ（接続具）が、それぞれ設けられている。   Next, the functional liquid supply mechanism 4 will be described in detail with reference to FIGS. 1 and 2. The functional liquid supply mechanism 4 includes three functional liquid tanks 51 of R color, G color, and B color, and a tank base 101 that supports the functional liquid tank 51 so as to be movable up and down. A functional liquid supply tube 52 serving as a functional liquid supply channel is provided between each functional liquid tank 51 and each functional liquid droplet ejection head 11, and between each functional liquid supply tube 52 and each functional liquid droplet ejection head 11. Are provided with a head-side adapter 53 for connecting them, and between each functional liquid tube 52 and each functional liquid tank 51, a tank-side adapter (connector) for connecting them is provided.

図２に示すように、タンク架台１０１は、３つの機能液タンク５１を昇降自在に支持するタンクベース１０９と、機能液タンク５１を昇降させる昇降機構１０３と、昇降機構１０３を機台６上に支持する一対の支持ブロック１０４と、を有している。また、タンクベース１０９上には、３つの機能液タンク５１をセットするための３組のタンクホルダ１１０が設けられている。昇降機構１０３は、タンクベース１０９を載置した「コ」字状断面の昇降部材１０２と、昇降部材１０２をスライド自在に案内する昇降ガイド部材１０７と、昇降部材１０２に螺合するリードねじ１０８と、リードねじ１０８の下端部に連結されリードねじ１０８を正逆回転させる昇降モータ１６９と、を有している。   As shown in FIG. 2, the tank base 101 includes a tank base 109 that supports the three functional liquid tanks 51 so as to be movable up and down, an elevation mechanism 103 that raises and lowers the functional liquid tanks 51, and an elevation mechanism 103 on the machine base 6. And a pair of support blocks 104 to support. Further, three sets of tank holders 110 for setting the three functional liquid tanks 51 are provided on the tank base 109. The elevating mechanism 103 includes an elevating member 102 having a “U” -shaped cross section on which the tank base 109 is placed, an elevating guide member 107 for slidably guiding the elevating member 102, and a lead screw 108 screwed into the elevating member 102. And a lift motor 169 connected to the lower end of the lead screw 108 and rotating the lead screw 108 forward and backward.

昇降ガイド部材１０７は、上板部１５３と下板部１５４との間に一対のガイドバー１０６，１０６を有しており、この一対のガイドバー１０６，１０６に上記の昇降部材１０２がスライド自在に係合している。昇降モータ１６９が正逆回転すると、リードねじ１０８を介して、昇降部材１０２が昇降し、機能液滴吐出ヘッド１１に対する機能液タンク５１の水頭差を微調整できるようになっている。なお、昇降モータ１６９は上記した制御装置１６１によってその駆動を制御される。   The elevating guide member 107 has a pair of guide bars 106, 106 between the upper plate portion 153 and the lower plate portion 154, and the above elevating member 102 is slidable on the pair of guide bars 106, 106. Is engaged. When the elevating motor 169 rotates forward and backward, the elevating member 102 moves up and down via the lead screw 108 so that the water head difference of the functional liquid tank 51 with respect to the functional liquid droplet ejection head 11 can be finely adjusted. The driving of the lifting motor 169 is controlled by the control device 161 described above.

次に、図３を参照しながら機能液タンク５１について説明する。機能液タンク５１はカートリッジ形式のものであり、有機溶剤を溶媒とする機能液を真空パックした機能液パック８１と、機能液パック８１を収容する樹脂製のカートリッジケース８２と、を有している。機能液パック８１は、上下２枚の長方形のフィルムシート８４を重ねて合せ、その周辺を熱融着した袋状に形成され、内部に機能液を１１０ｃｃ貯留する貯留空間８５が構成されている。機能液は脱気されたものであり、エアーを排除した状態で貯留空間８５に密封して貯留されている。機能液の貯留時には機能液パック８１は上下方向に膨らんでおり、機能液が目減りするに従って、機能液パック８１は扁平形状に変形し、最後まで使い切ることができるようになっている。機能液パック８１の一方の端面には機能液を供給する供給口部８６が設けられており、この供給口部８６から機能液供給チューブ５２に機能液を供給する。なお、機能液パック８１への機能液の充填は真空中で行われる。   Next, the functional liquid tank 51 will be described with reference to FIG. The functional liquid tank 51 is of a cartridge type, and includes a functional liquid pack 81 in which a functional liquid using an organic solvent as a solvent is vacuum-packed, and a resin cartridge case 82 that houses the functional liquid pack 81. . The functional liquid pack 81 is formed in a bag shape in which two upper and lower rectangular film sheets 84 are overlapped and the periphery thereof is heat-sealed, and a storage space 85 for storing 110 cc of the functional liquid is formed therein. The functional liquid is deaerated and stored in the storage space 85 in a state where air is excluded. When storing the functional liquid, the functional liquid pack 81 swells in the vertical direction. As the functional liquid decreases, the functional liquid pack 81 is deformed into a flat shape and can be used up to the end. A supply port 86 for supplying a functional liquid is provided on one end surface of the functional liquid pack 81, and the functional liquid is supplied from the supply port 86 to the functional liquid supply tube 52. The functional liquid pack 81 is filled with the functional liquid in a vacuum.

機能液パック８１に貯留される機能液は、ＥＬ発光材料が有機溶剤である溶媒に溶かされたものであり、図示しない脱気装置によって予め脱気され、溶存している溶存気体量がゼロに近い状態（不飽和な状態）で機能液パック８１に密封されている。この溶媒となる溶剤としては、例えば、シクロヘキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン等が挙げられる。   The functional liquid stored in the functional liquid pack 81 is obtained by dissolving the EL light emitting material in a solvent that is an organic solvent, and is degassed in advance by a degassing device (not shown), so that the amount of dissolved gas is zero. The functional liquid pack 81 is sealed in a close state (unsaturated state). Examples of the solvent serving as the solvent include cyclohexylbenzene and dihydrobenzofuran.

フィルムシート８４は、気体非透過性、防水性、および耐有機溶剤性を有する複数の素材からなる積層構造で構成されている。本実施形態では、例えば、外層８７が防水性を担保するアルミニウムであって、その内層８８としてフッ素樹脂やエチレンビニルアルコール共重合体といった耐有機溶剤性および気体非透過性を有する材料を積層あるいはコーティングしたものが使用されている。供給口部８６は、樹脂により、所定の強度を保持して円筒形状に形成され、機能液パック側の取付孔部８９と、取付孔部８９と一体に形成されて先端側に設けたフランジ部９０とを有している。   The film sheet 84 has a laminated structure composed of a plurality of materials having gas impermeability, waterproofness, and organic solvent resistance. In the present embodiment, for example, the outer layer 87 is aluminum that ensures waterproofness, and the inner layer 88 is laminated or coated with a material having organic solvent resistance and gas impermeability such as fluororesin or ethylene vinyl alcohol copolymer. Is used. The supply port portion 86 is formed of a resin and has a cylindrical shape while maintaining a predetermined strength, and is provided with a mounting hole portion 89 on the functional liquid pack side and a flange portion formed integrally with the mounting hole portion 89 and provided on the tip side. 90.

フランジ部９０は、その軸心部に貯留空間８５に連通する開口部９１を有しており、少なくとも最も内側に位置して機能液に直接接する流路層９２は、例えば、エチレンビニルアルコール共重合体のような耐有機溶剤性を有する材料で形成されていることが好ましい。また開口部９１は、これを封止する弾性体９３で閉栓されており、この弾性体９３はブチルゴム等で形成されている。この場合ブチルゴムのもつ耐有機溶剤性、気体非透過性、および防水性によって、弾性体９３は、機能液が周囲エアーの酸素や湿気によって変質するのを防ぐ構成となっている。   The flange portion 90 has an opening 91 communicating with the storage space 85 at the axial center thereof, and the flow path layer 92 positioned at least on the innermost side and in direct contact with the functional liquid is, for example, ethylene vinyl alcohol It is preferably formed of a material having organic solvent resistance such as coalescence. The opening 91 is closed with an elastic body 93 that seals the opening 91, and the elastic body 93 is formed of butyl rubber or the like. In this case, due to the organic solvent resistance, gas impermeability, and waterproofness of the butyl rubber, the elastic body 93 is configured to prevent the functional liquid from being deteriorated by oxygen or moisture of the surrounding air.

カートリッジケース８２は、上部を開口した方形の箱状のケース本体１１１と、ケース本体１１１の開口を閉塞する蓋ケース１１２とで形成され、内部に機能液パック８１が収容される収容空間１１５が構成されている。ケース本体１１１は、その前面中央に窪入形成されたパック接合部１１３を有しており、パック接合部１１３には、機能液パック８１のフランジ部９０が係合する略「Ｕ」字状の係止溝１４１が形成されている。そして、係止溝１４１には、一対の係止突起１４３が中心に向かって突設され、これに挿入したフランジ部９０をこの一対の係止突起１４３により抜止め状態で係止（固定）されるようになっている。   The cartridge case 82 is formed of a rectangular box-shaped case main body 111 having an upper opening, and a lid case 112 that closes the opening of the case main body 111, and an accommodation space 115 in which the functional liquid pack 81 is accommodated is configured. Has been. The case main body 111 has a pack joint portion 113 that is recessed in the center of the front surface, and the pack joint portion 113 has a substantially “U” shape that engages the flange portion 90 of the functional liquid pack 81. A locking groove 141 is formed. A pair of locking projections 143 project from the locking groove 141 toward the center, and the flange portion 90 inserted therein is locked (fixed) in a locked state by the pair of locking projections 143. It has become so.

このように構成された機能液タンク５１は、上記のタンクホルダ１１０に側方から着脱自在に装着される。一方、タンクホルダ１１０には、装着した機能液タンク５１のフランジ部９０に対応して機能液供給チューブ５２に連なる上記のタンク側アダプタ１２１が固定されている。なお、カートリッジケース８２はスナップイン形式でタンクホルダ１１０にセットされ、タンクホルダ１１０近傍に取り付けられた検出機構１７０で完全にセットされたか否かを判断できるようになっている（図６参照）。   The functional liquid tank 51 configured as described above is detachably attached to the tank holder 110 from the side. On the other hand, the tank-side adapter 121 connected to the functional liquid supply tube 52 is fixed to the tank holder 110 so as to correspond to the flange portion 90 of the mounted functional liquid tank 51. The cartridge case 82 is set in the tank holder 110 in a snap-in manner, and it can be determined whether or not the cartridge case 82 is completely set by a detection mechanism 170 attached in the vicinity of the tank holder 110 (see FIG. 6).

図４に示すように、タンク側アダプタ１２１は、機能液供給チューブ５２に直接接続されるチューブ接続部１２２と、機能液タンク５１に接続されるタンク接続部１２３とを有しており、両接続部１２２，１２３の内部には機能液パック８１から機能液チューブ５２に機能液を供給する流路が形成されている。チューブ接続部１２２は、機能液供給チューブ５２を軸心に挿嵌する円筒雄ねじ部１２４と、円筒雄ねじ部１２４を支持するチューブ側フランジ１２５と、円筒雄ねじ部１２４の外側に螺合する雌ねじキャップ１２６と、円筒雄ねじ部１２４と雌ねじキャップ１２６との間に介設され、機能液供給チューブ５２を液密に保持するチューブ側Ｏリング１２７と、で構成されている。一方、タンク接続部１２３は、軸心に流路を形成した接続針１３１と、接続針１３１を保持するタンク側フランジ１５２と、チューブ側フランジ１２５の接続針受入れ溝１２９に介設したタンク側Ｏリング１２８とで構成されている。チューブ接続部１２２とタンク接続部１２３とは、チューブ側フランジ１２５とタンク側フランジ１５２とをフランジ接合することにより接続されている。なお、両Ｏリングは、ブチルゴム等の耐有機溶剤性、気体非透過性、および防水性を備えたものであることが好ましい。   As shown in FIG. 4, the tank-side adapter 121 has a tube connection part 122 that is directly connected to the functional liquid supply tube 52 and a tank connection part 123 that is connected to the functional liquid tank 51. Inside the sections 122 and 123, a flow path for supplying the functional liquid from the functional liquid pack 81 to the functional liquid tube 52 is formed. The tube connecting portion 122 includes a cylindrical male screw portion 124 into which the functional liquid supply tube 52 is inserted into the shaft center, a tube side flange 125 that supports the cylindrical male screw portion 124, and a female screw cap 126 that is screwed to the outside of the cylindrical male screw portion 124. And a tube-side O-ring 127 interposed between the cylindrical male screw portion 124 and the female screw cap 126 and holding the functional liquid supply tube 52 in a liquid-tight manner. On the other hand, the tank connecting portion 123 includes a connecting needle 131 having a channel formed in the axis thereof, a tank side flange 152 for holding the connecting needle 131, and a tank side O interposed in the connecting needle receiving groove 129 of the tube side flange 125. It consists of a ring 128. The tube connection part 122 and the tank connection part 123 are connected by flange-joining the tube side flange 125 and the tank side flange 152. Both O-rings preferably have resistance to organic solvents such as butyl rubber, gas impermeability, and waterproofness.

接続針１５１は、先端が鋭利に形成されており、この先端部分には内部流路（図示省略）に連なる微小な複数の流入孔（図示省略）を形成されている。すなわち、接続針１５１は、上記した機能液パック８１の弾性体９３を貫いて差し込まれることにより機能液パック８１に接続され、機能液パック８１から機能液を流出させて流路を形成する。また、接続針１５１の基部は機能液供給チューブ５２に挿入されており、内部流路と機能液供給チューブ５２の流路とが接続されている。なお、図示では省略したが、タンク側アダプタ１２１は、タンクホルダ１１０に機能液タンク５１を完全にセット（装着）することにより、タンク側アダプタ１２１の接続針１５１に機能液タンク５１の開口部９１（弾性体９３）が正確に接続されるようになっている。   The connection needle 151 has a sharp tip, and a plurality of minute inflow holes (not shown) connected to the internal flow path (not shown) are formed in the tip portion. That is, the connection needle 151 is connected to the functional liquid pack 81 by being inserted through the elastic body 93 of the functional liquid pack 81 described above, and the functional liquid is allowed to flow out of the functional liquid pack 81 to form a flow path. The base of the connection needle 151 is inserted into the functional liquid supply tube 52, and the internal flow path and the flow path of the functional liquid supply tube 52 are connected. Although not shown in the drawing, the tank side adapter 121 is completely set (attached) to the tank holder 110 so that the opening 91 of the functional liquid tank 51 is connected to the connection needle 151 of the tank side adapter 121. The (elastic body 93) is correctly connected.

ヘッド側アダプタ５３は、ブチルゴムによって短尺の円筒形状に形成され、上半部内面に機能液供給チューブ５２が接続され、下半部内面に機能液滴吐出ヘッド１１の導入口部１５が接続されている。なお、ヘッド側アダプタ５３もブチルゴムで形成されていることから、上記した耐有機溶剤性等の性質を有していることはいうまでもない。   The head-side adapter 53 is formed in a short cylindrical shape with butyl rubber, the functional liquid supply tube 52 is connected to the inner surface of the upper half, and the inlet 15 of the functional liquid droplet ejection head 11 is connected to the inner surface of the lower half. Yes. Needless to say, since the head-side adapter 53 is also formed of butyl rubber, it has the above-mentioned properties such as organic solvent resistance.

次に、図５を参照して機能液供給チューブ５２について詳細に説明する。機能液供給チューブ５２は、耐有機溶媒性および気体非透過性を有する最内層の内面積層材５４と、防水性を有する最外層の外面積層材５５と、内面積層材５４と外面積層材５５とをその中間で接着する接着剤層５６と、を備えた３層構造を有している。この機能液供給チューブ５２は、内径２ミリに形成されて、内面積層材５４の内側に機能液が流れるチューブ内流路５７が形成されている。この機能液供給チューブ５２は、有機ＥＬ装置の発光層を形成する溶剤系の機能液に専用のものになっている。   Next, the functional liquid supply tube 52 will be described in detail with reference to FIG. The functional liquid supply tube 52 includes an innermost layer inner layer material 54 having organic solvent resistance and gas impermeability, an outermost layer outer layer material 55 having waterproof properties, an inner surface layer material 54, and an outer area layer material 55. And an adhesive layer 56 for adhering them between them. The functional liquid supply tube 52 is formed with an inner diameter of 2 mm, and an in-tube flow path 57 through which the functional liquid flows is formed inside the inner surface laminated material 54. This functional liquid supply tube 52 is dedicated to the solvent-based functional liquid that forms the light emitting layer of the organic EL device.

内面積層材５４は、エチレンビニルアルコール共重合体で構成され、当該素材が持つ耐有機溶剤性によって、機能液に直接接触する内面積層材５４が膨潤しないようにしている。また、チレンビニルアルコール共重合体は、その親水性による高い耐有機溶剤性と、気体が透過するのを防ぐ気体非透過性と、成形収縮率が小さいために射出成形した後も形状が安定する成形安定性と、を有している。耐有機溶剤性は、機能液供給チューブ５４の膨潤を防止するとともに、膨潤によって生じる機能液供給チューブ５４の劣化も防止している。また、その気体非透過性により、周囲エアーからの気体の混入を防ぎ、機能液に気体が溶け込んで機能液に溶存気体量が飽和状態になったり、酸化したりしないようにしている。   The inner surface laminated material 54 is made of an ethylene vinyl alcohol copolymer, and the inner surface laminated material 54 in direct contact with the functional liquid is prevented from swelling due to the organic solvent resistance of the material. Tylene vinyl alcohol copolymer has high organic solvent resistance due to its hydrophilic property, gas non-permeability to prevent gas from permeating, and its molding shrinkage rate is small, so its shape is stable after injection molding. And molding stability. The organic solvent resistance prevents swelling of the functional liquid supply tube 54 and also prevents deterioration of the functional liquid supply tube 54 caused by swelling. Further, the gas impermeability prevents gas from being mixed in from the surrounding air, so that the gas does not dissolve into the functional liquid and the dissolved gas amount is not saturated or oxidized.

外面積層材５５は、ポリエチレンで構成され、当該素材が持つ防水性により周囲エアーの湿気が流路内の機能液に取り込まれて、機能液が変質することを防止している。ポリエチレンには低密度のものと、高密度のものとが存在するが、本実施形態では低密度のものを使用している。なお、コストは高くなるが、高密度のものを使用すれば、防水性をさらに向上させることも可能となる。また、外面積層材５５はポリプロピレンで構成してもよい。ポリプロピレンもポリエチレンと同様の性質を持ち、その防水性から外面積層材５５に使用することができる。   The outer area layer material 55 is made of polyethylene and prevents moisture from surrounding air from being taken into the functional liquid in the flow path due to the waterproofness of the material, thereby preventing the functional liquid from being altered. There are low-density polyethylene and high-density polyethylene. In this embodiment, low-density polyethylene is used. In addition, although the cost is high, if a high-density one is used, the waterproofness can be further improved. The outer area layer material 55 may be made of polypropylene. Polypropylene also has the same properties as polyethylene and can be used for the outer area layer material 55 because of its waterproof property.

接着剤層５６は、ポリオリフィン系の樹脂接着剤で構成されており、ポリオリフィン系のうち、ポリエチレンを用いている。ポリエチレンは、外面積層材５６にも用いられているが、表面エネルギーが低くそのままでは内面積層材であるエチレンビニルアルコール共重合体と接着しにくいものとなっているため、１５０℃でホットメルトしたものを接着剤層５６として用いて内面積層材５４と外面積層材５５とを接着するようにしている。このため、たとえ外面積層材５５に防水性が低下するシール切れを生じていても接着剤層５６がシール切れ部分を補修するように作用することになり、機能液供給チューブ５２はより防水性の高い（すなわち透湿性が低い）ものとなっている。なお、１５０℃でホットメルトしたエチレン酢酸ビニール共重合体や１７０℃でホットメルトしたポリプロピレンを用いても概ね同じ性能を得ることができる。   The adhesive layer 56 is made of a polyolefin resin adhesive, and polyethylene is used among polyolefin resins. Polyethylene is also used for the outer area layer material 56, but it is hot melted at 150 ° C. because its surface energy is low and it is difficult to adhere to the ethylene vinyl alcohol copolymer that is the inner surface laminate as it is. Is used as an adhesive layer 56 to bond the inner surface laminated material 54 and the outer area layer material 55. For this reason, even if the outer area layer material 55 has a seal breakage that lowers the waterproof property, the adhesive layer 56 acts to repair the seal breakage portion, and the functional liquid supply tube 52 is more waterproof. It is high (that is, moisture permeability is low). The same performance can be obtained by using an ethylene vinyl acetate copolymer hot-melted at 150 ° C. or polypropylene hot-melted at 170 ° C.

上記した機能液供給チューブ５２は、内面積層材５４、外面積層材５５および接着剤層５６を射出成形機（図示省略）によって多層同時射出することにより各層が接着された一体物として容易に製造することができる。このように製造された機能液供給チューブ５２は、屈曲耐久性を備えており、折り曲げられて応力集中した場合にも、接着剤層５６が内面積層材と外面積層材との層間滑りを防止しており、積層材間の剥離を防ぐ構成となっている。また、内面積層材５４の成形安定性によって射出成形後も内面積層材５４が収縮することがなく、流路内を精度良く成形できるようになっている。   The above-described functional liquid supply tube 52 is easily manufactured as an integrated body in which the layers are bonded by simultaneously injecting the inner surface laminated material 54, the outer area layer material 55, and the adhesive layer 56 with an injection molding machine (not shown). be able to. The functional liquid supply tube 52 manufactured in this way has bending durability, and the adhesive layer 56 prevents interlayer slip between the inner surface laminated material and the outer area layer material even when the stress is concentrated due to bending. It is configured to prevent delamination between the laminated materials. Further, the inner surface laminate material 54 does not shrink even after injection molding due to the molding stability of the inner surface laminate material 54, so that the inside of the flow path can be accurately molded.

本実施形態の機能液供給機構４においては、機能液タンク５１に貯留されている機能液は、機能液滴吐出ヘッド１１の駆動に応じて、上記の接続針１５１に形成された内部流路から機能液供給チューブ５２のチューブ内流路５７を通り、ヘッド側アダプタ５３を介して機能液滴吐出ヘッド１１まで供給され、機能液滴吐出ヘッド１１からワークＷに吐出される。   In the functional liquid supply mechanism 4 of the present embodiment, the functional liquid stored in the functional liquid tank 51 is discharged from the internal flow path formed in the connection needle 151 according to the driving of the functional liquid droplet ejection head 11. The functional liquid supply tube 52 passes through the in-tube flow path 57, is supplied to the functional liquid droplet ejection head 11 via the head-side adapter 53, and is discharged from the functional liquid droplet ejection head 11 to the work W.

次に図６を参照して、本実施形態の機能液滴吐出装置１の制御装置１６１による制御について説明する。制御装置１６１は、機能液滴吐出装置１の各構成装置を直接的に、または各種のドライバを介して間接的に、統括制御する制御部１６２と、これら各構成装置の駆動を直接に担うドライバ群１６３と、を有している。   Next, control by the control device 161 of the functional liquid droplet ejection apparatus 1 of the present embodiment will be described with reference to FIG. The control device 161 directly controls each component device of the functional liquid droplet ejection device 1 or indirectly through various drivers, and a driver directly responsible for driving these component devices. A group 163.

制御部１６２は、マイクロプロセッサで構成されるＣＰＵ１６４と、各種制御プログラムを記憶しているＲＯＭ１６５と、主記憶装置となるＲＡＭ１６６と、それらをドライバ群１６３に連絡する周辺制御回路１７５と、を備えており、これらは互いに内部バス１６７により接続されている。ドライバ群１６３は、表示装置１６８を表示させるためのディスプレイドライバ１７１、機能液滴吐出ヘッド１１の吐出を制御するヘッドドライバ１７２、Ｘ・Ｙ移動機構６１を駆動するためのモータドライバ１７４、昇降モータ１６９を駆動する昇降モータドライバ１７３等の各種ドライバから構成されている。   The control unit 162 includes a CPU 164 configured by a microprocessor, a ROM 165 that stores various control programs, a RAM 166 that serves as a main storage device, and a peripheral control circuit 175 that communicates them to the driver group 163. These are connected to each other by an internal bus 167. The driver group 163 includes a display driver 171 for displaying the display device 168, a head driver 172 for controlling the ejection of the functional liquid droplet ejection head 11, a motor driver 174 for driving the XY movement mechanism 61, and a lift motor 169. It is comprised from various drivers, such as the raising / lowering motor driver 173 which drives.

上記した制御装置１６１において、ＣＰＵ１６４は、モータドライバ１７４を介してＸ・Ｙ移動機構６１を駆動し、機能液滴吐出ヘッド１１がワークＷに対して相対移動するように指示を行うとともに、ヘッドドライバ１７２を介して機能液滴吐出ヘッド１１の機能液滴の選択的吐出を制御して、機能液滴吐出ヘッド１１に所定のパターンの描画を行わせる。またＣＰＵ１６４は、昇降モータドライバ１７３を介して昇降機構１０３を制御し、機能液タンク５１を昇降させて、適切な水頭差をとるように機能液の液面高さを調整する。さらに、検出機構１７０からの信号は周辺制御回路１７５を介してＣＰＵ１６４に伝達され、機能液タンク５１の装着異常を報知できるようになっている。なお、この液面高さの調整は、ＣＰＵ１６４により機能液滴吐出ヘッド１１の吐出回数等（吸引も吐出回数に換算する）から機能液タンク５１の目減り量を算定し、この算定結果に基づいて行うことが好ましい。   In the control device 161 described above, the CPU 164 drives the X / Y moving mechanism 61 via the motor driver 174 to instruct the functional liquid droplet ejection head 11 to move relative to the workpiece W, and also to use the head driver. By controlling the selective ejection of the functional liquid droplets of the functional liquid droplet ejection head 11 via 172, the functional liquid droplet ejection head 11 is caused to draw a predetermined pattern. Further, the CPU 164 controls the lifting mechanism 103 via the lifting motor driver 173, and moves the functional liquid tank 51 up and down to adjust the liquid surface height of the functional liquid so as to take an appropriate water head difference. Further, a signal from the detection mechanism 170 is transmitted to the CPU 164 via the peripheral control circuit 175 so that an abnormal mounting of the functional liquid tank 51 can be notified. The adjustment of the liquid level is performed by calculating the reduction amount of the functional liquid tank 51 from the number of ejections of the functional liquid droplet ejection head 11 by the CPU 164 (suction is also converted into the number of ejections), and based on the calculation result. Preferably it is done.

以上が本発明の機能液滴吐出装置の第一実施形態である。本実施形態によれば、機能液供給チューブ５２が耐有機溶剤性、気体非透過性、および防水性を備えているとともに、機能液タンク５１、接続具１２１、およびヘッド側アダプタ５３も同様の性能を有しているため、機能液供給機構４全体において機能液に周囲エアーが混入することがない。したがって、機能液が変質を有効に防止できる。また、たとえ周囲エアーの酸素や窒素が、機能液供給チューブ５２を断面方向に超えて分子レベルで進入することがあっても、脱気した機能液がそれらを吸収するため流路内に微小な気泡が残ることがない。しかも、機能液供給チューブ５２が機能液によって膨潤することがないため、流路抵抗（圧力損失）が変化することもない。さらに、内面積層材５４は、成形収縮が少ないエチレンビニルアルコール共重合体で構成されていることから、流路を精密に成形することができる。以上から流路内の圧力を適切化でき、精度良く機能液滴を吐出することができる。   The above is the first embodiment of the functional liquid droplet ejection apparatus of the present invention. According to the present embodiment, the functional liquid supply tube 52 has organic solvent resistance, gas impermeability, and waterproofness, and the functional liquid tank 51, the connector 121, and the head-side adapter 53 have the same performance. Therefore, ambient air is not mixed into the functional liquid in the entire functional liquid supply mechanism 4. Therefore, the functional liquid can effectively prevent the alteration. Further, even if oxygen or nitrogen in the ambient air enters the molecular liquid level across the functional liquid supply tube 52 in the cross-sectional direction, the degassed functional liquid absorbs them and the minute amount in the flow path. No bubbles remain. Moreover, since the functional liquid supply tube 52 does not swell with the functional liquid, the flow path resistance (pressure loss) does not change. Furthermore, since the inner surface laminated material 54 is made of an ethylene vinyl alcohol copolymer with little molding shrinkage, the flow path can be precisely molded. From the above, the pressure in the flow path can be optimized, and functional droplets can be discharged with high accuracy.

次に図７を参照しながら、本発明の機能液滴吐出装置の第２実施形態について、主に上記した第１実施形態と異なる部分を説明する。この第２実施形態の機能液滴吐出装置は、機能液供給チューブ５２がより大口径に形成されており（例えば内径６ミリ）、機能液供給チューブ５２の上流側（上流端部）が機能液タンク５１（機能液パック８１）に設けられた機能液供給用のコネクタ（供給口部）１８１に直接接続され、下流側（下流端部）が機能液滴吐出ヘッド１１の導入口部１５に直接接続されている。   Next, with reference to FIG. 7, the second embodiment of the functional liquid droplet ejection apparatus of the present invention will be described mainly with respect to differences from the first embodiment described above. In the functional liquid droplet ejection device of the second embodiment, the functional liquid supply tube 52 is formed with a larger diameter (for example, an inner diameter of 6 mm), and the upstream side (upstream end portion) of the functional liquid supply tube 52 is the functional liquid. It is directly connected to a functional liquid supply connector (supply port portion) 181 provided in the tank 51 (functional liquid pack 81), and the downstream side (downstream end portion) is directly connected to the introduction port portion 15 of the functional liquid droplet ejection head 11. It is connected.

第２実施形態によれば、機能液滴吐出ヘッド１１に機能液を供給する機能液供給機構４は、１本の機能液供給チューブ１１と、機能液タンク５１とで構成されるため、異なる部材同士が接続する継ぎ目の数を最小限にすることができ、より効果的に機能液の変質を防ぐことができる。   According to the second embodiment, the functional liquid supply mechanism 4 that supplies the functional liquid to the functional liquid droplet ejection head 11 includes the single functional liquid supply tube 11 and the functional liquid tank 51, and thus different members. The number of seams connected to each other can be minimized, and the functional liquid can be prevented from being altered more effectively.

なお、本発明の機能液滴吐出装置は上記した構成以外にも、例えば図８に示すように、水系の機能液に専用の５層からなる水系機能液供給チューブ１８２を機能液供給機構４に用いてもよい。この水系機能液供給チューブ１８２は、ポリエチレンからなる最内層１８３と、ポリエチレンからなる最外層１８４と、エチレンビニルアルコール共重合体からなり最も中間に位置する中間層１８５と、最内層１８３と中間層１８５との間に位置しポリオリフィン系接着剤（例えばホットメルトしたポリエチレン）からなる内側接着剤層１８６と、最外層１８４と中間層１８５との間に位置しポリオリフィン系接着剤からなる外側接着剤層１８７とを有している。最内層１８３の内側には機能液が流れる機能液流路１８８が形成されている。   In addition to the above-described configuration, the functional liquid droplet ejection apparatus of the present invention has, as shown in FIG. 8, for example, an aqueous functional liquid supply tube 182 consisting of five layers dedicated to an aqueous functional liquid. It may be used. The aqueous functional liquid supply tube 182 includes an innermost layer 183 made of polyethylene, an outermost layer 184 made of polyethylene, an intermediate layer 185 made of an ethylene vinyl alcohol copolymer and positioned in the middle, an innermost layer 183 and an intermediate layer 185. An inner adhesive layer 186 made of a polyolefin adhesive (for example, hot-melted polyethylene) and an outer adhesive layer 187 made of a polyolefin adhesive located between the outermost layer 184 and the intermediate layer 185. And have. A functional liquid channel 188 through which the functional liquid flows is formed inside the innermost layer 183.

さらに、上記したタンク架台１０１に代えて、例えば図９に示すように、機能液タンク５１を昇降可能に支持するタンク昇降台１９１にしてもよい。このタンク昇降台１９１は、機能液タンク５１が直接載置される上側プレート１９２と、一方の支柱７２にブラケット形状に固定される下側プレート１９３と、上側プレート１９２を昇降自在に支持する前後一対のＸリンク１９４、１９４と、各Ｘリンク１９４の下側の一方の端部を連結する連結ロッド１９５と、連結ロッド１９５に螺合したリード状ねじ２０２と、リード状ねじ２０２を正逆回転する昇降駆動モータ１９６とを備えている。   Further, in place of the above-described tank mount 101, for example, as shown in FIG. 9, a tank lift 191 that supports the functional liquid tank 51 so as to be liftable may be used. The tank lifting platform 191 includes an upper plate 192 on which the functional liquid tank 51 is directly mounted, a lower plate 193 that is fixed to one support column 72 in a bracket shape, and a pair of front and rear that supports the upper plate 192 so as to be movable up and down. X links 194, 194, a connecting rod 195 that connects one end of the lower side of each X link 194, a lead screw 202 that is screwed to the connecting rod 195, and the lead screw 202 are rotated forward and backward. And an elevating drive motor 196.

Ｘリンク１９４は中間位置で相互に回動自在に連結した２個のリンク２０１、２０１からなり、２個のリンク２０１、２０１の一方の端部は、上側プレート１９２および下側プレート１９３の側面に形成した長孔１９９に水平方向に摺動可能かつ回動可能に、他方の端部は、上側プレート１９２および下側プレート１９３に回動可能に取り付けられている。昇降駆動モータ１９６が正逆回転することにより、連結ロッド１９５が長孔を案内にして進退し、Ｘリンク１９４、１９４が開閉脚して動作して上側プレート１９２が昇降動する。なお、Ｘリンク１９４を上下複数重ねて昇降用のリンク機構を構成してもよい。また、図示ではタンクホルダは省略されている。   The X link 194 includes two links 201 and 201 that are pivotably connected to each other at an intermediate position. One end of each of the two links 201 and 201 is on the side surface of the upper plate 192 and the lower plate 193. The other end is rotatably attached to the upper plate 192 and the lower plate 193 so as to be slidable and rotatable in the horizontal direction in the formed long hole 199. As the elevating drive motor 196 rotates forward and backward, the connecting rod 195 moves forward and backward with the elongated hole as a guide, and the X links 194 and 194 operate as opening and closing legs to move the upper plate 192 up and down. In addition, you may comprise the link mechanism for raising / lowering by piled up several X links 194 up and down. Further, in the drawing, the tank holder is omitted.

次に、本実施形態の機能液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、更にこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、及び薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板を言う。   Next, as an electro-optical device (flat panel display) manufactured using the functional droplet discharge device 1 of the present embodiment, a color filter, a liquid crystal display device, an organic EL device, a plasma display (PDP device), an electron emission device (FED device, SED device) Further, the structure and manufacturing method thereof will be described by taking an active matrix substrate and the like formed in these display devices as examples. Note that an active matrix substrate refers to a substrate on which a thin film transistor, a source line electrically connected to the thin film transistor, and a data line are formed.

先ず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１０は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１１は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１１）では、図１１（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。 First, a method for manufacturing a color filter incorporated in a liquid crystal display device, an organic EL device or the like will be described. FIG. 10 is a flowchart showing the manufacturing process of the color filter, and FIG. 11 is a schematic cross-sectional view of the color filter 500 (filter base body 500A) of this embodiment shown in the order of the manufacturing process.
First, in the black matrix forming step (S11), a black matrix 502 is formed on a substrate (W) 501 as shown in FIG. The black matrix 502 is formed of metal chromium, a laminate of metal chromium and chromium oxide, resin black, or the like. A sputtering method, a vapor deposition method, or the like can be used to form the black matrix 502 made of a metal thin film. Further, when forming the black matrix 502 made of a resin thin film, a gravure printing method, a photoresist method, a thermal transfer method, or the like can be used.

続いて、バンク形成工程（Ｓ１２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１１（ｂ）に示すように、基板５０１及びブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１１（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において液滴吐出ヘッド１１により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。 Subsequently, in the bank formation step (S12), the bank 503 is formed in a state of being superimposed on the black matrix 502. That is, first, as shown in FIG. 11B, a resist layer 504 made of a negative transparent photosensitive resin is formed so as to cover the substrate 501 and the black matrix 502. Then, an exposure process is performed with the upper surface covered with a mask film 505 formed in a matrix pattern shape.
Further, as shown in FIG. 11C, the resist layer 504 is patterned by etching an unexposed portion of the resist layer 504 to form a bank 503. When the black matrix is formed from resin black, it is possible to use both the black matrix and the bank.
The bank 503 and the black matrix 502 therebelow serve as a partition wall portion 507b that partitions each pixel region 507a, and in the subsequent colored layer forming step, colored layers (film forming portions) 508R, 508G, and 508B are formed by the droplet discharge head 11. The landing area of the functional droplet is defined when forming the.

以上のブラックマトリクス形成工程及びバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置精度が向上する。 The filter substrate 500A is obtained through the above black matrix forming step and bank forming step.
In the present embodiment, as the material of the bank 503, a resin material whose coating film surface is lyophobic (hydrophobic) is used. Since the surface of the substrate (glass substrate) 501 is lyophilic (hydrophilic), the droplets into each pixel region 507a surrounded by the bank 503 (partition wall portion 507b) in the colored layer forming step described later. The landing position accuracy is improved.

次に、着色層形成工程（Ｓ１３）では、図１１（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１１によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１１を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。   Next, in the colored layer forming step (S13), as shown in FIG. 11 (d), functional droplets are ejected by the functional droplet ejection head 11, and each pixel region 507a surrounded by the partition wall portion 507b is placed. Make it land. In this case, the functional liquid droplet ejection head 11 is used to introduce functional liquids (filter materials) of three colors of R, G, and B to eject functional liquid droplets. Note that the three-color arrangement pattern of R, G, and B includes a stripe arrangement, a mosaic arrangement, and a delta arrangement.

その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１４）に移り、図１１（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。 Thereafter, the functional liquid is fixed through a drying process (a process such as heating), and three colored layers 508R, 508G, and 508B are formed. When the colored layers 508R, 508G, and 508B are formed, the process proceeds to the protective film forming step (S14), and as shown in FIG. 11E, the substrate 501, the partition wall portion 507b, and the colored layers 508R, 508G, and 508B are moved. A protective film 509 is formed so as to cover the upper surface.
That is, after the protective film coating liquid is discharged over the entire surface of the substrate 501 where the colored layers 508R, 508G, and 508B are formed, the protective film 509 is formed through a drying process.
Then, after forming the protective film 509, the color filter 500 moves to a film forming process such as ITO (Indium Tin Oxide) which becomes a transparent electrode in the next process.

図１２は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１１に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。   FIG. 12 is a cross-sectional view of a main part showing a schematic configuration of a passive matrix liquid crystal device (liquid crystal device) as an example of a liquid crystal display device using the color filter 500 described above. By attaching auxiliary elements such as a liquid crystal driving IC, a backlight, and a support to the liquid crystal device 520, a transmissive liquid crystal display device as a final product can be obtained. Since the color filter 500 is the same as that shown in FIG. 11, the corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、及び、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。 The liquid crystal device 520 is roughly composed of a color filter 500, a counter substrate 521 made of a glass substrate, and a liquid crystal layer 522 made of STN (Super Twisted Nematic) liquid crystal composition sandwiched between them, The filter 500 is arranged on the upper side (observer side) in the figure.
Although not shown, polarizing plates are provided on the outer surfaces of the counter substrate 521 and the color filter 500 (surfaces opposite to the liquid crystal layer 522 side), and the polarizing plates located on the counter substrate 521 side are also provided. A backlight is disposed outside.

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１２において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。 On the protective film 509 of the color filter 500 (on the liquid crystal layer side), a plurality of strip-shaped first electrodes 523 elongated in the left-right direction in FIG. 12 are formed at a predetermined interval. The color of the first electrode 523 A first alignment film 524 is formed so as to cover the surface opposite to the filter 500 side.
On the other hand, a plurality of strip-shaped second electrodes 526 elongated in a direction orthogonal to the first electrode 523 of the color filter 500 are formed on the surface of the counter substrate 521 facing the color filter 500 at a predetermined interval. A second alignment film 527 is formed so as to cover the surface of the two electrodes 526 on the liquid crystal layer 522 side. The first electrode 523 and the second electrode 526 are made of a transparent conductive material such as ITO.

液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。 The spacer 528 provided in the liquid crystal layer 522 is a member for keeping the thickness (cell gap) of the liquid crystal layer 522 constant. The sealing material 529 is a member for preventing the liquid crystal composition in the liquid crystal layer 522 from leaking to the outside. Note that one end of the first electrode 523 extends to the outside of the sealing material 529 as a lead-out wiring 523a.
A portion where the first electrode 523 and the second electrode 526 intersect with each other is a pixel, and the color layers 508R, 508G, and 508B of the color filter 500 are located in the portion that becomes the pixel.

通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。   In a normal manufacturing process, patterning of the first electrode 523 and application of the first alignment film 524 are performed on the color filter 500 to create a portion on the color filter 500 side. Patterning of the electrode 526 and application of the second alignment film 527 are performed to create a portion on the counter substrate 521 side. Thereafter, a spacer 528 and a sealing material 529 are formed in the portion on the counter substrate 521 side, and the portion on the color filter 500 side is bonded in this state. Next, liquid crystal constituting the liquid crystal layer 522 is injected from the inlet of the sealing material 529, and the inlet is closed. Thereafter, both polarizing plates and the backlight are laminated.

実施形態の機能液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１１で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１１で行うことも可能である。   The functional liquid droplet ejection device 1 according to the embodiment applies, for example, a spacer material (functional liquid) that constitutes the cell gap described above, and seals before attaching the color filter 500 side portion to the counter substrate 521 side portion. Liquid crystal (functional liquid) can be uniformly applied to a region surrounded by the material 529. Further, the printing of the sealing material 529 can be performed by the functional liquid droplet ejection head 11. Furthermore, it is also possible to apply the first and second alignment films 524 and 527 by the functional liquid droplet ejection head 11.

図１３は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。 FIG. 13 is a cross-sectional view of an essential part showing a schematic configuration of a second example of a liquid crystal device using the color filter 500 manufactured in the present embodiment.
The liquid crystal device 530 is significantly different from the liquid crystal device 520 in that the color filter 500 is arranged on the lower side (the side opposite to the observer side) in the figure.
The liquid crystal device 530 is generally configured by sandwiching a liquid crystal layer 532 made of STN liquid crystal between a color filter 500 and a counter substrate 531 made of a glass substrate or the like. Although not shown, polarizing plates and the like are provided on the outer surfaces of the counter substrate 531 and the color filter 500, respectively.

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。 On the protective film 509 of the color filter 500 (on the liquid crystal layer 532 side), a plurality of strip-shaped first electrodes 533 elongated in the depth direction in the figure are formed at predetermined intervals, and the liquid crystal of the first electrodes 533 is formed. A first alignment film 534 is formed so as to cover the surface on the layer 532 side.
A plurality of strip-shaped second electrodes 536 extending in a direction orthogonal to the first electrode 533 on the color filter 500 side are formed on the surface of the counter substrate 531 facing the color filter 500 at a predetermined interval. A second alignment film 537 is formed so as to cover the surface of the second electrode 536 on the liquid crystal layer 532 side.

液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。 The liquid crystal layer 532 is provided with a spacer 538 for keeping the thickness of the liquid crystal layer 532 constant and a sealing material 539 for preventing the liquid crystal composition in the liquid crystal layer 532 from leaking to the outside. Yes.
Similarly to the liquid crystal device 520 described above, a portion where the first electrode 533 and the second electrode 536 intersect with each other is a pixel, and the colored layers 508R, 508G, and 508B of the color filter 500 are located at the portion that becomes the pixel. Is configured to do.

図１４は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。 FIG. 14 shows a third example in which a liquid crystal device is configured using a color filter 500 to which the present invention is applied, and is an exploded perspective view showing a schematic configuration of a transmissive TFT (Thin Film Transistor) type liquid crystal device. It is.
In the liquid crystal device 550, the color filter 500 is arranged on the upper side (observer side) in the figure.

この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。 The liquid crystal device 550 includes a color filter 500, a counter substrate 551 disposed so as to face the color filter 500, a liquid crystal layer (not shown) sandwiched therebetween, and an upper surface side (observer side) of the color filter 500. The polarizing plate 555 and the polarizing plate (not shown) arranged on the lower surface side of the counter substrate 551 are roughly configured.
A liquid crystal driving electrode 556 is formed on the surface of the protective film 509 of the color filter 500 (the surface on the counter substrate 551 side). The electrode 556 is made of a transparent conductive material such as ITO, and is a full surface electrode that covers the entire region where a pixel electrode 560 described later is formed. An alignment film 557 is provided so as to cover the surface of the electrode 556 opposite to the pixel electrode 560.

対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１及び信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。   An insulating layer 558 is formed on the surface of the counter substrate 551 facing the color filter 500, and the scanning lines 561 and the signal lines 562 are formed on the insulating layer 558 in a state of being orthogonal to each other. A pixel electrode 560 is formed in a region surrounded by the scanning lines 561 and the signal lines 562. In an actual liquid crystal device, an alignment film is provided on the pixel electrode 560, but the illustration is omitted.

また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。   In addition, a thin film transistor 563 including a source electrode, a drain electrode, a semiconductor, and a gate electrode is incorporated in a portion surrounded by the cutout portion of the pixel electrode 560 and the scanning line 561 and the signal line 562. . The thin film transistor 563 is turned on / off by application of signals to the scanning line 561 and the signal line 562 so that energization control to the pixel electrode 560 can be performed.

なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。   Note that the liquid crystal devices 520, 530, and 550 in the above examples are transmissive, but a reflective liquid crystal device or a transflective liquid crystal device is provided by providing a reflective layer or a transflective layer. You can also.

次に、図１５は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。   Next, FIG. 15 is a cross-sectional view of a main part of a display region of the organic EL device (hereinafter simply referred to as a display device 600).

この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３及び陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。 The display device 600 is schematically configured with a circuit element portion 602, a light emitting element portion 603, and a cathode 604 stacked on a substrate (W) 601.
In the display device 600, light emitted from the light emitting element portion 603 to the substrate 601 side is transmitted through the circuit element portion 602 and the substrate 601 and emitted to the observer side, and the light emitting element portion 603 is opposite to the substrate 601. After the light emitted to the side is reflected by the cathode 604, the light passes through the circuit element portion 602 and the substrate 601 and is emitted to the observer side.

回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａ及びドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。   A base protective film 606 made of a silicon oxide film is formed between the circuit element portion 602 and the substrate 601, and an island-shaped semiconductor film 607 made of polycrystalline silicon is formed on the base protective film 606 (on the light emitting element portion 603 side). Is formed. In the left and right regions of the semiconductor film 607, a source region 607a and a drain region 607b are formed by high concentration cation implantation, respectively. A central portion where no positive ions are implanted is a channel region 607c.

また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６及び半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９及びゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。   In the circuit element portion 602, a transparent gate insulating film 608 covering the base protective film 606 and the semiconductor film 607 is formed, and a position corresponding to the channel region 607c of the semiconductor film 607 on the gate insulating film 608 is formed. For example, a gate electrode 609 made of Al, Mo, Ta, Ti, W or the like is formed. On the gate electrode 609 and the gate insulating film 608, a transparent first interlayer insulating film 611a and a second interlayer insulating film 611b are formed. Further, contact holes 612a and 612b are formed through the first and second interlayer insulating films 611a and 611b and communicating with the source region 607a and the drain region 607b of the semiconductor film 607, respectively.

そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。 A transparent pixel electrode 613 made of ITO or the like is patterned and formed in a predetermined shape on the second interlayer insulating film 611b, and the pixel electrode 613 is connected to the source region 607a through the contact hole 612a. .
A power supply line 614 is disposed on the first interlayer insulating film 611a, and the power supply line 614 is connected to the drain region 607b through the contact hole 612b.

このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。   Thus, the driving thin film transistors 615 connected to the pixel electrodes 613 are formed in the circuit element portion 602, respectively.

上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３及び機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、及び、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。 The light emitting element portion 603 includes a functional layer 617 stacked on each of the plurality of pixel electrodes 613, and a bank portion 618 provided between each pixel electrode 613 and the functional layer 617 to partition each functional layer 617. It is roughly structured.
The pixel electrode 613, the functional layer 617, and the cathode 604 provided on the functional layer 617 constitute a light emitting element. Note that the pixel electrode 613 is formed by patterning in a substantially rectangular shape in plan view, and a bank portion 618 is formed between the pixel electrodes 613.

バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。 The bank unit 618 is laminated on the inorganic bank layer 618a (first bank layer) 618a formed of an inorganic material such as SiO, SiO 2 , TiO 2 and the like, and is laminated on the inorganic bank layer 618a. It is composed of an organic bank layer 618b (second bank layer) having a trapezoidal cross section formed of a resist having excellent heat resistance and solvent resistance. A part of the bank unit 618 is formed on the peripheral edge of the pixel electrode 613.
An opening 619 that gradually expands upward with respect to the pixel electrode 613 is formed between the bank portions 618.

上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層を更に形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成する事も可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。 The functional layer 617 includes a hole injection / transport layer 617a formed in a stacked state on the pixel electrode 613 in the opening 619, and a light emitting layer 617b formed on the hole injection / transport layer 617a. Has been. In addition, you may further form the other functional layer which has another function adjacent to this light emitting layer 617b. For example, it is possible to form an electron transport layer.
The hole injection / transport layer 617a has a function of transporting holes from the pixel electrode 613 side and injecting them into the light emitting layer 617b. The hole injection / transport layer 617a is formed by discharging a first composition (functional liquid) containing a hole injection / transport layer forming material. A known material is used as the hole injection / transport layer forming material.

発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、又は青色（Ｂ）の何れかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。   The light emitting layer 617b emits light in red (R), green (G), or blue (B), and discharges a second composition (functional liquid) containing a light emitting layer forming material (light emitting material). Is formed. As the solvent (nonpolar solvent) of the second composition, a known material that is insoluble in the hole injection / transport layer 617a is preferably used, and such a nonpolar solvent is used as the second composition of the light emitting layer 617b. By using the light emitting layer 617b, the light emitting layer 617b can be formed without re-dissolving the hole injection / transport layer 617a.

そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。   The light emitting layer 617b is configured such that the holes injected from the hole injection / transport layer 617a and the electrons injected from the cathode 604 are recombined in the light emitting layer to emit light.

陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。   The cathode 604 is formed so as to cover the entire surface of the light emitting element portion 603, and plays a role of flowing current to the functional layer 617 in a pair with the pixel electrode 613. Note that a sealing member (not shown) is disposed on the cathode 604.

次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１６〜図２４を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１６に示すように、バンク部形成工程（Ｓ２１）、表面処理工程（Ｓ２２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）、発光層形成工程（Ｓ２４）、及び対向電極形成工程（Ｓ２５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。 Next, a manufacturing process of the display device 600 will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 16, the display device 600 includes a bank part forming step (S21), a surface treatment step (S22), a hole injection / transport layer forming step (S23), a light emitting layer forming step (S24), It is manufactured through an electrode forming step (S25). In addition, a manufacturing process is not restricted to what is illustrated, and when other processes are removed as needed, it may be added.

まず、バンク部形成工程（Ｓ２１）では、図１７に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１８に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。 First, in the bank part forming step (S21), as shown in FIG. 17, an inorganic bank layer 618a is formed on the second interlayer insulating film 611b. The inorganic bank layer 618a is formed by forming an inorganic film at a formation position and then patterning the inorganic film by a photolithography technique or the like. At this time, a part of the inorganic bank layer 618 a is formed so as to overlap with the peripheral edge of the pixel electrode 613.
When the inorganic bank layer 618a is formed, an organic bank layer 618b is formed on the inorganic bank layer 618a as shown in FIG. The organic bank layer 618b is also formed by patterning using a photolithography technique or the like in the same manner as the inorganic bank layer 618a.
In this way, the bank portion 618 is formed. Accordingly, an opening 619 opening upward with respect to the pixel electrode 613 is formed between the bank portions 618. The opening 619 defines a pixel region.

表面処理工程（Ｓ２２）では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａ及び画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓ及び有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１１を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。 In the surface treatment step (S22), a lyophilic process and a lyophobic process are performed. The regions to be subjected to the lyophilic treatment are the first stacked portion 618aa of the inorganic bank layer 618a and the electrode surface 613a of the pixel electrode 613. These regions are made lyophilic by plasma treatment using oxygen as a processing gas, for example. Is done. This plasma treatment also serves to clean the ITO that is the pixel electrode 613.
In addition, the lyophobic treatment is performed on the wall surface 618s of the organic bank layer 618b and the upper surface 618t of the organic bank layer 618b, and the surface is fluorinated (treated to be liquid repellent) by plasma treatment using, for example, tetrafluoromethane. )
By performing this surface treatment process, when the functional layer 617 is formed using the functional liquid droplet ejection head 11, the functional liquid droplets can be landed more reliably on the pixel area. It is possible to prevent the functional droplets from overflowing from the opening 619.

そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した機能液滴吐出装置１のセットテーブル６６に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）及び発光層形成工程（Ｓ２４）が行われる。   Then, the display device base 600A is obtained through the above steps. The display device base 600A is placed on the set table 66 of the functional liquid droplet ejection device 1 shown in FIG. 1, and the following hole injection / transport layer forming step (S23) and light emitting layer forming step (S24) are performed. Is called.

図１９に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）では、機能液滴吐出ヘッド１１から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図１９に示すように、乾燥処理及び熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。   As shown in FIG. 19, in the hole injection / transport layer forming step (S23), the first composition containing the hole injection / transport layer forming material is removed from the functional droplet discharge head 11 into each opening 619 that is a pixel region. Discharge inside. After that, as shown in FIG. 19, a drying process and a heat treatment are performed to evaporate the polar solvent contained in the first composition, thereby forming a hole injection / transport layer 617a on the pixel electrode (electrode surface 613a) 613.

次に発光層形成工程（Ｓ２４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。 Next, the light emitting layer forming step (S24) will be described. In this light emitting layer forming step, as described above, in order to prevent re-dissolution of the hole injection / transport layer 617a, the hole injection / transport layer 617a is used as a solvent for the second composition used in forming the light emitting layer. A non-polar solvent insoluble in.
However, since the hole injection / transport layer 617a has a low affinity for the nonpolar solvent, the hole injection / transport layer 617a has a low affinity even if the second composition containing the nonpolar solvent is discharged onto the hole injection / transport layer 617a. There is a possibility that the injection / transport layer 617a and the light emitting layer 617b cannot be adhered to each other, or the light emitting layer 617b cannot be applied uniformly.
Therefore, in order to increase the surface affinity of the hole injection / transport layer 617a with respect to the nonpolar solvent and the light emitting layer forming material, it is preferable to perform a surface treatment (surface modification treatment) before forming the light emitting layer. In this surface treatment, a surface modifying material which is the same solvent as the non-polar solvent of the second composition used in the formation of the light emitting layer or a similar solvent is applied on the hole injection / transport layer 617a, and this is applied. This is done by drying.
By performing such treatment, the surface of the hole injection / transport layer 617a is easily adapted to the nonpolar solvent. In the subsequent step, the second composition containing the light emitting layer forming material is added to the hole injection / transport layer. It can be uniformly applied to 617a.

そして次に、図２１に示すように、各色のうちの何れか（図２１の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。   Then, as shown in FIG. 21, the second composition containing the light emitting layer forming material corresponding to one of the colors (blue (B) in the example of FIG. 21) is used as a functional droplet as a pixel region ( A predetermined amount is driven into the opening 619). The second composition driven into the pixel region spreads on the hole injection / transport layer 617a and fills the opening 619. Even if the second composition deviates from the pixel region and lands on the upper surface 618t of the bank portion 618, the upper composition 618t is subjected to the liquid repellent treatment as described above. Things are easy to roll into the opening 619.

その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２２に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。   Thereafter, by performing a drying process or the like, the discharged second composition is dried, the nonpolar solvent contained in the second composition is evaporated, and as shown in FIG. 22, the hole injection / transport layer 617a A light emitting layer 617b is formed thereon. In the case of this figure, a light emitting layer 617b corresponding to blue (B) is formed.

同様に、機能液滴吐出ヘッド１１を用い、図２３に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）及び緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。   Similarly, using the functional liquid droplet ejection head 11, as shown in FIG. 23, the same steps as in the case of the light emitting layer 617b corresponding to the blue (B) described above are sequentially performed, and other colors (red (R) and red (R) and A light emitting layer 617b corresponding to green (G) is formed. Note that the order in which the light-emitting layers 617b are formed is not limited to the illustrated order, and may be formed in any order. For example, the order of formation can be determined according to the light emitting layer forming material. In addition, the arrangement pattern of the three colors R, G, and B includes a stripe arrangement, a mosaic arrangement, a delta arrangement, and the like.

以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａ及び発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ２５）に移行する。   As described above, the functional layer 617, that is, the hole injection / transport layer 617a and the light emitting layer 617b are formed on the pixel electrode 613. And it transfers to a counter electrode formation process (S25).

対向電極形成工程（Ｓ２５）では、図２４に示すように、発光層６１７ｂ及び有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ２、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。 In the counter electrode forming step (S25), as shown in FIG. 24, a cathode 604 (counter electrode) is formed on the entire surface of the light emitting layer 617b and the organic bank layer 618b by, for example, vapor deposition, sputtering, CVD, or the like. In the present embodiment, the cathode 604 is configured by, for example, laminating a calcium layer and an aluminum layer.
On top of the cathode 604, an Al film, an Ag film as electrodes, and a protective layer such as SiO 2 or SiN for preventing oxidation thereof are provided as appropriate.

このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。   After forming the cathode 604 in this way, the display device 600 is obtained by performing other processes such as a sealing process for sealing the upper part of the cathode 604 with a sealing member and a wiring process.

次に、図２５は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、及びこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。 Next, FIG. 25 is an exploded perspective view of an essential part of a plasma display device (PDP device: hereinafter simply referred to as a display device 700). In the figure, the display device 700 is shown with a part thereof cut away.
The display device 700 is schematically configured to include a first substrate 701 and a second substrate 702 that are disposed to face each other, and a discharge display portion 703 that is formed therebetween. The discharge display unit 703 includes a plurality of discharge chambers 705. Among the plurality of discharge chambers 705, the three discharge chambers 705 of the red discharge chamber 705R, the green discharge chamber 705G, and the blue discharge chamber 705B are arranged to form one pixel.

第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。 Address electrodes 706 are formed in stripes at predetermined intervals on the upper surface of the first substrate 701, and a dielectric layer 707 is formed so as to cover the address electrodes 706 and the upper surface of the first substrate 701. On the dielectric layer 707, partition walls 708 are provided so as to be positioned between the address electrodes 706 and along the address electrodes 706. The partition 708 includes one extending on both sides in the width direction of the address electrode 706 as shown, and one not shown extending in the direction orthogonal to the address electrode 706.
A region partitioned by the partition 708 is a discharge chamber 705.

放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。   A phosphor 709 is disposed in the discharge chamber 705. The phosphor 709 emits red (R), green (G), or blue (B) fluorescence. The red phosphor 709R is disposed at the bottom of the red discharge chamber 705R, and the green discharge chamber 705G. A green phosphor 709G and a blue phosphor 709B are arranged at the bottom and the blue discharge chamber 705B, respectively.

第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、及びＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。 On the lower surface of the second substrate 702 in the drawing, a plurality of display electrodes 711 are formed in stripes at predetermined intervals in a direction orthogonal to the address electrodes 706. A dielectric layer 712 and a protective film 713 made of MgO or the like are formed so as to cover them.
The first substrate 701 and the second substrate 702 are bonded so that the address electrodes 706 and the display electrodes 711 face each other in a state of being orthogonal to each other. The address electrode 706 and the display electrode 711 are connected to an AC power source (not shown).
When the electrodes 706 and 711 are energized, the phosphor 709 emits light in the discharge display portion 703, and color display is possible.

本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、及び蛍光体７０９を、図１に示した機能液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を機能液滴吐出装置１のセットテーブル６６に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１１により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。 In the present embodiment, the address electrode 706, the display electrode 711, and the phosphor 709 can be formed using the functional liquid droplet ejection apparatus 1 shown in FIG. Hereinafter, a process of forming the address electrode 706 on the first substrate 701 will be exemplified.
In this case, the following steps are performed with the first substrate 701 placed on the set table 66 of the functional liquid droplet ejection apparatus 1.
First, a liquid material (functional liquid) containing a conductive film wiring forming material is landed on the address electrode formation region as a functional liquid droplet by the functional liquid droplet ejection head 11. This liquid material is obtained by dispersing conductive fine particles such as metal in a dispersion medium as a conductive film wiring forming material. As the conductive fine particles, metal fine particles containing gold, silver, copper, palladium, nickel, or the like, a conductive polymer, or the like is used.

補充対象となる全てのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。   When the replenishment of the liquid material is completed for all the address electrode formation regions to be replenished, the address material 706 is formed by drying the discharged liquid material and evaporating the dispersion medium contained in the liquid material. .

ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１及び蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を液滴吐出ヘッド１１から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。 By the way, although the formation of the address electrode 706 has been exemplified in the above, the display electrode 711 and the phosphor 709 can also be formed through the above steps.
In the case of forming the display electrode 711, as in the case of the address electrode 706, a liquid material (functional liquid) containing a conductive film wiring forming material is landed on the display electrode formation region as a functional droplet.
In the case of forming the phosphor 709, a liquid material (functional liquid) containing a fluorescent material corresponding to each color (R, G, B) is ejected as droplets from the droplet ejection head 11, and the corresponding color. In the discharge chamber 705.

次に、図２６は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、及びこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。 Next, FIG. 26 is a cross-sectional view of an essential part of an electron emission device (also referred to as an FED device or an SED device: hereinafter simply referred to as a display device 800). In the drawing, a part of the display device 800 is shown as a cross section.
The display device 800 includes a first substrate 801, a second substrate 802, and a field emission display unit 803 formed therebetween, which are disposed to face each other. The field emission display unit 803 includes a plurality of electron emission units 805 arranged in a matrix.

第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。   On the upper surface of the first substrate 801, a first element electrode 806a and a second element electrode 806b constituting the cathode electrode 806 are formed so as to be orthogonal to each other. In addition, a conductive film 807 having a gap 808 is formed in a portion partitioned by the first element electrode 806a and the second element electrode 806b. That is, the first element electrode 806a, the second element electrode 806b, and the conductive film 807 constitute a plurality of electron emission portions 805. The conductive film 807 is made of, for example, palladium oxide (PdO), and the gap 808 is formed by forming after forming the conductive film 807.

第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。   An anode electrode 809 that faces the cathode electrode 806 is formed on the lower surface of the second substrate 802. A lattice-shaped bank portion 811 is formed on the lower surface of the anode electrode 809, and a phosphor 813 is disposed in each downward opening 812 surrounded by the bank portion 811 so as to correspond to the electron emission portion 805. Yes. The phosphor 813 emits fluorescence of any one of red (R), green (G), and blue (B), and each opening 812 has a red phosphor 813R, a green phosphor 813G, and a blue color. The phosphors 813B are arranged in the predetermined pattern described above.

そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。   The first substrate 801 and the second substrate 802 configured as described above are bonded together with a minute gap. In this display device 800, electrons that jump out of the first element electrode 806 a or the second element electrode 806 b that are cathodes through the conductive film (gap 808) 807 are formed on the phosphor 813 formed on the anode electrode 809 that is an anode. When excited, it emits light and enables color display.

この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、機能液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、機能液滴吐出装置１を用いて形成することができる。   Also in this case, as in the other embodiments, the first element electrode 806a, the second element electrode 806b, the conductive film 807, and the anode electrode 809 can be formed using the functional liquid droplet ejection device 1, and The phosphors 813R, 813G, and 813B of the respective colors can be formed using the functional droplet discharge device 1.

第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２６（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２６（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（機能液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（機能液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。   The first element electrode 806a, the second element electrode 806b, and the conductive film 807 have the planar shape shown in FIG. 26A, and when these are formed, as shown in FIG. In addition, the bank portion BB is formed (photolithographic method), leaving portions where the first element electrode 806a, the second element electrode 806b, and the conductive film 807 are previously formed. Next, the first element electrode 806a and the second element electrode 806b are formed in the groove portion constituted by the bank portion BB (inkjet method using the functional liquid droplet ejection apparatus 1), and the solvent is dried to form a film. After that, a conductive film 807 is formed (an ink jet method using the functional droplet discharge device 1). Then, after forming the conductive film 807, the bank portion BB is removed (ashing peeling process), and the process proceeds to the above forming process. As in the case of the organic EL device described above, it is preferable to perform a lyophilic process on the first substrate 801 and the second substrate 802 and a lyophobic process on the bank portions 811 and BB.

また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した機能液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。   As other electro-optical devices, devices such as metal wiring formation, lens formation, resist formation, and light diffuser formation are conceivable. By using the functional droplet discharge device 1 described above for manufacturing various electro-optical devices (devices), various electro-optical devices can be efficiently manufactured.

第１実施形態の機能液供給機構を搭載した機能液滴吐出装置の平面模式図である。1 is a schematic plan view of a functional liquid droplet ejection apparatus equipped with a functional liquid supply mechanism according to a first embodiment. 第１実施形態のタンク架台の側面図である。It is a side view of the tank mount of a 1st embodiment. 機能液タンクを示した図であり、（ａ）機能液タンクの分解斜視図、（ｂ）機能液パックの斜視図、（ｃ）機能液タンクの正面図である。It is the figure which showed the functional liquid tank, (a) The exploded perspective view of a functional liquid tank, (b) The perspective view of a functional liquid pack, (c) The front view of a functional liquid tank. 第１実施形態の機能液供給機構の接続構造を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the connection structure of the functional liquid supply mechanism of 1st Embodiment. 機能液供給チューブの側面模式図である。It is a side surface schematic diagram of a functional liquid supply tube. 機能液滴吐出装置の主制御系である制御装置を示したブロック図である。It is the block diagram which showed the control apparatus which is the main control system of a functional droplet discharge apparatus. 第２実施形態の機能液供給機構の接続構造を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the connection structure of the functional liquid supply mechanism of 2nd Embodiment. 水系機能液供給チューブの側面模式図である。It is a side surface schematic diagram of an aqueous functional liquid supply tube. タンク昇降台の外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of a tank lifting platform. カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining a color filter manufacturing process. （ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。(A)-(e) is a schematic cross section of the color filter shown to the manufacturing process order. 本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows schematic structure of the liquid crystal device using the color filter to which this invention is applied. 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows schematic structure of the liquid crystal device of the 2nd example using the color filter to which this invention is applied. 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows schematic structure of the liquid crystal device of the 3rd example using the color filter to which this invention is applied. 有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。It is principal part sectional drawing of the display apparatus which is an organic electroluminescent apparatus. 有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining the manufacturing process of the display apparatus which is an organic electroluminescent apparatus. 無機物バンク層の形成を説明する工程図である。It is process drawing explaining formation of an inorganic bank layer. 有機物バンク層の形成を説明する工程図である。It is process drawing explaining formation of an organic substance bank layer. 正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。It is process drawing explaining the process in which a positive hole injection / transport layer is formed. 正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。It is process drawing explaining the state in which the positive hole injection / transport layer was formed. 青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。It is process drawing explaining the process in which a blue light emitting layer is formed. 青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。It is process drawing explaining the state in which the blue light emitting layer was formed. 各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。It is process drawing explaining the state in which the light emitting layer of each color was formed. 陰極の形成を説明する工程図である。It is process drawing explaining formation of a cathode. プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。It is a principal part disassembled perspective view of the display apparatus which is a plasma type display apparatus (PDP apparatus). 電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。It is principal part sectional drawing of the display apparatus which is an electron emission apparatus (FED apparatus). 表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。It is the top view (a) around the electron emission part of a display apparatus, and the top view (b) which shows the formation method.

符号の説明Explanation of symbols

１ 機能液滴吐出装置 １１ 機能液滴吐出ヘッド
５１ 機能液タンク ５２ 機能液供給チューブ
５４ 内面積層材 ５５ 外面積層材
５６ 接着剤層 ６１ Ｘ・Ｙ移動機構
Ｗ ワーク
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Function droplet discharge device 11 Function droplet discharge head 51 Function liquid tank 52 Function liquid supply tube 54 Inner surface laminated material 55 Outer area layer material 56 Adhesive layer 61 XY movement mechanism W Workpiece

Claims (12)

有機溶剤を溶媒とする機能液の流路を構成する機能液供給チューブであって、
断面方向において、
耐有機溶剤性を有すると共に気体非透過性を有する最内層の内面積層材と、
防水性を有する最外層の外面積層材と、を備えたことを特徴とする機能液供給チューブ。 A functional liquid supply tube constituting a flow path of a functional liquid using an organic solvent as a solvent,
In the cross-sectional direction,
An innermost laminated material having organic solvent resistance and gas impermeability, and
A functional liquid supply tube comprising: an outermost outer layer material having waterproofness. 前記内面積層材と前記外面積層材とを接着する、接着剤層を更に備えたことを特徴とする請求項１に記載の機能液供給チューブ。   The functional fluid supply tube according to claim 1, further comprising an adhesive layer that bonds the inner surface laminated material and the outer area layer material. 前記接着剤層は、ポリオレフィン系接着剤で構成されていることを特徴とする請求項２に記載の機能液供給チューブ。   The functional liquid supply tube according to claim 2, wherein the adhesive layer is made of a polyolefin-based adhesive. 前記内面積層材は、エチレンビニルアルコール共重合体で構成されることを特徴とする請求項１、２または３に記載の機能液供給チューブ。   The functional liquid supply tube according to claim 1, wherein the inner surface laminated material is made of an ethylene vinyl alcohol copolymer. 前記外面積層材は、ポリエチレンおよびポリプロピレンのいずれかで構成されることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の機能液供給チューブ。   The functional liquid supply tube according to claim 1, wherein the outer area layer material is made of polyethylene or polypropylene. 前記機能液は、有機ＥＬ装置の発光層を構成するＥＬ発光材を主成分とするものであることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の機能液供給チューブ。   The functional liquid supply tube according to any one of claims 1 to 5, wherein the functional liquid is mainly composed of an EL light emitting material constituting a light emitting layer of an organic EL device. ワークに対し複数のノズルから機能液滴を吐出する機能液滴吐出ヘッドに前記機能液を供給する機能液供給機構であって、
前記機能液を貯留する機能液タンクと、
上流側を前記機能液タンクに接続し、下流側を前記機能液滴吐出ヘッドに接続した請求項１ないし６のいずれかに記載の機能液供給チューブと、を備えたことを特徴とする機能液供給機構。 A functional liquid supply mechanism that supplies the functional liquid to a functional liquid droplet ejection head that ejects functional liquid droplets from a plurality of nozzles to a workpiece,
A functional liquid tank for storing the functional liquid;
7. A functional liquid comprising: the functional liquid supply tube according to claim 1, wherein an upstream side is connected to the functional liquid tank, and a downstream side is connected to the functional liquid droplet ejection head. Supply mechanism. 前記機能液は、脱気した状態で前記機能液タンクに貯留されていることを特徴とする請求項７に記載の機能液供給機構。   The functional liquid supply mechanism according to claim 7, wherein the functional liquid is stored in the functional liquid tank in a degassed state. 請求項７または８に記載の機能液供給機構と、
前記機能液滴吐出ヘッドと、
前記ワークを、前記機能液滴吐出ヘッドに対しＸ軸方向およびＹ軸方向に相対的に移動させるＸ・Ｙ移動機構と、を備えたことを特徴とする機能液滴吐出装置。 The functional liquid supply mechanism according to claim 7 or 8,
The functional liquid droplet ejection head;
A functional liquid droplet ejection apparatus comprising: an XY movement mechanism that moves the work relative to the functional liquid droplet ejection head in the X-axis direction and the Y-axis direction. 請求項９に記載の機能液滴吐出装置を用い、前記ワークに前記機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。   10. A method of manufacturing an electro-optical device, wherein the functional liquid droplet ejection device according to claim 9 is used to form a film forming portion with the functional liquid droplets on the workpiece. 請求項９に記載の機能液滴吐出装置を用い、前記ワークに前記機能液滴による前記成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。   An electro-optical device using the functional liquid droplet ejection device according to claim 9, wherein the film forming unit is formed by the functional liquid droplets on the workpiece. 請求項１０に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１１に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
An electronic apparatus comprising the electro-optical device manufactured by the method for manufacturing the electro-optical device according to claim 10 or the electro-optical device according to claim 11.
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