JP2005111569A - メタルボンド砥石 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 メタルボンド成分2に超砥粒3とガラス質成分4とを分散して焼結した砥粒層1を有するメタルボンド砥石であって、メタルボンド成分2の焼結温度とガラス質成分4の軟化点とが略等しい温度である。
【選択図】 図1
Description
ワーク:アルミナ焼結品(幅50mm、長さ50mm、厚さ0.5mm)
加工機:東京精密製 A−WD−10A
ダイシングテープ:東洋化学製 UHP−1525M3
クーラント:市水
であり、回転数20000rpm、切込み深さをワーク厚さ+0.05mmとし、送り速度を2mm/secから10mm/secまで1mm/secずつ上昇させて各送り速度ごとに1つのワークを切断し、ワーク長さ50mmでの最大曲がり量を測定した。
ワーク:LTCCパッケージ(幅60mm、長さ60mm、厚さ1.5mm)
であり、加工機、ダイシングテープ、クーラントは実施例1および従来例1の場合と同じであって、回転数12000rpm、切込み深さをワーク厚さ+0.05mmとし、送り速度を5mm/secおよび10mm/secとして各送り速度ごとに1つのワークを切断し、チッピングの最大の大きさを測定した。
2 メタルボンド相
3 超砥粒
4 ガラス質成分
Claims (4)
- メタルボンド成分に超砥粒とガラス質成分とを分散して焼結した砥粒層を有するメタルボンド砥石であって、上記メタルボンド成分の焼結温度と上記ガラス質成分の軟化点とが略等しい温度とされていることを特徴とするメタルボンド砥石。
- 上記メタルボンド成分の焼結温度と上記ガラス質成分の軟化点との温度差が50℃以内とされていることを特徴とする請求項1に記載のメタルボンド砥石。
- 上記メタルボンド成分がCuおよびSnを主成分とする金属であり、上記ガラス質成分が鉛ガラスまたは硼酸塩ガラスであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のメタルボンド砥石。
- 上記メタルボンド成分がCu、Sn、およびCoを主成分とする金属であり、上記ガラス質成分が硼珪酸ガラスであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のメタルボンド砥石。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003344826A Pending JP2005111569A (ja) | 2003-10-02 | 2003-10-02 | メタルボンド砥石 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008229794A (ja) * | 2007-03-22 | 2008-10-02 | Mizuho:Kk | 超砥粒メタルボンド砥石 |
CN102470512A (zh) * | 2009-07-21 | 2012-05-23 | 本田技研工业株式会社 | 金属结合剂磨石及其制造方法 |
JP2012240164A (ja) * | 2011-05-20 | 2012-12-10 | Fujimi Inc | メタルボンド砥石 |
JP2014128878A (ja) * | 2014-03-04 | 2014-07-10 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 薄刃ブレード |
-
2003
- 2003-10-02 JP JP2003344826A patent/JP2005111569A/ja active Pending
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