JP2005107878A - 半導体プロセス技術情報の提供システム、提供方法、及び購入方法 - Google Patents

半導体プロセス技術情報の提供システム、提供方法、及び購入方法 Download PDF

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Abstract

【課題】時間と労力が削減される一方、柔軟性に富んだ取引が可能な半導体プロセス技術情報の提供システムを提供する。
【解決手段】半導体プロセス技術情報の提供システム２０は、仲介部２４と、プロセスＩＰ格納部３１と、付随情報格納部３２と、顧客管理部３３と、制御部２６とを有する。仲介部２４は、電気通信回線網１０を介してユーザ１１と情報の交換を行う。プロセスＩＰ格納部３１は、半導体プロセス技術を複数に分割したプロセスＩＰとを格納する。付随情報格納部３２はプロセスＩＰに関連する付随情報を格納する。顧客管理部３３は、プロセスＩＰを獲得するために所定の手続きで登録されたユーザ情報を管理する。制御部２６は、プロセスＩＰ格納部３１、付随情報格納部３２、顧客管理部３３、及び仲介部２４を制御する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、電気通信回線網を介して半導体プロセス技術情報を提供するシステム、提供する方法、及び購入する方法に関する。
半導体デバイスは複数プロセスを経て形成されるが、ノウハウの要素が多い。その理由の１つとして、設備とその設備を使って各プロセスを実行する際の条件(温度、材料、材質、使用量など)に依存することがあげられる。通常、この条件が各社のノウハウとなっている。従来、半導体プロセス技術を契約によって他社に提供する場合、これらの無数の条件を製造装置毎にチューニングすることは不可能に近いため、提供元が持つ製造装置も含めて製造工程の全てをワンパッケージとして提供することが一般的である。しかしながら、このような提供契約の形態では、無数の条件を含む数百以上のプロセスを移転することとなり、移転終了までに相当なコスト、時間と労力が必要とされ、提供先にとっても提供元にとっても負担が大きい。
更に、提供先にとっては、パッケージの中に自社がもともと有している技術が存在する場合や、パッケージで提供される装置ではなく、自社が保有する装置などを利用したい場合がある。しかし、半導体プロセス技術の提供を、一連の技術全てを含むワンパッケージで契約すると、このような場合に対応することができない。即ち、従来から行われている半導体プロセス技術を契約によって他社に提供する形態は、柔軟性に欠け無駄が多い。更に、技術提供元と技術提供先に物理的な距離（例えば海外など）がある場合には、契約締結や技術情報取得に相当の時間と労力が必要であり、非効率的である。
特許文献１は、半導体製品に再利用可能な設計資産の流通を行う１つ以上のサーバを備えた半導体設計資産の流通システムを開示する。このシステムは、設計資産を登録すると共に、流通システムの利用者及び当該利用者が利用できるサービスを登録する登録手段と、利用者に許可されたサービスを実行する実行手段と、設計資産を自動的に流通させる流通手段と、を具備する。
特開平１１−２２４２８４号公報
本発明は、半導体プロセス技術情報の提供契約において、時間と労力を削減する一方、柔軟性に富んだ取引を可能にすることを目的とする。
本発明の第１の視点は、半導体プロセス技術情報の提供システムであって、
電気通信回線網を介してユーザと情報の交換を行う仲介部と、
半導体プロセス技術を複数に分割して分類した技術情報であるプロセスＩＰを格納するプロセスＩＰ格納部と、
前記プロセスＩＰ格納部に格納された前記プロセスＩＰに関連する付随情報を格納する付随情報格納部と、
前記プロセスＩＰ及び前記付随情報を獲得するために所定の手続きで登録された前記ユーザのユーザ情報を管理する顧客管理部と、
前記プロセスＩＰ格納部、前記付随情報格納部、及び前記顧客管理部に対するデータの入出力と、前記仲介部を介して行う外部に対する情報の入出力とを制御する制御部と、
を具備することを特徴とする。
本発明の第２の視点は、半導体プロセス技術情報の提供方法であって、
電気通信回線網を介してユーザによって入力されたユーザ情報に基づいて、前記ユーザに第１のＩＤ及び第１のパスワードを付与するステップと、
前記第１のＩＤ及び前記第１のパスワードを用いて前記電気通信回線網を介してアクセスする前記ユーザに対して、半導体プロセス技術を複数に分割して分類した技術情報であるプロセスＩＰを閲覧させるステップと、
前記ユーザにより前記プロセスＩＰから選択された選択プロセスＩＰを示す購入依頼通知に基づいて、前記ユーザに前記選択プロセスＩＰの納期及び見積もりを通知するステップと、
前記ユーザが前記納期及び前記見積もりに基づいて前記選択プロセスＩＰの購入に承諾したことを確認した後、前記ユーザにライセンス契約締結に必要な第１のＵＲＬ、第２のＩＤ、及び第２のパスワードを通知するステップと、
前記ユーザが前記第１のＵＲＬで前記第２のＩＤ及び前記第２のパスワードを用いてライセンス契約に同意し、指定の金融機関の口座にライセンス料を振り込んだことを確認した後、前記ユーザに前記選択プロセスＩＰをダウンロードするための第２のＵＲＬ、第３のＩＤ、及び第３のパスワードを通知するステップと、
前記ユーザが前記第２のＵＲＬで前記第３のＩＤ及び前記第３のパスワードを用いて前記選択プロセスＩＰのダウンロードを完了させたことを確認するステップと、
を具備することを特徴とする。
本発明の第３の視点は、半導体プロセス技術情報の提供方法であって、
電気通信回線網を介してユーザによって入力されたユーザ情報に基づいて、前記ユーザに第１のＩＤ及び第１のパスワードを付与するステップと、
前記第１のＩＤ及び前記第１のパスワードを用いて前記電気通信回線網を介してアクセスする前記ユーザに対して、半導体プロセス技術を複数に分割して分類した技術情報であるプロセスＩＰを閲覧させるステップと、
前記ユーザにより前記プロセスＩＰから選択された選択プロセスＩＰを示す購入依頼通知に基づいて、前記ユーザに前記選択プロセスＩＰの納期及び見積もりを通知するステップと、
前記ユーザが前記納期及び前記見積もりに基づいて前記選択プロセスＩＰの購入に承諾したことを確認した後、前記ユーザにライセンス契約締結に必要な第１のＵＲＬ、第２のＩＤ、及び第２のパスワードを通知するステップと、
前記ユーザが前記第１のＵＲＬで前記第２のＩＤ及び前記第２のパスワードを用いてライセンス契約に同意し、指定の金融機関の口座にライセンス料を振り込んだことを確認した後、前記選択プロセスＩＰが格納されたシリアルＩＤ付きの記録媒体を前記ユーザに発送するステップと、
前記記録媒体を発送した後、前記電気通信回線網を介して前記ユーザに発送通知を送信するステップと、
前記ユーザが前記記録媒体を受領したことを確認するステップと、
を具備することを特徴とする半導体プロセス技術情報の提供方法。
本発明の第４の視点は、半導体プロセス技術情報の購入方法であって、
管理者によって運営される半導体プロセス技術情報の提供システムに、電気通信回線網を介してアクセスしてユーザ情報を入力するステップと、
前記ユーザ情報に基づいて前記管理者から付与される第１のＩＤ及び第１のパスワードを受領するステップと、
前記第１のＩＤ及び前記第１のパスワードを用いて、前記電気通信回線網を介して前記提供システムにアクセスし、半導体プロセス技術を複数に分割して分類した技術情報であるプロセスＩＰを閲覧するステップと、
前記プロセスＩＰから、購入を希望するプロセスＩＰを選択し、前記管理者に選択プロセスＩＰを示す購入依頼通知を送信するステップと、
前記購入依頼通知に基づいて前記管理者から通知された前記選択プロセスＩＰの納期及び見積もりを確認して、前記選択プロセスＩＰの購入に承諾するステップと、
前記選択プロセスＩＰの購入への承諾に基づいて前記管理者から付与される、前記選択プロセスＩＰの購入に関するライセンス契約締結に必要な第１のＵＲＬ、第２のＩＤ、及び第２のパスワードを受領するステップと、
前記第１のＵＲＬで前記第２のＩＤ及び前記第２のパスワードを用いてライセンス契約に同意するステップと、
指定の金融機関の講座にライセンス料を振り込むステップと、
前記ライセンス契約への同意及び前記ライセンス料の振り込みに基づいて前記管理者から付与される、前記選択プロセスＩＰをダウンロードするための第２のＵＲＬ、第３のＩＤ、及び第３のパスワードを受領するステップと、
前記第２のＵＲＬで前記第３のＩＤ及び前記第３のパスワードを用いて前記選択プロセスＩＰをダウンロードするステップと、
を具備することを特徴とする。
本発明の第５の視点は、半導体プロセス技術情報の購入方法であって、
管理者によって運営される半導体プロセス技術情報の提供システムに、電気通信回線網を介してアクセスしてユーザ情報を入力するステップと、
前記ユーザ情報に基づいて前記管理者から付与される第１のＩＤ及び第１のパスワードを受領するステップと、
前記第１のＩＤ及び前記第１のパスワードを用いて、前記電気通信回線網を介して前記提供システムにアクセスし、半導体プロセス技術を複数に分割して分類した技術情報であるプロセスＩＰを閲覧するステップと、
前記プロセスＩＰから、購入を希望するプロセスＩＰを選択し、前記管理者に選択プロセスＩＰを示す購入依頼通知を送信するステップと、
前記購入依頼通知に基づいて前記管理者から通知された前記選択プロセスＩＰの納期及び見積もりを確認して、前記選択プロセスＩＰの購入に承諾するステップと、
前記選択プロセスＩＰの購入への承諾に基づいて前記管理者から付与される、前記選択プロセスＩＰの購入に関するライセンス契約締結に必要な第１のＵＲＬ、第２のＩＤ、及び第２のパスワードを受領するステップと、
前記第１のＵＲＬで前記第２のＩＤ及び前記第２のパスワードを用いてライセンス契約に同意するステップと、
指定の金融機関の講座にライセンス料を振り込むステップと、
前記ライセンス契約への同意及び前記ライセンス料の振り込みに基づいて前記管理者から発送される、前記選択プロセスＩＰが格納されたシリアルＩＤ付きの記録媒体を受領するステップと、
を具備することを特徴とする。
更に、本発明に係る実施の形態には種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出され得る。例えば、実施の形態に示される全構成要件から幾つかの構成要件が省略されることで発明が抽出された場合、その抽出された発明を実施する場合には省略部分が周知慣用技術で適宜補われるものである。
本発明に係る半導体プロセス技術情報の提供システム、提供方法、及び購入方法よれば、半導体プロセス技術情報の提供契約において、時間と労力が削減される一方、柔軟性に富んだ取引が可能となる。
以下に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る半導体プロセス技術情報の提供システムを含むビジネスモデルを示すブロック図である。この提供システムは、電気通信回線網を介して半導体プロセス技術情報を提供するように、管理サービス事業者（管理者）によって運営される。半導体プロセス技術情報は、予め半導体プロセス技術を複数に分けてＩＰ（Intellectual Property）化することにより形成されるものである。従って、以下の説明では、半導体プロセス技術情報を主に「プロセスＩＰ」という名で言及する。
図１に示されるように、管理サービス事業者によって運営される本実施の形態に係るプロセスＩＰの提供システム２０は、インターネットなどのネットワーク（電気通信回線網）１０を介して、パーソナルコンピュータなどからなる利用者端末装置１１によりアクセス可能なウェブサイトに配設される。典型的には、利用者端末装置１１としては、半導体プロセス技術情報の購入者（顧客であるユーザ）の端末装置を想定している。また、提供システム２０はプロセスＩＰをユーザに提供する上で必要な登録されたパートナー（協力会社）１１〜１８に対してもネットワーク１０を介して接続される。このため、提供システム２０のホストサーバ２２、即ちホストコンピュータは、ユーザや協力会社に対して情報の交換を行うための窓口となる仲介部２４を有する。なお、パートナー１１〜１８の名称と共に示される枠は、ネットワーク１０に接続されたパートナー１１〜１８側のコンピュータを意味する。また、図１において、符号２１は接続サーバを示す。
図１において、パートナーの例として、半導体製造事業者１３、中古半導体製造装置メーカー１４、半導体製造装置メーカー１５、代理店１６、商社１７、リース事業者１８が示される。半導体製造事業者１３は、提供システム２０を介してプロセスＩＰ及びサービスを提供する。中古半導体製造装置メーカー１４は、提供システム２０を介して中古の半導体製造装置及びサービスを提供する。半導体製造装置メーカー１５は、提供システム２０を介して半導体製造装置及びサービスを提供する。代理店１６は、提供システム２０を介してプロセスＩＰに関する各種技術サービス、例えばサポートやコンサルティングを提供する。商社１７は、提供システム２０を介して半導体製造装置などの仲介業を行う。リース事業者１８は、提供システム２０を介して半導体製造装置をリースする。
図１において、パートナー１３〜１８の枠内に示されるサービス群、装置群、前工程群は、夫々のパートナーが提供することができる商品を意味する。ここで、前工程とは、半導体プロセス技術の内、ダイシングの前まで、即ち、ウエハ上に回路を形成する段階で必要な工程を意味する。一方、ダイシング以降、即ち、ＩＣチップを切り出して外部端子と配線で繋いでパッケージに封入する段階で必要な工程は、後工程と呼ぶものとする。なお、パートナーは上述の例に限られるものではなく、例えば、半導体製造に関わる設計会社などをパートナーとして登録してもよい。
ホストサーバ２２の仲介部２４は、インターネットなどのネットワーク１０上で情報を閲覧するために情報公開エリアとしてのウェブページを提供する機能を有する。更に、仲介部２４は、ネットワーク１０上で提供する情報を入力するために作業エリアとしてのウェブページを提供する機能を有する。これらの機能は、ホストサーバ２２に接続された下記のデータベース３１〜３５に格納された情報やプログラムを利用して実行される。なお、データベース３１〜３５に対する入出力制御や、仲介部２４を介して行う外部に対する情報の入出力を制御するため、ホストサーバ２２に制御部２６が配設される。
図１において、データベースの例として、プロセスＩＰデータベース３１、サービスデータベース３２、顧客管理データベース３３、アライアンスデータベース３４、プログラムデータベース３５が示される。プロセスＩＰデータベース３１には、半導体プロセス技術が複数のユニットに分けて分類（ＩＰ化）された状態で格納される。サービスデータベース３２には、各プロセスＩＰに付随するトレーニングやコンサルティングの内容（付随情報）が格納される。顧客管理データベース３３には、半導体プロセス技術の提供を受けるために会員登録した会員のユーザ情報や過去のその会員の提供履歴などが格納される。アライアンスデータベース３４には、各プロセスＩＰを導入するにあたり必要な製造装置や材料などの情報を紹介するためのデータが格納される。プログラムデータベース３５には、プロセスＩＰやサービスの提供に必要なプログラムが格納される。
ホストサーバ２２の制御部２６は、端末装置１１から、ネットワーク（電気通信回線網）１０を介してアクセスしてくる利用者に対して、仲介部２４介して情報の交換を行う。利用者が、後述するようなＩＤ及びパスワードを有する登録会員（ユーザ）である場合、制御部２６は、仲介部２４を介してプロセスＩＰデータベース３１内の必要な情報の閲覧や購入を可能とする。例えば、登録会員は、端末装置１１のキーボードなどを用いて、仲介部２４を介して提供システム２０に必要なデータを入力する、或いはプロセスＩＰの購入申込み手続きをすることができる。また、登録会員は、提供システム２０から端末装置１１にプロセスＩＰを直接ダウンロードする、或いは端末装置１１のディスプレイなどに必要なデータを表示することができる。
一般に半導体プロセスは、連続して行われる一連のプロセスフローを持ち、複数の独立した（公知の）ユニットプロセス群（モジュールセット）の塊により構成される。各ユニットプロセス群(モジュールセット)には、各ユーザが所有する設備、装置、環境、材料、デザインなどに依存する複雑且つ膨大な情報を持ってチューニングしていく作業が必要となる。しかし、チューニングには膨大な時間と手間を要するため、従来は、技術移転或いは提供の際、移転元と同じ設備及び装置を移転先に導入して同じ条件で技術移転或いは提供を行っている。
しかしながら、第１の実施の形態では、一連の半導体製造技術が、プロセスの前後からの影響をできるだけ少なくなるような、モジュールセットよりも更に小さな単位で分割される。これにより、異なる連続プロセス内のモジュールセットの一部を互いに入れ替えたり、組み合わせたりすることができる。例えば、半導体プロセスは、成膜及び加工の繰り返しから成り立っている。このことを利用して、製造に関するプロセスＩＰとして、下地に対して未加工且つ機能を持たない膜を生成した時点までをプロセスＩＰとして分割することができる。
図２は、第１の実施の形態に係る半導体プロセス技術の分類を示す図である。図２に示すように、半導体製造技術５０は、製造技術５２、生産技術５４、クリーンルーム技術５６などを含む。製造技術５２は、前述の前工程群及び後工程群などからなる。生産技術５４は、歩留や生産効率を向上させるためのノウハウであるイールドマネージメントやファブリケーションマネージメントなどである。クリーンルーム技術５６は、クリーンルームの設計及び建設やクリーンルームを維持させるファシリティ技術などである。
この中で、例えば、製造技術５２は更に、ユニットプロセス５２２、プロセスモジュール５２４、モジュールセット５２６などに分類される。ユニットプロセス５２２は、一般的に１つの装置で完結する処理による分類であり、例えば、リソグラフィー、ＣＭＰ（Chemical Mechanical Polishing）、エッチング、アッシング、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）、洗浄、拡散、ドライエッチング、ウェットエッチング、堆積などのプロセスＩＰを含む。プロセスモジュール５２４は半導体デバイスの構造ごとの分類であり、例えば、ＳＴＩ（Shallow Trench Isolation）、ＧＣ（Gate Contact）、サリサイド、メタル、ＩＭＤ（Inter-Metal Dielectric）などのプロセスＩＰを含む。モジュールセット５２６はウエハ上の層に基づく分類であり、例えば、ＢＥＯＬ（Back End Of Line）、ＦＥＯＬ（Front End Of Line）などのプロセスＩＰを含む。ここで、ＢＥＯＬは配線工程以降の層の形成に関し、ＦＥＯＬは配線工程の前までの層の形成に関する。
図３は、図２に示される分類とは異なる観点でなされた第１の実施の形態に係るプロセスモジュールの分類を模式的に示す図である。図４は、図２に示される分類とは異なる観点でなされた第１の実施の形態に係るモジュールセットの分類を模式的に示す図である。図３に示されるように、プロセスモジュール５２４は、例えば、デザイン情報、プロセス情報、装置、材料、デバイス情報といった技術情報の観点で分類されたプロセスＩＰを含むことも可能である。また、図４に示されるように、モジュールセット５２６は、プロセスジュール５２４と同様にデザイン情報、プロセス情報、装置、材料、デバイス情報で分類されたプロセスＩＰのほかに、例えば、品質及び信頼性で分類されたプロセスＩＰを含むことも可能である。
上述のように、製造技術５２は、ユニットプロセス５２２、プロセスモジュール５２４、モジュールセット５２６といった観点で分類されたプロセスＩＰを含む。また、製造技術５２は、デザイン情報、プロセス情報、装置、材料、デバイス情報、品質及び信頼性といった技術情報で分類されたプロセスＩＰを含む。このように、製造技術５２では、異なる観点で分類されたプロセスＩＰを任意に組み合わせて提供することができる。
図５は、第１の実施の形態に係る技術情報の分類を、プロセスＩＰの分類標記用の英文字と共に示す図である。これらの英文字は、検索用のキーワードとして使用することが可能である。図５に示すように、上述のような、製品技術の技術情報に加え、生産技術やクリーンルーム（図５ではＣＲで示される）技術に関連する、クリーンルームファシリティーやテストビークルといった技術情報のプロセスＩＰも提供することが可能である。
なお、第１の実施の形態では、理解を容易にするため、製造技術に関して、前工程についてのみ説明している。しかし、製造技術の後工程についても同様に分類し、プロセスＩＰとして提供することができる。
（第２の実施の形態）
図６は、本発明の第２の実施の形態に係る、半導体プロセス技術情報の提供方法を示すフローチャートである。この方法は、第１の実施の形態に係る半導体プロセス技術情報の提供システムを使用して実施することができる。従って、第２の実施の形態では、必要に応じて、図１中の符号を使用して説明を行う。
ユーザは、まず、インターネットなどのネットワーク（電気通信回線網）１０を介して、自身の端末装置１１から、プロセスＩＰの提供システム２０によって形成される所定のウェブサイトにアクセスする。そして、提供システム２０に対して、会社情報、申込者情報、法務担当情報などのユーザ情報を所定の様式に従って入力及び送信して、会員登録の申請を行う（工程Ｕ１）。
これに対して、提供システム２０によって形成されるウェブサイトを運営する管理サービス事業者は、送信されたユーザ情報に基づいて審査を行う。審査の結果、ユーザ情報に問題なければ、第１のＩＤ及び第１のパスワードを発行し、会員登録の通知と共に電気通信回線網を介してユーザに通知する（工程Ｓ１）。
ユーザは、提供システム２０によって形成されるウェブサイトにアクセスして第１のＩＤ及び第１のパスワードを入力することによって、会員専用ページからプロセスＩＰデータベース３１の一部にアクセスすることが可能となる（工程Ｕ２）。これにより、プロセスＩＰの情報の一部、例えば、購入可能なプロセスＩＰのリストの閲覧とそれに付随するサービスの申込みとが可能となる（工程Ｕ３）。ユーザは、プロセスＩＰリストから各プロセスＩＰの詳細データにアクセスすることができ、例えば、ＩＰ名、概要、ファイルのファイルサイズ及びＣＤ−ＲＯＭ枚数及び文書の頁数、発行日などを閲覧することができる。
ユーザは、プロセスＩＰのリストの中から購入希望のプロセスＩＰを選択し、ウェブサイト上に作られた仮想カートに入れていく。次に、仮想カートに入っているプロセスＩＰの中から、最終的に購入を希望するプロセスを確定し、電気通信回線網を介して購入依頼を管理サービス事業者に通知する（工程Ｕ４）。このとき、購入依頼したプロセスＩＰのリストは、提供システム２０の顧客管理データベース３３にも格納される。
購入依頼通知を受領した管理サービス事業者は、対象のプロセスＩＰの提供形態が、ダウンロード形式であるか、ＣＤ−ＲＯＭや文書などであるかを確認する。また、管理サービス事業者は、ＣＤ―ＲＯＭ或いは文書などの場合には在庫を確認する。このように、購入依頼通知の内容を確認の上、対象のプロセスＩＰの納期及び見積もりを作成してユーザに通知する（工程Ｓ２）。
ユーザは、ウェブサイト上で納期と見積もりとを確認し、購入する場合には所定の場所にある承諾ボタンを押し、購入確定する（工程Ｕ５）。管理サービス事業者は、ユーザが納期及び見積もりに承諾したことを確認した後、ユーザにプロセスＩＰ購入時のライセンス契約書を送付、若しくはライセンス契約締結のためのＵＲＬ、第２のＩＤ及び第２のパスワードを通知する（工程Ｓ３）。
ユーザは、電気通信回線網を介して通知されたＵＲＬにアクセスして、第２のＩＤ及び第２のパスワードを入力する。次に、表示されたライセンス契約の内容を確認し、問題がなければ承諾ボタンを押してライセンス契約を締結する（工程Ｕ６）。管理サービス事業者は、ユーザがライセンス契約を締結したことを確認し、ライセンス料を振り込むための入金案内を行う（工程Ｓ４）。
ユーザは、所定の期間内に、指定された金融機関の口座にライセンス料を振り込む（工程Ｕ７）。管理サービス事業者は、ユーザが指定の口座にライセンス料を振り込んだことを確認した（工程Ｓ５）後、ダウンロード形式の場合には、ダウンロード専用のＵＲＬ、第３のＩＤ及び第３のパスワードをユーザに通知する（工程Ｓ６）。
ユーザは、通知されたＵＲＬにアクセスし、第３のＩＤ及び第３のパスワードを入力してログインし、購入許可の得られたシリアルＩＤ付きのプロセスＩＰをダウンロードする（工程Ｕ８）。ダウンロードが完了すると、プロセスＩＰ受領画面に遷移するように設定されており、ユーザはこの画面で受領確認ボタンを押す。管理サービス事業者は、その後、受領証明及び無料サポート期間などを示した証明書を発行する（工程Ｓ７）。
一方、プロセスＩＰをＣＤ−ＲＯＭや文書で提供する場合には、図７に示されるフローチャートに従って処理される。図７は、図６に示されるフローチャートにおいて、プロセスＩＰをＣＤ−ＲＯＭや文書で提供する場合のフローの後半部分を示す図である。
即ち、この場合、管理サービス事業者は、ライセンス料の振り込みを確認した（工程Ｓ５）後、シリアルＩＤ付きのＣＤ−ＲＯＭ或いは文書をユーザに発送する（工程Ｓ１６）。この時、電気通信回線網を介してユーザに発送通知が出される。ユーザは、ＣＤ−ＲＯＭ或いは文書を受領した際に、所定のウェブサイト上で受領確認ボタンを押し、管理サービス事業者に受領したことを通知する（工程Ｕ１８）。管理サービス事業者は、その後、受領証明及び無料サポート期間などを示した証明書を発行する（工程Ｓ１７）。
また、ユーザは、提供システム２０によって形成されるウェブサイト上の会員専用ページから、必要に応じて登録されたパートナー１３〜１８にアクセスすることができる。即ち、ユーザは、提供システム２０を介して、登録された半導体製造事業者１３、中古半導体製造装置メーカー１４、半導体製造装置メーカー１５、代理店１６、商社１７及びリース事業者１８などのウェブサイトにアクセスし、所望の製造装置やサービスなどの提供を受ける。このような方法によれば、ユーザは、半導体製造工程全部に係る技術の提供を受けるのではなく、自分が必要とする部分に関してのみ技術提供を受けることができるので、莫大な費用を要することなく短時間で必要な技術を取り入れることができる。
（第３の実施の形態）
会員登録したユーザは、プロセスＩＰの選定相談を受け付けるカウンセリングサービスを受けることができる。また、プロセスＩＰを購入したユーザは、購入したプロセスＩＰの補足説明などを行うセミナーや各種コンサルティングなどの付随サービスを受けることができる。いずれのサービスも、ユーザが提供システム２０によって形成されるウェブサイト上で所定の申し込みフォーマットに必要事項を記入して送信することにより、管理サービス事業者に申し込みを行う。第３の実施の形態に係る方法は、第１の実施の形態に係る半導体プロセス技術情報の提供システムを使用して実施することができる。従って、第３の実施の形態では、必要に応じて、図１中の符号を使用して説明を行う。
図８は、本発明の第３の実施の形態に係る、プロセスＩＰの購入に付随するカウンセリングのサービスの提供方法を示すフローチャートである。ユーザ側で、予め購入したいプロセスＩＰが決定していない場合、例えば現在ユーザの行っている半導体デバイス製造において、問題があることは自覚しているが、具体的な改善策が分かっていない場合がある。このような場合、会員登録したユーザは、管理サービス事業者から、状況に応じた適当な候補のプロセスＩＰやコンサルティング内容の提供を受けることができる。
具体的には、図８に示されるように、ユーザは、提供システム２０によって形成されるウェブサイトにアクセスして第１のＩＤ及び第１のパスワードを入力することによって、会員専用ページにアクセスする（工程Ｕ３１）。そして、ユーザは、ウェブサイト上で現在自覚している問題点、改善させたい項目などを選択或いは入力し、プロセスＩＰ選定依頼を行う（工程Ｕ３２）。
これに対して、提供システム２０によって形成されるウェブサイトを運営する管理サービス事業者は、依頼内容に応じて、予め登録している半導体製造事業者（例えば図１中に符号１３で示される）の半導体技術者の中から適当な技術者を選定し、半導体製造事業者に検討依頼をする（工程Ｓ３１）。半導体技術者は、ユーザが依頼してきた内容を検討し、購入できるプロセスＩＰの中から適当なものを選定する、或いは必要に応じて半導体製造事業者側でコンサルティング案を検討するなどの作業を行う（工程Ｍ３１）。次に、半導体製造事業者は、ユーザに推奨するプロセスＩＰのリストとコンサルティング案にアドバイスを添付して、提供システム２０によって形成されるウェブサイトを介して、ユーザに送信する。この際、併せて納期や見積もりなども添付する。
ユーザは送信されたリストの中から購入を希望するプロセスＩＰ或いはコンサルティングを選択し、ウェブ上に作られた仮想カートに入れていく。次に、仮想カートに入っているプロセスＩＰやコンサルティングメニューの中から、最終的に購入を希望するものを確定し、電気通信回線網を介して購入依頼を管理サービス事業者に通知する（工程Ｕ３３）。管理サービス事業者は、ユーザが納期及び見積もりに承諾したことを確認した後、ユーザにプロセスＩＰ購入時のライセンス契約書を送付、若しくはライセンス契約締結のためのＵＲＬ、第２のＩＤ及び第２のパスワードを通知する（工程Ｓ３２）。その後は、第２の実施の形態に記載されるのものと同様の購入手続きを進める。
カウンセリングを行う場合、上述のように問題点や改善項目をユーザに選択或いは入力させる方法に代え、ユーザが現在のクリーンルーム内の設備などを撮影した動画／静止画を、電気通信回線網を介して管理サービス事業者に送信する方法も採用することが可能である。或いは、ユーザが希望申請し、管理サービス事業者側が承諾した場合には、上述の半導体技術者を現地へ派遣して行うこともできる。
図９は、本発明の第３の実施の形態に係る、プロセスＩＰの購入に付随するセミナーのサービスの提供方法を示すフローチャートである。管理サービス事業者は、プロセスＩＰの提供後に、ユーザに対してプロセスＩＰの補足説明などを行うセミナーを開催する場合ある。このような場合、管理サービス事業者は、電気通信回線網を介してユーザに対してセミナーの開催を通知する（工程Ｓ４１）。セミナーの受講を希望する場合、ユーザは、提供システム２０によって形成されるウェブサイト上でセミナーの受講申し込みを行う（工程Ｕ４１）。
ユーザは、所定の期間内に、指定された金融機関の口座にセミナーの受講料を振り込む（工程Ｕ４２）。管理サービス事業者は、ユーザが指定の口座にライセンス料を振り込んだことを確認した（工程Ｓ４２）後、受講料を支払ったユーザに対し、所定のウェブサイト上、或いは会場などでセミナーを行う（工程Ｓ４３）。ユーザがセミナーを受講した（工程Ｕ４３）後、管理サービス事業者は、セミナーに関して、受講証明及び質問期間案内などを示した証明書を発行する（工程Ｓ４４）。
所定のウェブサイト上でセミナーを行う場合、セミナー終了後、ウェブサイト上に受講確認のボタンが表示され、ユーザがこのボタンを押すことで受講終了となる。一方、所定の会場でセミナーを行った場合、管理サービス事業者は、セミナー終了時に受講者から受講報告書を受け取る。管理サービス事業者は、この受講報告書を、ユーザ情報を格納するサーバにアップロードし、ユーザが随時確認できるようにする。
図１０は、本発明の第３の実施の形態に係る、プロセスＩＰの購入に付随するコンサルティングのサービスの提供方法を示すフローチャートである。ユーザは、プロセスＩＰに関連し、各種コンサルティングを受けることを希望する場合がある。このような場合、ユーザは、提供システム２０によって形成されるウェブサイト上で、コンサルティングの申し込みを行う（工程Ｕ５１）。なお、コンサルティングの申し込みは、プロセスＩＰを購入したアクセス権限をもつユーザのみが可能となるように設定することができる。
例えば、この申し込みを行うため、ユーザは、コンサルティングを受けたい旨の依頼、希望するコンサルティング内容、及び希望するコンサルティング期間などの必要事項をウェブサイト上で記入する。なお、コンサルティング内容に関し、ユーザに依頼内容を直接入力させる方法に代え、ウェブサイト上で対応可能なコンサルティング内容についてのリストを表示し、リストの中からユーザに所望のコンサルティング内容を選択させる方法を採用することができる。
ユーザから申請を受けた管理サービス事業者は、実施するコンサルティング内容とコンサルティングを行う期間を明記したコンサルティング提供決定通知を、電気通信回線網を介してユーザに送付する（工程Ｓ５１）。ユーザは所定のウェブサイト若しくは送信されたメールによって内容及び期間を確認し、購入する意志がある場合は管理サービス事業者に連絡する（工程Ｕ５２）。管理サービス事業者は、ユーザが承諾したことを確認した後、ユーザにコンサルティング契約書を送付、若しくはコンサルティング契約締結のためのＵＲＬ、第４のＩＤ及び第４のパスワードを通知する（工程Ｓ５２）
ユーザは、電気通信回線網を介して通知されたＵＲＬにアクセスして、第４のＩＤ及び第４のパスワードを入力する。次に、コンサルティング契約の内容を確認し、問題がなければ承諾ボタンを押してライセンス契約を締結する（工程Ｕ５３）。管理サービス事業者は、ユーザがライセンス契約を締結したことを確認し、ライセンス料を振り込むための入金案内を行う（工程Ｓ５３）。
ユーザは、所定の期間内に、指定された金融機関の口座にライセンス料を振り込む（工程Ｕ５４）。管理サービス事業者は、ユーザが指定の口座にライセンス料を振り込んだことを確認した（工程Ｓ５４）後、所定のウェブサイト上でユーザにコンサルティングを提供する（工程Ｓ５５）。ユーザがコンサルティングを受けた（工程Ｕ５５）後、ウェブサイト上に受領確認のボタンが表示され、ユーザがこのボタンを押すことで受領確認となる。その後、管理サービス事業者は、コンサルティングに関して、受領証明及び及び無料サポート期間などを示した証明書を発行する（工程Ｓ５６）。
（第４の実施の形態）
次に、電気通信回線網を利用して技術提供をした場合の技術提供終了時の流れについて説明する。第４の実施の形態に係る方法は、第１の実施の形態に係る半導体プロセス技術情報の提供システムを使用して実施する第２及び第３の形態に係る方法に適用することができる。
所定のウェブサイトからのダウンロードによってユーザにプロセスＩＰを提供する場合、管理サービス事業者は、例えば、ウェブサイト上でダウンロード完了時に発行する証明書に、受領証明と１ヶ月の無料サポート期間を明記する。また、ＣＤ−ＲＯＭによってユーザにプロセスＩＰを提供する場合、管理サービス事業者は、例えば、ＣＤ−ＲＯＭの発送時に、証明書を発行するためのＵＲＬを通知し、このＵＲＬにアクセスした際に表示される証明書に受領証明と所定期間、例えば１ヶ月の無料サポート期間を明記する。
無料サポート期間中、ユーザは所定のウェブサイト上で、受領したプロセスＩＰに関する質問などを送信することができる。これに対して、管理サービス事業者は、電気通信回線網を介してユーザの質問に答えるなどサポートを行う。その後、管理サービス事業者は、例えば、無料サポート期間満了の７日前に、電気通信回線網を介してユーザに期間満了期日を連絡する通知を行う。更に、管理サービス事業者は、期間満了日に電気通信回線網を介してユーザに期間満了通知を行い、この通知の送信をもって、プロセスＩＰによる技術提供の終了とする。
プロセスＩＰをＣＤ−ＲＯＭ或いは文書でユーザに送付することにより技術提供を行う場合、管理サービス事業者は、例えば、発送時に、電気通信回線網を介してユーザに発送通知を出す。ユーザは、ＣＤ−ＲＯＭ或いは文書を受領した際に、所定のウェブサイト上で受領確認ボタンを押し、管理サービス事業者に受領したことを通知する。その後、管理サービス事業者は、受領証明及び無料サポート期間などを示した証明書を発行する。
その後は、ダウンロードの場合と同様に、管理サービス事業者は、例えば、無料サポート期間満了の７日前に、電気通信回線網を介してユーザに期間満了期日を連絡する通知を行う。更に、管理サービス事業者は、期間満了日に電気通信回線網を介してユーザに期間満了通知を行い、この通知の送信をもって、プロセスＩＰによる技術提供の終了とする。
プロセスＩＰを購入したユーザに対して提供したプロセスＩＰの補足説明などを行うセミナーを開催する場合、管理サービス事業者は、例えば、所定のウェブサイト上でセミナーの受講申し込みを受け付ける。その後、管理サービス事業者は、所定のウェブサイト上、或いは会場などでセミナーを行う。
ウェブサイト上でセミナーを行う場合、セミナー終了後、所定のウェブサイト上に受講確認のボタンが表示され、ユーザがこのボタンを押すことで受講終了となる。その後、管理サービス事業者は、例えば、２週間に限って所定のウェブサイト上で質問を受け付け、受講者からの質問に随時対応する。管理サービス事業者は、２週間後の質問期間満了時に受講者に対して期間満了の通知を行い、この通知をもってセミナーの終了とする。
所定の会場でセミナーを行う場合、管理サービス事業者は、セミナー終了時に受講者から受講報告書を受け取る。管理サービス事業者は、この受講報告書を、ユーザ情報を格納するサーバにアップロードし、ユーザが随時確認できるようにする。その後、管理サービス事業者は、例えば、セミナー開催日から２週間に限って所定のウェブサイト上で質問を受け付け、受講者からの質問に随時対応する。管理サービス事業者は、２週間後の質問期間満了時に受講者に対して期間満了の通知を行い、この通知をもってセミナーの終了とする。
プロセスＩＰを購入したユーザが各種コンサルティングを希望する場合、管理サービス事業者は、所定のウェブサイト上でユーザからの申請を受け付ける。この際、ユーザに、コンサルティングを受けたい旨の依頼、希望するコンサルティング内容、及び希望するコンサルティング期間などを必要事項としてウェブサイト上で記入させる。なお、コンサルティングの申し込みは、プロセスＩＰを購入したアクセス権限をもつユーザのみが可能となるように設定することができる。コンサルティング内容に関し、ユーザに依頼内容を直接入力させる方法に代え、ウェブサイト上で対応可能なコンサルティング内容についてのリストを表示し、リストの中からユーザに所望のコンサルティング内容を選択させる方法を採用することができる。
ユーザから申請を受けた管理サービス事業者は、実施するコンサルティング内容とコンサルティングを行う期間を明記したコンサルティング提供決定通知を、電気通信回線網を介してユーザに送付する。その後、管理サービス事業者は、通知に明記された内容と期間に従ってユーザに対してコンサルティングを行う。管理サービス事業者は、例えば、予定されたコンサルティング期間満了日の７日前に電気通信回線網を介してユーザにコンサルティング終了予定を通知する。更に、管理サービス事業者は、期間満了日に期間満了通知を送付し、この通知をもってコンサルティングの終了とする。
上述の第２乃至第４の実施の形態に係る方法によれば、半導体プロセス技術を所定のカテゴリーで分類した複数のユニットであるプロセスＩＰの形式でユーザに閲覧させることにより、提供する技術内容を明確にすることができる。ユーザは、半導体製造工程全部に係る技術の提供を受けるのではなく、自分が必要とする部分に関してのみ技術提供を受けることができるので、莫大な費用を要することなく短時間で必要な技術を取り入れることができる。また、技術を提供する側の提供元にとっても、技術提供までの時間及び労力を大幅に削減することが可能である。更に、技術提供終了日を明確にすることができるので、技術提供先であるユーザと技術提供元である管理サービス事業者との間の技術提供終了に対する認識の違いをなくすことができる。
本発明によれば、電気通信回線網を利用した半導体プロセス技術情報の提供システム、提供方法、及び購入方法が提供される。
本発明の第１の実施の形態に係る半導体プロセス技術情報の提供システムを含むビジネスモデルを示すブロック図である。 第１の実施の形態に係る半導体プロセス技術の分類を示す図である。 図２に示される分類とは異なる観点でなされた第１の実施の形態に係るプロセスモジュールの分類を模式的に示す図である。 図２に示される分類とは異なる観点でなされた第１の実施の形態に係るモジュールセットの分類を模式的に示す図である。 第１の実施の形態に係る技術情報の分類を、プロセスＩＰの分類標記用の英文字と共に示す図である。 本発明の第２の実施の形態に係る、半導体プロセス技術情報の提供方法を示すフローチャートである。 図６に示されるフローチャートにおいて、プロセスＩＰをＣＤ−ＲＯＭや文書で提供する場合のフローの後半部分を示す図である。 本発明の第３の実施の形態に係る、プロセスＩＰの購入に付随するカウンセリングのサービスの提供方法を示すフローチャートである。 本発明の第３の実施の形態に係る、プロセスＩＰの購入に付随するセミナーのサービスの提供方法を示すフローチャートである。 本発明の第３の実施の形態に係る、プロセスＩＰの購入に付随するコンサルティングのサービスの提供方法を示すフローチャートである。
符号の説明
１０…ネットワーク（電気通信回線網）、１１…利用者端末装置（ユーザ）、１３…半導体製造事業者、１４…中古半導体製造装置メーカー、１５…半導体製造装置メーカー、１６…代理店、１７…商社、１８…リース事業者、２０…プロセスＩＰの提供システム、２１…接続サーバ、２２…ホストサーバ、２４…仲介部、２６…制御部、３１…プロセスＩＰデータベース、３２…サービスデータベース、３３…顧客管理データベース、３４…アライアンスデータベース、３５…プログラムデータベース。

Claims (22)

  1. 電気通信回線網を介してユーザと情報の交換を行う仲介部と、
    半導体プロセス技術を複数に分割して分類した技術情報であるプロセスＩＰを格納するプロセスＩＰ格納部と、
    前記プロセスＩＰ格納部に格納された前記プロセスＩＰに関連する付随情報を格納する付随情報格納部と、
    前記プロセスＩＰ及び前記付随情報を獲得するために所定の手続きで登録された前記ユーザのユーザ情報を管理する顧客管理部と、
    前記プロセスＩＰ格納部、前記付随情報格納部、及び前記顧客管理部に対するデータの入出力と、前記仲介部を介して行う外部に対する情報の入出力とを制御する制御部と、
    を具備することを特徴とする半導体プロセス技術情報の提供システム。
  2. 前記顧客管理部は、前記ユーザの過去における前記プロセスＩＰ及び前記付随情報の提供履歴を更に格納することを特徴とする請求項１に記載の半導体プロセス技術情報の提供システム。
  3. 前記プロセスＩＰは、半導体製造工程を１つの製造装置で行われる処理ごとに分類された情報を具備することを特徴とする請求項１に記載の半導体プロセス技術情報の提供システム。
  4. 前記プロセスＩＰは、製造される半導体デバイスの構造が所定の領域ごとに分類された情報を具備することを特徴とする請求項１に記載の半導体プロセス技術情報の提供システム。
  5. 前記プロセスＩＰは、製造される半導体デバイスの製造環境情報を具備することを特徴とする請求項１に記載の半導体プロセス技術情報の提供システム。
  6. 電気通信回線網を介してユーザによって入力されたユーザ情報に基づいて、前記ユーザに第１のＩＤ及び第１のパスワードを付与するステップと、
    前記第１のＩＤ及び前記第１のパスワードを用いて前記電気通信回線網を介してアクセスする前記ユーザに対して、半導体プロセス技術を複数に分割して分類した技術情報であるプロセスＩＰを閲覧させるステップと、
    前記ユーザにより前記プロセスＩＰから選択された選択プロセスＩＰを示す購入依頼通知に基づいて、前記ユーザに前記選択プロセスＩＰの納期及び見積もりを通知するステップと、
    前記ユーザが前記納期及び前記見積もりに基づいて前記選択プロセスＩＰの購入に承諾したことを確認した後、前記ユーザにライセンス契約締結に必要な第１のＵＲＬ、第２のＩＤ、及び第２のパスワードを通知するステップと、
    前記ユーザが前記第１のＵＲＬで前記第２のＩＤ及び前記第２のパスワードを用いてライセンス契約に同意し、指定の金融機関の口座にライセンス料を振り込んだことを確認した後、前記ユーザに前記選択プロセスＩＰをダウンロードするための第２のＵＲＬ、第３のＩＤ、及び第３のパスワードを通知するステップと、
    前記ユーザが前記第２のＵＲＬで前記第３のＩＤ及び前記第３のパスワードを用いて前記選択プロセスＩＰのダウンロードを完了させたことを確認するステップと、
    を具備することを特徴とする半導体プロセス技術情報の提供方法。
  7. 電気通信回線網を介してユーザと情報の交換を行う仲介部と、半導体プロセス技術を複数に分割して分類した技術情報であるプロセスＩＰを格納するプロセスＩＰ格納部と、前記プロセスＩＰ格納部に格納された前記プロセスＩＰに関連する付随情報を格納する付随情報格納部と、前記プロセスＩＰ及び前記付随情報を獲得するために所定の手続きで登録された前記ユーザのユーザ情報を管理する顧客管理部と、前記プロセスＩＰ格納部、前記付随情報格納部、及び前記顧客管理部に対するデータの入出力と、前記仲介部を介して行う外部に対する情報の入出力とを制御する制御部とを具備する半導体プロセス技術情報の提供システムを利用して行う半導体プロセス技術情報の提供方法であって、
    電気通信回線網を介してユーザによって入力されたユーザ情報に基づいて、前記ユーザに第１のＩＤ及び第１のパスワードを付与するステップと、
    前記第１のＩＤ及び前記第１のパスワードを用いて前記電気通信回線網を介してアクセスする前記ユーザに対して、半導体プロセス技術を複数に分割して分類した技術情報であるプロセスＩＰを閲覧させるステップと、
    前記ユーザにより前記プロセスＩＰから選択された選択プロセスＩＰを示す購入依頼通知に基づいて、前記ユーザに前記選択プロセスＩＰの納期及び見積もりを通知するステップと、
    前記ユーザが前記納期及び前記見積もりに基づいて前記選択プロセスＩＰの購入に承諾したことを確認した後、前記ユーザにライセンス契約締結に必要な第１のＵＲＬ、第２のＩＤ、及び第２のパスワードを通知するステップと、
    前記ユーザが前記第１のＵＲＬで前記第２のＩＤ及び前記第２のパスワードを用いてライセンス契約に同意し、指定の金融機関の口座にライセンス料を振り込んだことを確認した後、前記ユーザに前記選択プロセスＩＰをダウンロードするための第２のＵＲＬ、第３のＩＤ、及び第３のパスワードを通知するステップと、
    前記ユーザが前記第２のＵＲＬで前記第３のＩＤ及び前記第３のパスワードを用いて前記選択プロセスＩＰのダウンロードを完了させたことを確認するステップと、
    を具備することを特徴とする半導体プロセス技術情報の提供方法。
  8. 電気通信回線網を介してユーザによって入力されたユーザ情報に基づいて、前記ユーザに第１のＩＤ及び第１のパスワードを付与するステップと、
    前記第１のＩＤ及び前記第１のパスワードを用いて前記電気通信回線網を介してアクセスする前記ユーザに対して、半導体プロセス技術を複数に分割して分類した技術情報であるプロセスＩＰを閲覧させるステップと、
    前記ユーザにより前記プロセスＩＰから選択された選択プロセスＩＰを示す購入依頼通知に基づいて、前記ユーザに前記選択プロセスＩＰの納期及び見積もりを通知するステップと、
    前記ユーザが前記納期及び前記見積もりに基づいて前記選択プロセスＩＰの購入に承諾したことを確認した後、前記ユーザにライセンス契約締結に必要な第１のＵＲＬ、第２のＩＤ、及び第２のパスワードを通知するステップと、
    前記ユーザが前記第１のＵＲＬで前記第２のＩＤ及び前記第２のパスワードを用いてライセンス契約に同意し、指定の金融機関の口座にライセンス料を振り込んだことを確認した後、前記選択プロセスＩＰが格納されたシリアルＩＤ付きの記録媒体を前記ユーザに発送するステップと、
    前記記録媒体を発送した後、前記電気通信回線網を介して前記ユーザに発送通知を送信するステップと、
    前記ユーザが前記記録媒体を受領したことを確認するステップと、
    を具備することを特徴とする半導体プロセス技術情報の提供方法。
  9. 電気通信回線網を介してユーザと情報の交換を行う仲介部と、半導体プロセス技術を複数に分割して分類した技術情報であるプロセスＩＰを格納するプロセスＩＰ格納部と、前記プロセスＩＰ格納部に格納された前記プロセスＩＰに関連する付随情報を格納する付随情報格納部と、前記プロセスＩＰ及び前記付随情報を獲得するために所定の手続きで登録された前記ユーザのユーザ情報を管理する顧客管理部と、前記プロセスＩＰ格納部、前記付随情報格納部、及び前記顧客管理部に対するデータの入出力と、前記仲介部を介して行う外部に対する情報の入出力とを制御する制御部とを具備する半導体プロセス技術情報の提供システムを利用して行う半導体プロセス技術情報の提供方法であって、
    電気通信回線網を介してユーザによって入力されたユーザ情報に基づいて、前記ユーザに第１のＩＤ及び第１のパスワードを付与するステップと、
    前記第１のＩＤ及び前記第１のパスワードを用いて前記電気通信回線網を介してアクセスする前記ユーザに対して、半導体プロセス技術を複数に分割して分類した技術情報であるプロセスＩＰを閲覧させるステップと、
    前記ユーザにより前記プロセスＩＰから選択された選択プロセスＩＰを示す購入依頼通知に基づいて、前記ユーザに前記選択プロセスＩＰの納期及び見積もりを通知するステップと、
    前記ユーザが前記納期及び前記見積もりに基づいて前記選択プロセスＩＰの購入に承諾したことを確認した後、前記ユーザにライセンス契約締結に必要な第１のＵＲＬ、第２のＩＤ、及び第２のパスワードを通知するステップと、
    前記ユーザが前記第１のＵＲＬで前記第２のＩＤ及び前記第２のパスワードを用いてライセンス契約に同意し、指定の金融機関の口座にライセンス料を振り込んだことを確認した後、前記選択プロセスＩＰが格納されたシリアルＩＤ付きの記録媒体を前記ユーザに発送するステップと、
    前記記録媒体を発送した後、前記電気通信回線網を介して前記ユーザに発送通知を送信するステップと、
    前記ユーザが前記記録媒体を受領したことを確認するステップと、
    を具備することを特徴とする半導体プロセス技術情報の提供方法。
  10. 前記ユーザが前記ダウンロードを完了させたことを確認した後、無償で前記ユーザのサポートを行う期間が明記された受領証明を発行することを特徴とする請求項６または７に記載の半導体プロセス技術情報の提供方法。
  11. 前記ユーザが前記記録媒体を受領したことを確認した後、無償で前記ユーザのサポートを行う期間が明記された受領証明を発行することを特徴とする請求項８または９に記載の半導体プロセス技術情報の提供方法。
  12. 前記サポートを行う期間満了日の一定期間前に前記電気通信回線網を介して前記ユーザに前記サポートの期間満了日を通知するステップと、
    前記期間満了日に、前記電気通信回線網を介して前記ユーザに期間満了通知を送付することにより半導体プロセス技術情報の提供終了を確定するステップと、
    を更に具備することを特徴とする請求項１０または１１に記載の半導体プロセス技術情報の提供方法。
  13. 前記ユーザから送信された半導体プロセス技術情報に関連する情報に基づいて、購入を推奨するプロセスＩＰのリスト及びこれに付随する情報を前記ユーザに送信するステップを更に具備することを特徴とする請求項６乃至１２のいずれかに記載の半導体プロセス技術情報の提供方法。
  14. 前記プロセスＩＰを購入した前記ユーザにセミナーの開催通知を送るステップと、
    前記セミナーの受講を希望した前記ユーザに前記電気通信回線網上の所定のウェブサイトでセミナーを開催するステップと、
    を更に具備することを特徴とする請求項６乃至１２のいずれかに記載の半導体プロセス技術情報の提供方法。
  15. 前記プロセスＩＰを購入した前記ユーザから前記電気通信回線網を介して送信されたコンサルティングの申請通知に応答して、前記申請通知の内容を確認すると共に、前記ユーザに前記コンサルティングの提供決定通知を送信するステップと、
    前記ユーザが前記提供決定通知に承諾したことを確認した後、前記ユーザにコンサルティング契約の締結に必要な第３のＵＲＬ、第４のＩＤ、及び第４のパスワードを通知するステップと、
    前記ユーザが前記第３のＵＲＬで前記第４のＩＤ及び前記第４のパスワードを用いて前記コンサルティング契約に同意し、指定の金融機関の口座にコンサルティング料を振り込んだことを確認した後、前記ユーザに対して前記コンサルティングを提供するステップと、
    前記コンサルティングの提供を完了した後、前記ユーザにコンサルティング完了通知を送信するステップと
    を更に具備することを特徴とする請求項６乃至１２のいずれかに記載の半導体プロセス技術情報の提供方法。
  16. 管理者によって運営される半導体プロセス技術情報の提供システムに、電気通信回線網を介してアクセスしてユーザ情報を入力するステップと、
    前記ユーザ情報に基づいて前記管理者から付与される第１のＩＤ及び第１のパスワードを受領するステップと、
    前記第１のＩＤ及び前記第１のパスワードを用いて、前記電気通信回線網を介して前記提供システムにアクセスし、半導体プロセス技術を複数に分割して分類した技術情報であるプロセスＩＰを閲覧するステップと、
    前記プロセスＩＰから、購入を希望するプロセスＩＰを選択し、前記管理者に選択プロセスＩＰを示す購入依頼通知を送信するステップと、
    前記購入依頼通知に基づいて前記管理者から通知された前記選択プロセスＩＰの納期及び見積もりを確認して、前記選択プロセスＩＰの購入に承諾するステップと、
    前記選択プロセスＩＰの購入への承諾に基づいて前記管理者から付与される、前記選択プロセスＩＰの購入に関するライセンス契約締結に必要な第１のＵＲＬ、第２のＩＤ、及び第２のパスワードを受領するステップと、
    前記第１のＵＲＬで前記第２のＩＤ及び前記第２のパスワードを用いてライセンス契約に同意するステップと、
    指定の金融機関の講座にライセンス料を振り込むステップと、
    前記ライセンス契約への同意及び前記ライセンス料の振り込みに基づいて前記管理者から付与される、前記選択プロセスＩＰをダウンロードするための第２のＵＲＬ、第３のＩＤ、及び第３のパスワードを受領するステップと、
    前記第２のＵＲＬで前記第３のＩＤ及び前記第３のパスワードを用いて前記選択プロセスＩＰをダウンロードするステップと、
    を具備することを特徴とする半導体プロセス技術情報の購入方法。
  17. 電気通信回線網を介してユーザと情報の交換を行う仲介部と、半導体プロセス技術を複数に分割して分類した技術情報であるプロセスＩＰを格納するプロセスＩＰ格納部と、前記プロセスＩＰ格納部に格納された前記プロセスＩＰに関連する付随情報を格納する付随情報格納部と、前記プロセスＩＰ及び前記付随情報を獲得するために所定の手続きで登録された前記ユーザのユーザ情報を管理する顧客管理部と、前記プロセスＩＰ格納部、前記付随情報格納部、及び前記顧客管理部に対するデータの入出力と、前記仲介部を介して行う外部に対する情報の入出力とを制御する制御部とを具備する、管理者によって運営される半導体プロセス技術情報の提供システムに、電気通信回線網を介してアクセスしてユーザ情報を入力するステップと、
    前記ユーザ情報に基づいて前記管理者から付与される第１のＩＤ及び第１のパスワードを受領するステップと、
    前記第１のＩＤ及び前記第１のパスワードを用いて、前記電気通信回線網を介して前記提供システムにアクセスし、半導体プロセス技術を複数に分割して分類した技術情報であるプロセスＩＰを閲覧するステップと、
    前記プロセスＩＰから、購入を希望するプロセスＩＰを選択し、前記管理者に選択プロセスＩＰを示す購入依頼通知を送信するステップと、
    前記購入依頼通知に基づいて前記管理者から通知された前記選択プロセスＩＰの納期及び見積もりを確認して、前記選択プロセスＩＰの購入に承諾するステップと、
    前記選択プロセスＩＰの購入への承諾に基づいて前記管理者から付与される、前記選択プロセスＩＰの購入に関するライセンス契約締結に必要な第１のＵＲＬ、第２のＩＤ、及び第２のパスワードを受領するステップと、
    前記第１のＵＲＬで前記第２のＩＤ及び前記第２のパスワードを用いてライセンス契約に同意するステップと、
    指定の金融機関の講座にライセンス料を振り込むステップと、
    前記ライセンス契約への同意及び前記ライセンス料の振り込みに基づいて前記管理者から付与される、前記選択プロセスＩＰをダウンロードするための第２のＵＲＬ、第３のＩＤ、及び第３のパスワードを受領するステップと、
    前記第２のＵＲＬで前記第３のＩＤ及び前記第３のパスワードを用いて前記選択プロセスＩＰをダウンロードするステップと、
    を具備することを特徴とする半導体プロセス技術情報の購入方法。
  18. 管理者によって運営される半導体プロセス技術情報の提供システムに、電気通信回線網を介してアクセスしてユーザ情報を入力するステップと、
    前記ユーザ情報に基づいて前記管理者から付与される第１のＩＤ及び第１のパスワードを受領するステップと、
    前記第１のＩＤ及び前記第１のパスワードを用いて、前記電気通信回線網を介して前記提供システムにアクセスし、半導体プロセス技術を複数に分割して分類した技術情報であるプロセスＩＰを閲覧するステップと、
    前記プロセスＩＰから、購入を希望するプロセスＩＰを選択し、前記管理者に選択プロセスＩＰを示す購入依頼通知を送信するステップと、
    前記購入依頼通知に基づいて前記管理者から通知された前記選択プロセスＩＰの納期及び見積もりを確認して、前記選択プロセスＩＰの購入に承諾するステップと、
    前記選択プロセスＩＰの購入への承諾に基づいて前記管理者から付与される、前記選択プロセスＩＰの購入に関するライセンス契約締結に必要な第１のＵＲＬ、第２のＩＤ、及び第２のパスワードを受領するステップと、
    前記第１のＵＲＬで前記第２のＩＤ及び前記第２のパスワードを用いてライセンス契約に同意するステップと、
    指定の金融機関の講座にライセンス料を振り込むステップと、
    前記ライセンス契約への同意及び前記ライセンス料の振り込みに基づいて前記管理者から発送される、前記選択プロセスＩＰが格納されたシリアルＩＤ付きの記録媒体を受領するステップと、
    を具備することを特徴とする半導体プロセス技術情報の購入方法。
  19. 電気通信回線網を介してユーザと情報の交換を行う仲介部と、半導体プロセス技術を複数に分割して分類した技術情報であるプロセスＩＰを格納するプロセスＩＰ格納部と、前記プロセスＩＰ格納部に格納された前記プロセスＩＰに関連する付随情報を格納する付随情報格納部と、前記プロセスＩＰ及び前記付随情報を獲得するために所定の手続きで登録された前記ユーザのユーザ情報を管理する顧客管理部と、前記プロセスＩＰ格納部、前記付随情報格納部、及び前記顧客管理部に対するデータの入出力と、前記仲介部を介して行う外部に対する情報の入出力とを制御する制御部とを具備する、管理者によって運営される半導体プロセス技術情報の提供システムに、電気通信回線網を介してアクセスしてユーザ情報を入力するステップと、
    前記ユーザ情報に基づいて前記管理者から付与される第１のＩＤ及び第１のパスワードを受領するステップと、
    前記第１のＩＤ及び前記第１のパスワードを用いて、前記電気通信回線網を介して前記提供システムにアクセスし、半導体プロセス技術を複数に分割して分類した技術情報であるプロセスＩＰを閲覧するステップと、
    前記プロセスＩＰから、購入を希望するプロセスＩＰを選択し、前記管理者に選択プロセスＩＰを示す購入依頼通知を送信するステップと、
    前記購入依頼通知に基づいて前記管理者から通知された前記選択プロセスＩＰの納期及び見積もりを確認して、前記選択プロセスＩＰの購入に承諾するステップと、
    前記選択プロセスＩＰの購入への承諾に基づいて前記管理者から付与される、前記選択プロセスＩＰの購入に関するライセンス契約締結に必要な第１のＵＲＬ、第２のＩＤ、及び第２のパスワードを受領するステップと、
    前記第１のＵＲＬで前記第２のＩＤ及び前記第２のパスワードを用いてライセンス契約に同意するステップと、
    指定の金融機関の講座にライセンス料を振り込むステップと、
    前記ライセンス契約への同意及び前記ライセンス料の振り込みに基づいて前記管理者から発送される、前記選択プロセスＩＰが格納されたシリアルＩＤ付きの記録媒体を受領するステップと、
    を具備することを特徴とする半導体プロセス技術情報の購入方法。
  20. 前記電気通信回線網を介して前記提供システムにアクセスし、半導体プロセス技術情報に関連する情報を入力して候補プロセスＩＰの選定依頼をするステップと、
    前記半導体プロセス技術情報に基づいて前記管理者によって選定された前記候補プロセスＩＰのリスト及びこれに付随する情報を受領するステップと
    を更に具備することを特徴とする請求項１６乃至１９のいずれかに記載の半導体プロセス技術情報の購入方法。
  21. 前記管理者から開催を通知されたセミナーの受講申し込みをするステップと、
    前記電気通信回線網上の所定のウェブサイトで前記セミナーを受講するステップと
    を更に具備することを特徴とする請求項１６乃至１９のいずれかに記載の半導体プロセス技術情報の購入方法。
  22. 前記選択プロセスＩＰの購入後、前記電気通信回線網を介して前記管理者にコンサルティングの申請通知を送信するステップと、
    前記申請通知に基づいて前記管理者から送信される前記コンサルティングの提供決定通知を受領するステップと、
    前記提供決定通知への承諾に基づいて前記管理者から付与される、コンサルティング契約の締結に必要な第３のＵＲＬ、第４のＩＤ、及び第４のパスワードを受領するステップと、
    前記第３のＵＲＬで前記第４のＩＤ及び前記第４のパスワードを用いて前記コンサルティング契約に同意するステップと、
    指定の金融機関の講座にコンサルティング料を振り込むステップと、
    前記管理者から提供される前記コンサルティングを受けるステップと、
    を更に具備することを特徴とする請求項１６乃至１９のいずれかに記載の半導体プロセス技術情報の購入方法。
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