JP2005101657A - 認識番号を有する半導体装置、その製造方法及び電子装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】トランジスタを用いた128ビットの認識番号を識別するためのメモリを、電子線描画法を用いて選択的に形成したコンタクトホールによって構成する。半導体チップの平面長辺寸法を0.5mm以下とする。また、上記コンタクトホールを周囲の回路のコンタクトホールと同時に作成する。その他、半導体チップの平面長辺寸法を製造開始前のウエハの厚さよりも小さく、ウエハが薄膜化された後の厚さよりも大きくする。別に、メモリにバーコードと同一のデータを更に格納する。更に別に、認識番号を暗号化したデータを用いて半導体チップの検査を行なう。
【選択図】図4
Description
前記導電膜領域に接続される配線を形成する工程とを有することを特徴とする。
Claims (33)
- トランジスタを用いた128ビットのメモリで認識番号が構成される半導体装置の製造方法において、
半導体基板表面に、前記トランジスタの構成要素となる導電領域を複数形成する工程と、
複数の前記導電領域上部に絶縁膜を形成する工程と、
前記認識番号を得るために、複数の前記導電領域の上の前記絶縁膜に、電子線描画法を用いて選択的にコンタクトホールを形成する工程と、
前記コンタクトホールを介して、前記導電膜領域に接続される配線を形成する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 複数のトランジスタを用いたメモリにより認識番号が識別される半導体装置の製造方法において、
半導体基板表面に、複数の前記トランジスタのソース領域及びドレイン領域とを形成する工程と、
複数の前記ソース領域及びドレイン領域を覆って絶縁膜を形成する工程と、
前記メモリで記憶する‘1’、‘0’に応じて有無を選択されたコンタクトホールを、前記トランジスタ上の絶縁膜に電子線描画法を用いて形成する工程と、
前記コンタクトホールを有する絶縁膜上に配線層を形成する工程と、
その後、前記半導体基板上にマイクロ波受信用のコイルを形成する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記トランジスタはNMOSトランジスタであることを特徴とする請求項2記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体装置は送受信回路を有することを特徴とする請求項2又は3記載の半導体装置の製造方法。
- 前記メモリは読み出し専用メモリであることを特徴とする請求項2乃至4の何れかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体装置は、前記メモリの内容を読み出すためのカウンタ及びデコード回路を有することを特徴とする請求項2乃至5の何れかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記コイルは、前記半導体基板が分離されて形成される各半導体チップ毎に形成されることを特徴とする請求項2乃至6の何れかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体チップの平面長辺寸法は、0.5mm以下であることを特徴とする請求項7記載の半導体装置の製造方法。
- 前記コイルは、アルミニウム又は銅で形成されることを特徴とする請求項2乃至8の何れかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記コイルは、多層配線構造を有することを特徴とする請求項2乃至9の何れかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体装置は、コンデンサと前記コイルとを有する共振回路を備え、前記コンデンサは前記配線層を一方の電極として形成されることを特徴とする請求項2乃至10の何れかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記チップの平面長辺寸法は、前記半導体基板の製造着工時の厚さよりも小さいことを特徴とする請求項7又は8記載の半導体装置の製造方法。
- 半導体基板を準備する工程と、
前記半導体基板表面であって、平面長辺寸法が前記半導体基板の厚さよりも小さなチップ領域内部に半導体装置を形成する工程と、
前記半導体基板の厚さが、前記チップ領域の平面長辺寸法よりも薄くなるまで前記半導体基板を裏面側から除去する工程と、
前記半導体装置をチップ状に分離する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 複数のトランジスタを用いたメモリにより認識番号が識別される半導体装置の製造方法において、
半導体基板表面に、前記トランジスタの構成要素となる導電領域を複数形成する工程と、
複数の前記導電領域上部に絶縁膜を形成する工程と、
前記認識番号を得るために、複数の前記導電領域の上の前記絶縁膜に、電子線描画法を用いて選択的にコンタクトホールを形成する工程と、
前記コンタクトホールを介して、前記導電領域に接続される配線を形成する工程と、
その後、前記半導体基板上にマイクロ波受信用のコイルを形成する工程と、
前記半導体基板を裏面側から除去して薄膜化する工程と、
前記半導体基板をチップに分離する工程とを有し、
前記チップの平面長辺寸法は、製造開始前の前記半導体基板の厚さよりも小さく、前記半導体基板が薄膜化された後の厚さよりも大きいことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - トランジスタを用いて第1のメモリで認識番号が構成される半導体装置において、
前記半導体装置は、前記トランジスタの構成要素となる導電領域と、
複数の前記導電領域を覆って形成された絶縁膜と、
前記認識番号を得るために、複数の前記導電領域の上の前記絶縁膜に、選択的に形成されたコンタクトホールと、
前記コンタクトホールを介して、前記導電領域に接続される配線と、
前記配線上に設けられたマイクロ波受信用コイルと、
コンデンサと前記マイクロ波受信用コイルとを含む共振回路と、
前記認識番号を暗号化した暗号コードを記憶する第2のメモリとを有することを特徴とする半導体装置。 - 複数のトランジスタを用いた128ビットのメモリで認識番号が構成される半導体装置において、
前記半導体装置は、半導体基板表面に設けられた、複数の前記トランジスタのソース領域及びドレイン領域と、
複数の前記ソース領域及びドレイン領域を覆って設けられた絶縁膜と、
前記メモリで記憶する‘1’、‘0’に応じて有無を選択された、前記トランジスタ上の絶縁膜に設けられるコンタクトホールと、
前記コンタクトホールを有する絶縁膜上に設けられた配線層と、
前記配線層が設けられた半導体基板上に形成されたマイクロ波受信用のコイルとを有することを特徴とする半導体装置。 - 前記半導体装置の平面長辺寸法は0.5mm以下のチップ形状を有し、前記トランジスタはNMOSトランジスタであることを特徴とする請求項16記載の半導体装置。
- 複数の前記ソース領域は共通のソース配線に接続され、複数の前記ドレイン領域は共通のドレイン配線に接続されていることを特徴とする請求項17記載の半導体装置。
- 前記半導体装置は更に前記メモリ内容を読み出すためのカウンタ及びデコード回路、プリチャージ回路を有し、前記ソース配線は前記デコード回路により選択されて接地レベルになり、前記ドレイン配線の浮遊容量には前記プリチャージ回路により電荷が一時的に蓄えられ、前記メモリからの出力はインバートされて出力されることを特徴とする請求項18記載の半導体装置。
- トランジスタを用いたメモリで認識番号が構成され、平面長辺寸法が0.5mm以下の半導体装置と、マイクロ波送受信用コイルとを備えた電子装置において、
前記半導体装置は、前記トランジスタの構成要素となる導電領域と、複数の前記導電領域を覆って形成された絶縁膜と、前記認識番号を得るために、複数の前記導電領域の上の前記絶縁膜に、選択的に形成されたコンタクトホールと、前記コンタクトホールを介して、前記導電領域に接続される配線とを有し、
前記電子装置にはバーコードが設けられていることを特徴とする電子装置。 - 前記半導体装置は、前記バーコードと同一のデータが蓄えられる第2のメモリを有することを特徴とする請求項20記載の電子装置。
- 前記第2メモリに記憶されるデータは暗号化されていることを特徴とする請求項21記載の電子装置。
- トランジスタを用いたメモリで認識番号が構成される半導体装置が搭載される電子装置の製造方法において、
半導体基板表面に、前記トランジスタの構成要素となる導電領域を複数形成する工程と、
複数の前記導電領域上部に絶縁膜を形成する工程と、
前記認識番号を得るために、複数の前記導電領域の上の前記絶縁膜に、電子線描画法を用いて選択的にコンタクトホールを形成する工程と、
前記コンタクトホールを介して、前記導電領域に接続される配線を形成する工程と、
その後、前記半導体装置をテープに固定し、前記半導体装置に設けられたテスト端子を用いて電気的特性を検査する工程とを有することを特徴とする電子装置の製造方法。 - トランジスタを用いた128ビットのメモリで認識番号が構成される半導体装置が搭載される電子装置の製造方法において、
半導体基板表面に、前記トランジスタの構成要素となる導電領域を複数形成する工程と、
複数の前記導電領域上部に絶縁膜を形成する工程と、
前記認識番号を得るために、複数の前記導電領域の上の前記絶縁膜に、電子線描画法を用いて選択的にコンタクトホールを形成する工程と、
前記コンタクトホールを介して、前記導電領域に接続される配線を形成する工程と、
前記半導体装置を実装基体に搭載する工程と、
その後、前記実装基体をテープに貼着し、インレットに封入する工程とを有することを特徴とする電子装置の製造方法。 - トランジスタを用いた第1のメモリで認識番号が構成される半導体装置が搭載される電子装置の製造方法において、
半導体基板表面に、前記トランジスタの構成要素となる導電領域を複数形成する工程と、
複数の上記導電領域上部に絶縁膜を形成する工程と、
前記認識番号と、トランジスタを用いた第2のメモリで構成される、前記認識番号を暗号化した暗号コードとを得るために、複数の前記導電領域の上の前記絶縁膜に、電子線描画法を用いて選択的にコンタクトホールを形成する工程と、
前記コンタクトホールを介して、前記導電領域に接続される配線を形成する工程と、
前記第1のメモリから前記認識番号を読み出し、読み出された前記認識番号を前記暗号化と同様の手順で暗号化した暗号コードと、前記第2のメモリから読み出した暗号コードとを照合し、一致したら良品、不一致の場合には不良品として選別する工程とを有することを特徴とする電子装置の製造方法。 - トランジスタを用いたメモリで認識番号が構成され、平面長辺寸法が0.5mm以下の半導体装置が搭載される電子装置の製造方法において、
半導体基板表面に、前記トランジスタの構成要素となる導電領域を複数形成する工程と、
複数の前記導電領域上部に絶縁膜を形成する工程と、
前記認識番号を得るために、複数の前記導電領域の上の前記絶縁膜に、電子線描画法を用いて選択的にコンタクトホールを形成する工程と、
前記コンタクトホールを介して、前記導電膜領域に接続される配線を形成する工程と、
その後、前記半導体装置を紙に漉き込む工程とを有することを特徴とする電子装置の製造方法。 - トランジスタを用いたメモリにより認識番号が識別される半導体装置とバーコードとを有する電子装置において、
前記半導体装置は、前記トランジスタの構成要素となる導電領域と、複数の前記導電領域を覆って形成された絶縁膜と、前記認識番号を得るために、複数の前記導電領域の上の前記絶縁膜に選択的に形成されたコンタクトホールと、前記コンタクトホールを介して前記導電領域に接続される配線と、前記配線層が設けられた半導体基板上に形成されたマイクロ波受信用のコイルとを有し、
前記メモリは、前記認識番号を記憶する領域の他に前記バーコードと同一のデータを記憶する領域を有していることを特徴とする電子装置。 - 複数のトランジスタを用いた128ビットのメモリで認識番号が構成される半導体装置と、マイクロ波受信用のコイルとを備えた電子装置において、
前記半導体装置は、半導体基板表面に設けられた、複数の前記トランジスタのソース領域及びドレイン領域と、
複数の前記ソース領域及びドレイン領域を覆って設けられた絶縁膜と、
前記メモリで記憶する‘1’、‘0’に応じて有無を選択された、前記トランジスタ上の絶縁膜に設けられるコンタクトホールと、
前記コンタクトホールを有する絶縁膜上に設けられた配線層とを有することを特徴とする半導体装置。 - 半導体基板表面であって、平面長辺寸法が0.5mm以下の半導体チップとなる領域内部にトランジスタの構成要素となる導電領域を複数形成する工程と、
複数の前記導電領域上部に絶縁膜を形成する工程と、
128ビットを用いた認識番号を構成するメモリを形成するために、前記絶縁膜に電子線描画法を用いて選択的にコンタクトホールを形成する工程と、
前記コンタクトホールを介して前記導電領域に接続される配線を前記絶縁膜上に形成する工程とを有し、
前記選択的にコンタクトホールを形成する工程は、周辺回路で用いるコンタクトホールを形成する工程と連続して行なわれることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 半導体基板表面にトランジスタの構成要素となる導電領域を複数形成する工程と、
複数の前記導電領域上部に第1の絶縁膜を形成する工程と、
第1の絶縁膜の上に前記導電領域に接続される第1の配線を形成する工程と、
第1の配線を含む面に第2の絶縁膜を形成する工程と、
128ビットを用いた認識番号を構成するメモリを形成するために、第2の絶縁膜に電子線描画法を用いて選択的にスルーホールを形成する工程と、
前記スルーホールを介して第1の配線に接続される第2の配線を第2の絶縁膜上に形成する工程とを有していることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 半導体基板を準備する工程と、
前記半導体基板表面であって、平面長辺寸法が前記半導体基板の厚さよりも小さいチップ領域内部に半導体装置を形成する工程と、
前記半導体基板の厚さが、前記チップ領域の平面長辺寸法よりも薄くなるまで前記半導体基板を裏面側から除去する工程と、
前記半導体装置をチップ状に分離する工程とを有し、
前記半導体装置は、認識番号を構成するためのメモリを備えていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 認識番号を識別するためのメモリと、
マイクロ波を受信して前記識別番号を送信するためのコイルとを有し、
前記メモリは、前記認識番号を記憶する領域の他にバーコードのデータを記憶する領域を有していることを特徴とする半導体装置。 - 認識番号を識別するための認識番号コードを記憶する第1のメモリ及び前記認識番号を暗号化した暗号コードを記憶する第2のメモリを形成する工程と、
マイクロ波を受信して前記識別番号及び前記暗号コードを送信するためのコイルを形成する工程と、
マイクロ波を介して読み取った前記識別番号を前記暗号化と同様の手順で暗号化した第2の暗号コードと、マイクロ波を介して読み取った第1の暗号コードとを照合して検査を行なう工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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