JP2005101182A - 半導体チップの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 表面に複数のストリート21が格子状に形成されているとともに該複数のストリート21によって区画された複数の領域に回路22が形成された半導体ウエーハを個々の半導体チップに分割する半導体チップの製造方法であって、半導体ウエーハの裏面に接着フィルム3を貼着する接着フィルム貼着工程と、半導体ウエーハの表面からストリートに沿って切削し裏面側に所定厚さに切代24を残して切削溝23を形成するストリート切削行程と、ストリート21に沿って形成された切削溝23の該切代24にレーザー光線を照射し切代および接着フィルムを切断する切断行程とを含む。
【選択図】 図4
Description
半導体ウエーハの裏面に接着フィルムを貼着する接着フィルム貼着工程と、
半導体ウエーハの表面から該ストリートに沿って切削し、裏面側に所定厚さの切代を残して切削溝を形成するストリート切削行程と、
該ストリートに沿って形成された該切削溝の該切代にレーザー光線を照射し、該切代および該接着フィルムを切断する切断行程と、を含む、
ことを特徴とする半導体チップの製造方法が提供される。
レーザー ;YVO4パルスレーザー
波長 ;355nm
繰り返し周波数 :50kHz
平均出力 ;1.0〜4.0W
パルス幅 ;12ns
集光スポット径 ;φ10〜25μm
21:ストリート
22:回路
23:切削溝
24:切代
25:レーザー加工溝
3:接着フィルム
4:支持フレーム
5:ダイシングテープ
6:切削装置
61:チャックテーブル
62:切削手段
7:レーザー加工装置
71:チャックテーブル
72:撮像手段
73:レーザー光線照射手段
Claims (3)
- 表面に複数のストリートが格子状に形成されているとともに該複数のストリートによって区画された複数の領域に回路が形成された半導体ウエーハを個々の半導体チップに分割する半導体チップの製造方法であって、
半導体ウエーハの裏面に接着フィルムを貼着する接着フィルム貼着工程と、
半導体ウエーハの表面から該ストリートに沿って切削し、裏面側に所定厚さの切代を残して切削溝を形成するストリート切削行程と、
該ストリートに沿って形成された該切削溝の該切代にレーザー光線を照射し、該切代および該接着フィルムを切断する切断行程と、を含む、
ことを特徴とする半導体チップの製造方法。 - 該切代は、5〜20μmに設定されている、請求項1記載の半導体チップの製造方法。
- 該接着フィルム貼着工程を実施した後に、該半導体ウエーハの該接着フィルム側をダイシングテープに貼着するダイシングテープ装着工程を実施する、請求項1又は2記載の半導体チップの製造方法。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2006352022A (ja) * | 2005-06-20 | 2006-12-28 | Disco Abrasive Syst Ltd | 接着フィルムの分離方法 |
JP2008235398A (ja) * | 2007-03-19 | 2008-10-02 | Disco Abrasive Syst Ltd | デバイスの製造方法 |
JP2011169784A (ja) * | 2010-02-19 | 2011-09-01 | Disco Corp | 検査用試料作製方法 |
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CN103358032A (zh) * | 2013-07-31 | 2013-10-23 | 江阴长电先进封装有限公司 | 一种cis产品的圆片级划片方法 |
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- 2003-09-24 JP JP2003331651A patent/JP2005101182A/ja active Pending
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