JP2005091539A - 画像記録方法および装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】露光線幅や網点率の変動を生じることなく、空間光変調素子アレイにより変調された露光光を用いて高速に画像を記録することができる画像記録方法および装置を提供する。
【解決手段】空間光変調素子アレイのオン時間に応じて、照明光源から射出される光を1画素時間毎にパルス駆動する。この照明光源から射出される光を、空間光変調素子アレイにより画像データに応じて変調し、この画像データに応じて変調された光を用いて、記録材料上に画像データに応じた画像を記録する。
【選択図】図2

Description

本発明は、空間光変調素子アレイにより変調された露光光を用いて、記録媒体上に画像データに応じた画像を記録する画像記録方法および装置に関するものである。
例えば、下記特許文献1に示すように、レーザダイオード等の照明光源から射出された光を、直線ライトバルブ等の空間光変調素子アレイ(以下、SLM(Spacial Light Modulator )という)により変調し、この変調された露光光を用いて、記録媒体上に画像を記録する装置が知られている。
一般に、このような画像記録装置では、SLMとして、強誘電性液晶やGLV(グレーティングライトバルブ)等が用いられている。これらはいずれも、例えばTN(ツイストネマティック)液晶と比べてはるかに高速な光変調速度を持っているが、コンピュータで作成したデジタル画像データを用いて、記録材料上に画像を直接記録するCTP(コンピュータツープレート)をより高速化する際には、SLMの応答速度が問題となる。
すなわち、SLMの応答速度が、1画素の露光時間に対して十分速くないため、光利用効率が低下する、または記録材料の感度レベルの変動などにより、露光線幅や網点率(画像濃度)が変動するという問題がある。
以下、この問題について、図4に示すタイミングチャートを参照して説明する。図4は、従来の画像記録装置の動作を表す一例のタイミングチャートである。同図(a)は、SLMの応答速度が、1画素時間(画素の露光時間)に対して十分に速い場合、同図(b)は、十分に速くない場合の、SLMにより変調された露光光の出力波形である。ここで、図中縦軸は、SLMにより変調された露光光の光量、横軸は時間の流れを表す。
SLMの応答速度が、1画素時間に対して十分に速い場合、図4(a)に示すように、SLMにより変調された露光光の出力波形は方形波になる。すなわち、SLMがオンして露光光が所定の高光量に到達するまでの立ち上がり時間、および光量が所定の低光量に戻りSLMがオフするまでの立ち下がり時間はほとんど存在しない。この場合、記録材料の感度レベルが変動したとしても、露光線幅や網点率は変動しない。
図4(a)に示すように、SLMの応答速度が、1画素時間に対して十分に速い場合、SLMがオンしている1画素時間の間、SLMにより変調された露光光の光量はほぼ一定の高光量となっている。したがって、記録材料の感度レベルが高い場合も、低い場合も、1画素当りの露光時間がほぼ等しいので、露光線幅や画像濃度もほぼ等しくなる。
これに対し、SLMの応答速度が、1画素時間に対して十分に速くない場合、図4(b)に示すように、SLMにより変調された露光光の出力波形は台形波になる。すなわち、露光光が所定の高光量に到達するまでに所定の立ち上がり時間が必要となり、同様に光量が所定の低光量に戻るまでに所定の立ち下がり時間が必要となる。この場合、記録材料の感度レベルが変動すると、露光線幅や網点率が変動する。
図4(b)に示すように、SLMの応答速度が、1画素時間に対して十分に速くない場合、SLMがオンしている1画素時間の間に、SLMにより変調された露光光の光量が変化する。したがって、記録材料の感度レベルが高いと1画素当りの露光時間が長くなるので、露光線幅が太くなったり、画像濃度が高くなる。これに対し、記録材料の感度レベルが低いと1画素当りの露光時間が短くなるので、露光線幅が細くなったり、画像濃度が低くなる。
特許文献1では、高速記録について何ら考慮されていないため、SLMの応答速度に関しては当然のことながら問題にしていない。これらの露光線幅や網点率の変動は、書き込みのビーム形状にも依存するが、上記の通り、SLMの応答速度不足も大きな要因となる。したがって、SLMを用いて露光光を変調し、この変調された露光光を用いて高速に画像記録を行う場合には、SLMの応答速度不足による露光線幅や網点率の変動が大きな問題となる。
特許第2995540号公報
本発明の目的は、前記従来技術に基づく問題点を解消し、露光線幅や網点率の変動を生じることなく、SLMにより変調された露光光を用いて高速に画像を記録することができる画像記録方法および装置を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明は、照明光源から射出される光を、空間光変調素子アレイにより画像データに応じて変調し、この画像データに応じて変調された光を用いて、記録材料上に前記画像データに応じた画像を記録する方法であって、
前記空間光変調素子アレイのオン時間に応じて、前記照明光源から射出される光を1画素時間毎にパルス駆動することを特徴とする画像記録方法を提供するものである。
ここで、前記照明光源から射出される光のオン時間を、前記空間光変調素子アレイのオン時間に一致させるのが好ましい。また、前記照明光源として、ブロードエリアアレイレーザダイオードを用い、前記空間光変調素子アレイとして、強誘電性液晶シャッターアレイを用いるのが好ましい。また、前記記録材料として、低照度不軌特性が強いヒートモード感材を用いるのが好ましい。
また、本発明は、画像データに応じて変調された露光光を発生する露光ヘッドと、記録材料の支持台とを備え、前記露光ヘッドから射出される露光光により前記記録材料を露光し、前記画像データに応じた画像を前記記録媒体上に記録する画像記録装置であって、
前記露光ヘッドは、照明光源と、この照明光源から射出される光を、画像データに応じて変調する空間光変調素子アレイと、この空間光変調素子アレイにより変調された光を、前記露光光として、前記支持台に装着された記録材料上に結像させる光学系レンズとを備え、
前記空間光変調素子アレイのオン時間に応じて、前記照明光源から射出される光が1画素時間毎にパルス駆動されることを特徴とする画像記録装置を提供する。
本発明は、空間光変調素子アレイのオン時間に応じて、照明光源から射出される光を1画素時間毎にパルス駆動し、この照明光源から射出される光を、空間光変調素子アレイにより画像データに応じて変調し、この画像データに応じて変調された光を用いて、記録材料上に画像データに応じた画像を記録するようにしたものである。
これにより、本発明によれば、空間光変調素子アレイの応答時間が、1画素時間に対して十分速くない場合であっても、記録材料の感度レベルに関係なく、ムラのない高速な画像露光を実現することができ、露光線幅や網点率にばらつきのない良好な記録画像を得ることができる。
以下に、添付の図面に示す好適実施形態に基づいて、本発明の画像記録方法および装置を詳細に説明する。
図1は、本発明の画像記録装置の一実施形態の構成概念図である。ここで、同図(a)および(b)は、それぞれ本実施形態の画像記録装置10の平面図および側面図を示す。画像記録装置10は、照明光源から射出された光を、空間光変調素子アレイにより画像データに応じて変調し、この変調された露光光を用いて、画像データに応じた画像を記録媒体上に記録するものであり、露光ヘッド12と、ドラム14とを備えている。
露光ヘッド12は、画像データに応じて変調された露光光を発生するものであり、照明光源であるブロードエリアアレイレーザダイオード(以下、BALDという)16と、シリンドリカルレンズ18と、コリメートレンズ20と、λ/2板22と、空間光変調素子アレイである強誘電性液晶シャッターアレイ24と、λ/2板26と、検光子28と、変倍結像光学系の2枚のレンズ30,32とを備えている。
BALD16から射出されたレーザ光は、シリンドリカルレンズ18により、図1(b)中上下方向に収束され、続くコリメートレンズ20により、図1(a)中上下方向に平行光とされ、かつ図1(b)中上下方向に収束されてλ/2板22に入射される。
続いて、レーザ光は、λ/2板22により、その進行方向に対して垂直な方向に光の偏光状態が45゜回転され、続く強誘電性液晶シャッターアレイ24により画像データに応じて変調される。この時、強誘電性液晶シャッターアレイ24を透過したレーザ光は、強誘電性液晶シャッターアレイ24により光の偏光状態が90゜回転され、さらに、λ/2板26により光の偏光状態が45゜回転されて検光子28に入射される。
検光子28は、光の偏光状態が所定の角度に回転されたレーザ光のみを通過させ、これ以外のレーザ光を遮断する。検光子28を通過したレーザ光は、変倍結像光学系の2枚のレンズ30,32により、ドラム14上に装着された記録媒体上に所定の倍率で結像される。
露光ヘッド12は、記録媒体上への画像の記録時には、画像データに応じて変調された露光光を射出しながら、副走査方向(ドラム14の軸方向)へ所定の一定速度で移動される。
ドラム14は、記録媒体の支持台である。記録媒体上への画像の記録時には、記録媒体がドラム14の外周面上に装着され、ドラム14が所定の方向(主走査方向の反対方向)へ所定の一定速度で回転される。
画像記録装置10では、図示していないドラム14の回転手段により、ドラム14を主走査方向の反対方向へ所定の一定速度で回転させながら、同じく図示していない露光ヘッド12の移動手段により、露光ヘッド12を副走査方向に所定の一定速度で移動させることによって、ドラム14の外周面上に装着された記録媒体が、露光ヘッド12から射出される露光光により2次元的に走査露光されて画像データに応じた画像が記録される。
次に、図2および図3のタイミングチャートを参照しながら、画像記録装置10における記録方法について説明する。
図2(a)は、強誘電性液晶シャッターアレイ24が1画素時間だけオン(透過状態)する場合の動作を表す波形、図3(a)は、強誘電性液晶シャッターアレイ24が2画素時間連続してオンする場合の動作を表す波形である。また、図2(b)および図3(b)は、BALD16から射出されるレーザ光の出力波形、図2(c)および図3(c)は、強誘電性液晶シャッターアレイ24により変調された露光光の出力波形である。
図2(a)および図3(a)のタイミングチャートの縦軸は強誘電性液晶シャッターアレイ24の光透過率、図2(b)および図3(b)のタイミングチャートの縦軸はBALD16の出力光量、図2(c)および図3(c)のタイミングチャートの縦軸は強誘電性液晶シャッターアレイ24により変調された露光光の露光光量を表す。また、図2(a)、(b)、(c)および図3(a)、(b)、(c)のタイミングチャートの横軸は全て時間の流れを表す。
図2(a)および図3(a)のタイミングチャートにおいて、ton1は、透過率を高くする信号(オン信号)が強誘電性液晶シャッターアレイ24に与えられる時間、ton2は、実際に強誘電性液晶シャッターアレイ24の透過率が十分高くなる時間、toff1は、透過率を低くする信号(オフ信号)が強誘電性液晶シャッターアレイ24に与えられる時間、toff2は、実際に強誘電性液晶シャッターアレイ24の透過率が十分低くなる時間である。
1画素時間は、例えば図2(a)のタイミングチャートの場合を例に挙げて説明すれば、その時間ton1から時間toff1までの時間に相当する時間である。また、強誘電性液晶シャッターアレイ24におけるオン時間(透過時間)は、その動作波形が定常状態となる時間ton2から時間toff1までの時間(toff1−ton2)とする。
強誘電性液晶シャッターアレイ24は、図2(a)および図3(a)のタイミングチャートに示すように、時間ton1のタイミングでオン信号が与えられてから、実際に透過率が十分高くなる時間ton2までの立ち上がり時間(ton2−ton1)が必要であり、時間toff1のタイミングでオフ信号が与えられてから、実際に透過率が十分低くなる時間toff2までの立ち下がり時間(toff2−toff1)が必要である。
BALD16から射出されるレーザ光は、図2(b)および図3(b)のタイミングチャートに示すように、1画素時間を1周期としてオン(高光量)/オフ(低光量)を繰り返すようにパルス駆動される。従って、BALD16から射出されるレーザ光は、強誘電性液晶シャッターアレイ24のオンオフの状態に関係なく、その各周期において、同一周期内の時間ton2から時間toff1までの期間に相当する期間、オン(点灯)状態とされる。
図2(b)および図3(b)のタイミングチャートに示すように、BALD16から射出されるレーザ光のオン時間(点灯時間)は、強誘電性液晶シャッターアレイ24のオン時間に一致されている。なお、BALD16から射出されるレーザ光のオン時間は、強誘電性液晶シャッターアレイ24のオン時間と等しい場合に限定されず、強誘電性液晶シャッターアレイ24のオン時間よりも短い時間であればよい。
したがって、図2(c)および図3(c)のタイミングチャートに示すように、強誘電性液晶シャッターアレイ24がオンして、実際に強誘電性液晶シャッターアレイ24の透過率が十分高くなる時間ton2から、オフ信号が強誘電性液晶シャッターアレイ24に与えられる時間toff1までの期間のうち、BALD16から射出されるレーザ光がオンの期間だけに、強誘電性液晶シャッターアレイ24により変調された露光光がオン状態となる。
このように、画像記録装置10では、強誘電性液晶シャッターアレイ24のオン時間に一致するように、照明光源であるBALD16をパルス駆動することにより、強誘電性液晶シャッターアレイ24の応答時間が、1画素の露光時間(1画素時間)に対して十分速くない場合であっても、記録材料の感度レベルに関係なく、ムラのない高速な画像露光を実現することができ、露光線幅や網点率にばらつきのない良好な記録画像を得ることができる。
なお、強誘電性液晶シャッターアレイ24は、オン信号が与えられてから実際に透過率が十分高くなるまでの立ち上がり時間(ton2−ton1)と、オフ信号が与えられてから実際に透過率が十分低くなるまでの立ち下がり時間(toff2−toff1)と、が異なるものであっても何ら問題はない。
立ち上がり時間(ton2−ton1)が長くなるに従って、オン時間(toff1−ton2)は短くなる。また、立ち下がり時間(toff2−toff1)が長くなり、時間toff2が、次の画素における時間ton2のタイミングを超えると、強誘電性液晶シャッターアレイ24により変調された露光光の出力波形にノイズが発生する。このため、時間toff2は、次の画素における時間ton2よりも前のタイミングとする必要がある。
従って、強誘電性液晶シャッターアレイ24の立ち上がり時間(ton2−ton1)、立ち下がり時間(toff2−toff1)、オン時間(toff1−ton2)を考慮して、1画素時間の長さすなわちBALD16から射出されるレーザ光の周波数やデューティを決定する必要がある。言い換えると、正しく動作させるために必要な1画素時間を超えて、BALD16から射出されるレーザ光の周波数やデューティを設定することはできない。
また、図2(c)および図3(c)のタイミングチャートに示すように、強誘電性液晶シャッターアレイ24により変調された露光光の出力波形は、1画素当りの露光時間が短くなる。このため、BALD16から射出されるレーザ光の光量を、画像露光に必要なエネルギーを与える光量に設定する必要がある。一般に相反則が成り立つ場合、露光時間が短くなる分、BALD16から射出されるレーザ光の光量を多くする必要がある。
また、照明光源のBALD16は、光パワー密度が高くても長寿命である点を考慮すれば、900nm帯のレーザダイオード(以下、LDという)を用いるのが好ましい。もちろん、通常の830nm帯のLDを用いることも可能である。この場合、830nm帯のLDは、一般的にGa(ガリウム)−Al(アルミニウム)−As(ヒ素)からなる構造のものが多いが、Alを含まない構造のLDを用いるのが好ましい。
また、画像記録装置10では、照明光源を常時オンさせて、記録材料を露光する従来の画像記録装置と比べて、1画素の露光時間が短くなり、その分、1画素時間当りの露光光の光量が多くなる、短時間高照度露光となる。このため、記録材料として、例えばサーマル感材、特に無処理感材のように低照度不軌特性が強いヒートモード感材を露光する場合、露光に必要なエネルギーが相対的に小さくて済むという利点がある。
露光時間×光量=露光エネルギーであるから、例えば露光時間が1/2になると、露光エネルギーを等しくするためには光量を2倍にしなければならない。ところが、低光量で長時間の露光を行うと熱が逃げてしまい、所望の露光エネルギーが得られないという現象が発生する。これに対し、高光量で短時間の露光を行うと熱が逃げる間もなく露光を行うことができるため、記録材料を露光するために必要な露光エネルギーが比較的少なくて済む。
なお、照明光源はBALD16に限定されず、従来公知のどのような光源も適用可能である。また、SLMも強誘電性液晶シャッターアレイ24に限定されず、例えばGLV(グレーティングライトバルブ)、DMD(デジタルマイクロミラーデバイス)等のように、従来公知の透過型および反射型のSLMがいずれも利用可能である。また、ドラム14を用いることも限定されず、記録媒体の支持台として平板を用いてもよい。
また、図1に示す実施形態では、空間光変調素子アレイとして、線変調を行う強誘電性液晶シャッターアレイ24を用い、露光ヘッド12とドラム14とを相対的に移動させて、記録材料を2次元的に走査露光している。しかし、本発明はこれに限定されず、空間光変調素子アレイとして、例えば面変調が可能なものを用い、露光光を所定の倍率で拡大縮小して、記録材料を走査することなく一括面露光することも可能である。
本発明は、基本的に以上のようなものである。
以上、本発明の画像記録方法および装置について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。
(a)および(b)は、それぞれ本発明の画像記録装置の構成を表す一実施形態の平面図および側面図である。 (a)、(b)および(c)は、図1に示す画像記録装置の動作を表す一例のタイミングチャートである。 (a)、(b)および(c)は、図1に示す画像記録装置の動作を表す別の例のタイミングチャートである。 (a)および(b)は、従来の画像記録装置の動作を表す一例のタイミングチャートである。
符号の説明
10 画像記録装置
12 露光ヘッド
14 ドラム
16 ブロードエリアアレイレーザダイオード
18 シリンドリカルレンズ
20 コリメートレンズ
22,26 λ/2板
24 強誘電性液晶シャッターアレイ
28 検光子
30,32 レンズ

Claims (5)

  1. 照明光源から射出される光を、空間光変調素子アレイにより画像データに応じて変調し、この画像データに応じて変調された光を用いて、記録材料上に前記画像データに応じた画像を記録する方法であって、
    前記空間光変調素子アレイのオン時間に応じて、前記照明光源から射出される光を1画素時間毎にパルス駆動することを特徴とする画像記録方法。
  2. 前記照明光源から射出される光のオン時間を、前記空間光変調素子アレイのオン時間に一致させることを特徴とする請求項1に記載の画像記録方法。
  3. 前記照明光源として、ブロードエリアアレイレーザダイオードを用い、前記空間光変調素子アレイとして、強誘電性液晶シャッターアレイを用いることを特徴とする請求項1または2に記載の画像記録方法。
  4. 前記記録材料として、低照度不軌特性が強いヒートモード感材を用いることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の画像記録方法。
  5. 画像データに応じて変調された露光光を発生する露光ヘッドと、記録材料の支持台とを備え、前記露光ヘッドから射出される露光光により前記記録材料を露光し、前記画像データに応じた画像を前記記録媒体上に記録する画像記録装置であって、
    前記露光ヘッドは、照明光源と、この照明光源から射出される光を、画像データに応じて変調する空間光変調素子アレイと、この空間光変調素子アレイにより変調された光を、前記露光光として、前記支持台に装着された記録材料上に結像させる光学系レンズとを備え、
    前記空間光変調素子アレイのオン時間に応じて、前記照明光源から射出される光が1画素時間毎にパルス駆動されることを特徴とする画像記録装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009152607A (ja) * 2007-12-20 2009-07-09 Asml Netherlands Bv デバイス制御方法及び装置
JP2013533615A (ja) * 2010-06-10 2013-08-22 カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6312134B1 (en) * 1996-07-25 2001-11-06 Anvik Corporation Seamless, maskless lithography system using spatial light modulator
US6975366B2 (en) * 2000-10-26 2005-12-13 General Atomics Digital display system using pulsed lasers
JP4628566B2 (ja) * 2001-03-12 2011-02-09 三菱電機株式会社 画像投写装置
IL159677A0 (en) * 2001-07-06 2004-06-20 Explay Ltd An image projecting device and method
JP2003066366A (ja) * 2001-08-22 2003-03-05 Fuji Photo Film Co Ltd 照明光学系及びこれを用いた画像表示装置、画像露光装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009152607A (ja) * 2007-12-20 2009-07-09 Asml Netherlands Bv デバイス制御方法及び装置
US8089672B2 (en) 2007-12-20 2012-01-03 Asml Netherlands B.V. Array element device control method and apparatus
JP2013533615A (ja) * 2010-06-10 2013-08-22 カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系
US9323156B2 (en) 2010-06-10 2016-04-26 Carl Zeiss Smt Gmbh Optical system of a microlithographic projection exposure apparatus

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