JP2005091063A - 屈折計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 試料(S)との界面をなすプリズム(16)の境界面(18)に光源(24)からの光を入射させ、前記プリズム境界面で反射された光を光電センサ(28)により検出し、前記光電センサの出力信号から前記試料の屈折率を測定する屈折計(10)であって、前記プリズム境界面と前記光電センサの間に配置されたフィルター手段(30)を有し、前記フィルター手段は、光源からの光の波長(L)を含む所定の波長域の光を選択的に透過させる波長フィルター(32、34)を含む。
【選択図】図1
Description
前記プリズム境界面と前記光電センサの間に配置されたフィルター手段を有し、
前記フィルター手段は、光源からの光の波長を含む所定の波長域の光を選択的に透過させる波長フィルターを含む。
光源からの光の波長より所定波長だけ長い波長から光電センサの検出波長の最大値までの波長域の光を選択的に遮断する第1のフィルターと、
光源からの光の波長より所定波長だけ短い波長から光電センサの検出波長の最小値までの波長域の光を選択的に遮断する第2のフィルターと、を含んでもよい。
により、重心位置Pc’を算定する。式(1)において、Xiは各受光素子の位置(アドレス)を表し、IiはXiにおける受光量(V)を表す。式1から理解されるように、重心位置Pc’は、光量分布曲線の一次微分曲線(或いは一次差分曲線)の重心位置である。
前記プリズム境界面と前記光電センサの間に配置されたフィルター手段(30)を有し、
前記フィルター手段は、光源からの光の波長(L)を含む所定の波長域の光を選択的に透過させる波長フィルター(32、34)を含む。
光源からの光の波長(L)より所定波長だけ長い波長から光電センサ(28)の検出波長の最大値までの波長域の光を選択的に遮断する第1のフィルター(32)と、
光源からの光の波長(L)より所定波長だけ短い波長から光電センサ(28)の検出波長の最小値までの波長域の光を選択的に遮断する第2のフィルター(34)と、を含む。
12 フレーム
14 サンプルステージ
15 試料滴下窓部
16 プリズム
18 プリズム境界面
20 プリズム入射面
22 プリズム出射面
24 光源
28 光電センサ
30 フィルター手段
32 第1波長フィルター
34 第2波長フィルター
36 偏光フィルター
38 減光フィルター
Claims (6)
- 試料(S)との界面をなすプリズム(16)の境界面(18)に光源(24)からの光を入射させ、前記プリズム境界面で反射された光を光電センサ(28)により検出し、前記光電センサの出力信号から前記試料の屈折率を測定する屈折計(10)であって、
前記プリズム境界面と前記光電センサの間に配置されたフィルター手段(30)を有し、
前記フィルター手段は、光源からの光の波長(L)を含む所定の波長域の光を選択的に透過させる波長フィルター(32、34)を含む屈折計。 - 前記波長フィルターは、
光源からの光の波長(L)より所定波長だけ長い波長から光電センサ(28)の検出波長の最大値までの波長域の光を選択的に遮断する第1のフィルター(32)と、
光源からの光の波長(L)より所定波長だけ短い波長から光電センサ(28)の検出波長の最小値までの波長域の光を選択的に遮断する第2のフィルター(34)と、を含む請求項1に記載の屈折計。 - 前記フィルター手段(30)は、直線偏光を選択的に通過させる偏光フィルター(36)を含む請求項1または2に記載の屈折計。
- 前記フィルター手段(30)は、前記波長フィルター(32、34)及び前記偏光フィルター(36)を層状に張り合わせることにより一体的に形成される請求項3に記載の屈折計。
- 前記フィルター手段(30)は、第1の面において前記プリズム(16)に接着され、第2の面において前記光電センサ(28)に接着される請求項1乃至4のいずれか1項に記載の屈折計。
- 前記フィルター手段(30)は、減光フィルター(38)を含む請求項1乃至5のいずれか1項に記載の屈折計。
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