JP2005083920A - 線膨張係数測定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 構造が簡単であって簡便な操作で被測定物の線膨張係数を測定する線膨張係数測定装置を提供する。
【解決手段】 線膨張係数測定装置１は、挟み体２と、支持体３と、歪みゲージ４と、温度測定手段５と、演算処理部６と、を備えて構成されている。挟み体２は、ステップゲージ９を両側から挟持するとともに被測定物９の線膨張に応じて被測定物を挟持した状態で変形する。支持体３は、被測定物９の上方に位置する状態に挟み体２を支持する。歪みゲージ４は、挟み体２の変形量を検出する。温度測定手段５は、被測定物９および挟み体２の温度を測定する。演算処理部６は、歪みゲージ４によって検出される挟み体２の変形量から被測定物９の線膨張量を求めるとともに、温度測定手段５によって測定される温度変化に基づいて被測定物９の線膨張係数を算出する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、線膨張係数測定装置に関する。

従来、被測定物の線膨張係数を測定する線膨張係数測定装置が知られている（例えば、特許文献１）。
特許文献１に開示される線膨張係数測定装置は、被測定物を支持するガラス製の基台と、被測定物の両端に付設された円板状の測定板と、被測定物を間にして基台の両端に配設されたレーザー式の変位計と、被測定物に熱を供給するシートヒータと、を備えている。

このような構成において、被測定物の温度を上げると、被測定物の線膨張によって測定板の位置が変位する。この測定板の変位が変位計で測定されることによって、被測定物の線膨張量が測定され、線膨張量に基づいて被測定物の線膨張係数が算出される。

特開２００２−１０７３１８号

しかしながら、レーザー式の変位計を備えた線膨張係数測定装置を使用するには、光学系のセッティングなどに手間がかかり、取り扱いが面倒であるという問題が一例として挙げられる。また、レーザー式の変位計を使用する場合、構造が複雑であるため、取り扱いにはそれ相当の技量が要求されるという問題が一例として挙げられる。また、レーザー式の変位計を備えた線膨張係数測定装置は、非常に高価であるという問題が一例として挙げられる。

本発明の目的は、構造が簡単であって簡便な操作で被測定物の線膨張係数を測定できる線膨張係数測定装置を提供することにある。

請求項１に記載の線膨張係数測定装置は、長手方向に沿った一方側と他方側とにそれぞれ被挟持部を有する被測定物に対して略平行に配置され前記被挟持部間に相当する長さを有する主体部、および、前記主体部の両端にそれぞれ設けられ前記被挟持部に当接して前記被測定物を両側から挟む挟持手段を有する挟み体と、前記挟み体で前記被測定物を挟んだ状態で両者の線膨張差によって生じる前記挟持手段の変形量を検出する変形量検出手段と、前記被測定物の温度を測定する温度測定手段と、前記変形量検出手段および前記温度測定手段による検出結果に基づいて前記被測定物の線膨張係数を算出する線膨張係数算出部と、を備えたことを特徴とする。

このような構成において、挟持手段によって被測定物の被挟持部を挟持して、挟み体で被測定物を挟持する。このとき、変形量検出手段によって挟持手段の変形量を検出しておくとともに、温度測定手段によって被測定物の温度を検出しておく。
この状態で被測定物の温度を変化させると、被測定物に熱変形が生じる。例えば、温度を上昇させると、被測定物の長さが伸びる。一方で、主体部も周囲の温度変化に応じて熱変形する。すると、被測定物と主体部との線膨張差に従って挟持手段が変形される。
挟持手段が変形すると、この変形量は変形量検出手段で検出される。変形量検出手段からの検出信号に基づいて挟持手段の変形量が算出される。そして、温度変化量と被測定物の線膨張量とに基づいて線膨張係数算出部により被測定物の線膨張係数が算出される。

線膨張係数の測定にあたって、挟み体で被測定物を挟持するだけでよい。例えば、レーザー光学系を調整するなどの細かなセッティングを必要としない。よって、簡便かつ短時間で線膨張係数の測定を行うことができる。このように使用が簡単なので、複雑な装置を扱う特別な技量も必要なく、誰でも簡便に行うことができる。また、複雑な操作もないので、光軸調整の誤差などによる測定ミスがなく、測定効率が向上される。簡便な構成であるので、組立て工数も少なくてすみ、非常に安価な装置とすることができる。

ここで、本発明では、前記主体部は、極低熱膨張部材で形成されていることが好ましい。極低熱膨張部材としては、たとえば、ガラスやインバーが例として挙げられる。
このような構成によれば、主体部が線膨張しないので、被測定物の線膨張分だけ挟持手段が大きく変形される。すると、変形量検出手段で変形量が正確に検出されやすくなり、線膨張係数の測定精度が向上される。例えば、被測定物と同様に主体部に線膨張が生じると挟持手段の変形量が少なくなって変形量検出手段の検出にかからない場合が生じるおそれもある。また、変形量検出手段で検出される変形量を総て被測定物の線膨張量とみなすことができれば、後の演算処理が簡便となる。

本発明では、前記主体部は長さが可変であることが好ましい。
このような構成によれば、種々の長さの被測定物について線膨張係数を測定することができる。また、被測定物の被測定領域を種々に変えて測定することにより、被測定物のより正確な線膨張係数を求めることができる。

請求項２に記載の線膨張係数測定装置は、請求項１に記載の線膨張係数測定装置において、前記挟持手段は、前記主体部の一端に取り付けられ所定の剛性を有する固定板と、前記主体部の他端に取り付けられ前記被測定物からの応力によって変形するとともに前記固定板とにて前記被測定物を挟持する付勢力を生じさせる弾性部材と、を備え、前記変形量検出手段は、前記弾性部材の変形量を検出する歪みゲージを備えていることを特徴とする。

このような構成において、被測定物の両側を固定板と弾性部材とで挟持する。すると、固定板は変形しないので、被測定物の線膨張量は総て弾性部材の変形量に反映される。弾性部材の変形量が歪みゲージで検出され、検出された弾性部材の変形量に基づいて被測定物の線膨張量が算出される。
挟持手段の一方を変形しない固定板とすることにより、変形量を検出するのは他方の弾性部材だけとすることができる。そして、変形量検出手段を一つにすることによって構造を簡便にできるとともに、測定精度の向上を図ることができる。

請求項３に記載の線膨張係数測定装置は、請求項１または請求項２に記載の線膨張係数測定装置において、前記主体部を支持する支持面を有する支持体と、前記支持面と前記主体部との間の摩擦を低減する摩擦低減手段と、を備えていることを特徴とする。

このような構成において、挟み体で被測定物を挟持した状態で主体部を支持面に載置する。そして、摩擦低減手段によって主体部と支持面との摩擦が低減される。すると、主体部は支持面上において抵抗なく移動できる。
例えば、主体部と支持面との間に摩擦力が作用する場合には、この摩擦力が働く分だけ挟持手段の変形量が被測定物の線膨張量を反映しなくなるおそれがある。そして、この摩擦力が毎回違うと、測定結果が毎回違ってくる可能性がある。
しかしながら、摩擦低減手段が設けられているので、挟み体で被測定物を挟持するとき、主体部と支持面との間に摩擦力が作用しない。すると、被測定物を挟み体で挟持したときの挟持手段の変形量が被測定物からの応力のみを反映することになる。よって、挟持手段の変形量を変形量検出手段で検出すると、被測定物の長さを正確に測定することができ、結果として、線膨張係数を正確に測定することができる。

ここで、本発明では、前記被測定物を前記支持体で支持する構成でもよい。被測定物および主体部のいずれか一方がいずれか他方に対して摩擦抵抗なく移動できればよいからである。

請求項４に記載の線膨張係数測定装置は、請求項３に記載の線膨張係数測定装置において、前記摩擦低減手段は、前記支持面に載置された状態の前記主体部に向けて前記支持面から気体を供給して前記支持面と前記主体部との間に気体薄膜を形成する気体供給手段を備えていることを特徴とする。

このような構成によれば、気体供給手段によって、主体部と支持面との間に気体薄膜が形成される。すると、この気体薄膜によって、主体部と支持面との間の摩擦がほとんどなくなり、主体部は支持面上において抵抗なく移動できる。

なお、本発明では、前記摩擦低減手段は、転がりベアリングや潤滑油であってもよく、あるいは、磁力によって主体部を支持面から浮上させる構成としてもよい。

請求項５に記載の線膨張係数測定装置は、請求項１または請求項２に記載の線膨張係数測定装置において、前記被測定物の長手方向に平行方向に長さを有するとともに上方を向いた傾斜面を有する支持基台、および、前記傾斜面に対して所定角度を為して前記傾斜面の下端縁から張り出して上端縁が前記傾斜面の下端縁よりも少なくとも上方に位置する担持面を有する担持部材を有し、前記傾斜面および前記担持面とにて構成される支持面により前記主体部を支持する支持体と、前記支持面に載置された状態の前記主体部に向けて前記傾斜面および前記担持面から気体を供給して前記支持面と前記主体部との間に気体薄膜を形成する気体供給手段と、を備えていることを特徴とする。

このような構成によれば、請求項３に記載した発明に同様の作用効果を奏することができる。さらに、支持基台の傾斜面と担持部材の担持面とで構成される支持面に主体部を載置したとき、傾斜面と担持面とで構成される角度の内方に主体部が収まる。すると、被測定物の長手方向に直角方向では主体部の動きが規制される。よって、主体部と支持面との間で気体供給手段による摩擦低減が図られた場合、主体部は被測定物に平行方向へは自由に移動しても被測定物に垂直方向へは移動しない。このように主体部が移動できる方向を一方向に規制することによって、挟持手段が被測定物の線膨張量を正確に反映した変形をするので、結果として被測定物の線膨張係数を正確に測定することができる。

以下、本発明の実施の形態を図示するとともに図中の各要素に付した符号を参照して説明する。
（第１実施形態）
本発明の線膨張係数測定装置に係る第１実施形態について説明する。図１に、線膨張係数測定装置の正面図を示し、図２に、図１中II-II線における断面図を示す。
線膨張係数測定装置１は、被測定物９の温度変化による線膨張量を検出して被測定物９の線膨張係数を測定する装置である。ここで、被測定物９としては、特に限定されないが、以下の説明では被測定物９としてステップゲージ９を例にして説明する。ステップゲージ９は、例えば、三次元測定機などの形状測定機の校正に利用される基準ゲージであって、長手状の枠体９１と、この枠体９１に厳密な間隔をもって配設された複数個のブロックゲージ９２と、を備えている。そして、基準温度として例えば２０℃におけるブロックゲージ９２の間隔調整がなされるところ、温度が変化した場合にステップゲージ９がどの程度の線膨張を生じるのか知る必要がある。

線膨張係数測定装置１は、挟み体２と、支持体３と、歪みゲージ（変形量検出手段）４と、温度測定手段５と、演算処理部６と、を備えて構成されている。
挟み体２は、ステップゲージ９を両側から挟持するとともに被測定物９の線膨張に応じて被測定物９を挟持した状態で変形する。
挟み体２は、主体部２１と、挟持手段２２と、を備えている。
主体部２１は、予め厳密に測定された所定の長さを有する長柱状であって極低熱膨張の部材で形成されている。主体部２１の長さは特に限定されないが、被測定物９の線膨張係数を測定したい長さに対応した長さを有する。このような極低熱膨張の部材としては、例えば、ガラスやインバー（鉄ニッケル合金）などが例として挙げられる。また、主体部２１の線膨張係数は予め測定済みであり、温度変化があった場合の線膨張量は算出可能である。

挟持手段２２は、主体部２１の両端にそれぞれ取り付け固定されるとともに主体部２１の長手方向に垂直方向へ向けて片持ち梁状に設けられ、被測定物９の被挟持部を挟持する。
挟持手段２２は、主体部２１の一端に取り付けられた固定板２３と、主体部２１の他端に取り付けられた板ばね（弾性部材）２４と、を備えている。
固定板２３の一端は主体部２１に取り付け固定されており、固定板２３の他端には板ばね２４に向けて膨出する形状のチップ２３１が設けられている。固定板２３は、剛性を有する部材で形成され、被測定物９からの応力では変形しない程度の剛性を有する。

板ばね２４の一端は主体部２１に取り付け固定されており、板ばね２４の他端には固定板２３に向けて膨出する形状のチップ２４１が設けられている。板ばね２４は、弾性を有し、固定板２３とにて被測定物９を挟持するための付勢力を生じさせる。そして、固定板２３と板ばね２４とで被測定物９の被挟持部を挟持した状態で被測定物９が線膨張した場合には、被測定物９からの応力によって撓んで変形する。

支持体３は、被測定物９の上方に位置する状態に挟み体２を支持する。
支持体３は、支持基台３１と、担持部材３２Ａ、３２Ｂと、を備えている。
支持基台３１は、直方体の長手方向に沿った４辺のうちの一辺を略４５°の斜めに面取りされた傾斜面３１１を有する形状である。支持基台３１は、少なくとも主体部２１よりも長い長さを有する。
担持部材３２Ａ、３２Ｂは、支持基台３１の面取りされて形成された傾斜面３１１の下端縁から略斜め４５°に張り出して取り付けられている。担持部材３２Ａ、３２Ｂは、支持基台３１の長手方向に沿って、互いに離隔して二つ設けられている。
支持基台３１の面取りされた傾斜面３１１と担持部材３２の上面である担持面３２１とは略直角をなしており、傾斜面３１１に載置された状態の主体部２１は担持面３２１により担持される。傾斜面３１１と担持面３２１により主体部２１を支持する支持面３３が構成されている。

歪みゲージ（変形検出手段）４は、挟持手段２２の変形量を検出する。歪みゲージ４は、板ばね２４の変形に応じて検出信号を出力する状態で板ばね２４に取り付けられる。歪みゲージ４としては、平板状の絶縁台部と、この絶縁台部に貼り付けられた抵抗線とを備え、歪み量に従った抵抗率変化を生じる構成を利用できる。歪みゲージ４による検出信号は、演算処理部６に出力される。

温度測定手段５は、被測定物９および挟み体２の温度を測定する。温度測定手段５は、被測定物９および挟み体２に貼設された複数個の熱電対によって構成されている。温度測定手段５による検出信号は演算処理部６に出力される。

演算処理部６は、歪みゲージ４によって検出される板ばね２４の歪み量から算出される被測定物９の線膨張量と、温度測定手段５によって測定される温度変化とに基づいて被測定物９の線膨張係数を算出する。
演算処理部６は、増幅手段６１と、Ａ／Ｄ変換手段（アナログ−デジタル変換手段）６２と、線膨張係数算出部６３と、を備えて構成されている。
増幅手段６１は、歪みゲージ４からの検出信号を増幅してＡ／Ｄ変換手段６２に出力する。Ａ／Ｄ変換手段６２は、歪みゲージ４からの信号をデジタイズする。
線膨張係数算出部６３は、歪みゲージ４からの検出信号に基づいて被測定物９の線膨張量を算出する。また、被測定物９に線膨張を生じさせる温度変化を温度測定手段５からの検出信号に基づいて算出する。そして、被測定物９の線膨張量と温度変化量との関係から、被測定物９の線膨張係数を算出する。

このような構成を備える第１実施形態により被測定物９の線膨張係数を求める場合について説明する。なお、線膨張係数測定装置１による被測定物（ステップゲージ）９の線膨張係数測定は、温度管理できる容器例えば恒温槽内で実施される。あるいは、部屋全体が温度管理されていてもよく、被測定物９にシートヒータなどの熱供給手段から熱を与えてもよい。
まず、ベース８に支持体３と被測定物９としてのステップゲージ９とを配置する。このとき、ステップゲージ９と支持体３とが互いに平行かつ互いに近接する状態であって、ステップゲージ９が担持部材３２の下方に位置する状態にステップゲージ９と支持体３とを配置する。

次に、挟み体２を支持体３で支持するとともに挟み体２でステップゲージ９を挟持する。このとき、主体部２１を支持面３３に載置する。そして、固定板２３を一のブロックゲージ９２に当接させるとともに、板ばね２４を他のブロックゲージ９２に引っ掛ける。
ここで、ブロックゲージ９２によって、ステップゲージ９の長手方向に沿った一方側と他方側との被挟持部が構成される。
この状態で、歪みゲージ４の歪み量から固定板２３と板ばね２４とにて挟持するステップゲージ９の長さを演算処理部６で算出して記憶しておく。また、温度測定手段５としての熱電対を挟み体２およびステップゲージ９の所定位置に貼設して、このときの温度を演算処理部６で算出して記憶する。

周囲の温度を変化させると、ステップゲージ９に熱変形が生じる。例えば、温度を上昇させると、ステップゲージ９の長さが伸びる。その一方で、主体部２１は極低熱膨張部材であるので、主体部２１の線膨張は極わずかである。すると、板ばね２４は、ステップゲージ９と主体部２１との線膨張差に従って変形する。
板ばね２４が変形すると、歪みゲージ４の歪み量が変化され、歪みゲージ４からの検出信号に基づいて演算処理部６により板ばね２４の変形量が算出される。板ばね２４の変形量と主体部２１の線膨張量とからステップゲージ９の線膨張量が算出される。また、温度変化量は、温度測定手段５からの信号によって測定される。
そして、温度変化量とステップゲージ９の線膨張量とに基づいて線膨張係数算出部６３によってステップゲージ９の線膨張係数が算出される。

以上、このような構成を備える第１実施形態によれば、次の効果を奏することができる。
（１）線膨張係数の測定にあたっては、挟み体２で被測定物９を挟持するだけでよい。例えば、レーザー光学系を調整するなどの細かなセッティングを必要としない。よって、簡便かつ短時間で線膨張係数の測定を行うことができる。
（２）使用が簡単なので特別な技量も必要なく、誰でも簡便に行うことができる。複雑な操作もないので、測定に失敗することがない。光軸調整の誤差などによる測定ミスが生じることがないので、測定効率が向上する。
（３）簡便な構成であるので、組立て工数も少なくてすみ、非常に安価な装置とすることができる。

（第２実施形態）
次に、本発明の線膨張係数測定装置の第２実施形態について説明する。第２実施形態の基本的構成は、第１実施形態に同様であるが、第２実施形態が特徴とするところは、摩擦低減手段としての気体供給手段７を備えた点にある。
図３に、第２実施形態の断面図を示し、図４に、図３中矢印IV方向から見た第２実施形態の上面図を示す。

図３において、支持面３３に載置された主体部２１に向けて気体を吹送して支持面３３と主体部２１との間に空気薄膜を形成する気体供給手段７が設けられている。
気体供給手段７は、給気孔７１と、給気溝７２と、給気ダクト７３と、を備えている。
給気孔７１は、図３および図４に示されるように、支持面３３に載置された主体部２１に向けて開口して支持面３３に穿設されている。給気孔３３は、傾斜面３１１および担持面３２１に設けられている。給気孔３３は、傾斜面３１１において支持基台３１の長手方向に沿って離隔した２点に設けられ、担持面３２１においては、担持部材３２Ａ、３２Ｂのそれぞれの担持面３２１に一つずつ設けられている。

給気溝７２は、図４に示されるように、傾斜面３１１および担持面３２１に凹設されている。給気溝７２は、傾斜面３１１の短手方向の略中央付近において長手方向に沿って所定の長さに凹設されているとともに、担持面３２１において支持基台３１の長手方向に平行に所定の長さをもって凹設されている。
給気溝７２の底部に給気孔７１が位置し、給気孔７１から吹送された気体は、給気溝７２内を拡散したあと給気溝７２の開口全体から主体部２１に向けて吹き出す。

給気ダクト７３は、支持基台３１および担持部材３２を貫通して形成され、支持基台３１において担持部材３２が設けられているのとは反対の側面から給気孔７１に通じている。なお、給気ダクト７３は図示しない気体吐出ポンプに接続されて、この気体吐出ポンプから給気ダクト７３を通じて給気孔７１に気体が供給される。

このような構成を備える第２実施形態の動作について説明する。挟み体２でステップゲージ９を挟持した状態で主体部２１を支持面３３に載置する。そして、図示しない気体吐出ポンプから給気ダクト７３に気体を供給する。すると、気体が給気孔７１から給気溝７２を通って主体部２１に吹き付けられ、主体部２１と支持面３３との間に空気薄膜が形成される。この空気薄膜によって、主体部２１と支持面３３との間の摩擦がほとんどなくなり、主体部２１は支持面３３上において抵抗なく移動できる。

このような第２実施形態によれば、次の効果を奏することができる。
例えば、主体部２１と支持面３３との間に摩擦力が作用する場合には、この摩擦力が板ばね２４の付勢力に抗する力として働く分だけ板ばね２４の変形量が大きくなる。そして、この摩擦力が毎回違うと、測定結果が毎回違ってくる可能性がある。
一方、本実施形態では気体供給手段７が設けられているので、挟み体２で被測定物９を挟持するとき、主体部２１と支持面３３との間に摩擦力が作用しない。すると、被測定物９を挟み体２で挟持したときの板ばね２４の変形量が被測定物９からの反力のみを反映することになる。よって、板ばね２４の変形量を歪みゲージ４で測定することによって、被測定物９の長さを正確に測定することができ、結果として、線膨張係数を正確に測定することができる。

なお、本発明は前述の実施形態に限定されず、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれる。
主体部２１は、極低熱膨張部材によって形成されるとして説明したが、主体部２１は大きな熱変形を生じる部材であってもよい。そして、主体部２１の線膨張係数を予め線膨張係数算出部６３に記憶させておけば、歪みゲージ４によって検出された板ばね２４の変化量が主体部２１と被測定物９との線膨張差であるので、この差に基づいて被測定物９の線膨張量を算出して、被測定物９の線膨張係数を算出することができる。
挟持手段２２としての固定板２３と板ばね２４とは主体部２１の両端に一対設けられている場合について説明したが、例えば、固定板２３が主体部２１に一定の間隔で複数設けられていたり、あるいは、固定板２３を主体部２１の任意の位置に取り付け固定可能であったりしてもよい。このような構成によれば、任意の長さの被測定物９を挟み体２で挟持することができ、任意の長さの被測定物について線膨張係数を測定することができる。

本発明は、線膨張係数測定装置に利用できる。例えば、ステップゲージ等の基準ゲージの線膨張係数を測定するのに好適である。

本発明の線膨張係数測定装置に係る第１実施形態の正面図である。 前記第１実施形態において、図１中II-II線における断面図である。 本発明の線膨張係数測定装置に係る第２実施形態の断面図である。 前記第２実施形態において、図３中IV方向からの上面図である。

符号の説明

１…線膨張係数測定装置、２…挟み体、２１…主体部、２２…挟持手段、２３…固定板、２３１…チップ、２４…板ばね（弾性部材）、２４１…チップ、３…支持体、３１…支持基台、３１１…傾斜面、３２Ａ、３２Ｂ…担持部材、３２１…担持面、３３…支持面、３３…給気孔、４…歪みゲージ（変形量検出手段）、５…温度測定手段、６…演算処理部、６１…増幅手段、６２…Ａ／Ｄ変換手段、６３…線膨張係数算出部、７…気体供給手段（摩擦低減手段）、７１…給気孔、７２…給気溝、７３…給気ダクト、８…ベース、９…被測定物（ステップゲージ）、９１…枠体、９２…ブロックゲージ。

Claims (5)

1. 長手方向に沿った一方側と他方側とにそれぞれ被挟持部を有する被測定物に対して略平行に配置され前記被挟持部間に相当する長さを有する主体部、および、前記主体部の両端にそれぞれ設けられ前記被挟持部に当接して前記被測定物を両側から挟む挟持手段を有する挟み体と、
   前記挟み体で前記被測定物を挟んだ状態で両者の線膨張差によって生じる前記挟持手段の変形量を検出する変形量検出手段と、
   前記被測定物の温度を測定する温度測定手段と、
   前記変形量検出手段および前記温度測定手段による検出結果に基づいて前記被測定物の線膨張係数を算出する線膨張係数算出部と、を備える
   ことを特徴とした線膨張係数測定装置。
2. 請求項１に記載の線膨張係数測定装置において、
   前記挟持手段は、前記主体部の一端に取り付けられ所定の剛性を有する固定板と、前記主体部の他端に取り付けられ前記被測定物からの応力によって変形するとともに前記固定板とにて前記被測定物を挟持する付勢力を生じさせる弾性部材と、を備え、
   前記変形量検出手段は、前記弾性部材の変形量を検出する歪みゲージを備える
   ことを特徴とする線膨張係数測定装置。
3. 請求項１または請求項２に記載の線膨張係数測定装置において、
   前記主体部を支持する支持面を有する支持体と、
   前記支持面と前記主体部との間の摩擦を低減する摩擦低減手段と、を備える
   ことを特徴とする線膨張係数測定装置。
4. 請求項３に記載の線膨張係数測定装置において、
   前記摩擦低減手段は、前記支持面に載置された状態の前記主体部に向けて前記支持面から気体を供給して前記支持面と前記主体部との間に気体薄膜を形成する気体供給手段を備える
   ことを特徴とする線膨張係数測定装置。
5. 請求項１または請求項２に記載の線膨張係数測定装置において、
   前記被測定物の長手方向に平行方向に長さを有するとともに上方を向いた傾斜面を有する支持基台、および、前記傾斜面に対して所定角度を為して前記傾斜面の下端縁から張り出して上端縁が前記傾斜面の下端縁よりも少なくとも上方に位置する担持面を有する担持部材を有し、前記傾斜面および前記担持面とにて構成される支持面により前記主体部を支持する支持体と、
   前記支持面に載置された状態の前記主体部に向けて前記傾斜面および前記担持面から気体を供給して前記支持面と前記主体部との間に気体薄膜を形成する気体供給手段と、を備える
   ことを特徴とした線膨張係数測定装置。

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