JP2005079504A - Metal resinate composition for inner electrode - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、カーボンナノチューブを利用することによって均一で緻密な金属薄膜が得られるという、積層セラミックコンデンサの内部電極を作製するに適用される金属レジネート組成物に関する。 The present invention relates to a metal resinate composition applied to the production of an internal electrode of a multilayer ceramic capacitor, in which a uniform and dense metal thin film can be obtained by using carbon nanotubes.
従来、通常の金属レジネートを用いてコンデンサ基材にメタライズする場合、導体の金属膜に部分的にクラックを生じることがあった。 Conventionally, when a metal base is metallized using a normal metal resinate, a crack is sometimes generated in the metal film of the conductor.
この問題を解決するために、金のレジネート材料や０．５〜２％の範囲で有機バインダーを金属レジネートに添加することによって、クラックが低減できるという報告がなされている（特許文献１）。しかしながら、金属レジネート中の有機部分の揮発や有機バインダーを分解させるために、実際にはメタライズ化温度以上の温度を必要とし、とりわけ有機基材上での低温焼成を要する転写法の場合には適さなかった。 In order to solve this problem, it has been reported that cracks can be reduced by adding a gold resinate material or an organic binder in the range of 0.5 to 2% to the metal resinate (Patent Document 1). However, in order to volatilize the organic part in the metal resinate and decompose the organic binder, it actually requires a temperature above the metallization temperature, and is particularly suitable for transfer methods that require low-temperature firing on an organic substrate. There wasn't.
一方、カーボンナノチューブは、導電性（黒鉛より導電性が高い）、熱伝導性、電磁波シールド性等の機能性材料として、ポリイミドをはじめとする樹脂あるいはガラス等の無機化合物をマトリックスとして用い、それらを混合して前記機能を有する材料とする手法はここ数年公知である。しかし、未だ、カーボンナノチューブをクラック防止剤、とりわけ基材上に緻密な金属薄膜を容易に形成させるための組成物の一成分として用いた例はない。なお、カーボンナノチューブは、その歴史は浅く、またその特異な特性からして、多くの領域で利用することが期待されてはいる。その一例として、機能性被膜材料の分野に利用することが熱望されている。なかでも、ドクターブレード法等によって容易に均一な塗布ができ、焼成後、緻密な金属薄膜が容易に形成できる、カーボンナノチューブを利用した被覆用組成物が求められている。
上述したとおり、金属レジネート単独あるいは、有機バインダー等を添加して作った組成物をセラミック基材上に塗布し、塗布したセラミック基材を積層して焼成することにより積層セラミックコンデンサの内部電極としての金属薄膜を作ることができるが、このようにして形成した金属薄膜は、クラックができやすいことがあり、このクラックの解消が本発明の課題である。 As described above, a metal resinate alone or a composition made by adding an organic binder or the like is applied onto a ceramic substrate, and the coated ceramic substrate is laminated and fired to serve as an internal electrode of the multilayer ceramic capacitor. Although a metal thin film can be made, the metal thin film formed in this way may be easily cracked, and the elimination of this crack is the subject of the present invention.
本発明者らは、上記の課題を達成しようと鋭意研究をすすめた結果、積層セラミックコンデサ用内部電極を形成する金属レジネート組成物にカーボンナノチューブを配合することにより、所望の厚さで均一に容易に塗布し得て、均一で緻密な金属薄膜を容易に形成できるという目的が達成できることを見いだし、本発明を完成したものである。 As a result of intensive research aimed at achieving the above-mentioned problems, the present inventors easily and uniformly at a desired thickness by blending carbon nanotubes with a metal resinate composition forming an internal electrode for a multilayer ceramic condenser. It has been found that the object of easily forming a uniform and dense metal thin film can be achieved, and the present invention has been completed.
また、カーボンナノチューブは、かなり高い温度まで酸化しにくいものとなっている。従って、メタライズをより高い温度で行えるので、金属レジネートの分解物や有機バインダーなどのビヒクルをほぼ完全に除去できるようにもなる。 Carbon nanotubes are difficult to oxidize to a considerably high temperature. Accordingly, since metallization can be performed at a higher temperature, it is possible to remove almost completely the decomposition product of the metal resinate and the vehicle such as the organic binder.
即ち、本発明は、
（Ａ）金属レジネート５〜８０重量％、
（Ｂ）カーボンナノチューブ０．０５〜５重量％および
を必須成分とする組成物であって、積層セラミックコンデンサの内部電極を作製するに適用されるものであることを特徴とする金属レジネート組成物であり、また、この組成物に更に（Ｃ）有機バインダー０〜３０重量％あるいは（Ｄ）セラミック粉末０〜３０重量％を含有する金属レジネート組成物でもある。
That is, the present invention
(A) 5 to 80% by weight of metal resinate,
(B) A metal resinate composition comprising 0.05 to 5% by weight of carbon nanotubes as an essential component and applied to the production of an internal electrode of a multilayer ceramic capacitor. Moreover, it is also a metal resinate composition containing (C) 0 to 30% by weight of an organic binder or (D) 0 to 30% by weight of a ceramic powder.
本発明によれば、組成物にカーボンナノチューブを用いることにより、有機レジネートが１５０〜３００℃で分解し、析出した金属表面のクラックをカーボンナノチューブが埋めることから、分子レベルの均一な金属を焼成面上で得ることができる。このため、セラミックグリーンシート表面にできる内部電極による凹凸は激減し、シート圧着時にシート全体に圧力が加わるので、シート間の接着性が向上する。その結果、より多くのセラミックグリーンシートを積層することができる。 According to the present invention, by using carbon nanotubes in the composition, the organic resinate decomposes at 150 to 300 ° C., and the carbon nanotubes fill the cracks on the deposited metal surface. You can get above. For this reason, the unevenness due to the internal electrodes formed on the surface of the ceramic green sheet is drastically reduced, and pressure is applied to the entire sheet when the sheet is crimped, thereby improving the adhesion between the sheets. As a result, more ceramic green sheets can be stacked.
以上のことから本発明は、薄膜電極を容易に製造することを可能とし、積層セラミックコンデンサの小形化、大容量化の要求を容易に満たし、かつ、クラック等の構造欠陥を抑制することができ、生産性と信頼性を大幅に向上させることができる。 From the above, the present invention makes it possible to easily manufacture a thin film electrode, easily satisfy the requirements for downsizing and increasing the capacity of a multilayer ceramic capacitor, and suppress structural defects such as cracks. , Productivity and reliability can be greatly improved.
本発明の金属レジネート組成物とそれを用いた金属化の実施の形態を以下に説明する。 Embodiments of the metal resinate composition of the present invention and metallization using the same are described below.
本発明において、積層セラミックコンデンサの内部電極を形成する金属レジネート組成物は、下記に説明するような主成分の金属レジネート、カーボンナノチューブおよび有機溶剤からなる成分、更にはバインダー用ポリマーヤ、セラミック粉末を混合し、下記に示す条件によって混練、加熱、加圧することにより導電性ペースト状態で生成される。 In the present invention, the metal resinate composition forming the internal electrode of the multilayer ceramic capacitor is a mixture of the main component metal resinate, carbon nanotube and organic solvent as described below, and further, a binder polymer and ceramic powder. Then, it is produced in a conductive paste state by kneading, heating and pressurizing under the conditions shown below.
本発明の金属レジネート組成物は、金属粒子を用いず、（Ａ）金属レジネートを必須主成分としている。金属レジネートは熱分解性を有する金属有機化合物であって、好ましく使用できる金属レジネートとしては、２−エチルヘキサン酸、アビエチン酸、オレイン酸、ナフテン酸、リノレン酸、ネオデカン酸等の金属塩が挙げられるが、これ以外のスルホン酸塩、アルキルメルカプチド、アリールメルカプチド、メルカプトカルボン酸エステルなどの熱分解性を有する金属レジネートも使用できる。 The metal resinate composition of the present invention uses (A) a metal resinate as an essential main component without using metal particles. The metal resinate is a metal organic compound having thermal decomposability, and examples of metal resinates that can be preferably used include metal salts such as 2-ethylhexanoic acid, abietic acid, oleic acid, naphthenic acid, linolenic acid, and neodecanoic acid. However, other metal sulfonates having thermal decomposability such as sulfonates, alkyl mercaptides, aryl mercaptides, and mercaptocarboxylic acid esters can be used.
本発明に用いる（Ａ）金属レジネートとしては、上記の群から選択される１種または複数種の金属レジネートであり、金属レジネート以外には、アクリル樹脂等の有機バインダー樹脂、ガラス粉末、有機溶剤、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ3 ）等のセラミック粉末を含むことができる。本発明は、上記の金属レジネートを主成分とする金属塗料を使用することを特徴とする請求項１、２または３記載の積層セラミックコンデンサ製造のための組成物である。 The (A) metal resinate used in the present invention is one or a plurality of metal resinates selected from the above group. Besides the metal resinate, an organic binder resin such as an acrylic resin, a glass powder, an organic solvent, Ceramic powder such as barium titanate (BaTiO 3 ) can be included. The present invention is the composition for producing a multilayer ceramic capacitor according to claim 1, 2 or 3, wherein a metal paint comprising the above metal resinate as a main component is used.
最も好ましい貴金属レジネートとして、パラジウム、銀および金が、カルボン酸塩、スルホン酸塩、アルキルメルカプチド、アリールメルカプチド、メルカプトカルボン酸エステルの形で使用される。しかしまた、白金、ロジウム、ルテニウムおよびイリジウムのレジネートも用いることができる。卑金属レジネートとしては、例えば、ニッケル、ビスマス、亜鉛、コバルト、クロム、マンガン、チタン、ジルコニウム、錫、セリウム、珪素等を用いることができる。 As the most preferred noble metal resinates, palladium, silver and gold are used in the form of carboxylates, sulfonates, alkyl mercaptides, aryl mercaptides, mercaptocarboxylic esters. However, resinates of platinum, rhodium, ruthenium and iridium can also be used. As the base metal resinate, for example, nickel, bismuth, zinc, cobalt, chromium, manganese, titanium, zirconium, tin, cerium, silicon and the like can be used.
前記（Ｃ）有機バインダーとしては、アクリル系樹脂、セルロース、ポリビニルブチラール系樹脂、ポリウレタン系樹脂、または塩ビ系樹脂、酢ビ系樹脂が用いられる。その配合割合は、有機溶剤１重量部に対し、０．０２５〜０．１重量部である。これらの有機バインダーは、ペースト製造前に予め下記有機溶剤に溶解混合させておくことが望ましい。 As the organic binder (C), acrylic resin, cellulose, polyvinyl butyral resin, polyurethane resin, vinyl chloride resin, and vinyl acetate resin are used. The blending ratio is 0.025 to 0.1 parts by weight with respect to 1 part by weight of the organic solvent. These organic binders are desirably dissolved and mixed in advance in the following organic solvent before paste production.
本発明に用いる（Ｂ）カーボンナノチューブとしては、種々の既存のカーボンナノチューブを用いることができるが、実施例においては特開２０００−６３７２６の方法に従った。即ち、ヘリウムガス中で２本の炭素電極を１〜２ｍｍ程度離した状態で直流アーク放電を起こさせたときに、陽極側の炭素が蒸発して陰極側の炭素電極先端に凝集した堆積物中に形成される。即ち、炭素電極間の距離を１ｍｍにして、ヘリウムガス中でアーク放電を持続させると、陽極の炭素電極の直径と殆ど同じ径の円柱状の堆積物が陰極先端に形成される。カーボンナノチューブは炭素で構成される、直径２〜５０ｎｍ、長さ１〜１０μｍの円筒中空繊維状であり、上記アーク放電法のほか、化学気相成長法、熱分解法、レーザー蒸発法等によっても生成させることができる。また、カーボンナノチューブの上記電極形成性成分への配合割合は、必要に応じて適宜選択することができるが、一般に電極形成性成分１００重量部に対して０．０５〜５重量部である。 As the carbon nanotube (B) used in the present invention, various existing carbon nanotubes can be used, but in the examples, the method of JP-A-2000-63726 was followed. That is, in a deposit in which the carbon on the anode side evaporates and aggregates at the tip of the carbon electrode on the cathode side when a DC arc discharge is caused in the helium gas with the two carbon electrodes separated by about 1 to 2 mm. Formed. That is, when the distance between the carbon electrodes is 1 mm and the arc discharge is continued in helium gas, a cylindrical deposit having a diameter almost the same as the diameter of the carbon electrode of the anode is formed at the tip of the cathode. The carbon nanotubes are made of carbon and have a hollow cylindrical fiber shape with a diameter of 2 to 50 nm and a length of 1 to 10 μm. In addition to the arc discharge method, the chemical vapor deposition method, thermal decomposition method, laser evaporation method, etc. Can be generated. The mixing ratio of the carbon nanotubes to the electrode-forming component can be appropriately selected as necessary, but is generally 0.05 to 5 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the electrode-forming component.
本発明に用いる金属薄膜用材料としては、（Ａ）金属レジネート化合物と（Ｂ）カーボンナノチューブを必須成分とするが、本発明の目的に反しない限り、有機バインダー、ガラス、また必要に応じて有機溶剤、消泡剤、カップリング剤、その他化の添加剤や内部電極の焼結性を抑制するために、例えば粒径０．１μｍのＢａＴｉＯ3 等を共剤として配合することができる。 As a material for a metal thin film used in the present invention, (A) a metal resinate compound and (B) carbon nanotubes are essential components, but an organic binder, glass, and organic if necessary, as long as the object of the present invention is not violated. In order to suppress the sinterability of the solvent, antifoaming agent, coupling agent, other additives and internal electrodes, for example, BaTiO 3 having a particle size of 0.1 μm can be blended as a coagent.
有機溶剤としては、例えば、トルエン、キシレン、エチルセロソルブ、シクロヘキサノン、ブチルセロソルブ、ブチルセロソルブアセテート、ブチルカルビトール、ブチルカルビトールアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジアセトンアルコール、α−テルピネオール、ベンジルアルコール等が挙げられ、これらは単独または２種以上混合して使用することができる。 Examples of the organic solvent include toluene, xylene, ethyl cellosolve, cyclohexanone, butyl cellosolve, butyl cellosolve acetate, butyl carbitol, butyl carbitol acetate, diethylene glycol monoethyl ether, diacetone alcohol, α-terpineol, and benzyl alcohol. These can be used alone or in admixture of two or more.
本発明の金属レジネート組成物は、上述した各成分を常法に従い十分混合した後、さらにボールミル、ヘンシェルミキサー、オープンロールミキサー、バンバリー混合機等により混練処理を行うことができる。その後、減圧下脱泡して製造することがてきる。 The metal resinate composition of the present invention can be further kneaded with a ball mill, a Henschel mixer, an open roll mixer, a Banbury mixer or the like after sufficiently mixing the above-described components according to a conventional method. Thereafter, it can be produced by degassing under reduced pressure.
得られた金属レジネート組成物は、グリーンシート上に、スクリーン印刷法、スピンコート法、ディッピングコート法、スプレーコート法、バーコート法、ロールコート法、インクジェット方式等、既存の塗布方法により電極パターン上に塗布・乾燥させるか、あるいは離型性を有する基材に同様に塗布・乾燥させてシート状にし、グリーンシートに転写させる方式で、グリーンシートと内部電極とを交互にその一端側では奇数番目の内部電極群の端面を、また他端側では偶数番目の内部電極群の端面をそれぞれ位置合せを行った後、多数枚積層させ、焼結させることにより、積層セラミックコンデンサを完成させる。 The obtained metal resinate composition is formed on a green sheet on an electrode pattern by an existing coating method such as a screen printing method, a spin coating method, a dipping coating method, a spray coating method, a bar coating method, a roll coating method, or an inkjet method. Applying and drying to a base material having releasability in the same way, applying and drying to form a sheet and transferring it to the green sheet. The green sheet and the internal electrode are alternately odd-numbered on one end side. After aligning the end faces of the internal electrode groups and the end faces of the even-numbered internal electrode groups on the other end side, a large number of them are laminated and sintered to complete a multilayer ceramic capacitor.
本発明の金属レジネート組成物を乾燥あるいは金属化させて形成された金属膜は、優れた電気伝導性を有する。従って、本発明の金属レジネート組成物は、電極をはじめとして種々の電子機器部品分野に好適に使用することができる。 The metal film formed by drying or metallizing the metal resinate composition of the present invention has excellent electrical conductivity. Therefore, the metal resinate composition of the present invention can be suitably used in various electronic device parts fields including electrodes.
次に、本発明を実施例によって説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。以下の実施例および比較例において、「部」とは「重量部」を意味する。 EXAMPLES Next, although an Example demonstrates this invention, this invention is not limited by these Examples. In the following examples and comparative examples, “part” means “part by weight”.
アクリル樹脂３部を、ベンジルアルコール２５部、α−テルピネオール２０部中で１００℃，１時間で溶解を行い粘稠な樹脂を得た。この樹脂４８部に、オクチル酸ニッケル４０部を加え、これにカーボンナノチューブ１部、粒径０．１μｍのＢａＴｉＯ3 を２部、粘度調整用にブチルセロソルブ１０部を混合し、さらに８０℃，１時間の混合処理を行い、ニッケルレジネート塗料を調製した。 3 parts of an acrylic resin was dissolved in 25 parts of benzyl alcohol and 20 parts of α-terpineol at 100 ° C. for 1 hour to obtain a viscous resin. To 48 parts of this resin, 40 parts of nickel octylate was added, 1 part of carbon nanotubes, 2 parts of BaTiO 3 having a particle size of 0.1 μm, and 10 parts of butyl cellosolve for viscosity adjustment were further mixed at 80 ° C. for 1 hour. The nickel resinate paint was prepared by performing the mixing process.
アクリル樹脂３部を、ベンジルアルコール２５部、ジエチレングリコールモノブチルエーテル２０部中で１００℃，１時間で溶解を行い、粘稠な樹脂を得た。この樹脂４８部に、ナフテン酸ニッケル４０部、カーボンナノチューブ２部を加え、粘度調整用にブチルセロソルブ１２部を混合し、さらに８０℃，１時間の混合処理を行い、ニッケルレジネート塗料を調製した。 3 parts of an acrylic resin was dissolved in 25 parts of benzyl alcohol and 20 parts of diethylene glycol monobutyl ether at 100 ° C. for 1 hour to obtain a viscous resin. To 48 parts of this resin, 40 parts of nickel naphthenate and 2 parts of carbon nanotubes were added, 12 parts of butyl cellosolve were mixed for viscosity adjustment, and further mixed at 80 ° C. for 1 hour to prepare a nickel resinate paint.
エチルセルロース樹脂１０部を、α−テルピネオール９０部中で９０℃，４時間で溶解を行い、粘稠な樹脂を得た。この樹脂３０部に、ＳＥＭ粒径０．５μｍ，比表面積１．９ｍ2 ／ｇ，タップ密度５．８ｇ／ｃｍ2 の球状ニッケル粉を５０部、内部電極の焼結性を抑制するために粒径０．１μｍのＢａＴｉＯ3 を１０部、粘度調整用にブチルセロソルブ１０部を混合し、さらにチルド三本ロールにより混合処理を行い、減圧脱泡してニッケルペーストを調製した。 10 parts of ethyl cellulose resin was dissolved in 90 parts of α-terpineol at 90 ° C. for 4 hours to obtain a viscous resin. To 30 parts of this resin, 50 parts of spherical nickel powder having an SEM particle size of 0.5 μm, a specific surface area of 1.9 m 2 / g, and a tap density of 5.8 g / cm 2 , particles were added to suppress the sintering of the internal electrode 10 parts of BaTiO 3 having a diameter of 0.1 μm and 10 parts of butyl cellosolve for viscosity adjustment were mixed, mixed with a chilled three-roll, and degassed under reduced pressure to prepare a nickel paste.
別途、ＢａＴｉＯ3 を主成分とする誘電体粉末１２０部、ポリビニルブチラール樹脂３０部、ブチルカルビトール１５０部、フタル酸ジオクチル４部を配合し、チルドロールで混練してセラミック誘電体層用スラリーを作成した。このスラリーを用いてドクターブレード法で、所定の厚さのセラミックグリーンシートを作成した。 Separately, 120 parts of dielectric powder mainly composed of BaTiO 3 , 30 parts of polyvinyl butyral resin, 150 parts of butyl carbitol, and 4 parts of dioctyl phthalate were blended and kneaded with chilled rolls to produce a slurry for a ceramic dielectric layer. did. Using this slurry, a ceramic green sheet having a predetermined thickness was prepared by a doctor blade method.
実施例１〜２で作成したニッケルレジネート塗料および比較例で作成したニッケルペーストを、前記セラミックグリーンシート上に所定の厚さになるように印刷してオーブンで乾燥させた。これらの内部電極を印刷したセラミックグリーンシートを１５０層積層し、熱圧着により１．０ｔ／ｃｍ2 の圧力で各セラミックグリーンシートを接着し、グリーン基板を形成した。 The nickel resinate paint prepared in Examples 1 and 2 and the nickel paste prepared in the comparative example were printed on the ceramic green sheet so as to have a predetermined thickness and dried in an oven. 150 layers of ceramic green sheets printed with these internal electrodes were laminated, and each ceramic green sheet was bonded by thermocompression bonding at a pressure of 1.0 t / cm 2 to form a green substrate.
実施例１のニッケルレジネート塗料を、離型処理を施した基材（ＰＥＴ）上に、ドクターブレード法で乾燥後の膜厚が所定の厚さになるように塗布乾燥し、導電性フィルムを得た。この導電性フィルムから基材を剥離して、セラミックグリーンシート上に転写し、セラミックグリーンシートと導電性フィルムのセットを１５０層積層し、熱圧着により１．０ｔ／ｃｍ2 の圧力で各セラミックグリーンシートを接着し、グリーン基板を形成した。 The nickel resinate paint of Example 1 was applied and dried on a substrate (PET) subjected to a release treatment so that the film thickness after drying was a predetermined thickness by a doctor blade method to obtain a conductive film. It was. The substrate is peeled off from the conductive film, transferred onto a ceramic green sheet, 150 layers of ceramic green sheets and conductive film sets are laminated, and each ceramic green is pressed at a pressure of 1.0 t / cm 2 by thermocompression bonding. The sheet was bonded to form a green substrate.
以上のようにして完成した実施例１〜３および比較例の未焼成セラミック基板（グリーン基板）をチップ状に切断し、グリーンチップを得た。このグリーンチップを２８０℃の空気で８時間脱脂処理後に酸素濃度を制御したＮ2 ＋Ｈ2 雰囲気で１２５０℃にて焼成処理し、外部電極としてＣｕペーストを塗布焼付けし、その後Ｎｉ、Ｓｎを電気メッキして、内部電極厚み０．１〜１．０μｍ、セラミック誘電体層厚み４〜８μｍ、積層数１５０層で１．６×１．６×３．２ｍｍの積層セラミックコンデンサを作製した。 The green ceramic substrates (green substrates) of Examples 1 to 3 and Comparative Example completed as described above were cut into chips to obtain green chips. This green chip was degreased with air at 280 ° C. for 8 hours, and then fired at 1250 ° C. in an N 2 + H 2 atmosphere with controlled oxygen concentration, applied and baked with Cu paste as an external electrode, and then Ni and Sn were electroplated Thus, a 1.6 × 1.6 × 3.2 mm multilayer ceramic capacitor having an internal electrode thickness of 0.1 to 1.0 μm, a ceramic dielectric layer thickness of 4 to 8 μm, and a multilayer number of 150 layers was produced.
得られた積層セラミックコンデンサについて、断面研磨による焼成後の内部欠陥発生率（サンプル数１０００個に対するクラック発生数）を調べた。その結果を表１に示した。表１からも明らかなように、本発明は、内部電極厚み０．１〜１．５μｍ、セラミック誘電体層厚み４〜８μｍの範囲で１５０層以上の積層が可能であり、金属ニッケル粉を充填した従来のニッケルペーストと比較すると、積層セラミックコンデンサの高積層化に有効であり、本発明の効果が確認することができた。 About the obtained multilayer ceramic capacitor, the internal defect occurrence rate after firing by cross-sectional polishing (the number of cracks generated with respect to 1000 samples) was examined. The results are shown in Table 1. As is clear from Table 1, the present invention can be laminated with 150 layers or more in the range of the internal electrode thickness of 0.1 to 1.5 μm and the ceramic dielectric layer thickness of 4 to 8 μm and filled with metallic nickel powder. Compared with the conventional nickel paste, it was effective in increasing the number of laminated ceramic capacitors, and the effect of the present invention could be confirmed.
以上、本発明の実施の形態および実施例について説明してきたが、本発明はこれに限定されることなく、請求項の記載の範囲において各種の変形、変更が可能なことは当業者は自明であろう。
Claims (3)
（Ｂ）カーボンナノチューブ０．０５〜５重量％および
を必須成分とする組成物であって、積層セラミックコンデンサの内部電極を作製するに適用されるものであることを特徴とする金属レジネート組成物。 (A) 5 to 80% by weight of metal resinate,
(B) A metal resinate composition comprising 0.05 to 5% by weight of carbon nanotubes as an essential component and applied to the production of an internal electrode of a multilayer ceramic capacitor.
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