JP2005055798A - 光学部材、当該光学部材を有する照明装置及び露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 入射する光束に対して所定の光学的作用を有する光学素子部を一面に直接形成した基板と、前記光束を透過する透過部を有し、前記基板を収納する保護部材とを有することを特徴とする光学部材を提供する。
【選択図】 図2
Description
図28は、従来の照明装置1000の一例を示す概略構成図である。照明装置1000は、基板1110上に素子レンズ1120を製作したマイクロレンズアレイ1100を光学インテグレーターとして用い、光源1200からの光束を受けて複数の2次光源を形成する。照明装置1000は、一般的に、マイクロレンズアレイ1100により形成される2次光源を重畳して被照明面LSをケーラー照明するように光学的特性が定められる。
100 照明装置
110 光源部
120 照明光学系
130 光束調整手段
140 光学部材
150A マイクロレンズアレイ
152 光学素子部
154 基板
160 保護部材
162 透過部
164 筐体部
200 レチクル
300 投影光学系
400 プレート
500 プレートステージ
Claims (18)
- 入射する光束に対して所定の光学的作用を有する光学素子部を一面に直接形成した基板と、
前記光束を透過する透過部を有し、前記基板を収納する保護部材とを有することを特徴とする光学部材。 - 前記光学素子部は、リソグラフィーによって形成されることを特徴とする請求項1記載の光学部材。
- 前記所定の光学的作用は、屈折作用であることを特徴とする請求項1記載の光学部材。
- 前記所定の光学的作用は、回折作用であることを特徴とする請求項1記載の光学部材。
- 前記所定の光学的作用は、反射作用であることを特徴とする請求項1記載の光学部材。
- 前記保護部材は、前記基板と共同して前記光学素子部が形成された一面を内包する空間を形成することを特徴とする請求項1記載の光学部材。
- 前記空間は、内部の所定のガスが充填された密閉空間であることを特徴とする請求項6記載の光学部材。
- 前記所定のガスは、ヘリウム、窒素及びそれらの混合気体の一であることを特徴とする請求項7記載の光学部材。
- 前記保護部材は、空気を透過し、塵芥遮蔽することを特徴とする請求項1記載の光学部材。
- 前記光学部材は、複数の前記基板を有し、
両端に位置する前記基板が前記複数の光学素子部を対向させて配置されていることを特徴とする請求項1記載の光学部材。 - 前記光学部材は、複数の前記基板を有し、当該複数の基板は、
前記光束に対して光軸と垂直な面内にある第1の方向にのみ屈折作用を有する第1の光学素子部を一面に直接形成した第1の基板と、
前記光束に対して前記光軸と垂直な面内にあり前記第1の方向と直交する第2の方向にのみ屈折作用を有する第2の光学素子部を一面に直接形成した第2の基板とを有することを特徴とする請求項1記載の光学部材。 - 光束を射出する光源と、
前記光束を用いて被照明面を照明する照明光学系とを有し、
前記照明光学系は、請求項1乃至11のうちいずれか一項記載の光学部材を含むことを特徴とする照明装置。 - 光源から射出した光束を用いて被照明面を照明すると共に、請求項1乃至11のうちいずれか一項記載の光学部材を含む照明光学系と、
前記照明光学系により照明されたレチクル及び/又はマスクに形成されたパターンを被処理体に投影する投影光学系とを有することを特徴とする露光装置。 - 前記光学部材は、前記光束から前記被照明面を照明する複数の2次光源を形成することを特徴とする請求項13記載の露光装置。
- 前記2次光源は、前記基板と前記保護部材との間に形成されることを特徴とする請求項14記載の露光装置。
- 前記2次光源は、前記保護部材と前記基板が共同して形成した前記空間に形成されることを特徴とする請求項14記載の露光装置。
- 前記光学部材は、前記光束から複数の2次光源を虚光源として形成することを特徴とする請求項13記載の露光装置。
- 請求項13乃至17のうちいずれか一項記載の露光装置を用いて被処理体を露光するステップと、
露光された前記被処理体に所定のプロセスを行うステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
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