JP2005055301A - 試験装置 - Google Patents

Abstract

【課題】高速信号伝送可能な試験装置を提供する。
【解決手段】テストヘッドと、電子デバイスを試験するためのデバイス試験パターン、及びテストヘッドを試験するためのテストヘッド試験パターンを生成するパターン生成部と、パターン生成部が生成したデバイス試験パターンを、光通信用信号に変換し、テストヘッドに供給する光通信手段と、パターン生成部が生成したテストヘッド試験パターンを、テストヘッドに供給する手段と、電子デバイスの出力信号を受け取り、電子デバイスの良否を判定する判定部とを備え、テストヘッドは、デバイス試験パターン、及びテストヘッド試験パターンを格納する記憶部と、光通信手段から受け取った、光通信用信号に変換されたデバイス試験パターンを、電気信号に変換する手段とを有することを特徴とする試験装置を提供する。
【選択図】図２

Description

本発明は、電子デバイスを試験する試験装置に関する。特に、高速に信号伝送が可能な試験装置に関する。

従来の試験装置は、試験装置本体が生成した、電子デバイスを試験するための試験パターンを、電子デバイスに接触するテストヘッドに伝送し、電子デバイスに試験パターンを供給していた。試験装置本体から、テストヘッドまでの試験パターンの伝送は、電気的な伝送によって行われていた。

関連する特許文献等は、現在認識していないためその記載を省略する。

近年の電子デバイスの高速化に伴い、電子デバイスを試験する試験装置においても、動作の高速化が望まれている。しかし、従来の試験装置は、試験装置本体と、テストヘッドまでの信号伝送を、電気的な伝送により行っており、信号伝送の高速化は、ほぼ限界に達している。また、従来の試験装置では、試験装置本体からテストヘッドまでの信号伝送において、正しく信号伝送が行われているかを試験する手段が無かったため、電子デバイスを試験する場合において、伝送されるべき試験パターンが精度よく伝送されているか否かが判定できなかった。このため、電子デバイスの試験を正しく行えない場合があった。

上記課題を解決するために、本発明の第１の形態においては、電子デバイスを試験する試験装置であって、電子デバイスに接触し、電子デバイスと電気信号の授受を行うテストヘッドと、電子デバイスを試験するためのデバイス試験パターン、及びデバイス試験パターンを受け取り、デバイス試験パターンを電子デバイスに供給するテストヘッドを試験するためのテストヘッド試験パターンを生成するパターン生成部と、パターン生成部が生成したデバイス試験パターンを、光通信用信号に変換する電気光変換手段を有し、光通信用信号に変換されたデバイス試験パターンを、テストヘッドに供給する光通信手段と、パターン生成部が生成したテストヘッド試験パターンを、テストヘッドに供給する診断データ伝送手段と、デバイス試験パターンに基づいて、電子デバイスが出力する出力信号を受け取り、電子デバイスの良否を判定する判定部とを備え、テストヘッドは、デバイス試験パターン、及びテストヘッド試験パターンを格納する記憶部と、光通信手段から受け取った、光通信用信号に変換されたデバイス試験パターンを、電気信号に変換する光電気変換手段とを有することを特徴とする試験装置を提供する。

記憶部が格納したテストヘッド試験パターン、及びデバイス試験パターンを、判定部に供給する、結果伝送手段を更に備え、判定部は、結果伝送手段が供給したテストヘッド試験パターン、及びデバイス試験パターンに基づいて、テストヘッドの良否を判定してよい。また、記憶部は、デバイス試験パターンを複数ビットのディジタルデータとして格納し、パターン生成部は、記憶部に格納されたデバイス試験パターンを変更するための変更信号を更に生成し、診断データ伝送手段は、変更信号を記憶部に供給し、記憶部は、変更信号に基づいて、デバイス試験パターンの任意のアドレスのディジタルデータを変更して格納してよい。

また、デバイス試験パターン及びテストヘッド試験パターンは、ディジタル信号であって、テストヘッドは、デバイス試験パターンをアナログ信号に変換し、電子デバイスに供給するＤ／Ａコンバータを有してよい。また、テストヘッドは、電子デバイスの複数の入出力ピンにそれぞれ、デバイス試験パターンを供給する、複数のＤ／Ａコンバータを有し、記憶部に格納されたデバイス試験パターンを、複数のＤ／Ａコンバータのいずれに供給するかを選択する選択部を更に備えてよい。

また、テストヘッドは、電子デバイスの複数の入出力ピンにそれぞれ、デバイス試験パターンを供給する、複数のＤ／Ａコンバータを有し、光電気変換手段が変換したデバイス試験パターンを、記憶部、又は複数のＤ／Ａコンバータのいずれに供給するかを選択する選択部を更に備えてよい。また、記憶部は、格納したデバイス試験パターンを、選択部を介して、複数のＤ／Ａコンバータのいずれかに供給してよい。

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。

本発明に係る試験装置によれば、試験装置本体部と、テストヘッドの間の信号伝送を高速に行うことができる。また、テストヘッドの試験を容易に行うことができ、電子デバイスの試験において、信頼性の高い試験を行うことができる。

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

図１は、本発明に係る試験装置１００の構成の一例を示す。試験装置１００は、パターン生成部１０と、テストヘッド３０と、光通信手段２０と、診断データ伝送手段７０と、判定部４０とを備える。テストヘッド３０は、電子デバイス５０に接触し、電子デバイス５０と電気信号の授受を行う。パターン生成部１０は、電子デバイス５０を試験するためのデバイス試験パターンと、テストヘッド３０を試験するためのテストヘッド試験パターンと、試験装置１００の動作を制御する基準クロックとを生成する。本例における試験装置１００は、電子デバイス５０を試験する機能と、テストヘッド３０を試験する機能とを備える。以下、試験装置１００が、電子デバイス５０を試験する動作について説明する。

光通信手段２０は、パターン生成部１０が生成したデバイス試験パターン、及び基準クロックを、光通信用信号に変換してテストヘッド３０に供給する。光通信手段２０は、一例として、パターン生成部１０が生成したデバイス試験パターン、及び基準クロックを、光通信用信号に変換する電気光変換手段２２を有する。光通信手段２０は、光通信用信号に変換されたデバイス試験パターン、及び基準クロックを、テストヘッド３０に供給する。

テストヘッド３０は、光通信手段２０から受け取った、光通信用信号に変換されたデバイス試験パターンを、電気信号に変換して、電子デバイス５０に供給する。また、テストヘッド３０は、供給したデバイス試験パターンに基づいて、電子デバイス５０が出力した出力信号を受け取り、光通信手段２０を介して、判定部４０に供給する。本例において、テストヘッド３０は、光通信用信号に変換した当該出力信号を、光通信手段２０に供給する。光通信手段２０は、光通信用信号に変換された当該出力信号を、電気信号に変換する光電気変換手段２４を有する。光電気変換手段２４は、電気信号に変換した出力信号を、判定部４０に供給する。判定部４０は、受け取った出力信号に基づいて、電子デバイス５０の良否を判定する。例えば、判定部４０は、電子デバイス５０に、デバイス試験パターンが入力された場合に、電子デバイス５０が出力するべき期待値信号と、当該出力信号とを比較し、電子デバイス５０の良否を判定してよい。また、パターン生成部１０は、生成したデバイス試験パターンに基づいて、当該期待値信号を生成し、判定部４０に供給してよい。

次に、試験装置１００が、テストヘッド３０を試験する動作について説明する。パターン生成部１０は、テストヘッド３０を試験するためのテストヘッド試験パターンを生成する。診断データ伝送手段７０は、パターン生成部１０が生成したテストヘッド試験パターンを、テストヘッド３０に供給する。診断データ伝送手段７０は、例えばパターン生成部１０とテストヘッド３０とを電気的に直接接続するケーブルである。また、パターン生成部１０は、生成したテストヘッド試験パターンに基づいて生成した信号を、デバイス試験パターンとして、光通信手段２０を介して、テストヘッド３０に供給する。例えば、パターン生成部１０は、テストヘッド試験パターンと同一の信号をデバイス試験パターンとして、テストヘッドに供給してよい。テストヘッド３０は、受け取ったテストヘッド試験パターン、及びデバイス試験パターンを、判定部４０に供給する。判定部４０は、テストヘッド３０から受け取ったテストヘッド試験パターン、及びデバイス試験パターンに基づいて、テストヘッド３０の良否を判定する。例えば、判定部４０は、光通信手段２０、及びテストヘッド３０における、デバイス試験パターンの伝送経路の不良を検出する。

図２は、本例における試験装置１００の詳細な構成の一例を示す。図２において、図１と同一の符号を付したものは、図１に関連して説明したものと同一又は同様の機能及び構成を有してよい。試験装置１００は、試験装置本体部６０と、テストヘッド３０と、光通信手段２０と、診断データ伝送手段７０とを備える。

試験装置本体部６０は、パターン生成部１０と、基準クロック生成部１２と、判定部４０とを有する。パターン生成部１０及び判定部４０は、図１に関連して説明したパターン生成部１０及び判定部４０と同一の機能を有してよい。基準クロック生成部１２は、試験装置１００の動作を制御する基準クロックを生成する。また、本例において、基準クロック生成部１２が当該基準クロックを生成したが、他の例においては、図１で説明したように、パターン生成部１０が基準クロックを生成してもよい。また、本例における試験装置１００は、図１で関連して説明した試験装置１００と同様に、電子デバイス５０を試験する機能と、テストヘッド３０を試験する機能とを備える。以下、試験装置１００が、電子デバイス５０を試験する場合について説明する。

パターン生成部１０は、電子デバイス５０を試験するための試験パターンを生成し、生成したデバイス試験パターンを光通信手段２０を介してテストヘッド３０に供給する。また、基準クロック生成部１２は、生成した基準クロックを光通信手段２０を介してテストヘッド３０に供給する。

光通信手段２０は、パターン生成部１０が生成したデバイス試験パターン、及び基準クロック生成部１２が生成した基準クロックを、光通信用信号に変換して、テストヘッド３０に供給する。光通信手段２０は、パターン生成部１０が生成したデバイス試験パターン、及び基準クロック生成部１２が生成した基準クロックを、光通信用信号に変換する電気光変換手段２２を有する。一例として、電気光変換手段２２は、受け取ったデバイス試験パターン、及び基準クロックを光通信用信号に変換する発光ダイオード又は半導体レーザと、光通信用信号を伝送する光ファイバケーブルを有する。また、電気光変換手段２２は、当該発光ダイオード又は半導体レーザ、及び当該光ファイバケーブルの特性に基づいて、受け取ったデバイス試験パターン及び基準クロックを変調する変調部を有することが好ましい。

テストヘッド３０は、光通信用信号に変換されたデバイス試験パターン及び基準クロックを受け取り、受け取ったデバイス試験パターンを電子デバイス５０に供給する。テストヘッド３０は、一例として、光電気変換手段３２と、記憶部３４と、Ｄ／Ａコンバータ３８と、Ａ／Ｄコンバータ４２と、電気光変換手段３６とを有する。光電気変換手段３２は、光通信用信号に変換されたデバイス試験パターン及び基準クロックを、電気信号に変換する。一例として、光電気変換手段３２は、光通信用信号を検出し電気信号に変換するフォトダイオードと、フォトダイオードが変換した当該電気信号を復調する復調部とを有する。光電気変換手段３２は、変換したデバイス試験パターンを、記憶部３４に供給する。記憶部３４は、例えばレジスタであって、受け取ったデバイス試験パターンを複数のビットのディジタルデータとして格納する。そして、記憶部３４は、格納したデバイス試験パターンを、Ｄ／Ａコンバータ３８に供給する。Ｄ／Ａコンバータ３８は、デバイス試験パターンをアナログ信号に変換し、電子デバイス５０に供給する。記億部３４及びＤ／Ａコンバータ３８は、光電気変換手段３２から基準クロックを受け取り、受け取った基準クロックに基づいて、それぞれの動作を行う。

また、Ａ／Ｄコンバータ４２は、電子デバイス５０がデバイス試験パターンに基づいて出力する出力信号を受け取り、受け取った出力信号を、ディジタル信号に変換する。Ａ／Ｄコンバータ４２は、光電気変換手段３２から基準クロックを受け取り、受け取った基準クロックに基づいて動作を行う。Ａ／Ｄコンバータ４２は、ディジタル信号に変換した出力信号を、電気光変換手段３６に供給する。電気光変換手段３６は、受け取ったディジタル信号を光通信用信号に変換して、光通信手段２０に供給する。電気光変換手段３６は、電気光変換手段２２と同一又は同様の機能及び構成を有してよい。

光通信手段２０は、光通信用信号に変換された出力信号を、電気光変換手段３６から受け取るための光ファイバケーブルと、受け取った出力信号を、電気信号に変換する光電気変換手段２４を有する。光電気変換手段２４は、光電気変換手段３２と同一又は同様の機能及び構成を有してよい。光電気変換手段２４は、電気信号に変換した出力信号を、判定部４０に供給する。

判定部４０は、受け取った出力信号に基づいて、電子デバイス５０の良否を判定する。図１に関連して説明したように、判定部４０は、パターン生成部が生成した基準値信号と、当該出力信号とに基づいて、電子デバイス５０の良否を判定してよい。本例において説明した試験装置１００によれば、試験装置本体部６０と、テストヘッド３０との間の信号伝送を光通信手段２０によって行うことにより、高速に信号伝送を行うことができる。また、光通信手段２０において、電気的な干渉の影響が極めて少ないため、精度のよい信号伝送を行うことができる。

次に、本例における試験装置１００が、テストヘッド３０を試験する場合について説明する。パターン生成部１０は、テストヘッド３０を試験するためのテストヘッド試験パターンを生成し、診断データ伝送手段７０を介して、記憶部３４に供給する。診断データ伝送手段７０は、図１に関連して説明した診断データ伝送手段７０と同一又は同様の機能及び構成を有してよい。また、図１に関連して説明した試験装置１００と同様に、パターン生成部１０は、テストヘッド試験パターンに基づいた信号を、デバイス試験パターンとして光通信手段２０を介して記憶部３４に供給する。

記憶部３４は、格納したテストヘッド試験パターン、及びデバイス試験パターンを、判定部４０に供給する。試験装置１００は、記憶部３４が格納したテストヘッド試験パターン、及びデバイス試験パターンを、判定部４０に供給するための、結果伝送手段を更に備えていることが好ましい。本例において、結果伝送手段は、電気光変換手段３６、光電気変換手段２４、及び電気光変換手段３６と光電気変換手段２４との間の信号の伝送を行う光ファイバケーブルを用いて、判定部４０に、テストヘッド試験パターン、及びデバイス試験パターンを供給する。

判定部４０は、図１に関連して説明した判定部４０と同様に、テストヘッド試験パターン、及びデバイス試験パターンに基づいて、テストヘッド３０の良否を判定する。判定部４０において、テストヘッド試験パターンとデバイス試験パターンとを比較することにより、光通信手段２０及び、光電気変換手段３２の良否を判定することができる。以上説明したように、本例における試験装置１００によれば、容易にテストヘッド３０の良否を判定することができ、電子デバイス５０の試験の信頼性を向上させることができる。

また、本例において試験装置１００は、一組のＤ／Ａコンバータ、及びＡ／Ｄコンバータを有していたが、他の例においては、試験装置１００は、複数組のＤ／Ａコンバータ、及びＡ／Ｄコンバータを備えてよい。この場合、試験装置１００は、複数組のＤ／Ａコンバータ、及びＡ／Ｄコンバータのそれぞれに対応した複数の光通信手段２０を備えてよい。以下、複数組のＤ／Ａコンバータ３８及びのＡ／Ｄコンバータ４２を備える試験装置１００について説明する。

図３は、テストヘッド３０の構成の一部を示す。図３（ａ）は、電子デバイス５０にデバイス試験パターンを供給するテストヘッド３０の構成の一部の例を示す。テストヘッド３０は、光電気変換手段３２と、記憶部３４と、選択部４４と、複数のＤ／Ａコンバータ３８を有する。光電気変換手段３２及び記憶部３４は、図２に関連して説明した光電気変換手段３２及び記憶部３４と同一又は同様の機能及び構成を有してよい。選択部４４は、記憶部３４に格納されたデバイス試験パターンを、Ｎ個のＤ／Ａコンバータ３８（ただしＮは任意の整数）のいずれに供給するかを選択する。選択部４４には、複数のＤ／Ａコンバータ３８のいずれかを選択するための信号が与えられることが好ましい。また、パターン生成部１０が、デバイス試験パターンに、複数のＤ／Ａコンバータ３８のいずれかを示すデータを付加して、テストヘッド３０に供給してもよい。複数のＤ／Ａコンバータ３８は、電子デバイス５０の複数の入出力ピンに、それぞれ受け取ったデバイス試験パターンを電子デバイス５０に供給する。

テストヘッド３０は、複数のＤ／Ａコンバータ３８のそれぞれに対応する複数のＡ／Ｄコンバータ４２（図２参照）を有する。複数のＡ／Ｄコンバータは、電子デバイスが出力する出力信号を受け取り、受け取った出力信号をディジタル信号に変換して電気光変換手段３６（図２参照）に供給する。複数のＡ／Ｄコンバータ４２及び電気光変換手段３６は、図２に関連して説明したＡ／Ｄコンバータ４２及び電気光変換手段３６と同様の機能及び構成を有してよい。

図３（ｂ）は、電子デバイス５０にデバイス試験パターンを供給するテストヘッド３０の構成の一部の他の例を示す。テストヘッド３０は、光電気変換手段３２、選択部４４、記憶部３４、複数のＤ／Ａコンバータ３８、複数のＡ／Ｄコンバータ４２（図２参照）、及び電気光変換手段３６（図２参照）を有する。光電気変換手段３２、複数のＤ／Ａコンバータ３８、複数のＡ／Ｄコンバータ４２、及び電気光変換手段３６は、図３（ａ）に関連して説明した光電気変換手段３２、複数のＤ／Ａコンバータ３８、複数のＡ／Ｄコンバータ４２、及び電気光変換手段３６と同一又は同様の機能及び構成を有する。

選択部４４は、光電気変換手段３２が変換したデバイス試験パターンを受け取り、デバイス試験パターンを、記憶部３４、又は複数のＤ／Ａコンバータ３８のいずれに供給するかを選択する。また、選択部４４は、記憶部３４に信号を供給するか、記憶部３４に格納された信号を読み出すかを選択する。

また、図１及び図２に関連して説明したパターン生成部１０は、記憶部３４に格納されたデバイス試験パターンを変更するための変更信号を更に生成し、診断データ伝送手段７０は、当該変更信号を記憶部３４に供給し、記憶部３４は、当該変更信号に基づいて、デバイス試験パターンの任意のアドレスのディジタルデータを変更して格納してよい。記憶部３４に格納されたデバイス試験パターンの一部を変更することにより、電子デバイス５０にわずかづつ波形の変化するデバイス試験パターンを供給したい場合において、パターン生成部１０が光通信手段２０を介して記憶部３４に新たにデバイス試験パターンを供給すること無く、電子デバイス５０にわずかづつ波形の変化するデバイス試験パターンを供給することができる。つまり、記憶部３４に格納されているデバイス試験パターンを変更し、選択部４４が記憶部３４に格納されているデバイス試験パターンを読み出し、任意のＤ／Ａコンバータ３８に供給することにより、電子デバイス５０にわずかづつ波形の変化するデバイス試験パターンを供給することができる。

本例において試験装置１００は、複数組のＤ／Ａコンバータ３８及びＡ／Ｄコンバータ４２と、一組の光電気変換手段３２及び電気光変換手段３６を備えていたが、他の例においては、試験装置１００は、複数組のＤ／Ａコンバータ、及びＡ／Ｄコンバータにそれぞれ対応する複数組の光電気変換手段３２及び電気光変換手段３６を備えてよい。この場合、試験装置１００は、複数組の光電気変換手段３２及び電気光変換手段３６にそれぞれ対応した複数の光ファイバケーブルを備えることが好ましい。一般に、電気光変換、光ファイバケーブル、及び光電気変換の系列による信号伝送速度は、１系列あたり２Ｇｂｐｓ（ギガビット毎秒）程度の高速伝送が可能であり、多系列にした場合の位相のずれも数十ｐｓ（ピコ秒）と非常に小さい。そのため、Ｄ／Ａコンバータ３８及びＡ／Ｄコンバータ４２におけるサンプリングレートの高速化を行った場合であっても、試験装置本体部６０とテストヘッド３０との間で十分な信号伝送速度を得ることができる。そのため、試験装置本体部６０とテストヘッド３０との間において、パラレルで伝送する信号数の増大を抑えることができ、信号伝送ケーブルの本数の増大を抑えることができる。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

本発明に係る試験装置１００の構成の一例を示す図である。 本例における試験装置１００の詳細な構成の一例を示す図である。 テストヘッド３０の構成の一部を示す図である。

符号の説明

１０・・・パターン生成部、１２・・・基準クロック生成部、２０・・・光通信手段、２２・・・電気光変換手段、２４・・・光電気変換手段、３０・・・テストヘッド、３２・・・光電気変換手段、３４・・・記憶部、３６・・・電気光変換手段、３８・・・Ｄ／Ａコンバータ、４０・・・判定部、４２・・・Ａ／Ｄコンバータ、４４・・・選択部、５０・・・電子デバイス、６０・・・試験装置本体部、７０・・・診断データ伝送手段、１００・・・試験装置

Claims (7)

1. 電子デバイスを試験する試験装置であって、
   前記電子デバイスに接触し、前記電子デバイスと電気信号の授受を行うテストヘッドと、
   前記電子デバイスを試験するためのデバイス試験パターン、及び前記デバイス試験パターンを受け取り、前記デバイス試験パターンを前記電子デバイスに供給する前記テストヘッドを試験するためのテストヘッド試験パターンを生成するパターン生成部と、
   前記パターン生成部が生成した前記デバイス試験パターンを、光通信用信号に変換する電気光変換手段を有し、前記光通信用信号に変換された前記デバイス試験パターンを、前記テストヘッドに供給する光通信手段と、
   前記パターン生成部が生成した前記テストヘッド試験パターンを、前記テストヘッドに供給する診断データ伝送手段と、
   前記デバイス試験パターンに基づいて、前記電子デバイスが出力する出力信号を受け取り、前記電子デバイスの良否を判定する判定部と
   を備え、
   前記テストヘッドは、
   前記デバイス試験パターン、及び前記テストヘッド試験パターンを格納する記憶部と、
   前記光通信手段から受け取った、前記光通信用信号に変換された前記デバイス試験パターンを、電気信号に変換する光電気変換手段と
   を有することを特徴とする試験装置。
2. 前記記憶部が格納した前記テストヘッド試験パターン、及び前記デバイス試験パターンを、前記判定部に供給する、結果伝送手段を更に備え、
   前記判定部は、前記結果伝送手段が供給した前記テストヘッド試験パターン、及び前記デバイス試験パターンに基づいて、前記テストヘッドの良否を判定することを特徴とする請求項１に記載の試験装置。
3. 前記記憶部は、前記デバイス試験パターンを複数ビットのディジタルデータとして格納し、
   前記パターン生成部は、前記記憶部に格納された前記デバイス試験パターンを変更するための変更信号を更に生成し、
   前記診断データ伝送手段は、前記変更信号を前記記憶部に供給し、
   前記記憶部は、前記変更信号に基づいて、前記デバイス試験パターンの任意のアドレスのディジタルデータを変更して格納することを特徴とする請求項１又は２に記載の試験装置。
4. 前記デバイス試験パターン及び前記テストヘッド試験パターンは、ディジタル信号であって、
   前記テストヘッドは、前記デバイス試験パターンをアナログ信号に変換し、前記電子デバイスに供給するＤ／Ａコンバータを有することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の試験装置。
5. 前記テストヘッドは、前記電子デバイスの複数の入出力ピンにそれぞれ、前記デバイス試験パターンを供給する、複数の前記Ｄ／Ａコンバータを有し、
   前記記憶部に格納された前記デバイス試験パターンを、前記複数のＤ／Ａコンバータのいずれに供給するかを選択する選択部を更に備えることを特徴とする請求項４に記載の試験装置。
6. 前記テストヘッドは、前記電子デバイスの複数の入出力ピンにそれぞれ、前記デバイス試験パターンを供給する、複数の前記Ｄ／Ａコンバータを有し、
   前記光電気変換手段が変換した前記デバイス試験パターンを、前記記憶部、又は前記複数のＤ／Ａコンバータのいずれに供給するかを選択する選択部を更に備えることを特徴とする請求項４に記載の試験装置。
7. 前記記憶部は、格納した前記デバイス試験パターンを、前記選択部を介して、前記複数のＤ／Ａコンバータのいずれかに供給することを特徴とする請求項６に記載の試験装置。

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