JP2005050841A - 基板処理装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板面内での温度ばらつきを抑制し、基板面内の温度均一性、ひいては基板面内の膜厚均一性を向上させることのできる基板処理装置および半導体装置の製造方法の提供。
【解決手段】基板を処理する処理室と、処理室内でウエハ200を支持するサセプタ217と、基板を加熱するヒータとを有する基板処理装置において、サセプタのウエハ200載置面に、複数の凸部1,1’,1’’を設け、中心部に設けた凸部2の表面の面積が、他の凸部の表面の面積よりも大きい前記装置と、この装置を用いた半導体装置の製造方法。
【選択図】 図5
【解決手段】基板を処理する処理室と、処理室内でウエハ200を支持するサセプタ217と、基板を加熱するヒータとを有する基板処理装置において、サセプタのウエハ200載置面に、複数の凸部1,1’,1’’を設け、中心部に設けた凸部2の表面の面積が、他の凸部の表面の面積よりも大きい前記装置と、この装置を用いた半導体装置の製造方法。
【選択図】 図5
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板処理装置および半導体装置の製造方法に関するものであり、詳しくは、基板面内での温度ばらつきを抑制し、基板面内の温度均一性、ひいては基板面内の膜厚均一性を向上させることのできる基板処理装置および半導体装置の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
IC、LSI等の半導体装置を製造する工程には、熱CVD法により基板上へアモルファスシリコン膜やポリシリコン膜などのシリコン膜を形成する工程がある。コールドウオールタイプの反応容器を用いて、この工程を行う場合、基板はサセプタ上で加熱する。そのため、膜厚均一性向上のためにはサセプタ面内の温度均一性の向上と、サセプタ表面の平坦度の向上が必要である。
【0003】
しかしながら、サセプタ面内の温度均一性を向上させることは困難であり、それが原因で基板面内の温度均一性が悪くなるという問題があった。その結果として基板面内の膜厚均一性も悪くなるという問題点があった。またサセプタの平坦度向上も困難であり、サセプタ毎で平坦度が異なるため、サセプタの出来不出来によって、基板面内の膜厚均一性が決まるという問題点もあった。
【0004】
【特許文献1】
特開2003−109907
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
したがって本発明の目的は、基板面内での温度ばらつきを抑制し、基板面内の温度均一性、ひいては基板面内の膜厚均一性を向上させることのできる基板処理装置および半導体装置の製造方法の提供にある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
前記課題は、下記の構成によって解決される。
【0007】
(1) 基板を処理する処理室と、
処理室内で基板を支持する支持体と、
基板を加熱するヒータとを有する基板処理装置において、
前記支持体の基板載置面には複数の凸部が設けられるとともに、中心部に設けられた凸部の表面の面積が、他の凸部の表面の面積よりも大きいことを特徴とする基板処理装置。
【0008】
この構成によれば、基板面内での温度ばらつきを抑制し、基板面内の温度均一性、ひいては基板面内の膜厚均一性を向上させることのできる基板処理装置が提供される。
【0009】
(2) 基板を処理する処理室と、
処理室内で基板を支持する支持体と、
基板を加熱するヒータとを有する基板処理装置において、
前記支持体の基板載置面には複数の凸部が格子状に設けられるとともに、最外周の凸部は基板と同心円状に配置されることを特徴とする基板処理装置。
【0010】
この構成によれば、基板面内での温度ばらつきを抑制し、基板面内の温度均一性、ひいては基板面内の膜厚均一性を向上させることのできる基板処理装置が提供される。
【0011】
(3) 基板を処理室内に搬入する工程と、
基板載置面に複数の凸部が設けられるとともに中心部に設けられた凸部の表面の面積が他の凸部の表面の面積よりも大きい支持体により基板を支持する工程と、前記処理室内で前記支持体により基板を支持した状態で、基板を処理する工程と、処理後の基板を処理室から搬出する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【0012】
この構成によれば、基板面内での温度ばらつきを抑制し、基板面内の温度均一性、ひいては基板面内の膜厚均一性を向上させることのできる半導体装置の製造方法が提供される。
【0013】
また、次に示す態様も本発明に好ましいものである。
【0014】
(4) 前記(1)または(2)に記載の基板処理装置において、ヒータは支持体下方に設けられることを特徴とする基板処理装置。
【0015】
(5) 前記(1)または(2)に記載の基板処理装置において、中心部の凸部の直径を3mm以上30mm以下、中心部以外の凸部の直径を0.4mm以上1mm以下とすることを特徴とする基板処理装置。
【0016】
(6) 前記(1)または(2)に記載の基板処理装置において、中心部および中心部以外の凸部の高さを0.05mm以上0.1mm以下とすることを特徴とする基板処理装置。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態を図面に即して説明する。
【0018】
図1および図2に於いて、本発明の基板処理装置の概要を説明する。
【0019】
なお、本発明が適用される基板処理装置においてはウエハなどの基板を搬送するキャリヤとしては、FOUP(front opening unified pod 。以下、ポッドという。)が使用されている。また、以下の説明において、前後左右は図1を基準とする。すなわち、図1が示されている紙面に対して、前は紙面の下、後ろは紙面の上、左右は紙面の左右とする。
【0020】
図1および図2に示されているように、基板処理装置は真空状態などの大気圧未満の圧力(負圧)に耐えるロードロックチャンバ構造に構成された第一の搬送室103を備えており、第一の搬送室103の筐体101は平面視が六角形で上下両端が閉塞した箱形状に形成されている。第一の搬送室103には負圧下でウエハ200を移載する第一のウエハ移載機112が設置されている。前記第一のウエハ移載機112は、エレベータ115によって、第一の搬送室103の気密性を維持しつつ昇降できるように構成されている。
【0021】
筐体101の六枚の側壁のうち前側に位置する二枚の側壁には、搬入用の予備室122と搬出用の予備室123とがそれぞれゲートバルブ244,127を介して連結されており、それぞれ負圧に耐え得るロードロックチャンバ構造に構成されている。さらに、予備室122には搬入室用の基板置き台140が設置され、予備室123には搬出室用の基板置き台141が設置されている。
【0022】
予備室122および予備室123の前側には、略大気圧下で用いられる第二の搬送室121がゲートバルブ128、129を介して連結されている。第二の搬送室121にはウエハ200を移載する第二のウエハ移載機124が設置されている。第二のウエハ移載機124は第二の搬送室121に設置されたエレベータ126によって昇降されるように構成されているとともに、リニアアクチュエータ132によって左右方向に往復移動されるように構成されている。
【0023】
図1に示されているように、第二の搬送室121の左側にはオリフラ合わせ装置106が設置されている。また、図2に示されているように、第二の搬送室121の上部にはクリーンエアを供給するクリーンユニット118が設置されている。
【0024】
図1および図2に示されているように、第二の搬送室121の筐体125には、ウエハ200を第二の搬送室121に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口134と、前記ウエハ搬入搬出口を閉塞する蓋142と、ポッドオープナ108がそれぞれ設置されている。ポッドオープナ108は、IOステージ105に載置されたポッド100のキャップ及びウエハ搬入搬出口134を閉塞する蓋142を開閉するキャップ開閉機構136とを備えており、IOステージ105に載置されたポッド100のキャップ及びウエハ搬入搬出口134を閉塞する蓋142をキャップ開閉機構136によって開閉することにより、ポッド100のウエハ出し入れを可能にする。また、ポッド100は図示しない工程内搬送装置(RGV)によって、前記IOステージ105に、供給および排出されるようになっている。
【0025】
図1に示されているように、筐体101の六枚の側壁のうち背面側に位置する二枚の側壁には、ウエハに所望の処理を行う第一の処理炉202と、第二の処理炉137とがそれぞれ隣接して連結されている。第一の処理炉202および第二の処理炉137はいずれもコールドウオール式の処理炉によってそれぞれ構成されている。また、筐体101における六枚の側壁のうちの残りの互いに対向する二枚の側壁には、第一のクーリングユニット138と、第二のクーリングユニット139とがそれぞれ連結されており、第一のクーリングユニット138および第二のクーリングユニット139はいずれも処理済みのウエハ200を冷却するように構成されている。
【0026】
以下、前記構成をもつ基板処理装置を使用した処理工程を説明する。
【0027】
未処理のウエハ200は25枚がポッド100に収納された状態で、処理工程を実施する基板処理装置へ工程内搬送装置によって搬送されて来る。図1および図2に示されているように、搬送されて来たポッド100はIOステージ105の上に工程内搬送装置から受け渡されて載置される。ポッド100のキャップ及びウエハ搬入搬出口134を開閉する蓋142がキャップ開閉機構136によって取り外され、ポッド100のウエハ出し入れ口が開放される。
【0028】
ポッド100がポッドオープナ108により開放されると、第二の搬送室121に設置された第二のウエハ移載機124はポッド100からウエハ200をピックアップし、予備室122に搬入し、ウエハ200を基板置き台140に移載する。この移載作業中には、第一の搬送室103側のゲートバルブ244は閉じられており、第一の搬送室103の負圧は維持されている。ウエハ200の基板置き台140への移載が完了すると、ゲートバルブ128が閉じられ、予備室122が排気装置(図示せず)によって負圧に排気される。
【0029】
予備室122が予め設定された圧力値に減圧されると、ゲートバルブ244、130が開かれ、予備室122、第一の搬送室103、第一の処理炉202が連通される。続いて、第一の搬送室103の第一のウエハ移載機112は基板置き台140からウエハ200をピックアップして第一の処理炉202に搬入する。そして、第一の処理炉202内に処理ガスが供給され、所望の処理がウエハ200に行われる。
【0030】
第一の処理炉202で前記処理が完了すると、処理済みのウエハ200は第一の搬送室103の第一のウエハ移載機112によって第一の搬送室103に搬出される。
【0031】
そして、第一のウエハ移載機112は第一の処理炉202から搬出したウエハ200を第一のクーリングユニット138へ搬入し、処理済みのウエハを冷却する。
【0032】
第一のクーリングユニット138にウエハ200を移載すると、第一のウエハ移載機112は予備室122の基板置き台140に予め準備されたウエハ200を第一の処理炉202に前述した作動によって移載し、第一の処理炉202内に処理ガスが供給され、所望の処理がウエハ200に行われる。
【0033】
第一のクーリングユニット138において予め設定された冷却時間が経過すると、冷却済みのウエハ200は第一のウエハ移載機112によって第一のクーリングユニット138から第一の搬送室103に搬出される。
【0034】
冷却済みのウエハ200が第一のクーリングユニット138から第一の搬送室103に搬出されたのち、ゲートバルブ127が開かれる。そして、第1のウエハ移載機112は第一のクーリングユニット138から搬出したウエハ200を予備室123へ搬送し、基板置き台141に移載した後、予備室123はゲートバルブ127によって閉じられる。
【0035】
予備室123がゲートバルブ127によって閉じられると、前記排出用予備室123内が不活性ガスにより略大気圧に戻される。前記予備室123内が略大気圧に戻されると、ゲートバルブ129が開かれ、第二の搬送室121の予備室123に対応したウエハ搬入搬出口134を閉塞する蓋142と、IOステージ105に載置された空のポッド100のキャップがポッドオープナ108によって開かれる。続いて、第二の搬送室121の第二のウエハ移載機124は基板置き台141からウエハ200をピックアップして第二の搬送室121に搬出し、第二の搬送室121のウエハ搬入搬出口134を通してポッド100に収納して行く。処理済みの25枚のウエハ200のポッド100への収納が完了すると、ポッド100のキャップとウエハ搬入搬出口134を閉塞する蓋142がポッドオープナ108によって閉じられる。閉じられたポッド100はIOステージ105の上から次の工程へ工程内搬送装置によって搬送されて行く。
【0036】
以上の作動が繰り返されることにより、ウエハが、順次、処理されて行く。以上の作動は第一の処理炉202および第一のクーリングユニット138が使用される場合を例にして説明したが、第二の処理炉137および第二のクーリングユニット139が使用される場合についても同様の作動が実施される。
【0037】
なお、上述の基板処理装置では、予備室122を搬入用、予備室123を搬出用としたが、予備室123を搬入用、予備室122を搬出用としてもよい。また、第一の処理炉202と第二の処理炉137は、それぞれ同じ処理を行ってもよいし、別の処理を行ってもよい。第一の処理炉202と第二の処理炉137で別の処理を行う場合、例えば第一の処理炉202でウエハ200にある処理を行った後、続けて第二の処理炉137で別の処理を行わせてもよい。また、第一の処理炉202でウエハ200にある処理を行った後、第二の処理炉137で別の処理を行わせる場合、第一のクーリングユニット138(又は第二のクーリングユニット139)を経由するようにしてもよい。
【0038】
次に第一の処理炉202について説明する。
【0039】
図3に示されているように、処理炉202は、枚葉式CVD炉(枚葉式コールドウオール形CVD炉)として構成されており、被処理基板としてのウエハ200を処理する処理室201を形成したチャンバ223を備えている。チャンバ223は上側キャップ224と円筒カップ225と下側キャップ226とが組み合わされて、上下の端面がいずれも閉塞した円筒形状に形成されている。
【0040】
チャンバ223の円筒カップ225の円筒壁の中間部にはゲートバルブ130によって開閉されるウエハ搬入搬出口250が水平方向に横長に開設されており、ウエハ搬入搬出口250は被処理基板であるウエハ200を処理室201に図1または図2に図示したウエハ移載機112によって搬入搬出し得るように形成されている。すなわち、ウエハ200はウエハ移載機112によって下から機械的に支持された状態で、ウエハ搬入搬出口250を搬送されて処理室201に対して搬入搬出されるようになっている。
【0041】
円筒カップ225のウエハ搬入搬出口250と対向する壁面の上部には、真空ポンプ等からなる排気装置(図示せず)に接続された排気口235が処理室201に連通するように開設されており、処理室201内は排気装置によって排気されるようになっている。
【0042】
また、円筒カップ225の上部には排気口235に連通する排気バッファ空間249が円環状に形成され、カバープレート248とともにウエハ200の全面に対し、均一に排気が行われるように作用している。
【0043】
なお、カバープレート248は、ウエハ200のエッジ部を覆うように一部のサセプタ(基板保持手段)217上方に延在しており、ウエハ200のエッジ部に成膜されるCVD膜を制御するために用いられる。
【0044】
チャンバ223の上側キャップ224には処理ガスを供給するシャワーヘッド236が一体的に組み込まれている。すなわち、上側キャップ224の天井壁にはガス供給管232が挿入されており、各ガス供給管232には例えば原料ガスやパージガス等の処理ガスA、Bを導入するため開閉バルブ243、流量制御装置(マスフローコントローラ=MFC)241から成るガス供給装置が接続されている。上側キャップ224の下面には円板形状に形成されたシャワープレート(以下、プレートという。)240がガス供給管232から間隔を置いて水平に固定されており、プレート240には複数個のガス吹出口(以下、吹出口という。)247が全面にわたって均一に配置されて上下の空間を流通させるように開設されている。
【0045】
上側キャップ224の内側面とプレート240の上面とが画成する内側空間によってバッファ室237が形成されており、バッファ室237はガス供給管232に導入された処理ガス230を全体的に均等に拡散させて各吹出口247から均等にシャワー状に吹き出させるようになっている。
【0046】
チャンバ223の下側キャップ226の中心には挿通孔278が円形に開設されており、挿通孔278の中心線上には円筒形状に形成された支持軸276が処理室201に下方から挿通されている。支持軸276はエアシリンダ装置等が使用された昇降機構(昇降手段)268によって昇降されるようになっている。
【0047】
支持軸276の上端には加熱ユニット251が同心に配されて水平に固定されており、加熱ユニット251は支持軸276によって昇降されるようになっている。すなわち、加熱ユニット251は円板形状に形成された支持板258を備えており、支持板258は支持軸276の上端開口に同心円に固定されている。支持板258の上面には支柱を兼ねる複数本の電極253が垂直に立脚されており、これら電極253の上端間には円板形状に形成され複数領域に分割制御されるヒータ(加熱手段)207が架橋されて固定されている。これら電極253に対する電気配線257は支持軸276の中空部内を挿通されている。
【0048】
また、ヒータ207の下方には反射板252が支持板258に固定されて設けられ、ヒータ207から発せられた熱をサセプタ217側に反射させて、効率の良い加熱に作用している。
【0049】
また、温度検出手段である放射温度計264が、支持軸276の下端から導入され、放射温度計264の先端がサセプタ217の裏面に対し所定の隙間を設けて設置されている。放射温度計264は、石英から成るロッドと光ファイバとの組み合わせから構成され、サセプタ217の裏面(例えばヒータ207の分割領域に対応する裏面)から発せられる放射光を検出し、サセプタ217の裏面温度を算出するのに用いられ(予め取得したウエハ200とサセプタ217の温度の関係によりウエハ200の温度を算出することも可能)、この算出結果に基づきヒータ217の加熱具合を制御している。
【0050】
下側キャップ226の挿通孔278の支持軸276の外側には、支持軸276よりも大径の円筒形状に形成された回転軸277が同心円に配置されて処理室201に下方から挿通されており、回転軸277はエアシリンダ装置等が使用された昇降機構268によって支持軸276と共に昇降されるようになっている。回転軸277の上端には回転ドラム227が同心に配されて水平に固定されており、回転ドラム227は回転軸277によって回転されるようになっている。すなわち、回転ドラム227はドーナツ形の平板に形成された回転板229と、円筒形状に形成された回転筒228を備えており、回転板229の内周縁辺部が円筒形状の回転軸277の上端開口に固定されて、回転板229の上面の外周縁辺部に回転筒228が同心円に固定されている。回転ドラム227の回転筒228の上端には炭化シリコンや窒化アルミニウム等が使用されて円板形状に形成されたサセプタ217が回転筒228の上端開口を閉塞するように被せられている。
【0051】
図3に示されているように、回転ドラム227にはウエハ昇降装置275が設置されている。ウエハ昇降装置275は円形リング形状に形成された2つの昇降リングのそれぞれに突上ピン(基板突上手段)266、274を突設したものから構成されており、下側の昇降リング(以下、回転側リングという。)は回転ドラム227の回転板229の上に支持軸276と同心円に配置されている。回転側リングの下面には複数本(本実施の形態においては三本とする。)の突上ピン(以下、回転側ピンという。)274が周方向に等間隔に配置されて垂直方向下向きに突設されており、各回転側ピン274は回転板229に回転筒228と同心円の線上に配置されて垂直方向に開設された各ガイド孔255にそれぞれ摺動自在に嵌入されている。各回転側ピン274の長さは回転側リングを水平に突き上げ得るように互いに等しく設定されているとともに、ウエハのサセプタ上からの突き上げ量に対応するように設定されている。各回転側ピン274の下端は処理室201の底面すなわち下側キャップ226の上面に離着座自在に対向されている。
【0052】
加熱ユニット251の支持板258には円形リング形状に形成されたもう一つの昇降リング(以下、ヒータ側リングという。)が支持軸276と同心円に配置されている。ヒータ側リングの下面には複数本(本実施の形態においては三本とする。)の突上ピン(以下、ヒータ側ピンという。)266が周方向に等間隔に配置されて垂直方向下向きに突設されており、各ヒータ側ピン266は支持板258に支持軸276と同心円の線上に配置されて垂直方向に開設された各ガイド孔254にそれぞれ摺動自在に嵌入されている。これらのヒータ側ピン266の長さはヒータ側リングを水平に突き上げ得るように互いに等しく設定されているとともに、その下端が回転側リングの上面に適度のエアギャップを置いて対向されている。つまり、これらのヒータ側ピン266は回転ドラム227の回転時に回転側リングに干渉しないようになっている。
【0053】
また、ヒータ側リングの上面には複数本(本実施の形態においては三本とする。)の突上ピン(以下、突上部という。)266が、周方向に等間隔に配置されて垂直方向上向きに突設されており、突上部266の上端はヒータ207およびサセプタ217の挿通孔256に対向するようになっている。これらの突上部266の長さはヒータ207およびサセプタ217の挿通孔256を下から挿通してサセプタ217に載置されたウエハ200をサセプタ217から水平に浮かせるように互いに等しく設定されている。また、これらの突上部266の長さはヒータ側リングが支持板258に着座した状態において、その上端がヒータ207の上面から突出しないように設定されている。つまり、これらの突上部266は回転ドラム227の回転時にサセプタ217に干渉しないように、かつ、ヒータ207の加熱を妨げないようになっている。
【0054】
図3に示されているように、チャンバ223は複数本の支柱280によって水平に支持されている。これらの支柱280には各昇降ブロック281がそれぞれ昇降自在に嵌合されており、これら昇降ブロック281間にはエアシリンダ装置等が使用された昇降駆動装置(図示せず)によって昇降される昇降台282が架設されている。昇降台282の上にはサセプタ回転装置(回転手段)267が設置されており、サセプタ回転装置とチャンバ223との間にはベローズ279が、回転軸277の外側を気密封止するように介設されている。
【0055】
なお、本処理炉202は、ガス制御部、駆動制御部、加熱制御部、温度検出部、等から構成される主制御部を有する。ガス制御部はMFC241、開閉バルブ243に接続され、ガス流量、供給を制御する。駆動制御部はサセプタ回転機構267、昇降ブロック281に接続され、これらの駆動を制御する。加熱制御部は配線257を介しヒータ207に接続され、ヒータ207の加熱具合を制御する。温度検出部は放射温度計264に接続され、サセプタ217の温度を検出し、加熱制御部と連携してヒータ207の加熱制御に用いられる。
【0056】
この処理炉202は、400℃以上850℃以下の高温、10000Paまでの高圧で単一基板毎の処理を可能とする。
【0057】
次に、以上の構成に係る処理炉の作用を説明することにより、本発明の一実施の形態である半導体装置の製造方法における成膜工程について説明する。
【0058】
ウエハ200の搬出搬入に際しては、回転ドラム227および加熱ユニット251が回転軸277および支持軸276によって下限位置に下降される。すると、ウエハ昇降装置275の回転側ピン274の下端が処理室201の底面すなわち下側キャップ226の上面に突合するため、回転側リングが回転ドラム227および加熱ユニット251に対して相対的に上昇する。上昇した回転側リングはヒータ側ピン266を突き上げることにより、ヒータ側リングを持ち上げる。ヒータ側リングが持ち上げられると、ヒータ側リングに立脚された三本の突上部266がヒータ207およびサセプタ217の挿通孔256を挿通して、サセプタ217の上面に載置されたウエハ200を下方から支持してサセプタ217から浮き上がらせる。
【0059】
ウエハ昇降装置275がウエハ200をサセプタ217の上面から浮き上がらせた状態になると、ウエハ200の下方空間すなわちウエハ200の下面とサセプタ217の上面との間に挿入スペースが形成された状態になるため、図示しないウエハ移載機に設けられた基板保持プレートであるツィーザがウエハ搬入搬出口250からウエハ200の挿入スペースに挿入される。ウエハ200の下方に挿入されたツィーザは上昇することによりウエハ200を受け取る。ウエハ200を受け取ったツィーザはウエハ搬入搬出口250を後退してウエハ200を処理室201から搬出する。そして、ツィーザによってウエハ200を搬出したウエハ移載機は、処理室201の外部の空ウエハカセット等の所定の収納場所にウエハ200を移載する。
【0060】
次いで、ウエハ移載機は実ウエハカセット等の所定の収納場所から次回に成膜処理するウエハ200をツィーザによって受け取って、ウエハ搬入搬出口250から処理室201に搬入する。ツィーザはウエハ200をサセプタ217の上方においてウエハ200の中心がサセプタ217の中心と一致する位置に搬送する。ウエハ200を所定の位置に搬送すると、ツィーザは若干下降することによりウエハ200をウエハ昇降装置275の突上ピン266上に移載する。ウエハ200をウエハ昇降装置275に受け渡したツィーザは、ウエハ搬入搬出口250から処理室201の外へ退出する。ツィーザが処理室201から退出すると、ウエハ搬入搬出口250はゲートバルブ(仕切弁)244によって閉じられる。
【0061】
ゲートバルブ244が閉じられると、処理室201に対して回転ドラム227および加熱ユニット251が回転軸277および支持軸276を介して昇降台282によって上昇される。回転ドラム227および加熱ユニット251の上昇により、突上ピン266、274が回転ドラム227および加熱ユニット251に対し相対的に下降し、図3に示されているように、ウエハ200はサセプタ217の上に完全に移載された状態になる。回転軸277および支持軸276は突上部266の上端がヒータ207の下面に近接する高さになる位置にて停止される。
【0062】
一方、処理室201が排気口235に接続された排気装置(図示せず)によって排気される。この際、処理室201の真空雰囲気と外部の大気圧雰囲気とはベローズ279によって隔絶されている。
【0063】
続いて、回転ドラム227が回転軸277を介してサセプタ回転機構267によって回転される。
【0064】
回転ドラム227の回転中には、回転側ピン274は処理室201の底面から離座し、ヒータ側ピン266は回転側リングから離座しているため、回転ドラム227の回転がウエハ昇降装置275に妨げられることはなく、しかも、加熱ユニット251は停止状態を維持することができる。すなわち、ウエハ昇降装置275においては、回転側リングと回転側ピン274が回転ドラム227と共に回転し、ヒータ側リングとヒータ側ピン266が加熱ユニット251と共に停止した状態になっている。
【0065】
ウエハ200の温度が処理温度まで上昇し、排気口235の排気量および回転ドラム227の回転作動が安定した時点で、図3に実線矢印で示されているように、処理ガス230が供給管232に導入される。ガス供給管232に導入された処理ガス230は、ガス分散空間として機能するバッファ室237に流入するとともに、径方向外向きに放射状に拡散して、シャワープレート240の各ガス吹出口247からそれぞれが略均等な流れになって、ウエハ200に向かってシャワー状に吹き出す。吹出口247群からシャワー状に吹き出した処理ガス230はカバープレート248の上方空間を通って、排気バッファ空間249を経由して排気口235に吸い込まれて排気されて行く。
【0066】
この際、回転ドラム227に支持されたサセプタ217の上のウエハ200は回転しているため、吹出口247群からシャワー状に吹き出した処理ガス230はウエハ200の全面にわたって均等に接触する状態になる。処理ガス230がウエハ200の全面にわたって均等に接触するため、ウエハ200に処理ガス230によって形成されるCVD膜の膜厚分布や膜質分布はウエハ200の全面にわたって均一になる。
【0067】
また、加熱ユニット251は支持軸276に支持されることにより回転しない状態になっているため、回転ドラム227によって回転されながら加熱ユニット251によって加熱されるウエハ200の温度分布は全面にわたって均一に制御される。このようにウエハ200の温度分布が全面にわたって均一に制御されることにより、ウエハ200に熱化学反応によって形成されるCVD膜の膜厚分布や膜質分布はウエハ200の全面にわたって均一に制御される。さらに、後述するようなサセプタ形状を実施することによって、膜厚均一性は向上する。
【0068】
予め選定された所定の処理時間が経過すると、サセプタ回転機構267の運転が停止される。この際、サセプタ217は予め設定された回転位置において正確に停止される。すなわち、突上部266とヒータ207およびサセプタ217の挿通孔256は正確かつ再現性よく合致される。
【0069】
サセプタ回転機構267の運転が停止されると、前述のように、回転ドラム227および加熱ユニット251は回転軸277および支持軸276を介して昇降台282によって搬入搬出位置に下降される。前述したように、下降の途中において、ウエハ昇降装置275の作用によりウエハ200をサセプタ217の上から浮き上げる。この際、突上部266とヒータ207およびサセプタ217の挿通孔256とは正確かつ再現性よく合致されているため、突上部266がサセプタ217およびヒータ207を突き上げる突き上げミスが発生することはない。
【0070】
以降、前述した作業が繰り返されることにより、次のウエハ200にCVD膜が成膜処理されて行く。
【0071】
従来のサセプタ形状は表面の平坦なものを使用しており、ウエハ200はヒータ207で加熱されて高温となっているサセプタ217からの直接伝熱によって加熱される。そのため、ウエハ200の温度分布はサセプタ217の初期分布の影響を受け不均一となる。また、サセプタ217の表面加工精度によってウエハ200との接触部分にばらつきが生じ、加熱むらが起きる。その結果として、ウエハ200面内の膜厚分布は不均一となる。
【0072】
そこで本発明によれば、支持体(サセプタ217)の基板(ウエハ200)載置面に、複数の凸部を設けた。このことにより、ウエハ200とサセプタ217表面との間に空間が設けられ、とくにヒータ207がサセプタ217の下方に設けられる場合、サセプタ217からの直接伝熱よりも、輻射を主力加熱手段とすることで、ウエハ200面内温度の均一化を図ることができ、結果としてウエハ200面内の膜厚均一性を向上させることができる。
【0073】
本発明の第1実施形態について、図面を用いてさらに説明する。図4は、本発明の第1実施形態におけるサセプタ217の平面図である。図4(a)の態様によれば、サセプタ217の表面に、格子状に凸部1(ピン)を配置した。該ピンの拡大図を併せて示す。本態様によれば、凸部1として直径0.4mm、高さ0.1mmのピンを、幅30mmの等間隔でサセプタ217上に合計80ピン設けた。ウエハ200としては、直径302mmのシリコンウエハを用いた。なお、符号256は、サセプタ217の挿通孔である。
【0074】
また図4(b)の態様は、サセプタ217の表面に、ウエハ200と同心円状に凸部1(ピン)を配置したものである。該ピンの拡大図を併せて示す。本態様によれば、凸部1として直径0.4mm、高さ0.1mmのピンを、サセプタ217の中心部を円の中心として、破線の直径80mmのライン(Line)1、直径186mmのLine2、直径280mmのLine3に沿うように、ウエハ200と同心円状に合計30ピン設けた。ウエハ200としては、直径302mmのシリコンウエハを用いた。
【0075】
第1実施形態によれば、凸部1でウエハ200を支持することによって、前記のように、サセプタ217表面との間に空間が設けられ、サセプタからの直接伝熱よりも、輻射を主力加熱手段とすることで、ウエハ200面内温度の均一化が達成される。その結果としてウエハ200面内の膜厚均一性を向上させることができる。
【0076】
なお、前記第1実施形態では、特定の凸部1の形状・配置を採用した例について説明したが、例えばウエハの直径が300mm程度であり、厚さが700μm程度である場合、凸部間の距離は10mm以上50mm以下が好ましい。凸部1の高さは、0.05mm以上0.1mm以下、凸部1の直径は0.2mm以上1mm以下が好ましい。凸部1の高さが0.1mmより大きい場合、例えば0.2mmの場合、ウエハ200とサセプタ217との温度差が大きくなるため、サセプタ217のウエハ200が載置されない外周部に中心部よりも多くの膜が成膜され、クリーニングに時間がかかる恐れがある。また、ウエハ200とサセプタ217との空間にもガスが回りこみ成膜が行われるため、回り込んだ部分と回り込まなかった部分で、ウエハ200とサセプタ217との距離に差が生じていき、ウエハ200面内膜厚のばらつきが大きくなるという欠点もある。そのため、第1実施形態では凸部1の高さを0.1mm、直径を0.4mmとしている。
【0077】
次に本発明の第2実施形態について、図面を用いてさらに説明する。図5は、本発明の第2実施形態におけるサセプタ217の平面図である。
【0078】
図5(a)の態様は、サセプタ217の表面に、格子状に凸部1(ピン)を配置するとともに、サセプタ217の中心部に、表面の面積(ウエハと接触する部分の面積)が他の凸部(凸部1)の表面の面積(ウエハと接触する部分の面積)よりも大きい凸部2を設けたものである。例えば、シラン系ガス(SiH4等)とドーパントガス(PH3等)とを用いてドープトアモルファスシリコン膜や、ドープトポリシリコン膜を形成する場合等のように、プロセスによってはウエハ200中心部の膜厚が落ち込む(薄くなる)ものがある。これを改善するためにウエハ中心部にウエハ200と接触する面積が他の凸部1よりも大きい凸部2を設け、ウエハ中心部を輻射ではなくサセプタ217との直接伝熱によって加熱することでウエハ中心部の温度が従来よりも高くなるようにしている。これらのピンの拡大図(斜視図)を併せて示す。また、格子状に凸部1を配置した場合、ウエハ200の最外周の下部に凸部1がない部分があり最外周においては、凸部1が均一に配置されないことから(図4(a)参照)、さらなるウエハ200面内温度均一化を達成するために、ウエハ200の最外周の下部の凸部1が不足している箇所にも凸部1と同一形状の凸部1’を均一に配置するようにした。本態様によれば、凸部1として直径0.4mm、高さ0.1mmのピンを、幅30mmの等間隔でサセプタ217上に合計80ピン設け、サセプタ217の中心部に、凸部2として直径30mm、高さ0.1mmのピンを1つ設け、凸部1と同形状の凸部1’を凸部1が不足している部分(8箇所)に合計8ピン設けた。ウエハ200としては、直径302mmのシリコンウエハを用いた。なお、符号256は、サセプタ217の挿通孔である。したがって、サセプタ217からの熱の輻射が、ウエハ200に均一に到達することになり、ウエハ中心部については、サセプタからの直接伝熱により加熱されることとなり、ウエハ200面内の膜厚均一性をさらに向上させることができる。
【0079】
また、図5(b)の態様は、図5(a)の態様と同様に、サセプタ217の表面に、格子状に凸部1(ピン)を配置するとともに、サセプタ217の中心部に、表面の面積が他の凸部の表面の面積よりも大きい凸部2を設けたものである。これらのピンの拡大図(斜視図)を併せて示す。上述のように、格子状に凸部1を配置した場合、ウエハ200の最外周の下部に凸部1が不足している部分があり、最外周部については、凸部が均一に配置されないことから(図4(a)参照)、さらなるウエハ200面内温度均一化を達成するために、ウエハ200の最外周の下部については、凸部1と同一形状の凸部1’’を、ウエハ200と同心円状に均一に配置するようにした。なお、該同心円は、サセプタ217の中心部を円の中心として、直径290mmで形成させた。本態様によれば、凸部1として直径0.4mm、高さ0.1mmのピンを、幅30mmの等間隔でサセプタ217上に合計60ピン設け、サセプタ217の中心部に、凸部2として直径30mm、高さ0.1mmのピンを1つ設け、凸部1’’をウエハと同心円状に均一に合計24ピン設けた。ウエハ200としては、直径302mmのシリコンウエハを用いた。なお、符号256は、サセプタ217の挿通孔である。したがって、サセプタ217からの熱の輻射が、ウエハ200に均一に到達することになり、ウエハ中心部については、サセプタからの直接伝熱により加熱されることとなり、ウエハ200面内の膜厚均一性をさらに向上させることができる。
【0080】
また、図5(c)の態様は、サセプタ217の表面に、ウエハ200と同心円状に凸部1(ピン)を配置するとともにサセプタ217の中心部に、表面の面積が他の凸部(凸部1)の表面の面積(ウエハと接触する部分の面積)よりも大きい凸部2を設けたものである。これらのピンの拡大図(斜視図)を併せて示す。本態様によれば、凸部1として直径0.4mm、高さ0.1mmのピンを、破線の直径80mmのライン(Line)1、直径186mmのLine2、直径290mmのLine3に沿うように、ウエハ200と同心円状に合計48ピン設けサセプタ217の中心部に、凸部2として直径30mm、高さ0.1mmのピンを1つ設けた。ウエハ200としては、直径302mmのシリコンウエハを用いた。なお、符号256は、サセプタ217の挿通孔である。本態様によれば、サセプタ217からの熱の輻射が、ウエハ200に均一に到達することになり、ウエハ中心部については、サセプタからの直接伝熱により加熱されることとなり、ウエハ200面内の膜厚均一性をさらに向上させることができる。
【0081】
前記第2実施形態では、サセプタ217の中心部に、他の凸部の表面の面積よりも表面の面積が大きい凸部2を設けたことに一つの特徴を有している。上述のようにプロセスによってはウエハ200の中心部の膜厚が落ち込むものがあるが、本実施形態によれば、ウエハ200の中心部をサセプタ217からの輻射ではなく、サセプタ217からの直接伝熱によって加熱することが可能となり、ウエハ200の中心部の温度を周囲部よりも高くすることができ、ウエハ200の中心部の膜厚落ち込みを改善することができる。また、ウエハ200の最外周の下部にも凸部を均一に配置することにより、サセプタ217からの熱の輻射が、ウエハ200に均一に到達することになり、ウエハ200面内温度均一化が達成され、ウエハ200面内の膜厚均一性をさらに向上させることができる。
【0082】
なお、前記第2実施形態では、特定の凸部1、凸部1’、凸部1’’および凸部2の形状・配置を採用した例について説明したが、例えばウエハの直径が300mm程度であり、厚さが700μm程度である場合、凸部間の距離は、10mm以上50mm以下が好ましい。また、凸部1、凸部1’、凸部1’’および凸部2の高さは0.05mm以上0.1mm以下、凸部1、凸部1’および凸部1’’の直径は0.4mm以上1mm以下、凸部2の直径は3mm以上30mm以下であるのが好ましい。これらの諸条件の範囲を満たすことにより、サセプタ217からの熱の輻射が、ウエハ200に一層均一に到達することになり、基板面内の温度均一性、ひいては基板面内の膜厚均一性を一層向上させることができる。また、ウエハ中心部については、サセプタからの直接伝熱により加熱されることとなり、ウエハ中心部の温度を最適な温度とすることができ、膜厚均一性を一層向上させることができる。
【0083】
なお、凸部1は、膜厚測定時のポイントと重ならないように配置されており(エッジ3mm、49ポイント)、最外周の凸部1の配置箇所は、直径270mm以上296mm以下が好ましい。
【0084】
本発明の基板処理装置は、とくに半導体装置の製造に好適に用いられ、またディスプレイユニットなどの薄膜形成が必要な装置にも用いられ得る。
【0085】
【発明の効果】
本発明によれば、基板面内での温度ばらつきを抑制し、基板面内の温度均一性を向上させることができ、また中心部の膜厚落ち込みが生じるプロセスにおいては膜厚落ち込みを防止することができ、ひいては基板面内の膜厚均一性を向上させることのできる基板処理装置および半導体装置の製造方法が提供される。また、本発明によれば、
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の基板処理装置の概要を説明するための図である。
【図2】本発明の基板処理装置の概要を説明するための図である。
【図3】本発明における処理炉の概要を説明するための図である。
【図4】本発明の第1実施形態におけるサセプタの平面図である。
【図5】本発明の第1実施形態におけるサセプタの平面図である。
【符号の説明】
1,1’,1’’,2 凸部
101 筐体
103 第一の搬送室
112 第一のウエハ移載機
121 第二の搬送室
122,123 予備室
200 ウエハ
201 処理室
202 処理炉
207 ヒータ
217 サセプタ
223 チャンバ
256 挿通孔
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板処理装置および半導体装置の製造方法に関するものであり、詳しくは、基板面内での温度ばらつきを抑制し、基板面内の温度均一性、ひいては基板面内の膜厚均一性を向上させることのできる基板処理装置および半導体装置の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
IC、LSI等の半導体装置を製造する工程には、熱CVD法により基板上へアモルファスシリコン膜やポリシリコン膜などのシリコン膜を形成する工程がある。コールドウオールタイプの反応容器を用いて、この工程を行う場合、基板はサセプタ上で加熱する。そのため、膜厚均一性向上のためにはサセプタ面内の温度均一性の向上と、サセプタ表面の平坦度の向上が必要である。
【0003】
しかしながら、サセプタ面内の温度均一性を向上させることは困難であり、それが原因で基板面内の温度均一性が悪くなるという問題があった。その結果として基板面内の膜厚均一性も悪くなるという問題点があった。またサセプタの平坦度向上も困難であり、サセプタ毎で平坦度が異なるため、サセプタの出来不出来によって、基板面内の膜厚均一性が決まるという問題点もあった。
【0004】
【特許文献1】
特開2003−109907
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
したがって本発明の目的は、基板面内での温度ばらつきを抑制し、基板面内の温度均一性、ひいては基板面内の膜厚均一性を向上させることのできる基板処理装置および半導体装置の製造方法の提供にある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
前記課題は、下記の構成によって解決される。
【0007】
(1) 基板を処理する処理室と、
処理室内で基板を支持する支持体と、
基板を加熱するヒータとを有する基板処理装置において、
前記支持体の基板載置面には複数の凸部が設けられるとともに、中心部に設けられた凸部の表面の面積が、他の凸部の表面の面積よりも大きいことを特徴とする基板処理装置。
【0008】
この構成によれば、基板面内での温度ばらつきを抑制し、基板面内の温度均一性、ひいては基板面内の膜厚均一性を向上させることのできる基板処理装置が提供される。
【0009】
(2) 基板を処理する処理室と、
処理室内で基板を支持する支持体と、
基板を加熱するヒータとを有する基板処理装置において、
前記支持体の基板載置面には複数の凸部が格子状に設けられるとともに、最外周の凸部は基板と同心円状に配置されることを特徴とする基板処理装置。
【0010】
この構成によれば、基板面内での温度ばらつきを抑制し、基板面内の温度均一性、ひいては基板面内の膜厚均一性を向上させることのできる基板処理装置が提供される。
【0011】
(3) 基板を処理室内に搬入する工程と、
基板載置面に複数の凸部が設けられるとともに中心部に設けられた凸部の表面の面積が他の凸部の表面の面積よりも大きい支持体により基板を支持する工程と、前記処理室内で前記支持体により基板を支持した状態で、基板を処理する工程と、処理後の基板を処理室から搬出する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【0012】
この構成によれば、基板面内での温度ばらつきを抑制し、基板面内の温度均一性、ひいては基板面内の膜厚均一性を向上させることのできる半導体装置の製造方法が提供される。
【0013】
また、次に示す態様も本発明に好ましいものである。
【0014】
(4) 前記(1)または(2)に記載の基板処理装置において、ヒータは支持体下方に設けられることを特徴とする基板処理装置。
【0015】
(5) 前記(1)または(2)に記載の基板処理装置において、中心部の凸部の直径を3mm以上30mm以下、中心部以外の凸部の直径を0.4mm以上1mm以下とすることを特徴とする基板処理装置。
【0016】
(6) 前記(1)または(2)に記載の基板処理装置において、中心部および中心部以外の凸部の高さを0.05mm以上0.1mm以下とすることを特徴とする基板処理装置。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態を図面に即して説明する。
【0018】
図1および図2に於いて、本発明の基板処理装置の概要を説明する。
【0019】
なお、本発明が適用される基板処理装置においてはウエハなどの基板を搬送するキャリヤとしては、FOUP(front opening unified pod 。以下、ポッドという。)が使用されている。また、以下の説明において、前後左右は図1を基準とする。すなわち、図1が示されている紙面に対して、前は紙面の下、後ろは紙面の上、左右は紙面の左右とする。
【0020】
図1および図2に示されているように、基板処理装置は真空状態などの大気圧未満の圧力(負圧)に耐えるロードロックチャンバ構造に構成された第一の搬送室103を備えており、第一の搬送室103の筐体101は平面視が六角形で上下両端が閉塞した箱形状に形成されている。第一の搬送室103には負圧下でウエハ200を移載する第一のウエハ移載機112が設置されている。前記第一のウエハ移載機112は、エレベータ115によって、第一の搬送室103の気密性を維持しつつ昇降できるように構成されている。
【0021】
筐体101の六枚の側壁のうち前側に位置する二枚の側壁には、搬入用の予備室122と搬出用の予備室123とがそれぞれゲートバルブ244,127を介して連結されており、それぞれ負圧に耐え得るロードロックチャンバ構造に構成されている。さらに、予備室122には搬入室用の基板置き台140が設置され、予備室123には搬出室用の基板置き台141が設置されている。
【0022】
予備室122および予備室123の前側には、略大気圧下で用いられる第二の搬送室121がゲートバルブ128、129を介して連結されている。第二の搬送室121にはウエハ200を移載する第二のウエハ移載機124が設置されている。第二のウエハ移載機124は第二の搬送室121に設置されたエレベータ126によって昇降されるように構成されているとともに、リニアアクチュエータ132によって左右方向に往復移動されるように構成されている。
【0023】
図1に示されているように、第二の搬送室121の左側にはオリフラ合わせ装置106が設置されている。また、図2に示されているように、第二の搬送室121の上部にはクリーンエアを供給するクリーンユニット118が設置されている。
【0024】
図1および図2に示されているように、第二の搬送室121の筐体125には、ウエハ200を第二の搬送室121に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口134と、前記ウエハ搬入搬出口を閉塞する蓋142と、ポッドオープナ108がそれぞれ設置されている。ポッドオープナ108は、IOステージ105に載置されたポッド100のキャップ及びウエハ搬入搬出口134を閉塞する蓋142を開閉するキャップ開閉機構136とを備えており、IOステージ105に載置されたポッド100のキャップ及びウエハ搬入搬出口134を閉塞する蓋142をキャップ開閉機構136によって開閉することにより、ポッド100のウエハ出し入れを可能にする。また、ポッド100は図示しない工程内搬送装置(RGV)によって、前記IOステージ105に、供給および排出されるようになっている。
【0025】
図1に示されているように、筐体101の六枚の側壁のうち背面側に位置する二枚の側壁には、ウエハに所望の処理を行う第一の処理炉202と、第二の処理炉137とがそれぞれ隣接して連結されている。第一の処理炉202および第二の処理炉137はいずれもコールドウオール式の処理炉によってそれぞれ構成されている。また、筐体101における六枚の側壁のうちの残りの互いに対向する二枚の側壁には、第一のクーリングユニット138と、第二のクーリングユニット139とがそれぞれ連結されており、第一のクーリングユニット138および第二のクーリングユニット139はいずれも処理済みのウエハ200を冷却するように構成されている。
【0026】
以下、前記構成をもつ基板処理装置を使用した処理工程を説明する。
【0027】
未処理のウエハ200は25枚がポッド100に収納された状態で、処理工程を実施する基板処理装置へ工程内搬送装置によって搬送されて来る。図1および図2に示されているように、搬送されて来たポッド100はIOステージ105の上に工程内搬送装置から受け渡されて載置される。ポッド100のキャップ及びウエハ搬入搬出口134を開閉する蓋142がキャップ開閉機構136によって取り外され、ポッド100のウエハ出し入れ口が開放される。
【0028】
ポッド100がポッドオープナ108により開放されると、第二の搬送室121に設置された第二のウエハ移載機124はポッド100からウエハ200をピックアップし、予備室122に搬入し、ウエハ200を基板置き台140に移載する。この移載作業中には、第一の搬送室103側のゲートバルブ244は閉じられており、第一の搬送室103の負圧は維持されている。ウエハ200の基板置き台140への移載が完了すると、ゲートバルブ128が閉じられ、予備室122が排気装置(図示せず)によって負圧に排気される。
【0029】
予備室122が予め設定された圧力値に減圧されると、ゲートバルブ244、130が開かれ、予備室122、第一の搬送室103、第一の処理炉202が連通される。続いて、第一の搬送室103の第一のウエハ移載機112は基板置き台140からウエハ200をピックアップして第一の処理炉202に搬入する。そして、第一の処理炉202内に処理ガスが供給され、所望の処理がウエハ200に行われる。
【0030】
第一の処理炉202で前記処理が完了すると、処理済みのウエハ200は第一の搬送室103の第一のウエハ移載機112によって第一の搬送室103に搬出される。
【0031】
そして、第一のウエハ移載機112は第一の処理炉202から搬出したウエハ200を第一のクーリングユニット138へ搬入し、処理済みのウエハを冷却する。
【0032】
第一のクーリングユニット138にウエハ200を移載すると、第一のウエハ移載機112は予備室122の基板置き台140に予め準備されたウエハ200を第一の処理炉202に前述した作動によって移載し、第一の処理炉202内に処理ガスが供給され、所望の処理がウエハ200に行われる。
【0033】
第一のクーリングユニット138において予め設定された冷却時間が経過すると、冷却済みのウエハ200は第一のウエハ移載機112によって第一のクーリングユニット138から第一の搬送室103に搬出される。
【0034】
冷却済みのウエハ200が第一のクーリングユニット138から第一の搬送室103に搬出されたのち、ゲートバルブ127が開かれる。そして、第1のウエハ移載機112は第一のクーリングユニット138から搬出したウエハ200を予備室123へ搬送し、基板置き台141に移載した後、予備室123はゲートバルブ127によって閉じられる。
【0035】
予備室123がゲートバルブ127によって閉じられると、前記排出用予備室123内が不活性ガスにより略大気圧に戻される。前記予備室123内が略大気圧に戻されると、ゲートバルブ129が開かれ、第二の搬送室121の予備室123に対応したウエハ搬入搬出口134を閉塞する蓋142と、IOステージ105に載置された空のポッド100のキャップがポッドオープナ108によって開かれる。続いて、第二の搬送室121の第二のウエハ移載機124は基板置き台141からウエハ200をピックアップして第二の搬送室121に搬出し、第二の搬送室121のウエハ搬入搬出口134を通してポッド100に収納して行く。処理済みの25枚のウエハ200のポッド100への収納が完了すると、ポッド100のキャップとウエハ搬入搬出口134を閉塞する蓋142がポッドオープナ108によって閉じられる。閉じられたポッド100はIOステージ105の上から次の工程へ工程内搬送装置によって搬送されて行く。
【0036】
以上の作動が繰り返されることにより、ウエハが、順次、処理されて行く。以上の作動は第一の処理炉202および第一のクーリングユニット138が使用される場合を例にして説明したが、第二の処理炉137および第二のクーリングユニット139が使用される場合についても同様の作動が実施される。
【0037】
なお、上述の基板処理装置では、予備室122を搬入用、予備室123を搬出用としたが、予備室123を搬入用、予備室122を搬出用としてもよい。また、第一の処理炉202と第二の処理炉137は、それぞれ同じ処理を行ってもよいし、別の処理を行ってもよい。第一の処理炉202と第二の処理炉137で別の処理を行う場合、例えば第一の処理炉202でウエハ200にある処理を行った後、続けて第二の処理炉137で別の処理を行わせてもよい。また、第一の処理炉202でウエハ200にある処理を行った後、第二の処理炉137で別の処理を行わせる場合、第一のクーリングユニット138(又は第二のクーリングユニット139)を経由するようにしてもよい。
【0038】
次に第一の処理炉202について説明する。
【0039】
図3に示されているように、処理炉202は、枚葉式CVD炉(枚葉式コールドウオール形CVD炉)として構成されており、被処理基板としてのウエハ200を処理する処理室201を形成したチャンバ223を備えている。チャンバ223は上側キャップ224と円筒カップ225と下側キャップ226とが組み合わされて、上下の端面がいずれも閉塞した円筒形状に形成されている。
【0040】
チャンバ223の円筒カップ225の円筒壁の中間部にはゲートバルブ130によって開閉されるウエハ搬入搬出口250が水平方向に横長に開設されており、ウエハ搬入搬出口250は被処理基板であるウエハ200を処理室201に図1または図2に図示したウエハ移載機112によって搬入搬出し得るように形成されている。すなわち、ウエハ200はウエハ移載機112によって下から機械的に支持された状態で、ウエハ搬入搬出口250を搬送されて処理室201に対して搬入搬出されるようになっている。
【0041】
円筒カップ225のウエハ搬入搬出口250と対向する壁面の上部には、真空ポンプ等からなる排気装置(図示せず)に接続された排気口235が処理室201に連通するように開設されており、処理室201内は排気装置によって排気されるようになっている。
【0042】
また、円筒カップ225の上部には排気口235に連通する排気バッファ空間249が円環状に形成され、カバープレート248とともにウエハ200の全面に対し、均一に排気が行われるように作用している。
【0043】
なお、カバープレート248は、ウエハ200のエッジ部を覆うように一部のサセプタ(基板保持手段)217上方に延在しており、ウエハ200のエッジ部に成膜されるCVD膜を制御するために用いられる。
【0044】
チャンバ223の上側キャップ224には処理ガスを供給するシャワーヘッド236が一体的に組み込まれている。すなわち、上側キャップ224の天井壁にはガス供給管232が挿入されており、各ガス供給管232には例えば原料ガスやパージガス等の処理ガスA、Bを導入するため開閉バルブ243、流量制御装置(マスフローコントローラ=MFC)241から成るガス供給装置が接続されている。上側キャップ224の下面には円板形状に形成されたシャワープレート(以下、プレートという。)240がガス供給管232から間隔を置いて水平に固定されており、プレート240には複数個のガス吹出口(以下、吹出口という。)247が全面にわたって均一に配置されて上下の空間を流通させるように開設されている。
【0045】
上側キャップ224の内側面とプレート240の上面とが画成する内側空間によってバッファ室237が形成されており、バッファ室237はガス供給管232に導入された処理ガス230を全体的に均等に拡散させて各吹出口247から均等にシャワー状に吹き出させるようになっている。
【0046】
チャンバ223の下側キャップ226の中心には挿通孔278が円形に開設されており、挿通孔278の中心線上には円筒形状に形成された支持軸276が処理室201に下方から挿通されている。支持軸276はエアシリンダ装置等が使用された昇降機構(昇降手段)268によって昇降されるようになっている。
【0047】
支持軸276の上端には加熱ユニット251が同心に配されて水平に固定されており、加熱ユニット251は支持軸276によって昇降されるようになっている。すなわち、加熱ユニット251は円板形状に形成された支持板258を備えており、支持板258は支持軸276の上端開口に同心円に固定されている。支持板258の上面には支柱を兼ねる複数本の電極253が垂直に立脚されており、これら電極253の上端間には円板形状に形成され複数領域に分割制御されるヒータ(加熱手段)207が架橋されて固定されている。これら電極253に対する電気配線257は支持軸276の中空部内を挿通されている。
【0048】
また、ヒータ207の下方には反射板252が支持板258に固定されて設けられ、ヒータ207から発せられた熱をサセプタ217側に反射させて、効率の良い加熱に作用している。
【0049】
また、温度検出手段である放射温度計264が、支持軸276の下端から導入され、放射温度計264の先端がサセプタ217の裏面に対し所定の隙間を設けて設置されている。放射温度計264は、石英から成るロッドと光ファイバとの組み合わせから構成され、サセプタ217の裏面(例えばヒータ207の分割領域に対応する裏面)から発せられる放射光を検出し、サセプタ217の裏面温度を算出するのに用いられ(予め取得したウエハ200とサセプタ217の温度の関係によりウエハ200の温度を算出することも可能)、この算出結果に基づきヒータ217の加熱具合を制御している。
【0050】
下側キャップ226の挿通孔278の支持軸276の外側には、支持軸276よりも大径の円筒形状に形成された回転軸277が同心円に配置されて処理室201に下方から挿通されており、回転軸277はエアシリンダ装置等が使用された昇降機構268によって支持軸276と共に昇降されるようになっている。回転軸277の上端には回転ドラム227が同心に配されて水平に固定されており、回転ドラム227は回転軸277によって回転されるようになっている。すなわち、回転ドラム227はドーナツ形の平板に形成された回転板229と、円筒形状に形成された回転筒228を備えており、回転板229の内周縁辺部が円筒形状の回転軸277の上端開口に固定されて、回転板229の上面の外周縁辺部に回転筒228が同心円に固定されている。回転ドラム227の回転筒228の上端には炭化シリコンや窒化アルミニウム等が使用されて円板形状に形成されたサセプタ217が回転筒228の上端開口を閉塞するように被せられている。
【0051】
図3に示されているように、回転ドラム227にはウエハ昇降装置275が設置されている。ウエハ昇降装置275は円形リング形状に形成された2つの昇降リングのそれぞれに突上ピン(基板突上手段)266、274を突設したものから構成されており、下側の昇降リング(以下、回転側リングという。)は回転ドラム227の回転板229の上に支持軸276と同心円に配置されている。回転側リングの下面には複数本(本実施の形態においては三本とする。)の突上ピン(以下、回転側ピンという。)274が周方向に等間隔に配置されて垂直方向下向きに突設されており、各回転側ピン274は回転板229に回転筒228と同心円の線上に配置されて垂直方向に開設された各ガイド孔255にそれぞれ摺動自在に嵌入されている。各回転側ピン274の長さは回転側リングを水平に突き上げ得るように互いに等しく設定されているとともに、ウエハのサセプタ上からの突き上げ量に対応するように設定されている。各回転側ピン274の下端は処理室201の底面すなわち下側キャップ226の上面に離着座自在に対向されている。
【0052】
加熱ユニット251の支持板258には円形リング形状に形成されたもう一つの昇降リング(以下、ヒータ側リングという。)が支持軸276と同心円に配置されている。ヒータ側リングの下面には複数本(本実施の形態においては三本とする。)の突上ピン(以下、ヒータ側ピンという。)266が周方向に等間隔に配置されて垂直方向下向きに突設されており、各ヒータ側ピン266は支持板258に支持軸276と同心円の線上に配置されて垂直方向に開設された各ガイド孔254にそれぞれ摺動自在に嵌入されている。これらのヒータ側ピン266の長さはヒータ側リングを水平に突き上げ得るように互いに等しく設定されているとともに、その下端が回転側リングの上面に適度のエアギャップを置いて対向されている。つまり、これらのヒータ側ピン266は回転ドラム227の回転時に回転側リングに干渉しないようになっている。
【0053】
また、ヒータ側リングの上面には複数本(本実施の形態においては三本とする。)の突上ピン(以下、突上部という。)266が、周方向に等間隔に配置されて垂直方向上向きに突設されており、突上部266の上端はヒータ207およびサセプタ217の挿通孔256に対向するようになっている。これらの突上部266の長さはヒータ207およびサセプタ217の挿通孔256を下から挿通してサセプタ217に載置されたウエハ200をサセプタ217から水平に浮かせるように互いに等しく設定されている。また、これらの突上部266の長さはヒータ側リングが支持板258に着座した状態において、その上端がヒータ207の上面から突出しないように設定されている。つまり、これらの突上部266は回転ドラム227の回転時にサセプタ217に干渉しないように、かつ、ヒータ207の加熱を妨げないようになっている。
【0054】
図3に示されているように、チャンバ223は複数本の支柱280によって水平に支持されている。これらの支柱280には各昇降ブロック281がそれぞれ昇降自在に嵌合されており、これら昇降ブロック281間にはエアシリンダ装置等が使用された昇降駆動装置(図示せず)によって昇降される昇降台282が架設されている。昇降台282の上にはサセプタ回転装置(回転手段)267が設置されており、サセプタ回転装置とチャンバ223との間にはベローズ279が、回転軸277の外側を気密封止するように介設されている。
【0055】
なお、本処理炉202は、ガス制御部、駆動制御部、加熱制御部、温度検出部、等から構成される主制御部を有する。ガス制御部はMFC241、開閉バルブ243に接続され、ガス流量、供給を制御する。駆動制御部はサセプタ回転機構267、昇降ブロック281に接続され、これらの駆動を制御する。加熱制御部は配線257を介しヒータ207に接続され、ヒータ207の加熱具合を制御する。温度検出部は放射温度計264に接続され、サセプタ217の温度を検出し、加熱制御部と連携してヒータ207の加熱制御に用いられる。
【0056】
この処理炉202は、400℃以上850℃以下の高温、10000Paまでの高圧で単一基板毎の処理を可能とする。
【0057】
次に、以上の構成に係る処理炉の作用を説明することにより、本発明の一実施の形態である半導体装置の製造方法における成膜工程について説明する。
【0058】
ウエハ200の搬出搬入に際しては、回転ドラム227および加熱ユニット251が回転軸277および支持軸276によって下限位置に下降される。すると、ウエハ昇降装置275の回転側ピン274の下端が処理室201の底面すなわち下側キャップ226の上面に突合するため、回転側リングが回転ドラム227および加熱ユニット251に対して相対的に上昇する。上昇した回転側リングはヒータ側ピン266を突き上げることにより、ヒータ側リングを持ち上げる。ヒータ側リングが持ち上げられると、ヒータ側リングに立脚された三本の突上部266がヒータ207およびサセプタ217の挿通孔256を挿通して、サセプタ217の上面に載置されたウエハ200を下方から支持してサセプタ217から浮き上がらせる。
【0059】
ウエハ昇降装置275がウエハ200をサセプタ217の上面から浮き上がらせた状態になると、ウエハ200の下方空間すなわちウエハ200の下面とサセプタ217の上面との間に挿入スペースが形成された状態になるため、図示しないウエハ移載機に設けられた基板保持プレートであるツィーザがウエハ搬入搬出口250からウエハ200の挿入スペースに挿入される。ウエハ200の下方に挿入されたツィーザは上昇することによりウエハ200を受け取る。ウエハ200を受け取ったツィーザはウエハ搬入搬出口250を後退してウエハ200を処理室201から搬出する。そして、ツィーザによってウエハ200を搬出したウエハ移載機は、処理室201の外部の空ウエハカセット等の所定の収納場所にウエハ200を移載する。
【0060】
次いで、ウエハ移載機は実ウエハカセット等の所定の収納場所から次回に成膜処理するウエハ200をツィーザによって受け取って、ウエハ搬入搬出口250から処理室201に搬入する。ツィーザはウエハ200をサセプタ217の上方においてウエハ200の中心がサセプタ217の中心と一致する位置に搬送する。ウエハ200を所定の位置に搬送すると、ツィーザは若干下降することによりウエハ200をウエハ昇降装置275の突上ピン266上に移載する。ウエハ200をウエハ昇降装置275に受け渡したツィーザは、ウエハ搬入搬出口250から処理室201の外へ退出する。ツィーザが処理室201から退出すると、ウエハ搬入搬出口250はゲートバルブ(仕切弁)244によって閉じられる。
【0061】
ゲートバルブ244が閉じられると、処理室201に対して回転ドラム227および加熱ユニット251が回転軸277および支持軸276を介して昇降台282によって上昇される。回転ドラム227および加熱ユニット251の上昇により、突上ピン266、274が回転ドラム227および加熱ユニット251に対し相対的に下降し、図3に示されているように、ウエハ200はサセプタ217の上に完全に移載された状態になる。回転軸277および支持軸276は突上部266の上端がヒータ207の下面に近接する高さになる位置にて停止される。
【0062】
一方、処理室201が排気口235に接続された排気装置(図示せず)によって排気される。この際、処理室201の真空雰囲気と外部の大気圧雰囲気とはベローズ279によって隔絶されている。
【0063】
続いて、回転ドラム227が回転軸277を介してサセプタ回転機構267によって回転される。
【0064】
回転ドラム227の回転中には、回転側ピン274は処理室201の底面から離座し、ヒータ側ピン266は回転側リングから離座しているため、回転ドラム227の回転がウエハ昇降装置275に妨げられることはなく、しかも、加熱ユニット251は停止状態を維持することができる。すなわち、ウエハ昇降装置275においては、回転側リングと回転側ピン274が回転ドラム227と共に回転し、ヒータ側リングとヒータ側ピン266が加熱ユニット251と共に停止した状態になっている。
【0065】
ウエハ200の温度が処理温度まで上昇し、排気口235の排気量および回転ドラム227の回転作動が安定した時点で、図3に実線矢印で示されているように、処理ガス230が供給管232に導入される。ガス供給管232に導入された処理ガス230は、ガス分散空間として機能するバッファ室237に流入するとともに、径方向外向きに放射状に拡散して、シャワープレート240の各ガス吹出口247からそれぞれが略均等な流れになって、ウエハ200に向かってシャワー状に吹き出す。吹出口247群からシャワー状に吹き出した処理ガス230はカバープレート248の上方空間を通って、排気バッファ空間249を経由して排気口235に吸い込まれて排気されて行く。
【0066】
この際、回転ドラム227に支持されたサセプタ217の上のウエハ200は回転しているため、吹出口247群からシャワー状に吹き出した処理ガス230はウエハ200の全面にわたって均等に接触する状態になる。処理ガス230がウエハ200の全面にわたって均等に接触するため、ウエハ200に処理ガス230によって形成されるCVD膜の膜厚分布や膜質分布はウエハ200の全面にわたって均一になる。
【0067】
また、加熱ユニット251は支持軸276に支持されることにより回転しない状態になっているため、回転ドラム227によって回転されながら加熱ユニット251によって加熱されるウエハ200の温度分布は全面にわたって均一に制御される。このようにウエハ200の温度分布が全面にわたって均一に制御されることにより、ウエハ200に熱化学反応によって形成されるCVD膜の膜厚分布や膜質分布はウエハ200の全面にわたって均一に制御される。さらに、後述するようなサセプタ形状を実施することによって、膜厚均一性は向上する。
【0068】
予め選定された所定の処理時間が経過すると、サセプタ回転機構267の運転が停止される。この際、サセプタ217は予め設定された回転位置において正確に停止される。すなわち、突上部266とヒータ207およびサセプタ217の挿通孔256は正確かつ再現性よく合致される。
【0069】
サセプタ回転機構267の運転が停止されると、前述のように、回転ドラム227および加熱ユニット251は回転軸277および支持軸276を介して昇降台282によって搬入搬出位置に下降される。前述したように、下降の途中において、ウエハ昇降装置275の作用によりウエハ200をサセプタ217の上から浮き上げる。この際、突上部266とヒータ207およびサセプタ217の挿通孔256とは正確かつ再現性よく合致されているため、突上部266がサセプタ217およびヒータ207を突き上げる突き上げミスが発生することはない。
【0070】
以降、前述した作業が繰り返されることにより、次のウエハ200にCVD膜が成膜処理されて行く。
【0071】
従来のサセプタ形状は表面の平坦なものを使用しており、ウエハ200はヒータ207で加熱されて高温となっているサセプタ217からの直接伝熱によって加熱される。そのため、ウエハ200の温度分布はサセプタ217の初期分布の影響を受け不均一となる。また、サセプタ217の表面加工精度によってウエハ200との接触部分にばらつきが生じ、加熱むらが起きる。その結果として、ウエハ200面内の膜厚分布は不均一となる。
【0072】
そこで本発明によれば、支持体(サセプタ217)の基板(ウエハ200)載置面に、複数の凸部を設けた。このことにより、ウエハ200とサセプタ217表面との間に空間が設けられ、とくにヒータ207がサセプタ217の下方に設けられる場合、サセプタ217からの直接伝熱よりも、輻射を主力加熱手段とすることで、ウエハ200面内温度の均一化を図ることができ、結果としてウエハ200面内の膜厚均一性を向上させることができる。
【0073】
本発明の第1実施形態について、図面を用いてさらに説明する。図4は、本発明の第1実施形態におけるサセプタ217の平面図である。図4(a)の態様によれば、サセプタ217の表面に、格子状に凸部1(ピン)を配置した。該ピンの拡大図を併せて示す。本態様によれば、凸部1として直径0.4mm、高さ0.1mmのピンを、幅30mmの等間隔でサセプタ217上に合計80ピン設けた。ウエハ200としては、直径302mmのシリコンウエハを用いた。なお、符号256は、サセプタ217の挿通孔である。
【0074】
また図4(b)の態様は、サセプタ217の表面に、ウエハ200と同心円状に凸部1(ピン)を配置したものである。該ピンの拡大図を併せて示す。本態様によれば、凸部1として直径0.4mm、高さ0.1mmのピンを、サセプタ217の中心部を円の中心として、破線の直径80mmのライン(Line)1、直径186mmのLine2、直径280mmのLine3に沿うように、ウエハ200と同心円状に合計30ピン設けた。ウエハ200としては、直径302mmのシリコンウエハを用いた。
【0075】
第1実施形態によれば、凸部1でウエハ200を支持することによって、前記のように、サセプタ217表面との間に空間が設けられ、サセプタからの直接伝熱よりも、輻射を主力加熱手段とすることで、ウエハ200面内温度の均一化が達成される。その結果としてウエハ200面内の膜厚均一性を向上させることができる。
【0076】
なお、前記第1実施形態では、特定の凸部1の形状・配置を採用した例について説明したが、例えばウエハの直径が300mm程度であり、厚さが700μm程度である場合、凸部間の距離は10mm以上50mm以下が好ましい。凸部1の高さは、0.05mm以上0.1mm以下、凸部1の直径は0.2mm以上1mm以下が好ましい。凸部1の高さが0.1mmより大きい場合、例えば0.2mmの場合、ウエハ200とサセプタ217との温度差が大きくなるため、サセプタ217のウエハ200が載置されない外周部に中心部よりも多くの膜が成膜され、クリーニングに時間がかかる恐れがある。また、ウエハ200とサセプタ217との空間にもガスが回りこみ成膜が行われるため、回り込んだ部分と回り込まなかった部分で、ウエハ200とサセプタ217との距離に差が生じていき、ウエハ200面内膜厚のばらつきが大きくなるという欠点もある。そのため、第1実施形態では凸部1の高さを0.1mm、直径を0.4mmとしている。
【0077】
次に本発明の第2実施形態について、図面を用いてさらに説明する。図5は、本発明の第2実施形態におけるサセプタ217の平面図である。
【0078】
図5(a)の態様は、サセプタ217の表面に、格子状に凸部1(ピン)を配置するとともに、サセプタ217の中心部に、表面の面積(ウエハと接触する部分の面積)が他の凸部(凸部1)の表面の面積(ウエハと接触する部分の面積)よりも大きい凸部2を設けたものである。例えば、シラン系ガス(SiH4等)とドーパントガス(PH3等)とを用いてドープトアモルファスシリコン膜や、ドープトポリシリコン膜を形成する場合等のように、プロセスによってはウエハ200中心部の膜厚が落ち込む(薄くなる)ものがある。これを改善するためにウエハ中心部にウエハ200と接触する面積が他の凸部1よりも大きい凸部2を設け、ウエハ中心部を輻射ではなくサセプタ217との直接伝熱によって加熱することでウエハ中心部の温度が従来よりも高くなるようにしている。これらのピンの拡大図(斜視図)を併せて示す。また、格子状に凸部1を配置した場合、ウエハ200の最外周の下部に凸部1がない部分があり最外周においては、凸部1が均一に配置されないことから(図4(a)参照)、さらなるウエハ200面内温度均一化を達成するために、ウエハ200の最外周の下部の凸部1が不足している箇所にも凸部1と同一形状の凸部1’を均一に配置するようにした。本態様によれば、凸部1として直径0.4mm、高さ0.1mmのピンを、幅30mmの等間隔でサセプタ217上に合計80ピン設け、サセプタ217の中心部に、凸部2として直径30mm、高さ0.1mmのピンを1つ設け、凸部1と同形状の凸部1’を凸部1が不足している部分(8箇所)に合計8ピン設けた。ウエハ200としては、直径302mmのシリコンウエハを用いた。なお、符号256は、サセプタ217の挿通孔である。したがって、サセプタ217からの熱の輻射が、ウエハ200に均一に到達することになり、ウエハ中心部については、サセプタからの直接伝熱により加熱されることとなり、ウエハ200面内の膜厚均一性をさらに向上させることができる。
【0079】
また、図5(b)の態様は、図5(a)の態様と同様に、サセプタ217の表面に、格子状に凸部1(ピン)を配置するとともに、サセプタ217の中心部に、表面の面積が他の凸部の表面の面積よりも大きい凸部2を設けたものである。これらのピンの拡大図(斜視図)を併せて示す。上述のように、格子状に凸部1を配置した場合、ウエハ200の最外周の下部に凸部1が不足している部分があり、最外周部については、凸部が均一に配置されないことから(図4(a)参照)、さらなるウエハ200面内温度均一化を達成するために、ウエハ200の最外周の下部については、凸部1と同一形状の凸部1’’を、ウエハ200と同心円状に均一に配置するようにした。なお、該同心円は、サセプタ217の中心部を円の中心として、直径290mmで形成させた。本態様によれば、凸部1として直径0.4mm、高さ0.1mmのピンを、幅30mmの等間隔でサセプタ217上に合計60ピン設け、サセプタ217の中心部に、凸部2として直径30mm、高さ0.1mmのピンを1つ設け、凸部1’’をウエハと同心円状に均一に合計24ピン設けた。ウエハ200としては、直径302mmのシリコンウエハを用いた。なお、符号256は、サセプタ217の挿通孔である。したがって、サセプタ217からの熱の輻射が、ウエハ200に均一に到達することになり、ウエハ中心部については、サセプタからの直接伝熱により加熱されることとなり、ウエハ200面内の膜厚均一性をさらに向上させることができる。
【0080】
また、図5(c)の態様は、サセプタ217の表面に、ウエハ200と同心円状に凸部1(ピン)を配置するとともにサセプタ217の中心部に、表面の面積が他の凸部(凸部1)の表面の面積(ウエハと接触する部分の面積)よりも大きい凸部2を設けたものである。これらのピンの拡大図(斜視図)を併せて示す。本態様によれば、凸部1として直径0.4mm、高さ0.1mmのピンを、破線の直径80mmのライン(Line)1、直径186mmのLine2、直径290mmのLine3に沿うように、ウエハ200と同心円状に合計48ピン設けサセプタ217の中心部に、凸部2として直径30mm、高さ0.1mmのピンを1つ設けた。ウエハ200としては、直径302mmのシリコンウエハを用いた。なお、符号256は、サセプタ217の挿通孔である。本態様によれば、サセプタ217からの熱の輻射が、ウエハ200に均一に到達することになり、ウエハ中心部については、サセプタからの直接伝熱により加熱されることとなり、ウエハ200面内の膜厚均一性をさらに向上させることができる。
【0081】
前記第2実施形態では、サセプタ217の中心部に、他の凸部の表面の面積よりも表面の面積が大きい凸部2を設けたことに一つの特徴を有している。上述のようにプロセスによってはウエハ200の中心部の膜厚が落ち込むものがあるが、本実施形態によれば、ウエハ200の中心部をサセプタ217からの輻射ではなく、サセプタ217からの直接伝熱によって加熱することが可能となり、ウエハ200の中心部の温度を周囲部よりも高くすることができ、ウエハ200の中心部の膜厚落ち込みを改善することができる。また、ウエハ200の最外周の下部にも凸部を均一に配置することにより、サセプタ217からの熱の輻射が、ウエハ200に均一に到達することになり、ウエハ200面内温度均一化が達成され、ウエハ200面内の膜厚均一性をさらに向上させることができる。
【0082】
なお、前記第2実施形態では、特定の凸部1、凸部1’、凸部1’’および凸部2の形状・配置を採用した例について説明したが、例えばウエハの直径が300mm程度であり、厚さが700μm程度である場合、凸部間の距離は、10mm以上50mm以下が好ましい。また、凸部1、凸部1’、凸部1’’および凸部2の高さは0.05mm以上0.1mm以下、凸部1、凸部1’および凸部1’’の直径は0.4mm以上1mm以下、凸部2の直径は3mm以上30mm以下であるのが好ましい。これらの諸条件の範囲を満たすことにより、サセプタ217からの熱の輻射が、ウエハ200に一層均一に到達することになり、基板面内の温度均一性、ひいては基板面内の膜厚均一性を一層向上させることができる。また、ウエハ中心部については、サセプタからの直接伝熱により加熱されることとなり、ウエハ中心部の温度を最適な温度とすることができ、膜厚均一性を一層向上させることができる。
【0083】
なお、凸部1は、膜厚測定時のポイントと重ならないように配置されており(エッジ3mm、49ポイント)、最外周の凸部1の配置箇所は、直径270mm以上296mm以下が好ましい。
【0084】
本発明の基板処理装置は、とくに半導体装置の製造に好適に用いられ、またディスプレイユニットなどの薄膜形成が必要な装置にも用いられ得る。
【0085】
【発明の効果】
本発明によれば、基板面内での温度ばらつきを抑制し、基板面内の温度均一性を向上させることができ、また中心部の膜厚落ち込みが生じるプロセスにおいては膜厚落ち込みを防止することができ、ひいては基板面内の膜厚均一性を向上させることのできる基板処理装置および半導体装置の製造方法が提供される。また、本発明によれば、
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の基板処理装置の概要を説明するための図である。
【図2】本発明の基板処理装置の概要を説明するための図である。
【図3】本発明における処理炉の概要を説明するための図である。
【図4】本発明の第1実施形態におけるサセプタの平面図である。
【図5】本発明の第1実施形態におけるサセプタの平面図である。
【符号の説明】
1,1’,1’’,2 凸部
101 筐体
103 第一の搬送室
112 第一のウエハ移載機
121 第二の搬送室
122,123 予備室
200 ウエハ
201 処理室
202 処理炉
207 ヒータ
217 サセプタ
223 チャンバ
256 挿通孔
Claims (3)
- 基板を処理する処理室と、
処理室内で基板を支持する支持体と、
基板を加熱するヒータとを有する基板処理装置において、
前記支持体の基板載置面には複数の凸部が設けられるとともに、中心部に設けられた凸部の表面の面積が、他の凸部の表面の面積よりも大きいことを特徴とする基板処理装置。 - 基板を処理する処理室と、
処理室内で基板を支持する支持体と、
基板を加熱するヒータとを有する基板処理装置において、
前記支持体の基板載置面には複数の凸部が格子状に設けられるとともに、最外周の凸部は基板と同心円状に配置されることを特徴とする基板処理装置。 - 基板を処理室内に搬入する工程と、
基板載置面に複数の凸部が設けられるとともに中心部に設けられた凸部の表面の面積が他の凸部の表面の面積よりも大きい支持体により基板を支持する工程と、前記処理室内で前記支持体により基板を支持した状態で、基板を処理する工程と、処理後の基板を処理室から搬出する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003202759A JP2005050841A (ja) | 2003-07-29 | 2003-07-29 | 基板処理装置および半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005050841A true JP2005050841A (ja) | 2005-02-24 |
Family
ID=34262345
Family Applications (1)
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JP2003202759A Withdrawn JP2005050841A (ja) | 2003-07-29 | 2003-07-29 | 基板処理装置および半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009028458A1 (ja) * | 2007-08-28 | 2009-03-05 | Tokyo Electron Limited | 載置台構造及び処理装置 |
US9570328B2 (en) | 2010-06-30 | 2017-02-14 | Applied Materials, Inc. | Substrate support for use with multi-zonal heating sources |
WO2021120189A1 (zh) * | 2019-12-20 | 2021-06-24 | 苏州晶湛半导体有限公司 | 一种晶圆承载盘及化学气相淀积设备 |
-
2003
- 2003-07-29 JP JP2003202759A patent/JP2005050841A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009028458A1 (ja) * | 2007-08-28 | 2009-03-05 | Tokyo Electron Limited | 載置台構造及び処理装置 |
JP2009054871A (ja) * | 2007-08-28 | 2009-03-12 | Tokyo Electron Ltd | 載置台構造及び処理装置 |
US9570328B2 (en) | 2010-06-30 | 2017-02-14 | Applied Materials, Inc. | Substrate support for use with multi-zonal heating sources |
WO2021120189A1 (zh) * | 2019-12-20 | 2021-06-24 | 苏州晶湛半导体有限公司 | 一种晶圆承载盘及化学气相淀积设备 |
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CN114761615B (zh) * | 2019-12-20 | 2024-07-05 | 苏州晶湛半导体有限公司 | 一种晶圆承载盘及化学气相淀积设备 |
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