JP2005049021A - ペースト材料の乾燥方法および乾燥装置 - Google Patents
ペースト材料の乾燥方法および乾燥装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005049021A JP2005049021A JP2003281623A JP2003281623A JP2005049021A JP 2005049021 A JP2005049021 A JP 2005049021A JP 2003281623 A JP2003281623 A JP 2003281623A JP 2003281623 A JP2003281623 A JP 2003281623A JP 2005049021 A JP2005049021 A JP 2005049021A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- paste material
- temperature
- air
- drying
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Abstract
【解決手段】基板2と対向するように設けた、複数に分離したヒーター22を有する加熱手段20と、加熱手段20の背面側に設けた給気手段40と、基板2面より少なくとも上方に設けた排気口50aを有する排気手段50とを備え、給気は、給気手段40から、加熱手段20が有する分離したヒーター22の間を通過した後、基板2に向けて吹き付けるように行い、また、排気は、排気口50aを通じて排気手段50により行うように構成することで、基板2を全面均一となるように加熱すると同時に、前記基板2面に向けて吹き付けるように空気を供給し、そして、基板2面より少なくとも上方から排気するようにする。
【選択図】図1
Description
2001 FPDテクノロジー大全、株式会社電子ジャーナル 刊、2000年10月25日、p669
2 基板
10 炉室
10a、10b、10c 炉室
20 加熱手段
22(22a、22b、22c) ヒーター
30 搬送手段
40 給気手段
50 排気手段
50a 排気口
Claims (2)
- 基板上に塗布したペースト材料を乾燥する際、前記基板を全面均一となるように加熱すると同時に、前記基板面に向けて吹き付けるように空気を供給し、そして、基板面より少なくとも上方から排気することを特徴とするペースト材料の乾燥方法。
- 基板上に塗布したペースト材料を乾燥する乾燥装置であって、基板と対向するように設けた、複数に分離したヒーターを有する加熱手段と、加熱手段の背面側に設けた給気手段と、基板面より少なくとも上方に設けた排気口を有する排気手段とを備え、給気は、給気手段から、加熱手段が有する分離したヒーターの間を通過した後、基板に向けて吹き付けるように行い、また、排気は、排気口を通じて排気手段により行うように構成したことを特徴とするペースト材料の乾燥装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003281623A JP4120522B2 (ja) | 2003-07-29 | 2003-07-29 | ペースト材料の乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003281623A JP4120522B2 (ja) | 2003-07-29 | 2003-07-29 | ペースト材料の乾燥装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005049021A true JP2005049021A (ja) | 2005-02-24 |
JP4120522B2 JP4120522B2 (ja) | 2008-07-16 |
Family
ID=34267069
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003281623A Expired - Fee Related JP4120522B2 (ja) | 2003-07-29 | 2003-07-29 | ペースト材料の乾燥装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4120522B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011068013A1 (ja) * | 2009-12-02 | 2011-06-09 | シャープ株式会社 | インク乾燥装置 |
JP2014181889A (ja) * | 2013-03-21 | 2014-09-29 | Dainippon Printing Co Ltd | 空気流処理装置 |
CN105880128A (zh) * | 2016-06-15 | 2016-08-24 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种用于显示面板制程的烘烤设备 |
JP2018124027A (ja) * | 2017-02-03 | 2018-08-09 | 幸代 野阪 | 高濃度塗工機用乾燥装置及び乾燥方法 |
JP2019163931A (ja) * | 2015-03-26 | 2019-09-26 | 日本碍子株式会社 | 乾燥方法、セラミックス部品の製造方法、及び乾燥システム |
CN115265148B (zh) * | 2022-07-28 | 2023-07-07 | 江苏龙恒新能源有限公司 | 一种异质结太阳能电池烘干装置 |
-
2003
- 2003-07-29 JP JP2003281623A patent/JP4120522B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011068013A1 (ja) * | 2009-12-02 | 2011-06-09 | シャープ株式会社 | インク乾燥装置 |
JP2014181889A (ja) * | 2013-03-21 | 2014-09-29 | Dainippon Printing Co Ltd | 空気流処理装置 |
JP2019163931A (ja) * | 2015-03-26 | 2019-09-26 | 日本碍子株式会社 | 乾燥方法、セラミックス部品の製造方法、及び乾燥システム |
CN105880128A (zh) * | 2016-06-15 | 2016-08-24 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种用于显示面板制程的烘烤设备 |
JP2018124027A (ja) * | 2017-02-03 | 2018-08-09 | 幸代 野阪 | 高濃度塗工機用乾燥装置及び乾燥方法 |
CN115265148B (zh) * | 2022-07-28 | 2023-07-07 | 江苏龙恒新能源有限公司 | 一种异质结太阳能电池烘干装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4120522B2 (ja) | 2008-07-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3833439B2 (ja) | 大型基板用多段加熱炉、及び両面加熱式遠赤外線パネルヒーター、並びに該加熱炉内の給排気方法 | |
TWI400418B (zh) | Heat treatment apparatus and heat treatment method | |
TWI780650B (zh) | 燒爐之冷卻腔室中的光退火 | |
US7943886B2 (en) | Heat treatment apparatus | |
WO2015024339A1 (zh) | 基板干燥装置及基板清洗*** | |
US20080014543A1 (en) | Heating treatment method and apparatus | |
JP4120522B2 (ja) | ペースト材料の乾燥装置 | |
US20030118966A1 (en) | Thermal treatment apparatus | |
KR20160074155A (ko) | 롤투롤 슬롯다이 코팅장치 | |
JP2008224192A (ja) | 連続式焼成炉 | |
JP2011066318A (ja) | 熱処理装置 | |
JP4120521B2 (ja) | ペースト材料の乾燥装置 | |
JP2006292327A (ja) | 乾燥装置 | |
JP2002162162A (ja) | 乾燥装置 | |
KR100816350B1 (ko) | 열처리 장치 | |
JP2007225233A (ja) | 板材の加熱方法および加熱装置並びに板材を加熱するための保持装置 | |
JP4233350B2 (ja) | 膜形成素材を含む基板の乾燥方法及び乾燥炉 | |
JP5428811B2 (ja) | 基板乾燥方法、基板乾燥装置、基板の製造方法、及びフラットパネルディスプレイ | |
JP2006292328A (ja) | 乾燥装置 | |
JP2004044985A (ja) | 連続乾燥装置 | |
JP2005114284A (ja) | 焼成炉 | |
JP2001208475A (ja) | 炉体内部に排気ダクトを有する乾燥炉 | |
JP2003322474A (ja) | 熱処理炉の給気管及び排気口 | |
JP2003077398A (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法およびそのための炉設備 | |
JPH10284831A (ja) | リフローはんだ付け装置の熱風吹出板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060602 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Effective date: 20060712 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070831 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20071113 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20080111 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Effective date: 20080401 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080414 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 3 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110509 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110509 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120509 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 5 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130509 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |