JP2005048971A

JP2005048971A - Clean bench

Info

Publication number: JP2005048971A
Application number: JP2003203015A
Authority: JP
Inventors: Yuichi Anezaki; 裕一姉崎; Teruo Igarashi; 輝雄五十嵐; Shigehito Seki; 繁仁関
Original assignee: Alps Electric Co Ltd
Current assignee: Alps Alpine Co Ltd
Priority date: 2003-07-29
Filing date: 2003-07-29
Publication date: 2005-02-24

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a clean bench capable of being arbitrarily installed with a simple structure, and achieving environment of high cleanliness even when it is installed under comparatively dirty environment. SOLUTION: An approximately cubic working space 15 is defined from an opening 13 toward the inside of a casing 11. An approximately cubic lower space 17 is defined from a lower opening 14 toward the inside of the casing 11. A front cover 18 for covering the opening 13, is formed at a front side of the working space 15. The front cover 18 is made out of, for example, a transparent resin sheet, and kept in a state of being bent into the V-shaped cross-sectional shape projecting into the working space 15 from the opening 13 by a cross bar 19. The front cover 18 may be formed in a state of projecting into the working space 15 from the opening 13 by using a hard glass plate and the like without forming the cross bar 19. COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、区画された空間内を清浄な環境に保つクリーンベンチに関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、半導体等を製造するクリーンルームでは、ＨＥＰＡフィルター等を備えた空気浄化装置を通して清浄化された、極めて塵の少ない空気を通気口から送り出すことで、クリーンルーム内を高度な清浄環境に保っている。こうしたクリーンルームの設置は、建築物全体や仕切られたフロアに除塵装置やダクトを設計、設置していく大規模な工事を伴う。
【０００３】
このような大規模な設置工事を行わずに、限定された範囲を簡易的に清浄環境に保つ手段として、例えば、通常の環境の室内に設置して使用するクリーンベンチが知られている。こうしたクリーンベンチは、例えば幅１ｍ、高さ２ｍほどの大きさのベンチ内に除塵フィルタなどを収納したクリーンユニットを備え、除塵した空気をクリーンベンチの浄化エリア内に送り込んで、この浄化エリア内だけを清浄に保つものである。（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００１−１４１２７３号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したようなクリーンベンチは、ある程度清浄な環境に設置しなければ、クリーンベンチの浄化エリア内は十分な清浄環境が得られないという課題があった。例えば、従来のクリーンベンチを製造現場などミストが多い環境に設置して使用すると、浄化エリア内は所定の清浄レベルに達しないことも多い。
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、簡易な構造で自在に設置可能であり、かつ比較的汚れた環境下に設置しても高い清浄度の環境を得ることが可能なクリーンベンチを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明によれば、筐体の中央に区画され内部が除塵された雰囲気に保たれる作業空間と、前記作業空間の上部に配置され作業空間の上部から除塵された空気を作業空間に送り込む除塵ユニットと、前記作業空間の前面に形成され作業空間の下部に一定の隙間を開け、中央部が前記作業空間内に張り出すように屈曲しつつ前面を覆う前面カバーと、前記作業空間の下部に区画され作業空間の空気が流入する整流空間と、前記整流空間と前記除塵ユニットとの間で空気を流通可能に連結する還流ダクトと、外気を整流空間または還流ダクトに導入する吸気部とを備えたことを特徴とするクリーンベンチが提供される。
【０００８】
このようなクリーンベンチによれば、簡易な構成でありながら、作業空間内を高い清浄度に維持することが可能なクリーンベンチを実現することができる。また、作業空間の下部に一定の隙間を開けた状態においても作業空間内を高い清浄度に維持できるので、作業性の極めて高いクリーンベンチを実現することができる。そして、前記作業空間の前面を覆う前面カバーを中央部が前記作業空間内に張り出すように屈曲させることで、クリーンベンチで作業を行う作業者は、前面カバーの屈曲部分から作業空間全体を見下ろすように観察することができる。このため、作業者は作業空間を容易に観察して効率的に作業を行うことが可能になる。
【０００９】
前記前面カバーの先端側には、前記隙間の間隔を調節可能なスカート部が形成されていればよい。こうしたスカート部によって隙間の間隔を自在に調節することができ、クリーンベンチで作業を行う作業者の腕部を作業空間内に挿入することが可能になるとともに、作業時の隙間の間隔を最小限にとどめて外気の作業空間内への侵入を抑えることができる。また、スカート部を柔軟な材料で形成すれば、隙間を閉じつつ作業者が腕部だけを作業空間内に挿入して作業を行うことができる。
【００１０】
前記作業空間の前面側開口の下端縁には前記筐体の前面から斜め下方に向けて突出する庇板を更に備えていてもよい。こうした庇板は隙間から流出する空気の流れを形成し、隙間から外気が多量に侵入することを防止して作業空間の清浄度を維持する。
【００１１】
前記整流空間の前面側には、前記整流空間と区画され、前面側が開放された下部空間が形成されているのが好ましい。こうした下部空間は、クリーンベンチの前面に座って作業を行う作業者の脚部を収容して、クリーンベンチの作業者の作業性を高める役割を果たす。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は、本発明のクリーンベンチの外観斜視図であり、図２はその断面図である。クリーンベンチ１は、樹脂や金属で形成された、例えば幅１ｍ、高さ２ｍほど筐体１１を備えている。筐体１１は、両側の側壁１１Ａ，１１Ａと、天井板１１Ｂと、側壁１１Ａ，１１Ａの前面上部ならびに天井板１１Ｂに接続された前面壁１１Ｃと、背面板１１Ｄとからなる箱型に形成され、その前面側Ｆの中ほどに開口１３が形成されている。また、筐体１１において、開口１３の下側には、下部開口１４が形成されている。筐体１１の開口１３の上部には、クリーンベンチ１のメインスイッチなどが収まったスイッチ盤２が設けられている。
【００１３】
開口１３からは筐体１１の内部に向けて略立方体の作業空間１５が区画されている。また、下部開口１４からは筐体１１の内部に向けて略立方体の下部空間１７が区画されている。作業空間１５の前面側には、開口１３を覆う前面カバー１８が形成されている。前面カバー１８は、例えば透明な樹脂シートあるいは樹脂パネルからなり、横断棒１９によって開口１３から作業空間１５内に張り出すように断面くの字形状に屈曲した形態に保たれる。なお、こうした前面カバー１８は、横断棒１９を形成せずに硬質なガラス板等を用いて、開口１３から作業空間１５内に張り出すように形成しても良い。
【００１４】
前面カバー１８の下端と開口１３の下端縁との間には、一定間隔の隙間２１が形成されている。この隙間２１は作業空間１５内と外気との間で空気の流通を可能にする。前面カバー１８の下端側には、隙間２１の間隔を調節可能なスカート部１８ａが形成されている。こうした前面カバー１８のスカート部１８ａを上昇させて隙間２１の間隔を広げることによって、クリーンベンチ１で作業を行う作業者Ｐの腕部を作業空間１５内に挿入することが可能になるとともに、作業時の隙間２１の高さを最小限にとどめることができる。
【００１５】
開口１３の下端縁には筐体１１の前面側から斜め下方に向けて突出するように庇板２２が形成されている。庇板２２は隙間２１から流出する空気の流れを整流する。これにより隙間２１付近で乱気流の発生が抑えられ、隙間２１から外気が侵入しにくくなる。
【００１６】
作業空間１５の下面には、多数の通気孔２３ａが形成された金属板、パンチングメタルなどからなる通気板２３が取り付けられている。そして、作業空間１５の下側には、この通気板２３を介して整流空間２４が区画されている。通気板２３は、作業空間１５に各種基材や装置を載置する底板であるとともに、作業空間１５と整流空間２４との間で空気の流通を可能にする。こうした通気板２３は、作業空間１５の隙間２１から背面側Ｂに向けて後退した位置に形成されている。通気板２３を隙間２１から後退させて形成することによって、隙間２１から通気板２３を介して整流空間２４に向けて多量の外気がダイレクトに侵入するのを防止する。
【００１７】
下部開口１４から奥に向けて広がる下部空間１７は、例えば、クリーンベンチ１の前面に座って作業を行う作業者Ｐの脚部を収容して、作業性を高める役割を果たす。こうした下部空間１７の奥側に、整流空間２４に面して形成され作業空間１５の下方に吸気部２５を形成すると、吸気部２５の外部は作業空間１５の隙間から排出されて流下した空気により、一般的な外気よりは清浄な空気となっている。そこで、整流空間２４内への塵の吸入が少ないと考えられる。
【００１８】
こうした吸気部２５には、第２補助フィルタ２６が取り付けられている。第２補助フィルタ２６は、外気に含まれる比較的粒径の大きい塵を捕獲して、一定レベルのクリーン度を満たした空気を整流空間２４内に導入する役割を果たす。このような第２補助フィルタ２６で、比較的粒径の大きい塵を取り除いた外気を整流空間２４内に導入することによって、後述する除塵ユニット３２の第１補助フィルタ３４の通気性を高め、寿命を延ばすことができる。第２補助フィルタ２６は、例えば、５μｍ以上の大きな塵の侵入を防止できるように、３００メッシュ以上、具体的には３００〜６００メッシュのフィルタを積層したものを使用すればよい。なお、本実施形態では整流空間２４に面して吸気部２５を形成したが、還流ダクト３０に面して背面板１１Ｄや天井板１１Ｂに設けてもよく、限定されるものではない。
【００１９】
通気板２３の底面側には、整流空間２４内に垂れ下がる整流板２７が形成されている。整流板２７は、例えばゴム板や樹脂板あるいは樹脂フィルムで形成されればよく、１枚〜複数枚設置されればよい。
【００２０】
作業空間１５の上部には、天板１２を介して除塵空間３１が区画されている。作業空間１５と除塵空間３１とを仕切る天板１２には多数の通気孔１２ａが形成されており、こうした天板１２を介して作業空間１５と除塵空間３１とは空気の流通が可能にされる。
【００２１】
筐体１１の背面側Ｂには、この除塵空間３１と整流空間２４との間で空気の流通を可能にする還流ダクト３０、筐体１１の背面板１１Ｄと側壁１１Ａ，１１Ａと天井板１１Ｂと作業空間１５の背板３７とに囲まれた形で形成されている。このような構成によって、除塵空間３１から作業空間１５を経て整流空間２４に達し、更に還流ダクト３０から除塵空間３１に戻る一連の空気の流通路が形成される。還流ダクト３０は、例えばその奥行きＤ１が、前述した整流板２７の先端と整流空間２４の底面２４ａとの間隔Ｄ２とほぼ同一なサイズに形成されるのが好ましい。Ｄ１とＤ２のサイズをほぼ同じにすることにより、移動する気流の速度がほぼ同じになり、空気の循環を安定化できるからである。
【００２２】
除塵空間３１には除塵ユニット３２が設置されている。除塵ユニット３２は、天板１２に形成された多数の通気孔１２ａを覆うように設置されており、例えばゴムパッキン等で天板１２に密着している。
【００２３】
除塵ユニット３２は、主除塵フィルタ３３、第１補助フィルタ３４、およびファン３５を備えてなる。第１補助フィルタ３４は、比較的粒径の大きい塵を捕獲して、一定レベルのクリーン度を満たした空気を主除塵フィルタ３３に導入する。こうした第１補助フィルタ３４は、例えば１立方フィート中に５万個の塵を９千個程度まで低減すればよい。第１補助フィルタ３４で比較的粒径の大きい塵を捕獲するプレフィルターの役割を果たすことによって、後述する主除塵フィルタ３３の目詰まりを軽減して主除塵フィルタ３３の寿命を延ばすことが可能になる。
【００２４】
主除塵フィルタ３３は、グラスウールを主材としたペーパー状のフィルタ、例えばＨＥＰＡ（ＨｉｇｈＥｆｆｉｃｉｅｎｃｙＰａｒｔｉｃｕｌａｔｅＡｉｒ）フィルタが好適に採用される。ＨＥＰＡフィルタは集塵効果を高めるために、広い表面積のものが屈曲されて収められており、慣性、拡散、衝突のフィルタ３作用により１μｍ以下の非常に微細な塵も捕捉することができる。
【００２５】
ファン３５は除塵空間３１内の空気を第１補助フィルタ３４から引き込んで主除塵フィルタ３３に送り込む役割を果たす。このような構成の除塵ユニット３２の下面からは、例えば１立方フィート中に微細な塵が１０個以下の清浄な空気が送り出され、天板１２を介した作業空間１５内は、クリーン度の目安であるクラス１０規格を満たした空間に保たれる。なお、主除塵フィルタ３３に用いられるフィルタ材は、前述したＨＥＰＡフィルタ以外にも、例えば、ＵＬＰＡ（ＵｌｔｒａＬｏｗＰａｒｔｉｃｕｌａｔｅＡｉｒ）フィルタなど、更に高性能な除塵性を発揮するフィルタを用いても良い。
【００２６】
作業空間１５の背面側Ｂには、作業空間１５と還流ダクト３０とを区画する背板３７が取り付けられている。この背板３７は例えば、透明な樹脂板で構成されていれば良い。そして還流ダクト３０のうち作業空間１５の上部に隣接する部分には、照明装置３８が設置されている。また、背板３７の底部側には、作業空間１５の底部から下方に向けて吊下するように仕切板３７Ａが形成され、この仕切板３７Ａの下端が後述する整流板２７の下端と略同一な高さにされている。
【００２７】
こうした照明装置３８は、透明な樹脂板で構成された背板３７を介して作業空間１５を明るく照明する。照明装置３８を還流ダクト３０内に設置して背板３７を介して作業空間１５を照明することによって、作業空間１５内に照明装置を設置した場合に生じる清浄な空気の乱流や塵の侵入を防止することが可能になる。
【００２８】
以上のような構成のクリーンベンチ１の空気の流れと、作用を詳述する。除塵空間３１内の空気は、ファン３５の回転によって除塵ユニット３２に導入され、第１補助フィルタ３４で１立方フィート中に９千個程度まで塵を除去される。第１補助フィルタ３４を経た空気は、続いて主除塵フィルタ３３に導入され、ここで１立方フィート中に１０個程度まで塵を除去される。
【００２９】
こうして、除塵ユニット３２からは１立方フィート中に１０個程度まで塵を除去された極めて清浄な空気が天板１２を介して作業空間１５に向けて送り出される。作業空間１５では、天板１２から通気板２３に向けて清浄な空気の流れが形成され、作業空間１５内は清浄度がクラス１０を満たす極めて塵の少ない環境に保たれる。なお、クリーンベンチ１の作業空間１５をクラス１０にするためには、運転開始後に直ちにクラス１０環境になるわけではなく、所定時間空気の循環、除塵を行った後に達成できるものである。また、作業空間１５をクラス１０にした後は、空気の循環、除塵を継続する限りクラス１０を保持できる。また、外気が、例えば０．５μｍの塵が多数存在する一般の環境においては、換気回数を多くしたほうが好ましい。例えば、６００回／１ｈ以上、好ましくは１０００回／１ｈ以上であると清浄度を保つのに効果がある。
【００３０】
こうした作業空間１５の開口１３を覆う前面カバー１８は、作業空間１５内に張り出すように断面くの字形状に屈曲した形態に保たれているので、クリーンベンチ１で作業を行う作業者Ｐは、前面カバー１８の屈曲部分から作業空間１５全体を見下ろすように観察することができる。このため、作業者Ｐは作業空間１５を容易に観察して効率的に作業を行うことが可能になる。
【００３１】
天板１２からの清浄な気流は、前面カバー１８の屈曲形状によって一旦、面密度が高くなるので風速が高まる。屈曲形状の頂点を回り込んだ清浄な空気流は、作業空間１５の下部の開口１３へ流れるようにすることができ、開口１３からの外気の侵入を少なくすることができる。前面カバー１８の屈曲形状により、清浄な空気流を作業空間１５に合わせて最適化することにより、作業空間１５内の清浄度を良好に維持することができる。また、開口１３の下端縁から斜め下方に向けて突出する庇板２２は、隙間２１から流出する空気の流れを整流し、隙間２１から外気が流出することによる乱流の発生を抑える。そこで、乱流による隙間２１から作業空間１５への外気の侵入を抑えることができる。
【００３２】
このように、屈曲した前面カバー１８と庇板２２によって、作業者Ｐが作業空間１５内で作業を行うための隙間２１が形成されていても、作業空間１５内は極めて清浄な環境に保たれる。また、通気板２３を作業空間１５の隙間２１から背面側Ｂに向けて後退した位置に形成することで、隙間２１から通気板２３を介して整流空間２４に向けて多量の外気がダイレクトに侵入して作業空間１５内の清浄度が低下するのを防止する。
【００３３】
作業空間１５内の空気は通気板２３を介して整流空間２４内に導入される。整流空間２４内に導入された空気は、整流板２７によって整流空間２４の底面付近まで下げられた後、還流ダクト３０から除塵空間３１に還流される。作業空間１５から流れ出た空気をこうした整流板２７で整流空間２４の底面付近まで下げることによって、整流空間２４の下部にある吸気部２５から第２補助フィルタ２６を介して除塵された外気を整流空間２４内の底部側に導入するための気流を形成することができる。
【００３４】
また、作業空間１５の隙間２１から外気が一部侵入することもあるが、侵入した外気を一旦整流空間２４の底面付近まで下げることによって、作業空間１５内の清浄度を効率よく上げることが可能になる。更に、整流板２７の先端と整流空間２４の底面との間隔Ｄ２と還流ダクト３０の直径Ｄ１とを同一なサイズに形成すれば、作業空間１５から流れ出て整流板２７を通過する空気と、吸気部２５から第２補助フィルタ２６を経て導入される外気とを同等の速度で還流ダクト３０に向けて送り出すことが可能になり、クリーンベンチ１内の循環を安定化させることができる。
【００３５】
こうして、整流空間２４から流れ出た空気は還流ダクト３０を介して再び除塵空間３１に導入される。このように、クリーンベンチ１内の空気は、適度に外気を導入しつつその殆どを還流する。これにより、除塵ユニット３２を動作させると作業空間１５内を短時間で極めて高い清浄度の環境にすることができる。
【００３６】
【実施例】
本出願人は、上述したような構成のクリーンベンチの機能を検証した。検証にあたって上述した実施形態と同様の構成のクリーンベンチを準備した。まず、本発明のクリーンベンチの浄化性能を検証するために、外気の塵の数をパーティクルカウンターを用いて測定した。その結果、０．５μｍ平均の塵が２００００〜２５０００（パーティクル／１立方フィート）存在することがわかった。
【００３７】
次に、図３に示すように、クリーンベンチ１の作業空間１５内に１２箇所の測定点Ａ〜Ｍを設定し、それぞれの測定点における塵の数をパーティクルカウンターを用いて測定した。検証に用いたクリーンベンチ１のサイズは、高さ２．０ｍ，幅１．３ｍ，奥行き０．８ｍであり、作業空間１５は高さ０．６ｍ，幅１．２ｍ，奥行き０．５ｍである。作業空間１５の底部から整流空間２４に向けて２枚の整流板２７を吊下して設け、図２に示すＤ１＝Ｄ２を２０ｃｍとした。除塵ユニット３２では第１補助フィルタ３４には３００メッシュのフィルタを使用し、第２補助フィルタ２６には３００メッシュのフィルタを使用した。また、換気回数は１８００回／ｈとした。
【００３８】
測定点ＡおよびＣは通気板２３の両側端から１０ｃｍ，前端から１５ｃｍの位置で通気板２３上に測定点を設定した。測定点ＤおよびＦは通気板２３の両側端から１０ｃｍ，後端から１０ｃｍの位置で通気板２３上に測定点を設定した。測定点ＢおよびＥは通気板２３上で測定点Ａ−Ｃの中間点，測定点Ｄ−Ｆの中間点にそれぞれ設定した。また、測定点Ｇ〜Ｍは、測定点Ａ〜Ｆのそれぞれの測定点から２５ｃｍ高い位置（通気板２３上面から２５ｃｍ高い位置）にそれぞれ設定した。
【００３９】
これらの測定点Ａ〜Ｍで０．５μｍ平均の塵の数をパーティクルカウンターを用いてカウントした。以下、表１に測定点Ａ〜Ｍにおける０．５μｍ平均の塵の数を測定した結果を示す。
【００４０】
【表１】

【００４１】
表１〜１２に示す各測定点Ａ〜Ｍでの塵の数の測定結果から、本発明のクリーンベンチは、作業空間１５の全域にわたって、クリーンルームの規格レベルでクラス１０を充分に満たす極めて高清浄な環境を実現していることを示している。本発明のクリーンベンチによれば、簡易な構造で極めて高清浄な環境を得ることができることが実証された。
【００４２】
続いて、本発明のクリーンベンチにおける前面カバー１８の下端と開口１３の下端縁との隙間２１のサイズと作業空間１５の清浄度との関係を検証した。検証にあたって上述した実施形態と同様の構成のクリーンベンチを準備し、隙間２１の間隔ｔをそれぞれ０ｃｍ，１５ｃｍ，２０ｃｍ，２３ｃｍ，３３ｃｍに設定して、前述した測定点Ｂの位置で作業空間１５の清浄度を測定した。測定は、上述したそれぞれのサイズの隙間２１での測定点Ｂの位置における粒径が０．５μｍ平均の塵の数（１立方フィートあたりのパーティクル数：パーティクル／１ＣＦ）をパーティクルカウンターを用いてカウントした。
【００４３】
図４にそれぞれの隙間の間隔ｔでの塵の数を測定した結果を折れ線グラフで示す。図４に示す測定結果によれば、隙間を２３ｃｍ程度開けても塵の数は最大でも平均０．６７個程度であり、作業空間１５内はクリーンルームの規格レベルでクラス１０を満たす極めて高清浄な環境を実現していることを示している。隙間を２３ｃｍ程度開けることができれば、作業者は腕部を作業空間１５内に挿入して自在に作業することができ、高い清浄度と極めて操作性の良いクリーンベンチが得られることが実証された。
【００４４】
更に、本発明のクリーンベンチにおける整流空間２４内に形成された整流板２７（図２参照）の機能を検証した。検証にあたって上述した実施形態と同様の構成のクリーンベンチを準備し、整流板２７を設けた場合と、整流板２７を撤去した場合での、測定点Ｂの位置における作業空間１５の清浄度を測定した。
【００４５】
図５，６に整流板２７を設けた場合と整流板２７を撤去した場合での、測定点Ｂの位置における粒径が０．５μｍ平均の塵の数の平均（１立方フィートあたりのパーティクル数：パーティクル／１ＣＦ）を棒グラフで示す。図５，６によれば、整流板２７を設けた場合は、作業空間１５内の塵の数の平均は最大でも９個以下であることは明らかで、これは、クリーンルームの規格レベルでクラス１０を満たす極めて高清浄な環境を実現していることを示している。
【００４６】
一方、整流板２７を設けない場合でも、作業空間１５内の塵の数の平均は９個以内であることは明らかで、クラス１０を達成しているが、整流板２７がある場合に比べて塵の検出頻度が増えている。以上の結果より、本発明のクリーンベンチの整流板２７は、作業空間１５内の清浄度の向上に効果があることが検証された。
【００４７】
なお、上述した実施形態においては、前面カバー１８を作業空間１５内に向けて屈曲させているが、もちろんこれに限定されるものではなく、作業空間の前面側の開口を覆う平板状の前面カバーであってもよい。また、上述した実施形態においては、除塵ユニット３２の主除塵フィルタ３３による除塵の前段階として第１および第２の補助フィルタを用いているが、もちろんこれに限定されるものではなく、各フィルタの除塵性能に応じて補助フィルタの有無および数は適宜選択されれば良い。
【００４８】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明のクリーンベンチによれば、簡易な構成でありながら、作業空間内を高い清浄度に維持することが可能なクリーンベンチを実現することができる。また、作業空間の下部に一定の隙間を開けた状態においても作業空間内を高い清浄度に維持できるので、作業性の極めて高いクリーンベンチを実現することができる。
【００４９】
そして、前記作業空間の前面を覆う前面カバーを中央部が前記作業空間内に張り出すように屈曲させることで、清浄な気流の風速が一旦高められ、屈曲形状の頂点を回り込んだ清浄な空気流を作業空間の下部の開口へ流れるようにすることができる。これにより開口からの外気の侵入を少なくすることができる。また、前面カバーの屈曲形状により、クリーンベンチで作業を行う作業者は、前面カバーの屈曲部分から作業空間全体を見下ろすように観察することができるため、作業者は作業空間を容易に観察して効率的に作業を行うことも可能になる。
【００５０】
前記前面カバーの先端側には、前記隙間の間隔を調節可能な回動部が形成されていればよい。こうした回動部によって隙間の間隔を自在に調節することができ、クリーンベンチで作業を行う作業者の腕部を作業空間内に挿入することが可能になるとともに、作業時の隙間の間隔を最小限にとどめて外気の作業空間内への侵入を抑えることができる。
【００５１】
前記作業空間の底面には、作業空間の前面より下方に傾斜して突出する庇板を更に備えていてもよい。こうした庇板は隙間から流出する空気の流れを形成し、隙間から外気が多量に侵入することを防止して作業空間の清浄度を維持する。
【００５２】
前記整流空間の前面側には、前記整流空間と区画され、前面側が開放された下部空間が形成されているのが好ましい。こうした下部空間は、クリーンベンチの前面に座って作業を行う作業者の脚部を収容して、クリーンベンチの作業者の作業性を高める役割を果たす。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明のクリーンベンチを示す外観斜視図である。
【図２】図２は、図１のクリーンベンチを示す断面図である。
【図３】図３は、本発明の検証にあたっての測定点を示す説明図である。
【図４】図４は、本発明の検証結果を示すグラフである。
【図５】図５は、本発明の検証結果を示すグラフである。
【図６】図６は、本発明の検証結果を示すグラフである。
【符号の説明】
１クリーンベンチ
１１筐体
１３開口
１５作業空間
１７下部空間
１８前面カバー
１８ａスカート部
２２庇板
２４整流空間
２５吸気部
２６第２補助フィルタ
２７整流板
３０還流ダクト
３２除塵ユニット
３３主除塵フィルタ
３４第１補助フィルタ
３７背板
３８照明装置[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a clean bench that keeps a partitioned space in a clean environment.
[0002]
[Prior art]
For example, in a clean room for manufacturing semiconductors and the like, the clean room is kept in a highly clean environment by sending out air with very little dust, which has been cleaned through an air purifying apparatus equipped with a HEPA filter, from the vent. The installation of such a clean room involves a large-scale construction in which dust removing devices and ducts are designed and installed on the entire building or on a partitioned floor.
[0003]
As a means for easily maintaining a limited range in a clean environment without performing such a large-scale installation work, for example, a clean bench that is installed and used in a room in a normal environment is known. Such a clean bench is equipped with a clean unit containing a dust filter, etc. in a bench with a width of about 1m and a height of about 2m, for example. To keep it clean. (For example, refer to Patent Document 1).
[0004]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Laid-Open No. 2001-141273
[Problems to be solved by the invention]
However, the clean bench as described above has a problem in that a sufficient clean environment cannot be obtained in the clean area of the clean bench unless it is installed in a clean environment to some extent. For example, if a conventional clean bench is installed and used in an environment with a lot of mist, such as a manufacturing site, the purification area often does not reach a predetermined clean level.
[0006]
The present invention has been made in view of the above circumstances, and can be freely installed with a simple structure, and can provide a high clean environment even when installed in a relatively dirty environment. The purpose is to provide a clean bench.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, according to the present invention, a work space that is partitioned in the center of the housing and maintained in a dust-removed atmosphere, and dust is removed from the upper portion of the work space that is disposed above the work space. A dust removing unit for sending the air to the working space, and a front surface which is formed on the front surface of the working space, opens a certain gap at the lower portion of the working space, and bends so that the central portion protrudes into the working space. A cover, a rectifying space that is partitioned at a lower portion of the work space, into which air in the work space flows, a recirculation duct that allows air to flow between the rectification space and the dust removal unit, and a rectification space or a recirculation of outside air There is provided a clean bench characterized by including an air intake portion to be introduced into a duct.
[0008]
According to such a clean bench, it is possible to realize a clean bench capable of maintaining a high degree of cleanliness in the work space while having a simple configuration. In addition, even in a state where a certain gap is opened at the lower part of the work space, the work space can be maintained at a high cleanliness, so that a clean bench with extremely high workability can be realized. Then, the front cover that covers the front surface of the work space is bent so that the center portion protrudes into the work space, so that an operator working on the clean bench looks down at the entire work space from the bent portion of the front cover. Can be observed. For this reason, the operator can easily observe the work space and perform work efficiently.
[0009]
A skirt portion capable of adjusting the gap interval may be formed on the front end side of the front cover. These skirts allow the gap spacing to be freely adjusted, allowing the arm of a worker working on a clean bench to be inserted into the work space and minimizing gap spacing during work. It is possible to suppress the entry of outside air into the work space. Further, if the skirt portion is formed of a flexible material, the operator can work by inserting only the arm portion into the work space while closing the gap.
[0010]
A lower end edge of the front side opening of the work space may further include a gutter that projects obliquely downward from the front surface of the housing. Such a saddle plate forms a flow of air flowing out from the gap, and prevents a large amount of outside air from entering through the gap to maintain the cleanliness of the work space.
[0011]
It is preferable that a lower space that is partitioned from the rectifying space and open on the front side is formed on the front side of the rectifying space. Such a lower space accommodates the legs of workers who work while sitting on the front surface of the clean bench, and plays a role of improving the workability of the workers of the clean bench.
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is an external perspective view of the clean bench of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view thereof. The clean bench 1 includes a housing 11 made of resin or metal, for example, having a width of 1 m and a height of 2 m. The housing 11 is formed in a box shape including

side walls

11A and 11A on both sides, a ceiling plate 11B, a front upper portion of the

side walls

11A and 11A, a front wall 11C connected to the ceiling plate 11B, and a back plate 11D. An opening 13 is formed in the middle of the front side F. In the housing 11, a lower opening 14 is formed below the opening 13. A switch panel 2 in which a main switch of the clean bench 1 and the like are accommodated is provided on the upper portion of the opening 13 of the housing 11.
[0013]
A substantially cubic work space 15 is partitioned from the opening 13 toward the inside of the housing 11. A substantially cubic lower space 17 is defined from the lower opening 14 toward the inside of the housing 11. A front cover 18 that covers the opening 13 is formed on the front side of the work space 15. The front cover 18 is made of, for example, a transparent resin sheet or resin panel, and is kept in a bent shape in a cross-sectional shape so as to protrude from the opening 13 into the work space 15 by a cross bar 19. The front cover 18 may be formed so as to protrude from the opening 13 into the work space 15 by using a hard glass plate or the like without forming the cross bar 19.
[0014]
A gap 21 with a constant interval is formed between the lower end of the front cover 18 and the lower end edge of the opening 13. The gap 21 enables air to flow between the work space 15 and the outside air. On the lower end side of the front cover 18, a skirt portion 18 a that can adjust the gap 21 is formed. By raising the skirt portion 18a of the front cover 18 to widen the gap 21, the arm portion of the worker P who works on the clean bench 1 can be inserted into the work space 15, and the work can be performed. The height of the gap 21 can be kept to a minimum.
[0015]
A gutter plate 22 is formed on the lower end edge of the opening 13 so as to protrude obliquely downward from the front side of the housing 11. The gutter plate 22 rectifies the flow of air flowing out from the gap 21. Thereby, generation | occurrence | production of turbulence is suppressed in the gap 21 vicinity, and it becomes difficult for outside air to penetrate | invade from the gap 21. FIG.
[0016]
On the lower surface of the work space 15, a ventilation plate 23 made of a metal plate having a number of ventilation holes 23 a, punching metal, or the like is attached. A rectifying space 24 is defined under the work space 15 via the ventilation plate 23. The ventilation plate 23 is a bottom plate on which various base materials and devices are placed in the work space 15, and enables air to flow between the work space 15 and the rectifying space 24. Such a ventilation plate 23 is formed at a position retracted from the gap 21 of the work space 15 toward the back side B. By forming the ventilation plate 23 by retreating from the gap 21, a large amount of outside air is prevented from directly entering the rectifying space 24 through the ventilation plate 23 from the gap 21.
[0017]
The lower space 17 extending from the lower opening 14 toward the back side, for example, accommodates the legs of the worker P who sits on the front surface of the clean bench 1 and performs work and plays a role of improving workability. When the intake portion 25 is formed on the back side of the lower space 17 so as to face the rectifying space 24 and below the work space 15, the outside of the intake portion 25 is exhausted from the clearance of the work space 15 and flows down. The air is cleaner than general outside air. Therefore, it is considered that the amount of dust sucked into the rectifying space 24 is small.
[0018]
A second auxiliary filter 26 is attached to the intake portion 25. The second auxiliary filter 26 plays a role of capturing dust having a relatively large particle diameter contained in the outside air and introducing air that satisfies a certain level of cleanness into the rectifying space 24. By introducing the outside air from which dust having a relatively large particle diameter has been removed with such a second auxiliary filter 26 into the rectifying space 24, the air permeability of the first auxiliary filter 34 of the dust removal unit 32 described later is improved, and the service life is increased. Can be extended. As the second auxiliary filter 26, for example, a filter in which filters of 300 mesh or more, specifically, 300 to 600 mesh are stacked may be used so that large dust of 5 μm or more can be prevented from entering. In the present embodiment, the air intake portion 25 is formed facing the rectifying space 24. However, the air intake portion 25 may be provided on the back plate 11D and the ceiling plate 11B so as to face the reflux duct 30 and is not limited.
[0019]
On the bottom surface side of the ventilation plate 23, a rectifying plate 27 that hangs down in the rectifying space 24 is formed. The rectifying plate 27 may be formed of, for example, a rubber plate, a resin plate, or a resin film, and may be one or more.
[0020]
A dust removal space 31 is defined in the upper part of the work space 15 via the top plate 12. A large number of air holes 12a are formed in the top plate 12 that partitions the work space 15 and the dust removal space 31, and air can flow between the work space 15 and the dust removal space 31 through the top plate 12. .
[0021]
On the back side B of the housing 11, a reflux duct 30 that enables air to flow between the dust removal space 31 and the rectifying space 24, a back plate 11 D of the housing 11, side walls 11 A and 11 A, and a ceiling plate 11 B It is formed in a shape surrounded by the back plate 37 of the work space 15. With such a configuration, a series of air flow paths from the dust removal space 31 to the rectifying space 24 through the work space 15 and returning from the reflux duct 30 to the dust removal space 31 are formed. The reflux duct 30 is preferably formed such that the depth D1 thereof is substantially the same as the distance D2 between the tip of the rectifying plate 27 and the bottom surface 24a of the rectifying space 24 described above. This is because by making the sizes of D1 and D2 substantially the same, the speed of the moving air flow becomes substantially the same, and the air circulation can be stabilized.
[0022]
A dust removal unit 32 is installed in the dust removal space 31. The dust removal unit 32 is installed so as to cover a large number of ventilation holes 12a formed in the top plate 12, and is in close contact with the top plate 12 by rubber packing or the like, for example.
[0023]
The dust removal unit 32 includes a main dust removal filter 33, a first auxiliary filter 34, and a fan 35. The first auxiliary filter 34 captures dust having a relatively large particle diameter, and introduces air that satisfies a certain level of cleanness into the main dust removal filter 33. For example, the first auxiliary filter 34 may reduce 50,000 dusts to about 9,000 per cubic foot. By playing the role of a pre-filter that captures dust having a relatively large particle size by the first auxiliary filter 34, it is possible to reduce clogging of the main dust filter 33 described later and extend the life of the main dust filter 33. Become.
[0024]
As the main dust removal filter 33, a paper-like filter whose main material is glass wool, for example, a HEPA (High Efficiency Particulate Air) filter is suitably employed. In order to enhance the dust collection effect, the HEPA filter has a large surface area bent and accommodated, and can capture very fine dust of 1 μm or less by the action of the filter 3 of inertia, diffusion, and collision.
[0025]
The fan 35 plays a role of drawing the air in the dust removal space 31 from the first auxiliary filter 34 and sending it to the main dust removal filter 33. From the lower surface of the dust removal unit 32 having such a configuration, for example, clean air with 10 or less fine dusts is sent out in one cubic foot, and the work space 15 through the top 12 is an indication of cleanliness. It is kept in a space satisfying the class 10 standard. The filter material used for the main dust removal filter 33 may be a filter that exhibits higher performance dust removal, such as an ULPA (Ultra Low Particulate Air) filter, in addition to the HEPA filter described above.
[0026]
A back plate 37 that divides the work space 15 and the reflux duct 30 is attached to the back surface B of the work space 15. This back plate 37 should just be comprised with the transparent resin board, for example. A lighting device 38 is installed in a portion of the reflux duct 30 adjacent to the upper portion of the work space 15. A partition plate 37A is formed on the bottom side of the back plate 37 so as to hang downward from the bottom of the work space 15, and the lower end of the partition plate 37A is substantially the same as the lower end of the rectifying plate 27 described later. It is made to the height.
[0027]
Such an illuminating device 38 illuminates the work space 15 brightly via a back plate 37 made of a transparent resin plate. By installing the lighting device 38 in the reflux duct 30 and illuminating the work space 15 via the back plate 37, clean air turbulence or dust intrusion that occurs when the lighting device is installed in the work space 15 is provided. Can be prevented.
[0028]
The air flow and action of the clean bench 1 configured as described above will be described in detail. The air in the dust removal space 31 is introduced into the dust removal unit 32 by the rotation of the fan 35, and the first auxiliary filter 34 removes up to about 9,000 dust in one cubic foot. The air that has passed through the first auxiliary filter 34 is then introduced into the main dust removal filter 33, where up to about 10 dusts are removed per cubic foot.
[0029]
Thus, extremely clean air from which dust has been removed up to about 10 pieces per cubic foot is sent out from the dust removal unit 32 toward the work space 15 through the top plate 12. In the work space 15, a clean air flow is formed from the top plate 12 toward the ventilation plate 23, and the work space 15 is kept in an extremely dust-free environment that satisfies the class 10 cleanliness. In order to set the work space 15 of the clean bench 1 to class 10, it does not become a class 10 environment immediately after the start of operation, but can be achieved after air circulation and dust removal for a predetermined time. Further, after the working space 15 is set to class 10, the class 10 can be maintained as long as air circulation and dust removal are continued. Further, in a general environment where the outside air has many dusts of, for example, 0.5 μm, it is preferable to increase the number of ventilations. For example, if it is 600 times / 1h or more, preferably 1000 times / 1h or more, it is effective for maintaining the cleanliness.
[0030]
Since the front cover 18 that covers the opening 13 of the work space 15 is kept in a bent shape in a cross-sectional shape so as to project into the work space 15, the worker P who works on the clean bench 1 The entire work space 15 can be observed from the bent portion of the front cover 18. For this reason, the worker P can easily observe the work space 15 and work efficiently.
[0031]
Since the clean airflow from the top plate 12 is once increased in surface density due to the bent shape of the front cover 18, the wind speed is increased. A clean air flow that wraps around the apex of the bent shape can flow to the opening 13 in the lower part of the work space 15, and the intrusion of outside air from the opening 13 can be reduced. By optimizing the clean air flow according to the work space 15 by the bent shape of the front cover 18, the cleanliness in the work space 15 can be maintained well. Further, the gutter plate 22 projecting obliquely downward from the lower end edge of the opening 13 rectifies the flow of air flowing out from the gap 21 and suppresses the occurrence of turbulent flow due to the outside air flowing out from the gap 21. Therefore, it is possible to suppress the entry of outside air from the gap 21 due to the turbulent flow into the work space 15.
[0032]
Thus, even if the gap 21 for the worker P to work in the work space 15 is formed by the bent front cover 18 and the saddle plate 22, the work space 15 is kept in a very clean environment. It is. Further, by forming the ventilation plate 23 at a position retracted from the gap 21 of the work space 15 toward the rear side B, a large amount of outside air directly enters the rectifying space 24 from the gap 21 through the ventilation plate 23. Thus, the cleanliness in the work space 15 is prevented from being lowered.
[0033]
Air in the work space 15 is introduced into the rectifying space 24 through the ventilation plate 23. The air introduced into the rectifying space 24 is lowered to the vicinity of the bottom surface of the rectifying space 24 by the rectifying plate 27 and then returned to the dust removing space 31 from the reflux duct 30. The air flowing out from the work space 15 is lowered to the vicinity of the bottom surface of the rectifying space 24 by such a rectifying plate 27, whereby the outside air removed from the intake air portion 25 below the rectifying space 24 through the second auxiliary filter 26 is rectified space. The airflow for introducing into the bottom side in 24 can be formed.
[0034]
In addition, some of the outside air may enter through the gap 21 of the work space 15, but the cleanliness in the work space 15 can be efficiently increased by once lowering the entered outside air to near the bottom surface of the rectifying space 24. become. Furthermore, if the distance D2 between the tip of the rectifying plate 27 and the bottom surface of the rectifying space 24 and the diameter D1 of the reflux duct 30 are formed to the same size, the air flowing out of the work space 15 and passing through the rectifying plate 27, and the intake air The outside air introduced from the section 25 via the second auxiliary filter 26 can be sent out toward the reflux duct 30 at an equivalent speed, and the circulation in the clean bench 1 can be stabilized.
[0035]
Thus, the air flowing out of the rectifying space 24 is again introduced into the dust removing space 31 through the reflux duct 30. Thus, most of the air in the clean bench 1 circulates while appropriately introducing outside air. Thereby, if the dust removal unit 32 is operated, the inside of the work space 15 can be made into an extremely high clean environment in a short time.
[0036]
【Example】
The present applicant verified the function of the clean bench configured as described above. For the verification, a clean bench having the same configuration as that of the above-described embodiment was prepared. First, in order to verify the purification performance of the clean bench of the present invention, the number of outside air dust was measured using a particle counter. As a result, it was found that 0.5 μm average dust was present in the range of 20000 to 25000 (particles / 1 cubic foot).
[0037]
Next, as shown in FIG. 3, 12 measurement points A to M were set in the work space 15 of the clean bench 1, and the number of dusts at each measurement point was measured using a particle counter. The size of the clean bench 1 used for verification is 2.0 m in height, 1.3 m in width, and 0.8 m in depth, and the work space 15 is 0.6 m in height, 1.2 m in width, and 0.5 m in depth. . Two rectifying plates 27 are suspended from the bottom of the work space 15 toward the rectifying space 24, and D1 = D2 shown in FIG. In the dust removal unit 32, a 300 mesh filter is used for the first auxiliary filter 34, and a 300 mesh filter is used for the second auxiliary filter 26. The number of ventilations was 1800 times / h.
[0038]
The measurement points A and C were set on the ventilation plate 23 at positions 10 cm from both sides of the

ventilation plate

23 and 15 cm from the front end. The measurement points D and F were set on the ventilation plate 23 at positions 10 cm from both ends of the

ventilation plate

23 and 10 cm from the rear end. The measurement points B and E were set on the vent plate 23 as an intermediate point between the measurement points AC and an intermediate point between the measurement points DF, respectively. Further, the measurement points G to M were respectively set at positions 25 cm higher than the measurement points A to F (positions 25 cm higher from the upper surface of the ventilation plate 23).
[0039]
At these measurement points A to M, the number of 0.5 μm average dust was counted using a particle counter. Table 1 shows the results of measuring the number of 0.5 μm average dust at the measurement points A to M.
[0040]
[Table 1]

[0041]
From the measurement results of the number of dusts at each of the measurement points A to M shown in Tables 1 to 12, the clean bench of the present invention is extremely highly clean that sufficiently satisfies Class 10 at the standard level of the clean room over the entire work space 15. It shows that the real environment is realized. According to the clean bench of the present invention, it was proved that an extremely clean environment can be obtained with a simple structure.
[0042]
Subsequently, the relationship between the size of the gap 21 between the lower end of the front cover 18 and the lower end edge of the opening 13 and the cleanliness of the work space 15 in the clean bench of the present invention was verified. In the verification, a clean bench having the same configuration as that of the above-described embodiment is prepared, and the intervals t of the gaps 21 are set to 0 cm, 15 cm, 20 cm, 23 cm, and 33 cm, respectively. Cleanliness was measured. In the measurement, the number of dust particles having an average particle diameter of 0.5 μm at the measurement point B in the gap 21 of each size described above (number of particles per cubic foot: particles / 1 CF) is counted using a particle counter. did.
[0043]
FIG. 4 is a line graph showing the results of measuring the number of dusts at each gap interval t. According to the measurement results shown in FIG. 4, even if the gap is about 23 cm, the maximum number of dust is about 0.67, and the inside of the work space 15 is extremely clean and satisfies Class 10 at the clean room standard level. It shows that the environment is realized. If the gap can be opened by about 23 cm, the operator can freely insert the arm portion into the work space 15 to work, and it has been demonstrated that a clean bench with high cleanliness and extremely good operability can be obtained. .
[0044]
Furthermore, the function of the rectifying plate 27 (see FIG. 2) formed in the rectifying space 24 in the clean bench of the present invention was verified. In the verification, a clean bench having the same configuration as that of the above-described embodiment is prepared, and the cleanliness of the work space 15 at the measurement point B is measured when the rectifying plate 27 is provided and when the rectifying plate 27 is removed. did.
[0045]
5 and 6, when the rectifying plate 27 is provided and when the rectifying plate 27 is removed, the average number of dust particles having a particle diameter of 0.5 μm at the position of the measurement point B (number of particles per cubic foot) : Particle / 1CF) is shown by a bar graph. According to FIGS. 5 and 6, when the current plate 27 is provided, it is clear that the average number of dust in the work space 15 is 9 or less at the maximum, which is class 10 at the standard level of the clean room. It shows that an extremely clean environment that satisfies the above conditions has been realized.
[0046]
On the other hand, even when the rectifying plate 27 is not provided, it is clear that the average number of dusts in the work space 15 is 9 or less and achieves class 10, but compared with the case where the rectifying plate 27 is provided. The frequency of detecting dust is increasing. From the above results, it was verified that the rectifying plate 27 of the clean bench of the present invention is effective in improving the cleanliness in the work space 15.
[0047]
In the above-described embodiment, the front cover 18 is bent toward the work space 15. However, the present invention is not limited to this, and a flat front cover that covers the opening on the front side of the work space is of course not limited thereto. It may be. In the above-described embodiment, the first and second auxiliary filters are used as the previous stage of dust removal by the main dust removal filter 33 of the dust removal unit 32. Of course, the first and second auxiliary filters are not limited to this. The presence and number of auxiliary filters may be appropriately selected according to the dust removal performance.
[0048]
【The invention's effect】
As described above in detail, according to the clean bench of the present invention, it is possible to realize a clean bench capable of maintaining a high cleanliness in the work space while having a simple configuration. In addition, even in a state where a certain gap is opened at the lower part of the work space, the work space can be maintained at a high cleanliness, so that a clean bench with extremely high workability can be realized.
[0049]
Then, the front cover that covers the front surface of the work space is bent so that the central portion projects into the work space, so that the air velocity of the clean airflow is once increased, and the clean air that wraps around the apex of the bent shape The flow can flow to an opening at the bottom of the work space. Thereby, the intrusion of outside air from the opening can be reduced. Also, the bent shape of the front cover allows an operator working on the clean bench to observe the entire work space from the bent part of the front cover, so that the operator can easily observe the work space. It also becomes possible to work efficiently.
[0050]
It is only necessary to form a turning part capable of adjusting the gap interval on the front end side of the front cover. With this rotating part, the gap interval can be adjusted freely, so that the arm of the worker who works on the clean bench can be inserted into the work space, and the gap interval during work is minimized. It is possible to limit the entry of outside air into the work space.
[0051]
The bottom surface of the work space may further include a gutter plate that is inclined and projects downward from the front surface of the work space. Such a saddle plate forms a flow of air flowing out from the gap, and prevents a large amount of outside air from entering through the gap to maintain the cleanliness of the work space.
[0052]
It is preferable that a lower space that is partitioned from the rectifying space and open on the front side is formed on the front side of the rectifying space. Such a lower space accommodates the legs of workers who work while sitting on the front surface of the clean bench, and plays a role of improving the workability of the workers of the clean bench.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an external perspective view showing a clean bench of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view showing the clean bench shown in FIG. 1;
FIG. 3 is an explanatory diagram showing measurement points in verification of the present invention.
FIG. 4 is a graph showing a verification result of the present invention.
FIG. 5 is a graph showing a verification result of the present invention.
FIG. 6 is a graph showing a verification result of the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Clean bench 11 Housing | casing 13 Opening 15 Work space 17 Lower space 18 Front cover 18a Skirt part 22 Cover plate 24 Rectification space 25 Intake part 26 2nd auxiliary filter 27 Rectification plate 30 Reflux duct 32 Dust removal unit 33 Main dust removal filter 34 1st Auxiliary filter 37 Back plate 38 Illumination device

Claims

筐体の中央に区画され内部が除塵された雰囲気に保たれる作業空間と、前記作業空間の上部に配置され作業空間の上部から除塵された空気を作業空間に送り込む除塵ユニットと、前記作業空間の前面に形成され作業空間の下部に一定の隙間を開け、中央部が前記作業空間内に張り出すように屈曲しつつ前面を覆う前面カバーと、前記作業空間の下部に区画され作業空間の空気が流入する整流空間と、前記整流空間と前記除塵ユニットとの間で空気を流通可能に連結する還流ダクトと、外気を整流空間または還流ダクトに導入する吸気部とを備えたことを特徴とするクリーンベンチ。A work space that is partitioned in the center of the housing and maintained in a dust-removed atmosphere; a dust removal unit that is disposed in an upper portion of the work space and that feeds air removed from the upper portion of the work space; and the work space A front cover that covers the front surface while being bent so that a central portion protrudes into the work space, and is divided into a lower portion of the work space. Rectifying space into which air flows, a recirculation duct that connects air between the rectification space and the dust removal unit so as to be able to circulate, and an intake section that introduces outside air into the rectification space or the recirculation duct. Clean bench.

前記前面カバーの先端側には、前記隙間の間隔を調節可能なスカート部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のクリーンベンチ。2. The clean bench according to claim 1, wherein a skirt portion capable of adjusting an interval of the gap is formed on a front end side of the front cover.

前記作業空間の前面側開口の下端縁には前記筐体の前面から斜め下方に向けて突出する庇板を備えたことを特徴とする請求項１または２に記載のクリーンベンチ。The clean bench according to claim 1 or 2, further comprising a saddle plate projecting obliquely downward from a front surface of the housing at a lower end edge of the front side opening of the work space.

前記整流空間の前面側には、前記整流空間と区画され、前面側が開放された下部空間が形成されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載のクリーンベンチ。The clean bench according to any one of claims 1 to 3, wherein a lower space that is partitioned from the rectifying space and open on the front side is formed on a front side of the rectifying space.