JP2005039898A

JP2005039898A - リニアモータ用固定子およびリニアモータ

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Publication number: JP2005039898A
Application number: JP2003197934A
Authority: JP
Inventors: Hideki Takigawa; 秀記瀧川; Hiromi Ito; 浩美伊藤; Kenji Mimura; 研史三村; Osao Yashiro; 長生八代; Michio Nakamoto; 道夫中本; Michio Ogawa; 道雄小川
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 2003-07-16
Filing date: 2003-07-16
Publication date: 2005-02-10
Anticipated expiration: 2023-07-16
Also published as: JP3876856B2

Abstract

【課題】永久磁石を搭載する金属板および封止樹脂の厚さが薄くても、永久磁石を搭載する金属板の可動子が移動する方向の長さが長くても、反りが小さくて、平面性に優れたリニアモータ用固定子と、この固定子を用いたリニアモータとを得る。
【解決手段】金属板と、この金属板の表面に、間隔をあけて、且つ交互に磁極が異なるようにして平行に並べられ、固定された複数の永久磁石と、この永久磁石間に並設されたブロックと、上記永久磁石とブロックとを封止する樹脂とを備えたリニアモータ用固定子であって、上記ブロックに、上記ブロックの上記永久磁石に対向する方向での縦弾性係数が上記封止樹脂硬化物の縦弾性係数より大きく、且つ上記ブロックの上記永久磁石に対向する方向での線膨張係数が上記封止樹脂硬化物の線膨張係数より大きいものを用いる。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、リニアモータ用固定子、特に、金属板に複数の永久磁石が配列されたリニアモータ用固定子と、この固定子を用いたリニアモータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のリニアモータにおける固定子は、複数の永久磁石が、交互に磁極が異なるようにして平行に並べ、且つ所定の間隔をあけて金属平板上に固定された構造をしている。これら永久磁石の金属平板への固定には、接着剤が用いられ、さらに接着された永久磁石の周縁がモールド樹脂でモールドされている（例えば、特許文献１参照）。
また、従来のリニアモータ用固定子では、リニアモータの組み立て時や使用時において、金属平板表面上に突出している永久磁石の破損を防止するため、樹脂で封止されている。
【０００３】
【特許文献】
特開２００２−３６９４９０号公報（第２−３頁、第２図）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
リニアモータは、高精度の位置決め装置に使用されており、リニアモータ用固定子には高い平面度が要求される。しかし、リニアモータ用固定子を形成する、金属板と永久磁石と封止樹脂とは線膨張係数が異なるので、金属板上に永久磁石を固定し、この金属板上の永久磁石を加熱硬化型の樹脂で封止した場合、リニアモータ用固定子を封止樹脂の硬化温度から室温に戻す時に反りが発生する。
しかも、リニアモータの小形化・軽量化を実現するため、永久磁石を搭載する金属板および封止樹脂の厚さが薄くなってきており、また、リニアモータの生産性向上のため、金属板になるべく多数の永久磁石を搭載する必要があり、リニアモータ用固定子に用いる金属板の可動子が移動する方向の長さが長くなってきており、リニアモータ用固定子の反りが大きくなるとの問題があった。
【０００５】
この発明は、上述のような課題を解決するためになされたものであり、その目的は、永久磁石を搭載する金属板および封止樹脂の厚さが薄くても、永久磁石を搭載する金属板の可動子が移動する方向の長さが長くても、反りが小さくて、平面性に優れたリニアモータ用固定子と、この固定子を用いたリニアモータとを得るものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この発明のリニアモータ用固定子は、金属板と、この金属板の同じ表面に、間隔をあけて、且つ交互に磁極が異なるようにして平行に並べられ、固定された複数の永久磁石と、この永久磁石間に並設されたブロックと、上記金属板表面に設けられ且つ上記永久磁石と上記ブロックとを封止する樹脂とを備えたリニアモータ用固定子であって、上記ブロックが、上記ブロックの上記永久磁石に対向する方向での縦弾性係数が上記封止樹脂硬化物の縦弾性係数より大きく、且つ上記ブロックの上記永久磁石に対向する方向での線膨張係数が上記封止樹脂硬化物の線膨張係数より大きいものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
図１は、この発明の実施の形態１におけるリニアモータ用固定子の横断面模式図（ａ）および上面模式図（ｂ）である。上面模式図（ｂ）には、封止樹脂の一部が取り除かれ、金属板と永久磁石とブロックとが見える状態も示している。
図１に示すように、リニアモータ用固定子（固定子と略記する）１は、長尺の金属板２と、この金属板２の表面に設けられた永久磁石３とブロック４と封止樹脂５とから形成されている。
永久磁石３は、金属板２の長手方向に対して略垂直な方向に沿って複数のものが、交互に磁極が異なるようにして平行に並べられ、且つ所定の間隔をあけて金属板２に設けられている。ブロック４は、永久磁石３と略同じ長さを有した細長いものであり、隣接する永久磁石間の全ての個所に、永久磁石３と略平行に設けられている。封止樹脂５は、永久磁石３と、ブロック４と、永久磁石３とブロック４とが設けられた金属板２の表面とを、覆うようにして設けられている。
そして、固定子１は、単独または必要に応じて長手方向に接続して複数で用いられる。
【０００８】
本実施の形態で用いられる金属板２としては、加工性、入手性の点から、例えば鋼板が挙げられる。
本実施の形態で用いられる永久磁石３としては、例えば、ネオジ磁石、フェライト磁石が挙げられが、磁力が強いものであれば、特にこれらに限定されるものではない。
本実施の形態で用いられる封止樹脂５としては、例えば、シリカ等の無機充填剤を含有した液状樹脂が挙げられ、特に、耐熱性、絶縁性、機械特性の点から、液状樹脂としてはエポキシ樹脂が好ましい。
【０００９】
本実施の形態で用いられるブッロク４は、ブロック４の永久磁石３に対向する方向（Ｘ方向と記す）の縦弾性係数（Ｅ_ｘ）が硬化した封止樹脂５の縦弾性係数（Ｅ_ｒ）より大きく、ブロック４のＸ方向の線膨張係数（α_ｘ）が硬化した封止樹脂５の線膨張係数（α_ｒ）より大きなブロックである。
ブロック４として、具体的には、亜鉛やアルミニウム等の金属、樹脂を織布や不織布で強化した繊維強化樹脂積層体（積層体と略記する）が用いられる。
上記積層体に用いられる樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、不飽和ポリエステル樹脂等の熱硬化性樹脂、または、ポリアミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂等の熱可塑性樹脂が挙げられる。積層体に用いられる織布や不織布としては、ガラス繊維やシリカ繊維等の無機繊維、アラミド繊維等の有機繊維および炭素繊維の織布や不織布が挙げられる。
本実施の形態では、上記積層体は、図２に示すように、その積層面がＸ方向に向くようにして金属板２に取り付けられることにより、ブロック４として用いられる。
【００１０】
本実施の形態における固定子１は、金属板２に、複数の永久磁石３を所定の間隔をあけて接着剤を用いて接着し、隣接する永久磁石３間にブロック４を接着剤で接着する。この時、接着剤を永久磁石３およびブロック４の接合面に塗布して、金属板２に接着しても良く、また、金属板２に接着剤を塗布して、永久磁石３とブロック４とを所定の位置に接着しても良い。接着剤の塗布は、例えばロールコータ法等が用いられる。
永久磁石３とブロック４とを金属板２に固定するための接着剤が硬化した後、永久磁石３とブロック４とが固定された金属板２を型に設置し、この型に樹脂を注入し、注入樹脂を加熱硬化して、永久磁石３とブロック４と金属板２の表面とを封止することにより、固定子１を製造する。封止樹脂の注入は、注形法であっても、トランスファー成形法であっても良い。
【００１１】
固定子１を、このような構造にすることにより、金属板２と封止樹脂５の厚さが薄く、金属板２の長手方向の長さが長くても、反りが小さく、平面性が優れ、多数の永久磁石３が搭載できる固定子１が実現でき、小形・軽量で、生産性に優れたリニアモータ用固定子が得られる。
【００１２】
実施の形態２
図３は、この発明の実施の形態２におけるリニアモータ用固定子の横断面模式図（ａ）および上面模式図（ｂ）である。上面模式図（ｂ）には、封止樹脂の一部が取り除かれ、金属板と永久磁石とブロックとが見える状態も示している。
図３に示すように、本実施の形態の固定子１は、永久磁石３間に設けるブロックの全てが、実施の形態１で用いたブロック４ではなく、実施の形態１で用いたブロック４と同様な、ブロックのＸ方向の縦弾性係数（Ｅ_Ｘ１）が硬化後の封止樹脂の縦弾性係数（Ｅ_ｒ）より大きく、ブロックのＸ方向の線膨張係数（α_Ｘ１）が硬化後の封止樹脂の線膨張係数（α_ｒ）より大きい第１のブロック４ａと、ブロックのＸ方向の縦弾性係数（Ｅ_Ｘ２）が硬化後の封止樹脂の縦弾性係数（Ｅ_ｒ）より大きく、ブロックのＸ方向の線膨張係数（α_Ｘ２）が硬化後の封止樹脂の線膨張係数（α_ｒ）より小さい第２のブロック４ｂとを併用するものであり、これ以外は実施の形態１と同様な固定子１である。
【００１３】
第１のブロック４ａと第２のブロック４ｂとを併用すると、反りに加えうねりも小さくなり平面性が向上する。第１のブロック４ａと第２のブロック４ｂとの使用割合は特に限定されないが、第２のブロック４ｂが数量割合で５０％以下の場合にうねりが小さくなり、第２のブロック４ｂの使用割合が４０〜５０％において、特にうねりが小さくなる。
【００１４】
第１のブロック４ａとしては、実施の形態１のブロック４に用いたものと同様なものであり、実施の形態１のブロック４と同様にして用いられる。
第２のブロック４ｂとしては、炭素鋼等の金属、アルミナ、シリカ等の無機材料、樹脂を織布や不織布で強化した積層体が用いられる。
上記積層体に用いられる樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、不飽和ポリエステル樹脂等の熱硬化性樹脂、または、ポリアミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂等の熱可塑性樹脂が挙げられる。積層体に用いられる織布や不織布としては、ガラス繊維やシリカ繊維等の無機繊維、アラミド繊維等の有機繊維および炭素繊維の織布や不織布が挙げられる。
本実施の形態では、上記積層体は、図４に示すように、その積層面が金属板２と平行で、Ｘ方向とも平行に金属板２に取り付けられるか、または、図５に示すように、その積層面が金属板２と垂直で、Ｘ方向とは平行に金属板２に取り付けられることにより、第２のブロック４ｂとして用いられる。
【００１５】
本実施の形態の固定子１は、金属板２と封止樹脂５との厚さが薄く、金属板２の長手方向の長さが長くても、反りとうねりとが小さく、平面性に優れ、多数の永久磁石３が搭載できる固定子１が実現でき、小形・軽量で、生産性に優れたリニアモータ用固定子が得られる。
【００１６】
実施の形態３．
図６は、この発明の実施の形態３におけるリニアモータ用固定子の横断面模式図（ａ）および上面模式図（ｂ）である。上面模式図（ｂ）には、封止樹脂の一部が取り除かれ、金属板と永久磁石とブロックとが見える状態も示している。
図６に示すように、本実施の形態の固定子１は、実施の形態１で用いたのと同様なブロック４を、永久磁石３間の全ての個所に設けるのではなく、永久磁石３間の一部の個所に設けたものであり、これ以外は実施の形態１と同様な固定子１である。図６では、１つ置きの永久磁石間にブロック４が設けられているが、本実施の形態では、ブロック４を設ける個所は特に限定されない。
本実施の形態における固定子１も、金属板２と封止樹脂５との厚さが薄く、金属板２の長手方向の長さが長くても、実施の形態１の固定子１と同様、反りが小さく、平面性が優れており、多数の永久磁石３が搭載できる固定子１であり、小形・軽量で、生産性に優れたリニアモータ用固定子が得られる。
【００１７】
実施の形態４．
図７は、この発明の実施の形態４におけるリニアモータ用固定子の横断面模式図（ａ）および上面模式図（ｂ）である。上面模式図（ｂ）には、封止樹脂の一部が取り除かれ、金属板と永久磁石とブロックとが見える状態も示している。
図７に示すように、本実施の形態の固定子１は、実施の形態２で用いたのと同様な第１のブロック４ａと第２のブロック４ｂとを、永久磁石３間の全ての個所に設けるのではなく、永久磁石３間の一部の個所に設けたものであり、これ以外は実施の形態２と同様な固定子１である。図７では、１つ置きの永久磁石間に、第１のブロック４ａと第２のブロック４ｂとを交互に設けているが、本実施の形態では、第１のブロック４ａと第２のブロック４ｂとを設ける個所は特に限定されない。
本実施の形態における固定子１も、金属板２と封止樹脂５との厚さが薄く、金属板２の長手方向の長さが長くても、実施の形態２の固定子１と同様、反りが小さく、平面性が優れており、多数の永久磁石３が搭載できる固定子１であり、小形・軽量で、生産性に優れたリニアモータ用固定子が得られる。
【００１８】
実施の形態５．
図８は、この発明の実施の形態５におけるリニアモータの正面断面模式図である。
図８に示すように、本実施の形態のリニアモータ１０は、ステージ１１と、このステージ１１の表面中央に設けられた固定子１と、ステージ１１の両側端にステージ１１の長手方向に沿ってそれぞれ固定された左右一対のガイドレール１２と、この左右一対のガイドレール１２の表面に面接されてステージ１１の長手方向に沿ってスライドされる左右一対のスライドブロック１３と、この左右一対のスライドブロック１３の表面に固定される可動子１４とから構成されている。そして、可動子１４は、スライドブロック１３に接合する可動子本体１５と、この可動子本体１５の上記固定子１と対向する面の中央に、上記固定子１から所定の間隔を隔てて固定されたコイルユニット１６とからなる。
【００１９】
本実施の形態における固定子１には、実施の形態１ないし４のいずれかのリニアモータ用固定子が用いられる。
本実施の形態のリニアモータは、固定子が実施の形態１ないし４のいずれかのリニアモータ用固定子であるので、固定子１を構成する金属板２と封止樹脂５との厚さが薄くできるとともに、固定子１は反りやうねりが小さく平面性が優れているので、薄肉、長尺のリニアモータが実現できる。
【００２０】
【実施例】
次に、実施例を挙げて、本発明をさらに詳細に説明する。
【００２１】
実施例１．
リニアモータ用固定子１を構成する部材には、金属板２としてＳ４５Ｃ鋼板を、永久磁石３として、ネオジ磁石｛ＮＥＯＭＡＸ−４４Ｈ：住友特殊金属（株）製｝を、ブロック４として、ガラス強化エポキシ樹脂積層体｛ＭＥＬ−Ｅ−６７９：日立化成工業（株）製｝を、封止樹脂５として、エポキシモールド樹脂｛Ｖ−５５８：菱電化成（株）製｝を用いる。表１に金属板２と永久磁石３とブロック４との寸法を示す。
【００２２】
【表１】

【００２３】
リニアモータ用固定子１は以下のようにして作製される。４２個の永久磁石３を、金属板２の幅方向と平行にし、４ｍｍの間隔を設けて、金属板２に固定する。この時、両端にある永久磁石３は、金属板２の長手方向の各端部から２ｍｍの位置に設けられている。次に、４１個の隣接永久磁石間の全てに、ブロック４を永久磁石３と平行にして、金属板２に固定する。この時、ブロック４として用いたガラス強化エポキシ樹脂積層体は、図２に示すように積層面がブロック４の幅方向、すなわち永久磁石３と対向する方向（Ｘ方向）に向くように金属板２に固定される。永久磁石３およびブロック４の金属板２への固定は、接着剤を用い接着により行う。
次に、永久磁石３とブロック４とを設けた金属板２を、この金属板２の周囲を囲う金型内に入れ、この金型内に、永久磁石３の上面から０．５ｍｍの高さまで封止樹脂５である上記エポキシモールド樹脂を注入し、１２０℃で所定時間加熱して、上記エポキシモールド樹脂を硬化して、リニアモータ用固定子１を得る。
【００２４】
得られたリニアモータ用固定子１を２０℃で水平な定盤におき、定盤面と金属板２の下面との最大隙間を測定し、リニアモータ用固定子１の平面性を評価した。求められた最大隙間の値を、本実施例に用いた封止樹脂５の縦弾性係数（Ｅ_ｒ）と線膨張係数（α_ｒ）、および、ブロック４のＸ方向の縦弾性係数（Ｅ_Ｘ）と線膨張係数（α_Ｘ）とともに表２に示した。
【００２５】
実施例２〜３．
ブロック４として、亜鉛（実施例２）またはアルミニウム（実施例３）を用いた以外、実施例１と同様にして、リニアモータ用固定子１を得る。得られたリニアモータ用固定子１の平面性を実施例１と同様にして評価した。求められた最大隙間の値を、本実施例に用いた封止樹脂５の縦弾性係数（Ｅ_ｒ）と線膨張係数（α_ｒ）、および、ブロック４のＸ方向の縦弾性係数（Ｅ_Ｘ）と線膨張係数（α_Ｘ）とともに表２に示した。
【００２６】
実施例４．
実施例１に用いたブロックに替えて、実施例１と同じ材質のガラス強化エポキシ樹脂積層体であり、図２に示すように、積層面がブロックの幅方向、すなわちＸ方向に向くように金属板２に固定された第１のブロック４ａと、実施例１と同じ材質のガラス強化エポキシ樹脂積層体であり、図４に示すように、積層面がブロックの厚さ方向を向き、Ｘ方向と平行となるように金属板２に固定された第２のブロック４ｂとを、永久磁石３間に交互に設ける以外実施例１と同様にして、リニアモータ用固定子１を得る。得られたリニアモータ用固定子１の平面性を実施例１と同様にして評価した。求められた最大隙間の値と、本実施例で用いた封止樹脂５の縦弾性係数（Ｅ_ｒ）と線膨張係数（α_ｒ）、第１のブロック４ａのＸ方向の縦弾性係数（Ｅ_Ｘ１）と線膨張係数（α_Ｘ１）、第２のブロック４ｂのＸ方向の縦弾性係数（Ｅ_Ｘ２）と線膨張係数（α_Ｘ２）の各々とを表２に示した。
【００２７】
実施例５．
実施例１に用いたブロックに替えて、実施例１と同じ材質のガラス強化エポキシ樹脂積層体であり、図２に示すように、積層面がブロックの幅方向、すなわちＸ方向に向くように金属板２に固定された第１のブロック４ａと、実施例１と同じ材質のガラス強化エポキシ樹脂積層体であり、図５に示すように、積層面がブロックの長さ方向を向き、Ｘ方向と平行となるように金属板２に固定された第２のブロック４ｂとを、永久磁石３間に交互に設ける以外実施例１と同様にして、リニアモータ用固定子１を得る。得られたリニアモータ用固定子１の平面性を実施例１と同様にして評価した。求められた最大隙間の値と、本実施例で用いた封止樹脂５の縦弾性係数（Ｅ_ｒ）と線膨張係数（α_ｒ）、第１のブロック４ａのＸ方向の縦弾性係数（Ｅ_Ｘ１）と線膨張係数（α_Ｘ１）、第２のブロック４ｂのＸ方向の縦弾性係数（Ｅ_Ｘ２）と線膨張係数（α_Ｘ２）の各々とを表２に示した。
【００２８】
実施例６．
実施例１で用いたブロック４を、図６に示すように、１つ置きの永久磁石間に設けた以外実施例１と同様にして、リニアモータ用固定子１を得る。得られたリニアモータ用固定子１の平面性を実施例１と同様にして評価した。求められた最大隙間の値を、本実施例で用いた封止樹脂５の縦弾性係数（Ｅ_ｒ）と線膨張係数（α_ｒ）、および、ブロック４のＸ方向の縦弾性係数（Ｅ_Ｘ）と線膨張係数（α_Ｘ）とともに表２に示した。
【００２９】
実施例７．
実施例４で用いた第１のブロック４ａと第２のブロック４ｂとを、図７に示すように、１つ置きの永久磁石間に交互に設けた以外実施例４と同様にして、リニアモータ用固定子１を得る。得られたリニアモータ用固定子１の平面性を実施例１と同様にして評価した。求められた最大隙間の値と、本実施例で用いた封止樹脂５の縦弾性係数（Ｅ_ｒ）と線膨張係数（α_ｒ）、第１のブロック４ａのＸ方向の縦弾性係数（Ｅ_Ｘ１）と線膨張係数（α_Ｘ１）、第２のブロック４ｂのＸ方向の縦弾性係数（Ｅ_Ｘ２）と線膨張係数（α_Ｘ２）の各々とを表２に示した。
【００３０】
比較例１．
永久磁石間にブロックを設けなかった以外、実施例１と同様にして、リニアモータ用固定子１を得る。得られたリニアモータ用固定子１の平面性を実施例１と同様にして評価した。求められた最大隙間の値と本実施例に用いた封止樹脂５の縦弾性係数（Ｅ_ｒ）と線膨張係数（α_ｒ）とを表２に示した。
【００３１】
表２の実施例に示すように、永久磁石に対向する方向での縦弾性係数と線膨張係数とが上記のような特性であるブロックを永久磁石間に設けた、上記構成のリニアモータ用固定子は、表２に示す最大隙間の値が小さく、金属板および封止樹脂の厚さが薄く、薄肉で長さが長くても、反りやうねりが小さく平面性に優れたリニアモータ用固定子を得ることができる。これらのリニアモータ用固定子を用いると、薄肉で長尺のリニアモータが実現できる。
【００３２】
【表２】

【００３３】
【発明の効果】
この発明のリニアモータ用固定子は、金属板と、この金属板の同じ表面に、間隔をあけて、且つ交互に磁極が異なるようにして平行に並べられ、固定された複数の永久磁石と、この永久磁石間に並設されたブロックと、上記金属板表面に設けられ且つ上記永久磁石と上記ブロックとを封止する樹脂とを備えたリニアモータ用固定子であって、上記ブロックが、上記ブロックの上記永久磁石に対向する方向での縦弾性係数が上記封止樹脂硬化物の縦弾性係数より大きく、且つ上記ブロックの上記永久磁石に対向する方向での線膨張係数が上記封止樹脂硬化物の線膨張係数より大きいものであり、金属板および封止樹脂の厚さが薄く薄肉であるとともに、長さが長くても、反りやうねりが小さく平面性に優れたリニアモータ用固定子を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態１におけるリニアモータ用固定子の横断面模式図（ａ）および上面模式図（ｂ）である。
【図２】この発明の実施の形態１におけるリニアモータ用固定子のブロックとして、繊維強化樹脂積層体を用いた状態を示す図である。
【図３】この発明の実施の形態２におけるリニアモータ用固定子の横断面模式図（ａ）および上面模式図（ｂ）である。
【図４】この発明の実施の形態２におけるリニアモータ用固定子の第２のブロックとして、繊維強化樹脂積層体を積層面がＸ方向と金属板とに平行となるようにして用いた状態を示す図である。
【図５】この発明の実施の形態２におけるリニアモータ用固定子の第２のブロックとして、繊維強化樹脂積層体を積層面がＸ方向と平行で金属板に垂直となるようにして用いた状態を示す図である。
【図６】この発明の実施の形態３におけるリニアモータ用固定子の横断面模式図（ａ）および上面模式図（ｂ）である。
【図７】この発明の実施の形態４におけるリニアモータ用固定子の横断面模式図（ａ）および上面模式図（ｂ）である。
【図８】この発明の実施の形態５におけるリニアモータの正面断面模式図である。
【符号の説明】
１リニアモータ用固定子、２金属板、３永久磁石、４ブロック、４ａ第１のブロック、４ｂ第２のブロック、５封止樹脂、１０リニアモータ、１１ステージ、１２ガイドレール、１３スライドブロック、１４可動子、１５可動子本体、１６コイルユニット。

Claims

金属板と、この金属板の同じ表面に、間隔をあけて、且つ交互に磁極が異なるようにして平行に並べられ、固定された複数の永久磁石と、この永久磁石間に並設されたブロックと、上記金属板表面に設けられ且つ上記永久磁石と上記ブロックとを封止する樹脂とを備えたリニアモータ用固定子であって、上記ブロックが、上記ブロックの上記永久磁石に対向する方向での縦弾性係数が上記封止樹脂硬化物の縦弾性係数より大きく、且つ上記ブロックの上記永久磁石に対向する方向での線膨張係数が上記封止樹脂硬化物の線膨張係数より大きいものであるリニアモータ用固定子。
金属板と、この金属板の同じ表面に、間隔をあけて、且つ交互に磁極が異なるようにして平行に並べられ、固定された複数の永久磁石と、この永久磁石間に並設されたブロックと、上記金属板表面に設けられ且つ上記永久磁石と上記ブロックとを封止する樹脂とを備えたリニアモータ用固定子であって、上記ブロックが、上記ブロックの上記永久磁石に対向する方向での縦弾性係数が上記封止樹脂硬化物の縦弾性係数より大きく、且つ上記ブロックの上記永久磁石に対向する方向での線膨張係数が上記封止樹脂硬化物の線膨張係数より大きい第１のブロックと、上記ブロックの上記永久磁石に対向する方向での縦弾性係数が上記封止樹脂硬化物の縦弾性係数より大きく、且つ上記ブロックの上記永久磁石に対向する方向での線膨張係数が上記封止樹脂硬化物の線膨張係数より小さい第２のブロックとからなるリニアモータ用固定子。
隣接する永久磁石間の少なくとも１箇所が、封止樹脂のみが充填された部分であることを特徴とする請求項１または２に記載のリニアモータ用固定子。
ステージと、このステージに載置された請求項１ないし３のいずれかに記載のリニアモータ用固定子と、上記リニアモータ用固定子に対向し、上記ステージの長手方向に往復移動自在に配設された可動子とからなるリニアモータ。