JP2005031872A - Conveyance system and semiconductor manufacturing system - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、搬送技術に関し、特にホストシステムにオンライン接続されていない製造装置に対して自動搬送を実現する搬送システム、およびそれを用いた半導体製造システムに適用して有効な技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
本発明者が検討したところによれば、従来の搬送システムに関しては、以下のような技術が考えられる。
【0003】
たとえば、従来、製造工程内の自動搬送システムでは、搬送先または搬送元にあたる製造装置がオンラインでホストシステムに接続されていることが必要である。このホストシステムは、製造装置の稼働状態および製造装置のポートの状態を把握し、搬送システムに対して搬送指示を出す。
【0004】
このシステムでは、仮に同一エリアにホストシステムとオンライン接続されていない製造装置(オフライン装置)がある場合は、その装置を対象とした自動搬送ができないため、その装置に関しては人手による搬送(マニュアル搬送)を実施する必要がある。
【0005】
なお、このような搬送システムに関しては、たとえば特許文献1〜3に記載される技術などが挙げられる。特許文献1には、自動化されていない装置を集めて配置し、人手で装置コードを入力することにより搬送指示を可能にする技術が開示されている。また、特許文献2には、自動倉庫において、オフライン制御指示に基づいて搬送車を制御する技術が開示されている。さらに、特許文献3には、オンライン処理とオフライン処理を切り替える技術が開示されている。
【0006】
【特許文献1】
特開平9−6409号公報
【0007】
【特許文献2】
特開平5−69905号公報
【0008】
【特許文献3】
特開平9−181143号公報
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前記のような搬送システムの技術について、本発明者が検討した結果、以下のようなことが明らかとなった。
【0010】
たとえば、搬送車と人が混在可能なエリア(低速走行の搬送車による搬送エリアなど)では前述のような運用が可能であるが、たとえば高速走行する搬送車の場合、安全上の問題から搬送車と人の混在ができないことになり、オフライン装置に対する運搬ができなくなってしまう。あるいは、オフライン装置に対して人手搬送しようとすると、自動搬送システムを停止させなければならない。
【0011】
このように、自動搬送と人手搬送との混在を実現することは運用上の弊害があり、今後、ますます搬送時間の短縮や搬送の高速化が要求されてくる中で大きな障害となっている。このため、オンライン装置とオフライン装置が混在した製造エリアにおいて、運用を停止することのない自動搬送の運用を実現することが望まれている。
【0012】
なお、前記特許文献1の技術では、▲1▼オフラインの装置を集めて配置しないといけないため、オフライン装置を設置するためのまとまったエリアが必要となり、レイアウト上の制約が発生する。また、▲2▼オフライン装置への製品の搬送が直接できず、一旦、ストッカなどの受け渡し装置を経由してオフライン装置へ搬送することが必要になってしまう。このため、オフライン装置に対する搬送時間の増大や仕掛かり増加を招き、スループット・TATなどの生産効率の低下につながる。
【0013】
さらに、前記特許文献1の技術では、▲3▼オンライン装置に挟まれた立ち上げ中のオフライン装置、あるいは通常はオンラインだが一時的にオフラインに切り替えて処理が必要なオフライン装置(QCチェックや実験などのために一時的にオフラインに切り替えて処理が必要な装置など)に対して自動搬送ができない。また、▲3▼のケースでは、一時的に人手搬送をしなければならないほか、搬送エリアに人のアクセスができない高速走行の搬送システムの場合、その装置の周りのオンライン装置に対する自動搬送も継続することができなくなってしまう。
【0014】
また、前記特許文献2の技術では、無人搬送車とホストシステムとの間がオフラインの状態でも無人搬送ができることを開示したものであり、搬送車がオンラインの状態で、搬送先(搬送元)の装置がオンライン・オフラインの混在する状態の問題を解決するものではない。
【0015】
また、前記特許文献3の技術では、設備内部の搬送を想定した設備内部におけるオンライン・オフラインの搬送方式について開示したものであり、装置間の搬送における問題を解決するものではない。
【0016】
そこで、本発明の目的は、人が侵入できない搬送エリアにおいて、全ての製造装置に対して自動搬送を可能にして、人手搬送を排除でき、搬送時間の短縮、搬送人員の低減を図ることができる搬送技術を提供することにある。
【0017】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【0018】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
【0019】
本発明は、搬送を制御する制御手段と、この制御手段にオンライン接続されていない製造装置(オフライン装置)に被搬送体を搬送する搬送車と、この搬送車を駆動させるために制御手段に指示する指示手段とを有する搬送システムにおいて、制御手段は指示手段からの指示を受けて搬送車を駆動させ、搬送車はオフライン装置に対して被搬送体を自動的に搬送するものである。よって、オフライン装置に対して自動搬送を実現し、搬送車とオフライン装置の間は、制御手段を介したオンラインによる接続は必要なく、人による指示手段の操作で搬送システムに対して搬送指示を出すことができる。
【0020】
さらに、本発明の搬送システムにおいて、搬送車は、制御手段の制御により制御手段にオンライン接続されている製造装置(オンライン装置)に被搬送体を搬送するものであり、オフライン装置およびオンライン装置に対して、人手搬送を介さず、システムの切り替えや停止を伴わずに、被搬送体を自動的に搬送するものである。よって、オンライン装置とオフライン装置の混在したエリアで、オンライン装置への自動搬送とオフライン装置への自動搬送を、搬送システムの停止を伴わずに混用することができる。
【0021】
また、本発明は、前記搬送システムを用いた半導体製造システムに適用され、制御手段と搬送車と指示手段とを有する搬送システムと、搬送車により搬送および受け渡しを行う半導体ウェハに対して処理または検査を行う複数の製造装置とを有するものである。
【0022】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
【0023】
まず、図1により、本発明の一実施の形態の搬送システムの構成の一例を説明する。図1は、搬送システムの構成図を示す。
【0024】
本実施の形態の搬送システムは、複数の製造装置1と、これらの製造装置1間を結ぶ軌道2と、この軌道2に沿って駆動して製造装置1間で被搬送体を搬送する搬送車3と、この搬送車3の駆動を制御する搬送コントローラ4(制御手段:図2に図示)と、搬送車3を駆動させるために搬送コントローラ4に指示する装置端末5あるいはコントローラ端末6(指示手段:図2に図示)などを有して構成される。
【0025】
複数の製造装置1には、オンライン装置の製造装置1aと、オフライン装置の製造装置1bとが混在して配置されている。オンライン装置の製造装置1aは、後述するシステムのネットワークにオンライン接続されている装置である。一方、オフライン装置の製造装置1bは、オンライン接続されていない装置である。このオンライン接続とは、ネットワークを通じて電気的に接続され、このネットワークを通じて接続された互いの装置、コントローラやホストシステムが相互に通信が可能な状態であることを意味する。
【0026】
次に、図2により、本実施の形態の搬送システムを含む製造システムの構成の一例を説明する。図2は、前記図1の搬送システムに対応する製造システムの構成図を示す。
【0027】
本実施の形態の製造システムは、前述した複数の製造装置1と、これらの製造装置1の稼働を制御する設備コントローラ7と、前述した搬送車3と、この搬送車3の駆動を制御する搬送コントローラ4と、設備コントローラ7および搬送コントローラ4を含めて全体的に制御するホストシステム8などを有し、これらがネットワークを通じて電気的に接続されて構成されている。
【0028】
また、この製造システムにおいては、複数の製造装置1の近傍に、各製造装置1の稼働を指示するための装置端末5が配置されている。これらの各装置端末5は、ネットワークを通じて電気的に接続され、搬送車3を駆動させるために搬送コントローラ4に指示する機能も持っている。また、搬送コントローラ4の近傍にも、ネットワークを通じて電気的に接続されたコントローラ端末6が配置され、このコントローラ端末6からも搬送車3を駆動させるための指示を出すことが可能となっている。
【0029】
このような搬送システムを含む製造システムにおいて、前述したように、複数の製造装置1のうち、製造装置1aはオンライン接続されているので、この製造装置1aの稼働状態と搬送車3の駆動状態とを搬送コントローラ4が認識し、これらの状態に対応して搬送コントローラ4が搬送車3を駆動させる。よって、オンライン接続の製造装置1aに対しては、搬送コントローラ4の制御により、搬送車3は製造装置1aに被搬送体を自動的に搬送することができる。
【0030】
一方、製造装置1bは、オンライン接続されていないので、この製造装置1bの稼働状態を搬送コントローラ4が直接認識することができない。そこで、搬送コントローラ4は、装置端末5あるいはコントローラ端末6からの指示を受けて製造装置1bの稼働状態を認識して搬送車3を駆動させる。このように、オフライン接続の製造装置1bに対しては、装置端末5あるいはコントローラ端末6からの指示を受けてから、搬送コントローラ4の制御により、搬送車3が製造装置1bに対して被搬送体を自動的に搬送する方法が採られている。
【0031】
これにより、オンライン装置の製造装置1aとオフライン装置の製造装置1bが混在する製造システムにおいては、オンライン装置の製造装置1aおよびオフライン装置の製造装置1bに対して、人手搬送を介さず、システムの切り替えや停止を伴わずに、被搬送体を自動的に搬送することが可能となる。
【0032】
このような搬送システムを含む製造システムは、これに限定されるものではないが、たとえば一例として、半導体製造ラインの半導体製造システムに用いられる。
【0033】
この半導体製造システムには、前述した搬送車3と搬送コントローラ4と装置端末5あるいはコントローラ端末6とを有する搬送システムと、搬送車3により搬送および受け渡しを行う半導体ウェハ(被搬送体)に対して処理または検査を行う複数の製造装置1(1a,1b)などを有して構成される。
【0034】
このような半導体製造ラインでは、特に限定されるものではないが、各製造装置1がベイと呼ばれる装置群に分けられ、ベイ単位でクリーンルーム内に配置される。そのため、半導体ウェハの搬送システムにおいても、これに応じて、ベイ内搬送、ベイ間搬送、あるいはこれらを横断する搬送に分けることができる。
【0035】
これらの搬送においては、たとえば、有軌道上を自動走行するRGV(Rail Guided Vehicle)と呼ばれる搬送車、無軌道上を自動走行するAGV(Automatic Guided Vehicle)と呼ばれる搬送車、あるいは天井搬送方式のOHT(Over−head Hoist Transport)と呼ばれる搬送車などが用いられる。
【0036】
各製造装置1には、半導体ウェハに対して各処理を行う、熱処理装置、イオン注入装置、エッチング装置、成膜装置、洗浄装置、フォトレジスト塗布装置、露光装置などの各種処理装置や、各処理後の検査を行う各種検査装置などがある。さらに、これらの処理装置、検査装置の所定のまとまりに対して、装置間を効率良く搬送し、また次の装置に対する処理待ちなどを考慮して、半導体ウェハを一時的に保管するストッカなども製造装置1の一つとして配置されている。
【0037】
たとえば、前述した図1は、ベイ内搬送を想定したものであり、また後述する図3はベイ間搬送を想定した図である。
【0038】
続いて、図3により、本実施の形態において、ベイ間搬送を想定した搬送システムの構成の一例を説明する。図3は、ベイ間搬送を想定した搬送システムの構成図を示す。ただし、図3では、各ベイの製造装置は代表的に1台ずつ図示しているが、実際には図1のようにそれぞれが複数台の製造装置の集まりとなっている。
【0039】
図3に示すように、ベイ間搬送においても、前述したベイ内搬送と同様に、ベイ間のエリアには、軌道2と搬送車3などを有する搬送システムと、各種処理装置や各種検査装置、さらにストッカなどを含めた製造装置1(1a,1b)とが配置されている。
【0040】
次に、本実施の形態において、ベイ内搬送、ベイ間搬送、あるいはこれらを横断する搬送の動作の一例を説明する。ベイ内搬送、ベイ間搬送、あるいはこれらを横断する搬送においても、搬送エリアがベイ内、ベイ間、あるいは両エリアというように異なるだけで、搬送動作は同様である。
【0041】
たとえば、搬送車3は、ストッカから、このストッカに保管されている半導体ウェハ(ロット単位、あるいは複数ロット)の格納されているカセット(以下ウェハカセットと呼ぶ)を受け取り、軌道2上を走行して、半導体ウェハに対して所定の処理を行う第1処理装置まで移動し、この第1処理装置の第1ポートに半導体ウェハを渡す。そして、この第1処理装置では、半導体ウェハに対して所定の処理を行い、処理が終了したらウェハカセットを第2ポートに移す。
【0042】
さらに、搬送車3は、第1処理装置の第2ポートから、ウェハカセットを受け取り、軌道2上を走行して、半導体ウェハに対して所定の処理を行う第2処理装置まで移動し、この第2処理装置の第1ポートにウェハカセットを渡す。そして、この第2処理装置では、半導体ウェハに対して所定の処理を行い、処理が終了したらウェハカセットを第2ポートに移す。
【0043】
この際に、第2処理装置で半導体ウェハに対する処理が終了していないときは、第1処理装置の第2ポートから受け取ったウェハカセットを、一時的にストッカに保管する。そして、第2処理装置で処理が終了したら、前述のように、ストッカから半導体ウェハを受け取り、第2処理装置の第1ポートにウェハカセットを渡して、この第2処理装置で所定の処理を行う。
【0044】
以降同様に、第3処理装置、第4処理装置、・・・、の各種処理装置においても、処理装置から次の処理装置へ、処理装置からストッカを介して次の処理装置へ、あるいは後述する検査装置を介して、順に半導体ウェハに対する所定の処理を行い、最終的に処理が終了したウェハカセットは、処理終了済みの半導体ウェハカセットを保管するストッカに渡される。
【0045】
また、所定の処理が終了した半導体ウェハ、あるいは最終的な処理が終了した半導体ウェハに対する各種検査装置においても、前述した各種処理装置への搬送と同様にして、搬送車3と各種検査装置との間でウェハカセットの受け渡しが行われ、各種検査が実行される。
【0046】
続いて、オフライン装置の製造装置1bに対する自動搬送の動作の一例を説明する。
【0047】
たとえば、高速なRGVを用いたシステムでは、安全確保のため、RGVの稼働中の搬送エリアへの人のアクセスは許されない。この搬送エリア内に1台でもオフライン装置が存在した場合、従来は、仮に人手搬送によって被搬送体を運搬する際は、RGVの運行を停止させ、搬送エリア内に人が入る必要がある。あるいは、RGVの運行範囲をオフライン装置の手前までに制限し、それ以降の装置(オンライン装置を含む)に対する自動搬送を全て停止する必要がある。
【0048】
そこで、本実施の形態においては、前記図1に示すように、搬送エリアの中央部にあるオフライン装置の製造装置1bに対して自動搬送する場合、たとえば以下の手順で搬送を実現する。
【0049】
(1)作業者は、ネットワークに接続された最寄りの製造装置1の装置端末5あるいは搬送コントローラ4のコントローラ端末6を使用して、ホストシステム8または搬送コントローラ4に対して、たとえばストッカからオフライン装置の製造装置1bの第1ポートに対してウェハカセットを搬送せよ、などの指示を出す。
【0050】
(2)作業者から指示を受けたホストシステム4または搬送コントローラ4は、搬送車3(RGVなど)に、ストッカからオフライン装置の製造装置1bの第1ポートに対してウェハカセットを搬送せよ、と搬送指示を出す。
【0051】
(3)指示を受けた搬送車は、オンライン状態のストッカからウェハカセットを受け取り、オフライン装置の製造装置1bの第1ポートに向けて搬送を開始する。
【0052】
(4)オフライン装置の製造装置1bの第1ポートに到着した搬送車3は、第1ポートに設置された通信手段を通じて、ウェハカセットの受け渡しの確認を行う(一例として、直径300mmの半導体ウェハの製造ラインでは、SEMI−E84規格に準拠した通信が一般的である)。
【0053】
(5)ウェハカセットの受け渡しが完了し、第1ポートとの通信が全て正常完了した搬送車3は、搬送完了をオンライン接続された搬送コントローラ4に報告する。搬送コントローラ4は、ホストシステム8に搬送完了を報告する。
【0054】
(6)なお、第1ポートとの通信でエラーが発生した場合(通信ができない、ポートがレディ状態でない)は、搬送車3はエラーメッセージをオンラインで搬送コントローラ4に送信することができる。
【0055】
このような半導体製造システムでは、ホストシステム8がオフライン接続の製造装置1bの状態およびポートの状態を把握することはできないので、作業者が製造装置1の装置端末5、搬送コントローラ4のコントローラ端末6などで、このオフライン接続の製造装置1bの状態およびポートの状態を確認することによって、各端末5,6から搬送車3に対して搬送指示を出すことができる。これにより、オンライン接続の製造装置1aと同様の搬送を実現できる。
【0056】
従って、本実施の形態によれば、搬送システム、この搬送システムを含む製造システム、および搬送システムを用いた半導体製造システムとして、以下のような効果を得ることができる。
【0057】
(1)同一の搬送エリア内の全ての製造装置1についてオンライン接続を行う必要がない。この結果、同一の搬送エリア内の全ての製造装置1についてオンライン接続を行う必要がなく、オフライン接続の製造装置1bが混在した状態でも自動搬送システムを稼働させることができる。たとえば、工場立ち上げ初期において、自動搬送を適用する期間を大幅に短縮することができる。
【0058】
(2)製造装置1の状態のチェックや実験などのために、一時的にオフラインに切り替えて処理が必要なオフライン接続の製造装置1bに対しても、被搬送体の自動搬送を継続することができる。この結果、オンライン接続の製造装置1aが集中して配置された製造エリアにおいて、オフライン接続の製造装置1bに対しても被搬送体の自動搬送を継続することができる。
【0059】
(3)オンライン接続の製造装置1aとオフライン接続の製造装置1bを混在させたライン構築が可能となる。この結果、オフライン接続の製造装置1bを集中して配置するレイアウト上の制約を排除できるため、クリーンルームのスペース効率の向上、用役費用の低減、作業効率の向上を図ることができる。
【0060】
(4)一時的なオフライン状態の製造装置1bへも被搬送体の自動搬送が可能なため、周囲の製造装置1も含めた搬送時間の短縮、スループットの向上を図ることができる。この結果、人が侵入できない搬送エリアにおいて、全ての製造装置1に対して自動搬送が可能となり、人手搬送を排除でき、搬送時間の短縮、搬送人員の低減を図ることができる。
【0061】
(5)人による被搬送体のマニュアル搬送を排除し、完全自動搬送によるライン運用が可能になる。この結果、人手搬送を介する必要性がないため、人と搬送車3の混在を前提とした搬送システムの安全機能の制約、搬送能力の制約を排除することができ、高速な搬送システムの運用が容易になる。
【0062】
以上、本発明者によってなされた発明をその実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【0063】
たとえば、本実施の形態の搬送システムにおいては、以下のような変形例または応用例が考えられる。
【0064】
(1)搬送システムと人が混在する運用形態を前提としたラインについても応用が可能である。たとえば、天井搬送のOHTの場合、オンライン接続の製造装置はOHTの自動搬送で、オフライン接続の製造装置は人による搬送形態を採る例が一般的であるが、この場合でも、本発明によりオフライン装置に対する自動搬送を適用できるため、搬送人員の抑制、搬送時間の短縮の効果が得られる。
【0065】
(2)1つのベイだけではなく、複数のベイにまたがり、広域エリアで搬送をする搬送システムについても応用可能である。
【0066】
(3)処理装置がオフラインの場合だけではなく、検査装置やストッカがオフラインの場合についても応用可能である。
【0067】
(4)ベイ内搬送、ベイ間搬送に限らず、フロア間搬送などについても応用することができる。
【0068】
以上の説明では、主として本発明者によってなされた発明をその属する技術分野である半導体製造ラインの半導体製造システムに用いた搬送システムに適用した場合について説明したが、これに限定されるものではなく、半導体製造ライン以外における搬送システム、たとえば液晶ディスプレイの製造ラインなどにも適用することができる。
【0069】
特に、各種製造ラインにおいて、以下のような搬送システムに適用して好適である。
【0070】
(1)搬送エリアに人の侵入が許されない高速自動搬送システム(RGV、AGVなど)。
【0071】
(2)広域をカバーするベイ内搬送システム(OHTなど)。特に人が侵入できる運用がなされるOHTのような搬送システムにおいて、できるだけ多くの製造装置に対して自動搬送を可能にすることによって、人手搬送を削減することができる。
【0072】
(3)自動化率の高い製造、生産ラインにおける自動搬送システム。一時的にしろ、搬送人員の確保が困難なラインで効果がある。
【0073】
(4)新製品・新プロセスの立ち上げが頻繁に発生するような先端生産ライン、あるいは開発試作ラインにおける自動搬送システム。設備の入れ替えや実験などのため、オフライン運用が必要になる頻度の高いラインで有効である。
【0074】
(5)液晶工場など、半導体以外で自動化の進んだ生産ライン用途の自動搬送システム。
【0075】
【発明の効果】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、以下のとおりである。
【0076】
(1)搬送を制御する制御手段にオンライン接続されていない製造装置に対して自動搬送を実現することで、人が侵入できない搬送エリアにおいて、全ての製造装置に対して自動搬送が可能となるので、人手搬送を排除でき、搬送時間の短縮、搬送人員の低減を図ることが可能となる。
【0077】
(2)搬送を制御する制御手段にオンライン接続されていない製造装置に対して自動搬送を実現することで、オフライン装置を集中して配置するレイアウト上の制約を排除できるため、クリーンルームのスペース効率の向上、用役費用の低減、作業効率の向上を図ることが可能となる。
【0078】
(3)搬送を制御する制御手段にオンライン接続されていない製造装置に対して自動搬送を実現することで、同一の搬送エリア内の全ての製造装置についてオンライン接続を行う必要がなく、オフライン接続の製造装置が混在した状態でも自動搬送システムの稼働を開始することが可能となり、たとえば工場立ち上げ初期において自動搬送を適用する期間を大幅に短縮することが可能となる。
【0079】
(4)搬送を制御する制御手段にオンライン接続されていない製造装置に対して自動搬送を実現することで、オンライン接続の製造装置が集中して配置された製造エリアにおいて、装置状態のチェックや実験などのために一時的にオフラインに切り替えて処理が必要なオフライン装置に対しても、被搬送体の自動搬送を継続することが可能となる。
【0080】
(5)搬送を制御する制御手段にオンライン接続されていない製造装置に対して自動搬送を実現することで、人手搬送を介する必要性がないため、人と搬送車の混在を前提とした搬送システムの安全機能の制約、搬送能力の制約を排除することができ、高速な搬送システムの運用を容易に実現することが可能となる。
【0081】
(6)前記(1)〜(5)により、半導体製造ラインや、その他の各種製造ラインにおいて、製造ラインの搬送時間の短縮、搬送人員の負荷低減を図ることが可能となる。
【0082】
(7)前記(1)〜(5)により、半導体製造ラインや、その他の各種製造ラインにおいて、製造ライン全体のTAT短縮、スループット向上の効果を得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態の搬送システム(ベイ内搬送)を示す構成図である。
【図2】本発明の一実施の形態の搬送システムを含む製造システムを示す構成図である。
【図3】本発明の一実施の形態において、ベイ間搬送を想定した搬送システムを示す構成図である。
【符号の説明】
1,1a,1b 製造装置
2 軌道
3 搬送車
4 搬送コントローラ
5 装置端末
6 コントローラ端末
7 設備コントローラ
8 ホストシステム[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a transfer technique, and more particularly to a transfer system that realizes automatic transfer for a manufacturing apparatus that is not connected online to a host system, and a technique that is effective when applied to a semiconductor manufacturing system using the transfer system.
[0002]
[Prior art]
According to a study by the present inventor, the following techniques can be considered for the conventional transport system.
[0003]
For example, conventionally, an automatic transfer system in a manufacturing process requires that a manufacturing apparatus corresponding to a transfer destination or a transfer source is connected to a host system online. This host system grasps the operating state of the manufacturing apparatus and the state of the port of the manufacturing apparatus, and issues a transport instruction to the transport system.
[0004]
In this system, if there is a manufacturing device (offline device) that is not online-connected to the host system in the same area, automatic transfer cannot be performed for that device. It is necessary to carry out.
[0005]
In addition, about such a conveyance system, the technique etc. which are described in patent documents 1-3 are mentioned, for example. Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-228561 discloses a technique that enables unintended devices to be collected and arranged and a conveyance instruction can be made by manually inputting a device code.
[0006]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Laid-Open No. 9-6409
[Patent Document 2]
Japanese Patent Laid-Open No. 5-69905
[Patent Document 3]
Japanese Patent Laid-Open No. 9-181143
[Problems to be solved by the invention]
By the way, as a result of examination of the technology of the transport system as described above by the present inventors, the following has been clarified.
[0010]
For example, the above-described operation can be performed in an area where a conveyance vehicle and a person can be mixed (such as a conveyance area by a low-speed conveyance vehicle). As a result, people cannot be mixed and transportation to the offline device becomes impossible. Alternatively, if an attempt is made to manually transport an offline device, the automatic transport system must be stopped.
[0011]
As described above, the realization of a mixture of automatic conveyance and manual conveyance has an adverse effect on operation, and will become a major obstacle in the future as the reduction of the conveyance time and the increase in the conveyance speed are required. . For this reason, it is desired to realize an automatic transfer operation without stopping the operation in a manufacturing area where online devices and offline devices are mixed.
[0012]
In the technique disclosed in
[0013]
Furthermore, in the technique of the above-mentioned
[0014]
The technique of
[0015]
Further, the technique disclosed in
[0016]
Accordingly, an object of the present invention is to enable automatic conveyance to all manufacturing apparatuses in a conveyance area where a person cannot enter, eliminate manual conveyance, reduce conveyance time, and reduce conveyance personnel. It is to provide a transfer technology.
[0017]
The above and other objects and novel features of the present invention will be apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.
[0018]
[Means for Solving the Problems]
Of the inventions disclosed in the present application, the outline of typical ones will be briefly described as follows.
[0019]
The present invention relates to a control means for controlling the conveyance, a conveyance vehicle for conveying the object to be conveyed to a manufacturing apparatus (offline apparatus) not connected online to the control means, and an instruction to the control means for driving the conveyance vehicle. In the transport system having the instruction means, the control means receives the instruction from the instruction means and drives the transport vehicle, and the transport vehicle automatically transports the object to be transported to the offline device. Therefore, automatic conveyance is realized for the offline device, and no online connection is required between the conveyance vehicle and the offline device via the control means, and a conveyance instruction is issued to the conveyance system by the operation of the instruction means by a person. be able to.
[0020]
Furthermore, in the transport system of the present invention, the transport vehicle transports the transported body to a manufacturing apparatus (online apparatus) connected online to the control means under the control of the control means. Thus, the object to be conveyed is automatically conveyed without manual conveyance and without switching or stopping the system. Therefore, in an area where online devices and offline devices are mixed, automatic transfer to the online device and automatic transfer to the offline device can be mixed without stopping the transfer system.
[0021]
In addition, the present invention is applied to a semiconductor manufacturing system using the transfer system, and processes or inspects a transfer system having a control unit, a transfer vehicle, and an instruction unit, and a semiconductor wafer transferred and delivered by the transfer vehicle. And a plurality of manufacturing apparatuses that perform the above.
[0022]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Note that components having the same function are denoted by the same reference symbols throughout the drawings for describing the embodiments, and the repetitive description thereof will be omitted.
[0023]
First, with reference to FIG. 1, an example of the configuration of a transport system according to an embodiment of the present invention will be described. FIG. 1 shows a configuration diagram of a transport system.
[0024]
The transport system according to the present embodiment includes a plurality of
[0025]
In the plurality of
[0026]
Next, an example of the configuration of a manufacturing system including the transport system according to the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 2 shows a configuration diagram of a manufacturing system corresponding to the transfer system of FIG.
[0027]
The manufacturing system of the present embodiment includes a plurality of
[0028]
In this manufacturing system, an apparatus terminal 5 for instructing the operation of each
[0029]
In the manufacturing system including such a transport system, as described above, the manufacturing apparatus 1a among the plurality of
[0030]
On the other hand, since the manufacturing apparatus 1b is not connected online, the transport controller 4 cannot directly recognize the operating state of the manufacturing apparatus 1b. Therefore, the transfer controller 4 receives an instruction from the apparatus terminal 5 or the
[0031]
As a result, in a manufacturing system in which an on-line apparatus manufacturing apparatus 1a and an off-line apparatus manufacturing apparatus 1b are mixed, the system switching can be performed without manual transport for the on-line apparatus manufacturing apparatus 1a and the off-line apparatus manufacturing apparatus 1b. It is possible to automatically convey the object to be conveyed without stopping or stopping.
[0032]
The manufacturing system including such a transfer system is not limited to this, but is used, for example, in a semiconductor manufacturing system of a semiconductor manufacturing line.
[0033]
This semiconductor manufacturing system includes a transfer system including the
[0034]
In such a semiconductor manufacturing line, although not particularly limited, each
[0035]
In these transports, for example, a transport vehicle called RGV (Rail Guided Vehicle) that automatically travels on a track, a transport vehicle called AGV (Automatic Guided Vehicle) that travels automatically on a trackless, or an overhead transport OHT ( A transport vehicle called “over-head hoist transport” is used.
[0036]
Each
[0037]
For example, FIG. 1 described above is supposed to be transported within a bay, and FIG. 3 described later is a diagram based on transport between bays.
[0038]
Next, with reference to FIG. 3, an example of the configuration of a transport system that assumes inter-bay transport will be described in the present embodiment. FIG. 3 shows a configuration diagram of a transfer system that assumes transfer between bays. However, in FIG. 3, one bay manufacturing apparatus is representatively shown, but in reality, each bay is a group of a plurality of manufacturing apparatuses as shown in FIG.
[0039]
As shown in FIG. 3, also in the transfer between bays, in the same way as the transfer in the bay described above, in the area between the bays, a transfer system having a
[0040]
Next, in the present embodiment, an example of an operation of intra-bay transport, inter-bay transport, or transport across these will be described. In the intra-bay transport, the transport between the bays, or the transport across the bays, the transport operation is the same except that the transport area is different within the bay, between the bays, or both areas.
[0041]
For example, the
[0042]
Further, the
[0043]
At this time, if the processing on the semiconductor wafer is not completed in the second processing apparatus, the wafer cassette received from the second port of the first processing apparatus is temporarily stored in the stocker. When the processing is completed in the second processing apparatus, the semiconductor wafer is received from the stocker as described above, the wafer cassette is transferred to the first port of the second processing apparatus, and the second processing apparatus performs a predetermined process. .
[0044]
Similarly, in the various processing devices such as the third processing device, the fourth processing device,..., The processing device is transferred to the next processing device, from the processing device to the next processing device via the stocker, or described later. The predetermined processing is sequentially performed on the semiconductor wafers via the inspection apparatus, and finally the wafer cassette that has been processed is delivered to a stocker that stores the processed semiconductor wafer cassette.
[0045]
Further, in various inspection apparatuses for semiconductor wafers for which predetermined processing has been completed or semiconductor wafers for which final processing has been completed, in the same manner as the transfer to the various processing apparatuses described above, the
[0046]
Next, an example of an automatic conveyance operation for the offline device manufacturing apparatus 1b will be described.
[0047]
For example, in a system using a high-speed RGV, human access to a transport area during operation of the RGV is not allowed to ensure safety. If there is even one offline device in this transport area, conventionally, when transporting the transported object by manual transport, it is necessary to stop the operation of the RGV and allow a person to enter the transport area. Or it is necessary to limit the operation range of RGV to the front of an offline apparatus, and to stop all the automatic conveyance with respect to the subsequent apparatus (an online apparatus is included).
[0048]
Therefore, in the present embodiment, as shown in FIG. 1, when automatic conveyance is performed with respect to the offline device manufacturing apparatus 1b in the central portion of the conveyance area, conveyance is realized by the following procedure, for example.
[0049]
(1) An operator uses the apparatus terminal 5 of the
[0050]
(2) The host system 4 or the transfer controller 4 that has received an instruction from the operator transfers the wafer cassette from the stocker to the first port of the manufacturing apparatus 1b of the offline device to the transfer vehicle 3 (RGV or the like). Issue a transport instruction.
[0051]
(3) Upon receipt of the instruction, the transport vehicle receives the wafer cassette from the online stocker and starts transport toward the first port of the manufacturing apparatus 1b of the offline apparatus.
[0052]
(4) The
[0053]
(5) The
[0054]
(6) When an error occurs in communication with the first port (communication is not possible, the port is not ready), the
[0055]
In such a semiconductor manufacturing system, since the
[0056]
Therefore, according to the present embodiment, the following effects can be obtained as a transfer system, a manufacturing system including the transfer system, and a semiconductor manufacturing system using the transfer system.
[0057]
(1) It is not necessary to perform online connection for all the
[0058]
(2) For the purpose of checking the state of the
[0059]
(3) It is possible to construct a line in which an on-line manufacturing apparatus 1a and an off-line manufacturing apparatus 1b are mixed. As a result, restrictions on the layout in which the offline-connected manufacturing apparatuses 1b are concentrated can be eliminated, so that it is possible to improve the space efficiency of the clean room, reduce the service cost, and improve the work efficiency.
[0060]
(4) Since the transported object can be automatically transported to the manufacturing apparatus 1b that is temporarily off-line, the transport time including the surrounding
[0061]
(5) Manual transfer of the transfer target by a person is eliminated, and line operation by fully automatic transfer becomes possible. As a result, since there is no need for manual conveyance, it is possible to eliminate restrictions on the safety function and conveyance capacity of the conveyance system based on the mixture of people and
[0062]
As mentioned above, the invention made by the present inventor has been specifically described based on the embodiment. However, the invention is not limited to the embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. Needless to say.
[0063]
For example, in the transport system of the present embodiment, the following modifications or application examples are conceivable.
[0064]
(1) The present invention can also be applied to a line premised on an operation mode in which a conveyance system and people are mixed. For example, in the case of overhead transport OHT, an online connection manufacturing apparatus is generally an automatic transport of OHT, and an offline connection manufacturing apparatus generally takes the form of transport by humans. Therefore, it is possible to apply the automatic conveyance to the above, so that the effect of suppressing the conveyance personnel and shortening the conveyance time can be obtained.
[0065]
(2) The present invention can also be applied to a transport system that transports not only one bay but also a plurality of bays in a wide area.
[0066]
(3) The present invention can be applied not only when the processing apparatus is offline, but also when the inspection apparatus or stocker is offline.
[0067]
(4) The present invention can be applied not only to intrabay transportation and interbay transportation but also to floor transportation.
[0068]
In the above description, the case where the invention made mainly by the present inventor is applied to a transport system used in a semiconductor manufacturing system of a semiconductor manufacturing line which is a technical field to which the present invention belongs has been described, but the present invention is not limited to this. The present invention can also be applied to a conveyance system other than a semiconductor production line, for example, a production line for liquid crystal displays.
[0069]
In particular, in various production lines, it is suitable to be applied to the following transport system.
[0070]
(1) A high-speed automatic transfer system (RGV, AGV, etc.) that does not allow entry of people into the transfer area.
[0071]
(2) In-bay transport system (OHT etc.) covering a wide area. In particular, in a transport system such as an OHT that is operated so that a person can enter, manual transport can be reduced by enabling automatic transport to as many manufacturing apparatuses as possible.
[0072]
(3) Automatic transfer system in production and production lines with high automation rate. Temporarily, it is effective in the line where it is difficult to secure the transport personnel.
[0073]
(4) Automatic transfer system in advanced production lines or development prototype lines where new products and processes are frequently launched. This is effective for lines that require frequent offline operation due to equipment replacement and experiments.
[0074]
(5) Automatic transfer system for production lines that are more automated than semiconductors, such as LCD factories.
[0075]
【The invention's effect】
Of the inventions disclosed in the present application, effects obtained by typical ones will be briefly described as follows.
[0076]
(1) By realizing automatic conveyance with respect to a manufacturing apparatus that is not online-connected to the control means for controlling conveyance, automatic conveyance can be performed for all the manufacturing apparatuses in a conveyance area where a person cannot enter. Therefore, it is possible to eliminate manual conveyance, shorten the conveyance time, and reduce the number of conveyance personnel.
[0077]
(2) By realizing automatic transfer for a manufacturing device that is not connected online to a control means for controlling transfer, it is possible to eliminate restrictions on layout in which offline devices are arranged in a concentrated manner. It is possible to improve, reduce utility costs, and improve work efficiency.
[0078]
(3) By realizing automatic conveyance for a manufacturing apparatus that is not online-connected to the control means for controlling the conveyance, it is not necessary to perform online connection for all the manufacturing apparatuses in the same conveyance area. The operation of the automatic conveyance system can be started even in a state where the manufacturing apparatuses are mixed, and for example, it is possible to greatly reduce the period for applying automatic conveyance at the initial stage of factory startup.
[0079]
(4) By implementing automatic transfer for a manufacturing device that is not online-connected to the control means for controlling the transfer, in the manufacturing area where online-connected manufacturing devices are concentrated, the device status is checked and tested. For example, it is possible to continue the automatic conveyance of an object to be conveyed even for an offline apparatus that needs to be temporarily switched to offline for processing.
[0080]
(5) By realizing automatic conveyance for a manufacturing apparatus that is not online-connected to a control means for controlling conveyance, there is no need for manual conveyance, and therefore a conveyance system that presupposes a mixture of people and conveyance vehicles. Therefore, it is possible to eliminate the restrictions on the safety functions and the restrictions on the conveyance capacity, and it is possible to easily realize the operation of the high-speed conveyance system.
[0081]
(6) According to the above (1) to (5), in the semiconductor manufacturing line and other various manufacturing lines, it becomes possible to shorten the transport time of the manufacturing line and reduce the load on the transport personnel.
[0082]
(7) With the above (1) to (5), it is possible to obtain the effects of shortening the TAT and improving the throughput of the entire production line in the semiconductor production line and other various production lines.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a configuration diagram showing a transport system (transport in a bay) according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a configuration diagram showing a manufacturing system including a transfer system according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a configuration diagram showing a transport system that assumes transport between bays in an embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
1, 1a,
Claims (7)
前記制御手段にオンライン接続されていない第1の製造装置に被搬送体を搬送する搬送車と、
前記搬送車を駆動させるために前記制御手段に指示する指示手段とを有し、
前記制御手段は前記指示手段からの指示を受けて前記搬送車を駆動させ、前記搬送車は前記第1の製造装置に対して前記被搬送体を自動的に搬送することを特徴とする搬送システム。Control means for controlling the conveyance;
A transport vehicle for transporting a transported body to a first manufacturing apparatus not connected online to the control means;
An instruction means for instructing the control means to drive the transport vehicle,
The control means receives an instruction from the instruction means to drive the conveyance vehicle, and the conveyance vehicle automatically conveys the object to be conveyed to the first manufacturing apparatus. .
前記搬送車は、前記制御手段の制御により前記制御手段にオンライン接続されている第2の製造装置に前記被搬送体を搬送するものであり、
前記第1の製造装置および前記第2の製造装置に対して、人手搬送を介さず、システムの切り替えや停止を伴わずに、前記被搬送体を自動的に搬送することを特徴とする搬送システム。The transport system according to claim 1,
The transport vehicle transports the transported body to a second manufacturing apparatus connected online to the control means under the control of the control means.
A transport system for automatically transporting the object to be transported to the first manufacturing apparatus and the second manufacturing apparatus without manual transport and without switching or stopping the system. .
前記搬送車は、RGVであることを特徴とする搬送システム。The transport system according to claim 2, wherein
The transport system, wherein the transport vehicle is an RGV.
前記搬送車は、AGVであることを特徴とする搬送システム。The transport system according to claim 2, wherein
The transport system, wherein the transport vehicle is an AGV.
前記搬送車は、OHTであることを特徴とする搬送システム。The transport system according to claim 2, wherein
The transport system is characterized in that the transport vehicle is an OHT.
前記制御手段と前記搬送車と前記指示手段とを有する前記搬送システムと、
前記搬送車により搬送および受け渡しを行う半導体ウェハに対して処理または検査を行う複数の製造装置とを有することを特徴とする半導体製造システム。A semiconductor manufacturing system using the transfer system according to any one of claims 1 to 5,
The transport system having the control means, the transport vehicle, and the instruction means;
A semiconductor manufacturing system comprising: a plurality of manufacturing apparatuses for processing or inspecting a semiconductor wafer transferred and delivered by the transfer vehicle.
前記複数の製造装置は、処理装置、検査装置、ストッカを含むことを特徴とする半導体製造システム。The semiconductor manufacturing system according to claim 6,
The plurality of manufacturing apparatuses include a processing apparatus, an inspection apparatus, and a stocker.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR102064485B1 (en) | 2017-12-27 | 2020-01-09 | 오학서 | Data Communicating Method for Work Time Reducing of Automated Material Handling System |
-
2003
- 2003-07-10 JP JP2003194757A patent/JP2005031872A/en active Pending
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