JP2005026334A - ステージ装置及び荷電粒子線露光装置 - Google Patents

Abstract

【課題】リニアモータの駆動に伴う渦電流の発生により起こる外乱磁場を低減できるステージ装置等を提供することを目的とする。
【解決手段】ステージ装置１０のガイド部材１３Ａ（１４Ａ）の上下平板部には、移動方向に沿って複数並んだタイル状の永久磁石３０が設けられている。一方、ステージ装置１０のＹスライダには、電磁コイル及びヒートパイプ４１が取り付けられている。ヒートパイプ４１の板長Ｌ（移動方向に沿う長さ）は、永久磁石３０の磁極ピッチＰの７倍に設定されている。そのため、ステージの駆動に伴ってヒートパイプ４１に生じる渦電流を低減でき、外乱磁場の変動を低減することができる。
【選択図】 図３

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、感応基板やパターン原版（マスク、レチクル）等を載置して移動・位置決めするためのステージ装置、及び、そのようなステージ装置を備える荷電粒子線露光装置に関する。特には、リニアモータの駆動に伴う渦電流の発生により起こる外乱磁場を低減できるステージ装置等に関する。
【０００２】
【背景技術】
半導体デバイスのリソグラフィに使用される投影露光装置内には、感応基板やパターン原版（マスク、レチクル）等を載置して移動・位置決めするためのステージ装置が備えられている。このようなステージ装置の駆動用アクチュエータとしては、高分解能の位置決め線形制御が可能で高推力のリニアモータが広く用いられている。
【０００３】
リニアモータは、一般に、永久磁石と電磁コイルを有し、この電磁コイルへの印加電流を制御することで加速度等を制御する。リニアモータでは、通常、移動される側を移動子と呼び、固定される側を固定子と呼んでいる。ここで、ムービング・マグネット方式のリニアモータとは、移動子側に永久磁石が設けられ、固定子側に電磁コイルが設けられる方式をいう。ムービング・コイル方式のリニアモータとは、移動子側に電磁コイルが設けられ、固定子側に永久磁石が設けられる方式をいう。
【０００４】
リニアモータは、駆動時に電磁コイルに電流を印加するが、この電流に作用する抵抗に起因して、電磁コイルから熱が生じる。この熱を逃がすために、ヒートパイプ等の金属製冷却板を用いることがある。この場合、発熱体となる電磁コイルにヒートパイプを接触させて配置し、このヒートパイプの端部に冷却水ジャケットを接続した構成が広く採用されている。電磁コイルから生じた熱は、ヒートパイプを伝わって冷却水で冷却され、ステージ装置外へと放熱される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明者らによる開発の過程で、ムービング・コイル方式のリニアモータにおいて移動子の電磁コイルを冷却するのにヒートパイプを用い、このようなリニアモータを電子線露光装置のステージ装置に装備した場合、ヒートパイプ部材中に渦電流が発生する問題が見出された。
【０００６】
図９は、ステージ装置のリニアモータにおける渦電流の問題点を説明するための模式図である。
図９には、リニアモータの永久磁石（固定子）Ｍ１、Ｍ２の一部と、金属板からなるヒートパイプ（コイル冷却板）Ｈとが模式的に描かれている。この図では、永久磁石Ｍ１、Ｍ２は上側の２つのみ描かれているが、実際にはヒートパイプＨを挟んで上下両側において、図中左右方向（移動方向）に沿って複数並んで配列されている。さらに、この図では描かれていないが、ヒートパイプＨの上下面には、リニアモータの電磁コイルが複数並んで配置されている。ヒートパイプＨは、電磁コイルとともに移動子を構成し、図中左右方向に移動可能となっている。
【０００７】
このリニアモータの永久磁石Ｍ１、Ｍ２の間には、強い磁界が形成される。この磁界の磁束Ｂは、Ｎ極から出てＳ極へと向かう方向に作用する。そこで、この磁界中で移動子が移動してヒートパイプＨが移動すると、ヒートパイプＨには、磁束Ｂを打ち消す方向に磁束Ｂ′を発生させるような渦電流Ｉが流れる。そして、電子線露光装置のステージ装置において、このような渦電流Ｉが生じて外乱磁場が起こると、電子線の軌道が乱れ、パターン形成精度の劣化等が引き起こされる。
【０００８】
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであって、リニアモータの駆動に伴う渦電流の発生により起こる外乱磁場を低減できるステージ装置を提供することを目的とする。さらに、そのようなステージ装置を備える荷電粒子線露光装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記の課題を解決するため、本発明の第１のステージ装置は、ステージを移動・位置決めするステージ装置であって、 前記ステージの駆動用アクチュエータとしてのリニアモータを具備し、 該リニアモータの固定子が、移動方向に沿って配列された複数の磁石を有し、 該リニアモータの移動子が、 移動方向に沿って配列された複数のコイルと、 該配列された複数のコイルに添うように配置されたコイル冷却板と、を有し、 該コイル冷却板の前記移動方向に沿う長さＣＬが、前記固定子の磁極ピッチＰの奇数倍となっていることを特徴とする。
【００１０】
本発明によれば、リニアモータの駆動に伴ってコイル冷却板に生じる渦電流を低減でき、外乱磁場の変動を低減することができる。以下、その理由について説明する。
図７は、本発明者らの用いた実験用ステージ装置の概略構成を示す斜視図である。
図８は、図７の実験用ステージ装置を用いて外乱磁場の変動を測定した結果を表すグラフである。縦軸は正規化された磁場変動を示し、横軸は時間（ｓｅｃ）を示す。
【００１１】
図７の実験用ステージ装置は、基台２０１上に配置された実験用リニアモータ固定子２０３を備えている。この固定子２０３はコ字状の断面を有し、内溝が図７中右側に向けて開口するように配置されている。固定子２０３の上下平板部には、長手方向（図中Ｙ方向）に沿ってＮ極・Ｓ極が交互になるように複数並んだ永久磁石部２０５Ａ、２０５Ｂが設けられている。上平板部の各永久磁石部２０５Ａと下平板部の各永久磁石部２０５Ｂは、Ｎ極に対してＳ極が対向するように配置されている。この実験用ステージ装置においては、固定子２０３の磁極ピッチＰ（永久磁石のＹ基端面から隣接する永久磁石のＹ基端面までの長さ）は、３７ｍｍに設定されている。
【００１２】
固定子２０３の内溝には、リニアモータ移動子に模したスライド板２０７の端部が差し込まれている。固定子２０３の内溝内において、スライド板２０７の端部にはヒートパイプ（移動子）２０９が取り付けられている。このヒートパイプ２０９は、実験用駆動テーブル（移動子）２１１に取り付けられている。駆動テーブル２１１がＹ方向に駆動するのに伴って、ヒートパイプ２０９はスライド板２０７とともに固定子２０３の内溝内をＹ方向にスライドする。一方、固定子２０３の背面側には、Ｘ方向に所定間隔隔てて支柱２１３が立ち上げられている。この支柱２１３には、磁気センサ２１５が取り付けられている。この磁気センサ２１５により、ヒートパイプ２０９を等速でスライドさせた際の磁場変動（ヒートパイプ２０９に生じた渦電流により発生する磁場変動）が計測される。
【００１３】
本実験は、駆動テーブル２１１を駆動してスライド板２０７をＹ方向にスライドさせ、固定子２０３とヒートパイプ２０９間の磁場変動を磁気センサ２１５で測定した。図８に磁気センサ２１５の出力波形をモニタした結果を示す。本実験では、固定子２０３の磁極ピッチＰ＝３７ｍｍに対して、ヒートパイプ２０９の板長を１Ｐ（３７ｍｍ）、２Ｐ（７４ｍｍ）、３Ｐ（１１１ｍｍ）、４Ｐ（１４８ｍｍ）とし、これら４種類について磁場変動の測定を行った。この結果からわかるように、奇数ピッチ長（１Ｐ（グラフＡ）又は３Ｐ（グラフＣ））のヒートパイプを用いた場合の磁場変動は、偶数ピッチ長（２Ｐ（グラフＢ）又は４Ｐ（グラフＤ））のヒートパイプを用いた場合の磁場変動よりも小さい。これは、ヒートパイプの板長が固定子の磁極ピッチＰの奇数倍となっている場合に、外乱磁場の変動が低減でき、ヒートパイプに生じる渦電流が低減できることを意味している。
【００１４】
本発明の第２のステージ装置は、ステージを移動・位置決めするステージ装置であって、 前記ステージの駆動用アクチュエータとしてのリニアモータを具備し、 該リニアモータの固定子が、移動方向に沿って配列された複数の磁石を有し、 該リニアモータの移動子が、 移動方向に沿って配列された複数のコイルと、 該配列された複数のコイルに添うように配置されたコイル冷却板と、 該コイル冷却板に添うように配置された板体（ダミー板）と、を有し、 前記コイル冷却板の前記移動方向に沿う長さＣＬと、前記ダミー板の前記移動方向に沿う長さＤＬとが、前記固定子の磁極ピッチＰの奇数倍となっており、 前記長さＣＬを前記磁極ピッチＰで割った値ＮＣ＝ＣＬ／Ｐ（但し小数点以下切り捨て）と、前記長さＤＬを前記磁極ピッチＰで割った値ＮＤ＝ＤＬ／Ｐ（但し小数点以下切り捨て）とが、ＮＣ−ＮＤ＝２を満たすことを特徴とする。
【００１５】
本発明の第３のステージ装置は、ステージを移動・位置決めするステージ装置であって、 前記ステージの駆動用アクチュエータとしてのリニアモータを具備し、 該リニアモータの固定子が、移動方向に沿って配列された複数の磁石を有し、 該リニアモータの移動子が、 移動方向に沿って配列された複数のコイルと、 該配列された複数のコイルに添うように配置されたコイル冷却板と、 該コイル冷却板に添うように配置された板体（ダミー板）と、を有し、 前記コイル冷却板の前記移動方向に沿う長さＣＬと、前記ダミー板の前記移動方向に沿う長さＤＬとが、前記固定子の磁極ピッチＰの偶数倍となっており、 前記長さＣＬを前記磁極ピッチＰで割った値ＮＣ＝ＣＬ／Ｐ（但し小数点以下切り捨て）と、前記長さＤＬを前記磁極ピッチＰで割った値ＮＤ＝ＤＬ／Ｐ（但し小数点以下切り捨て）とが、ＮＣ−ＮＤ＝２を満たすことを特徴とする。
【００１６】
本発明者らが確認したところによると、２枚の板体を重ね合わせた場合、磁気センサ（図７参照）で検出される波形は、個々の板体それぞれから得られる波形の和であり、しかも各板体同士の電気的接続は無関係であることがわかった。すなわち、Ａピッチの板長を有する板体と、Ｂピッチの板長を有する板体を重ね合わせた場合の磁界変動の関係は、
ＡピッチとＢピッチの板体を重ね合わせた場合の磁界変動＝Ａピッチの板体の磁界変動＋Ｂピッチの板体の磁界変動
で表されることがわかった。
【００１７】
さらに、前述した図８によれば、ピッチ長１Ｐ（グラフＡ）と３Ｐ（グラフＣ）、あるいは、ピッチ長２Ｐ（グラフＢ）と４Ｐ（グラフＤ）では、位相がπ（＝１８０度）ずれていることが確認できる。そのため、ある所定の板長を有するコイル冷却板からの磁界変動を打ち消したい場合は、同一の磁界変動強度を有し、且つ、位相がπずれる板長の２枚の板体（コイル冷却板とダミー板）を重ね合わせればよいといえる。
【００１８】
本発明の荷電粒子線露光装置は、真空又は非空気雰囲気下で感応基板に荷電粒子線を選択的に照射してパターン形成する露光装置であって、 前記感応基板及び／又はパターン原版（マスク、レチクル）を移動・位置決めするための前記請求項１〜３いずれか１項記載のステージ装置を備えることを特徴とする。
なお、前記荷電粒子線は、電子線、イオンビーム等である。また、露光の方式は特に限定されず、縮小投影露光や等倍近接転写、描画等であってよい。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ説明する。
まず、図６を参照しつつ、本発明に係るステージ装置を搭載可能な電子線露光装置の例について説明する。
図６は、本発明の一実施の形態に係る電子線露光装置を模式的に示す図である。
図６の電子線露光装置１００の上部には、照明光学系鏡筒１０１が示されている。この照明光学系鏡筒１０１には真空ポンプ１０２が接続されており、同鏡筒１０１内を真空排気している。照明光学系鏡筒１０１の上部には、電子銃１０３が配置されており、下方に向けて電子線を放射する。電子銃１０３の下方には、コンデンサレンズ１０４ａや電子線偏向器１０４ｂが配置されている。なお、図ではコンデンサレンズ１０４ａは一段であるが、実際の照明光学系には複数段のレンズやビーム成形開口等が設けられている。
【００２０】
照明光学系鏡筒１０１の下部には、定盤１１６上に載置されたレチクルチャンバ１１８が配置されている。このレチクルチャンバ１１８内は、図示せぬ真空ポンプで真空排気されている。レチクルチャンバ１１８内において、定盤１１６上にはレチクルステージ１１１が配置されている。レチクルＲは、このレチクルステージ１１１に設けられたチャック１１０に静電吸着等により固定されている。レチクルステージ１１１には、図の左方に示す駆動装置１１２が接続されている。なお、実際の駆動装置１１２は、レチクルステージ１１１内に組み込まれている。この駆動装置１１２は、ドライバ１１４を介して制御装置１１５に接続されている。
【００２１】
レチクルステージ１１１には、図の右方に示すレーザ干渉計１１３が付設されている。このレーザ干渉計１１３は、制御装置１１５に接続されている。レーザ干渉計１１３で計測されたレチクルステージ１１１の位置情報が制御装置１１５に入力されると、レチクルステージ１１１の位置を目標位置とすべく、制御装置１１５からドライバ１１４に指令が送出され、駆動装置１１２が駆動される。その結果、レチクルステージ１１１の位置をリアルタイムで正確にフィードバック制御することができる。
【００２２】
照明光学系鏡筒１０１の電子銃１０３から放射された電子線は、コンデンサレンズ１０４ａによって収束される。続いて、偏向器１０４ｂにより図の横方向に順次走査（スキャン）され、レチクルチャンバ１１８内（光学系の視野内）のレチクルステージ１１１上に吸着されたレチクルＲの各小領域（サブフィールド）の照明が行われる。
【００２３】
定盤１１６の下面側には、投影光学系鏡筒１２１が配置されている。この投影光学系鏡筒１２１には真空ポンプ１２２が接続されており、同鏡筒１２１内を真空排気している。投影光学系鏡筒１２１内には、コンデンサレンズ（投影レンズ）１２４ａや偏向器１２４ｂ等を含む投影光学系１２４、及びウェハＷが配置されている。なお、図ではコンデンサレンズ１２４ａは一段であるが、実際の投影光学系中には複数段のレンズや収差補正用のレンズやコイル等が設けられている。
【００２４】
投影光学系鏡筒１２１の下部には、定盤１３６上に載置されたウェハチャンバ１３８が配置されている。このウェハチャンバ１３８内は、図示せぬ真空ポンプで真空排気されている。ウェハチャンバ１３８内において、定盤１３６上にはウェハステージ１３１が配置されている。ウェハＷは、このウェハステージ１３１の上部に設けられたチャック１３０に静電吸着等により固定されている。ウェハステージ１３１には、図の左方に示す駆動装置１３２が接続されている。なお、実際の駆動装置１３２は、ウェハステージ１３１内に組み込まれている。この駆動装置１３２は、ドライバ１３４を介して制御装置１１５に接続されている。
【００２５】
ウェハステージ１３１には、図の右方に示すレーザ干渉計１３３が付設されている。このレーザ干渉計１３３は、制御装置１１５に接続されている。レーザ干渉計１３３で計測されたウェハステージ１３１の位置情報が制御装置１１５に入力されると、ウェハステージ１３１の位置を目標位置とすべく、制御装置１１５からドライバ１３４に指令が出され、駆動装置１３２が駆動される。その結果、ウェハステージ１３１の位置をリアルタイムで正確にフィードバック制御することができる。
【００２６】
レチクルチャンバ１１８内のレチクルステージ１１１上のレチクルＲを通過した電子線は、投影光学系鏡筒１２１内のコンデンサレンズ１２４ａにより収束される。このコンデンサレンズ１２４ａを通過した電子線は、偏向器１２４ｂにより偏向され、ウェハＷ上の所定の位置にレチクルＲの像が結像される。
【００２７】
次に、本発明の一実施の形態に係るステージ装置について説明する。
図１は、本発明の一実施の形態に係るステージ装置を示す平面図である。
図２は、同ステージ装置の断面図（図１のＡ−Ａ線断面図）である。
図３（Ａ）は同ステージ装置のリニアモータの固定子（永久磁石）を示す平面図であり、図３（Ｂ）は永久磁石の磁極ピッチとヒートパイプの板長の関係を説明するための模式的側面図である。
図４（Ａ）は同ステージ装置のリニアモータの移動子の一部を示す平面図であり、図４（Ｂ）は図４（Ａ）の側面図である。
以下の説明において、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向とは、図１、図２に示す矢印方向を指すものとする。
【００２８】
このステージ装置１０は、図６の電子線露光装置におけるウェハステージ１３１に相当する。同ステージ装置１０のステージ２５は、図１中に矢印で示すＹ方向には精密な位置決めの必要な連続移動（スキャン）を行い、Ｘ方向には間欠的な移動・停止（ステップ）を行うよう構成されている（スキャン露光方式対応型のステージ装置）。
【００２９】
図１及び図２に示すステージ装置１０は、図６の電子線露光装置における定盤１３６上に配置されている。図１に示すように、このステージ装置１０の四隅には、定盤１３６上に立ち上げられたポスト１１ａ〜１１ｄが設けられている。ポスト１１ａと１１ｂ間、ならびに、ポスト１１ｃと１１ｄ間には、Ｙ方向に沿って互いに平行に延びるＹ固定ガイド（兼リニアモータ固定子）１３、１４がそれぞれ架け渡されて固定されている。
【００３０】
これらの各Ｙ固定ガイド１３（１４）は、図２に示すように、それぞれＺ方向上下のガイド部材１３Ａ、１３Ｂ（１４Ａ、１４Ｂ）を備えている。各Ｙ固定ガイド１３（１４）の両ガイド部材１３Ａ、１３Ｂ（１４Ａ、１４Ｂ）は、コ字状の断面を有し、内溝が外側（図２の左右）に向けて開口するように配置されている。これらガイド部材１３Ａ、１３Ｂ（１４Ａ、１４Ｂ）には、図３に示すような複数の永久磁石３０（後に詳述）が埋め込まれている。これらガイド部材１３Ａ、１３Ｂ（１４Ａ、１４Ｂ）及び永久磁石３０により、ステージを駆動するリニアモータの固定子が構成される。
【００３１】
図２に示すように、上下のガイド部材１３Ａ、１３Ｂ（１４Ａ、１４Ｂ）間には、Ｙスライダ１７（１８）が係合している。各Ｙスライダ１７（１８）はコ字状の断面を有し、上下ガイド部材１３Ａ、１３Ｂ（１４Ａ、１４Ｂ）の内溝に外側から差し込まれている。各Ｙスライダ１７（１８）は、ガイド部材１３Ａ、１３Ｂ（１４Ａ、１４Ｂ）に沿ってＹ方向（スキャン方向）にスライド可能である。各Ｙスライダ１７（１８）には、図４に示すような複数の電磁コイル４０及びヒートパイプ４１（後に詳述）が取り付けられている。これらＹスライダ１７（１８）及び電磁コイル４０により、ステージを駆動するリニアモータの移動子が構成される。
【００３２】
両Ｙスライダ１７、１８間には、Ｘガイド２１が架け渡されて固定されている。このＸガイド２１には、Ｘスライダ２３が係合している。このＸスライダ２３は、Ｘガイド２１に沿ってＸ方向（ステップ方向）にスライド可能である。Ｘスライダ２３の上面には、ステージ２５が取り付けられている。この例のステージ２５は円盤状であって、上面側にウェハを固定するための静電チャック（図示されず）が設けられている。ステージ２５は、Ｘスライダ２３とともにＸガイド２１に沿ってスライドする。
【００３３】
図２及び図３に示すように、ガイド部材１３Ａ（１４Ａ）の上下平板部には、Ｙ方向に沿って複数並んだタイル状の永久磁石３０が設けられている。各ガイド部材１３Ａ（１４Ａ）の各永久磁石３０は、Ｙ方向に沿ってＮ極・Ｓ極が交互になるように配置されている（図３（Ａ）参照）。これらの永久磁石３０は、上板部１３Ａ′（１４Ａ′）ではＳ極、Ｎ極、Ｓ極、Ｎ極・・・の順で配置されており、下板部１３Ａ″（１４Ａ″）ではＮ極、Ｓ極、Ｎ極、Ｓ極・・・の順で配置されている（図３（Ｂ）参照）。そのため、各永久磁石３０は、Ｚ方向にはＮ極に対してＳ極が対向するように配置されている。
【００３４】
なお、ガイド部材１３Ａの各永久磁石３０と、ガイド部材１４Ａの各永久磁石３０は、Ｘ方向にはステージ２５を挟んでＳ極とＮ極とが対向するように配置されている。さらに、図２に示すように、Ｘガイド２１を挟んでＺ方向下側のガイド部材１３Ｂ（１４Ｂ）には、ガイド部材１３Ａ（１４Ａ）と同様に、それぞれ永久磁石３０が配置されている。
【００３５】
図２に示すように、各Ｙスライダ１７（１８）の上下板部１７′、１７″（１８′、１８″）のそれぞれには、ヒートパイプ４１が設けられている。このヒートパイプ４１は、厚さ数ｍｍのステンレス鋼板製等の導電材であって、内部に熱媒体の流通する細い流路が形成された熱移送部材である。ヒートパイプ４１の一辺は、図示せぬ冷却水ジャケットに接続されており、熱をステージ装置１０外部に逃がすことができるようになっている。
【００３６】
このヒートパイプ４１の板長は、永久磁石３０の磁極ピッチの奇数倍となっている。本実施の形態においては、図３に示すように、ヒートパイプ４１の板長Ｌ（移動方向（Ｙ方向）に沿う長さ）が、永久磁石３０の磁極ピッチＰ（永久磁石のＹ基端面から隣接する永久磁石のＹ基端面までの長さ）の７倍に設定されている（すなわちＬ＝７Ｐ）。
【００３７】
図４に示すように、ヒートパイプ４１の上下面には、Ｙ方向（スキャン方向）に沿って複数並んだ小判状の電磁コイル４０が設けられている。各電磁コイル４０は、電源に繋がる導線（図４（Ａ）の符号４３）が接続されており、リニアモータの制御電流が印加されるようになっている。各電磁コイル４０の間の隙間には、モールド材が充填されている。
【００３８】
このようなステージ装置１０は、前述の通り、ヒートパイプ４１の板長Ｌが永久磁石３０の磁極ピッチＰの７倍（奇数倍）に設定されている。したがって、図８を参照しつつ前述したように、ステージの駆動に伴ってヒートパイプ４１に生じる渦電流を低減でき、外乱磁場の変動を低減することができる。
【００３９】
次に、本発明に係る他の実施の形態について説明する。
図５は、本発明に係るリニアモータの他の例を示す説明図であり、永久磁石の磁極ピッチとヒートパイプの板長の関係を説明するための模式的側面図である。
この図５に示す例では、前述の図３（Ｂ）に示すヒートパイプ４１（板長Ｌ＝７Ｐ）の上面に、板長Ｌ´＝５Ｐのダミー板５１が重ね合わせられている。ダミー板５１自体は単なる板体であってヒートパイプではないが、ヒートパイプ４１と同材質・同板厚の性状を有する。ダミー板５１は、ヒートパイプ４１上面の中央寄り（ヒートパイプ４１板長の２Ｐ〜６Ｐの範囲）に重ね合わされている。
【００４０】
この場合、前述した通り、２枚の板体（ヒートパイプ４１及びダミー板５１）を重ね合わせた場合の磁界変動の関係は、
ヒートパイプ４１とダミー板５１とを重ね合わせた場合の磁界変動＝ヒートパイプ４１の磁界変動＋ダミー板５１の磁界変動
で表されることとなる。そして、図８を参照しつつ前述したように、板長Ｌ＝７Ｐのヒートパイプ４１と、板長Ｌ´＝５Ｐのダミー板５１とでは、磁界変動の位相がπ（＝１８０度）ずれることとなる。したがって、これらヒートパイプ４１及びダミー板５１を重ね合わせることで、ヒートパイプ４１の磁界変動を打ち消すことが可能となる。
【００４１】
なお、図５では板長Ｌ＝７Ｐのヒートパイプと、板長Ｌ′＝５Ｐのダミー板とを重ね合わせた例についてのみ挙げているが、前述した通り、偶数ピッチ長同士、例えば、板長Ｌ＝８Ｐのヒートパイプと板長Ｌ′＝６Ｐのダミー板とを重ね合わせた場合も、磁界変動の位相がπ（＝１８０度）ずれることとなり、同様の効果を得ることができる。一般的な条件は、ヒートパイプの板長をＣＬ、ダミー板の板長をＤＬ、磁極ピッチをＰとするとき、値ＣＬ／Ｐから値ＤＬ／Ｐを引いた値が２となるような板長の組み合わせとする。ここで、値ＣＬ／Ｐ、ＤＬ／Ｐが自然数値とならない場合は、小数点以下は切り捨てる。
【００４２】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、リニアモータの駆動に伴う渦電流の発生により起こる外乱磁場を低減できるステージ装置等を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係るステージ装置を示す平面図である。
【図２】同ステージ装置の断面図（図１のＡ−Ａ線断面図）である。
【図３】図３（Ａ）は同ステージ装置のリニアモータの固定子（永久磁石）を示す平面図であり、図３（Ｂ）は永久磁石の磁極ピッチとヒートパイプの板長の関係を説明するための模式的側面図である。
【図４】図４（Ａ）は同ステージ装置のリニアモータの移動子の一部を示す平面図であり、図４（Ｂ）は図４（Ａ）の側面図である。
【図５】本発明に係るリニアモータの他の例を示す説明図であり、永久磁石の磁極ピッチとヒートパイプの板長の関係を説明するための模式的側面図である。
【図６】本発明の一実施の形態に係る電子線露光装置を模式的に示す図である。
【図７】本発明者らの用いた実験用ステージ装置の概略構成を示す斜視図である。
【図８】図７の実験用ステージ装置を用いて外乱磁場の変動を測定した結果を表すグラフである。縦軸は正規化された磁場変動を示し、横軸は時間（ｓｅｃ）を示す。
【図９】ステージ装置のリニアモータにおける渦電流の問題点を説明するための模式図である。
【符号の説明】
１０ ステージ装置
１１ａ〜１１ｄ ポスト １３、１４ Ｙ固定ガイド
１３Ａ、１３Ｂ、１４Ａ、１４Ｂ ガイド部材
１３Ａ′、１４Ａ′ 上板部 １３Ａ″、１４Ａ″ 下板部
１７、１８ Ｙスライダ ２１ Ｘガイド
２３ Ｘスライダ ２５ ステージ
３０ 永久磁石 ４０ 電磁コイル
４１ ヒートパイプ ５１ ダミー板
１３１ ウェハステージ １３６ 定盤
Ｌ ヒートパイプの板長 Ｌ′ ダミー板の板長
Ｐ 磁極ピッチ

Claims (4)

1. ステージを移動・位置決めするステージ装置であって、前記ステージの駆動用アクチュエータとしてのリニアモータを具備し、該リニアモータの固定子が、移動方向に沿って配列された複数の磁石を有し、該リニアモータの移動子が、移動方向に沿って配列された複数のコイルと、該配列された複数のコイルに添うように配置されたコイル冷却板と、を有し、該コイル冷却板の前記移動方向に沿う長さＣＬが、前記固定子の磁極ピッチＰの奇数倍となっていることを特徴とするステージ装置。
2. ステージを移動・位置決めするステージ装置であって、前記ステージの駆動用アクチュエータとしてのリニアモータを具備し、該リニアモータの固定子が、移動方向に沿って配列された複数の磁石を有し、該リニアモータの移動子が、移動方向に沿って配列された複数のコイルと、該配列された複数のコイルに添うように配置されたコイル冷却板と、該コイル冷却板に添うように配置された板体（ダミー板）と、を有し、前記コイル冷却板の前記移動方向に沿う長さＣＬと、前記ダミー板の前記移動方向に沿う長さＤＬとが、前記固定子の磁極ピッチＰの奇数倍となっており、
   前記長さＣＬを前記磁極ピッチＰで割った値ＮＣ＝ＣＬ／Ｐ（但し小数点以下切り捨て）と、前記長さＤＬを前記磁極ピッチＰで割った値ＮＤ＝ＤＬ／Ｐ（但し小数点以下切り捨て）とが、ＮＣ−ＮＤ＝２を満たすことを特徴とするステージ装置。
3. ステージを移動・位置決めするステージ装置であって、前記ステージの駆動用アクチュエータとしてのリニアモータを具備し、該リニアモータの固定子が、移動方向に沿って配列された複数の磁石を有し、該リニアモータの移動子が、移動方向に沿って配列された複数のコイルと、該配列された複数のコイルに添うように配置されたコイル冷却板と、該コイル冷却板に添うように配置された板体（ダミー板）と、を有し、前記コイル冷却板の前記移動方向に沿う長さＣＬと、前記ダミー板の前記移動方向に沿う長さＤＬとが、前記固定子の磁極ピッチＰの偶数倍となっており、
   前記長さＣＬを前記磁極ピッチＰで割った値ＮＣ＝ＣＬ／Ｐ（但し小数点以下切り捨て）と、前記長さＤＬを前記磁極ピッチＰで割った値ＮＤ＝ＤＬ／Ｐ（但し小数点以下切り捨て）とが、ＮＣ−ＮＤ＝２を満たすことを特徴とするステージ装置。
4. 感応基板に荷電粒子線を選択的に照射してパターン形成する露光装置であって、
   前記感応基板及び／又はパターン原版（マスク、レチクル）を移動・位置決めするための前記請求項１〜３いずれか１項記載のステージ装置を備えることを特徴とする荷電粒子線露光装置。

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