JP2005003995A - 暗視野照明装置 - Google Patents
暗視野照明装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005003995A JP2005003995A JP2003168079A JP2003168079A JP2005003995A JP 2005003995 A JP2005003995 A JP 2005003995A JP 2003168079 A JP2003168079 A JP 2003168079A JP 2003168079 A JP2003168079 A JP 2003168079A JP 2005003995 A JP2005003995 A JP 2005003995A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dark field
- illumination light
- illumination
- subject
- illumination device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/0006—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 with means to keep optical surfaces clean, e.g. by preventing or removing dirt, stains, contamination, condensation
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
- G02B1/11—Anti-reflection coatings
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/06—Means for illuminating specimens
- G02B21/08—Condensers
- G02B21/10—Condensers affording dark-field illumination
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
【解決手段】暗視野照明装置は、照明光線を発する照明用光源1と、照明用光源1から発せられた照明光線の一部を遮る遮光板3と、吸収タイプのNDフィルター4と、遮光板3とNDフィルター4を取り囲む円筒形状の暗視野ミラー2とを備えている。照明用光源1と遮光板3とNDフィルター4は共に対物レンズ6の光軸O上に位置している。遮光板3は、被検体7と照明用光源1の間に位置し、照明用光源1から対物レンズ6に直接入射する照明照明光線を選択的に遮る。円筒形状の暗視野ミラー2の内面2aはミラーであり、遮光板3で遮られる照明光線よりも外側を通る光線を被検体7に向けて反射する。NDフィルター4は、被検体7と遮光板3の間に配置され、被検体7の側に平滑面4aを有している。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、顕微鏡の暗視野照明装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
透光性を有する純物質や光学的異方性物質を含む被検体を顕微競で観察する場合、暗視野観察が一般的に用いられている。
【0003】
暗視野観察とは、観察光学系に直接照明光が入らないようにすることで、被検体での散乱光だけを観察する観察方法であり、観察像は暗黒内に散乱光だけが見える。
【0004】
このとき、被検体の散乱光以外の光線が観察光学系に入射すると、観察像の背景が暗黒になりきらず、コントラストが低下し、目的とする被検体の散乱光を検出し難くなる。すなわち、暗視野観察では、不要な光線が観察光学系へ入射することを防ぐことが重要である。
【0005】
実公昭45−11051号公報は、暗視野観察を行うための照明装置を開示している。図5は、同文献に開示されている暗視野観察を行うための照明装置の断面構造を示している。
【0006】
図5に示される照明装置では、暗視野の観察の際、明視野・暗視野の切換レバー22が照明光源18の上に入れられる。これにより、照明光源18から発せられた照明光線の内、観察光学系に直接入射する照明光線のみが遮光される。その他の照明光線は、反射ミラー19の内面で被検体30側へ反射されて、被検体30を照明する。このとき、設計光路以外の光線が、明視野・暗視野の切換レバー22に当たって散乱して、観察光学系に入射するのを防ぐため、もともとの設計光路以外の光線が観察光学系に入るのを防ぐように遮光部31が配置されている。
【0007】
被検体30を透過した不要な反射照明光線は観察光学系に入射することなく、図の上方へ進んでいく。その結果、観察像の散乱光だけが暗黒な視野の中に見える暗視野観察が可能となる。
【0008】
また、特開平11−153755公報は、暗視野観察を行うための照明装置を開示している。図6は、同文献に開示されている暗視野観察を行うための照明装置の断面構造を示している。
【0009】
図6に示される照明装置では、照明光源34と観察光学系である対物レンズ39の間に遮光部36が配置されている。遮光部36は、照明光源34から発せられた照明光線の内、対物レンズ39に直接入射する照明光線のみを遮光する。その他の照明光線は、反射ミラー35の内側に構成された内壁面35aで被検体38側へ反射されて、被検体38を照明する。
【0010】
被検体38を透過した不利益な反射照明光線は、対物レンズ39に入射することなく、図の上方へ進んでいく。その結果、観察像は暗黒に散乱光だけが見える暗視野観察となる。
【0011】
【特許文献1】
実公昭45−11051号公報
【0012】
【特許文献2】
特開平11−153755公報
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、多くの場合、被検体はガラスプレートやガラス容器で保持される。また、照明装置へのごみや水の進入を防ぐための防塵防水ガラスが被検体と遮光板の間に設けられている。このように、通常は、被検体と照明光源の間にガラス製の部材が存在する。このため、被検体を照明する照明光線の一部は、このガラス面で再び光源の側へ反射される。この反射光線の一部は、遮光板上に入射し拡散され、拡散光の一部は、対物レンズへ入射して、観察像のコントラストを低下させてしまう。
【0014】
また、暗視野観察では被検体から発する散乱光が微弱なため、より明るい光源の採用や照明系の適正化といった照明系の明るさ向上が盛んに行われている。これは、その反面、ガラス面で再び光源側へ反射される光線量が多くなるため、前述のコントラスト低下はより顕著な問題となってきている。
【0015】
本発明は、この様な実状を考慮して成されたものであり、その目的は、照明光の明るさ向上に影響されることなくコントラストの良い暗視野観察を実現する暗視野照明装置を提供することである。
【0016】
【課題を解決するための手段】
本発明は、観察光学系により観察される被検体に対して暗視野照明を行う暗視野照明装置に向けられており、以下の各項に列記する暗視野照明装置を含んでいる。
【0017】
1. 本発明の暗視野照明装置は、照明光線を発する照明用光源と、前記被検体と前記照明用光源の間に位置し、前記照明用光源から発せられた照明光線のうち前記観察光学系へ直接入射する照明光線を選択的に遮る遮光板と、前記遮光板で遮られる照明光線よりも外側を通る照明光線を前記被検体へ方向付ける光学部材とを備えている暗視野照明装置において、前記被検体と前記遮光板の間に配置され、前記被検体の側に平滑面を有するバックグラウンド部材を更に備えていることを特徴とする。
【0018】
この暗視野照明装置においては、バックグラウンド部材は被検体の側の面が平滑面であるので、バックグラウンド部材と被検体の間に存在する部材で反射されてバックグラウンド部材に入射する光線は殆ど散乱されない。このため、不所望な光線が観察光学系に入ることが効果的に防止される。
【0019】
2. 本発明の別の暗視野照明装置は、第1項の暗視野照明装置において、前記バックグラウンド部材の平滑面が鏡面であることを特徴とする。
【0020】
この暗視野照明装置においては、バックグラウンド部材の平滑面(鏡面)に入射した光線は反射されて観察光学系の外に抜けて行く。
【0021】
3. 本発明の別の暗視野照明装置は、第1項または第2項の暗視野照明装置において、前記バックグラウンド部材は、その内部に入った照明光線を減衰させることを特徴とする。
【0022】
この暗視野照明装置においては、バックグラウンド部材の平滑面を通過してその内部に入った照明光線は減衰され、バックグラウンド部材の平滑面で反射された光線は観察光学系の外に抜けて行く。
【0023】
4. 本発明の別の暗視野照明装置は、第3項の暗視野照明装置において、前記バックグラウンド部材は、その内部に入った照明光線を吸収することにより減衰させることを特徴とする。
【0024】
この暗視野照明装置においては、バックグラウンド部材の平滑面を通過してその内部に入った照明光線は吸収により減衰される。
【0025】
5. 本発明の別の暗視野照明装置は、第3項の暗視野照明装置において、前記バックグラウンド部材は、その内部に入った照明光線を干渉により減衰させることを特徴とする。
【0026】
この暗視野照明装置においては、バックグラウンド部材の平滑面を通過してその内部に入った照明光線は干渉により減衰される。
【0027】
6. 本発明の別の暗視野照明装置は、第1項〜第5項の暗視野照明装置において、前記バックグラウンド部材は、平滑面に設けられた反射防止膜を更に有していることを特徴とする。
【0028】
この暗視野照明装置においては、バックグラウンド部材の平滑面で反射される照明光線の光線量が低減される。
【0029】
7. 本発明の別の暗視野照明装置は、第1項〜第6項の暗視野照明装置において、前記光学部材は、内面が反射面である円筒形状ミラーを含み、円筒形状ミラーの中心軸が観察光学系の光軸に略一致して配置されていることを特徴とする。
【0030】
この暗視野照明装置においては、被検体に照明光線が周りから均等に照射される。
【0031】
8. 本発明の別の暗視野照明装置は、第1項〜第7項の暗視野照明装置において、前記バックグラウンド部材と前記遮光板とが、ひとつの部材として構成されていることを特徴とする。
【0032】
この暗視野照明装置においては、部品点数が低減される。
【0033】
9. 本発明の別の暗視野照明装置は、第1項の暗視野照明装置において、前記被検体と前記バックグラウンド部材の間に配置された防塵防水ガラスを更に備えていることを特徴とする。
【0034】
この暗視野照明装置においては、バックグラウンド部材などの汚れが効果的に防止される。
【0035】
10. 本発明の別の暗視野照明装置は、第9項の暗視野照明装置において、前記防塵防水ガラスは、その表面に設けられた反射防止膜を更に有していることを特徴とする。
【0036】
この暗視野照明装置においては、防塵防水ガラスで照明光源側に反射される照明光線の光線量が低減される。
【0037】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態について説明する。
【0038】
第一実施形態
本実施形態は、観察光学系により観察される被検体に対して暗視野照明を行う暗視野照明装置に向けられている。図1は、本発明の第一実施形態の暗視野照明装置の断面構造を示している。
【0039】
図1に示されるように、被検体7はステージガラス5上に載置されている。被検体7を観察するための観察光学系は、例えば、被検体7の上方に配置された顕微鏡の対物レンズ6を含んでいる。本実施形態の暗視野照明装置は、ステージガラス5を基準にして観察光学系の対物レンズ6の反対側、すなわち、ステージガラス5の下方に位置している。
【0040】
本実施形態の暗視野照明装置は、照明光線を発する照明用光源1と、照明用光源1から発せられた照明光線の一部を遮る遮光板3と、吸収タイプのNDフィルター4と、遮光板3とNDフィルター4(光線透過率20%以下)を取り囲む円筒形状の暗視野ミラー2とを備えている。
【0041】
照明用光源1と遮光板3とNDフィルター4は共に対物レンズ6の光軸O上に位置している。
【0042】
遮光板3は、被検体7と照明用光源1の間に位置しており、照明用光源1から発せられた照明光線のうち対物レンズ6に直接入射する照明照明光線を選択的に遮る。
【0043】
円筒形状の暗視野ミラー2は、その内径が遮光板3やNDフィルター4より大きく、その内面2aは、ミラーであり、遮光板3で遮られる照明光線よりも外側を通る照明光線を、被検体7へ方向付ける(つまり被検体7に向けて反射する)。これにより、被検体7には、照明光線が、その周囲から均等に照射される。
【0044】
NDフィルター4は、被検体7と遮光板3の間に配置され、被検体7の側に平滑面4aを有している。
【0045】
図1において、照明用光源1から発せられた照明光線のうち、被検体7に直接向かう照明光線は、遮光板3で遮光されて、被検体7には到達し得ない。また、暗視野ミラー2の内面2aで反射された照明光線L1は、NDフィルター4の外側を通り、ステージガラス5を透過する。照明光線L1は、一部が、被検体7に入射し、他は、観察光学系の対物レンズ6には入らずに、顕微鏡装置の外に抜けて行く。被検体7に入射した照明光線L1は、被検体7を照明し、被検体7で散乱される。
【0046】
被検体7からの散乱光の一部は、対物レンズ6(の開口)に入射し、対物レンズ6を含む(図示しない)観察光学系によって拡大観察される。その観察光学系の拡大視察された視野は、遮光板3が照明用光源1の光を遮ることにより暗いバックグラウンドとなり、被検体7からの散乱光が暗いバックグラウンドの中に観察される。
【0047】
暗視野ミラー2で反射された照明光線L1は、ステージガラス5の照明用光源1の側の面や被検体7の側の面において、その光線量の数%が反射される。ステージガラス5で反射された照明光線L2は、その殆どは、NDフィルター4に入射する。NDフィルター4に入射した照明光線L2は、その大部分は、散乱されることなく平滑面4aを通過してNDフィルター4内に入り、NDフィルター4の光線の吸収により十分に減衰される。また、NDフィルター4に入射した照明光線L2の数%程度は、平滑面4aを通過してNDフィルター4内に入らないが、そのような照明光線L3は、平滑面4aで散乱されることなく反射され、対物レンズ6(の開口)の外側を通り、顕微鏡装置の外に抜けて行く。
【0048】
これまでの説明から分かるように、本実施形態の暗視野照明装置においては、ステージガラス5で反射された照明光線L2は、NDフィルター4の被検体側が平滑面4aであるために散乱されることなく、NDフィルター4の内部に入り吸収されるか、平滑面4aで反射されて観察光学系の外に抜けていく。このため、バックグラウンドが暗くコントラストの良い暗視野観察が可能となる。
【0049】
本実施形態の暗視野照明装置において、NDフィルター4は何の支障もなく遮光板3の近くに容易に配置可能であるので、光軸に沿ってコンパクトに構成可能である。
【0050】
なお、ステージガラス5は取り外しが可能であり、吸収タイプのNDフィルター4の平滑面4aは容易に清掃可能であり、NDフィルター4の平滑面4aに付着したゴミや汚れ等の光拡散物は容易に除去することが可能である。これにより、バックグラウンドが暗くコントラストの良い暗視野観察を継統的に得ることが可能である。
【0051】
本実施形態は、以下に述べる変形例のように、様々な変更や修正や改良が施されてもよい。
【0052】
第一変形例
本実施形態の暗視野照明装置における吸収タイプのNDフィルター4は、被検体7の側に平滑面を有する光線透過率20%以下の干渉タイプのNDフィルターに置き換えられてもよい。干渉タイプのNDフィルターの干渉膜は、被検体7の側の面と照明用光源1の側の面のどちらに成膜されてもよい。
【0053】
本変形例においても、干渉タイプのNDフィルターは被検体7の側に平滑面を有しているため、干渉タイプのNDフィルターに入射した照明光線L2は殆ど散乱されない。干渉NDフィルターの内部に入った照明光線は干渉を繰り返して減衰される。また、干渉NDフィルターで反射された照明光線は対物レンズ6の外に抜けて行く。
【0054】
このため、本実施形態と同様、バックグラウンドが暗くコントラストの良い暗視野観察が可能となる。
【0055】
第二変形例
本実施形態の暗視野照明装置における吸収タイプのNDフィルター4は、光線透過率0%〜20%のアクリル板やウィンドフィルムなど、被検体7の側に平滑面を有すると共に光を吸収することにより減衰させる光吸収部材に置き換えられてもよい。
【0056】
本変形例においても、光吸収部材は被検体7の側に平滑面を有しているため、光吸収部材に入射した照明光線L2は殆ど散乱されない。光吸収部材の内部に入った照明光線は吸収され減衰される。また、光吸収部材で反射された照明光線は対物レンズ6の外に抜けて行く。
【0057】
このため、本実施形態と同様、バックグラウンドが暗くコントラストの良い暗視野観察が可能となる。さらに、部品コストの削減効果が得られる。
【0058】
第三変形例
本実施形態の暗視野照明装置における吸収タイプのNDフィルター4は、被検体7の側に平滑な鏡面を有する鏡に置き換えられてもよい。つまり、平滑面が鏡面であってよい。
【0059】
本変形例においても、鏡は被検体7の側に平滑面を有しているため、鏡に入射した照明光線L2は殆ど散乱されない。また、鏡に入射した照明光線は反射されて対物レンズ6の外に抜けて行く。
【0060】
このため、本実施形態と同様、バックグラウンドが暗くコントラストの良い暗視野観察が可能となる。
【0061】
第四変形例
本実施形態の暗視野照明装置(およびその第一変形例〜第三変形例)におけるNDフィルター(やそれに代わる部材)は、平滑面に設けられた反射防止膜を更に有していてもよい。
【0062】
本変形例においては、平滑面に入射した照明光線L2は、反射防止膜の中に入り、干渉により減衰される。これにより、平滑面で反射される照明光線の光線量が減る。また、NDフィルター等の内部に入った照明光線は、より好適に吸収される。
【0063】
このため、バックグラウンドが暗くコントラストの良いより好適な暗視野観察が可能となる。
【0064】
第五変形例
本実施形態の暗視野照明装置における吸収タイプのNDフィルター4は、植毛布に置き換えられてもよい。植毛布は、無数の毛がほぼ垂直に植えられた布であり、毛そのものの反射率の低さと、無数の毛が互いに重なりあう部分を有する。このため、植毛布は入射する光線を殆ど散乱せず反射もしない。
【0065】
本変形例において、植毛布に入射した照明光線は、殆ど散乱されず、また殆ど反射されない。
【0066】
このため、本実施形態と同様、バックグラウンドが暗くコントラストの良い暗視野観察が可能となる。
【0067】
第二実施形態
本実施形態は、別の暗視野照明装置に向けられている。図2は、本発明の第二実施形態の暗視野照明装置の断面構造を示している。図2において、図1に示された部材と同一の参照符号で指示された部材は同様の部材であり、その詳しい説明は省略する。
【0068】
図2に示されるように、本実施形態の暗視野照明装置は、第一実施形態の暗視野照明装置の構成に加えて、暗視野ミラー2とステージガラス5の間に配置された防塵防水ガラス8を更に備えている。ステージガラス5が取り外し可能であるのに対して、防塵防水ガラス8は、顕微鏡照明架台の本体に固定されており、照明架台本体内部にゴミや挨、塵、水など汚染物質が進入するのを防いでいる。
【0069】
防塵防水ガラス8は、暗視野ミラー2の内面28で反対された照明光線L1の一部を反射する。防塵防水ガラス8で反射された照明光線L4の一部はNDフィルター4(やその代替部材)に入射する。NDフィルター4(やその代替部材)は被検体7の側に平滑面を有しているため、NDフィルター4(やその代替部材)に入射した照明光線L4は殆ど散乱されない。NDフィルター4(やその代替部材)で反射された照明光線L5は、対物レンズ6の外に抜けて行く。また、NDフィルター4(や鏡を除く代替部材)の内部に入った照明光線は減衰される。
【0070】
本実施形態の暗視野照明装置においては、第一実施形態と同様の利点に加えて、防塵防水ガラス8を有しているため、NDフィルター4(やその代替部材)などの汚れが効果的に防止される。
【0071】
本実施形態は、以下に述べる変形例のように、様々な変更や修正や改良が施されてもよい。
【0072】
第一変形例
本実施形態の暗視野照明装置における防塵防水ガラス8は、その表面に設けられた反射防止膜を更に有していてもよい。
【0073】
本変形例においては、防塵防水ガラス8が反射防止膜を有しているため、防塵防水ガラス8で照明用光源1の側に反射される照明光線の光線量が減る。
【0074】
このため、バックグラウンドが暗くコントラストの良いより好適な暗視野観察が可能となる。
【0075】
第二変形例
本実施形態の暗視野照明装置における防塵防水ガラス8は、各種の光学部材に置き換えられてもよい。また、そのような各種の光学部材が、NDフィルター4(やその代替部材)とステージガラス5の間に配置されてもよい。
【0076】
本変形例においては、追加した各種の光学部材に特有の利点や光学的作用等を本実施形態に付与することが可能となる。
【0077】
第三実施形態
本実施形態は、第一実施形態の暗視野照明装置や第二実施形態の暗視野照明装置の部分的変形に向けられている。
【0078】
本実施形態の暗視野照明装置は、第一実施形態の暗視野照明装置や第二実施形態の暗視野照明装置の構成から遮光板3が取り除され、その代わりにNDフィルター4(やその代替部材)が遮光板3と同様の機能を兼ね備えている構成を有している。つまり、遮光板とNDフィルター(やその代替部材)とが一つの部品として構成されている。
【0079】
本実施形態におけるNDフィルター(やその代替部材)は、照明用光源1の側からの照明光線に対する光線透過率が0%である。
【0080】
本実施形態においては、NDフィルター(やその代替部材)が遮光板を兼ねるため、第一実施形態や第二実施形態と比較して、部品価格の低減、組立て工数の削減などの利点が得られる。
【0081】
第四実施形態
本実施形態は、別の暗視野照明装置に向けられている。図3は、本発明の第四実施形態の暗視野照明装置の断面構造を示している。図4は、図3に示される暗視野ミラーを下方から見た平面図である。図3において、図2に示された部材と同一の参照符号で指示された部材は同様の部材であり、その詳しい説明は省略する。
【0082】
図3に示されるように、本実施形態の暗視野照明装置は、照明光線束を発する照明用光源9と、照明用光源9からの照明光線束を平行光線束に変えるコレククーレンズ10と、平行光線束を収束性光線束に変える凸レンズ12と、コレククーレンズ10と凸レンズ12の間に配置された各種フィルター11と、凸レンズ12からの照明光線束を偏向するミラー13と、暗視野ミラー15とを備えている。
【0083】
暗視野ミラー15は、図3と図4に示されるように、円錐反射鏡15aと、その内面がミラーである円筒ミラー部15bと、円錐反射鏡15aと円筒ミラー部15bを連結している連結部15cとを有している。円錐反射鏡15aは、ミラー13からの照明光線を円筒ミラー部15bに方向付け、円筒ミラー部15bは、円錐反射鏡15aからの照明光線を被検体7へ方向付ける。
【0084】
暗視野照明装置は更に、図3に示されるように、ミラー13等からの照明光線が対物レンズ6に直接入射するのを防止するための遮光板17を有している。遮光板17は、円錐反射鏡15aの裏側すなわち被検体側に設けられている。
【0085】
本実施形態の暗視野照明装置は、第一実施形態〜第三実施形態と同様の利点を有していることに加えて、照明用光源9が観察光学系の光軸Oを外れて横方向に配置されているため、光軸Oに沿った寸法を小さくすることが可能となる。また、照明用光源9が被検体7から離れているため、被検体7の不所望な温度上昇が効果的に抑えることが可能となる。
【0086】
これまで、図面を参照しながら本発明の実施の形態を述べたが、本発明は、これらの実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において様々な変形や変更が施されてもよい。
【0087】
本明細書は以下に各項に記す発明を開示している。
【0088】
1. 観察光学系により観察される被検体に対して暗視野照明を行う暗視野照明装置であり、
照明光線を発する照明用光源と、
前記被検体と前記照明用光源の間に位置し、前記照明用光源から発せられた照明光線のうち前記観察光学系へ直接入射する照明光線を選択的に遮る遮光板と、
前記遮光板で遮られる照明光線よりも外側を通る照明光線を前記被検体へ方向付ける光学部材とを備えている暗視野照明装置において、
前記被検体と前記遮光板の間に配置され、前記被検体の側に平滑面を有するバックグラウンド部材を更に備えていることを特徴とする暗視野照明装置。
【0089】
2. 前記バックグラウンド部材の平滑面が鏡面であることを特徴とする、第1項に記載の暗視野照明装置。
【0090】
3. 前記バックグラウンド部材は、その内部に入った照明光線を減衰させることを特徴とする、第1項または第2項に記載の暗視野照明装置。
【0091】
4. 前記バックグラウンド部材は、その内部に入った照明光線を吸収することにより減衰させることを特徴とする、第3項に記載の暗視野照明装置。
【0092】
5. 前記バックグラウンド部材は、その内部に入った照明光線を干渉により減衰させることを特徴とする、第3項に記載の暗視野照明装置。
【0093】
6. 前記バックグラウンド部材は、平滑面に設けられた反射防止膜を更に有していることを特徴とする、第1項〜第5項のいずれかひとつに記載の暗視野照明装置。
【0094】
7. 前記光学部材は、内面が反射面である円筒形状ミラーを含み、円筒形状ミラーの中心軸が観察光学系の光軸に略一致して配置されていることを特徴とする、第1項〜第6項のいずれかひとつに記載の暗視野照明装置。
【0095】
8. 前記バックグラウンド部材と前記遮光板とが、ひとつの部材として構成されていることを特徴とする、第1項〜第7項のいずれかひとつに記載の暗視野照明装置。
【0096】
9. 前記被検体と前記バックグラウンド部材の間に配置された防塵防水ガラスを更に備えていることを特徴とする、第1項に記載の暗視野照明装置。
【0097】
10. 前記防塵防水ガラスは、その表面に設けられた反射防止膜を更に有していることを特徴とする、第9項に記載の暗視野照明装置。
【0098】
【発明の効果】
本発明によれば、照明光の明るさ向上に影響されることなくコントラストの良い暗視野観察を実現する暗視野照明装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一実施形態の暗視野照明装置の断面構造を示している。
【図2】本発明の第二実施形態の暗視野照明装置の断面構造を示している。
【図3】本発明の第四実施形態の暗視野照明装置の断面構造を示している。
【図4】図3に示される暗視野ミラーを下方から見た平面図である。
【図5】同文献に開示されている暗視野観察を行うための照明装置の断面構造を示している。
【図6】同文献に開示されている暗視野観察を行うための照明装置の断面構造を示している。
【符号の説明】
1…照明用光源、2…暗視野ミラー、2a…内面、3…遮光板、4…NDフィルター、4a…平滑面、5…ステージガラス、6…対物レンズ、7…被検体、8…防塵防水ガラス、9…照明用光源、10…コレククーレンズ、11…フィルター、12…凸レンズ、13…ミラー、15…暗視野ミラー、15a…円錐反射鏡、15b…円筒ミラー部、15c…連結部。
Claims (6)
- 観察光学系により観察される被検体に対して暗視野照明を行う暗視野照明装置であり、
照明光線を発する照明用光源と、
前記被検体と前記照明用光源の間に位置し、前記照明用光源から発せられた照明光線のうち前記観察光学系へ直接入射する照明光線を選択的に遮る遮光板と、
前記遮光板で遮られる照明光線よりも外側を通る照明光線を前記被検体へ方向付ける光学部材とを備えている暗視野照明装置において、
前記被検体と前記遮光板の間に配置され、前記被検体の側に平滑面を有するバックグラウンド部材を更に備えていることを特徴とする暗視野照明装置。 - 前記バックグラウンド部材の平滑面が鏡面であることを特徴とする、請求項1に記載の暗視野照明装置。
- 前記バックグラウンド部材は、その内部に入った照明光線を減衰させることを特徴とする、請求項1または請求項2に記載の暗視野照明装置。
- 前記バックグラウンド部材は、平滑面に設けられた反射防止膜を更に有していることを特徴とする、請求項1〜請求項3のいずれかひとつに記載の暗視野照明装置。
- 前記バックグラウンド部材と前記遮光板とが、ひとつの部材として構成されていることを特徴とする、請求項1〜請求項4のいずれかひとつに記載の暗視野照明装置。
- 前記被検体と前記バックグラウンド部材の間に配置された防塵防水ガラスを更に備えていることを特徴とする、請求項1に記載の暗視野照明装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003168079A JP2005003995A (ja) | 2003-06-12 | 2003-06-12 | 暗視野照明装置 |
US10/861,813 US6989925B2 (en) | 2003-06-12 | 2004-06-04 | Dark field illumination device |
DE602004020020T DE602004020020D1 (de) | 2003-06-12 | 2004-06-09 | Dunkelfeld Beleuchtungsvorrichtung |
EP04013651A EP1486812B1 (en) | 2003-06-12 | 2004-06-09 | Dark field illumination device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003168079A JP2005003995A (ja) | 2003-06-12 | 2003-06-12 | 暗視野照明装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005003995A true JP2005003995A (ja) | 2005-01-06 |
Family
ID=33296878
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003168079A Pending JP2005003995A (ja) | 2003-06-12 | 2003-06-12 | 暗視野照明装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6989925B2 (ja) |
EP (1) | EP1486812B1 (ja) |
JP (1) | JP2005003995A (ja) |
DE (1) | DE602004020020D1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011144212A1 (en) * | 2010-05-21 | 2011-11-24 | Chemometec A/S | A compact dark field light source and dark field image analysis at low magnification |
KR101324015B1 (ko) * | 2011-08-18 | 2013-10-31 | 바슬러 비전 테크놀로지스 에이지 | 유리기판 표면 불량 검사 장치 및 검사 방법 |
US9885878B2 (en) * | 2013-04-10 | 2018-02-06 | Fei Efa, Inc. | Apparatus and method for annular optical power management |
IL254325B2 (en) | 2015-03-13 | 2024-03-01 | Genea Ltd | Method and device for microscopy |
WO2018017575A2 (en) * | 2016-07-18 | 2018-01-25 | Instrumental, Inc. | Modular optical inspection station |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2415732A (en) | 1944-05-19 | 1947-02-11 | Domingo Emil | Microscope condenser |
JPS503355A (ja) * | 1973-05-11 | 1975-01-14 | ||
JPS6090319A (ja) * | 1983-10-24 | 1985-05-21 | Olympus Optical Co Ltd | 暗視野照明装置 |
DE3527322A1 (de) * | 1985-07-31 | 1987-02-12 | Zeiss Carl Fa | Autofokuseinrichtung fuer auflichtmikroskope |
US5268749A (en) * | 1991-07-26 | 1993-12-07 | Kollmorgen Corporation | Apparatus and method for providing uniform illumination of a sample plane |
US5820250A (en) | 1995-10-24 | 1998-10-13 | Dolan-Jenner Industries, Inc. | Dark field illuminator ringlight adaptor |
US5741213A (en) * | 1995-10-25 | 1998-04-21 | Toa Medical Electronics Co., Ltd. | Apparatus for analyzing blood |
US5982534A (en) | 1997-06-18 | 1999-11-09 | The Regents Of The University Of California | Specimen illumination apparatus with optical cavity for dark field illumination |
JPH11153755A (ja) | 1997-09-19 | 1999-06-08 | Olympus Optical Co Ltd | 暗視野照明装置 |
JP2000019411A (ja) * | 1998-07-02 | 2000-01-21 | Olympus Optical Co Ltd | 実体顕微鏡の照明装置 |
CA2243090A1 (en) | 1998-07-10 | 2000-01-10 | Timothy M. Richardson | Inverted darkfield contrast microscope and method |
JP4604300B2 (ja) * | 2000-02-09 | 2011-01-05 | 株式会社ニコン | 顕微鏡 |
-
2003
- 2003-06-12 JP JP2003168079A patent/JP2005003995A/ja active Pending
-
2004
- 2004-06-04 US US10/861,813 patent/US6989925B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2004-06-09 DE DE602004020020T patent/DE602004020020D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2004-06-09 EP EP04013651A patent/EP1486812B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20040252372A1 (en) | 2004-12-16 |
EP1486812A3 (en) | 2005-02-23 |
EP1486812B1 (en) | 2009-03-18 |
US6989925B2 (en) | 2006-01-24 |
DE602004020020D1 (de) | 2009-04-30 |
EP1486812A2 (en) | 2004-12-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0857316B1 (en) | Dark field illuminator ringlight adaptor | |
US10877256B2 (en) | Observation device | |
JP3872871B2 (ja) | 対物レンズ及び顕微鏡 | |
JPWO2018062215A1 (ja) | 観察装置 | |
JP2005003995A (ja) | 暗視野照明装置 | |
JPH0516567B2 (ja) | ||
US10310247B2 (en) | Sample observation device and sample observation method | |
EP2069847B1 (en) | Wide-area fluorescence detection system for multi-photon microscopy | |
JP6639668B2 (ja) | 顕微鏡において使用するための照明野絞りならびに関連する方法およびシステム | |
JPS63142239A (ja) | 表面形状の観察装置 | |
JP3908022B2 (ja) | 蛍光観察装置 | |
JP4532930B2 (ja) | 暗視野照明装置 | |
JP2006330359A (ja) | 顕微鏡システム及びフレア防止光学装置 | |
JP2002023060A (ja) | 顕微鏡 | |
JP2013114808A (ja) | 照明器具及びこれを組み込んだ撮像装置 | |
US8759792B2 (en) | Non-contact total emission detection method and system for multi-photon microscopy | |
JP2009086392A (ja) | 位相差顕微鏡 | |
JP3364697B2 (ja) | 被検体表面の拡大観察装置 | |
JP2938526B2 (ja) | 拡大観察用の対物具 | |
JP4886315B2 (ja) | 撮像システムおよび光学部材検査装置 | |
JP2007193213A (ja) | 全反射蛍光顕微鏡 | |
JP3137236U (ja) | 暗視野対物レンズ装置 | |
JPH08194160A (ja) | 落射式位相差顕微鏡 | |
JP2003043368A (ja) | 顕微鏡 | |
CA2282865A1 (en) | Diachromic microscope condenser |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060602 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090706 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090901 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091102 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20091208 |