JP2004521364A - 電気部品のバッチのテスティング - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、集積回路のような電気部品のバッチをテストするための方法であって、前記バッチからの各電気部品に第一のテスト(6)を適用する過程と、前記第一のテスト(6)で不合格となった電気部品に第二のテスト(12)を適用する過程と、を有する方法に関するものである。第二のテスト(12)は、第一のテスト(6)の後、直に適用するのが好適である。前記第一のテストが、機能テストを有し、前記第二のテストが、Contact−and−Short−Circuitテストを有するのが好ましい。
【選択図】図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、集積回路のような電気部品のバッチをテストする方法、電気部品を製造する方法、および、テスト装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
これに限定されるものではないが集積回路のような、電気部品のバッチをテストする方法、および、そのような電気部品を製造する方法は、実際に知られている。公知の一方法では、Contact−and−Short−Circuitテスト(短縮して、C&Sテスト)が、バッチからの各電気部品に適用される。C&Sテストでは、その部品の電気的なコンタクトが、テストされる。C&Sテストに合格した部品は、その後、部品の動作特性がテストされる機能テストでテストされる。そのような機能テストで、電気部品の1つ以上のパラメータが、測定され、そして、あらかじめ定められたパラメータ範囲と比較される。この状況において、用語「パラメータ」の内包する意味は、広い。機能テストは、パラメータに関するテスト、Go−NoGoテスト、デジタルテスト、あるいは、それらの組み合わせを有していてもよい。後者の場合には、機能テストは、いくつかのサブテストを有している。公知の方法のアプローチ法は、欠点のある部品をできるだけ速く不良品として除去するというストラテジーに基づいている。
【0003】
第一の種類の方法の欠点は、この方法が、多くの時間を費やすということである。このことは、全ての部品が、少なくとも2つのテストでテストされるという事実によって引き起こされる。第一のテストはC&Sテストであり、第二のテストは機能テストである。
【0004】
【課題を解決するための手段】
当該欠点に対処することが、本発明の1つの目的である。本発明は、独立請求項で定められる。従属請求項は、優位な実施例を定めている。
【0005】
本発明の主要な観点は、集積回路のような電気部品のバッチをテストするための方法であって、前記バッチからの各電気部品に第一のテストを適用する過程と、前記第一のテストで不合格となった電気部品に第二のテストを適用する過程と、を有する方法を提供することである。第二のテストは、第一のテストの後、直に適用するのが好適である。前記第一のテストが、機能テストを有し、前記第二のテストが、Contact−and−Short−Circuitテストを有するのが好ましい。
【0006】
本発明の1つの観点は、部品が機能テストに合格したら、それは、通常、C&Sテストに合格するという認識に基づいている。それゆえ、合格した部品にとって、C&Sテストは、機能テストにさらに付け加える情報を提示しない。したがって、公知のテスト方法は、特に、高い歩留りを持つバッチでは、良品が無駄に2回テストされ、長いテスト時間が掛かる。このことは、結局、電気部品の生産量をより低くし、したがって、その価格をより高くする。
【0007】
本発明の第一の観点によれば、機能テストが、バッチからの各電気部品に適用され、Contact−and−Short−Circuitテストは、機能テストで不合格となった電気部品にしか適用されない。このことは、C&Sテストが、機能テストで不合格となった電気部品にしか適用されず、したがって、総テスト時間が短縮するということを確実にする。
【0008】
機能テストでは、部品の動作特性が、テストされる。通常、機能テストは、ただ1つのハードウェア接続でも不足していれば、その部品が機能テストに不合格になるように設計されている。したがって、機能テストは、事実上、C&Sテストを内包している。しかしながら、部品が、機能テストで不合格になった場合、その不合格の原因は、その後、1回以上の特別の目的用のC&Sテストを行うことによって見出されることがある。このようにして、部品の欠陥接続が突き止められることがある。
【0009】
本発明の一実施例において、本方法は、また、Contact−and−Short−Circuitテストでテストされた電気部品に対して査定された不合格のより詳細な診断結果を作成するために、Contact−and−Short−Circuitテストのテスト結果を用いる過程と、当該診断結果に基づいて統計ファイルを更新する過程とを有する。この実施例において、C&Sテストのテスト結果が、そのバッチの電気部品の統計データを計算するために用いられる。その統計データは、2つの連続するテストを受けている部品を基にしているから、概して信頼性が高い。そのデータは、例えば、部品の質に関する情報を有することができる。
【0010】
本発明の精緻な一実施例の場合、前記機能テストは、前記電気部品の少なくとも1つのパラメータを測定し、そして、前記少なくとも1つの測定されたパラメータと、当該少なくとも1つのパラメータに対してあらかじめ定められた少なくとも1つのパラメータ範囲とを比較することによって電気部品の動作をテストする過程であって、前記少なくとも1つの測定されたパラメータが、その対応するパラメータ範囲内にないときに、前記電気部品が、前記機能テストに不合格となる過程を有している。本発明によるさらに一層細密な一実施例の場合、前記C&Sテストは、少なくとも1つの測定された、あらかじめ定められた型のパラメータが、その対応するパラメータ範囲外にある電気部品に適用されない。このようにして、各パラメータに対して、そのパラメータが、対応するパラメータ範囲外にあるということを測定することが、C&Sテストを受けるか否かを決定するようなパラメータを、各バッチにおいて演繹的に選択することが可能になる。これが可能であることは、以下の状況において重要となる。部品の特定のバッチにおいて、あるパラメータが期待されている確率分布から逸脱していることが演繹的に認められたと想定する。こうしたことは、例えば、部品を製造するための製作機械の誤った調整によって引き起こされる。この場合、多くの部品が、機能テストにおいて不合格となるであろうし、したがって、通常では、その後、C&Sテストでテストされるところである。ほとんどの部品が、間違いなく機能テストにおいて不合格になっているということが認められているにも関わらず、これは、テスト時間の総量を相当に増加させるから、望ましくないことである。したがって、この場合には、逸脱した確率分布を持つパラメータは、演繹的にあらかじめ定められた型のパラメータとして分類されなければならず、それによって、このパラメータに基づいて機能テストに不合格になった部品は、即座に除去される。
【0011】
第一および第二のテストは、C&Sテスト、機能テスト、それらの組み合わせ、あるいは、他のテストであってもよい。手動での再テストに対する自動での再テストの優位性は、それがはるかに少ない時間しか費やさないということである。手動での再テストは、生産過程に停滞を引き起こし、したがって、高価になる。さらに、自動での再テストは、同一のテスト装置で適用できる。これによって、テスト装置のエラーおよび/または不安定性(即ち、しばしば発生する第一のテストと第二のテストとの間の相違)が、即座に検出できるから、他の全てのテストよりも信頼性がある。
【0012】
本発明の好適な一実施例は、前記第一のテストにおいて、前記バッチからの部品に、前記部品に前記第一のテストを実行するために、第一の機械的コンタクトを設け、その後、当該第一の機械的コンタクトを解除するテスト装置を用い、一方、前記第二のテストにおいて、前記テスト装置が、前記部品に前記第二のテストを実行するために、前記部品に第二の機械的コンタクトを設け、その後、当該第二の機械的コンタクトを解除し、また、前記第一の機械的コンタクトが、前記第二の機械的コンタクトに本質的には同じものである。当該機械的コンタクトは、テスト装置と電気部品との間を電気的に接続するために用いられている。いくつかの状況において、電気部品の機械的コンタクト部の上に金属−酸化物の薄い絶縁層が存在することがある。そのような層は、電気的コンタクトを(完全に、あるいは、部分的に)妨害し、それによって、対応する電気部品が本質的には満足のいくものであるにもかかわらず、その電気部品が、テストに不合格になるという結果におちいる。第一の機械的コンタクトの適用は、金属−酸化物の層が、テスト装置の機械的コンタクトを設けるためのコンタクトピンによってこすり落とされるという結果を生み出すことができる。そうすると、その部品は、電気的コンタクトが形成される第二のテストに合格する。それゆえ、この実施例によれば、電気部品が、意味もなくテストに不合格になるという危険性が、最小化される。
【0013】
本発明の一実施例において、本方法は、また、テストされた電気部品に対して査定された不合格の診断結果を作成するために、テストのテスト結果を用いる過程と、当該診断結果に基づいて、統計ファイルを更新する過程と、を有する。この実施例において、テスト結果が、そのバッチの電気部品の統計データを計算するために用いられる。それらのデータは、例えば、あるバッチが低品質レベルを持っている、あるいは、あるテスト装置が機能不全に陥っているということを指示してもよい。後者は、第一のテストからのテストデータと、第二のテストからのテストデータとを比較することによって、欠陥テスト装置を追跡するための機会を提示する。テスト装置が、当該機械的コンタクトを設けるためにコンタクトピンを用いている、より特定の状況においては、早い段階で、欠陥ハードウェアピンコンタクトを検出することが可能である。
【0014】
本発明のさらなる実施例において、第一のテストは、電気部品の動作があらかじめ定められた特性にしたがってテストされる機能テストを有し、第二のテストは、機能テストとContact−and−Short−Circuitテストとを有している。Contact−and−Short−Circuitテストのテスト結果は、第二区分からの電気部品に対して査定された不合格の診断結果を作成するために用いるのが好適である。さらに、第一区分30からの電気部品を、テスト装置の動作をチェックするための第三のテストにしたがって、ランダムにテストしてもよい。第三のテストのテスト結果が、第一および第二のテストに一致するか否かをチェックすることができる。それは、テスト装置の適切な動作をチェックする機会を提示する
【0015】
【発明の実施の形態】
本発明のこれらの、そして、他の観点が、以下に記述する実施例を用いて説明される。
【0016】
添付の図面において、本発明を実行するためのいくつかのモードが、説明に役立てる目的で示されている。
【0017】
図1は、フローダイアグラム2を用いて、集積回路のような電気部品のバッチをテストする方法を説明している。矢印4は、電気部品の入力ストリームを表わしており、各部品は、機能テスト6の対象である。この機能テスト6は、専用のテスト装置(図1に図示せず)によって行なわれる。機能テストの間に、部品の動作特性の少なくともいくつかが、そのテスト装置によって決定される。機能テストは、少なくとも最も重要なハードウェア接続が、その機能テストに用いられるように設計されるのが望ましく、そうすると、それらの接続の1つでも欠けていれば、その部品は、機能テストで不合格となる。
【0018】
機能テストに合格した部品は、第一区分を構成し、一方、機能テストで不合格となった部品は、第二区分を構成する。第一区分の部品のストリームが、矢印8で表わされ、第二区分の部品のストリームが、矢印10.1および10.2で表わされている。第二区分の部品のストリームを、2つの分割ストリーム10.1と10.2とに分割する理由が、以下に説明される。
【0019】
分割ストリーム10.1(第二区分の一部)の部品は、その後、いわゆるContact−and−Short−Circuitテスト12(短縮して、C&Sテスト)を受ける。C&Sテスト12において、ハードウェア接続、および/または、ハードウェア接続の欠落が、テストされる。したがって、C&Sテスト12は、機能テスト6における対応する部品の不合格の原因を決定するのに適している。次に、C&Sテスト12を受け終わった部品は、2つの区分に分割される。C&Sテスト12に合格した電気部品は、第三区分14を構成し、一方、C&Sテスト12に不合格になってしまった電気部品は、第四区分16を構成する。
【0020】
この時点で、電気部品の4つのメインストリームが、存在する。
【0021】
矢印8で指示される部品の第一のメインストリームは、機能テスト6に合格した電気部品を有している。それらの部品は、認定され、さらに進んだ適用のために用いることができる。メインストリーム8からの電気部品を、品質保証(QA)テストあるいはオンザフライでの品質保証(QAOTF)テストにランダムに用いることは、自由であることに注意されたい。それとともに、第一のメインストリームからのいくつかの部品は、同じテスト結果が得られるかどうかをチェックするために、再度、機能テストおよび/またはC&Sテストによってテストされる。
【0022】
第二のメインストリーム14は、機能テスト6で不合格になったが、C&Sテスト12には合格した電気部品を有している。第二のメインストリーム14からの電気部品は、機能テスト6およびC&Sテスト12によって、自由に再テスト可能である。
【0023】
第三のメインストリーム16は、機能テスト6で不合格になり、C&Sテスト12でも不合格になった電気部品を有している。第三のメインストリーム16からの電気部品は、機能テスト6およびC&Sテスト12によって、自由に再テスト可能である。
【0024】
第四のメインストリーム10.2(以下に、より詳細に論じられる)は、いくつかの統計的に逸脱する特性を持つバッチ(即ち、演繹的に認識される統計的な製造上の欠点を伴った部品のバッチ)からの電気部品を有している。
【0025】
図1の例の機能テスト6において、電気部品の動作が、その電気部品の少なくとも1つのパラメータを測定することによってテストされる。その少なくとも1つの測定されたパラメータが、当該少なくとも1つのパラメータに対してあらかじめ定められた少なくとも1つのパラメータ範囲と比較され、その電気部品は、その少なくとも1つの測定されたパラメータが、その対応するパラメータ範囲内になければ、機能テストに不合格である。それに関して、その少なくとも1つのパラメータは、抵抗値あるいは電気容量のような電気部品の物理的特性を指示するものであってもよい。その少なくとも1つのパラメータは、また、相対利得プロファイル、入力電圧の関数である出力電圧、デジタル入力−出力関係のような部品の機能特性に関するもの、あるいは、Go−NoGoテストに関するものであることもある。
【0026】
図1のテスト方法によれば、当該少なくとも1つのパラメータは、機能テスト6の適用に先立って、第一の型のパラメータか、第二の型のパラメータかに分類される。C&Sテスト12は、第二の型のパラメータが、その対応するパラメータ範囲内にある第二区分からの電気部品だけに適用される。第二区分からのそれらの部品が、分割ストリーム10.1を構成する。しかしながら、C&Sテスト12は、第二の型の少なくとも1つの測定されたパラメータが、その対応するパラメータ範囲外にある第二区分からの電気部品には適用されない。第二区分からのそれらの部品が、分割ストリーム10.2を構成する。分割ストリーム10.2の部品は、直ちに除去される、即ち、捨てられる。分割ストリーム10.1と10.2とに部品を区別する理由が、以下に説明される。
【0027】
部品の特定のバッチにおいて、あるパラメータが、期待されている確率分布から逸脱していることが、演繹的に認められたと想定する。こうしたことは、例えば、製造装置の誤った調整によって引き起こされる。この場合、多くの部品が、機能テスト6において不合格となるであろうし、したがって、通常では、その後、C&Sテスト12でテストされるところである。ほとんどの部品が、間違いなく機能テスト6において不合格になっているということが認められているにも関わらず、これは、テスト時間の総量を相当に増加させるから、望ましくないことである。したがって、この場合には、逸脱した確率分布を持つパラメータは、演繹的に第二の型のパラメータとして分類されなければならず、それによって、このパラメータに基づいて機能テストに不合格になった部品は、分割ストリーム10.2を介して、即座に除去される。
【0028】
図1によって部品をテストする方法を実行するためのテスト装置は、電気部品に対して査定された不合格のより詳細な診断結果を作成するための診断ユニット20(図1に線図的に指示されている)を備えていてもよい。当該診断結果を作成するために、ユニット20は、とりわけ、C&Sテスト12のテスト結果を用いる。それらのテスト結果に関係する情報を有するデータが、C&Sテスト12を実行したテスト装置によって、データライン22を介して、その手段20に送られる。接続線22を介して供給されるデータは、例えば、ある欠陥を持つ電気部品の流量を有することができる。ユニット20は、また、データ接続線24を介して、テスト装置に接続するのも好ましい。接続線24を介して供給されたデータは、例えば、電気部品の全流量を有することができる。それらのデータに基づいて、ユニット20は、統計データを計算し、また、統計ファイルを更新することができる。さらに、ユニット20は、それらのデータに基づいて、例えば、あるバッチが低品質レベルを持っている、あるいは、あるテスト装置が機能不全に陥っているというような診断を行うことができる。
【0029】
図2は、テスト装置によって、集積回路のような電気部品のバッチをテストする方法のフローダイアグラム26を示すダイアグラムである。図2において、テストされるべきバッチの電気部品のストリームが、27で線図的に指示されている。ストリーム27の電気部品をテストする方法は、テスト装置によって、そのバッチからの各電気部品に適用される第一のテスト28を有している。第一のテストに合格した部品は、第一区分30を構成し、第一のテストで不合格となった部品は、第二区分32を構成する。第一区分30の部品は、認定され、さらに進んだ適用のために用いることができる。
【0030】
第二区分32の電気部品は、第二のテスト(再テスト)34に応じたテスト装置によって自動的に再テストされる。第二のテストは、第一のテスト28の後、直に適用される。第二のテスト34に合格した電気部品は、第三区分36を構成し、第二のテストに不合格になってしまった電気部品は、第四区分38を構成する。
【0031】
この例において、第一のテスト28のテスト装置が、第一のテストを実行するための第一の機械的コンタクトを設け、その後、当該第一の機械的コンタクトを解除する。次いで、第二のテスト34のテスト装置が、第二のテストを実行するための第二の機械的コンタクトを設け、その後、当該第二の機械的コンタクトを解除する。第一の機械的コンタクトは、本質的には、第二の機械的コンタクトと同じものである。このような再テストの効果は、部品の1つ以上のコンタクト点に存在するかもしれない金属−酸化物の薄い絶縁層が、第一のテスト28の間にこすり落とされて、その部品が、第二のテスト34においてテスト装置との電気的なコンタクトを設け、したがって、第二のテスト(再テスト)34に合格することができるかもしれないということである。
【0032】
ストリーム36, 38は、テスト28, 34の適切な動作をチェックするための第三のテストにしたがってテストされてもよい。
【0033】
図2によって部品をテストする方法を実行するためのテスト装置は、電気部品に対して査定された不合格のより詳細な診断結果を作成するための診断ユニット40(図2に線図的に指示されている)を備えていてもよい。当該診断結果を作成するために、ユニット40は、とりわけ、第一のテスト28のテスト結果を用いる。それらのテスト結果に関係する情報を有するデータが、第一のテスト28を実行したテスト装置によって、データライン42を介して、そのユニット40に送られる。接続線42を介して供給されたデータは、例えば、ある欠陥を持つ電気部品の流量を有することができる。ユニット40は、また、データ接続線44を介して、第二のテストを実行するためのテスト装置34に接続するのも好ましい。接続線44を介して供給されたデータは、例えば、電気部品の全流量を有することができる。それらのデータに基づいて、ユニット40は、統計データを計算し、また、統計ファイルを更新することができる。さらに、ユニット40は、それらのデータに基づいて、例えば、あるバッチが低品質レベルを持っている、あるいは、あるテスト装置が機能不全に陥っているというような診断をすることができる。統計データは、テスト装置28からのテストデータ(接続線42を介して供給される)と、テスト装置34からのテストデータ(接続線44を介して供給される)とを比較することによって、欠陥テスト装置を追跡するために用いることができる。このようにして、例えば、早い段階で、テスト装置の欠陥ハードウェアピンコンタクト(後者は、当該機械的コンタクトを設けるために用いられている)を検出することが可能である。
【0034】
この例のより精緻な実施例において、第一のテスト28は、電気部品の動作が、あらかじめ定められた特性にしたがってテストされる機能テストを有し、第二のテスト34は、機能テストとContact−and−Short−Circuitテストとを有している。Contact−and−Short−Circuitテストのテスト結果は、査定された不合格の診断結果を作成するために、また、第二区分32からの電気部品のデータに関する統計ファイルを更新するために用いられてもよい。
【0035】
第一区分30からの電気部品は、品質保証(OAあるいはQAOTF)テストを置くための第三のテストにしたがってランダムに、自由にテスト可能である。
【0036】
本発明は、若干の実施例を用いて記述されている。しかしながら、本発明は、本発明の範囲を逸脱することなく、具体的に説明し、記述したもの以外にも実施できるということに注意されなければならない。本発明は、集積回路のテストに限定されず、チューナモジュールあるいはパワーモジュールのような部品をテストするためにも適用できる。請求項において、括弧内の全ての参照符号は、請求項を限定すると解釈されてはならない。用語「有する」は、請求項にリストされている要素あるいは過程以外の要素あるいは過程の存在を排除するものではない。単数で記載された要素は、そのような要素の複数の存在を排除するものではない。本発明は、いくつかの異なる要素を有するハードウェアを用いて、また、適切にプログラムされたコンピュータを用いて、実施できる。いくつかの手段を列挙したデバイス請求項において、それらの手段のいくつかは、全く同一のハードウェア品目で組み立ててもよい。いくつかの手法が互いに異なる従属項に並べられているという単なる事実は、それらの手法の組み合わせを有利に用いることはできないということを指示するものではない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による電気部品のテスト方法の第一の実施例を示す線図的なフローダイアグラムである。
【図2】本発明による電気部品のテスト方法の第二の実施例を示す線図的なフローダイアグラムである。
【符号の説明】
6, 28 第一のテスト
8, 30 第一区分
10.1, 10.2, 32 第二区分
12, 34 第二のテスト
14, 36 第三区分
16, 38 第四区分
20, 40 診断ユニット
Claims (7)
- 電気部品のバッチのテスト方法であって、
前記バッチからの各電気部品に第一のテストを適用する過程と、
前記第一のテストで不合格となった電気部品に第二のテストを適用する過程と、を有する方法。 - 前記第一のテストが、機能テストを有し、前記第二のテストが、Contact−and−Short−Circuitテストを有することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第一のテストが、前記電気部品の少なくとも1つのパラメータを測定し、そして、前記少なくとも1つの測定されたパラメータと、当該少なくとも1つのパラメータに対してあらかじめ定められた少なくとも1つのパラメータ範囲とを比較する過程であって、少なくとも1つの測定されたパラメータが、その対応するパラメータ範囲内にないときに、前記電気部品が、前記第一のテストに不合格となる過程を有することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第二のテストは、少なくとも1つの測定されたパラメータが、その対応するパラメータ範囲外にある電気部品に適用されないことを特徴とする請求項3に記載の方法。
- 前記方法が、前記バッチからの部品に、前記部品に前記第一のテストを実行するために、第一の機械的コンタクトを設け、その後、当該第一の機械的コンタクトを解除するテスト装置を用いて遂行され、また、前記第二のテストにおいて、前記テスト装置が、前記部品に前記第二のテストを実行するために、前記部品に第二の機械的コンタクトを設け、その後、当該第二の機械的コンタクトを解除し、また、前記第一の機械的コンタクトが、前記第二の機械的コンタクトに本質的には同じものであることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 電気部品の製造方法であって、
前記電気部品を供給する工程と、
前記電気部品に第一のテストを適用する工程と、
前記第一のテストで不合格となった電気部品に第二のテストを適用する工程と、を有する方法。 - 電気部品のバッチをテストするためのテスト装置であって、
前記バッチからの各電気部品に第一のテストを適用するための手段と、
前記第一のテストで不合格となった電気部品に第二のテストを適用するための手段と、を有するテスト装置。
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